CN1150499C - 等离子显示板的制造方法 - Google Patents

Abstract

一种等离子显示板的制造方法，DC型等离子显示板(1)具有电极母线(22)、岛电极(20)和阳极或阴极(13)，AC型等离子显示板具有地址电极(120)，该制造方法具有利用有开口部的网板(31，151)将形成荧光体层的原料即固化性膏(17a，50)注入到基板(10，110)的隔板(11，111)的空间部分的工序；使上述固化性膏固化的工序；除去上述固化性膏的未固化部分的工序；上述固化性膏经干燥后，烧制上述固化性膏从而形成上述荧光体层的工序，就能制造等离子显示板。

Description

等离子显示板的制造方法

技术领域

本发明涉及微小形成体的制造方法，特别是涉及可以使等离子显示板的微小荧光体层稳定地形成所要求形状的等离子显示板的制造方法及用该方法制造的等离子显示板。

背景技术

近年来已开发出高清晰、高精度和微细图像品质的显示装置，随着开发的结果对显示手段大型化和高精度化也提出了要求。

可是，虽然在CRT显示方式中即能获得发光辉度高的显示管，也能制成30～40英寸的显示管，但是在结构上存在着40英寸以上的大型化困难的这个缺点。

液晶显示方式虽然具有耗电功率小，并且还可以使装置本身制成小型等的优点，但是也具有发光辉度不高、结构复杂、除投影方式外大型化困难等缺点。

与此相反，等离子显示方式因为具有可以获得与CRT方式相同的发光辉度的显示体，构造比较简单、可以大型化、可以使装置构成小型等优点，所以作为代替CRT显示方式或液晶显示方式最近被人们关注。

等离子显示方式的面板的结构是在被两块基板和设置在所述基板上的隔壁包围的微小空间内设置很多内藏荧光体层、电极、放电气体构造的室而制成，使各室内的电极间的放电气体激发，利用在这个激发了的放电气体回到基态时发生的紫外线使荧光体层中的荧光体发光便可形成象素。

在已有技术中，在制造这种等离子显示板的荧光体层时采用的网板印刷法，这种方法存在印刷精度的限制，很难获得比100μm尺寸更精细图形，而且为了制成厚膜而采用所谓使同一图形印刷重复多次的方法，所以具有不能通过图形顺次移动，获得所要求的图形的缺点。

最近在微细加工中采用利用喷砂法或粉末束法的切削技术，并使其与网板印刷法相组合用在等离子显示板的制造中。

为了利用这种方法制造荧光体层，首先在后面侧的基板上形成下部电极，电极保护层、隔壁后，利用网板印刷法把由高分子粘合剂、荧光物质、溶剂或水组成的荧光体膏组合物填充在所要求的隔壁内，根据需要在隔壁上设置具有耐喷砂性的保护膜图形，利用把细粉体喷射在该隔壁上的喷砂法进行切削加工。

作为荧光体膏组合物采用约10万cp以下粘度的膏状组成物，将其注入隔壁内，进行干燥，由于体积收缩而产生缩孔形成研磨钵状，所以适用于喷射上述微粉体的喷砂加工法中。

可是，在利用喷砂加工法进行切削时，由于干燥时膏的充填状态和荧光体粉的物理性质不同，所以有使荧光体层精加工成各种形状的危险。即由于荧光体层的颜色不同，荧光体粉的硬度、形状、膏中的荧光体粉的充填量等不同，而使加工形状不稳定，很难形成同一形状的荧光体层。因此，对发光时的辉度稳定性，颜色的平衡有很大影响，从而很难获得品质优良的制品。特别是电极露出面积缺少均一性，成为引起辉度偏差功能下降的主要原因，成为决定等离子显示板质量的重要问题。

此外，由于用喷砂加工法进行加工，所以必须选择加工性优良的有机高分子粘合剂，因而还存在粘合剂的选择范围窄的问题。

另外，用喷砂法加工时飞散的荧光体粉附着在隔壁的上部，而成为等离子显示板的辉点，这是引起质量下降的重要原因。

发明内容

因此，本发明的目的是提供解决上述的已有技术例子中的形状不稳定、可以提高等离子显示板质量的稳定性的等离子显示板的制造方法和利用该方法制造的等离子显示板。

为了达到上述目的，本发明的第1方式，一种制造DC型等离子显示板的制造方法，该等离子显示板形成多个以矩阵形配置在透光玻璃制的背面侧基板上的岛电极、连接各岛电的电极母线、和连接上述电极母线和上述岛电极的电阻；各电极母线是左右分割开的梯子形状的部件，形成一对，在每一对电极母线之间，形成辅助母线，在形成这些元素的背面侧基板上，形成玻璃等的电介质制的绝缘层以将其覆盖；在该绝缘层上，在与上述岛电极相对的部分，形成贯通孔；在这些贯通孔上，形成连接上述岛电极的阳极；在上述辅助母线上，也以与上述贯通孔相同的节距，形成贯通孔；形成用于加快显示反应的辅助阳极；并且，在该绝缘层上，配置隔壁成矩阵形状以包围上述阳极；并且在形成在该背面侧基板上的上述隔壁的侧面，从基板侧的部分朝向开口侧的部分，向外伸展而使上述基板侧的部分的厚度比上述开口侧部分的厚度大而形成；在这些隔壁内，配置分别具有红、绿、蓝3色的荧光体层的显示室的任何一种；而且，前面侧面板具有透光玻璃制的前面侧基板，在上述前面侧基板的与上述背面侧基板相对向的面上，在与上述阳极相对的位置埋入在与上述电极母线垂直方向上伸展的阴极线；并且，在上述前面侧基板上，还形成用以将电荷引导到上述显示室的等离子用空间；由这样的背面侧基板和前面侧基板构成的DC型等离子显示板；其特征在于，该制造方法包括以下工序：

利用具有与形成在上述背面侧基板上的上述隔壁的开口部对应的开口部的网板将形成上述荧光体层的固化性荧光体膏注入到上述背面侧基板的上述隔壁的空间部分的工序，

使上述固化性荧光体膏固化的工序，

除去上述固化性荧光膏的未固化部分的工序，

上述固化性荧光膏经干燥后，烧制上述固化性荧光膏从而形成上述荧光体层的工序。

按照本发明第2种方式，在第2方式中，上述的固化性膏是包含溶剂、单聚物、聚合引发剂和荧光体并且具有光固化性的含有荧光体的感光树脂膏，上述基板和上述隔壁具有透光性。

按照本发明的第3种方式，在第2种方式中，上述的电极图形具有在上述基板上形成的电极母线，从覆盖上述电极母线并且在上述基板上形成的透光性绝缘层中露出的不透光性岛电极，贴附在该岛电极露出部上的不透光性的阳极或阴极，从而构成DC型的等离子显示板。

