CN115443310A - 液晶聚合物树脂组合物及其制造方法、以及半导体搬送用载体 - Google Patents

液晶聚合物树脂组合物及其制造方法、以及半导体搬送用载体 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种液晶聚合物树脂组合物，其包含成分(A)液晶聚合物、成分(B’)重量平均纤维长低于150μm的碳纤维、及成分(C)体积电阻率为102～1010Ω·cm的碳前体，上述成分(B’)的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为10～30质量份，上述成分(C)的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为5～35质量份，上述成分(B’)及上述成分(C)的合计的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为25～60质量份。

Description

液晶聚合物树脂组合物及其制造方法、以及半导体搬送用 载体
技术领域
本发明涉及液晶聚合物树脂组合物及其制造方法、以及半导体搬送用载体。
本申请基于2020年5月26日在日本申请的特愿2020-091374号而主张优先权，并将其内容援引于此。
背景技术
在聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚碳酸酯、聚醚醚酮等热塑性树脂中分散导电性填充材料而得到的半导电性树脂组合物的抗静电性、防尘埃吸附性、电磁波屏蔽性等功能优异。半导电性树脂组合物将这些功能有效利用，被利用于用来搬送或保管半导体晶片、半导体元件等的半导体搬送用载体的用途(例如，专利文献1)。
另一方面，由液晶聚合物得到的成型体由于为高强度且耐热性高，此外尺寸精度高，因此被用作各种电子部件的形成材料。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2002-121402号公报
发明内容
发明所要解决的课题
于是，在液晶聚合物中分散导电性填充材料而得到的半导电性树脂组合物可以期待高强度、高耐热性的半导体搬送用载体的用途。就半导体搬送用载体而言，要求具有1.0×105～1.0×1011Ω的适度的静电扩散区域(国际电气标准化会议(IEC)61340)的表面电阻值。此外，半导体搬送用载体经常在半导体搬送用载体上粘贴显示用的强粘合的附笺胶带，并剥离而反复使用。
然而，就由以往的液晶聚合物树脂组合物得到的成型体而言，显示出适度的静电扩散区域的表面电阻值的成型体在将强粘合的附笺胶带剥离时表面的皮层会剥离。即，由以往的液晶聚合物树脂组合物得到的成型体大部分胶带剥离性有困难。相反，具有优异的胶带剥离性的成型体不显示出适度的静电扩散区域的表面电阻值。
本发明是鉴于上述那样的情况而进行的，目的是提供可成型出显示出适度的静电扩散区域的表面电阻值、并且具有优异的胶带剥离性的成型体的液晶聚合物树脂组合物及其制造方法、以及半导体搬送用载体。
用于解决课题的手段
为了解决上述课题，本发明采用以下的构成。
[1]一种液晶聚合物树脂组合物，其是包含以下的成分(A)、成分(B’)及成分(C)的液晶聚合物树脂组合物，
(A)液晶聚合物
(B’)重量平均纤维长低于150μm的碳纤维
(C)体积电阻率为102～1010Ω·cm的碳前体
上述成分(B’)的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为10～30质量份，上述成分(C)的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为5～35质量份，上述成分(B’)及上述成分(C)的合计的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为25～60质量份。
[2]根据上述[1]所述的液晶聚合物树脂组合物，其中，进一步包含成分(D)导电性炭黑，
上述成分(B’)、上述成分(C)及上述成分(D)的合计的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为25～60质量份。
[3]一种半导体搬送用载体，其具有由上述[1]或[2]所述的液晶聚合物树脂组合物形成的主体部。
[4]一种液晶聚合物树脂组合物的制造方法，其是将以下的成分(A)、成分(B)及成分(C)进行熔融混炼的液晶聚合物树脂组合物的制造方法，
(A)液晶聚合物
(B)重量平均纤维长低于3000μm的碳纤维
(C)体积电阻率为102～1010Ω·cm的碳前体
上述成分(B)的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为10～30质量份，上述成分(C)的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为5～35质量份，上述成分(B)及上述成分(C)的合计的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为25～60质量份。
发明效果
根据本发明，能够提供可成型出显示出适度的静电扩散区域的表面电阻值、并且具有优异的胶带剥离性的成型体的液晶聚合物树脂组合物及其制造方法、以及半导体搬送用载体。
附图说明
图1是示意性表示本发明的半导体搬送用载体的一个例子的立体图。
具体实施方式
<液晶聚合物树脂组合物>
本实施方式的液晶聚合物树脂组合物包含以下的成分(A)、成分(B’)及成分(C)。
(A)液晶聚合物
(B’)重量平均纤维长低于150μm的碳纤维
(C)体积电阻率为102～1010Ω·cm的碳前体
(A)液晶聚合物
在本实施方式中，液晶聚合物树脂组合物包含成分(A)液晶聚合物。所谓液晶聚合物(LCP)是指以熔融状态显示出分子的直链有规律地排列的液晶样性质的热塑性树脂。包含液晶聚合物(LCP)的液晶聚合物树脂组合物也优选以熔融状态显示出液晶性，优选为在450℃以下的温度下熔融的组合物。液晶聚合物树脂组合物通过包含液晶聚合物，从而为高强度且耐热性高，此外尺寸精度高。
作为本实施方式中使用的液晶聚合物(LCP)，可以为液晶聚酯，也可以为液晶聚酯酰胺，也可以为液晶聚酯醚，也可以为液晶聚酯碳酸酯，还可以为液晶聚酯酰亚胺。作为本实施方式中使用的液晶聚合物(LCP)，优选为液晶聚酯，特别优选为仅使用芳香族化合物作为原料单体而成的全芳香族液晶聚酯。
