CN115943304A - 涡电流检查方法 - Google Patents

Abstract

本申请的目的在于提供不与成为检查对象物的电极接触便能够判定电极向基板接合的接合状态的检查方法。使交流电流施加状态的线圈内置探测器(1)沿着作为检查对象物的电极引线(40)的形成方向扫描。扫描时的线圈内置探测器(1)不与电极引线(40)接触，而与电极引线(40)的表面隔开规定距离地位于上方。之后，通过涡电流测定器(3)获得与多个超声波接合部(41)对应的多个检测信号。最后，基于多个检测信号每一个与基准等级的比较结果，来判定电极引线(40)向基板(30)接合的接合状态。即，分别对设于电极引线(40)的多个超声波接合部(41)，判定处于未接合状态、断裂状态以及正常状态中的哪一个状态。

Description

涡电流检查方法

技术领域

本申请涉及将设于基板上的电极作为检查对象物并使用涡电流测定装置进行检查的涡电流检查方法。

背景技术

作为将设于基板上的电极等作为检查对象物的检查方法，例如有专利文献1中公开的第一检查方法、专利文献2中公开的第二检查方法。

第一检查方法是如下的检查方法：基于在成为检查对象物的电极引线部的金属制圆筒的外侧表面与上述电极引线部的导电性引脚之间测量出的绝缘电阻值，判定电极引线部的状态。

在第一检查方法中，即使在狭小的地方也能够进行检查，并且是使用了检查装置的相对廉价的基于软钎焊的检查方法。

第二检查方法将接合于基板的引线框的引线作为检查对象物。第二检查方法包含以下的第一～第四步骤。

第一步骤…设置于加压装置且对引线框的引线从上方加压，并使环状的照明装置点亮。

第二步骤…通过拍摄装置以包含引线接合部的方式进行拍摄，通过A/D转换器将由该拍摄获得的图像数据转换为数字图像信号。

第三步骤…通过处理装置，提取将图像数据中的与引线接合部对应的图像数据以保留比一定值亮的部分的方式进行二值化后的图像。

第四步骤…基于二值化后的图像判定引线的状态。

通过上述的第二检查方法，能够高精度地区别未接合的引线与已接合的引线。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-151484号公报

专利文献2：日本特开平10-185527号公报

发明内容

发明所要解决的课题

然而，上述的第一检查方法虽然检查本身非破坏地进行，但存在必须与检查对象物接触才能检查这一问题点。

并且，在第一检查方法中，在检查对象物包含断裂部的情况下，还存在若接触的位置不是断裂部而是正常部位，则无法检测出断裂部的存在这一问题点。

另外，上述的第二检查方法在上述第一步骤的执行时对作为检查对象物的引线加压，因此存在不与检查对象物接触则不能检查这一问题点。

并且，在第二检查方法中，虽然在原理上能够检测引线的端部中的未接合状态，但还存在判定引线的中间区域的接合状态极为困难的问题点。进而，在第二检查方法中，还存在不能高精度地辨别引线的断裂部这一问题点。

在本申请中，目的在于解决包含上述的第一以及第二检查方法的以往的检查方法的问题点，提供不与成为检查对象物的电极接触，便能够判定电极向基板接合的接合状态的检查方法。

用于解决课题的手段

本申请的涡电流检查方法为使用了涡电流测定装置的涡电流检查方法，所述涡电流测定装置使检查对象物产生涡电流，并获得表示涡电流的状态的检测信号，所述涡电流测定装置具有内置有线圈的探测器，设于基板上的电极成为所述检查对象物，所述涡电流检查方法具备：(a)对所述探测器内的线圈施加交流电流而成为交流电流施加状态的步骤；以及(b)使所述交流电流施加状态的所述探测器沿着所述电极的形成方向扫描的步骤，在所述步骤(b)的执行期间内，所述探测器不与所述电极接触，而是与所述电极的表面隔开规定距离地位于上方，在所述步骤(b)的执行时在所述电极的表面产生涡电流，通过所述涡电流测定装置不间断地获得所述检测信号，所述涡电流检查方法还具备，(c)基于不间断地获得的所述检测信号与基准等级的比较结果，判定所述电极与所述基板接合的接合状态的步骤。