按照本发明第4种方式，在第2方式中，上述的电极图形具有在上述基板上形成的互相平等地址电极从而构成AC型等离子显示面板。

按照本发明的第5种方式，在第2种方式中，上述电极图形具有在上述基板上的互相平行的地址电极，同时上述显示板上具有覆盖上述基板和上述地址电极的绝缘层、从而构成AC型的等离子显示面板。

按照本发明的第6方式，在上述第3方式中，在上述固化工艺中，从与形成上述基板的上述隔壁的那面相反侧的面上照射使上述膏固化的光、电子线或放射线，

在除上述阳极或阴极或上述岛电极阴影部分之外，对上述膏进行固化。

按照本发明的第7方式，在第6方式中，使用对阳极或阴极或岛电极的上部作掩盖的掩膜，从形成上述基板隔壁的那面侧进行使上述含荧光体感光性树脂膏固化的光或放射线照射。

按照本发明的第8种方式，在第3种方式中上述固化性膏是含有溶剂，单聚物、聚合引发剂，荧光体并具有光固化性的含荧光体的感光树脂膏，而上述基板和上述隔壁具有透光性；通过使该溶剂干燥而使上述放电室用空间部分内填充的上述膏形成研磨钵状，在除由阳极或阴极或岛电极形成阴影部分之外进行光固化、再洗净除去未固化部分而获得上述阳极或阴极露出的研磨钵状的上述荧光体层。

按照本发明的第9方式，在第4或第5方式中，上述固化性膏是含有溶剂、单聚物、聚合相发剂，荧光体并且具有光固化性的含有荧光体的感光性树脂膏，上述基板和上述隔壁具有透光性，而上述地址电极具有不透光性；通过使该溶剂干燥而使在上述放电室用空间部分内充填的上述膏成槽状、在除由上述地址电极产生的阴影部分之外进行光固化，再洗净除去没有固化部分而获得露出上述电址电极的槽状的上述荧光体层。

本发明的第10方式，在第8和第9的方式中，上述隔壁是使该侧面从该基板侧的那部分朝开口侧部分向外变宽地弯曲并使上述基板侧部分的厚度比上述开口侧部分厚度大那样地形成的。

按照本发明的第11方式，在第2到第10中的任意方式中，调整在放电室用空间部分内充填的含荧光性树脂膏的量或溶剂含有量并调整光或放射线的照射量使上述荧光体层的高度为上述隔壁高度的1/3以上。

按照本发明的第12方式，在第1～11中任何一种方式中，所述的光是紫外线。

按照本发明的第13方式，在第4或第5方式中，上述固化性膏是具有热固性的含荧光体的热固性树脂膏。

按照本发明的第14方式，在上述第13方式中，调整在放电室用空间部分内填充的含荧光体的热固化性树脂膏的量或该膏中的溶剂的含量，并调整供给的热量使上述荧光体层的高度为上述隔壁高度的1/3以上。

按照本发明的第15方式，是利用与第1方式有关的等离子显示板的制造方法制造的等离子显示板构成的。

按照本发明的第16方式，在第15方式中，上述固化性膏是含有溶剂、单聚物、聚合引发剂、荧光体并具有光固化性的含荧光体感光性树脂的膏；上述基板和上述隔壁是透光性的。

按照本发明的第17方式，在第16方式中，上述电极图形具有在上述基板上形成的电极母线，覆盖上述电极母线并从在上述基板上形成的透光性绝缘层露出的不透光性岛电极、附加在该岛电极的露出部分上的不透光的阳极或阴极，从而构成DC型等离子显示板。

按照本发明的第18方式，在第16方式中，上述电极图形具有在上述基板上形成并具有互相平行的地址电极，从而构成AC型等离子显示板。

按照本发明的第19方式，在第16方式中，上述的电极图形在上述基板上形成并具有互相平行的地址电极，同时上述面板具有覆盖上述基板和上述地址电极的绝缘层，从而构成AC型等离子显示板。

本发明的上述目的、其它目的和特征可以通过结合附图对有关优选实施例的下面描述变得更加清楚。对这些附图的说明如下：

附图说明

图1是用本发明的第1实施方式中的等离子显示板的制造方法获得的等离子显示板的基板部分的放大斜视图。

图2A，2B和2C是用于说明在第1实施方式中获得的电极电路的制造顺序的剖面模式图。

图3是用第1实施方式获得的电阻和电极电路的部分平面图。

图4A、4B、4C、4C、4E和4F是用于说明在第1实施方式中获得的电阻和电极图形的制造顺序的剖面模式图。

图5A、5B、5C和5D是用于说明在第1实施方式中获得的绝缘层和阳极的制造顺序的剖面模式图。

图6A、6B和6C是用于说明在第1实施方式中获得的隔壁的制造顺序的剖面模式图。

图7A、7B、7C和7D是用于说明在第1实施方式中获得的荧光体层的制造顺序的剖面模式图。

图8是在本发明的第2实施方式中用的网板的斜视图。

图9是表示、用第2实施方式制造的荧光体层的剖面形状的部分剖面图。

图10是表示用第2实施方式制造的荧光体层的平面形状的部分平面图。

图11是表示按比较例制造的荧光体层的剖面形状的部分剖面图。

图12是表示按比较例制造的荧光体层的平面形状的部分平面图。

图13是用本发明的第3实施方式获得的等离子显示板的荧光体层部分的放大剖面图。

图14是表示按比较例制造的荧光体层的平面形状的平面图。

图15是用本发明的第一实施例的等离子显示板的制造方法获得的AC型等离子显示板的斜视图。

图16是DC型等离子显示板的概略说明图。

图17是本发明的一个实施方式的AC型等离子显示板的概略说明图。

图18是本发明的其它实施方式的AC型等离子显示板的概略说明图。

具体实施方式

在附图中，相同的部件附上相同的标号。

图1是表示按本发明方法的第1实施方式制造的DC型等离子显示板的部分斜视图。

在图中，彩色等离子显示板1具有后面板2和与后面板2留有确定间隔并彼此相对的前面板3。后面板2具有后面基板10，和在后面基板10上与象素对应形成的隔壁11，前面板3由该隔壁11控制相对的间隔。