作为本实施方式中使用的液晶聚酯的典型例，可列举出使芳香族羟基羧酸与芳香族二羧酸与选自由芳香族二元醇、芳香族羟基胺及芳香族二胺构成的组中的至少1种化合物聚合(缩聚)而成的液晶聚酯、使多种芳香族羟基羧酸聚合而成的液晶聚酯、使芳香族二羧酸与选自由芳香族二元醇、芳香族羟基胺及芳香族二胺构成的组中的至少1种化合物聚合而成的液晶聚酯、及使聚对苯二甲酸乙二醇酯等聚酯与芳香族羟基羧酸聚合而成的液晶聚酯。其中，芳香族羟基羧酸、芳香族二羧酸、芳香族二元醇、芳香族羟基胺及芳香族二胺也可以分别独立地使用其可聚合的衍生物来代替其一部分或全部。
作为芳香族羟基羧酸及芳香族二羧酸那样的具有羧基的化合物的可聚合的衍生物的例子，可列举出将羧基转换成烷氧基羰基或芳氧基羰基而成的物质(酯)、将羧基转换成卤代甲酰基而成的物质(酰卤化物(aicd halide))、及将羧基转换成酰氧基羰基而成的物质(酸酐)。作为芳香族羟基羧酸、芳香族二元醇及芳香族羟基胺那样的具有羟基的化合物的可聚合的衍生物的例子，可列举出将羟基酰化而转换成酰氧基而成的物质(酰化物)。作为芳香族羟基胺及芳香族二胺那样的具有氨基的化合物的可聚合的衍生物的例子，可列举出将氨基酰化而转换成酰氨基而成的物质(酰化物)。
本实施方式中使用的液晶聚酯优选具有下述式(1)所表示的重复单元(以下，有时称为“重复单元(1)”)，更优选具有重复单元(1)、下述式(2)所表示的重复单元(以下，有时称为“重复单元(2)”)和下述式(3)所表示的重复单元(以下，有时称为“重复单元(3)”)。
(1)-O-Ar1-CO-
(2)-CO-Ar2-CO-
(3)-X-Ar3-Y-
(式(1)～(3)中，Ar1表示亚苯基、亚萘基或亚联苯基，Ar2及Ar3分别独立地表示亚苯基、亚萘基、亚联苯基或下述式(4)所表示的基团。X及Y分别独立地表示氧原子或亚氨基。处于Ar1、Ar2及Ar3所表示的上述基团中的氢原子也可以分别独立地被卤素原子、烷基或芳基取代。)
(4)-Ar4-Z-Ar5-
(式(4)中，Ar4及Ar5分别独立地表示亚苯基或亚萘基。Z表示氧原子、硫原子、羰基、磺酰基或烷叉基。)
本实施方式中使用的液晶聚酯优选包含重复单元(1)、重复单元(2)或重复单元(3)所表示的重复单元，
重复单元(1)的含有比例相对于重复单元(1)、重复单元(2)或重复单元(3)的合计量为30摩尔％～100摩尔％，
重复单元(2)的含有比例相对于重复单元(1)、重复单元(2)或重复单元(3)的合计量为0摩尔％～35摩尔％，
重复单元(3)的含有比例相对于重复单元(1)、重复单元(2)或重复单元(3)的合计量为0摩尔％～35摩尔％。
作为上述卤素原子，可列举出氟原子、氯原子、溴原子及碘原子。作为上述烷基的例子，可列举出甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、异丁基、仲丁基、叔丁基、正己基、2-乙基己基、正辛基及正癸基，其碳数优选为1～10。作为上述芳基的例子，可列举出苯基、邻甲苯基、间甲苯基、对甲苯基、1-萘基及2-萘基，其碳数优选6～20。在上述氢原子被这些基团取代的情况下，其数在每个Ar1、Ar2或Ar3所表示的上述基团中分别独立地优选为2个以下，更优选为1个以下。
作为上述烷叉基的例子，可列举出亚甲基、乙叉基、异丙叉基、正丁叉基及2-乙基己叉基，其碳数优选1～10。
重复单元(1)是来源于规定的芳香族羟基羧酸的重复单元。作为优选的重复单元(1)，可列举出Ar1为对亚苯基的重复单元(来源于对羟基苯甲酸的重复单元)、及Ar1为2,6-亚萘基的重复单元(来源于6-羟基-2-萘甲酸的重复单元)。
需要说明的是，本说明书中所谓“来源”是指为了使原料单体聚合，有助于聚合的官能团的化学结构发生变化、而不产生其他的结构变化。
重复单元(2)为来源于规定的芳香族二羧酸的重复单元。作为优选的重复单元(2)，可列举出Ar2为对亚苯基的重复单元(来源于对苯二甲酸的重复单元)、Ar2为间亚苯基的重复单元(来源于间苯二甲酸的重复单元)、Ar2为2,6-亚萘基的重复单元(来源于2,6-萘二羧酸的重复单元)、及Ar2为二苯基醚-4,4’-二基的重复单元(来源于二苯基醚-4,4’-二羧酸的重复单元)。
重复单元(3)为来源于规定的芳香族二元醇、芳香族羟基胺或芳香族二胺的重复单元。作为优选的重复单元(3)，可列举出Ar3为对亚苯基的重复单元(来源于氢醌、对氨基苯酚或对苯二胺的重复单元)、及Ar3为4,4’-亚联苯基的重复单元(来源于4,4’-二羟基联苯、4-氨基-4’-羟基联苯或4,4’-二氨基联苯的重复单元)。
重复单元(1)的含有比例相对于全部重复单元的合计量(通过将构成液晶聚合物的各重复单元的质量除以该各重复单元的式量，求出各重复单元的物质量相当量(摩尔)，将它们合计而得到的值)，优选为30摩尔％～100摩尔％，更优选为30摩尔％～80摩尔％，进一步优选为40摩尔％～70摩尔％，尤其优选为45摩尔％～65摩尔％。
重复单元(2)的含有比例相对于全部重复单元的合计量优选为0摩尔％～35摩尔％，更优选为10摩尔％～35摩尔％，进一步优选为15摩尔％～30摩尔％，尤其优选为17.5摩尔％～27.5摩尔％。
重复单元(3)的含有比例相对于全部重复单元的合计量优选为0摩尔％～35摩尔％，更优选为10摩尔％～35摩尔％，进一步优选为15摩尔％～30摩尔％，尤其优选为17.5摩尔％～27.5摩尔％。
液晶聚酯的重复单元(1)的含有比例、液晶聚酯的重复单元(2)的含有比例及液晶聚酯的重复单元(3)的含有比例之和不超过100摩尔％。
重复单元(1)的含有比例越多，则熔融流动性、耐热性、强度/刚性容易提高，若过多，则熔融温度、熔融粘度容易变高，成型所需的温度容易变高。
重复单元(2)的含量与重复单元(3)的含量的比例以[重复单元(2)的含量]/[重复单元(3)的含量](摩尔/摩尔)表示，优选为0.9/1～1/0.9，更优选为0.95/1～1/0.95，进一步优选为0.98/1～1/0.98。
需要说明的是，本实施方式中使用的液晶聚合物也可以分别独立地具有2种以上的重复单元(1)～(3)。此外，液晶聚合物也可以具有除重复单元(1)～(3)以外的重复单元，但其含有比例相对于全部重复单元的合计量优选为0摩尔％～10摩尔％，更优选为0摩尔％～5摩尔％。
本实施方式中使用的液晶聚合物优选具有X及Y分别为氧原子的重复单元作为重复单元(3)。即，具有来源于规定的芳香族二元醇的重复单元由于熔融粘度容易变低，因此优选，作为重复单元(3)，更优选仅具有X及Y分别为氧原子的重复单元。
本实施方式中使用的液晶聚合物优选通过使与构成其的重复单元相对应的原料单体熔融聚合并使所得到的聚合物(以下，有时称为“预聚物”)固相聚合来制造。由此，能够操作性良好地制造耐热性、强度/刚性高的高分子量的液晶聚合物。熔融聚合也可以在催化剂的存在下进行，作为该催化剂的例子，可列举出乙酸镁、乙酸亚锡、钛酸四丁酯、乙酸铅、乙酸钠、乙酸钾、三氧化锑等金属化合物、4-(二甲基氨基)吡啶、1-甲基咪唑等含氮杂环式化合物，优选使用含氮杂环式化合物。
