JP3158508B2 - プラズマディスプレイパネルの製造方法 - Google Patents
プラズマディスプレイパネルの製造方法Info
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- Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は情報処理端末や平面型テ
レビ等に利用されるカラープラズマディスプレイパネル
の製造方法に関し、特に高輝度、高発光効率のカラープ
ラズマディスプレイパネルの蛍光体膜製膜の方法に関す
る。
レビ等に利用されるカラープラズマディスプレイパネル
の製造方法に関し、特に高輝度、高発光効率のカラープ
ラズマディスプレイパネルの蛍光体膜製膜の方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】カラープラズマディスプレイパネルはパ
ネル内に塗布した蛍光体をガス放電によって生成された
紫外光で励起して可視光を得てカラー表示するディスプ
レイである。放電方式によりＡＣ型とＤＣ型があるが、
寿命、発光効率の点で優れているＡＣ型の面放電方式型
を例に取り説明する。図４にＡＣ面放電型カラープラズ
マディスプレイパネルの断面図を示す。前面基板３０に
電極３２を形成し、これを絶縁層３１で被覆する。更に
保護層３３としてＭｇＯを成膜する。後面基板３４には
電極３２と直交するように書き込み電極３８を形成す
る。この上に隔壁３６を形成しこの隔壁３６の側面と後
面基板面に蛍光体３５を成膜し前面基板と張り合わせ気
密封止する。内部には例えばＨｅとＸｅの混合ガスを封
入する。隣合う電極３２の間にパルス状の電圧を印加し
放電を起こし紫外光を生成し蛍光体３５を励起発光させ
可視光を得る。放電の制御は電極３２と書き込み電極３
８の間に書き込みパルスや消去パルすを印加すれば良
い。マルチカラーあるいはフルカラープラズマディスプ
レイパネルの場合は放電セル毎に発光色の異なる蛍光体
が塗布されている。ここで発光効率を上げるには蛍光体
を放電セル内のできるだけ広い面積に塗布した方が良
い。従って隔壁側面と後面基板面に塗布するのが最も良
い。従来の成膜方法は例えば蛍光体スラリーを隔壁を形
成した基板上にたらし回転等により余分なスラリーを振
り切り乾燥後、露光現像のプロセスを行い蛍光体のパタ
ーンを形成していた。
ネル内に塗布した蛍光体をガス放電によって生成された
紫外光で励起して可視光を得てカラー表示するディスプ
レイである。放電方式によりＡＣ型とＤＣ型があるが、
寿命、発光効率の点で優れているＡＣ型の面放電方式型
を例に取り説明する。図４にＡＣ面放電型カラープラズ
マディスプレイパネルの断面図を示す。前面基板３０に
電極３２を形成し、これを絶縁層３１で被覆する。更に
保護層３３としてＭｇＯを成膜する。後面基板３４には
電極３２と直交するように書き込み電極３８を形成す
る。この上に隔壁３６を形成しこの隔壁３６の側面と後
面基板面に蛍光体３５を成膜し前面基板と張り合わせ気
密封止する。内部には例えばＨｅとＸｅの混合ガスを封
入する。隣合う電極３２の間にパルス状の電圧を印加し
放電を起こし紫外光を生成し蛍光体３５を励起発光させ
可視光を得る。放電の制御は電極３２と書き込み電極３
８の間に書き込みパルスや消去パルすを印加すれば良
い。マルチカラーあるいはフルカラープラズマディスプ
レイパネルの場合は放電セル毎に発光色の異なる蛍光体
が塗布されている。ここで発光効率を上げるには蛍光体
を放電セル内のできるだけ広い面積に塗布した方が良
い。従って隔壁側面と後面基板面に塗布するのが最も良
い。従来の成膜方法は例えば蛍光体スラリーを隔壁を形
成した基板上にたらし回転等により余分なスラリーを振
り切り乾燥後、露光現像のプロセスを行い蛍光体のパタ
ーンを形成していた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上述の従来の方法のよ
うに蛍光体スラリーを隔壁を形成した基板上にたらすと
基板面上、特に隔壁の付け根にスラリーが多く溜り、逆
に隔壁側面には少なく膜厚が不均一になる。蛍光体膜厚
