CN116920774B - 一种在线监控的光刻胶反应釜 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种在线监控的光刻胶反应釜，包括釜体；监测机构，包含抽料泵、以及连接到所述釜体内部的进料管、出料管，所述进料管内固定安装有滤网，所述滤网外侧的进料管上安装有用于对声音信号进行获取的声音传感器；搅拌机构，包含转动安装于釜体内的搅拌轴，所述搅拌轴的两侧固接有若干个相应的搅拌板；搅拌加强机构，所述搅拌板的中部分别贯穿设置有相应的插接口，所述搅拌加强机构包含可移动插接于所述插接口处的搅拌加强板；当所述搅拌轴的搅拌速度超过第一阈值时，所述搅拌加强板向下移动至所述插接口的外侧，以增加对物料的搅拌面积。本发明能够有效便捷对产品的反应进程进行监测，且能够有效保持检测精度。
Description
技术领域
本发明涉及一种在线监控的光刻胶反应釜，其主要对光刻胶生产用原料进行酯化反应，并能有效对酯化反应的进程进行监测跟踪。
背景技术
重氮磺酰物是光刻胶制备用主要原料之一，光刻胶的制备过程中，需将完成干燥加工后的重氮磺酰物颗粒物料、以及环醚溶剂、接枝母体、有机碱等物料投料至相应的反应釜中进行酯化反应，直至重氮磺酰物被完全反应。其整个反应过程中，需要通过相应的取样装置以定时对反应釜体内的物料进行取样检测，从而对反应进程进行定时监测，整个反应进程的监测需要较多的工作人员进行参与，且整体操作难度相对较大，很是麻烦。
因此，在不影响光刻胶的正常反应加工的基础上，设计一款能够有效便捷对产品的反应进程进行监测，且能够有效保持检测精度的在线监控的光刻胶反应釜是本发明的研究目的。
发明内容
针对上述现有技术存在的技术问题，本发明在于提供了一种在线监控的光刻胶反应釜，该在线监控的光刻胶反应釜能够有效解决上述现有技术存在的技术问题。
本发明的技术方案是：
一种在线监控的光刻胶反应釜，包括
釜体，所述釜体顶部固定装置有相应的封盖，所述封盖向上连接有液料进料管、以及固料投料口，所述釜体的底部向下连接有安装有出料阀门的排料管；
监测机构，包含抽料泵、以及连接于所述抽料泵的进料端、出料端上的进料管、出料管，所述进料管、出料管分别连接到所述釜体的内部，所述进料管内固定安装有至少一个相应的滤网，所述滤网外侧的进料管上安装有用于对颗粒物料碰撞滤网所产生的声音信号进行获取的声音传感器；
搅拌机构，包含转动安装于所述釜体内的搅拌轴，所述搅拌轴的上端部可转动安装到所述封盖上，并由固定装置于所述封盖上侧的驱动电机进行驱动，所述搅拌轴的两侧按间隔横向固接有若干个相应的搅拌板；
搅拌加强机构，沿所述搅拌轴的转动方向，所述搅拌板的下侧分别向后倾斜设置，且所述搅拌板的中部分别贯穿设置有相应的插接口，所述搅拌加强机构包含可移动插接于所述插接口处的搅拌加强板；当所述搅拌轴的搅拌速度不超过第一阈值时，所述搅拌加强板插接于所述搅拌板的插接口内；当所述搅拌轴的搅拌速度超过第一阈值时，所述搅拌加强板向下移动至所述插接口的外侧，以增加对物料的搅拌面积；
控制系统，所述声音传感器和驱动电机分别连接到所述控制系统上，所述驱动电机为速度可调变频电机，驱动电机的工作进程由所述控制系统进行控制。
还包括反冲洗机构，包含并联连接到所述抽料泵的进料端的反冲洗进料管、以及并联连接到所述抽料泵的出料端的反冲洗出料管，所述反冲洗进料管未连接于所述抽料泵的一端连接到所述釜体内部，且所述反冲洗进料管的进料端包覆连接一相应的微孔径滤布层，所述反冲洗出料管未连接于所述抽料泵的一端连接到所述滤网后侧的进料管上，所述进料管、出料管、反冲洗进料管、以及所述反冲洗出料管上分别固定装置有相应的电磁阀，所述电磁阀分别连接到所述控制系统上。