后面基板10由透光玻璃制成，在后面基板10上形成配置成若干个矩阵状的岛电极20、连接各岛电极20的电极母线22、连接电极母线22和岛电极20的电阻21。这些岛电极20、电阻21和电极母线22是在玻璃上掺有由银或氧化钌等的导电体的导电体组合物形成的。电极母线22是左右分开的梯子状，沿图1的左右方向隔开间隔构成若干个并行地在后侧基板10的一方向(图10的上下方向)延伸的左右一对梯状构件。在各对电极母线22之间形成辅助母线23。岛电极20配置在相当于电极母线22的梯子状部件的横棂条的部分22a之间。电阻21跨接在岛电极20与相当于电极母线22的横棂条之间部分22a之间上，通过这个电阻21确定加在岛电极20上的电压。

在后基板10上通过涂敷含有辅助母线23形成部分的岛电极20、电阻21和电极母线22形成绝缘层15。绝缘层15是由例如玻璃等的电介体制成，在与该岛电极20相对的部分上形成着贯通孔16。在该贯通孔16中形成着与岛电极20连接的阳极13。在辅助母线23上也按与贯通孔16同一节距地形成贯通孔16a，在该通孔16a上形成用于使显示响应加快的辅助阳极24。

隔壁11形成在绝缘层15上，围绕着阳极13地被配置成矩阵状。在隔壁11内配置着分别具有红、绿、兰三色的荧光体层17R、17G和17B的显示室14R、14G、14B的任何一个。可是，在本实施方式中，两个绿的显示室14G被倾斜配置，兰的显示室14B和红的显示室14R与上述绿的显示室交叉地倾斜配置。于是由这四个显示室14R、14G、和14B构成一个象素。

前面板3具有透光玻璃制的前面基板12。在前面基板12的与后面基板10相对的面上，在与阳极13相对的位置上埋入沿与电极母线22正交方向延伸的阴极线25。该阴极线25是通过网状印刷法将含有例如铝等的膏状导电性墨水填充在前面基板12上形成的沟中。另外，在前面基板12上还形成用于把电荷传导给显示室14R、14G和14B的等离子用空间(未图示)。

下面结合图2～图7说明采用本发明的第1实施方式的DC型彩色等离子显示板1的后面板2的制造程序。

利用本发明的第1实施方式，首先在后面基板10上形成电极母线22和电阻21等的导电体电路，然后在导电体电路上依次层叠绝缘层15和隔壁11，最后在隔壁11内形成荧光体层17R、17G、17B，从而制成后面板2。

在该制造程序中首先准备后面基板10，形成岛电极20、电极母线22和辅助母线23的导电性感光树脂膜30，形成绝缘层15的绝缘性感光树脂膜40，形成电阻21的导电性树脂膏38、形成隔壁11的隔壁形成膜45。另外，还准备成为荧光体层17R、17G、17B的含荧光体的感光树脂膏50(50R、50G和50B)。

作为形成电极母线22和辅助母线23的导电性感光树脂膜30最好是使例如含由玻璃粉末和银等组成的导电金属粉末和充填剂的粉末与含有交联型等的有机高分子粘合剂、光反应引发剂和光反应促进剂的树脂组合物相混合，然后在分离膜上展开成片状的厚度为5～10μm且均匀的膜。此外，作为导电性感光树脂膜30也可以不含充填剂。作为形成绝缘层15的绝缘性感光树脂膜40最好是使例如含由铅系或锌系等的玻璃粉末和氧化硼、二氧化硅等充填剂粉末与含有交联型等的有机高分子粘合剂、光反应引发剂和光反应促进剂化树脂组合物相混合，然后在分离膜上展开成片状的厚为50～100μm且均匀的膜。作为形成电阻21的导电性树脂膏38最好是使含有给与玻璃粉末、氧化钌等以导电性的金属氧化物粉末和充填剂的粉末与交联型等有机高分子粘合剂相混合的膏状物。作为形成隔壁11的隔壁形成膜45，最好是含铅系或锌系等的玻璃粉末和氧化硼，二氧化硅等充填剂的粉末与交联型的有机高分子粘合剂相混合的膜。作为形成荧光体层17R、17G和17B的含荧光体的感光树脂膏50R、50R、50B最好是使紫外线发光型的荧光体粉与含有交联型等有机高分子粘合剂、光反应引发剂和光反应促进剂的树脂组合物混合，并尽可能均匀地形成膏状。

这些材料准备时，首先在后面基板10上形成电极母线22，辅助母线23和岛电极20。如图2A所示，首先在后面基板10上粘贴导电性感光树脂膜，在粘贴该膜时，把隔离膜放在上面，用滚轮等在后面基板10上展开地粘贴。接着，如图2B所示，把在对应于形成的电极母线22、辅助电极母线23和岛电极20的形状及位置的区域上设置透光部31a的掩膜31定位配置在后基板10的上方，然后使导电性感光树脂膜30曝光。再如图2C所示，只要利用例如纯水、碳酸钠水溶液，氢氧化四甲基铵水溶液、氢氧化钠水溶液等所希望的显影剂进行显影处理，例如使曝光部分30a固化后形成由电极母线22，辅助母线23和岛电极20组成的导电性树脂。经干燥后，在例如620～650℃下保持0.5小时烧结，便可除去未固化的树脂膜和包含在已固化的导电性树脂中的有机成分和多余的成分，如图3所示，在后面基板10上得到由梯子状构件组成的电极母线22，直线形状的辅助母线23和配置成矩阵状的岛电极20的厚度为4.8～5.2μm，并且厚度是均匀的。这样，在电极母线22等导电体电路的形成中使用厚度均匀的导电性感光树脂膜30，与网板印刷形成的情况相比，可以抑制由墨水溶剂的蒸发等引起的时效劣化的电阻值变动和墨水内部混合物成分粒子的偏移引起的电阻值的变动，从而可以获得稳定的电气电路。

然后形成电阻21，以便使电极母线22和岛电极相连接。在形成电阻21时，如图4A所示，在后面基板10上均匀涂敷光致抗蚀剂35。接着如图4B所示，把在对应电阻21的形状和位置的场所设置遮光部36a的掩膜36定位放置在后面基板10的上方，对光致抗蚀剂35进行曝光。再按图4C所示那样，利用例如纯水、碳酸钠水溶液，氢氧化四甲基胺水溶液、氢氧化钠水溶液等所希望的显影剂进行显影处理，于是例如在未曝光部分35a上形成作为电阻21的型式的矩形凹部37，以便使其在电极母线22和岛电极20之间露出一部分。

凹部37形成后，就按图4D所示那样，将导电性树脂膏38充填到凹部37中并进行干燥。考虑到干燥时的收缩，也可以进行多次充填干燥该导电性树脂膏38。在充填干燥完成后，就按图4E所示那样，利用抛光装置400将表面研磨平滑并将充填的导电性树脂膏38的厚度(表面高度)调整到确定的值(例如10～15μm)，然后，在600～620℃的温度保持烧结0.5小时，使可除去在未曝光部分的光致抗蚀剂35和导电性树脂膏38中的有机成分，如图4F和图3所示那样获得电阻21。这样获得的电阻21由于高度经调整后，厚度变得均匀，所以电阻值的变化小，从而使放电电压不容易变动。因此可获得每个象素亮度变动小的优质彩色等离子显示板。