には最適値が存在しこれより薄いと輝度は低くなり、厚
いと放電セルが狭くなり放電の特性が悪化し、また蛍光
体と放電によるプラズマとの距離が短くなり寿命に悪影
響が生じる。高い発光効率、優れた放電特性、長寿命を
得るには蛍光体を最適な膜厚で均一に塗布することが非
常に重要である。
うに蛍光体スラリーを隔壁を形成した基板上にたらすと
基板面上、特に隔壁の付け根にスラリーが多く溜り、逆
に隔壁側面には少なく膜厚が不均一になる。蛍光体膜厚
には最適値が存在しこれより薄いと輝度は低くなり、厚
いと放電セルが狭くなり放電の特性が悪化し、また蛍光
体と放電によるプラズマとの距離が短くなり寿命に悪影
響が生じる。高い発光効率、優れた放電特性、長寿命を
得るには蛍光体を最適な膜厚で均一に塗布することが非
常に重要である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明のプラズマディス
プレイパネルの製造方法では、つぎに記する方法を実施
することにより基板面及び隔壁側面に均一に最適な蛍光
体膜を成膜する。（イ）隔壁を形成した基板に感光液を
塗布しこれに蛍光体粉末を吹き付けフォトリソグラフィ
ーによってパターンニングする。（ロ）上述の（イ）の
方法を基板に対する蛍光体粉末の吹き付け角度を変化さ
せながら吹き付けを行う。（ハ）隔壁を形成した基板に
光粘着性感光液を塗布しフォトリソグラフィーでパター
ンニング後、蛍光体粉末を吹き付ける。（ニ）上述の
（ハ）の方法を基板に対する蛍光体粉末の吹き付け角度
を変化させながら吹き付けを行う。
プレイパネルの製造方法では、つぎに記する方法を実施
することにより基板面及び隔壁側面に均一に最適な蛍光
体膜を成膜する。（イ）隔壁を形成した基板に感光液を
塗布しこれに蛍光体粉末を吹き付けフォトリソグラフィ
ーによってパターンニングする。（ロ）上述の（イ）の
方法を基板に対する蛍光体粉末の吹き付け角度を変化さ
せながら吹き付けを行う。（ハ）隔壁を形成した基板に
光粘着性感光液を塗布しフォトリソグラフィーでパター
ンニング後、蛍光体粉末を吹き付ける。（ニ）上述の
（ハ）の方法を基板に対する蛍光体粉末の吹き付け角度
を変化させながら吹き付けを行う。
【０００５】
【作用】本発明のプラズマディスプレイパネルの蛍光体
膜の製造方法は、蛍光体をスラリーとしていきなり基板
面に塗布するのではなく一旦基板面及び隔壁側面に感光
液の膜を形成し、これに蛍光体粉末を吹き付けるため、
蛍光体の膜厚は蛍光体の吹き付け量と吹き付け角度で決
まりこれをコントロールすれば隔壁の側面にも基板面に
も均一に塗布することが出来る。またこの方法は感光液
の膜厚のばらつきに蛍光体の膜厚が影響を受けにくい利
点があり、感光液の塗布方法はスピンコート等の簡便な
方法で良い。
膜の製造方法は、蛍光体をスラリーとしていきなり基板
面に塗布するのではなく一旦基板面及び隔壁側面に感光
液の膜を形成し、これに蛍光体粉末を吹き付けるため、
蛍光体の膜厚は蛍光体の吹き付け量と吹き付け角度で決
まりこれをコントロールすれば隔壁の側面にも基板面に
も均一に塗布することが出来る。またこの方法は感光液
の膜厚のばらつきに蛍光体の膜厚が影響を受けにくい利
点があり、感光液の塗布方法はスピンコート等の簡便な
方法で良い。
【０００６】
【実施例】次に本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。ここでは従来例で説明したＡＣ面放電型プラズマデ
ィスプレイパネルを例に取るが、本発明の隔壁を形成し
た基板面上に蛍光体を成膜するプラズマディスプレイパ
ネル全てに共通する技術である。図１は、本発明の第１
の実施例の製造工程を示す図である。まず、（Ａ）図の
ように基板２上に隔壁１を例えばスクリーン印刷で形成
する。つぎに（Ｂ）図のように、この上に感光液３を例
えば低回転のスピンナーやディップによって塗布する。
感光液３は例えばポリビニールアルコールと重クロム酸
塩の混合水溶液である。つぎに、（Ｃ）図のように感光
液３が十分に乾ききらない内に蛍光体粉末５をエアスプ
レーによって吹き付け蛍光体を吸着させる。つぎに
（Ｄ）図のように、蛍光体パターンのマスク７を当て紫