所述进料管内按间隔固定安装有三个相应的滤网，所述滤网外侧的进料管上分别安装有相应的声音传感器；沿所述进料管的进料方向，三个滤网的滤孔递减设置。
所述进料管是由四段衔接管件通过法兰连接方式组成，所述滤网的外围分别一体化成型向外连接有相应的垫板，所述垫板分别固定夹设于相邻两段衔接管件的法兰衔接处，所述声音传感器的检测端分别抵接到相邻两段衔接管件的法兰衔接处。
相邻两段衔接管件的法兰衔接处外围分别固定安装有相应的隔声罩，所述隔声罩的内侧壁分别安装有一层隔音棉。
所述搅拌加强板的下端部呈斜面状向所述搅拌轴的转动方向一侧设置有相应的挡推板；所述插接口两侧的搅拌板上分别向下固接有相应的导槽，所述导槽的开口分别朝内设置，且所述导槽未连接于所述搅拌板的一端之间横向固接有相应的挡位杆件，所述挡位杆件的中部设置有一相应的导孔，所述搅拌加强板可沿所述插接口处移动至所述导槽之间，搅拌加强板的下侧中部分别向外固接有一贯穿插接于所述导孔内的导轴，所述导轴的下端部固接有一相应的限位板，所述限位板与所述挡位杆件之间固定装置有一相应的弹性件；当所述搅拌轴的搅拌速度超过第一阈值时，所述挡推板受到物料的反作用力大于所述弹性件的弹力，所述搅拌加强板被向下驱动至所述插接口的外侧。
所述导槽的开口端分别位于所述插接口的两侧壁的内侧，导槽的槽底分别位于所述插接口的两侧壁的外侧，所述导槽行程长度大于所述搅拌加强板的宽度。
所述弹性件为螺旋弹簧，所述螺旋弹簧固定套设于所述限位板与所述挡位杆件之间导轴上，且所述螺旋弹簧的两端分别固接于所述限位板与挡位杆件上，所述螺旋弹簧的拉伸行程不小于所述导槽的行程。
所述釜体的中部呈夹层状态固接有一相应的内胆，所述内胆与釜体形成加热介质流通空间，所述釜体的下侧设置有连通至所述加热介质流通空间的加热介质进入管，釜体的上侧设置有连通至所述加热介质流通空间的加热介质排出管。
所述液料进料管上固定装置有相应的进料阀门，所述固料投料口处可启闭安装有相应的盖板，所述盖板的一端铰接于所述固料投料口的一侧，盖板的另一端通过相应的搭扣锁锁紧连接到所述固料投料口的另一侧。
本发明的优点：
1）本发明的监测机构包含抽料泵、以及连接于抽料泵的进料端、出料端上的进料管、出料管，进料管、出料管分别连接到所述釜体的内部，进料管内固定安装有至少一个相应的滤网，滤网外侧的进料管上安装有用于对颗粒物料碰撞滤网所产生的声音信号进行获取的声音传感器。
反应过程中，可启动抽料泵以对反应过程中的物料进行循环抽排，该过程中：物料中的重氮磺酰物颗粒物料在被滤网形成阻拦时，会对滤网形成碰撞，根据颗粒物料碰撞滤网所产生的声音信号的频率，即可判断出物料中的含固量，从而有效反应出物料的反应加工进程；当颗粒物料碰撞滤网的频率高，则判断为物料中的含固量相对较多，且颗粒物料的粒径相对较大，此时处于反应进程的前段；当颗粒物料碰撞滤网的频率低，则判断为物料中的含固量相对较少，且颗粒物料的粒径相对较小，此时处于反应进程的后段；当颗粒物料碰撞滤网的频率在一段时间内一直处于零的状态时，则判断为物料中的含固量接近为零，此时反应完成。从而在不影响光刻胶的正常反应加工的基础上，能够有效便捷对产品的反应进程进行监测。
