CN116328697A - 一种光刻胶生产用原料反应釜及其控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种光刻胶生产用原料反应釜及其控制方法，包括：釜体，通过相应的支撑架固定设置，所述釜体的上端设置有若干进料口，所述釜体的下端设置有出料口；搅拌组件；聚料反应仓，所述聚料反应仓围设于所述转动轴，所述聚料反应仓位于所述搅拌桨的上方，所述聚料反应仓和所述转动轴共同组成可暂时盛放物料的仓体，所述聚料反应仓跟随所述转动轴转动，所述聚料反应仓的开设有若干通孔，其中至少一个进料口的进料位置位于所述聚料反应仓的上方，至少一个进料口的进料位置位于所述聚料反应仓的侧方；控制系统，用于获取所述温度传感器的数据并控制所述加热丝加热。

Description

一种光刻胶生产用原料反应釜及其控制方法

技术领域

本发明涉及光刻胶生产领域，具体指有一种光刻胶生产用原料反应釜及其控制方法。

背景技术

光刻胶( Photoresist)又称光致抗蚀剂,是指通过紫外光、电子束、离子束、X射线等的照射或辐射,其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料。由感光树脂、增感剂和溶剂3种主要成分组成的对光敏感的混合液体。在光刻工艺过程中,用作抗腐蚀涂层材料。半导体材料在表面加工时,若采用适当的有选择性的光刻胶,可在表面上得到所需的图像。

光刻胶包括聚酰亚胺树脂、感光剂、添加剂、溶剂，其中，聚酰亚胺树脂的制备过程中需要将含有羧基的二胺单体、其他有机溶剂在室温下搅拌，然后，向反应瓶中持续缓慢滴加甲苯，并加热从而生成高粘稠度的聚酰亚胺树脂。然后，将聚酰亚胺树脂、感光剂、添加剂、溶剂等加入反应釜中，最后通过反应釜中的搅拌叶的搅拌，使全部的物料混合均匀并充分反应。现有的反应釜只是将光刻胶的原料依次放入、搅拌，存在如下问题：1、反应釜中的原料需要在不同的温度中进行，反应釜内无法对不同的材料控制不同的温度；2、反应釜中的原料包含高粘稠度的聚酰亚胺树脂和低粘稠度的其他溶剂，搅拌过程中反应釜难以将高稠度的物质打散使其与其他溶剂充分接触。

针对上述的现有技术存在的问题设计一种光刻胶生产用原料反应釜及其控制方法是本发明研究的目的。

发明内容

针对上述现有技术存在的问题，本发明在于提供一种光刻胶生产用原料反应釜及其控制方法，能够有效解决上述现有技术存在的至少一个问题。

本发明的技术方案是：

一种光刻胶生产用原料反应釜，包括：

釜体，通过相应的支撑架固定设置，所述釜体的上端设置有若干进料口，所述釜体的下端设置有出料口；

搅拌组件，包括转动电机和搅拌桨，所述转动电机设置于所述釜体的顶端，所述转动电机的转动轴伸入所述釜体内部，所述搅拌桨设置于所述转动轴的下半部分从而跟随所述转动轴转动；

聚料反应仓，所述聚料反应仓围设于所述转动轴，所述聚料反应仓位于所述搅拌桨的上方，所述聚料反应仓和所述转动轴共同组成可暂时盛放物料的仓体，所述聚料反应仓跟随所述转动轴转动，所述聚料反应仓开设有若干通孔，其中至少一个进料口的进料位置位于所述聚料反应仓的上方，至少一个进料口的进料位置位于所述聚料反应仓的侧方；

加热丝，设置于所述聚料反应仓的内壁，用于对所述聚料反应仓内的物料进行加温或保温；

温度传感器，设置于所述聚料反应仓的内壁；

控制系统，用于获取所述温度传感器的数据并控制所述加热丝加热。

进一步地，包括若干挡板和驱动装置，所述挡板被下放时可挡住所述通孔从而使所述聚料反应仓内可盛放物料，所述挡板被拉起时可敞开所述通孔从而使所述聚料反应仓内的物料从所述通孔流出，所述驱动装置用于驱动所述挡板下放或被拉起。