本实施方式中使用的液晶聚合物的流动开始温度优选为280℃以上，更优选为280℃～400℃，进一步优选为280℃～380℃。
本实施方式中使用的液晶聚合物的流动开始温度越高，存在由液晶聚合物树脂组合物得到的成型体的耐热性以及强度及刚性越提高的倾向。另一方面，若液晶聚合物的流动开始温度超过400℃，则存在液晶聚合物的熔融温度、熔融粘度变高的倾向。因此，存在液晶聚合物的成型所需的温度变高的倾向。
本说明书中，液晶聚合物的流动开始温度也被称为flow温度或流动温度，是成为液晶聚合物的分子量的目标的温度(参照小出直之编、“液晶聚合物-合成·成型·应用-”(小出直之編、「液晶ポリマー－合成·成形·応用－)、株式会社CMC、1987年6月5日、p.95)。流动开始温度是使用毛细管流变仪一边使液晶聚合物在9.8MPa(100kg/cm2)的载荷下以4℃/分钟的速度升温一边使其熔融，从内径为1mm及长度为10mm的喷嘴挤出时显示出4800Pa·s(48000泊)的粘度的温度。
在上述液晶聚合物树脂组合物中，上述成分(A)的含有比例相对于上述液晶聚合物树脂组合物100质量％优选为60～80质量％，更优选为61～79质量％，进一步优选为62～78质量％，尤其优选为65～77质量％。
(B’)重量平均纤维长低于150μm的碳纤维
在本实施方式中，液晶聚合物树脂组合物包含成分(B’)“重量平均纤维长低于150μm的碳纤维”，上述成分(B’)的含有比例相对于成分(A)100质量份为10～30质量份。
作为液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维，例如可以使用聚丙烯腈(PAN)系、沥青系(煤沥青系、石油沥青系)、纤维素系、木质素系等各种碳纤维。它们中，特别优选选自由PAN系碳纤维及沥青系碳纤维构成的组中的至少一种碳纤维。
液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的重量平均纤维长只要低于150μm则没有特别限制。
液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的重量平均纤维长可以通过下述的步骤来求出。首先，将液晶聚合物树脂组合物在空气气氛下进行加热而将树脂除去，得到包含碳纤维的灰化残渣。使灰化残渣分散到加有表面活性剂的水溶液中，用纯水进行稀释，得到稀释试样液。使用粒子形状图像解析装置，使所得到的稀释试样液通过流动池中，对在溶液中移动的碳纤维一个一个地进行拍摄。将所得到的图像进行二值化处理，测定处理后的图像中的30000根碳纤维的外切矩形长径，通过下述式(5)，求出液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的重量平均纤维长。
Lw＝ΣLi2/ΣLi (5)
Lw：重量平均纤维长
Li：第i个碳纤维的外切矩形长径
液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的重量平均纤维长低于150μm，上述成分(B’)的含有比例相对于成分(A)100质量份为10～30质量份。由此，容易保证将液晶聚合物树脂组合物成型而成的成型体的优异的胶带剥离性，并且使将液晶聚合物树脂组合物成型而成的成型体的表面电阻值控制为1.0×105～1.0×1011Ω的适度的静电扩散区域的值。从能够容易保证优异的胶带剥离性、并且使将液晶聚合物树脂组合物成型而成的成型体的表面电阻值控制为1.0×105Ω以上的适度的值的方面出发，液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的重量平均纤维长优选为146μm以下，更优选为142μm以下，进一步优选为138μm以下。从能够容易保证优异的胶带剥离性、并且使将液晶聚合物树脂组合物成型而成的成型体的表面电阻值控制为1.0×1011Ω以下的适度的值的方面出发，液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的重量平均纤维长优选为60μm以上，更优选为70μm以上，进一步优选为80μm以上。
液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的重量平均纤维长优选为60μm以上且低于146μm，更优选为70μm～142μm，进一步优选为80μm～138μm，特别优选为90μm～135μm。
液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的平均径优选为3～15μm。
若碳纤维的平均径低于3μm，则存在作为增强材的效果变小的倾向。此外，若碳纤维的平均径超过15μm，则存在成型性降低、成型体的表面的外观恶化的倾向。
在本实施方式的液晶聚合物树脂组合物中，上述成分(B’)的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为10～30质量份，优选为11～29质量份，更优选为12～28质量份，进一步优选为22～27.5质量份。
(C)体积电阻率为102～1010Ω·cm的碳前体
本实施方式的液晶聚合物树脂组合物包含成分(C)“体积电阻率为102～1010Ω·cm的碳前体”，上述成分(C)的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为5～35质量份。
体积电阻率为102～1010Ω·cm的碳前体例如可以通过利用日本特开2002-121402号公报(专利文献1)中记载的方法将有机物质在不活泼气氛中在400℃～900℃的温度下进行烧成来获得。碳前体例如可以通过下述方法来制造：(i)将石油焦油、石油沥青、煤焦油、煤沥青等沥青、焦油加热而进行芳香族化和缩聚，根据需要在氧气氛中进行氧化/不融化，进而在不活泼气氛中进行加热/烧成的方法；(ii)将聚丙烯腈、聚氯乙烯等热塑性树脂在氧气氛中进行不融化，进而在不活泼气氛中进行加热/烧成的方法；(iii)将酚醛树脂、呋喃树脂等热固化性树脂加热固化后，在不活泼气氛中进行加热/烧成的方法等。
碳前体是通过这些处理而碳的含有比例为97质量％以下的未完全碳化的物质。碳前体的碳的含有比例优选为80～97质量％，更优选为85～97质量％的范围内。由此，能够获得未完全碳化的状态的体积电阻率为102～1010Ω·cm的碳前体。碳前体的体积电阻率优选为103～109Ω·cm，更优选为104～108Ω·cm。
碳前体的体积电阻率可以如下那样进行测定。