发明效果

本申请的涡电流检查方法在步骤(b)中，不与电极接触，使探测器沿着电极的形成方向扫描，从而取得检测信号。

因此，本申请的涡电流检查方法能够不与成为检查对象物的电极接触，便能够在步骤(c)的执行时判定电极向基板接合的接合状态。

本申请的目的、特征、方面以及优点通过以下的详细的说明以及附图而更加清楚。

附图说明

图1是示意地表示本申请的实施方式的涡电流检查方法的说明图。

图2是表示图1中所示的实施方式的涡电流检查方法的处理顺序的流程图。

图3是表示在检测电压显示用PC的显示器上显示的输出波形的说明图。

图4是表示图2所示的校正基准部的选择处理的处理顺序的流程图。

图5是示意地表示涡电流预备检查的检查内容的说明图。

图6是示意地表示依据基本技术的检查方法的说明图。

具体实施方式

＜基本技术＞

图6是示意地表示依据基本技术的检查方法的说明图。在图6中标记了XYZ正交坐标系。

如该图所示，在基板30上设置电极引线40，电极引线40具有多个超声波接合部41。多个超声波接合部41分别是成为与使用了超声波接合法的基板30的表面接合的接合区域的金属箔部分。即，通过多个超声波接合部41使电极引线40与基板30的表面接合。

基本技术的检查方法是使用90度剥离强度拉伸测量仪60，与电极引线40接触来检查多个超声波接合部41各自与基板30的接合状态的方法。

90度剥离强度拉伸测量仪60具有经由连接电缆64连接的夹具62，能够通过夹具62把持电极引线40的前端部分40t。

基本技术的检查方法在通过夹具62把持电极引线40的前端部分40t的状态下，沿拉伸方向F6使90度剥离强度拉伸测量仪60上升，将电极引线40从基板30强制地剥离来进行。

由于基板30以及电极引线40配置于图6所示的XY平面，因此拉伸方向F6(+Z方向)相对于基板30具有90度的方向。

例如在图6中，在将存在于图中最左侧(-X方向侧)的超声波接合部41剥离时，由90度剥离强度拉伸测量仪60测量的接合强度成为测定接合强度。

在基本技术中，在测定接合强度为基准强度以上时，能够判定为正常接合部41A，在小于基准强度时能够判定为未接合部41C。另外，超声波接合部41能够通过目视观察确认有无空隙44来识别是否为断裂部41B。

例如，如图6所示，设想四个超声波接合部41中从图中左起为正常接合部41A、断裂部41B、未接合部41C以及正常接合部41A的情况。在该情况下，左起第一个与第四个超声波接合部41各自的测定接合强度为基准强度以上。

另一方面，左起第三个超声波接合部41的测定接合强度低于基准强度。由于未接合部41C为在与基板30的表面之间存在浮起空间48的状态，因此在从电极引线40的上方的目视观察下无法确认。在基本技术的检查方法中，能够准确地辨别未接合部41C。

如上述那样，基本技术的检查方法通过使用90度剥离强度拉伸测量仪60使电极引线40从基板30剥离，从而检查多个超声波接合部41各自与基板30接合的接合状态。

然而，在基本技术的检查方法中，通过与电极引线40接触，进而使电极引线40从基板30剥离，来破坏基板30与电极引线40的组合构造。因此，在检查中使用的基板30不能使用。

即，与作为现有技术说明的第一以及第二检查方法相同，基本技术的检查方法具有不与电极接触就无法判定电极向基板接合的接合状态这一问题点。以下所述的实施方式的检查方法实现了上述问题点的消除。

＜实施方式＞

图1是示意地表示本申请的实施方式的涡电流检查方法的说明图。在图1中标记了XYZ正交坐标系。另外，涡电流测定装置10除了线圈内置探测器1之外，不属于XYZ正交坐标系的对象。示波器7、连接电缆8以及检测电压显示用PC 9也不属于XYZ正交坐标系的对象。

如该图所示，在基板30上设置电极引线40，电极引线40成为检查对象物。电极引线40具有多个超声波接合部41，通过超声波接合处理在多个超声波接合部41中进行与基板30的表面的接合。