电阻21形成后，就形成绝缘层15，以便覆盖电阻21、岛电极20、电极母线22和辅助母线23并且使辅助母线23的辅助阳极24形成部分和岛电极20的阳极13形成部分露出，接着利用网板印刷法形成阳极13和辅助阳极24。在形成该绝缘层15时，如图5A所示，把分离膜放在上面利用滚轮等使具有透光性绝缘性感光树脂膜40在后面基板10展开并粘贴。然后如图5B所示那样，将在对应于露出岛电极20的阳极13形成部分40和辅助母线23的辅助阳极24形成部分那样的形状和位置的地方上设置遮光部41a的掩膜41定位配置在后基板10的上方，对绝缘性感光树脂膜40进行曝光。然后用例如，纯水、碳酸钠水溶液，氢氧化四甲基铵水溶液，氢氧化钠水溶液等所希望的显影剂中进行显影，再按图5C所示那样在例如未曝光部分40a上制作阳极13形成用的通孔16和辅助阳极24形成用通孔16a。再经例如使550～600℃的温度保持0.5小时进行烧结便可获得绝缘层15。然后利用网板印刷法在通孔16、16a中充填导电性树脂膏，使其干燥和烧结，按图5D所示那样获得阳极13和辅助阳极24。这样，由于在形成绝缘层15中采用厚度均匀的绝缘性感光树脂膜40，所以与用网板印刷形成的情况相比可以形成平滑、厚度均匀的绝缘层15。因此，阳极13和阴极间的距离变化小放电间隙变化也小。

形成阳极13后，包围阳极13那样地形成隔壁11。在形成隔壁11时，按图6A所示那样，将分离膜放在上面然后用滚轮等使具有透光性隔壁形成膜45展开地粘贴在后基板10的绝缘膜15上。接着为了促进隔壁形膜45所含的低分子量物质的蒸发以便获得以后的加工均匀性而加热一定时间，然后冷却。将分离膜铺在感光性膜53上面，然后用滚轮等展开粘贴在隔壁形成膜45上。

接着如图6B所示那样，把在对应于隔壁11的形状和位置的地方设置有遮光部46a的掩膜46定位配置在后面基板10的上方，对感光树脂53进行曝光。然后只要利用例如纯水、碳酸钠水溶液、氢氧化四甲基铵水溶液、氢氧化钠水溶液等所希望的显影剂进行显影处理，就能除去例如曝光部分而未曝光部分53a留下，在曝光部分上形成隔壁11的原形的矩阵状的凹部47。

接着利用喷砂装置通过空气将玻璃泡等喷涂到由凹部47露出的隔壁形成膜部分45a上，如图6C所示那样在阳极13上以矩阵状且基板侧的一端厚度比开口侧的上端的厚度大的形状的隔壁11围绕的凹部48。

隔壁11形成后，在隔壁11内形成荧光体层17R、17G、17B。在形成荧光层17R、17G、17B时，如图7A所示，用涂刷器150等使含有例如红的荧光体的感光树脂膏50R，从网板151的开口151a落入隔壁11中。再进行例如约100℃100分钟的热风干燥，然后冷却。这样，如图7B所示，在隔壁11内形成感光树脂膏50R的层。接着，象图7C所示那样从后面基板10的下方照射紫外光使感光树脂膏50R层曝光。然后如利用纯水、碳酸钠水溶液、氢氧化四甲基铵水溶液、氢氧化钠水溶液等所希望的显影剂进行显影，则就如图7D所示，只在例如曝光部分50a上剩下含荧光体感光树脂膏50R从而得到含有红的荧光体的感光树脂膏层50R。然后，按同样的程序利用含有绿的荧光体的感光树脂膏50G和含兰的荧光体感光树脂膏50B，重复上述程序，顺次获得含有绿和兰的荧光体感光树脂膏层50G、50B。然后在例如450～520℃的温度保持烧结0.5小时，使含在荧光体感光树脂膏层50R、50G、50B中的有机成分蒸发而获得荧光体层17R、17G、17B。另外，在上述一次荧光体层形成工序中，荧光体层高度不很充足时，则可以对上述荧光体层只进行所需要的次数而重叠也可达到所要求高度的荧光体层。

这样获得的荧光体层17R、17G、17B具有隔壁11的下端部的厚度比上端部的厚度变大的形状的效果，由于形成为沿隔壁弯曲成倒立吊钟的U字形状，所以从荧光体层17R、17G、17B发射的光能高效率向前方照射。因此获得发光效率高，辉度高、对比度优良的彩色等离子显示板。此外，由于含在已除去的含有荧光体的感光树脂膏50R、50G、50B中含有的荧光体是在固化前除去的，所以可以再利用。因此与已有的方法相比可以不浪费地使用高价的荧光体。

这样一制造出后面板2，便可与用其它工序制造的前面板3相贴合；然后用氦和氙气或氦气和氖气等惰性气体置换出内部的空气便可完成显示部分。通过组装电子电路和外壳最后完成等离子显示板1。

下面结合图1、图8～10说明本发明第2实施方式的等离子显示板的制造方法。

图1示出了等离子显示板1的基板，10是由例如厚度约2mm的玻璃基板组成的透明基板。20是在透明基板10上对应各象素而形成棋盘格状的岛电极，22是沿着形成棋盘格状的岛电极20的一个方向到延长设置并构成与各岛电极20相连接的阳极母线的电极母线，21是配置在电极母线22和各岛电极的连接部分上的电阻，15是为了使各岛电极20露出而在透明基板10上形成的绝缘层、11是由为了环绕各岛电极20的周围而形成的例如玻璃颗粒组成的隔壁，17(17R、17G、17B)是在隔壁11内形成的荧光体层，25是构成沿棋盘格状的岛电极20的另一方面列延长并构成配置在隔壁11上的阴极电极的电极线。

下面说明荧光体层17R、17G、17B的形成工序。调整在网板印刷机上形成岛电极20，电极母线22、电阻21、绝缘层15和隔壁11的透明基板10与图8中所示的网板(掩膜)31，使透明基板10上的隔壁11形成位置与网板31的位置相重合后，将用于形成荧光体层17的含有荧光体感光性树脂膏的必要量放在网板31上，利用涂刷器使含有荧光体感光树脂膏充填在透明基板10的隔壁11内。作为形成荧光层17的含有荧光体感光性树脂膏的5个实例，曾采用表1中所示的组合物。