2）本发明在原有搅拌机构的基础上，增设有搅拌加强机构，搅拌加强机构包含可移动插接于搅拌板的插接口处的搅拌加强板，当搅拌轴的搅拌速度不超过第一阈值时，搅拌加强板插接于搅拌板的插接口内；当搅拌轴的搅拌速度超过第一阈值时，搅拌加强板向下移动至插接口的外侧，以增加对物料的搅拌面积。
在出料泵启动抽料检测之前，控制搅拌轴的转速提升至第一阈值以上，以增加对物料的搅拌面积，从而对物料中的颗粒物料形成更加均匀的分散，以确保被循环抽排进行检测的物料中的物料含固量的均匀性，以更加准确的反应出现有物料中的含固量，从而有效提升检测精度。
3）本发明还包括反冲洗机构，其包含并联连接到抽料泵的进料端的反冲洗进料管、以及并联连接到抽料泵的出料端的反冲洗出料管，在完成物料检测后，电磁阀切换为：进料管、出料管上的电磁阀关闭，反冲洗进料管、反冲洗出料管上的电磁阀开启，物料经微孔径滤布层过滤后抽排往滤网的后侧进入，以将被过滤在滤网上的颗粒物料反冲洗进入釜体内进行再次反应。从而大幅降低因检测而对物料的正常反应所造成的影响，以进一步实现在不影响光刻胶的正常反应加工的基础上，有效便捷对产品的反应进程进行监测。
4）本发明的进料管内按间隔固定安装有三个滤网，沿进料管的进料方向，三个滤网的滤孔递减设置，以通过不同孔径的滤孔对不同粒径的颗粒物料进行检测，从而判断出物料中的固体物料的粒径范围，再通过粒径范围以判断出反应进程的推进程度，即物料中的固体物料的粒径越小，则反应进程越接近反应完成。
5）本发明的相邻两段衔接管件的法兰衔接处外围分别固定安装有相应的隔声罩，隔声罩的内侧壁分别安装有一层隔音棉，以减少外界杂音对声音传感器的信号获取的影响，从而进一步提升本发明的检测精度。
6）本发明的搅拌加强板的下端部呈斜面状向搅拌轴的转动方向一侧设置有相应的挡推板，且限位板与挡位杆件之间固定装置有一相应的弹性件，当搅拌轴的搅拌速度超过第一阈值时，挡推板受到物料的反作用力大于弹性件的弹力，搅拌加强板被向下驱动至插接口的外侧。以物料的反作用力对搅拌加强板形成驱动，随着搅拌轴的搅拌速度的增加，搅拌加强板上的挡推板受力也随之增加，从而在搅拌轴的搅拌速度超过第一阈值时，将拌加强板被向下驱动至插接口的外侧，以提升对物料的搅拌效果，从而使物料中的固体颗粒物料能够形成更加均匀的分散，以提升本发明的实用效果。
7）本发明的导槽开口端分别位于插接口的两侧壁内侧，导槽的槽底分别位于插接口的两侧壁的外侧，且导槽行程长度大于搅拌加强板的宽度，加之，螺旋弹簧的拉伸行程也不小于导槽的行程。在完成反应后，对设备进行清洗时，可进一步将搅拌轴的搅拌速度提升至大于第一阈值，从而将搅拌加强板完全驱动至插接口的外侧，而搅拌加强板的两侧又与导槽的槽底呈间隔设置，因此可以大幅降低上一批反应物料的残留，从而进一步大幅提升本发明的实用效果。
附图说明
图1为本发明的釜体的结构示意图。
图2为本发明的整体结构示意图。
图3为本发明的监测机构的局部结构示意图。
图4为本发明的搅拌加强机构的结构示意图。
附图中：釜体1、封盖101、液料进料管2、固料投料口3、出料阀门4、排料管5、监测机构6、抽料泵601、进料管602、出料管603、滤网604、垫板6041、声音传感器605、搅拌机构7、搅拌轴701、驱动电机702、搅拌板703、搅拌加强机构8、搅拌加强板801、挡推板802、导槽803、挡位杆件804、导轴805、限位板806、弹性件807、控制系统9、反冲洗机构10、反冲洗进料管1001、反冲洗出料管1002、电磁阀11、隔声罩12、隔音棉1201、内胆13、加热介质进入管14、加热介质排出管15、进料阀门16、盖板17、搭扣锁18、微孔径滤布层19。
