CN116429380A - 试验装置、试验方法及计算机可读取媒体 - Google Patents

Abstract

本发明所要解决的问题在于：利用以下方法无法一并检查复数个LED的光学特性，所述方法是使成为检查对象的一对LED中的一个发光，并以另一个受光，使用通过光电效应所输出的电流的电流值，来检查LED的光学特性。为了解决上述问题，本发明提出一种试验装置，具备：电性连接部，其电性连接至成为试验对象的复数个LED各自的端子；光源部，其一并对复数个LED照射光；测定部，其测定光电信号，所述光电信号是复数个LED分别对被光源部照射的光进行光电转换，并经由电性连接部输出；及，判定部，其基于测定部的测定结果来判定复数个LED各自的良否。

Description

试验装置、试验方法及计算机可读取媒体

本发明专利申请是申请号为202010290804.5，名称为“试验装置、试验方法及计算机可读取媒体”的发明专利申请的分案申请，原申请的申请日为：2020年04月14日。

技术领域

本发明关于一种试验装置、试验方法及计算机可读取媒体。

背景技术

已知一种方法，其使成为检查对象的一对LED(发光二极管)中的一个发光并以另一个受光，使用通过光电效应而输出的电流的电流值来检查LED的光学特性(参照例如专利文献1、2)。

[现有技术文献]

(专利文献)

专利文献1：日本特表2019-507953号公报

专利文献2：日本特开2010-230568号公报

发明内容

发明所要解决的问题

然而，在上述的方法中，需要使各LED依序发光以进行检查，而无法一并检查复数个LED的光学特性。

解决问题的技术手段

在本发明的一实施方式中，提供一种试验装置。试验装置具备：电性连接部，其电性连接至成为试验对象的复数个LED各自的端子；具备光源部，其一并对复数个LED照射光；测定部，其测定光电信号，所述光电信号是复数个LED分别对被光源部照射的光进行光电转换，并经由电性连接部输出；判定部，其基于测定部的测定结果来判定复数个LED各自的良否。

电性连接部也可配置于光源部及复数个LED之间。电性连接部也可具有基板，所述基板具有开口，所述开口使来自光源部的光朝向复数个LED而通过。电性连接部也可具有复数个探针，其分别从基板朝向露出至开口内的复数个LED延伸，并接触复数个LED各自的端子。

试验装置也可进一步具备载置部，其载置有LED群。电性连接部，也可通过载置部以载置有LED群的状态移动，而从LED群中依次切换成为试验对象的连接处的复数个LED的群组。测定部也可测定光电信号，所述光电信号来自电性连接部依次连接的复数个LED的群组。

判定部，也可将复数个LED中的所测定的光电信号在正常范围外的至少一个LED，判定为不良。

作为正常范围，也可使用以下范围，也就是以与复数个LED分别输出的光电信号相对应的统计量作为基准的范围。

作为正常范围，也可使用以下范围，也就是在一边从LED群中依次改变成为试验对象的复数个LED的群组并一边进行复数次测定而得的测定结果中，以与在复数个LED的群组之间被配置于相同位置的LED所输出的光电信号相对应的统计量，作为基准的范围。

光源部也可发出白色光。

光源部也能够切换色成分不同的复数种光。

光源部也可具有复数种彩色滤光片，通过使光分别通过复数种彩色滤光片，分别发出复数种光。

光源部也可具有光波长不同的复数个光源。光源部也可通过切换复数个光源，分别发出色成分不同的复数种光。

试验装置也可进一步具备遮蔽部，所述遮蔽部遮蔽除了来自光源部的光以外的光。

在本发明的一实施方式中，提供一种试验方法。试验方法具备：连接阶段，其将电性连接部电性连接至成为试验对象的复数个LED各自的端子；照射阶段，其一并对复数个LED照射光；测定阶段，其测定光电信号，所述光电信号是复数个LED分别对被照射的光进行光电转换，并经由电性连接部输出；判定阶段，其基于测定阶段的测定结果来判定复数个LED各自的良否。

在本发明的一实施方式中，提供一种计算机可读取媒体，其记忆有程序，所述程序通过对复数个LED进行试验的试验装置来执行，并用于使试验装置执行上述的试验方法。

再者，上述的发明内容，并非列举本发明的全部必要特征。又，这些特征群的子组合也可成为发明。

附图说明

图1是示出对复数个LED10进行试验的试验装置100的概况的整体图的一例。

图2是载置部150、被载置于载置部150上的LED群、及复数个探针113接触LED群中的特定复数个LED10的群组的状态的电性连接部110的侧视图的一例(A)及平面图的一例(B)。

