CN115295475A - 一种顶离装置和方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种顶离装置和方法，顶离装置包括：载具、胶带、吸嘴结构和加热模块；所述胶带位于所述载具的一侧，所述胶带用于粘接产品；所述加热模块位于所述载具远离所述胶带的一侧，所述加热模块用于加热所述胶带；所述吸嘴结构用于吸取所述产品。本发明提供了一种顶离装置和方法，可以避免胶水残留产品背面，也可以提高吸嘴结构吸取产品的成功率。

Description

一种顶离装置和方法
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种顶离装置和方法。
背景技术
现有工业量产磁控溅射机台都为条带式线形一体机，其中包括除湿、等离子清洗、磁控溅射、高真空缓冲腔等模块。现有的磁控溅射作业方式为：将切割好的产品放置在贴有胶带的载具上，经条线一体机的磁控溅射作业方式，再经顶离装置顶离作业，取下单颗产品。
但现有的顶离装置无法解决以下问题：
1、在顶离作业过程中，因胶带经高温磁控溅射腔体，会产生胶水附着产品背面，影响产品后续上板造成性能不良的问题；
2、在顶离作业过程中，因胶带经高温磁控溅射腔体，胶带中的胶水分子与产品背面结合力增大，表现为产品背面与胶带紧密连接，出现吸嘴结构吸取产品时失效，产品还粘在胶带上的异常情况。
发明内容
本发明提供了一种顶离装置和方法，可以避免胶水残留产品背面，也可以提高吸嘴结构吸取产品的成功率。
根据本发明的一方面，提供了一种顶离装置，该顶离装置包括：载具、胶带、吸嘴结构和加热模块；
所述胶带位于所述载具的一侧，所述胶带用于粘接产品；
所述加热模块位于所述载具远离所述胶带的一侧，所述加热模块用于加热所述胶带；
所述吸嘴结构用于吸取所述产品。
可选的，所述加热模块包括至少一个远红外光源。
可选的，本实施例提供的顶离装置还包括柱塞；
所述柱塞包括顶针结构；
所述载具包括第一通孔；
在所述产品顶离时，所述柱塞位于所述第一通孔内，所述顶针结构用于向所述胶带施加压力，其中，所述压力指向所述产品。
可选的，所述顶针结构包括多个顶针；
所述多个顶针呈阵列排布。
可选的，每一所述顶针包括针头和与所述针头相连的针柱；
在所述产品顶离时，所述针柱位于所述针头远离所述胶带的一侧；
所述针头的材料包括橡胶。
可选的，所述针柱的材料包括金属。
可选的，所述吸嘴结构包括吸嘴和与所述吸嘴连接的槽柱；
所述槽柱位于所述吸嘴靠近所述胶带一侧；
所述槽柱的内侧面与所述吸嘴靠近所述胶带的表面的夹角大于或等于90°；
在所述吸嘴结构吸取所述产品时，所述槽柱用于卡住所述产品，所述吸嘴用于吸取所述产品。
可选的，本实施例提供的顶离装置还包括旋转模块；
所述旋转模块用于在所述吸嘴结构吸取所述产品时旋转所述吸嘴结构。
可选的，本实施例提供的顶离装置还包括抽气模块；
所述柱塞包括多个第二通孔；
所述多个第二通孔围绕所述顶针结构；
所述抽气模块用于通过所述多个第二通孔抽取所述柱塞与所述胶带之间的气体。
根据本发明的另一方面，提供了一种顶离方法，顶离方法应用于本发明任意实施例提供的顶离装置；
所述顶离方法包括如下步骤：
所述加热模块加热所述胶带；
所述吸嘴结构吸取所述产品。
本实施例提供了一种顶离装置，该顶离装置在胶带上的产品顶离过程中，位于载具远离胶带一侧的加热模块加热胶带，加热后的胶带可以使胶带中的胶水分子运动，从而使产品背面无胶水残留，加热后的胶带与产品背面的结合力降低，从而便于吸嘴结构吸取产品。可见，本实施例提供的顶离装置，可以避免胶水残留产品背面，也可以提高吸嘴结构吸取产品的成功率。
应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本发明的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是根据本发明实施例提供的一种顶离装置的结构示意图。