进一步地，所述挡板设置有若干堵头，所述堵头的位置与所述通孔的位置相对应，所述挡板被下放时所述堵头可堵设所述通孔。

进一步地，若干所述挡板拼合后形成与所述聚料反应仓的下半部分相仿的形状，所述驱动装置包括若干牵拉件和驱动件，所述驱动件套接于所述转动轴对应所述聚料反应仓的上方，所述驱动件可上下活动，所述驱动件通过若干所述牵拉件分别铰接至相应的挡板，所述驱动件向上活动时所述挡板被拉起，所述驱动件向下活动时所述挡板被下放。

进一步地，所述驱动件为丝杆组件，所述丝杆组件包括丝杆电机、丝杆、丝杆螺母、连接座，所述丝杆螺母和所述连接座固定连接，所述连接座套接于所述转动轴对应所述聚料反应仓的上方，所述丝杆电机固定设置于所述转动轴，所述丝杆电机通过所述丝杆驱动所述丝杆螺母上下活动，从而驱动所述连接座上下活动，所述牵拉件铰接于所述连接座和所述挡板之间。

进一步地，包括循环系统，所述循环系统的进料端开设于所述釜体的底端，所述循环系统的出料端设置于所述釜体的顶端对应所述聚料反应仓的上方的位置，所述循环系统用于将釜体底端的物料抽至所述聚料反应仓内。

进一步地，两个粘度传感器，其中一个粘度传感器设置于所述搅拌桨的底端，另一个粘度传感器设置于所述搅拌桨的顶端，所述控制系统连接至两个所述粘度传感器，当两个粘度传感器的粘度数据相差第一阈值以上时，所述控制系统控制所述循环系统开始工作。

一种光刻胶生产用原料反应釜的控制方法，基于所述的一种光刻胶生产用原料反应釜，包括以下步骤：

S1，通过进料位置位于所述聚料反应仓的侧方的进料口添加含有羧基的二胺单体、其他有机溶剂，使含有羧基的二胺单体和其他有机溶剂落于所述釜体底端，控制所述转动电机驱动所述搅拌桨进行搅拌；

S2，控制所述转动电机停止驱动所述搅拌桨，下放所述挡板挡住所述通孔，将搅拌后均匀混合的含有羧基的二胺单体和其他有机溶剂通过所述循环系统抽取至所述聚料反应仓内，通过进料位置位于所述聚料反应仓的上方的进料口添加甲苯至所述聚料反应仓内，控制所述加热丝使所述聚料反应仓内液体加热，生成聚酰亚胺树脂；

S3，通过进料位置位于所述聚料反应仓的侧方的进料口添加感光剂、添加剂、溶剂，拉起所述挡板敞开所述通孔，控制所述转动电机驱动所述聚料反应仓和所述搅拌桨转动，使所述搅拌桨搅拌感光剂、添加剂、溶剂，并使所述聚料反应仓内的聚酰亚胺树脂在离心力的作用下通过所述通孔洒落至所述釜体内，使聚酰亚胺树脂分散，同时搅拌聚酰亚胺树脂、感光剂、添加剂、溶剂；

S4，控制所述转动电机持续驱动所述搅拌桨转动，最终得到均匀混合的聚酰亚胺树脂、感光剂、添加剂、溶剂，制得光刻胶。

进一步地，步骤S4中，控制所述转动电机持续驱动所述搅拌桨转动的过程中，通过两个所述粘度传感器分别获取所述反应釜底部和中部的液体粘度，若反应釜底部和中部的液体粘度相差第一阈值以上时，控制所述循环系统将所述釜体底端的液体抽取至所述聚料反应仓内，拉起所述挡板敞开所述通孔，使所述聚料反应仓内的液体在离心力的作用下通过所述通孔洒落至所述釜体内，使所述聚料反应仓内的液体分散并与釜体内的液体混合。

进一步地，步骤S4中，若反应釜底部和中部的液体粘度相差第一阈值以上时，控制所述循环系统将所述釜体底端的液体抽取至所述聚料反应仓内之后，拉起所述挡板敞开所述通孔之前，执行：

控制所述加热丝加热所述聚料反应仓内的液体。

因此，本发明提供以下的效果和/或优点：

聚料反应仓可以是圆锥状的筒形结构，其底端套接固定在转动轴上，从而在转动轴上围设出一个区域，该区域可以用于盛放反应原料或者中间反应产物等，可以将反应釜内部进行区域划分，该区域用于对少量的原料进行加热、反应。