图3是说明通过试验装置100所实施的试验方法的流程的流程图的一例。

图4是示出对复数个LED20进行试验的试验装置200的概况的整体图的一例。

图5是示出对复数个LED30进行试验的试验装置300的概况的整体图的一例。

图6是示出本发明的复数个实施方式可全体或部分地具体化的计算机1200的一例的图。

附图标记说明如下：

10、20、30：LED

11、21、31：端子

15、25、35：晶圆

100、200、300：试验装置

110、210：电性连接部

111、211：基板

112：开口

113、213：探针

120：光源部

121：光源

122：平行光

123：透镜单元

124：滤光片切换部

125：彩色滤光片

130：测定部

140：控制部

145：储存部

150：载置部

160：遮蔽部

1200：计算机

1201：DVD-ROM

1210：主机控制器

1212：CPU

1214：RAM

1216：图形控制器

1218：显示设备

1220：输入输出控制器

1222：通讯接口

1224：硬盘驱动器

1226：DVD-ROM驱动器

1230：ROM

1240：输入输出芯片

1242：键盘

具体实施方式

以下，通过发明的实施方式来说明本发明，以下的实施方式并非限定权利要求的范围的发明。又，实施方式中所说明的特征的组合并非全是发明的解决手段所必需的。再者，在图式中，相同或类似的部分有时会标注相同的附图标记并省略重复说明。

图1是示出对复数个LED10进行试验的试验装置100的概况的整体图的一例。在图1中，X轴、Z轴及Y轴是以相互正交的方式示出，其中，X轴是面向纸面时右方成为+X方向的轴，Z轴是面向纸面时上方向成为+Z方向的轴，Y轴是面向纸面时纵深方向成为+Y方向的轴。下文中，有时使用这三个轴进行说明。

试验装置100，利用LED10的光电效应，并基于从被光照射的LED10输出的光电信号，一并对复数个LED10的光学特性进行试验。试验装置100，具备：电性连接部110、光源部120、测定部130及控制部140。本实施方式中的试验装置100，也可进一步具备储存部145、载置部150及遮蔽部160。

本实施方式中的试验装置100，例如，将在晶圆15上形成有复数个LED10的LED群载置于载置部150上，其中晶圆15是未设置电气配线的裸硅晶圆，在该状态下，一并对LED群中的特定复数个LED10的群组的光学特性进行试验。本实施方式中的LED10是尺寸为100μm以下的微型LED。再者，LED10，除了微型LED以外，也可为尺寸大于100μm且200μm以下的迷你LED、或尺寸大于200μm的LED。

又，本实施方式中的复数个LED10，在晶圆15上，并非相互地电性连接，且为单色。再者，复数个LED10也可形成于设置有电气配线的晶圆上、或具有大致方形的外形的玻璃基底的面板(Panel level packaging；PLP)上，并相互地电性连接且被单元化或单元格(cell)化，此时，也可通过例如从RGB(红绿蓝)各自的单色晶圆激光剥离并转送的技术、和在RGB中的任一种单色晶圆上染色或涂布荧光涂料的技术等，来掺杂RGB的各色。

电性连接部110是例如探针卡(探针基板)，电性连接至成为试验对象的复数个LED10各自的端子11。本实施方式中的电性连接部110，进而，使载置部150在载置有LED群的状态下移动，由此，从被载置于载置部150上的LED群中依次切换成为试验对象的连接处的复数个LED的群组。本实施方式中的电性连接部110，配置于光源部120及复数个LED10之间，具有基板111、及复数个探针113。

基板111具有开口112，该开口112使来自光源部120的光朝向复数个LED10而通过。在图1中，以虚线示出开口112。

复数个探针113，分别从基板111朝向露出至开口112内的复数个LED10延伸，并接触该复数个LED10各自的端子11。各探针113中的接触端子11的一端的相反侧的另一端，电性连接至被设置在基板111上的电气配线。复数个探针113的复数个电气配线，从基板111的侧面延伸，并电性连接至测定部130。

再者，复数个探针113，较佳为具有彼此相同的形状及尺寸，且与接触的LED10之间的距离彼此相等，以使复数个LED10各自的受光量彼此相等。又，复数个探针113较佳为分别进行镀覆或涂色，以使光不会在探针113的表面发生漫反射。

光源部120一并对复数个LED10照射光。本实施方式中的光源部120，能够切换色成分不同的复数种光。本实施方式中的光源部120，具有光源121、透镜单元123、彩色滤光片125及滤光片切换部124。

光源121是例如卤素灯，发射出RGB的各波长均匀的白色光。透镜单元123包含一或复数个透镜，与光源121的照射部邻接设置，使从光源121照射的漫射光成为平行光122。在图1中，以斜线示出平行光122。该平行光122在XY平面上的投影面，至少覆盖基板111的开口112。

彩色滤光片125可为例如红色滤光片、绿色滤光片及蓝色滤光片等复数种彩色滤光片125中的任一个，其吸收射入的白色光所包含的特定波长带的光，并使剩余的光穿过。在本实施方式中，利用具有这些复数种彩色滤光片125的光源部120，通过使光分别通过复数种彩色滤光片125，可分别发射出色成分不同的复数种光。