外光６を照射する。露光された部分は感光液が水に不溶
となり蛍光体を固着させる。ついで、（Ｅ）図のように
温純水でスプレー現像すると未露光部は洗い流される。
８はパターン形成済蛍光体膜である。このようにして蛍
光体のパターンニングができる。ＲＧＢ３色必要なパネ
ルはマスクを変え上記工程を３回繰り返せば良い。
る。ここでは従来例で説明したＡＣ面放電型プラズマデ
ィスプレイパネルを例に取るが、本発明の隔壁を形成し
た基板面上に蛍光体を成膜するプラズマディスプレイパ
ネル全てに共通する技術である。図１は、本発明の第１
の実施例の製造工程を示す図である。まず、（Ａ）図の
ように基板２上に隔壁１を例えばスクリーン印刷で形成
する。つぎに（Ｂ）図のように、この上に感光液３を例
えば低回転のスピンナーやディップによって塗布する。
感光液３は例えばポリビニールアルコールと重クロム酸
塩の混合水溶液である。つぎに、（Ｃ）図のように感光
液３が十分に乾ききらない内に蛍光体粉末５をエアスプ
レーによって吹き付け蛍光体を吸着させる。つぎに
（Ｄ）図のように、蛍光体パターンのマスク７を当て紫
外光６を照射する。露光された部分は感光液が水に不溶
となり蛍光体を固着させる。ついで、（Ｅ）図のように
温純水でスプレー現像すると未露光部は洗い流される。
８はパターン形成済蛍光体膜である。このようにして蛍
光体のパターンニングができる。ＲＧＢ３色必要なパネ
ルはマスクを変え上記工程を３回繰り返せば良い。
【０００７】つぎに本発明の第２の実施例を図２を参照
して説明する。これは図１のＣ図の工程に相当するが、
ここでは隔壁２２を形成した基板２３を自転軸２４を中
心に回転させ更に公転軸２５を中心に回転する自公転運
動をさせながら蛍光体粉末２１を吹き付ける。これによ
り隔壁側面にもより均一に蛍光体を吹き付けられる。こ
の例は基板を自公転運動以外の動かし方もいろいろ考え
られる。
して説明する。これは図１のＣ図の工程に相当するが、
ここでは隔壁２２を形成した基板２３を自転軸２４を中
心に回転させ更に公転軸２５を中心に回転する自公転運
動をさせながら蛍光体粉末２１を吹き付ける。これによ
り隔壁側面にもより均一に蛍光体を吹き付けられる。こ
の例は基板を自公転運動以外の動かし方もいろいろ考え
られる。
【０００８】次に本発明の第３の実施例を図３を参照し
て説明する。まず、（Ａ）図のように、隔壁１０を形成
した基板１１を用意する。つぎに、（Ｂ）図のように光
粘着感光液１２を例えば低回転のスピンナーやディップ
によって成膜する。光粘着性感光液１２は例えばジアゾ
ニウム塩と塩化亜鉛との複塩をアルギン酸ポリプロリレ
ングリコールエステル等の高分子水溶液に溶解したもの
である。つぎに（Ｃ）図のように、乾燥後、蛍光体パタ
ーンのマスク１４をあて紫外光１３を照射する。つぎに
（Ｄ）図のように、紫外光照射１３により光分解がおき
塩化亜鉛が遊離し、塩化亜鉛の潮解性による吸湿から粘
着性を生じる。つぎに、（Ｅ）図のように、蛍光体粉末
１７をエアスプレーで吹き付け粘着性を生じた部分１５
に吸着させる。つぎに（Ｆ）図のように、余剰蛍光体を
エアーを吹き付けることにより吹き飛ばし焼成すること
により蛍光体のパターンニングができる。
て説明する。まず、（Ａ）図のように、隔壁１０を形成
した基板１１を用意する。つぎに、（Ｂ）図のように光
粘着感光液１２を例えば低回転のスピンナーやディップ
によって成膜する。光粘着性感光液１２は例えばジアゾ
ニウム塩と塩化亜鉛との複塩をアルギン酸ポリプロリレ
ングリコールエステル等の高分子水溶液に溶解したもの
である。つぎに（Ｃ）図のように、乾燥後、蛍光体パタ
ーンのマスク１４をあて紫外光１３を照射する。つぎに
（Ｄ）図のように、紫外光照射１３により光分解がおき
塩化亜鉛が遊離し、塩化亜鉛の潮解性による吸湿から粘
着性を生じる。つぎに、（Ｅ）図のように、蛍光体粉末
１７をエアスプレーで吹き付け粘着性を生じた部分１５
に吸着させる。つぎに（Ｆ）図のように、余剰蛍光体を
エアーを吹き付けることにより吹き飛ばし焼成すること
により蛍光体のパターンニングができる。
【０００９】蛍光体をＲＧＢ３色塗り分けるときは、蛍