电极引线40对应于在基板30上设置的“电极”，多个超声波接合部41对应于在电极引线40上相互离散地设置的“多个接合部”。

多个超声波接合部41是被分配为与基板30的表面接合的接合区域的多个金属箔部分。即，多个超声波接合部41成为与使用了超声波接合法的基板30的表面接合的接合区域。

电极引线40的膜厚为1.1mm左右，沿X方向延伸而形成于基板30的表面上。各超声波接合部41为相同尺寸，具有至少包含1mm×1mm的正方形的面积，其厚度例如为1.1mm左右。

本实施方式的涡电流检查方法是使用涡电流测定装置10，不与电极引线40接触地检查多个超声波接合部41各自与基板30的表面的接合状态的方法。

涡电流测定装置10作为主要构成要素而包含线圈内置探测器1、连接电缆2、涡电流测定器3、连接用探测器5、以及探测器夹11。涡电流测定装置10是获得表示电极引线40的表面发生的涡电流的状态的检测信号的装置。

线圈内置探测器1是在内部具有内置线圈的探测器。通过在线圈内置探测器1内的内置线圈中流动规定频率的交流电流，从而线圈内置探测器1成为施加交流电流状态，在内置线圈产生磁场。另外，涡电流测定器3具有交流电流的施加功能。

探测器夹11在使线圈内置探测器1的前端部露出的状态下保持线圈内置探测器1。

线圈内置探测器1经由连接电缆2与涡电流测定器3连接，涡电流测定器3基于由线圈内置探测器1检测出的涡电流检测结果，执行规定的运算来获得检测信号。检测信号是相对于涡电流检测结果具有正相关的信号。

作为涡电流检测结果，例如考虑线圈内置探测器1内的内置线圈的阻抗，通过内置线圈的阻抗的变化能够识别涡电流的状态变化。因此，由涡电流测定器3获得的检测信号成为表示在电极引线40的表面发生的涡电流的状态的信号。另外，涡电流的状态包含涡电流的大小、分布等。

作为与涡电流测定装置10连接的外部装置，设置检测电压显示用PC(PersonalComputer)9，检测电压显示用PC 9经由示波器7以及连接电缆8与涡电流测定装置10的连接用探测器5连接。

在涡电流测定器3中获得的检测信号经由连接用探测器5被赋予示波器7。示波器7将接收到的检测信号转换为能够在检测电压显示用PC 9的显示器上显示的显示用检测信号。该显示用检测信号经由连接电缆8被输出到检测电压显示用PC 9。

检测电压显示用PC 9基于显示用检测信号，使检测信号的输出波形LV显示于显示器上。

使用这样的构成的涡电流测定装置10执行本实施方式的涡电流检查方法。本实施方式的涡电流检查方法是判定设于电极引线40的多个超声波接合部41向基板30的表面接合的接合状态的检查方法。

图2是表示图1所示的本实施方式的涡电流检查方法的处理顺序的流程图。以下，参照图2对本实施方式的涡电流检查方法的处理内容进行说明。

首先，在步骤S1中，对线圈内置探测器1内的内置线圈施加交流电流而成为交流电流施加状态。

在步骤S1之后，在步骤S2中，从作为多个接合部的多个超声波接合部41中选择一个接合部作为校正基准部(基准接合部)。另外，在后详细叙述校正基准部的选择内容。

以下，为了方便说明，假设图1所示的四个超声波接合部41中的位于最左侧的超声波接合部41被选择为校正基准部41S(基准接合部)。

在步骤S2之后，在步骤S3中，进行校正基准部41S的初始设定。即，将线圈内置探测器1的前端与校正基准部41S的表面隔着规定距离地配置于上方，并使校正基准部41S的表面产生涡电流。

于是，基于在线圈内置探测器1中获得的涡电流检测结果，从涡电流测定器3获得校正基准用检测信号。所以，通过按压设置于涡电流测定器3的校正用按钮等，执行校正处理，以该校正基准用检测信号的信号值成为初始设定值(“0”)的方式进行初始设定。如此，与校正基准部41S对应的校正基准用检测信号所表示的信号值“0”成为基准等级。即，基准等级成为在校正基准部41S的上方配置线圈内置探测器1时的检测信号的信号值。

在步骤S3的执行后，在从涡电流测定器3获得的检测信号的信号值为正的情况下成为比基准等级高的信号值，在检测信号的信号值为负的情况下成为比基准等级低的信号值。

之后，在步骤S4中，执行针对电极引线40的涡电流检查。即，执行使交流电流施加状态的线圈内置探测器1沿着电极引线40的形成方向(X方向)扫描的扫描SC1。扫描SC1的开始位置为电极引线40的左端前端部的上方，扫描SC1沿着X方向的扫描速度例如设定为1m/s。