             表1重量％

实例	荧光体粉充填量	树脂充填量	交联剂光填量
				1	59.2	40.7	0.1
2	59.2	40.6	0.2
				3	59.1	40.5	0.4
4	58.4	40.1	1.5
				5	58.1	39.9	2.0

使该含有荧光体感光树脂膏的充填工序分别按每种颜色进行后，在紫外线固化装置上安置透明基板10，从透明基板10的里面按例如累计光量7.2mW/cm³照射紫外线约3.5秒钟。

接着在使该隔壁11的端面向下的状态下将光照射后的透明基板10安置在显象装置上，然后在压力为1Kg/cm²下喷射例如液温约23℃的纯水，进行约一分钟显影。

显象完成后，用空气刀(窗帘状的吹气器)除去附着在透明基板10上的水，然后在例如约80℃下干燥30分钟，使可获得图9、图10中所示形状的DC型等离子显示板的荧光体层17。

干燥结束后，在例如520℃的空气气氛炉中烧结约1小时，经缓慢冷却后，装配成与透明基板10相当的表面基板，完成了等离子显示板。

下面说明比较例。利用与上述实例相同的在图1中所示的基板10和图8中所示的网板31，将已有技术中的热干燥型荧光体墨水充填到图1所示的透明基板10的隔壁11内，然后在约120℃下进行干燥10分钟，经缓慢冷却后，利用喷砂加工法加工在隔壁11内形成的荧光体，然后利用空气除去附着在透明基板10上的异物，便获得图11、图12所示形状的荧光体层217。然后在520℃的空气气氛炉内进行烧结1小时，经缓慢冷却后，装配成与透明基板10相当的表面基板，制成等离子显示板。

下面就由以上实例和比较例获得的制品的亮度和电极露出孔的精度进行评价。即，把比较例获得的制品的亮度作为基准(设比较例为100)相对比较实例获得的制品的亮度。另外，测定在隔壁11中形成的荧光体层17.217中的电极露出孔的平面形状、设短边方向为X、长边方向为Y，而用取Y与X的比的圆度表示电极露出孔精度，并与比较例进行比较。其评价结果示在表2中。

                  表2

		亮度相对比较(％)	电极露出孔精度Y/X
				实例	1	115	1.00
2	107	1.03
			3		100	1.05
4	90	0.75
			5		87	0.7
比较例		100					1.3

从表2中可以清楚看出，实施例1、2、3与比较例相比显示出优良的特性。

另外，虽然在上述实施方式和后述的实施方式中是采用紫外线作为固化手段的，但是利用电子射线等手段也可以达到同样的效果。

按照本发明的等离子显示板的制造方法，从以上说明清楚地知道，由于充填在隔壁内的含有荧光体感光树脂膏是通过从基板里面照射光来对应掩模形状进行固化的，所以，在其后通过除去未固化部分便可以形状精度良好地在隔壁内形成规定形状的等离子显示板的荧光体层。

另外，按照本发明的等离子显示板的制造方法，当从与在隔壁内充填的含有荧光体感光树脂膏上形成电极面相反的面进行曝光时，可以使在荧光体层上形成的电极露出用孔成为均匀稳定的形状还可以在电极用露出孔附近形成荧光体层，从而既可以使用荧光体层的发光面积增大而提高辉度，又可以提高辉度的均匀性，又因为在显影工序中也可以只除去未固化部分，所以不会象已有技术的喷砂方法等的机械处理方法那样使荧光体粉附着在隔壁的前端部上而使组装完的成品上发生有画象质量缺点的亮点，另外，还产生可以消除由于荧光体层硬度差不能形成露出电极孔而引起不照明点等那样的缺点。

按照本发明的等离子显示板的制造方法，通过从基板的里面照射光使充填在隔壁内的空间部分的含荧光体感光树脂膏固化在基板上形成的电极图形作为掩膜起作用，借此既可以在各隔壁内按一定体积形成一定形状的荧光层，又可以使电极露出孔的形状均匀，从而可以防止喷砂加工法中电极露出孔的形状不稳定引起的功能降低。另外，在象一般的曝光方式那样利用曝光用掩膜进行位置重合后，由于没有必要进行曝光而没有由曝光用掩膜位置重合时的精度偏差引起的电极露出的位置偏差从而可以在对应电极的位置上形成电极露出孔。

下面参照图1和图13说明本发明的第3实施方式的等离子显示板及其制造方法。

在作为表示等离子显示板的阳极侧玻璃基板(后面板)2的构造的斜视图1中，10是例如厚度为约2mm的玻璃基板，20是岛电极，21是构成调整电阻体的电阻、22是通过上述电阻21与上述岛电极20相连并构成主电极的电极母线，23是不使上述电极母线22发生时间延迟从而能激发放电气体那样地而经常施加近似激发电压的电压并构成辅助电极的辅助母线，15是使玻璃粉末膏经若干次网板印刷固化而形成只露出上述岛电极20的透光绝缘层，13是在上述岛电极20的露出部分上插入固化导电膏的不透光性的阳极露出电极(阳极)，11是在上述绝缘层15上经若干次网板印刷固化玻璃粉末膏而形成的具有透光性的隔壁，隔壁11内的空间成为放电室。

             表3(单位：重量％)

组成	红膏	绿膏	兰膏
				荧光体粉	48.3	43.4	41.4
树脂	39.1	42.9	44.1
				聚合引发剂	0.08	0.17	0.26
聚合促进剂	0.16	0.34	0.26
				分散稳定剂	0.70	0.43	0.79
溶剂	11.66	12.76	13.19
				膏粘度CPS	约18000	约14000	约20000

在表3中示出了含有以第3实施方式作为例子使用的溶剂的含有荧光体感光性树脂膏的配比。

在上述膏的涂敷工序中，将图1所示的后面板2装在印刷机上，在上述后面板2上定位网板，以便能在各隔壁11的空间内进行网板印刷，将表3中所示的膏在上述丝网上放置确定的量，使用涂刷器，象图13的17a所示那样将上述膏充填到隔壁11的各空间内进行干燥。上述工序分别按红、绿和兰各色进行。

在该工序中，图13中所示的膏17a由于使用的有机溶剂或水分挥发，而变成中央部下陷成凹形的研磨钵形状。形成该凹形的大小随着上述膏的配比不同而异，有形成少许凹形的情况和形成大凹形的情况，不论哪种情况，都成为钵状。可是，阳极13被上述膏17a的研磨钵状的底部覆盖而不露出。