光体粉末を吹き付けた後余剰蛍光体をエアーを吹き付け
ることにより吹き飛ばしマスクを変え再び紫外光照射す
る。未露光部の光粘着性感光液は効力をまだ温存してい
るので再塗布する必要はない。そして蛍光体粉末の吹き
付けを行う。この工程を繰り返せば蛍光体の塗り分けが
出来る。
光体粉末を吹き付けた後余剰蛍光体をエアーを吹き付け
ることにより吹き飛ばしマスクを変え再び紫外光照射す
る。未露光部の光粘着性感光液は効力をまだ温存してい
るので再塗布する必要はない。そして蛍光体粉末の吹き
付けを行う。この工程を繰り返せば蛍光体の塗り分けが
出来る。
【００１０】つぎに本発明の第４の実施例を図２を参照
して説明する。これを図３のＥ図の工程に当てはめる。
ここでは隔壁２２を形成した基板２３を自転軸２４を中
心に回転させ更に公転軸２５を中心に回転する自公転運
動をさせながら蛍光体粉末２１を吹き付ける。これによ
り隔壁側面にもより均一に蛍光体を吹き付けられる。こ
の例は基板を自公転運動させているがスプレーガン２０
を自公転運動させても良く、自公転運動以外の動かし方
もいろいろ考えられる。
して説明する。これを図３のＥ図の工程に当てはめる。
ここでは隔壁２２を形成した基板２３を自転軸２４を中
心に回転させ更に公転軸２５を中心に回転する自公転運
動をさせながら蛍光体粉末２１を吹き付ける。これによ
り隔壁側面にもより均一に蛍光体を吹き付けられる。こ
の例は基板を自公転運動させているがスプレーガン２０
を自公転運動させても良く、自公転運動以外の動かし方
もいろいろ考えられる。
【００１１】以上説明したように本発明のプラズマディ
スプレイパネルの蛍光体の成膜方法を用いることにより
隔壁の側面及び基板面に均一に蛍光体を成膜しパターニ
ングできる。これは従来の方法のように蛍光体を直接成
膜するのではなく一旦感光液を塗布しこれに蛍光体粉末
を吹き付けるので蛍光体膜厚は吹き付けの量と角度でコ
ントロールでき均一な蛍光体膜を形成できる。このとき
感光液の膜厚は多少のばらつきが生じるが蛍光体の膜厚
にはほとんど影響しない。従って感光液の塗布はスピン
コート等の簡便な方法で良い。
スプレイパネルの蛍光体の成膜方法を用いることにより
隔壁の側面及び基板面に均一に蛍光体を成膜しパターニ
ングできる。これは従来の方法のように蛍光体を直接成
膜するのではなく一旦感光液を塗布しこれに蛍光体粉末
を吹き付けるので蛍光体膜厚は吹き付けの量と角度でコ
ントロールでき均一な蛍光体膜を形成できる。このとき
感光液の膜厚は多少のばらつきが生じるが蛍光体の膜厚
にはほとんど影響しない。従って感光液の塗布はスピン
コート等の簡便な方法で良い。
【００１２】
【発明の効果】以上述べたように本発明のプラズマディ
スプレイパネルの製造方法によって、隔壁側面及び基板
面に均一に且つ最適な膜厚で蛍光体を成膜、パターンニ
ング出来るようになり、高輝度、高発光効率、長寿命の
カラープラズマディスプレイパネルが実現できた。
スプレイパネルの製造方法によって、隔壁側面及び基板
面に均一に且つ最適な膜厚で蛍光体を成膜、パターンニ
ング出来るようになり、高輝度、高発光効率、長寿命の
カラープラズマディスプレイパネルが実現できた。
【図１】本発明の第１の実施例のプラズマディスプレイ
パネルの製造方法の製造工程（Ａ）〜（Ｅ）を示す図で
ある。
パネルの製造方法の製造工程（Ａ）〜（Ｅ）を示す図で
ある。
【図２】本発明の第２の実施例のプラズマディスプレイ
パネルの製造方法を示す図である。
パネルの製造方法を示す図である。
【図３】本発明の第３の実施例のプラズマディスプレイ
パネルの製造方法の製造工程（Ａ）〜（Ｆ）を示す図で
ある。
パネルの製造方法の製造工程（Ａ）〜（Ｆ）を示す図で
ある。
【図４】ＡＣ面放電型プラズマディスプレイパネルの断
面図である。
面図である。
１，１０，２２ 隔壁 ２，１１，２３ 基板 ３ 感光液 ４，１６，２０ スプレーガン ５，１７，２１ 蛍光体粉末 ６，１３ 紫外線照射 ７，１４ マスク ８，１８ パターン形成済蛍光体膜
Claims (3)
- 【請求項１】 画素を画定する隔壁を介して２枚の基板
を張り合わせ気密封止してなるパネルの内部に塗布され