在步骤S4的执行期间内，线圈内置探测器1不与电极引线40接触，而是与电极引线40的表面隔着规定距离地位于上方。规定距离设定为1mm左右。

因此，在步骤S4的执行时在电极引线40的表面产生涡电流，在线圈内置探测器1中时时刻刻(不间断地)获得涡电流检测结果。并且，通过涡电流测定器3的运算处理，不间断地获得基于涡电流检测结果的检测信号。如前述那样，检测信号示出在电极引线40的表面产生的涡电流的状态。

在扫描SC1的执行时，线圈内置探测器1的前端通过多个超声波接合部41各自的上方的时间段，能够根据各超声波接合部41的位置以及尺寸、线圈内置探测器1的扫描速度而导出。

因此，通过步骤S4的执行，能够获得与多个超声波接合部41对应的多个检测信号。

最后，在步骤S5中执行超声波接合状态的判定处理。即，在步骤S5中，基于不间断地获得的检测信号与基准等级的比较结果，来判定电极引线40向基板30接合的接合状态。

在本实施方式中，在步骤S5中，基于与多个超声波接合部41对应的多个检测信号分别与基准等级的比较结果，来判定多个超声波接合部41各自在基板30的表面中的接合状态。

在步骤S5中执行的判定处理是对多个超声波接合部41分别判定属于正常接合部41A、断裂部41B以及未接合部41C中的哪一个的处理。在步骤S5中执行的判定处理包含以下的第一～第三判定。

第一判定…在与多个超声波接合部41对应的多个检测信号中存在在正方向上与基准等级(“0”)具有显著性差异的第一种检测信号的情况下，将多个超声波接合部41中的与上述第一种检测信号相对应的超声波接合部41判定为未接合状态。其结果，未接合状态的超声波接合部41被分类为未接合部41C。

第二判定…在上述的多个检测信号中存在在负方向上与上述基准等级具有显著性差异的第二种检测信号的情况下，将多个超声波接合部41中的与上述第二种检测信号相对应的超声波接合部41判定为断裂状态。其结果，断裂状态的超声波接合部41被分类为断裂部41B。

第三判定…在上述的多个检测信号中存在不属于上述的第一种以及第二种检测信号的任一种的第三种检测信号的情况下，将多个超声波接合部41中的与上述第三种检测信号相对应的超声波接合部41判定为正常状态。其结果，正常状态的超声波接合部41被分类为正常接合部41A。

以下，说明能够通过第一～第三判定分类为第一种检测信号～第三种检测信号的理由。

如图1所示，在断裂部41B的至少一部分存在空隙44。空隙44在多数情况下，贯通电极引线40。因此，断裂部41B具有第一距离特性，即断裂部41B中距线圈内置探测器1内的线圈的距离与正常接合部41A相比变长的部分的存在，是与空隙44所存在的量相对应的。

如图1所示，未接合部41C在与基板30的表面之间存在浮起空间48。因此，断裂部41B具有第二距离特性，即未接合部41C中距线圈内置探测器1内的线圈的距离与正常接合部41A相比变短的区域的存在，是与浮起空间48所存在的量相对应的。

在线圈内置探测器1中获得的涡电流检测结果具有从超声波接合部41至线圈内置探测器1内的内置线圈的距离越近则涡电流检测结果越变大的性质。因此，在涡电流测定器3获得相对于涡电流检测结果具有正相关的检测信号的情况下，推测检测信号的信号值具有按照断裂部41B、正常接合部41A以及未接合部41C的顺序变高的性质。

因此，基于正常接合部41A、断裂部41B以及未接合部41C之间的上述的第一以及第二距离特性，能够进行上述的第一～第三判定。

另外，通过涡电流测定器3所使用的运算式，也存在获得相对于涡电流检测结果具有负相关的检测信号的情况。

在该情况下，推测检测信号的信号值具有按照断裂部41B、正常接合部41A以及未接合部41C的顺序降低的性质，因此基于上述的第一以及第二距离特性，能够进行与上述的第一～第三判定等价的判定。