将碳前体进行加压成型而得到板状的成型体。将该板状的成型体在氮气流中的580℃下进行1小时热处理而制成测定试样。依据JIS K 7194，测定该测定试样的体积电阻率。
通过液晶聚合物树脂组合物中的碳前体的体积电阻率为102～1010Ω·cm，且上述成分(C)的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为5～35质量份，从而容易保证将液晶聚合物树脂组合物成型而成的成型体的优异的胶带剥离性，并且将表面电阻值控制为1.0×105～1.0×1011Ω的适度的值。
将液晶聚合物树脂组合物成型而成的成型体的表面电阻值例如可以使用美国PROSTAT公司制的电阻测定系统来进行测定。
在本实施方式的液晶聚合物树脂组合物中，碳前体通常以粒子或纤维的形状来使用。碳前体粒子的平均粒径优选为1mm以下。若碳前体粒子的平均粒径过大，则在将液晶聚合物树脂组合物成型的情况下，变得难以得到良好的外观的成型物。碳前体粒子的平均粒径通常为0.1μm～1mm，优选为1～800μm，更优选为5～500μm。大多情况下，通过使用5～50μm左右的平均粒径的碳前体粒子，能够得到良好的结果。
在本实施方式的液晶聚合物树脂组合物中，上述成分(C)的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为5～35质量份，优选为5～32质量份，更优选为6～32质量份，进一步优选为6.5～14质量份，尤其优选为6.5～11质量份。
在本实施方式的液晶聚合物树脂组合物中，上述成分(B’)及上述成分(C)的合计的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为25～60质量份，优选为28～58质量份，进一步优选为28～50质量份，更优选为28～40。
本实施方式的液晶聚合物树脂组合物由于液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的重量平均纤维长低于150μm，液晶聚合物树脂组合物中的碳前体的体积电阻率为102～1010Ω·cm，上述成分(B’)的含有比例相对于成分(A)100质量份为10～30质量份，上述成分(C)的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为5～35质量份，上述成分(B’)及上述成分(C)的合计的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为25～60质量份，因此能够成型出显示出适度的静电扩散区域的表面电阻值、并且具有优异的胶带剥离性的成型体。
(其他成分)
本实施方式的液晶聚合物树脂组合物根据需要也可以包含1种以上的上述成分(A)、上述成分(B’)及上述成分(C)以外的(D)导电性炭黑、热塑性树脂、填充材料、添加剂等成分。
·(D)导电性炭黑
本实施方式的液晶聚合物树脂组合物也可以含有(D)导电性炭黑。
这里使用的导电性炭黑可以是通过任意的制法而获得的炭黑，作为其具体例子，可列举出槽法炭黑、炉黑、乙炔黑等。此外，若从液晶聚合物树脂组合物中的分散性的观点出发，则其平均粒径优选为30μm以下。
上述成分(D)的含有比例相对于上述成分(A)100质量份优选为0～20质量份，更优选为0.5～18质量份，进一步优选为1～15质量份。
上述成分(B’)、上述成分(C)及上述成分(D)的合计的含有比例相对于上述成分(A)100质量份优选为25～60质量份，更优选为28～60质量份，进一步优选为30～50质量份。
本实施方式的液晶聚合物树脂组合物通过液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的重量平均纤维长低于150μm，液晶聚合物树脂组合物中的碳前体的体积电阻率为102～1010Ω·cm，上述成分(B’)的含有比例相对于成分(A)100质量份为10～30质量份，上述成分(C)的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为5～35质量份，上述成分(B’)及上述成分(C)的合计的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为25～60质量份，上述成分(B’)、上述成分(C)及上述成分(D)的合计的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为25～60质量份，能够成型出显示出适度的静电扩散区域的表面电阻值、并且具有更优异的胶带剥离性的成型体。
·热塑性树脂
作为上述液晶聚合物树脂组合物中所含的液晶聚合物以外的热塑性树脂的例子，可列举出聚丙烯、聚酰胺、液晶聚酯以外的聚酯、聚砜、聚苯硫醚、聚醚酮、聚碳酸酯、聚苯醚、聚醚酰亚胺等液晶聚合物以外的热塑性树脂。
液晶聚合物以外的热塑性树脂的含有比例相对于上述成分(A)100质量份可以为0～20质量份，也可以为0～10质量份，也可以为0～5质量份，还可以为0质量份。
·填充材料
作为填充材料，也可以包含板状填充材料、球状填充材料及其他的粒状填充材料。此外，填充材料可以为无机填充材料，也可以为有机填充材料。
作为板状无机填充材料的例子，可列举出滑石、云母、石墨、硅灰石、硫酸钡、碳酸钙。云母可以为白云母，也可以为金云母，也可以为氟金云母，还可以为四硅云母。
作为粒状无机填充材料的例子，可列举出二氧化硅、氧化铝、氧化钛、氮化硼、碳化硅、碳酸钙。
·添加剂
作为添加剂的例子，可列举出抗氧化剂、热稳定剂、紫外线吸收剂、抗静电剂、表面活性剂、阻燃剂、着色剂。
本实施方式的液晶聚合物树脂组合物具有以下的方面。
“1”一种液晶聚合物树脂组合物，其是包含以下的成分(A)、成分(B’)及成分(C)的液晶聚合物树脂组合物，
(A)液晶聚合物
(B’)重量平均纤维长低于150μm的碳纤维
(C)体积电阻率为102～1010Ω·cm的碳前体
上述成分(B’)的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为10～30质量份，上述成分(C)的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为5～35质量份，上述成分(B’)及上述成分(C)的合计的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为25～60质量份。
“2”根据“1”所述的液晶聚合物树脂组合物，其中，上述成分(B’)的含有比例相对于上述成分(A)100质量份优选为11～29质量份，更优选为12～28质量份，进一步优选为22～27质量份。