同时，本申请通过聚料反应仓设置的通孔，在聚料反应仓旋转且通孔敞开的情况下，聚料反应仓内的液体可以在离心力的作用下从通孔甩出，以将聚料反应仓内的原料像花洒那样分散喷出，从而分散聚料反应仓内的原料至釜体内。

本申请通过挡板的下防和上拉，可以关闭或敞开聚料反应仓的通孔。关闭通孔时，聚料反应仓可以作为反应、盛放液体的仓体，打开通孔时，聚料反应仓可以作为喷洒内部液体的部件。

本申请设置有循环系统，通过所述循环系统的出料端设置于所述釜体的顶端对应所述聚料反应仓的上方的位置，使含有大量聚酰亚胺树脂的液体抽起后落于所述聚料反应仓内。再通过所述聚料反应仓内的通孔的作用将含有大量聚酰亚胺树脂的液体重新打散并洒落于釜体内，继续进行搅拌，使多种液体充分混合。

应当明白，本发明的上文的概述和下面的详细说明是示例性和解释性的，并且意在提供对如要求保护的本发明的进一步的解释。

附图说明

图1为本发明的其中一个实施例的结构示意图。

图2为图1的局部放大示意图。

图3为挡板被拉起后敞开通孔的示意图。

图4为聚料反应仓内的液体通过通孔洒出的工作状态示意图。

具体实施方式

为了便于本领域技术人员理解，现将实施例结合附图对本发明的结构作进一步详细描述：

参考图1-4，一种光刻胶生产用原料反应釜，包括：

釜体1，通过相应的支撑架固定设置，所述釜体1的上端设置有若干进料口2，所述釜体1的下端设置有出料口3；

搅拌组件，包括转动电机401和搅拌桨403，所述转动电机401设置于所述釜体1的顶端，所述转动电机401的转动轴402伸入所述釜体1内部，所述搅拌桨403设置于所述转动轴402的下半部分从而跟随所述转动轴402转动；

本实施例中，釜体1和搅拌组件均为现有技术的直接采用。釜体1可以是采用内部可密封的结构，从而可以提供在惰性气体下的反应环境，以适用于光刻胶的生产等。

聚料反应仓5，所述聚料反应仓5围设于所述转动轴402，所述聚料反应仓5位于所述搅拌桨403的上方，所述聚料反应仓5和所述转动轴402共同组成可暂时盛放物料的仓体，所述聚料反应仓5跟随所述转动轴402转动，所述聚料反应仓5开设有若干通孔501，其中至少一个进料口2的进料位置位于所述聚料反应仓5的上方，至少一个进料口2的进料位置位于所述聚料反应仓5的侧方；

本实施例的聚料反应仓5是核心改进点。聚料反应仓5可以是圆锥状的筒形结构，其底端套接固定在转动轴402上，从而在转动轴402上围设出一个区域，该区域可以用于盛放反应原料或者中间反应产物等。进料位置位于所述聚料反应仓5的上方的意思是该进料口进料后，物料在重力作用下自然下落后落于聚料反应仓5内。进料位置位于所述聚料反应仓5的侧方的意思是该进料口进料后，物料在重力作用下自然下落后落于聚料反应仓5外。

具体地，在光刻胶的生产过程中，需要先生产聚酰亚胺树脂。而生产聚酰亚胺树脂需要搅拌、加热等环境，例如在氮气保护下向干燥的三颈瓶中依次加入R含有羧基的二胺单体、其他不含羧基的二胺单体、二酐单体和有机溶剂，室温下搅拌2-12小时，然后，向反应瓶中持续缓慢滴加甲苯，并升温至160℃，保持160℃下继续反应4-8小时，使甲苯和水共沸脱除。反应结束后，将所得到的高度粘稠的聚合物溶液，即为聚酰亚胺树脂。因此，本实施例通过聚料反应仓5的设置，在釜体1内围设出一个独立的区域，在聚料反应仓5内可以进行加热、搅拌等操作。并且，由于釜体1的体积较大，现有的釜体1加热的方法是在反应釜的外围设置热水循环管道，通过在其外部设置流动的热水或蒸汽从而对反应釜的内部进行加热。由于聚酰亚胺树脂在光刻胶的比例大约占15%左右，其比例较低，如果对整个釜体1进行加热那么必然加热速度慢，且浪费大量资源。本实施例改变了现有技术，在釜体1内围设出一个独立的区域，可以在聚料反应仓5对其内部的物料进行单独的加热，从而快速升温，节约能源。