た蛍光体を、前記パネル内部に封入されたガスを放電さ
せることによって励起発光させるプラズマディスプレイ
パネルの製造方法に於いて、感光液を塗布し且つ少なく
とも前記隔壁を有した前記基板に蛍光体粉末を吹き付
け、しかる後にフォトリソグラフィーによって蛍光体の
パターン形成を行う工程を少なくとも含むことを特徴と
するプラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項２】 画素を画定する隔壁を介して２枚の基板
を張り合わせ気密封止してなるパネルの内部に塗布され
た蛍光体を、前記パネル内部に封入されたガスを放電さ
せることによって励起発光させるプラズマディスプレイ
パネルの製造方法に於いて、粘着性感光液を塗布しフォ
トリソグラフィーによりパターン形成した少なくとも前
記隔壁を有した前記基板に蛍光体粉末を吹き付け蛍光体
パターン形成を行う工程を少なくとも含むことを特徴と
するプラズマディスプレイパネルの製造方法。 - 【請求項３】 前記基板に対する蛍光体粉末の吹き付け
角度を変化させなかがら蛍光体吹き付けを行うことを特
徴とする請求項１または２記載のプラズマディスプレイ
パネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19633091A JP3158508B2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19633091A JP3158508B2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0541159A JPH0541159A (ja) | 1993-02-19 |
| JP3158508B2 true JP3158508B2 (ja) | 2001-04-23 |
Family
ID=16356034
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19633091A Expired - Fee Related JP3158508B2 (ja) | 1991-08-06 | 1991-08-06 | プラズマディスプレイパネルの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3158508B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0739023B1 (en) * | 1995-04-20 | 2000-01-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Method for fabricating plasma display panel |
| KR100288719B1 (ko) * | 1996-09-30 | 2001-10-24 | 김영남 | 플라즈마표시소자의형광층형성방법 |
| KR19990000446A (ko) * | 1997-06-02 | 1999-01-15 | 구자홍 | 칼라 플라즈마 디스플레이 패널의 제조방법 |
| KR19990002168A (ko) * | 1997-06-19 | 1999-01-15 | 구자홍 | Pdp의 후막 형성기 및 형성방법 |
| JP4539076B2 (ja) * | 2003-10-27 | 2010-09-08 | セイコーエプソン株式会社 | 膜形成方法、デバイス製造方法、プラズマディスプレイ装置の製造方法および電子機器の製造方法 |
-
1991
- 1991-08-06 JP JP19633091A patent/JP3158508B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0541159A (ja) | 1993-02-19 |
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Legal Events
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