即，能够将多个超声波接合部41作为多个接合部，使上述的第一～第三判定如以下那样扩展。

第一判定…在多个检测信号中存在在正方向以及负方向中的一个方向上与基准等级具有显著性差异的第一种检测信号的情况下，将多个接合部中的与第一种检测信号相对应的接合部判定为未接合状态的未接合部41C。

第二判定…在多个检测信号中存在在正方向以及负方向中的另一个方向上与基准等级具有显著性差异的第二种检测信号的情况下，将多个接合部中的与第二种检测信号相对应的接合部判定为断裂状态的断裂部41B。

第三判定…在多个检测信号中存在不属于第一以及第二种检测信号的任一种的第三种检测信号的情况下，将多个接合部中的与第三种检测信号相对应的接合部判定为正常接合状态的正常接合部41A。

图3是表示在检测电压显示用PC 9的显示器上显示的输出波形LV的说明图。输出波形LV示出了与图1所示的电极引线40相应的检查结果。

为了获得图3所示的输出波形LV，作为对线圈内置探测器1内的内置线圈施加的交流电流，使用了第一以及第二交流电流。在第一交流电流中频率设定为600kHz，相位设定为65.0deg。在第二交流电流中频率设定为600kHz，相位设定为225.0deg。

而且，通过对线圈内置探测器1内的内置线圈施加第一交流电流，从而在线圈内置探测器1中获得第一涡电流检测结果，通过对内置线圈施加第二交流电流，从而在线圈内置探测器1中获得第二涡电流检测结果。

涡电流测定器3基于第一以及第二涡电流检测结果进行规定的运算，从而获得检测信号。

在涡电流测定器3中获得的检测信号经由连接用探测器5被赋予示波器7。示波器7将接收到的检测信号转换为能够在检测电压显示用PC 9上显示的显示用检测信号。该显示用检测信号经由连接电缆8被输出到检测电压显示用PC 9，在检测电压显示用PC 9的显示器上显示图3所示的输出波形LV。

如图1所示，电极引线40具有四个超声波接合部41，最左的超声波接合部41被选择为校正基准部41S。

如前述那样，线圈内置探测器1的前端通过四个超声波接合部41各自的上方的时间段，能够根据各超声波接合部41的位置以及尺寸、线圈内置探测器1的扫描速度而导出。以下，为了方便说明，将四个超声波接合部41从左起称作第一、第二、第三以及第四接合部。

如图3所示，时间段T1～T4中的输出波形LV成为与第一～第四接合部对应的第一～第四检测信号。这里，将表示正方向的显著性差异的正方向阈值设为“+0.3V”，将表示负方向的显著性差异的负方向阈值设为“-0.2V”。

由于第一接合部为校正基准部41S，因此时间段T1中的输出波形LV的信号值示出了0V。因此，第一检测信号成为不属于上述的第一种以及第二种检测信号的任一种的第三种检测信号，因此第一接合部被判定为正常状态的正常接合部41A。

时间段T2中的输出波形LV的最小信号值低于-0.2V。因此，第二检测信号成为上述的第二种检测信号，因此第二接合部被判定为断裂状态的断裂部41B。

时间段T3中的输出波形LV的最大信号值超过+0.3V。因此，第三检测信号成为上述的第一种检测信号，因此第三接合部被判定为未接合状态的未接合部41C。

时间段T4中的输出波形LV的信号值示出了1V左右，但最小信号值超过-0.2V，最大信号值低于+0.3V。因此，第四检测信号成为不属于上述的第一种以及第二种检测信号的任一种的第三种检测信号，因此第四接合部被判定为正常状态的正常接合部41A。

在本实施方式的涡电流检查方法步骤S4中，不与电极引线40接触地使线圈内置探测器1沿着电极引线40的形成方向扫描，由此从涡电流测定器3取得检测信号。

因此，本实施方式的涡电流检查方法，能够不与成为检查对象物的电极引线40接触地，在步骤S5的执行时判定电极引线40与基板30的表面接合的接合状态。

本实施方式的涡电流检查方法通过在步骤S5的执行时进行第一～第三判定，从而能够不与电极引线40接触地对多个超声波接合部41分别判定处于未接合状态、断裂状态以及正常状态中的哪一个状态。