“3”根据“1”或“2”所述的液晶聚合物树脂组合物，其中，上述成分(C)的含有比例相对于上述成分(A)100质量份优选为5～32质量份，更优选为6～32质量份，进一步优选为6.5～14质量份，尤其优选为6.5～11质量份。
“4”根据“1”～“3”中任一项所述的液晶聚合物树脂组合物，其中，上述成分(B’)及上述成分(C)的合计的含有比例相对于上述成分(A)100质量份优选为26～60质量份，进一步优选为28～50质量份，更优选为28～36。
“5”根据“1”～“4”中任一项所述的液晶聚合物树脂组合物，其进一步包含成分(D)导电性炭黑，
上述成分(B’)、上述成分(C)及上述成分(D)的合计的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为25～60质量份，优选为25～60质量份，更优选为28～60质量份，进一步优选为30～50质量份。
“6”根据“5”所述的液晶聚合物树脂组合物，其中，上述成分(D)的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为0～20质量份，优选为0.5～18质量份，更优选为1～16质量份。
本实施方式的液晶聚合物树脂组合物例如可以通过将成分(A)、成分(B’)及成分(C)与根据需要的其他成分混合来制造。此外，本实施方式的液晶聚合物树脂组合物可以通过如下所示的那样进行熔融混炼来制造。
<液晶聚合物树脂组合物的制造方法>
本实施方式的液晶聚合物树脂组合物的制造方法是将以下的成分(A)、成分(B)成分(C)进行熔融混炼的液晶聚合物树脂组合物的制造方法，
(A)液晶聚合物
(B)重量平均纤维长低于3000μm的碳纤维
(C)体积电阻率为102～1010Ω·cm的碳前体
上述成分(B)的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为10～30质量份，上述成分(C)的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为5～35质量份，上述成分(B)及上述成分(C)的合计的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为25～60质量份。
在本实施方式的液晶聚合物树脂组合物的制造方法中，可以进一步配合上述成分(D)导电性炭黑，可以根据需要配合上述的其他成分。
在本实施方式的液晶聚合物树脂组合物的制造方法中，各成分的配合比例与所得到的液晶聚合物树脂组合物的上述的各成分的含有比例相同。
即，在本实施方式的液晶聚合物树脂组合物的制造方法中，通过上述成分(B)的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为10～30质量份，上述成分(C)的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为5～35质量份，上述成分(B)及上述成分(C)的合计的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为25～60质量份，能够由所得到的液晶聚合物树脂组合物成型出显示出适度的静电扩散区域的表面电阻值、并且具有优异的胶带剥离性的成型体。
在本实施方式的液晶聚合物树脂组合物的制造方法中，通过上述成分(B)的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为10～30质量份，上述成分(C)的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为5～35质量份，上述成分(B)及上述成分(C)的合计的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为25～60质量份，上述成分(B)、上述成分(C)及上述成分(D)的合计的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为25～60质量份，能够成型出显示出适度的静电扩散区域的表面电阻值、并且具有更优异的胶带剥离性的成型体。
例如，将上述成分(A)、成分(B)及成分(C)与根据需要的其他成分混合，一边用双螺杆挤出机进行脱气一边进行熔融混炼，将所得到的混合物经由圆形喷嘴(喷出口)以线料状喷出，接着利用线料切割机进行造粒，能够制成颗粒(pellet)形状(即，圆柱形状)的液晶聚合物树脂组合物。
可以理解为颗粒形状的液晶聚合物树脂组合物中的液晶聚合物的组成及特性不由原料的液晶聚合物的组成及特性发生变化。
可以理解为颗粒形状的液晶聚合物树脂组合物中的碳前体的体积电阻率也不由原料的碳前体的体积电阻率发生变化。
颗粒形状的液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的重量平均纤维长根据颗粒形状的液晶聚合物树脂组合物的制造条件的不同而不同，但存在由成分(B)的原料的碳纤维的重量平均纤维长大概变短0％～95％的倾向。
从能够适宜地调整液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的重量平均纤维长的方面出发，成分(B)的碳纤维的重量平均纤维长低于3000μm，优选为1000μm以下，更优选为200μm以下。成分(B)的碳纤维的重量平均纤维长优选为60μm以上，更优选为100μm以上，进一步优选为140μm以上。成分(B)的碳纤维的重量平均纤维长优选为60μm以上且低于3000μm，更优选为100μm～1000μm，进一步优选为140μm～200μm。
成分(B)的碳纤维的重量平均纤维长可以通过下述的步骤来求出。使成分(B)的碳纤维分散到加有表面活性剂的水溶液中，用纯水进行稀释，得到稀释试样液。使用粒子形状图像解析装置，使所得到的稀释试样液通过流动池中，对在溶液中移动的碳纤维一个一个地进行拍摄。将所得到的图像进行二值化处理，测定处理后的图像中的30000根碳纤维的外切矩形长径，通过下述式(5)，求出成分(B)的碳纤维的重量平均纤维长。
Lw＝ΣLi2/ΣLi (5)
Lw：重量平均纤维长
Li：第i个碳纤维的外切矩形长径
其中，在成分(B)的碳纤维的重量平均纤维长超过1000μm的情况下，可以通过下述的步骤来求出。使成分(B)的碳纤维分散到加有表面活性剂的水溶液中，得到试样液。通过将试样液的一部分取出，用显微镜进行观察，测量超过500根的碳纤维的长度，从而通过上述式(5)来求出成分(B)的碳纤维的重量平均纤维长。