具体实施方式
为了便于本领域技术人员理解，现将实施例结合附图对本发明的结构作进一步详细描述：
参考图1-4，一种在线监控的光刻胶反应釜，包括
釜体1，所述釜体1顶部固定装置有相应的封盖101，所述封盖101向上连接有液料进料管2、以及固料投料口3，所述釜体1的底部向下连接有安装有出料阀门4的排料管5；
监测机构6，包含抽料泵601、以及连接于所述抽料泵601的进料端、出料端上的进料管602、出料管603，所述进料管602、出料管603分别连接到所述釜体1的内部，所述进料管602内固定安装有至少一个相应的滤网604，所述滤网604外侧的进料管602上安装有用于对颗粒物料碰撞滤网604所产生的声音信号进行获取的声音传感器605；
搅拌机构7，包含转动安装于所述釜体1内的搅拌轴701，所述搅拌轴701的上端部可转动安装到所述封盖101上，并由固定装置于所述封盖101上侧的驱动电机702进行驱动，所述搅拌轴701的两侧按间隔横向固接有若干个相应的搅拌板703；
搅拌加强机构8，沿所述搅拌轴701的转动方向，所述搅拌板703的下侧分别向后倾斜设置，且所述搅拌板703的中部分别贯穿设置有相应的插接口，所述搅拌加强机构8包含可移动插接于所述插接口处的搅拌加强板801；当所述搅拌轴701的搅拌速度不超过第一阈值时（本实施例的第一阈值为100r/min），所述搅拌加强板801插接于所述搅拌板703的插接口内；当所述搅拌轴701的搅拌速度超过第一阈值时，所述搅拌加强板801向下移动至所述插接口的外侧，以增加对物料的搅拌面积；
控制系统9，所述声音传感器605和驱动电机702分别连接到所述控制系统9上，所述驱动电机702为速度可调变频电机，驱动电机702的工作进程由所述控制系统9进行控制。
反应过程中，可启动抽料泵601以对反应过程中的物料进行循环抽排，该过程中：物料中的重氮磺酰物颗粒物料在被滤网604形成阻拦时，会对滤网形成碰撞，根据颗粒物料碰撞滤网604所产生的声音信号的频率，即可判断出物料中的含固量，从而有效反应出物料的反应加工进程；当颗粒物料碰撞滤网604的频率高，则判断为物料中的含固量相对较多，且颗粒物料的粒径相对较大，此时处于反应进程的前段；当颗粒物料碰撞滤网604的频率低，则判断为物料中的含固量相对较少，且颗粒物料的粒径相对较小，此时处于反应进程的后段；当颗粒物料碰撞滤网604的频率在一段时间内一直处于零的状态时，则判断为物料中的含固量接近为零，此时反应完成。
在出料泵启动抽料检测之前，控制搅拌轴701的转速提升至第一阈值以上，以增加对物料的搅拌面积，从而对物料中的颗粒物料形成更加均匀的分散，以确保被循环抽排进行检测的物料中的物料含固量的均匀性，以更加准确的反应出现有物料中的含固量，从而有效提升检测精度。
本发明还包括反冲洗机构10，包含并联连接到所述抽料泵601的进料端的反冲洗进料管1001、以及并联连接到所述抽料泵601的出料端的反冲洗出料管1002，所述反冲洗进料管1001未连接于所述抽料泵601的一端连接到所述釜体1内部，且所述反冲洗进料管1001的进料端包覆连接一相应的微孔径滤布层19，所述反冲洗出料管1002未连接于所述抽料泵601的一端连接到所述滤网604后侧的进料管602上，所述进料管602、出料管603、反冲洗进料管1001、以及所述反冲洗出料管1002上分别固定装置有相应的电磁阀11，所述电磁阀11分别连接到所述控制系统9上。