图2是根据本发明实施例提供的又一种顶离装置的结构示意图。
图3是根据本发明实施例提供的一种顶针的结构示意图。
图4是根据本发明实施例提供的又一种顶离装置在吸取产品时的结构示意图。
图5是根据本发明实施例提供的又一种顶离装置在吸取产品后的结构示意图。
图6是根据本发明实施例提供的一种顶离方法的流程示意图。
图中的附图标记如下：
110-载具，120-胶带，130-吸嘴结构，140-加热模块，200-产品，210-金属镀层，150-柱塞，151-顶针结构，111-第一通孔，152-顶针，153-第二通孔，10-针头，20-针柱，131-吸嘴，132-槽柱，133-第三通孔。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本发明保护的范围。
需要说明的是，本发明的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本发明的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
图1是根据本发明实施例提供的一种顶离装置的结构示意图，参考图1，本实施例提供的顶离装置包括：载具110、胶带120、吸嘴结构130和加热模块140；胶带120位于载具110的一侧，胶带120用于粘接产品200；加热模块140位于载具110远离胶带120的一侧，加热模块140用于加热胶带120；吸嘴结构130用于吸取产品200。
具体的，本实施例中的产品200可以为系统级封装结构，产品200中可以包括金属镀层210。载具110用于支撑胶带120。胶带120包括胶层和基层，胶层位于基层远离载具110的一侧，胶带120中的胶层用于粘接产品200，基层用于支撑胶层。胶带120被加热后，胶层会软化，胶层软化后，加速胶层中胶水分子运动，使产品200背面无胶水残留。胶层软化后，降低胶层与产品200背面的结合力，从而增大吸嘴结构130吸取产品200的成功率。在产品200顶离时，吸嘴结构130位于产品200远离胶带120的一侧。
本实施例提供了一种顶离装置，该顶离装置在胶带120上的产品200顶离过程中，位于载具110远离胶带120一侧的加热模块140加热胶带120，加热后的胶带120可以使胶带120中的胶水分子运动，从而使产品200背面无胶水残留，加热后的胶带120与产品200背面的结合力降低，从而便于吸嘴结构130吸取产品200。可见，本实施例提供的顶离装置，可以避免胶水残留产品200背面，也可以提高吸嘴结构130吸取产品200的成功率。
可选的，加热模块140包括至少一个远红外光源。
具体的，远红外光源的发出的远红外光的能量较高，可以在较短的照射时间内使胶带120中的胶层软化，从而提高产品200顶离效率。加热模块140中可以设置多个远红外光源，且多个远红外光源之间的间距可以相等，从而使胶带120受热均匀，设置多个远红外光源可以加快胶层软化的效率。本实施例中的远红外光源位于载具110远离胶带120的一侧，从而可以避免远红外光源发出的光直接照射在产品200表面，影响产品200的性能。
可选的，图2是根据本发明实施例提供的又一种顶离装置的结构示意图，参考图1和图2，本实施例提供的顶离装置还包括柱塞150；柱塞150包括顶针结构151；载具110包括第一通孔111；在产品200顶离时，柱塞150位于第一通孔111内，顶针结构151用于向胶带120施加压力，其中，压力指向产品200。
具体的，在产品200顶离时，柱塞150位于胶带120远离产品200的一侧。胶带120包括第一区域和第二区域，对于胶带120，产品200所在的区域为第一区域，剩余区域为第二区域。顶针结构151具体用于向胶带120的第一区域施加压力，使胶带120的第一区域发生形变。在顶针结构151未向胶带120施加压力时，胶带120的第一区域与胶带120的第二区域位于同一平面，在产品200顶离时，顶针结构151向胶带120的第一区域施加压力，胶带120的第一区域相对于胶带120的第二区域向远离载具110的方向运动，胶带120的第一区域在顶针结构151的压力的作用下呈弧状，此时，产品200的边角会与胶带120分离，在吸嘴结构130吸取产品200时，可以提高吸取产品200的成功率，避免产品200粘接在胶带120中。