在使用双螺杆挤出机来制造颗粒形状的液晶聚合物树脂组合物时，即使是使用相同的重量平均纤维长的碳纤维作为原料时，也能够通过变更双螺杆挤出机的螺杆构成来控制颗粒形状的液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的重量平均纤维长。若双螺杆挤出机的捏合区(kneading zone)(混炼部)的长度短，则颗粒形状的液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的重量平均纤维长存在变长的倾向。颗粒形状的液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的短的重量平均纤维长可以通过延长捏合区(混炼部)的长度来达成。
本实施方式的液晶聚合物树脂组合物的制造方法具有以下的方面。
“101”一种液晶聚合物树脂组合物的制造方法，其是将以下的成分(A)、成分(B)及成分(C)进行熔融混炼的液晶聚合物树脂组合物的制造方法，
(A)液晶聚合物
(B)重量平均纤维长低于3000μm的碳纤维
(C)体积电阻率为102～1010Ω·cm的碳前体
上述成分(B)的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为10～30质量份，上述成分(C)的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为5～35质量份，上述成分(B)及上述成分(C)的合计的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为25～60质量份。
“102”根据“101”所述的液晶聚合物树脂组合物的制造方法，其中，上述成分(B)的配合比例相对于上述成分(A)100质量份优选为11～29质量份，更优选为12～28质量份，进一步优选为22～27.5质量份。
“103”根据“101”或“102”所述的液晶聚合物树脂组合物的制造方法，其中，上述成分(C)的配合比例相对于上述成分(A)100质量份优选为5～32质量份，更优选为6～32质量份，进一步优选为6.5～14质量份，尤其优选为6.5～11质量份。
“104”根据“101”～“103”中任一项所述的液晶聚合物树脂组合物的制造方法，其中，上述成分(B)及上述成分(C)的合计的配合比例相对于上述成分(A)100质量份优选为28～60质量份，更优选为28～55质量份，进一步优选为28.5～50质量份。
“105”根据“101”～“104”中任一项所述的液晶聚合物树脂组合物的制造方法，其进一步包含成分(D)导电性炭黑，
上述成分(B)、上述成分(C)及上述成分(D)的合计的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为25～60质量份，优选为25～60质量份，更优选为28～60质量份，进一步优选为30～50质量份。
“106”根据“105”所述的液晶聚合物树脂组合物的制造方法，其中，上述成分(D)的配合比例相对于上述成分(A)100质量份为0～20质量份，优选为0.5～18质量份，更优选为1～16质量份。
(成型体)
由本实施方式的液晶聚合物树脂组合物，通过公知的成型方法，能够得到具有1.0×105～1.0×1011Ω的适度的静电扩散区域的表面电阻值的成型体。作为由液晶聚合物树脂组合物成型出成型体的方法，优选熔融成型法，作为其例子，可列举出注塑成型法、T型模法、吹胀法等挤出成型法、压缩成型法、吹塑成型法、真空成型法及压制成型。其中优选注塑成型法。
例如，在以液晶聚合物树脂组合物作为成型材料并通过注塑成型法来成型的情况下，通过使用公知的注塑成型机，使液晶聚合物树脂组合物熔融，将熔融的液晶聚合物树脂组合物注塑到模具内来进行成型。
作为公知的注塑成型机，例如可列举出日精树脂工业社制的液压式卧式成型机UH1000、PS40E5ASE型等。
注塑成型机的气缸温度根据液晶聚合物的种类而适当决定，优选设定为比所使用的液晶聚合物的流动开始温度高10～80℃的温度，例如为320～400℃。
从液晶聚合物树脂组合物的冷却速度和生产率的方面出发，模具的温度优选设定为室温(例如23℃)～180℃的范围。
理解为成型体的液晶聚合物树脂组合物中的液晶聚合物的组成及特性不由原料的液晶聚合物的组成及特性发生变化为宜。
理解为成型体的液晶聚合物树脂组合物中的碳前体的体积电阻率也不由原料的碳前体的体积电阻率发生变化为宜。
理解为由颗粒形状的液晶聚合物树脂组合物通过注塑成型而得到的成型体的液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的重量平均纤维长不由颗粒形状的液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的重量平均纤维长发生变化为宜。
将本实施方式的液晶聚合物树脂组合物成型而成的成型体由于显示出适度的静电扩散区域的表面电阻值，并且具有优异的胶带剥离性，因此可以适宜应用于要求控制静电、抗静电、电磁波屏蔽、防尘埃吸附等的广泛的领域。例如，上述成型体可以适宜应用于半导体搬送用载体的用途。
<半导体搬送用载体>
本实施方式的半导体搬送用载体具有由上述液晶聚合物树脂组合物形成的主体部。
由上述液晶聚合物树脂组合物得到的成型体由于能够成型出显示出1.0×105～1.0×1011Ω的适度的静电扩散区域的表面电阻值、并且具有优异的胶带剥离性的成型体，因此上述液晶聚合物树脂组合物可以适宜应用于半导体搬送用载体的用途。
作为半导体搬送用载体，可列举出晶片载体、晶片盒、IC芯片托盘、IC芯片载体、IC搬送管、保存用托盘、搬送装置部件、MR磁头载体、GMR磁头载体、液晶面板载体等。
图1是示意性表示本实施方式的半导体搬送用载体的一个例子的立体图。本实施方式的半导体搬送用载体1具有由上述液晶聚合物树脂组合物形成的主体部11、及主体部11的外侧的可目视的位置的胶带粘贴部12。主体部11是将上述液晶聚合物树脂组合物成型而成的。主体部11可以搬送或保管晶片、IC、MR磁头、GMR磁头、液晶面板等半导体部件或半导体制品。
半导体搬送用载体1的胶带粘贴部12显示出1.0×105～1.0×1011Ω的适度的静电扩散区域的表面电阻值，并且具有优异的胶带剥离性。因此，半导体搬送用载体1的抗静电性及防尘埃吸附性优异，并且能够在胶带粘贴部12粘贴显示用的强粘合的附笺胶带，剥离而反复使用。
半导体搬送用载体1的胶带粘贴部12的表面电阻值为1.0×105～1.0×1011Ω，优选为4×105～4×1010Ω，更优选为1.0×106～1.0×1010Ω。
实施例
以下，通过具体的实施例，对本发明进一步进行详细说明。但是，本发明不受以下所示的实施例的任何限定。
(A)液晶聚合物