在完成物料检测后，电磁阀11切换为：进料管602、出料管603上的电磁阀关闭，反冲洗进料管1001、反冲洗出料管1002上的电磁阀开启，物料经微孔径滤布层19过滤后抽排往滤网604的后侧进入，以将被过滤在滤网604上的颗粒物料反冲洗进入釜体1内进行再次反应。从而大幅降低因检测而对物料的正常反应所造成的影响，以进一步实现在不影响光刻胶的正常反应加工的基础上，有效便捷对产品的反应进程进行监测。
本实施例中，所述进料管602内按间隔固定安装有三个相应的滤网604，所述滤网604外侧的进料管602上分别安装有相应的声音传感器605；沿所述进料管602的进料方向，三个滤网604的滤孔递减设置。通过不同孔径的滤孔对不同粒径的颗粒物料进行检测，从而判断出物料中的固体物料的粒径范围，再通过粒径范围以判断出反应进程的推进程度，即物料中的固体物料的粒径越小，则反应进程越接近反应完成。
所述进料管602是由四段衔接管件通过法兰连接方式组成，所述滤网604的外围分别一体化成型向外连接有相应的垫板6041，所述垫板6041分别固定夹设于相邻两段衔接管件的法兰衔接处，所述声音传感器605的检测端分别抵接到相邻两段衔接管件的法兰衔接处。
相邻两段衔接管件的法兰衔接处外围分别固定安装有相应的隔声罩12，所述隔声罩12的内侧壁分别安装有一层隔音棉1201，在隔音棉1201的作用下，以减少外界杂音对声音传感器605的信号获取的影响，从而进一步提升本发明的检测精度。
所述搅拌加强板801的下端部呈斜面状向所述搅拌轴701的转动方向一侧设置有相应的挡推板802；所述插接口两侧的搅拌板703上分别向下固接有相应的导槽803，所述导槽803的开口分别朝内设置，且所述导槽803未连接于所述搅拌板703的一端之间横向固接有相应的挡位杆件804，所述挡位杆件804的中部设置有一相应的导孔，所述搅拌加强板801可沿所述插接口处移动至所述导槽803之间，搅拌加强板801的下侧中部分别向外固接有一贯穿插接于所述导孔内的导轴805，所述导轴805的下端部固接有一相应的限位板806，所述限位板806与所述挡位杆件804之间固定装置有一相应的弹性件807；当所述搅拌轴701的搅拌速度超过第一阈值时，所述挡推板802受到物料的反作用力大于所述弹性件807的弹力，所述搅拌加强板801被向下驱动至所述插接口的外侧。
当搅拌轴701的搅拌速度超过100r/min时，挡推板802受到物料的反作用力大于弹性件807的弹力，搅拌加强板801被向下驱动至插接口的外侧，以物料的反作用力对搅拌加强板801形成驱动，从而将拌加强板801被向下驱动至插接口的外侧，以提升对物料的搅拌效果，使物料中的固体颗粒物料能够形成更加均匀的分散，以提升本发明的实用效果。
所述导槽803的开口端分别位于所述插接口的两侧壁的内侧，导槽803的槽底分别位于所述插接口的两侧壁的外侧，所述导槽803行程长度大于所述搅拌加强板801的宽度。所述弹性件807为螺旋弹簧，所述螺旋弹簧固定套设于所述限位板806与所述挡位杆件804之间导轴805上，且所述螺旋弹簧的两端分别固接于所述限位板806与挡位杆件804上，所述螺旋弹簧的拉伸行程不小于所述导槽的行程。
在完成反应后，对设备进行清洗时，可进一步将搅拌轴701的搅拌速度提升至大于100r/min，本实施例中，将进一步将搅拌轴701的搅拌速度提升至130r/min，从而将搅拌加强板801完全驱动至插接口的外侧，而搅拌加强板801的两侧又与导槽803的槽底呈间隔设置，因此可以大幅降低上一批反应物料的残留，从而大幅提升本发明的实用效果。