滤光片切换部124，与透镜单元123邻接设置，且持有复数种彩色滤光片125，对使来自透镜单元123的平行光122射入的彩色滤光片125进行切换。再者，滤光片切换部124，也可切换为使来自透镜单元123的平行光122不射入至任一彩色滤光片125，此时，来自光源121的白色光直接照射至复数个LED10。

测定部130测定光电信号，所述光电信号是复数个LED10分别对被光源部120照射的光进行光电转换，并经由电性连接部110输出。本实施方式中的测定部130，对来自电性连接部110依次连接的复数个LED10的群组的光电信号进行测定。

更具体而言，本实施方式中的测定部130连接至电气配线，所述电气配线电性连接至电性连接部110的各探针113，所述测定部130对被载置于载置部150上的LED群中的从被切换为接触复数个探针113的复数个LED10的群组输出的电流的电流值进行测定。再者，测定部130也可不测定该电流值，而测定与该电流值相对应的电压值。

控制部140对试验装置100的各构造进行控制。本实施方式中的控制部140，通过控制光源部120的光源121及滤光片切换部124，对一并照射至复数个LED10的平行光122的照射时间、波长及强度进行控制。本实施方式中的控制部140，进而通过控制载置部150，控制为从被载置于载置部150上的LED群中依次切换成为试验对象的复数个LED10的群组。更具体而言，控制部140驱动载置部150，以使探针113接触该群组的各个LED10的端子11。再者，控制部140也可通过参照储存部145的参照数据，掌握复数个探针113的空间内的位置坐标、及复数个探针113分别与载置部150上的各LED10之间的相对位置。

控制部140进而基于测定部130的测定结果来判定复数个LED10各自的良否。本实施方式中的控制部140，将复数个LED10中的所测定的光电信号在正常范围外的至少一个LED，判定为不良。控制部140通过参照储存部145，对这些构造进行序列控制。再者，控制部140作为判定部的一例发挥功能。

储存部145，储存用于判定复数个LED10各自的良否的参照数据、判定结果、用于移动载置部150的参照数据、用于控制试验装置100中的各构造的序列和程序等。储存部145通过控制部140而被参照。

载置部150具有大致圆形的外形，载置有LED群。载置部150具有真空吸盘、静电吸盘等的保持机能，保持所载置的形成有LED群的晶圆15。又，载置部150通过控制部140而被驱动控制，在XY平面内二维地移动，且在Z轴方向升降。再者，在图1中，省略载置部150的Z轴负方向侧的图示。又，在图1中，以空心箭头示出载置部150的移动方向。下文的图中也相同。

遮蔽部160遮蔽除了来自光源部120的光以外的光。本实施方式中的遮蔽部160，其表面全部被涂成黑色，以防止光在表面上的漫反射。又，如图1所示，本实施方式中的遮蔽部160，设置为分别密接于光源121的外周及基板111的外周，通过该构造，遮蔽除了来自光源部120的光以外的光。

图2是载置部150、被载置于载置部150上的LED群、及复数个探针113接触LED群中的特定复数个LED10的群组的状态下的电性连接部110的侧视图的一例(A)及平面图的一例(B)。图2的(A)仅提取图1所示的载置部150、LED群及电性连接部110并图示。在图2的(B)中，以虚线示出载置部150上的LED群中的因基板111而无法看到的复数个LED10。

如图2的(B)所示，在各LED10上，两个端子11在Y轴方向上相互分离地形成。又，复数个LED10，在载置部150上以排列成矩阵状的状态载置，在图示的一例中，排列成在X轴方向为6列且在Y轴方向为6行的矩阵状。

基板111的开口112，具有在Y轴方向较长的长方形的轮廓。在图示的一例中，作为一并测定光学特性的复数个LED10的群组，在X轴方向为2列且在Y轴方向为6行的12个LED10，在开口112内露出。以电性连接部110的一个探针113分别接触位于基板111的开口112内的复数个端子11的方式构成。

图3是说明通过试验装置100所实施的试验方法的流程的流程图的一例。该流程通过以下方式开始，即以LED群被载置于载置部150上的状态，用户进行例如用于对试验装置100开始该LED群的试验的输入。

试验装置100执行连接阶段，将电性连接部110电性连接至成为试验对象的复数个LED10各自的端子11(步骤S101)。作为具体的一例，控制部140对载置部150输出指令，使载置部150移动，以使载置部150上的LED群中的最初成为试验对象的复数个LED10的群组接触复数个探针113。

试验装置100执行照射阶段，一并对复数个LED10照射光(步骤S103)。作为具体的一例，控制部140对光源部120输出指令，使白色光的平行光122照射至在开口112内露出的复数个LED10的群组。控制部140也可对光源部120追加地输出指令，使光源部120的滤光片切换部124对使来自透镜单元123的平行光122射入的彩色滤光片125进行切换，由此，依序切换色成分不同的复数种光并照射至复数个LED10的群组。