<液晶聚合物的制造>
[制造例1：液晶聚合物(L1)的制造]
向具备搅拌装置、转矩计、氮气导入管、温度计及回流冷却器的反应器中加入对羟基苯甲酸994.5g(7.2摩尔)、对苯二甲酸299.0g(1.8摩尔)、间苯二甲酸99.7g(0.6摩尔)、4,4’-二羟基联苯446.9g(2.4摩尔)及乙酸酐1347.6g(13.2摩尔)，将反应器内的气体用氮气置换后，加入1-甲基咪唑0.18g，一边在氮气气流下搅拌，一边用30分钟从室温升温至150℃，在150℃下回流30分钟。
接着，加入1-甲基咪唑2.4g，一边将副产的乙酸及未反应的乙酸酐蒸馏除去，一边用2小时50分钟从150℃升温至320℃，在确认到转矩的上升的时刻，从反应器中取出内容物，冷却至室温，得到作为固态物的预聚物。
接着，通过使用粉碎机将该预聚物粉碎，将所得到的粉碎物在氮气氛下用1小时从室温升温至250℃，用5小时从250℃升温至295℃，在295℃下保持3小时，进行了固相聚合。
将所得到的固相聚合物冷却至室温，得到粉末状的液晶聚合物(L1)。所得到的液晶聚合物(L1)的流动开始温度为327℃。
(B)碳纤维
使用下述市售品的碳纤维填料作为原料。
(B-1)美国Zoltek公司制、PANTEX35-MF150(重量平均纤维长：150μm、直径7μm)
(B-2)Mitsubishi Chemical Corporation制、DIALEAD(注册商标)K233HE(重量平均纤维长：6.0mm、直径11μm)
<原料的碳纤维的重量平均纤维长的测定>
将原料的碳纤维填料((B-1)美国Zoltek公司制、PANTEX35-MF150)0.3g投入到50mL的纯水中，为了使分散性良好，添加表面活性剂(0.5体积％的micro-90(Sigma-Aldrich Japan合同会社制)水溶液)，得到混合液。使所得到的混合液进行5分钟超声波分散，使碳纤维均匀地分散于溶液中而得到试样液。接着，采集5mL所得到的试样液，放入样品杯中，利用纯水稀释至5倍，得到稀释试样液。使用粒子形状图像解析装置(株式会社SEISHIN ENTERPRISE制的“PITA3”)，使所得到的稀释试样液通过流动池中，对在溶液中移动的碳纤维一个一个地进行拍摄。需要说明的是，在该测定方法中，将从测定开始时刻起累计的全部碳纤维的个数达到30000根的时刻设定为测定结束时刻。将所得到的图像进行二值化处理，测定处理后的图像中的碳纤维的外切矩形长径，通过下述式(5)，求出原料的碳纤维的重量平均纤维长。其结果是，原料的碳纤维的重量平均纤维长为(B-1)150μm。
Lw＝ΣLi2/ΣLi (5)
Lw：重量平均纤维长
Li：第i个碳纤维的外切矩形长径
测定根数：30000根
将(B-2)Mitsubishi Chemical Corporation制的DIALEAD(注册商标)K233HE)0.3g投入到50mL的纯水中，为了使分散性良好，添加表面活性剂(0.5体积％的micro-90(Sigma-Aldrich Japan合同会社制)水溶液)，得到混合液。使所得到的混合液进行5分钟超声波分散，使碳纤维均匀地分散于溶液中而得到试样液。之后，将试样液的一部分取出，使用显微镜(KEYENCE CORPORATION制、VH-Z25)以倍率10～20倍对纤维进行拍摄。对所拍摄的图像使用图像处理软件(三谷商事株式会社制、WinROOF2018)如以下那样测量纤维长。
(纤维长的测量方法)
(a)对于所拍摄的图像进行单色像素化处理。
(b)按照仅对所拍摄的碳纤维着色的方式实施二值化处理。
(c)使用图像处理软件的针状分离功能进行纤维长测定。
(d)通过多点间测量来测定(c)中无法二值化的纤维、弯曲的纤维的纤维长，与图像的深处相接触的纤维设定为不进行测定。
其中，在n>500、纤维的测定根数n不超过500的情况下，追加拍摄显微镜图像，测量至n超过500为止。
使用所得到的测定结果，通过下述式(5)求出原料的碳纤维的重量平均纤维长。其结果是，原料的碳纤维的重量平均纤维长为(B-2)6.0mm。
Lw＝ΣLi2/ΣLi (5)
Lw：重量平均纤维长
Li：第i个碳纤维的外切矩形长径
(C)体积电阻率为102～1010Ω·cm的碳前体
使用从株式会社KUREHA TRADING购入的Krefine(注册商标)KH-CP、(体积电阻率：3×107Ω·cm、平均粒径为22μm)作为原料。
<碳前体的体积电阻率的测定>
将碳前体(Krefine(注册商标)KH-CP)15g填充到截面积为80cm2的圆筒模具中，以压力200MPa进行成型，得到圆板状的成型体。将该圆板状的成型体在氮气流中的580℃下进行1小时热处理而得到测定试样。依据JIS K 7194，测定该测定试样的体积电阻率。其结果是，体积电阻率为3×107Ω·cm。
(D)导电性炭黑
使用Ketjenblack(注册商标)(EC-300J(狮王株式会社制)一次粒径39.5nm)作为原料。
<液晶聚合物树脂组合物的制造方法>
在制造颗粒形状的液晶聚合物树脂组合物时，使用了在上游部具有主原料给料机(feeder)和在下游部具有侧给料机的双螺杆挤出机(池贝铁工株式会社制、“PCM30-HS”)。
(实施例1)
按照表1中所示的配合比，从双螺杆挤出机的主原料给料机供给上述液晶聚合物(L1)及上述碳前体(Krefine(注册商标)KH-CP)，从侧给料机供给上述碳纤维填料((B-1)PANTEX35-MF150)。将各原料以气缸温度：340℃、螺杆转速150rpm进行熔融混炼，以挤出量300kg/h经由直径为3mm的圆形喷嘴(喷出口)，使线料状的液晶聚合物树脂组合物喷出。
之后，进行冷却、造粒而制作了圆柱形状(长度为3mm、即颗粒形状)的实施例1的液晶聚合物树脂组合物。
(实施例2～5、10、比较例1～3、6、8)
同样地操作，按照表1中所示的配合比，制作了实施例2～5、10、比较例1～3、6、8的颗粒形状的液晶聚合物树脂组合物。
(实施例6)
按照表1中所示的配合比，从主原料给料机供给上述的(A)液晶聚合物及(C)体积电阻率为102～1010Ω·cm的碳前体及(D)导电性炭黑(导电性CB)，从侧给料机供给(B)碳纤维的各原料。将各原料以气缸温度：340℃、螺杆转速150rpm进行熔融混炼，以挤出量300kg/h经由直径为3mm的圆形喷嘴(喷出口)，使线料状的液晶聚合物树脂组合物喷出。
之后，进行冷却、造粒而制作了圆柱形状(长度为3mm、即颗粒形状)的实施例1的液晶聚合物树脂组合物。
(实施例7～9、比较例4～5、7、9)
同样地操作，按照表1中所示的配合比，制作了实施例7～9、比较例4～5、7、9的颗粒形状的液晶聚合物树脂组合物。
(比较例10)