并且，由于聚酰亚胺树脂的粘稠度较高，且降温后容易变硬，难以与其他溶剂进行混合。本实施例通过所述聚料反应仓5和所述转动轴402共同组成可暂时盛放物料的仓体，然后，可以打开聚料反应仓5，从而将加热后变得柔软的聚酰亚胺树脂放入到釜体1内，进行搅拌的过程中使其快速均匀混合。

加热丝6，设置于所述聚料反应仓5的内壁，用于对所述聚料反应仓5内的物料进行加温或保温；

温度传感器（未画出），设置于所述聚料反应仓5的内壁；

控制系统（未画出），用于获取所述温度传感器的数据并控制所述加热丝6加热。

本实施例的加热丝6有两个作用，一是加热原料温度使聚料反应仓5内的液体达到反应温度，二是保持聚料反应仓5内的温度，使反应得到的聚酰亚胺树脂保持松软的状态。

同时，本实施例中为了防止釜体、搅拌桨、聚料反应仓、转动轴等的本身金属表面产生金属离子污染内部的反应原料，本实施例中可以在釜体、搅拌桨、聚料反应仓、转动轴的外表面涂覆抗腐蚀涂料。

进一步地，包括若干挡板7和驱动装置8，所述挡板7被下放时可挡住所述通孔501从而使所述聚料反应仓5内可盛放物料，所述挡板7被拉起时可敞开所述通孔501从而使所述聚料反应仓5内的物料从所述通孔501流出，所述驱动装置8用于驱动所述挡板7下放或被拉起。

本实施例中，参考图2-3，通过挡板7的盖设作用，以及驱动装置8对挡板7的驱动作用，从而能够下方或拉起挡板7。当挡板被下放时可盖住所述通孔501，从而使所述聚料反应仓5内形成下端面密封的结构，用于在聚料反应仓5内盛放物料，当所述挡板7被拉起时可暴露所述通孔501，从而使所述聚料反应仓5底端的通孔501可以流出液体。

聚料反应仓5设置通孔501的作用是，在聚料反应仓5被驱动旋转时，聚料反应仓5内的原料在离心作用下会从通孔501加速甩出。并且，本实施例中的通孔501是呈阵列分布的，可以将聚料反应仓5内的原料像花洒那样分散喷出，从而分散聚料反应仓5内的原料至釜体1内。

进一步地，所述挡板7设置有若干堵头701，所述堵头701的位置与所述通孔501的位置相对应，所述挡板7被下放时所述堵头701可堵设所述通孔501。

本实施例中，堵头701与通孔501相配合，从而开放或关闭通孔501。并且，堵头701与通孔501相配合的结构，比起单纯挡板7的盖设作用更佳。

进一步地，若干所述挡板7拼合后形成与所述聚料反应仓5的下半部分相仿的形状，所述驱动装置8包括若干牵拉件和驱动件，所述驱动件套接于所述转动轴对应所述聚料反应仓5的上方，所述驱动件可上下活动，所述驱动件通过若干所述牵拉件805分别铰接至相应的挡板7，所述驱动件向上活动时所述挡板7被拉起，所述驱动件向下活动时所述挡板7被下放。

本实施例中，挡板7的底端铰接在聚料反应仓5的中心处，从而实现挡板7的摆动结构。并且，所述聚料反应仓5如果是圆锥状，则多个挡板7拼合后也形成圆锥状结构。每个挡板7可以覆盖聚料反应仓5的内壁的一部分，拼合后的所有挡板7可完全覆盖聚料反应仓5下半部分的内壁。通过驱动件驱动牵拉件805对挡板7的上拉或下放作用，可以控制挡板7的位置，上拉或下放的过程中，挡板7以其底端为铰接点进行摆动。

进一步地，所述驱动件为丝杆组件，所述丝杆组件包括丝杆电机801、丝杆802、丝杆螺母804、连接座803，所述丝杆螺母804和所述连接座803固定连接，所述连接座803套接于所述转动轴402对应所述聚料反应仓5的上方，所述丝杆电机801固定设置于所述转动轴402，所述丝杆电机801通过所述丝杆802驱动所述丝杆螺母804上下活动，从而驱动所述连接座803上下活动，所述牵拉件805铰接于所述连接座803和所述挡板7之间。