可选的，继续参考图2，本实施例提供的顶离装置还包括抽气模块160；柱塞150包括多个第二通孔153；多个第二通孔153围绕顶针结构151；抽气模块160用于通过多个第二通孔153抽取柱塞150与胶带120之间的气体。
具体的，抽气模块160包括真空泵和导管，在抽气模块160抽气时，导管的第一端对准第二通孔153，导管的第二端与真空泵连接，真空泵通过导管和第二通孔153抽取柱塞150与胶带120之间的气体。在产品200顶离过程中，加热模块140对胶带120进行加热，抽气模块160通过第二通孔153抽取柱塞150与胶带120之间的气体，从而吸住胶带120及胶带120上载有的单颗产品200，然后再将柱塞150中的顶针结构151顶起，向胶带120施加压力，从而使产品200的四角与胶带120先分离，接着吸嘴结构130吸取产品200。
可选的，继续参考图2，顶针结构151包括多个顶针152；多个顶针152呈阵列排布。
具体的，设置多个顶针152可以增大顶针结构151与胶带120的接触面积，当顶针152穿过胶带120时，可以增大顶针结构151与产品200背面的接触面积，也可以增大顶针结构151施加到产品200上的压力。多个顶针152之间的长度可以不相等。顶针结构151在向胶带120施加压力时，每一顶针152与胶带120相接触的表面的夹角可以不同。
可选的，图3是根据本发明实施例提供的一种顶针的结构示意图，参考图2和图3,每一顶针152包括针头10和与针头10相连的针柱20；在产品200顶离时，针柱20位于针头10远离胶带120的一侧；针头10的材料包括橡胶。
具体的，相比于金属制成的针头10，橡胶材质的针头10对产品200背面的压力相对较小，从而避免因针头10对产品200背面压力过大而使胶带120中胶层的胶水残留在产品200背面。
可选的，针柱20的材料包括金属。
具体的，金属具有一定的硬度，设置针柱20的材料包括金属，可以使顶针152向产品200施加压力时避免顶针152发生弯折。
可选的，图4是根据本发明实施例提供的又一种顶离装置在吸取产品时的结构示意图，图5是根据本发明实施例提供的又一种顶离装置在吸取产品后的结构示意图，参考图4和图5，吸嘴结构130包括吸嘴131和与吸嘴131连接的槽柱132；槽柱132位于吸嘴131靠近胶带120一侧；槽柱132的内侧面与吸嘴131靠近胶带120的表面的夹角大于或等于90°；在吸嘴结构130吸取产品200时，槽柱132用于卡住产品200，吸嘴131用于吸取产品200。
具体的，参考图4，顶离装置在吸取产品200时，吸嘴结构130与产品200相互接触，参考图5，顶离装置在吸取产品200后，产品200与胶带120分离。吸嘴结构130包括凹槽，吸嘴结构130吸取产品200时，产品200位于凹槽内。设置槽柱132的内侧面与吸嘴131靠近胶带120的表面的夹角大于或等于90°，可以使吸嘴结构130吸取产品200时，槽柱132可以卡住产品200的边角。若产品200的形状为长方体，则在产品200顶离时，槽柱132可以卡住产品200的四角，从而在吸嘴131吸取产品200时，可以防止产品200脱落，进而提高吸嘴结构130吸取产品200的成功率。吸嘴131包括第三通孔133，在产品200顶离时，当吸嘴结构130与产品200接触后，通过第三通孔133抽取吸嘴131与产品200之间的气体，从而使吸嘴131可以吸住产品200。在吸嘴131吸取产品200时，槽柱132的内侧面与吸嘴131靠近胶带120的表面的夹角保持不变。在吸嘴131不工作时，槽柱132的内侧面与吸嘴131靠近胶带120的表面的夹角可调，从而使本实施例提供的吸嘴结构130可以适用不同尺寸的产品200。