在紫外线照射工序中，将上述结束膏17a的涂敷·干燥的后面板2安装在紫外线固化装置上，然后从上述后面板2的里面照射例如累计光量7.2mW/cm²的紫外线约3.5秒钟。经过该照射后，由于玻璃基板10是透明的，玻璃粉末膏经若干次印刷固化而形成的绝缘层15和隔壁11是半透明的，所以除了不透明的岛电极20和阳极13的部分的上方部之外，可以透过从上述的里面照射的紫外线，在上述半透明绝缘层15和隔壁11发生漫反射散射，除不透过上述紫外线的岛电极20或阳极13的阴影部分外上述的膏17a发生固化。再有，阳极的直径通常制得比岛电极20的直径大一点。因此上述膏17a在岛电极20和阳极13的外侧固化成象图13的微小荧光体层17那样的研磨钵状。另外，由于隔壁11的上面为了提高画面的鲜明度而涂黑，所以紫外线不能射到附着在隔壁11上面的上述膏17a上，不会发生固化的膏17a附着在隔壁11的上面这种现象。

在清洗工序中，将完成紫外线照射的后面板2以隔壁11的面朝下的方式安装在清洗装置上，例如在压力为1kg/cm²下喷射约23℃的纯水，如图13所示那样，清洗固化成研磨钵形状的部分之外的未固化的上述膏17a。

在干燥工序中，利用空气喷射器除去附着在上述洗净的后侧板2上的水，然后在例如约80°温度下干燥30分钟，便可获得如图13所示的研磨钵状的微小荧光体层17。

在烧制工序中，使上述后面板2在约520℃的空气气氛炉内烧制约一小时后冷却。

在组装工序中，将上述后面板2与具有阳极侧玻璃基板的前面板3组装起来便制成等离子显示板。

在第3实施方式的实例中，是使紫外线照射时间按后面的表4所示的那样改变为3.5秒、10秒、30秒、60秒、90秒、120秒、180秒并制成涉及7种实例的等离子显示板。

下面参照图1、图14说明涉及本发明第4实施方式的等离子显示板及其制造方法。

由于图1中所示的等离子显示板的后面板2的结构与第3实施例相同，所以略去其说明。

第4实施方式与第3实施方式的不同点在于在紫外线照射工序中，首先从后面板2的里面以例如累计光量7.2mW/cm²照射紫外线约3.5秒钟，接着将阳极13的部分进行掩盖的掩膜定位在上述后侧板2的表面上，然后照射例如累计光量7.2mW/cm²的紫外线约3.5秒钟。

作为比较例，在与第3和第4实施方式的实例中使用的相同的后面板2上，将已有的热干燥型荧光体膏7a涂敷在隔壁11的空间内，在约120℃下干燥10分钟，将冷却后，利用喷砂方法切削加工成图14所示的荧光体层7的形状，用空气除去附着在上述后侧板2上的异物，在约520℃的空气气氛炉中烧制1小时，待冷却后，将上述后面板2与前面板3组装在一起，便完成等离子显示板。

在表4中示出了上述第3实施方式的实例，第4实施方式的实例和比较例的数据。

                           表4

项目	紫外线照射时间	亮度	微小萤光体增高度	隔壁的高度
					第3实施方式的实例	从基板里面3.5秒	0.7	50μm	200μm
从基板里面10秒	0.98	70μm	200μm
				从基板里面30秒		1.13	140μm	200μm
从基板里面60秒	1.13	145μm	200μm
				从基板里面90秒		1.15	150μm	200μm
从基板里面120秒	1.17	160μm	200μm
				从基板里面180秒		1.18	170μm	200μm
第4实施方式的实例	从基板里面3.5秒从基板表面3.5秒	1.2	190μm						200μm
				比较例	-	1.0	190μm	200μm

如表4所示那样，在把比较例设为1.0时的等离子显示板内的各放电室的亮度相对比较中，在仅从后面板的里面照射紫外线的第3实施方式的实例时，紫外线的照射时间与微小荧光体层的高度成比例，如果微小荧光体层的高度达到隔壁高度的1/3以上，则可以达到与比较例相同的亮度，如果微小荧光体层的高度达到隔壁高度的2/3以上，则可比比较侧亮10％。在从后面板的里面和从表面两方照射紫外线的第4实施方式的实施情况中，在短的时间内可使微小荧光体层的高度达到接近隔壁的高度，也比比较例的亮度高20％。

比较例的微小荧光层7的形状如图14所示，呈贴在隔壁11的内侧面上的圆筒形，发光效率低，而涉及上述第3和4实施方式的实例的微小荧光体层的形状如图13所示呈研磨钵状，这种研磨钵状是发光效率高的原因，以上是从上述理由推断的结论。

另外，荧光体层变成研磨钵状的理由可由下述那样进行推断。

上述膏17a的实例，虽然是按表3所示的配比，但是因为含有溶剂，所以当充填在隔壁11的空间后一干燥，含有的溶剂便挥发，而使中央部分成凹形。这个凹形的大小随上述膏的配比的不同而不同，可以通过调整上述膏的配比，来实现从稍微成凹形到成为大凹型之间的变化。调整上述膏的配比，使充填在隔壁11空间后干燥情况下的凹形图如图13的膏17a所示那样，在其上面只从后面板2的里面照射紫外线，则除去不透明的阳极13形成阴影部分之外，上述紫外线可达到上述膏17a内。这里紫外线在膏17a内立即衰减，由于烧制成玻璃粉末膏的绝缘层15和隔壁11是半透明的，而使紫外线透过后散射，因此使到达膏17a内的紫外线与通过绝缘层15上方的紫外线和从隔壁11向横向散射的紫外线重合在一起。结果是在阳极13附近由于膏17a变薄紫外线量少而形成研磨钵状的底面以便使阳极按原样露出那样地固化，而在隔壁11附近，由于膏17a的变厚紫外线量多所以形成研磨钵状的上部。

除了上述的特性比较之外，还可进行下述的制造工序的比较。

关于阳极的露出，在比较例中，是使用喷砂工艺使阳极露出，由于喷砂的切削效果差、荧光体层的硬度差、涂敷干燥的荧光体层的形状差等多种原因引起各种不稳定性，而对露出度产生影响。在本实施方式中，由于采用从后面板的里面照射紫外线，使除由岛电极和阳极形成上述紫外线阴影部分之外的含有荧光体感光树脂膏固化，然后清洗除去没有固化的部分，便可以容易地使阳极正确可靠地露出来。

在比较例中，由于利用喷砂切削加工，按照切削下的荧光体粒子以在隔壁11上面附着的原样与前面板重叠组装，这些荧光体粒子成为亮点，从而可能引起等离子显示板的质量下降；而本发明不存在这个问题。