本实施例中通过丝杆组件控制连接座803的上下活动，从而通过牵拉件805驱动挡板7的位置。在其他实施例中，驱动件也可以是电动缸等结构，在此不做限定。

进一步地，包括循环系统9，所述循环系统9的进料端开设于所述釜体1的底端，所述循环系统9的出料端设置于所述釜体1的顶端对应所述聚料反应仓5的上方的位置，所述循环系统9用于将釜体1底端的物料抽至所述聚料反应仓5内。

由于光刻胶的原料聚酰亚胺树脂难溶于其他溶剂中，因此在搅拌的过程中容易聚集在釜体1的底端中心的位置。本实施例通过在釜体1的底端开设所述循环系统9的进料端，通过循环系统9对釜体1底端的物料进行抽取，从而可以将难以被打散的液体抽起。再通过所述循环系统9的出料端设置于所述釜体1的顶端对应所述聚料反应仓5的上方的位置，使含有大量聚酰亚胺树脂的液体抽起后落于所述聚料反应仓5内。再通过所述聚料反应仓5内的通孔501的作用将含有大量聚酰亚胺树脂的液体重新打散并洒落于釜体1内，继续进行搅拌。一来改变了含有大量聚酰亚胺树脂的液体的位置，二来打散了含有大量聚酰亚胺树脂的液体使其均匀地从通孔501洒出从而于釜体1内的液体充分混合。

进一步地，两个粘度传感器10，其中一个粘度传感器10设置于所述搅拌桨403的底端，另一个粘度传感器10设置于所述搅拌桨403的顶端，所述控制系统连接至两个所述粘度传感器10，当两个粘度传感器10的粘度数据相差第一阈值以上时，所述控制系统控制所述循环系统9开始工作。

本实施例中，通过设置一上一下的粘度传感器10，粘度传感器10跟随搅拌桨403运动，可以分别检测釜体1内液体的上端和下端的粘度。若两者的粘度差距过大，大于第一阈值，则可以认为釜体1内液体没有被很好的搅拌均匀，且难以被搅拌均匀。此时控制所述循环系统9开始工作，可以将釜体1底端的液体抽出到所述聚料反应仓5内，再通过所述聚料反应仓5内将该液体分散洒出。

进一步提供一种光刻胶生产用原料反应釜的控制方法，基于所述的一种光刻胶生产用原料反应釜，包括以下步骤：

S1，通过进料位置位于所述聚料反应仓的侧方的进料口添加含有羧基的二胺单体、其他有机溶剂，使含有羧基的二胺单体和其他有机溶剂落于所述釜体底端，控制所述转动电机驱动所述搅拌桨进行搅拌；

本步骤为现有技术的直接采用，在氮气保护下向干燥的三颈瓶中依次加入R含有羧基的二胺单体、其他不含羧基的二胺单体、二酐单体和有机溶剂，室温下搅拌2-12小时，然后，向反应瓶中持续缓慢滴加甲苯，并升温至160℃，保持160℃下继续反应4-8小时，使甲苯和水共沸脱除。反应结束后，将所得到的高度粘稠的聚合物溶液，即为聚酰亚胺树脂。

本步骤的特点在于，本步骤通过进料位置位于所述聚料反应仓的侧方的进料口添加含有羧基的二胺单体、其他有机溶剂，使其落在釜体内，可以通过釜体内的搅拌桨进行搅拌。

S2，控制所述转动电机停止驱动所述搅拌桨，下放所述挡板挡住所述通孔，将搅拌后均匀混合的含有羧基的二胺单体和其他有机溶剂通过所述循环系统抽取至所述聚料反应仓内，通过进料位置位于所述聚料反应仓的上方的进料口添加甲苯至所述聚料反应仓内，控制所述加热丝使所述聚料反应仓内液体加热，生成聚酰亚胺树脂；

然后，搅拌均匀后的液体抽取到所述聚料反应仓。在聚料反应仓内可以提供加热功能，使其开始反应，生成高粘稠度的反应产物。

S3，通过进料位置位于所述聚料反应仓的侧方的进料口添加感光剂、添加剂、溶剂，拉起所述挡板敞开所述通孔，控制所述转动电机驱动所述聚料反应仓和所述搅拌桨转动，使所述搅拌桨搅拌感光剂、添加剂、溶剂，并使所述聚料反应仓内的聚酰亚胺树脂在离心力的作用下通过所述通孔洒落至所述釜体内，使聚酰亚胺树脂分散，同时搅拌聚酰亚胺树脂、感光剂、添加剂、溶剂；