除了将实施例1的碳纤维填料变更为(B-2)Mitsubishi Chemical Corporation制的DIALEAD(注册商标)K233HE)以外，与实施例1同样地操作，按照表1中所示的配合比，制作了比较例10的颗粒形状的液晶聚合物树脂组合物。
<树脂组合物中的碳纤维的重量平均纤维长的测定>
将实施例及比较例的颗粒形状的液晶聚合物树脂组合物中的各自5g利用马弗炉(Yamato Scientific株式会社制、“FP410”)在空气气氛下在600℃下加热4小时而将树脂除去，得到包含碳纤维的灰化残渣。将灰化残渣0.3g投入到50mL的纯水中，为了使分散性良好，添加表面活性剂(0.5体积％的micro-90(Sigma-Aldrich Japan合同会社制)水溶液)，得到混合液。使所得到的混合液进行5分钟超声波分散，使灰化残渣中所含的碳纤维均匀地分散于溶液中而得到试样液。接着，采集5mL所得到的试样液，放入样品杯中，利用纯水稀释至5倍，得到稀释试样液。使用粒子形状图像解析装置(株式会社SEISHIN ENTERPRISE制的“PITA3”)，使所得到的稀释试样液通过流动池中，对在溶液中移动的碳纤维一个一个地进行拍摄。需要说明的是，由于外切矩形长径低于30μm的物质为碳前体或导电性炭黑的灰化残渣，因此在该测定方法中，按照将外切矩形长径低于30μm在图像取入时除外的方式进行设定，将从测定开始时刻起累计的全部碳纤维的个数达到30000根的时刻设定为测定结束时刻。将所得到的图像进行二值化处理，测定处理后的图像中的碳纤维的外切矩形长径，通过下述式(5)来求出颗粒形状的液晶聚合物树脂组合物中的碳纤维的重量平均纤维长。将结果示于表1中。
Lw＝ΣLi2/ΣLi (5)
Lw：重量平均纤维长
Li：第i个碳纤维的外切矩形长径
测定根数：30000根
<注塑成型试验片的制作>
将实施例1～10、比较例1～10的颗粒形状的液晶聚合物树脂组合物投入到气缸温度为340℃的注塑成型机UH1000(日精树脂工业)中，通过以注塑速度20mm/s、螺杆转速100rpm、保压50MPa、背压3MPa注塑到模具温度为120℃的模具内，制作了64mm×64mm×3mmt的注塑成型试验片(表面粗糙度Ra＝3μm)。
<注塑成型试验片的表面电阻值的测定>
使用美国PROSTAT公司制的电阻测定系统(PRS-801)及传感器电极(PRF-912)，测定由实施例1～10及比较例1～10的树脂组合物形成的64mm×64mm×3mmt的注塑成型试验片各自的表面电阻值。将结果示于表1中。
<胶带剥离性试验>
在由实施例1的树脂组合物形成的64mm×64mm×3mmt的注塑成型试验片上，沿试验片的成型方向(MD)依据JIS Z0237使用质量为2.0kg的压接辊贴附宽度为25mm的电镀胶带(3M公司制、470Electroplating Tape S10258)，放置24小时后剥离，观察注塑成型试验片的表面的液晶聚合物的皮层的剥离的有无。在相同部位沿试验片的成型方向(MD)同样地粘贴上述电镀胶带，放置24小时后剥离，观察注塑成型试验片的表面的液晶聚合物的皮层的剥离的有无，将上述操作反复进行4次、合计5次。
在相同的注塑成型试验片的相同部位，沿与试验片的MD垂直的方向(TD)同样地粘贴上述电镀胶带，放置24小时后剥离，观察注塑成型试验片的表面的液晶聚合物的皮层的剥离的有无，将上述操作反复进行5次。
对于10次的剥离试验，按照下述的胶带剥离性判断基准进行了评价。
胶带剥离性判断基准
E(Excellent)：无皮层的剥离在N＝10中为9张～10张的情况
G(Good)：无皮层的剥离在N＝10中为5张～9张的情况
F(Failure)：无皮层的剥离在N＝10中为低于5张的情况
对于由实施例2～10及比较例1～10的树脂组合物形成的64mm×64mm×3mmt的注塑成型试验片，也同样地进行了评价。将结果示于表1中。
Figure BDA0003894801280000241
如由表1的结果理解的那样，表示由上述成分(B’)的含有比例相对于成分(A)100质量份为10～30质量份、上述成分(C)的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为5～35质量份、上述成分(B’)及上述成分(C)的合计的含有比例相对于上述成分(A)100质量份为25～60质量份的适用了本发明的实施例1～10的液晶聚合物树脂组合物能够成型出显示出1.0×105～1.0×1011Ω的适度的静电扩散区域的表面电阻值、并且具有优异的胶带剥离性的成型体。
与此相对，如表1中所示的那样，由比较例1、5、7～8、10的液晶聚合物树脂组合物形成的成型体虽然具有优异的胶带剥离性，但未显示出1.0×105～1.0×1011Ω的适度的静电扩散区域的表面电阻值。由比较例2～4、6、9的液晶聚合物树脂组合物形成的成型体虽然显示出1.0×105～1.0×1011Ω的适度的静电扩散区域的表面电阻值，但胶带剥离性存在困难。
因此，本发明的液晶聚合物树脂组合物可以适宜应用于半导体搬送用载体的用途。
符号的说明
1…半导体搬送用载体、11…主体部、12…胶带粘贴部

Claims (4)

1.一种液晶聚合物树脂组合物，其是包含以下的成分(A)、成分(B’)及成分(C)的液晶聚合物树脂组合物，
(A)液晶聚合物
(B’)重量平均纤维长低于150μm的碳纤维
(C)体积电阻率为102～1010Ω·cm的碳前体
所述成分(B’)的含有比例相对于成分(A)100质量份为10～30质量份，所述成分(C)的含有比例相对于所述成分(A)100质量份为5～35质量份，所述成分(B’)及所述成分(C)的合计的含有比例相对于所述成分(A)100质量份为25～60质量份。
2.根据权利要求1所述的液晶聚合物树脂组合物，其进一步包含成分(D)导电性炭黑，
所述成分(B’)、所述成分(C)及所述成分(D)的合计的含有比例相对于所述成分(A)100质量份为25～60质量份。
3.一种半导体搬送用载体，其具有由权利要求1或2所述的液晶聚合物树脂组合物形成的主体部。
4.一种液晶聚合物树脂组合物的制造方法，其是将以下的成分(A)、成分(B)及成分(C)进行熔融混炼的液晶聚合物树脂组合物的制造方法，
(A)液晶聚合物
(B)重量平均纤维长低于3000μm的碳纤维
(C)体积电阻率为102～1010Ω·cm的碳前体
所述成分(B)的配合比例相对于所述成分(A)100质量份为10～30质量份，所述成分(C)的配合比例相对于所述成分(A)100质量份为5～35质量份，所述成分(B)及所述成分(C)的合计的配合比例相对于所述成分(A)100质量份为25～60质量份。
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