图4是表示图2的步骤S2所示的校正基准部41S的选择处理的处理顺序的流程图。以下，参照图4对步骤S2中的校正基准部41S的选择内容进行说明。

首先，在步骤S21中，准备预备基板。在预备基板的表面上配置未接合状态的预备电极。

预备基板以及预备电极是与基板30以及电极引线40分开准备的部件，预备基板是与基板30对应的基板，预备电极是与电极引线40对应的电极。因此，预备基板优选的是以与基板30相同的材质、相同的尺寸构成，预备电极优选的是以与电极引线40相同的材质、相同的尺寸构成。

接下来，在步骤S22中执行针对预备电极的按压处理。即，使用辊等从上部按压预备电极中的至少预备基准区域。另外，预备基准区域为预备电极的一部分区域，优选的是设定于与超声波接合位置41相同程度的区域。

其结果，预备电极的预备基准区域完成，预备基准区域成为与预备基板的表面紧贴的状态。另外，为了提高预备基准区域与预备基板的表面的紧贴度，优选对预备电极的整个区域执行按压处理。

接着，在步骤S23中取得预备基准信号。即，以线圈内置探测器1的前端不与预备电极接触而与预备基准区域的表面隔开规定距离地位于上方的位置的方式，配置线圈内置探测器1。规定距离设定为1mm左右。

因此，在步骤S23的执行时在预备电极中的预备基准区域的表面产生涡电流，在线圈内置探测器1中取得涡电流检测结果。而且，通过涡电流测定器3的运算处理，获得基于涡电流检测结果的预备基准信号。

推测该预备基准信号的信号值具有与正常接合部41A的检测信号的信号值相同或者近似的值。这是因为，通过步骤S22，预备基准区域被设为与预备基板的表面紧贴的状态。

在步骤S23的执行后，在步骤S24中，按压设于涡电流测定器3的校正按钮，进行校正处理以使得预备基准信号的信号值成为“0”。

在上述的校正处理后，从涡电流测定器3获得的检测信号具有以下的性质。在检测信号的信号值为正的情况下，意味着比预备基准信号的信号值更高的信号值，在检测信号的信号值为负的情况下，意味着比预备基准信号的信号值更低的信号值。

接下来，在步骤S25中，将基板30上的电极引线40作为检查对象物，执行取得多个预备检测信号的涡电流预备检查。

图5是示意地表示涡电流预备检查的检查内容的说明图。在图5中标记了XYZ正交坐标系。另外，涡电流测定装置10不属于XYZ正交坐标系的对象。另外，在图5中省略了基板30的图示。

如该图所示，对于成为检查对象物的电极引线40的多个超声波接合部41，分别以沿着与电极引线40的形成方向(X方向)垂直的Y方向，横切多个超声波接合部41各自的上方的方式扫描。在图5所示的例子中，示出了三个超声波接合部41，因此对三个超声波接合部41进行三次扫描SC11～SC13。

如此，在步骤S25中，通过依次执行扫描SC11～SC13，从而交流电流施加状态的线圈内置探测器1依次配置于多个超声波接合部41各自的上方。在扫描SC11～SC13时，线圈内置探测器1的下方前端部的位置设定于距离多个超声波接合部41为1mm左右的高度。因此，在扫描SC11～SC13的执行时，在多个超声波接合部41各自的表面产生涡电流。

之后，在线圈内置探测器1中，按每个扫描SC11～SC13获得涡电流检测结果。这里，为了方便说明，将通过扫描SC11～SC13获得的涡电流检测结果称作第一～第三涡电流检测结果。

并且，通过涡电流测定器3的运算处理，获得基于第一～第三涡电流检测结果的第一～第三预备检测信号。第一～第三预备检测信号成为多个预备检测信号。

最后，在步骤S26中，从多个超声波接合部41中决定校正基准部41S。即，将步骤S25中获得的多个预备检测信号的信号值中，具有与在步骤S24中校正后的“0”最接近的信号值的预备检测信号，决定为决定预备检测信号。

之后，将多个超声波接合部41中的与上述决定预备检测信号相对应的超声波接合部41决定为校正基准部41S。该校正基准部41S成为基准接合部。如此，通过执行包含步骤S21～S26的步骤S2，能够从多个超声波接合部41中选择一个校正基准部41S。