试验装置100执行测定阶段，所述测定阶段是测定光电信号，所述光电信号是复数个LED10分别对被照射的光进行光电转换，并经由电性连接部110输出(步骤S105)。作为具体的一例，控制部140对测定部130发出指令，且对被载置于载置部150上的LED群中的自切换为接触复数个探针113的复数个LED10的群组输出的电流的电流值进行测定，并将测定结果输出至控制部140。控制部140将该复数个LED10的群组的各测定结果储存于储存部145。

试验装置100判断被载置于载置部150上的全部LED10的测定是否完成(步骤S107)，在未完成时(步骤S107：否)，执行群组切换阶段，即对成为试验对象的复数个LED10的群组进行切换(步骤S109)，并返回至步骤S101。作为具体的一例，控制部140参照储存部145的参照数据，判断是否储存有被载置于载置部150上的全部LED10的测定结果，当未储存时，对载置部150发出指令，使载置部150移动，以切换至下一个成为试验对象的复数个LED10的群组。

试验装置100，在步骤S107中，当被载置于载置部150上的全部LED10的测定已完成时(步骤S107：是)，执行判定阶段，即基于上述的测定阶段的测定结果来判定复数个LED10各自的良否(步骤S111)，该流程完成。作为具体的一例，控制部140参照储存部145的参照数据，当储存有被载置于载置部150上的全部LED10的测定结果时，基于该测定结果来判定复数个LED10各自的良否。

本实施方式中的控制部140，将复数个LED10中的所测定的光电信号在正常范围外的至少一个LED10，判定为不良。作为此处所谓的正常范围的一例，也可使用以下范围，也就是以与复数个LED10分别输出的光电信号相应的统计量作为基准的范围。更具体而言，作为正常范围的一例，也可使用自载置部150上的复数个LED10的每一个输出的电流的电流值的平均值±1σ以内的范围、该平均值±2σ以内的范围、或该平均值±3σ以内的范围。此时，控制部140，基于被储存于储存部145中的自载置部150上的复数个LED10的每一个输出的电流的电流值，来计算该平均值与标准偏差σ。

又，作为上述的正常范围的另一例，也可使用以下范围，即在一边从LED群中依次改变成为试验对象的复数个LED10的群组并一边进行复数次测定而得的测定结果中，以与在复数个LED10的群组之间被配置于相同位置的LED10所输出的光电信号相应的统计量作为基准的范围。更具体而言，作为正常范围的一例，也可使用以下范围，也就是在例如在图2所示的载置部150上排列成在X轴方向为6列且在Y轴方向为6行的矩阵状的LED群中，将被配置于相同行且相同列的LED10作为对象LED，从复数个载置部150上的复数个LED群的每一个中的对象LED输出的电流的电流值的平均值±1σ以内的范围、该平均值±2σ以内的范围、或该平均值±3σ以内的范围。此时，控制部140，基于被储存于储存部145中的从复数个对象LED输出的电流的电流值，来计算该平均值与标准偏差σ。

又，作为上述的正常范围的另一例，也可使用以下范围，也就是将基于LED10的规格而规定的边际值(margin)，附加至基于LED10的规格而规定的基准值而得的范围。此时，控制部140也可参照示出预先储存于储存部145中的该范围的信息。

作为与由本实施方式的试验装置100所实施的试验方法进行比较的比较例，可考虑以下的LED的光学特性的试验方法，所述方法是例如使排列于晶圆上的复数个LED逐个依次点亮，并以影像传感器、分光亮度计等来受光，判断是否准确发光。

当使用该比较例的试验方法，一并测定上述的复数个LED的光学特性时，邻接的复数个LED分别发出的光彼此干扰，无法准确地特定出光学特性相对恶化的不良的LED，又，为了高精度地图像识别较大范围，影像传感器等非常昂贵。尤其，当进行复数个微型LED的试验时，该问题尤为显著。

对此，依据本实施方式的试验装置100，将电性连接部110电性连接至成为试验对象的复数个LED10各自的端子11，并一并对复数个LED10照射光，复数个LED10分别对被照射的光进行光电转换，并经由电性连接部110输出光电信号来测定所述光电信号。依据试验装置100，进而基于复数个LED10的测定结果来判定复数个LED10各自的良否。由此，试验装置100，不仅可通过同时测定复数个LED10的光电信号来缩短处理时间，也可使用不受其他LED10的光学特性的测定的影响而测定的光电信号以判定LED10的良否，来准确地特定光学特性恶化的不良的LED10。又，依据试验装置100，可容易地扩充同时测定的LED10的数量。

LED10有以下特性，依据被照射的光的波长与LED10所具有的颜色的组合，光电效应有所不同，例如，当LED10具有红色时，相较于照射红色以外的波长的光的情况，当照射红色波长的光时，电流量更多。依据本实施方式的试验装置100，作为一并照射至复数个LED10上的光，由于能够切换色成分不同的复数种光，因此，通过调整照射的光的波长，可检查各LED10的发光色的特性，更正确且详细地判定是否良好。