所述釜体1的中部呈夹层状态固接有一相应的内胆13，所述内胆13与釜体1形成加热介质流通空间，所述釜体1的下侧设置有连通至所述加热介质流通空间的加热介质进入管14，釜体1的上侧设置有连通至所述加热介质流通空间的加热介质排出管15。加热过程中，加热介质循环流经加热介质流通空间，以对釜体1内的反应温度进行控制。
所述液料进料管2上固定装置有相应的进料阀门16，所述固料投料口3处可启闭安装有相应的盖板17，所述盖板17的一端铰接于所述固料投料口3的一侧，盖板17的另一端通过相应的搭扣锁18锁紧连接到所述固料投料口3的另一侧。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种在线监控的光刻胶反应釜，其特征在于：包括
釜体（1），所述釜体（1）顶部固定装置有相应的封盖（101），所述封盖（101）向上连接有液料进料管（2）、以及固料投料口（3），所述釜体（1）的底部向下连接有安装有出料阀门（4）的排料管（5）；
监测机构（6），包含抽料泵（601）、以及连接于所述抽料泵（601）的进料端、出料端上的进料管（602）、出料管（603），所述进料管（602）、出料管（603）分别连接到所述釜体（1）的内部，所述进料管（602）内固定安装有至少一个相应的滤网（604），所述滤网（604）外侧的进料管（602）上安装有用于对颗粒物料碰撞滤网（604）所产生的声音信号进行获取的声音传感器（605）；
搅拌机构（7），包含转动安装于所述釜体（1）内的搅拌轴（701），所述搅拌轴（701）的上端部可转动安装到所述封盖（101）上，并由固定装置于所述封盖（101）上侧的驱动电机（702）进行驱动，所述搅拌轴（701）的两侧按间隔横向固接有若干个相应的搅拌板（703）；
搅拌加强机构（8），沿所述搅拌轴（701）的转动方向，所述搅拌板（703）的下侧分别向后倾斜设置，且所述搅拌板（703）的中部分别贯穿设置有相应的插接口，所述搅拌加强机构（8）包含可移动插接于所述插接口处的搅拌加强板（801）；当所述搅拌轴（701）的搅拌速度不超过第一阈值时，所述搅拌加强板（801）插接于所述搅拌板（703）的插接口内；当所述搅拌轴（701）的搅拌速度超过第一阈值时，所述搅拌加强板（801）向下移动至所述插接口的外侧，以增加对物料的搅拌面积；
控制系统（9），所述声音传感器（605）和驱动电机（702）分别连接到所述控制系统（9）上，所述驱动电机（702）为速度可调变频电机，驱动电机（702）的工作进程由所述控制系统（9）进行控制。
2.根据权利要求1所述的一种在线监控的光刻胶反应釜，其特征在于：还包括反冲洗机构（10），包含并联连接到所述抽料泵（601）的进料端的反冲洗进料管（1001）、以及并联连接到所述抽料泵（601）的出料端的反冲洗出料管（1002），所述反冲洗进料管（1001）未连接于所述抽料泵（601）的一端连接到所述釜体（1）内部，且所述反冲洗进料管（1001）的进料端包覆连接一相应的微孔径滤布层（19），所述反冲洗出料管（1002）未连接于所述抽料泵（601）的一端连接到所述滤网（604）后侧的进料管（602）上，所述进料管（602）、出料管（603）、反冲洗进料管（1001）、以及所述反冲洗出料管（1002）上分别固定装置有相应的电磁阀（11），所述电磁阀（11）分别连接到所述控制系统（9）上。