另外对含有荧光体感光树脂膏进行固化的光，紫外线效率高、处理容易，但不限于紫外线，也可以用其它光或放射线。

本发明的等离子显示板及其制造方法使用含有溶剂的含有荧光体感光性树脂膏，从后面板的里面照射紫外线等光或放射线，使除由岛电极或阳极形成上述光或放射线的阴影的部分以外的上述膏固化。清洗除去没有固化的部分，使阳极容易、适当、确实地露出，并且使微小荧光层的形状精度高而稳定，从而辉度均匀性和色平衡等的特性都良好的效果。

本发明中，附加一个使用对阳极或岛电极上部进行掩盖的掩膜并从后面板的隔壁进行使含有溶剂的含有荧光体感光树脂膏固化的光或放射线的照射的步骤，这样便可以用短时间的光或放射线的照射形成高度高的微小荧光体层，从而具有获得亮度高的等离子显示板的效果。

在本发明中，只要使微小荧光体层的高度达到隔壁的高度的1/3以上，就可以获得亮度高的等离子显示板。

在本发明中，若使用紫外线作为光，可以获得良好的作业性。

本发明的等离子显示板的制造法，在形成微小荧光体层时，首先将含有溶剂的含有荧光体感光性树脂膏充填在形成放电室的空间内，在含有的溶剂样发后，在表面的中央部分下陷成凹形而凝固成研磨钵状的状态下，阳极被上述膏覆盖。

接着，从后面板的里面照射使上述膏固化的光或放射线。这时，因为构成后面板的玻璃基板是透明的，绝缘层和隔壁由于是在上述玻璃基板上重复涂敷玻璃粉末膏后烧结成的，所以是半透明的，因而能使上述光或放射线透过并散射一部分，其结果是使上述光或放射线不能到达变成不透明的阳极或岛电极的阴影部分，但却使在其它部分的上述膏固化。

接着清洗除去未硬化部分的上述膏，使阳极露出并形成研靡钵状的微小荧光体层。研磨钵状的微小荧光层因放电引起的发光效率高。

这样，不需要对形成微小荧光体层的各种制造条件进行繁锁的控制，使可获得微小荧光层的研磨钵状精度稳定，阳极露出适当，辉度均匀性和色平衡等性能优良的等离子显示板。

在上述各实施方式中作为网板(掩膜)，除了以与隔壁开口部具有相同节距精度在金属板形成开口的网板外，还能使用网眼网板。

在本说明书中，所谓″溶剂是指在干燥时可从膏中除去的液体，除有机溶剂以外是指含水的溶剂。而所谓含有荧光体感光树脂膏至少是指含单聚物，聚合引发剂，和荧光体的物质。另外，上述膏根据需要即含聚合物又含溶剂或者含有光增感剂和聚合阻止剂等。

作为使膏固化的固化手段可以举出含紫外线或电子射线的光，放射线或热等。

在上述第1～4实施方式中使用DC型等离子显示板并进行说明，但是本发明的有关制造方法也同样适用于图15所示那样的AC型等离子显示板。该AC型等离子显示板的制造方法，如图15所示，在后面板上，在玻璃基板110的上面形成多条平行的带状地址电极120，在这些地址电极120之间平行地形成隔壁111。邻接的隔壁111间的空间成为连续的槽状结构，没有必要使地址电极120露出。因而，与象DC型等离子显示板那样露出的阳极13的周围被隔壁11围绕的情况有很大不同。在AC型等离子显示板中荧光体层117的断面大至成C字状的槽状。在前面板的玻璃基板103上配置着2根平行的写入电极125。因而，如图17所示，在AC型等离子显示板中，在写入电极125的任何一个电极与地址电极120之间首先发生放电，然后在两根写入电极125之间继续进行放电，荧光体层117按箭头200所示那样发光。

与此相反，在DC型等离子显示板中，如图16所示，由于前面板的基板12的阴极线25和后面板的基板10的阳极13之间发生放电，荧光体层17按箭头201所示那样发光，所以阳极13必需露出。

在DC型等离子显示板中，虽然最好是根据在后面板上使阳极露出的需要利用光固化，但在如图15所示的AC型等离子显示板中，由于在后面板上电极没有必要露出，所以除光硬化外还可以适用热固化。这时，通过使热风吹在含有荧光体热固化性树脂膏上，或者通过将具有含荧光体热固性树脂膏的后面板放入高温炉内等各种手段完成热固化。由于热固化可以通过热确实使直至含荧光体热固化性树脂膏的内部固化，所以与光固化相比使应该固化的部分确实固化。

另外，在把具有含荧光体热固性树脂膏的后面板放入高精度温度控制炉内的情况下，最初控制使含荧光体的热固性树脂膏固化所需要的温度进行固化工序，待固化工序结束后，可以将温度升高到烧制所需要的高温继续进行烧制工序。这样便可以使含荧光体热固化性树脂膏的固化工序和烧制工序连续进行，从而可以提高制造效率。

另外，虽然在上述AC型等离子显示板中没有配置绝缘层，但是如图18所示，也可以在地址电极120的上面和玻璃基板110的上面配置绝缘层115，然后在该绝缘层115的上面形成隔壁111。

另外，各隔壁11，111的断面形状，如图1所示那样，其侧面是平面的并且在从基板侧到其开口侧的全部分的厚度是相同的，但不限于此，也可以象图9所示那样使该侧面从其基板侧部分朝向开口侧部分向外变宽地弯曲，基板侧的部分厚度比开口侧部分的厚度大，从而在隔壁上荧光体层容易形成研磨钵状或槽状。

另外，在上述DC型和AC型等离子显示板中，阳极与阴极的配置关系可以颠倒过来，即也可以把配置在阳极侧的电极13，120分别作为阴极侧的电极13，130，而把配置在阴极侧的电极25，125分别作为阳极侧的电极25、125。

虽然，本发明详细记载着就有关附图的最佳实施例，但是显然，本技术领域的普通技术人员可以对此做出各种变形或修改。这些变形和修改仍没有超出本发明的权利要求书的范围，应该认为包含在本发明中。

Claims (11)