另外，在图5所示的例子中，通过扫描SC11～SC13获得的第一～第三预备检测信号中的与“0”最接近的信号值被选择为选择预备检测信号。

本实施方式的涡电流检查方法通过执行包含步骤S21～S26的步骤S2，能够不与成为检查对象物的电极引线40接触地从多个超声波接合部41中选择成为基准接合部的校正基准部41S。

其结果，本实施方式的涡电流检查方法通过选择可靠性较高的校正基准部41S，能够高精度地获得基准等级，能够高精度地判定多个超声波接合部41各自向基板30的表面接合的接合状态。

电极引线40通过超声波接合处理在多个超声波接合部41中进行与基板30的表面的接合。即，多个超声波接合部41分别成为与基板30的表面的接合区域。

关于本实施方式的涡电流检查方法，确认到只要多个超声波接合部41各自的厚度为0.01mm以上，便能够高精度地判定多个超声波接合部41各自向基板30接合的接合状态。

因此，根据本实施方式的涡电流检查方法，例如对于各个具有0.11mm左右的比较薄的膜厚的多个超声波接合部41，也能够判定其与基板30的表面接合的接合状态。

关于本实施方式的涡电流检查方法，确认到只要多个超声波接合部41分别在俯视时具有包含一边的长度为1mm的正方形的平面形状，便能够高精度地判定多个超声波接合部41各个基板30的接合状态。

因此，根据本实施方式的涡电流检查方法，例如对于各个一边的长度为1mm的正方形左右的平面形状的多个超声波接合部41，也能够判定其与基板30接合的接合状态。

在本实施方式的涡电流检查方法中，在步骤S4中执行的涡电流检查执行时的线圈内置探测器1的扫描速度设定为1m/s以上。

因此，根据本实施方式的涡电流检查方法，在步骤S4中执行的线圈内置探测器1的扫描速度为1m/s以上，因此能够将步骤S4的执行时间抑制为相对较短的时间从而实现检查时间的缩短化。

即，即使对于具有相对较长的形成长度的电极引线40，本实施方式的涡电流检查方法的检查时间也不会长期化。

并且，在本实施方式的涡电流检查方法中，作为在步骤S1中施加的交流电流，使用频率相同且相位不同的第一以及第二交流电流，从而能够在步骤S4中获得更高精度的检测信号。

其结果，本实施方式的涡电流检查方法起到能够高精度地判定电极引线40向基板30的表面接合的接合状态的效果。

＜其他＞

另外，在上述的实施方式中，作为对线圈内置探测器1施加的交流电流，使用了频率相同且相位不同的第一以及第二交流电流，但只要第一以及第二交流电流的频率以及相位中的至少一个不同便能够期待相同的效果。

并且，涡电流测定器3也可以相互独立地获得基于第一涡电流检测结果的第一检测信号、以及基于第二涡电流检测结果的第二检测信号。第一检测信号对应于第一交流电流，第二检测信号对应于第二交流电流。

在这种情况下，由于获得两个输出波形LV，因此如图1所示，作为连接用探测器5，优选使用相互独立的两个探测器5a以及5b。

另外，作为在步骤S1中施加的交流电流，即使使用单一的交流电流，也可期待能够判定电极引线40与基板30的表面接合的接合状态的效果。这是因为，一般来说涡电流测定器3即使使用单一的交流电流，也能够获得基于涡电流检测结果的检测信号。

即，在步骤S1中施加的交流电流即使使用单一的交流电流，也能够基于正常接合部41A、断裂部41B以及未接合部41C之间的上述的第一以及第二距离特性，进行与上述的第一～第三判定相同的判定。

另外，作为图2所示的步骤S2的校正基准部41S的选择处理，也可以代替图4所示的处理而使用下述手动选择处理，即：手动抬起多个超声波接合部41各自的附近区域，将多个超声波接合部41中的稳定的接合状态的超声波接合部41选择为校正基准部41S。

但是，在使用手动选择处理的情况下，需要与电极引线40接触。并且，由于上述的手动选择处理为基于人工的主观处理，因此不能说校正基准部41S的选择精度也较高。因此，作为图2所示的校正基准部41S的选择处理，优选执行图4所示的处理。

虽然详细地说明了本申请，但上述的说明在所有方面都为例示，本申请不限于此。应理解为能够不脱离本申请的范围地想到未例示的无数的变形例。

附图标记说明

1 线圈内置探测器

3 涡电流测定器

9 检测电压显示用PC

10 涡电流测定装置

30 基板

40 电极引线

41 超声波接合部

41A 正常接合部

41B 断裂部

41C 未接合部

41S 校正基准部

Claims (7)