例如，依据本实施方式的试验装置100，对于具有红色的LED10，测定对其照射白色光所输出的光电信号，并且测定对其照射红色波长的光所输出的光电信号，由此，不仅可由作为一并对复数个LED10照射白色光的结果而得的统计量来对该LED10进行相对评价，也可由作为对具有红色的复数个LED10照射红色波长的光的结果而得的统计量，除了上述的相对评价以外，来对该LED10进行作为红色的相对评价。

又，当具有错误的信息，LED10实际上具有绿色但误认为具有红色时，若仅对该LED10照射白色光来测定特性，并不能看出该LED10具有绿色，但依据试验装置100，通过上述手法，可看出这些信息的错误并正确地判定。

又，依据本实施方式的试验装置100，例如使用了LED测试器的VI测试般的复数个LED10的电气特性的测定，也可共享用于测定复数个LED10的光学特性的复数个探针113及基板111。又，依据本实施方式的试验装置100，除了光源部120及遮蔽部160以外的其他构造，也就是，电性连接部110、测定部130、控制部140、储存部145及载置部150，可挪用LED群般的光学元件(optical device)以外的元件的试验中所使用者。

在以上的实施方式中，以复数个LED10在发光面侧具有端子11的构造的方式加以说明。取而代之地，复数个LED10也可在发光面的相反侧具有端子11。复数个探针113，可依据复数个LED10的各端子11位于发光面侧或位于发光面的相反侧，而具有不同长度。

在以上的实施方式中，以下述构造加以说明：在XY平面内，使载置有LED群的载置部150移动，以使电性连接部110的复数个探针113的位置坐标与LED群的复数个LED10的位置坐标一致，然后，使载置部150升降，由此，使复数个LED10的复数个端子11接触复数个探针113。取而代之地，也可在上述的XY平面内的移动之后，通过使基板111升降，而使复数个LED10的复数个端子11接触复数个探针113。

在以上的实施方式中，以载置部150具有大致圆形的外形的方式加以说明。取而代之地，载置部150，例如当载置有LED群，且该LED群是在形成有电气配线且具有大致方形的外形的玻璃基底的面板(PLP)上形成有复数个LED10时，也可与LED群的外形相应地，具有大致方形的外形。

图4是示出对复数个LED20进行试验的试验装置200的概况的整体图的一例。又，图5是示出对复数个LED30进行试验额试验装置300的概况的整体图的一例。在图4及图5所示的实施方式的说明中，对于与使用图1至图3说明的实施方式相同的构造，使用相同的参照编号，并省略重复的说明。其中，分别在图4及图5中，仅为了使说明清楚，将使用图1至图3说明的试验装置100的测定部130、控制部140、储存部145及载置部150的图示省略。

在使用图1至图3说明的实施方式中，以下述构造加以说明，也就是电性连接部110，被配置于光源部120及复数个LED10之间，且具有：基板111；及，复数个探针113，其被设置于基板111的开口112。在图4及图5所示的实施方式中，取而代之地，电性连接部210被配置为，复数个LED20、30位于光源部120及电性连接部210之间，且具有：基板211；及，复数个探针213，其分别从基板211朝向复数个LED20、30延伸，并接触复数个LED20、30各自的端子21、31。

在图4所示的实施方式中，LED群是复数个LED20的发光面并非面向晶圆25的表面发光型，复数个LED20的各端子21面向晶圆25，在晶圆25上，在各端子21的位置处形成有在Z轴方向上延伸的复数个通孔26。这种情况下，电性连接部210也可通过被形成在晶圆25上的复数个通孔26，使复数个探针213从晶圆25的Z轴负方向侧接触复数个LED20的各端子21。

在图5所示的实施方式中，LED群是复数个LED30的发光面面向晶圆35的背面发光型，晶圆35使光穿过，复数个LED30的各端子31并非面向晶圆35。这种情况下，电性连接部210也可使复数个探针213从晶圆35的Z轴负方向侧接触复数个LED30的各端子31。

在图4及图5所示的实施方式的电性连接部210中，基板211也可不具有使用图1至图3说明的实施方式中的电性连接部110的开口112，复数个探针213也可不在XY平面内延伸。如图4及图5所示，复数个探针213，也可以与基板211一同成为花插座(pinholder)的形状的方式，并朝向各LED20、30的端子21、31在Z轴方向上延伸。

依据图4及图5所示的实施方式的试验装置200、300，与使用图1至图3说明的实施方式的试验装置100具有同样的效果。又，试验装置200、300具备电性连接部210，所述电性连接部210构成为复数个探针213从不具有开口的基板211的一面朝向各LED20、30的端子21、31在Z轴方向上延伸，由此，相较于使用图1至图3说明的实施方式的情况，也就是使用电性连接部110的情况，可增加探针213的数量，并增加同时测定的LED20、30的数量，其中，所述电性连接部110具有朝向露出于基板111的开口112内的LED10的端子11延伸的复数个探针113。