可选的，本实施例提供的顶离装置还包括旋转模块；旋转模块用于在吸嘴结构130吸取产品200时旋转吸嘴结构130。
具体的，旋转模块包括马达和旋转器，旋转器与吸嘴结构连接，马达驱动旋转器旋转，从而带动吸嘴结构130旋转。继续参考图4，吸嘴结构130与产品200接触后，且吸嘴结构130中的槽柱132卡住产品200的边角，吸嘴131正在吸取产品200时，旋转模块旋转吸嘴结构130（图4中的旋转箭头为一种旋转方向），从而可以使产品200与胶带120分离，进而避免产品200粘接在胶带120上。
需要说明的是，图2、图4和图5所示的顶针结构151为产品200顶离时的状态，在不对产品200顶离时，顶针结构151位于柱塞150内部。
本发明实施例还提供了一种顶离方法，该顶离方法应用于本发明任意实施例提供的顶离装置；
图6是根据本发明实施例提供的一种顶离方法的流程示意图，参考图6，本实施例提供的顶离方法包括如下步骤：
S110、加热模块加热胶带。
S120、吸嘴结构吸取产品。
本发明实施例提供的顶离方法与本发明任意实施例提供的顶离装置具有相应的有益效果，未在本实施例详尽的技术细节，详尽本发明任意实施例提供的顶离装置。
应该理解，可以使用上面所示的各种形式的流程，重新排序、增加或删除步骤。例如，本发明中记载的各步骤可以并行地执行也可以顺序地执行也可以不同的次序执行，只要能够实现本发明的技术方案所期望的结果，本文在此不进行限制。
上述具体实施方式，并不构成对本发明保护范围的限制。本领域技术人员应该明白的是，根据设计要求和其他因素，可以进行各种修改、组合、子组合和替代。任何在本发明的精神和原则之内所作的修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明保护范围之内。

Claims (10)

1.一种顶离装置，其特征在于，包括：载具、胶带、吸嘴结构和加热模块；
所述胶带位于所述载具的一侧，所述胶带用于粘接产品；
所述加热模块位于所述载具远离所述胶带的一侧，所述加热模块用于加热所述胶带；
所述吸嘴结构用于吸取所述产品。
2.根据权利要求1所述的顶离装置，其特征在于，所述加热模块包括至少一个远红外光源。
3.根据权利要求1所述的顶离装置，其特征在于，还包括柱塞；
所述柱塞包括顶针结构；
所述载具包括第一通孔；
在所述产品顶离时，所述柱塞位于所述第一通孔内，所述顶针结构用于向所述胶带施加压力，其中，所述压力指向所述产品。
4.根据权利要求3所述的顶离装置，其特征在于，所述顶针结构包括多个顶针；
所述多个顶针呈阵列排布。
5.根据权利要求4所述的顶离装置，其特征在于，每一所述顶针包括针头和与所述针头相连的针柱；
在所述产品顶离时，所述针柱位于所述针头远离所述胶带的一侧；
所述针头的材料包括橡胶。
6.根据权利要求5所述的顶离装置，其特征在于，所述针柱的材料包括金属。
7.根据权利要求1所述的顶离装置，其特征在于，所述吸嘴结构包括吸嘴和与所述吸嘴连接的槽柱；
所述槽柱位于所述吸嘴靠近所述胶带一侧；
所述槽柱的内侧面与所述吸嘴靠近所述胶带的表面的夹角大于或等于90°；
在所述吸嘴结构吸取所述产品时，所述槽柱用于卡住所述产品，所述吸嘴用于吸取所述产品。
8.根据权利要求1所述的顶离装置，其特征在于，还包括旋转模块；
所述旋转模块用于在所述吸嘴结构吸取所述产品时旋转所述吸嘴结构。
9.根据权利要求3所述的顶离装置，其特征在于，还包括抽气模块；
所述柱塞包括多个第二通孔；
所述多个第二通孔围绕所述顶针结构；
所述抽气模块用于通过所述多个第二通孔抽取所述柱塞与所述胶带之间的气体。
10.一种顶离方法，其特征在于，应用于权利要求1-9任一项所述的顶离装置；
所述顶离方法包括如下步骤：
所述加热模块加热所述胶带；
所述吸嘴结构吸取所述产品。
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