1.一种涡电流检查方法，为使用了涡电流测定装置的涡电流检查方法，所述涡电流测定装置使检查对象物产生涡电流，并获得表示涡电流的状态的检测信号，所述涡电流测定装置具有内置有线圈的探测器，设于基板上的电极成为所述检查对象物，所述涡电流检查方法具备：

(a)对所述探测器内的线圈施加交流电流而成为交流电流施加状态的步骤；以及

(b)使所述交流电流施加状态的所述探测器沿着所述电极的形成方向扫描的步骤，在所述步骤(b)的执行期间内，所述探测器不与所述电极接触，而是与所述电极的表面隔开规定距离地位于上方，在所述步骤(b)的执行时在所述电极的表面产生涡电流，通过所述涡电流测定装置不间断地获得所述检测信号，

所述涡电流检查方法还具备，

(c)基于不间断地获得的所述检测信号与基准等级的比较结果，判定所述电极与所述基板接合的接合状态的步骤。

2.如权利要求1所述的涡电流检查方法，

所述电极具有相互离散的多个接合部，所述多个接合部被分配为与所述基板的表面的接合区域，

所述涡电流检查方法还具备：

(d)在所述步骤(a)之后、所述步骤(b)之前执行，从所述多个接合部中选择一个接合部作为基准接合部的步骤，

所述基准等级为在所述基准接合部的上方配置有所述探测器时的所述检测信号的信号值，

在所述步骤(b)的执行时与所述多个接合部对应地获得多个检测信号，

在所述步骤(c)中，

(c-1)在所述多个检测信号中存在在正方向以及负方向中的一个方向上与所述基准等级具有显著性差异的第一种检测信号的情况下，将所述多个接合部中的与所述第一种检测信号相对应的接合部判定为未接合状态，

(c-2)在所述多个检测信号中存在在正方向以及负方向中的另一个方向上与所述基准等级具有显著性差异的第二种检测信号的情况下，将所述多个接合部中的与所述第二种检测信号相对应的接合部判定为断裂状态，

(c-3)在所述多个检测信号中存在不属于所述第一种检测信号以及所述第二种检测信号的任一种的第三种检测信号的情况下，将所述多个接合部中的与所述第三种检测信号相对应的接合部判定为正常状态。

3.如权利要求2所述的涡电流检查方法，

在所述步骤(d)中，包含：

(d-1)准备在表面上配置未接合状态的预备电极的预备基板的步骤；

(d-2)从上部按压所述预备电极中的预备基准区域，使所述预备基准区域与所述预备基板的表面紧贴的步骤；以及

(d-3)使所述交流电流施加状态的所述探测器配置于所述预备电极的所述预备基准区域的上方的步骤，在所述步骤(d-3)的执行时在所述预备基准区域的表面产生涡电流，通过所述涡电流测定装置获得预备基准信号，

所述涡电流检查方法还包含，

(d-4)使所述交流电流施加状态的所述探测器依次配置于所述多个接合部的上方的步骤，在所述步骤(d-4)的执行时在所述多个接合部的表面产生涡电流，通过所述涡电流测定装置获得与所述多个接合部对应的多个预备检测信号，

所述涡电流检查方法还包含，

(d-5)将所述多个预备检测信号中的具有与所述预备基准信号最接近的信号值的信号判定为决定预备检测信号，将所述多个接合部中的与所述决定预备检测信号相对应的接合部决定为所述基准接合部的步骤。

4.如权利要求2或3所述的涡电流检查方法，

所述多个接合部为与使用了超声波接合法的所述基板的表面接合的接合区域，

所述多个接合部各自的厚度为0.01mm以上。

5.如权利要求2～4中任一项所述的涡电流检查方法，

所述多个接合部分别在俯视时具有包含一边的长度为1mm的正方形的平面形状。

6.如权利要求1～5中任一项所述的涡电流检查方法，

在所述步骤(b)中执行的所述探测器的扫描速度为1m/s以上。

7.如权利要求1～6中任一项所述的涡电流检查方法，

所述交流电流包含第一交流电流与第二交流电流，所述第一交流电流以及所述第二交流电流的频率以及相位中的至少一个不同。

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