3.根据权利要求1所述的一种在线监控的光刻胶反应釜，其特征在于：所述进料管（602）内按间隔固定安装有三个相应的滤网（604），所述滤网（604）外侧的进料管（602）上分别安装有相应的声音传感器（605）；沿所述进料管（602）的进料方向，三个滤网（604）的滤孔递减设置。
4.根据权利要求3所述的一种在线监控的光刻胶反应釜，其特征在于：所述进料管（602）是由四段衔接管件通过法兰连接方式组成，所述滤网（604）的外围分别一体化成型向外连接有相应的垫板（6041），所述垫板（6041）分别固定夹设于相邻两段衔接管件的法兰衔接处，所述声音传感器（605）的检测端分别抵接到相邻两段衔接管件的法兰衔接处。
5.根据权利要求4所述的一种在线监控的光刻胶反应釜，其特征在于：相邻两段衔接管件的法兰衔接处外围分别固定安装有相应的隔声罩（12），所述隔声罩（12）的内侧壁分别安装有一层隔音棉（1201）。
6.根据权利要求1所述的一种在线监控的光刻胶反应釜，其特征在于：所述搅拌加强板（801）的下端部呈斜面状向所述搅拌轴（701）的转动方向一侧设置有相应的挡推板（802）；所述插接口两侧的搅拌板（703）上分别向下固接有相应的导槽（803），所述导槽（803）的开口分别朝内设置，且所述导槽（803）未连接于所述搅拌板（703）的一端之间横向固接有相应的挡位杆件（804），所述挡位杆件（804）的中部设置有一相应的导孔，所述搅拌加强板（801）可沿所述插接口处移动至所述导槽（803）之间，搅拌加强板（801）的下侧中部分别向外固接有一贯穿插接于所述导孔内的导轴（805），所述导轴（805）的下端部固接有一相应的限位板（806），所述限位板（806）与所述挡位杆件（804）之间固定装置有一相应的弹性件（807）；当所述搅拌轴（701）的搅拌速度超过第一阈值时，所述挡推板（802）受到物料的反作用力大于所述弹性件（807）的弹力，所述搅拌加强板（801）被向下驱动至所述插接口的外侧。
7.根据权利要求6所述的一种在线监控的光刻胶反应釜，其特征在于：所述导槽（803）的开口端分别位于所述插接口的两侧壁的内侧，导槽（803）的槽底分别位于所述插接口的两侧壁的外侧，所述导槽（803）行程长度大于所述搅拌加强板（801）的宽度。
8.根据权利要求7所述的一种在线监控的光刻胶反应釜，其特征在于：所述弹性件（807）为螺旋弹簧，所述螺旋弹簧固定套设于所述限位板（806）与所述挡位杆件（804）之间导轴（805）上，且所述螺旋弹簧的两端分别固接于所述限位板（806）与挡位杆件（804）上，所述螺旋弹簧的拉伸行程不小于所述导槽的行程。
9.根据权利要求1所述的一种在线监控的光刻胶反应釜，其特征在于：所述釜体（1）的中部呈夹层状态固接有一相应的内胆（13），所述内胆（13）与釜体（1）形成加热介质流通空间，所述釜体（1）的下侧设置有连通至所述加热介质流通空间的加热介质进入管（14），釜体（1）的上侧设置有连通至所述加热介质流通空间的加热介质排出管（15）。
10.根据权利要求1所述的一种在线监控的光刻胶反应釜，其特征在于：所述液料进料管（2）上固定装置有相应的进料阀门（16），所述固料投料口（3）处可启闭安装有相应的盖板（17），所述盖板（17）的一端铰接于所述固料投料口（3）的一侧，盖板（17）的另一端通过相应的搭扣锁（18）锁紧连接到所述固料投料口（3）的另一侧。
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