本步骤通过拉起所述挡板敞开所述通孔，此时在所述聚料反应仓旋转的过程中，所述聚料反应仓内的物料在离心力的作用下通过所述通孔洒落至所述釜体内，能够将高粘稠度的聚酰亚胺树脂分散到低粘稠度的感光剂、添加剂、溶剂等，再在搅拌桨的搅拌作用下混合。

S4，控制所述转动电机持续驱动所述搅拌桨转动，最终得到均匀混合的聚酰亚胺树脂、感光剂、添加剂、溶剂，制得光刻胶。

进一步地，步骤S4中，控制所述转动电机持续驱动所述搅拌桨转动的过程中，通过两个所述粘度传感器分别获取所述反应釜底部和中部的液体粘度，若反应釜底部和中部的液体粘度相差第一阈值以上时，控制所述循环系统将所述釜体底端的液体抽取至所述聚料反应仓内，拉起所述挡板敞开所述通孔，使所述聚料反应仓内的液体在离心力的作用下通过所述通孔洒落至所述釜体内，使所述聚料反应仓内的液体分散并与釜体内的液体混合。

本步骤中，第一阈值可以根据实际生产过程中的经验进行设定，在此不做限定。通过循环系统的作用，可以将不同粘稠度的液体进行混合。

进一步地，步骤S4中，若反应釜底部和中部的液体粘度相差第一阈值以上时，控制所述循环系统将所述釜体底端的液体抽取至所述聚料反应仓内之后，拉起所述挡板敞开所述通孔之前，执行：

控制所述加热丝加热所述聚料反应仓内的液体。

通过加热丝加热所述聚料反应仓内的液体，可以使高粘稠度的液体快速软化，从而更好地与其他液体进行混合。

应当注意的是，在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的部件或步骤。位于部件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的部件。本发明可以借助于包括有若干不同部件的硬件以及借助于适当编程的计算机来实现。在列举了若干装置的单元权利要求中，这些装置中的若干个可以是通过同一个硬件项来具体体现。单词第一、第二、以及第三等的使用不表示任何顺序。可将这些单词解释为名称。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、 “示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不应理解为必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

Claims (10)

1.一种光刻胶生产用原料反应釜，其特征在于：包括：

釜体，通过相应的支撑架固定设置，所述釜体的上端设置有若干进料口，所述釜体的下端设置有出料口；

搅拌组件，包括转动电机和搅拌桨，所述转动电机设置于所述釜体的顶端，所述转动电机的转动轴伸入所述釜体内部，所述搅拌桨设置于所述转动轴的下半部分从而跟随所述转动轴转动；

聚料反应仓，所述聚料反应仓围设于所述转动轴，所述聚料反应仓位于所述搅拌桨的上方，所述聚料反应仓和所述转动轴共同组成可暂时盛放物料的仓体，所述聚料反应仓跟随所述转动轴转动，所述聚料反应仓开设有若干通孔，其中至少一个进料口的进料位置位于所述聚料反应仓的上方，至少一个进料口的进料位置位于所述聚料反应仓的侧方；

加热丝，设置于所述聚料反应仓的内壁，用于对所述聚料反应仓内的物料进行加温或保温；

温度传感器，设置于所述聚料反应仓的内壁；

控制系统，用于获取所述温度传感器的数据并控制所述加热丝加热。

2.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产用原料反应釜，其特征在于：包括若干挡板和驱动装置，所述挡板被下放时可挡住所述通孔从而使所述聚料反应仓内可盛放物料，所述挡板被拉起时可敞开所述通孔从而使所述聚料反应仓内的物料从所述通孔流出，所述驱动装置用于驱动所述挡板下放或被拉起。

3.根据权利要求2所述的一种光刻胶生产用原料反应釜，其特征在于：所述挡板设置有若干堵头，所述堵头的位置与所述通孔的位置相对应，所述挡板被下放时所述堵头可堵设所述通孔。