再者，在图4及图5所示的实施方式中，在XY平面内，使载置有LED群的载置部150移动，以使电性连接部110的复数个探针113的位置坐标与LED群的复数个LED10的位置坐标一致，然后，也可如各图中以空心箭头所示一样，使电性连接部210的基板211升降，由此，使复数个LED20、30的复数个端子21、31接触复数个探针213。又，在图5所示的实施方式中，载置部较佳为不接触复数个LED30的构造，以免破坏已形成于晶圆35上的复数个LED30。

又，在图4及图5所示的实施方式中，也可使分别在图4及图5中图示的构造成为以下构造，即在Z轴方向上翻转，将来自光源部120的平行光122从Z轴负方向照射至复数个LED20、30。

又，在图4及图5所示的实施方式中，也可在晶圆25、35与遮蔽部160之间夹有如例如与玻璃类似的使光穿过的支持板，以防止由电性连接部210的复数个探针213施加的按压导致晶圆25、35变形，当如与图4所示的实施方式类似，复数个LED20位于光源部120侧时，该支持板较佳为不接触复数个LED20的构造，以免破坏已形成在晶圆25上的复数个LED20。

在以上的复数个实施方式中，将光源部120以下述构造加以说明：其具有发出白色光的光源121、色成分不同的复数种彩色滤光片125、及滤光片切换部124，所述滤光片切换部124切换使来自透镜单元123的平行光122射入的彩色滤光片125，由此，能够切换色成分不同的复数种光。取而代之地，光源部120也可具有例如可见光的全波长、红色波长、绿色波长、及蓝色波长等光波长不同的复数个光源，通过切换复数个光源、或通过组合复数个光源，而发出例如白色、红色、绿色及蓝色等色成分不同的复数种光。

在以上的复数个实施方式中，当LED群的构造为在形成有电气配线且具有大致方形的外形的玻璃基底的面板(PLP)上形成有复数个LED时，电性连接部也可为以下构造，也就是使探针接触被配置于面板的两个侧面上的行方向及列方向的各配线。

本发明的各种实施方式，可参照流程图及方块图来记载，在此处，方块可表示：(1)操作所执行的制程的阶段、或(2)具有执行操作的作用的装置的部件。特定的阶段及部件，可通过专用电路、与储存在计算机可读取媒体上的计算机可读取指令一同供给的可程序电路、及/或与储存在计算机可读取媒体上的计算机可读取指令一同供给的处理器来构装。专用电路可包括数字及/或模拟硬件电路，可包括集成电路(integrated circuits；IC)及/或分立电路(discreet circuit)。可程序电路可包括可重构的硬件电路，所述可重构的硬件电路包括：逻辑AND、逻辑OR、逻辑XOR、逻辑NAND、逻辑NOR、及其他逻辑操作；及，正反器(flip-flop)、电阻器、场可程序门阵列(Field Programmable Gate Array；FPGA)及可程序逻辑阵列(programmable logic array；PLA)等的内存元件(memory elements)等。

计算机可读取媒体可包含能够储存通过适当设备所执行的指令的任意有形的元件(device)，其结果为，具有储存在此处的指令的计算机可读取媒体具备一产品，所述产品包括下述指令，所述指令可作成用于执行流程图或方块图所指定的操作的手段并执行。作为计算机可读取媒体的一例，可包括电子记忆媒体、磁记忆媒体、光记忆媒体、电磁记忆媒体及半导体记忆媒体等。作为计算机可读取媒体的更具体的一例，也可包括：软性(注册商标)磁盘(floppy disk)、磁盘、硬盘、随机存取存储器(random-access memory；RAM)、只读存储器(read-only memory；ROM)、可抹除可程序只读存储器(erasable programmableread only memory；EPROM或闪存)、电子可抹除可程序只读存储器(electricallyerasable programmable read only memory；EEPROM)、静态随机存取存储器(staticrandom-access memory；SRAM)、光盘只读存储器(compact disc read-only memory；CD-ROM)、数字多用途光盘(digital video disc；DVD)、蓝光(RTM)磁盘、记忆棒(memorystick)、集成电路卡等。

计算机可读取指令可包含一或复数个程序语言的任意组合所记述的原始码或目标码中的任一个，包括组译器指令、指令集架构(instruction set architecture；ISA)指令、机器指令、机器相关指令、微指令、韧体指令、状态设定数据、或Smalltalk、JAVA(注册商标)、C++等面向对象程序语言、及“C”程序语言或同样的程序语言般的以往的程序型程序语言。

计算机可读取指令可对通用计算机、特殊目的的计算机、或者其他可程序数据处理装置的处理器、或可程序电路，在本地或经由局域网络(local area network；LAN)、因特网等广域网(wide area network；WAN)提供，执行计算机可读取指令，以作成用于执行流程图或方块图所指定的操作的手段。作为处理器的一例，包括计算机处理器、处理单元、微处理器、数字信号处理器、控制器及微控制器等。