1.一种制造直流型等离子显示板的制造方法，该等离子显示板形成多个以矩阵形配置在透光玻璃制的背面侧基板(10)上的岛电极(20)、连接各岛电极(20)的电极母线(22)、和连接上述电极母线(22)和上述岛电极(20)的电阻(21)；各电极母线(22)是左右分割开的梯子形状的部件，形成一对，在每一对电极母线(22)之间，形成辅助母线(23)，在形成这些元素的背面侧基板(10)上，形成电介质制的绝缘层(15)以将其覆盖；在该绝缘层(15)上，在与上述岛电极相对的部分，形成贯通孔(16)；在这些贯通孔(16)上，形成连接上述岛电极(20)的阳极(13)；在上述辅助母线(23)上，也以与上述贯通孔(16)相同的节距，形成贯通孔(16a)；形成用于加快显示反应的辅助阳极(24)；并且，在该绝缘层(15)上，配置隔壁(11)成矩阵形状以包围上述阳极(13)；并且在形成在该背面侧基板上的上述隔壁(11)的侧面，从基板侧的部分朝向开口侧的部分，向外伸展而使上述基板侧的部分的厚度比上述开口侧部分的厚度大而形成；在这些隔壁(11)内，配置分别具有红、绿、蓝3色的荧光体层(17R、17G、17B)的显示室(14R、14G、14B)的任何一种；而且，前面侧面板(3)具有透光玻璃制的前面侧基板(12)，在上述前面侧基板(12)的与上述背面侧基板(10)相对向的面上，在与上述阳极(13)相对的位置埋入在与上述电极母线(22)垂直方向上伸展的阴极线(25)；并且，在上述前面侧基板(12)上，还形成用以将电荷引导到上述显示室(14R、14G、14B)的等离子用空间；由这样的背面侧基板(10)和前面侧基板(12)构成的等离子显示板；其特征在于，该制造方法包括以下工序：

利用与形成在上述背面侧基板上的上述隔壁(11)的开口部对应的开口部的网板(31、151)将形成上述荧光体层的固化性荧光体膏(17a，50)注入到上述背面侧基板的上述隔壁的空间部分的工序，

使上述固化性荧光体膏固化的工序，

除去上述固化性荧光体膏的未固化部分的工序，

上述固化性荧光体膏经干燥后，烧制上述固化性荧光膏从而形成上述荧光体层的工序。

2.如权利要求1所述的直流型等离子显示板的制造方法，其特征在于：上述固化性荧光体膏(17a、50)是含溶剂、单聚物、聚合引发剂和荧光体并且含有具有光固化性的荧光体的感光性树脂膏。

3.如权利要求1所述的直流型等离子显示板的制造方法，其特征在于：上述固化性荧光体膏(17a、50)是含溶剂、单聚物、聚合引发剂和荧光体并且含有具有光固化性的荧光体的感光性树脂膏，在使用含有上述荧光体的感光性树脂膏的直流型等离子显示板中的固化工序中，使用对岛电极(20)的上部进行掩盖的掩膜从在上述背面一方的基板上形成的上述隔壁面进行对上述感光性树脂膏照射光、电子线或放射线，将除上述岛电极(20)的上部掩膜部分之外的上述感光性树脂膏固化。

4.如权利要求1所述的直流型等离子显示板的制造方法，其特征在于：在上述隔壁内填充含有荧光体的感光性树脂膏，使该感光性树脂膏含有的溶剂干燥而形成研磨钵形状，在除由阳极或阴极(13)或岛电极(20)形成的影子部分之外进行光硬化，通过除去未固化的部分，从而使形成在上述岛电极上的阳极露出。

5.如权利要求1所述的直流型等离子显示板的制造方法，其特征在于：上述固化性荧光体膏(17a、50)是含溶剂、单聚物、聚合引发剂和荧光体并且含有具有光固化性的荧光体的感光性树脂膏，在使用含有上述荧光体的感光性树脂膏的直流型等离子显示板中的固化工序中，从形成在上述背面一侧的基板的上述隔壁面的相反一侧，照射使上述感光性树脂膏固化的光、电子射线或放射线，从而除上述岛电极(20)的影子部分之外对上述感光性树脂膏进行固化。

6.如权利要求1-3和5中任何一项所述的直流型等离子显示板的制造方法，其特征在于：调整在上述隔壁内充填的含有荧光体的感光性树脂膏的量或溶剂含量，或调整光或放射线的照射量使上述荧光体层的高度为上述隔壁高度的1/3以上。

7.一种交流型等离子显示板的制造方法，该等离子显示板在透光玻璃制的背面侧基板(110)上，形成多个等间隔面平行地配置的电极(120)，并且在这些电极上形成绝缘层(115)，等间隔地平行配置隔壁(111)将这些电极(120)夹在中间，并形成在该背面侧基板上的上述隔壁(111)的侧面，从基板侧的部分朝向开口侧的部分，向外伸展而使上述基板侧的部分的厚度比上述开口侧部分的厚度大而形成；在这些隔壁(111)内，配置分别具有红、绿、蓝三色的荧光体层(117R、117G、117B)的显示室(114R、114G、114B)的任何一种；而且，前面侧面板(3)具有透光玻璃制的前面侧基板(103)，在上述前面侧基板(103)的与上述背面侧基板(110)相对向的面上，电极(125)被形成在与上述背面侧基板(110)上配置的多个上述电极(120)垂直的位置上；由这样的背面侧基板(110)和前面侧基板(103)构成的交流型等离子显示板，该制造方法的特征在于，具有：

使用与形成在上述背面侧基板上的上述隔壁(111)的开口部分对应的开口部分的网板，将形成上述荧光体层的固化性荧光体膏(17a，50)填充入上述背面侧基板上的上述隔壁的空间部分的工序；

将上述固化性荧光体膏固化的工序；

将上述固化性荧光体膏干燥后，烧制上述固化性荧光体膏，而形成上述荧光体层的工序。

8.如权利要求7所述的交流型等离子显法板的制造方法，其特征在于，还包括将上述固化性荧光体膏的未固化部分除去的工序。

9.如权利要求7所述的交流型等离子显示板的制造方法，该等离子显示板在透光玻璃制的背面侧基板(110)上，形成多个等间隔面平行地配置的电极(120)，并且在这些电极上形成绝缘层(115)，等间隔地平行配置隔壁(111)将这些电极(120)夹在中间，形成在该背面侧基板上的上述隔壁(111)的侧面，从基板侧的部分朝向开口侧的部分，向外伸展而使上述基板侧的部分的厚度比上述开口侧部分的厚度大而形成；其特征在于：

在该隔壁内，填充含有荧光体的感光性树脂膏，并使该感光性树脂膏中所含有的溶剂干燥形成槽形状。

10.如权利要求7所述的交流型等离子显示板的制造方法，其特征在于，上述固化性荧光体膏是具有热固化性的含荧光体的热固性树脂膏。

11.如权利要求10所述的交流型等离子显示板的制造方法，其特征在于：调整充填到上述隔壁内的含荧光体的热固化性树脂膏的量或该膏中的溶剂含量，并调整供给的热量使上述荧光体层的高度为上述隔壁高度的1/3以上。

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