4.根据权利要求2所述的一种光刻胶生产用原料反应釜，其特征在于：若干所述挡板拼合后形成与所述聚料反应仓的下半部分相仿的形状，所述驱动装置包括若干牵拉件和驱动件，所述驱动件套接于所述转动轴对应所述聚料反应仓的上方，所述驱动件可上下活动，所述驱动件通过若干所述牵拉件分别铰接至相应的挡板，所述驱动件向上活动时所述挡板被拉起，所述驱动件向下活动时所述挡板被下放。

5.根据权利要求4所述的一种光刻胶生产用原料反应釜，其特征在于：所述驱动件为丝杆组件，所述丝杆组件包括丝杆电机、丝杆、丝杆螺母、连接座，所述丝杆螺母和所述连接座固定连接，所述连接座套接于所述转动轴对应所述聚料反应仓的上方，所述丝杆电机固定设置于所述转动轴，所述丝杆电机通过所述丝杆驱动所述丝杆螺母上下活动，从而驱动所述连接座上下活动，所述牵拉件铰接于所述连接座和所述挡板之间。

6.根据权利要求2所述的一种光刻胶生产用原料反应釜，其特征在于：包括循环系统，所述循环系统的进料端开设于所述釜体的底端，所述循环系统的出料端设置于所述釜体的顶端对应所述聚料反应仓的上方的位置，所述循环系统用于将釜体底端的物料抽至所述聚料反应仓内。

7.根据权利要求6所述的一种光刻胶生产用原料反应釜，其特征在于：两个粘度传感器，其中一个粘度传感器设置于所述搅拌桨的底端，另一个粘度传感器设置于所述搅拌桨的顶端，所述控制系统连接至两个所述粘度传感器，当两个粘度传感器的粘度数据相差第一阈值以上时，所述控制系统控制所述循环系统开始工作。

8.一种光刻胶生产用原料反应釜的控制方法，基于权利要求7所述的一种光刻胶生产用原料反应釜，其特征在于：包括以下步骤：

S1，通过进料位置位于所述聚料反应仓的侧方的进料口添加含有羧基的二胺单体、其他有机溶剂，使含有羧基的二胺单体和其他有机溶剂落于所述釜体底端，控制所述转动电机驱动所述搅拌桨进行搅拌；

S2，控制所述转动电机停止驱动所述搅拌桨，下放所述挡板挡住所述通孔，将搅拌后均匀混合的含有羧基的二胺单体和其他有机溶剂通过所述循环系统抽取至所述聚料反应仓内，通过进料位置位于所述聚料反应仓的上方的进料口添加甲苯至所述聚料反应仓内，控制所述加热丝使所述聚料反应仓内液体加热，生成聚酰亚胺树脂；

S3，通过进料位置位于所述聚料反应仓的侧方的进料口添加感光剂、添加剂、溶剂，拉起所述挡板敞开所述通孔，控制所述转动电机驱动所述聚料反应仓和所述搅拌桨转动，使所述搅拌桨搅拌感光剂、添加剂、溶剂，并使所述聚料反应仓内的聚酰亚胺树脂在离心力的作用下通过所述通孔洒落至所述釜体内，使聚酰亚胺树脂分散，同时搅拌聚酰亚胺树脂、感光剂、添加剂、溶剂；

S4，控制所述转动电机持续驱动所述搅拌桨转动，最终得到均匀混合的聚酰亚胺树脂、感光剂、添加剂、溶剂，制得光刻胶。

9.根据权利要求8所述的一种光刻胶生产用原料反应釜的控制方法，其特征在于：步骤S4中，控制所述转动电机持续驱动所述搅拌桨转动的过程中，通过两个所述粘度传感器分别获取所述反应釜底部和中部的液体粘度，若反应釜底部和中部的液体粘度相差第一阈值以上时，控制所述循环系统将所述釜体底端的液体抽取至所述聚料反应仓内，拉起所述挡板敞开所述通孔，使所述聚料反应仓内的液体在离心力的作用下通过所述通孔洒落至所述釜体内，使所述聚料反应仓内的液体分散并与釜体内的液体混合。

10.根据权利要求9所述的一种光刻胶生产用原料反应釜的控制方法，其特征在于：步骤S4中，若反应釜底部和中部的液体粘度相差第一阈值以上时，控制所述循环系统将所述釜体底端的液体抽取至所述聚料反应仓内之后，拉起所述挡板敞开所述通孔之前，执行：

控制所述加热丝加热所述聚料反应仓内的液体。

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