图6示出本发明的复数个实施方式可全体或部分地具体化的计算机1200的一例。安装于计算机1200的程序，可使计算机1200作为与本发明的实施方式的装置相关联的操作或该装置的一或复数个“部分”发挥功能、或执行该操作或该一或复数个“部分”、及/或可使计算机1200执行本发明的实施方式的制程或该制程的阶段。这些程序可通过CPU1212执行，以使计算机1200执行与本说明书所述的流程图及方块图中的一些或全部方块相关联的特定操作。

依据本实施方式的计算机1200，包括CPU1212、RAM1214、图形控制器1216(graphiccontroller)、及显示设备1218，这些通过主机控制器1210相互连接。计算机1200进而包括通讯接口1222、硬盘驱动器(hard disk drive)1224、DVD-ROM驱动器1226、及IC卡驱动器般的输入输出单元，这些经由输入输出控制器1220连接至主机控制器1210。计算机进而包括ROM1230及键盘1242般传统的输入输出单元，经由这些输入输出芯片1240连接至输入输出控制器1220。

CPU1212依据储存于ROM1230及RAM1214内的程序而动作，并由此控制各单元。图形控制器1216，在提供至RAM1214内的码框缓冲器等或该图形控制器1216本身之中，获得CPU1212所生成的影像数据，并使影像数据显示在显示设备1218上。

通讯接口1222经由网络与其他电子设备进行通讯。硬盘驱动器1224储存计算机1200内的CPU1212所使用的程序及数据。DVD-ROM驱动器1226从DVD-ROM1201读取程序或数据，并经由RAM1214将程序或数据提供至硬盘驱动器1224。IC卡驱动器从IC卡读取程序及数据、及/或将程序及数据写入IC卡。

ROM1230，在内部储存启动时计算机1200所执行的启动程序(boot program)等、及/或与计算机1200的硬件相关的程序。输入输出芯片1240进而可经由并行端口、串联端口、键盘端口、及鼠标端口等，将各种输入输出单元连接至输入输出控制器1220。

程序是通过DVD-ROM1201或IC卡般的计算机可读取记忆媒体所提供。程序从计算机可读取记忆媒体中读取出来，安装在也为计算机可读取记忆媒体的一例额硬盘驱动器1224、RAM1214、或ROM1230中，并由CPU1212所执行。这些程序内所述的信息处理，被读取至计算机1200，使程序与上述各种类型的硬件资源之间协作。装置或方法可通过随着计算机1200的使用以实现信息的操作或处理而构成。

例如，当在计算机1200及外部设备之间执行通讯时，CPU1212可执行被加载至RAM1214中的通讯程序，并基于通讯程序所记述的处理，对通讯接口1222指令通讯处理。通讯接口1222，在CPU1212的控制下，读取已储存在RAM1214、硬盘驱动器1224、DVD-ROM1201、或IC卡般的记录媒体内所提供的发送缓冲区域内的发送数据，并将所读取的发送数据发送至网络、或将从网络上接收的接收数据写入记录媒体上所提供的接收缓冲区域等。

又，CPU1212可对RAM1214上的数据执行各种类型的处理，以使储存在硬盘驱动器1224、DVD-ROM驱动器1226(DVD-ROM1201)、IC卡等外部记录媒体中的档案或数据库的全部或所需部分被读取至RAM1214。CPU1212可继而将处理后的数据回写至外部记录媒体。

各种类型的程序、数据、表格、及数据库等的各种类型的信息可储存在记录媒体，以进行信息处理。CPU1212可对从RAM1214读取出的数据，执行本发明随处记载的各种类型的处理，包括程序的指令序列所指定的各种类型的操作、信息处理、条件判断、条件分岐、无条件分岐、信息的检索/替换等，并将结果回写至RAM1214。又，CPU1212可检索记录媒体内的档案、数据库等中的信息。例如，当分别具有与第二属性的属性值相关联的第一属性的属性值的复数个入口被储存于记录媒体内时，CPU1212可从该复数个入口中，检索与指定第一属性的属性值的条件一致的入口，并读取被储存于该入口内的第二属性的属性值，由此，获得与满足预定条件的第一属性相关联的第二属性的属性值。

以上所说明的程序或软件模块，可储存在计算机1200上或计算机1200附近的计算机可读取记忆媒体。又，连接至专用通讯网络或因特网上的服务器系统内所提供的硬盘或RAM等的记录媒体，可作为计算机可读取记忆媒体来使用，由此，经由网络将程序提供至计算机1200。

以上，使用实施方式来说明本发明，但是本发明的技术范围并非限定于上述实施方式所述的范围。该发明所属的技术领域中具有通常知识者清楚，可对上述实施方式施加各种更改或改善。又，在技术上不矛盾的范围内，可将针对特定的实施方式说明的事项，应用于其他实施方式。又，各构造要素，也可具有与名称相同且参照符号不同的其他构造要素同样的特征。由权利要求的记载可了解，施加这些更改或改善的方式也可包含在本发明的保护范围内。

应注意，权利要求、说明书、及图式中所示的装置、系统、程序及方法中的动作、次序、步骤及阶段等各处理的执行顺序，只要未特别明示“在……之前”、“事先”等，并且，只要未将前一处理的输出用于后续处理，则能以任意的顺序实现。关于权利要求、说明书及图式中的动作流程，即便为方便起见而使用“首先，”、“继而，”等加以说明，并非意指必须以该顺序实施。

Claims (12)

1.一种试验装置，其特征在于，具备：

电性连接部，其电性连接至成为试验对象的复数个LED各自的端子；

光源部，其一并对所述复数个LED照射光；

测定部，其测定光电信号，所述光电信号是所述复数个LED分别对被所述光源部照射的光进行光电转换，并经由所述电性连接部输出；及，

判定部，其基于所述测定部的测定结果来判定所述复数个LED各自的良否；

其中，所述判定部将所述复数个LED中的所测定的所述光电信号在正常范围外的至少一个LED，判定为不良；

作为所述正常范围，使用以下范围，也就是以与所述复数个LED中的一些输出的所述光电信号相对应的统计量作为基准的范围。

2.根据权利要求1所述的试验装置，其特征在于，其中，所述电性连接部以使所述复数个LED位于所述光源部及所述电性连接部之间的方式配置，且具有：

基板；及，

复数个探针，其分别从所述基板朝向所述复数个LED延伸，并接触所述复数个LED各自的所述端子。

3.根据权利要求1所述的试验装置，其特征在于，

所述电性连接部被配置于所述光源部及所述复数个LED之间，且具有：

基板，其具有一个开口，所述开口使来自所述光源部的光朝向复数个LED的群组而通过，使所述复数个LED的群组可切换地暴露在所述开口中；及，

复数个探针，其分别从所述基板朝向露出至所述开口内的所述复数个LED的群组的所述复数个LED延伸，并接触所述复数个LED的群组的所述复数个LED各自的所述端子。

4.根据权利要求3所述的试验装置，其特征在于，还具备：

载置有LED群的载置部；其中

所述电性连接部通过所述载置部以载置有所述LED群的状态移动，而从被载置于所述载置部上的所述LED群中依次切换成为试验对象的连接处的所述复数个LED的群组；

所述测定部测定光电信号，所述光电信号来自所述电性连接部依次连接的所述复数个LED的群组。

5.根据权利要求1所述的试验装置，其特征在于，

所述光源部能够切换色成分不同的复数种光，从而通过调整照射的光的波长以检查所述复数个LED中的各LED的发光色的特性。

6.根据权利要求1所述的试验装置，其特征在于，所述光源部具有光波长不同的复数个光源，通过切换所述复数个光源、或组合所述复数个光源，发出色成分不同的复数种光，从而通过调整照射的光的波长以检查所述复数个LED中的各LED的发光色的特性。

7.如权利要求1-6任意一项所述的试验装置，其特征在于，作为所述正常范围，使用以下范围，也就是在一边从LED群中依次改变成为试验对象的所述复数个LED的群组并一边进行复数次测定而得的测定结果中，以与在所述复数个LED的群组之间被配置于相同位置的LED所输出的所述光电信号相应的统计量，作为基准的范围。

8.如权利要求1至5中任一项所述的试验装置，其特征在于，所述光源部发出白色光。

9.如权利要求5所述的试验装置，其特征在于，所述光源部具有复数种彩色滤光片，通过使光分别通过所述复数种彩色滤光片，分别发出所述复数种光。

10.如权利要求1至6中任一项所述的试验装置，其特征在于，进一步具备遮蔽部，所述遮蔽部遮蔽除了来自所述光源部的光以外的光。

11.一种试验方法，其特征在于，具备：

连接阶段，其将电性连接部电性连接至成为试验对象的复数个LED各自的端子；

照射阶段，其一并对所述复数个LED照射光；

测定阶段，其测定光电信号，所述光电信号是所述复数个LED分别对被照射的光进行光电转换，并经由所述电性连接部输出；及，

判定阶段，其基于所述测定阶段的测定结果来判定所述复数个LED各自的良否；

其中，所述判定阶段将所述复数个LED中的所测定的所述光电信号在正常范围外的至少一个LED，判定为不良；

作为所述正常范围，使用以下范围，也就是以与所述复数个LED中的一些输出的所述光电信号相对应的统计量作为基准的范围。

12.一种计算机可读取媒体，其特征在于，其记忆有程序，所述程序通过对复数个LED进行试验的试验装置来执行，并用于使所述试验装置执行权利要求11所述的试验方法。

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