CN115010490A - 一种超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料及其制备方法 - Google Patents

一种超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料及其制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料及其制备方法，微波介质陶瓷材料的化学通式为Zn1‑xCuxZrNb2O8，0.06≤x≤0.1，且其晶相为单一纯相；其以ZnO、CuO、ZrO2和Nb2O5为原料，按照化学通式Zn1‑xCuxZrNb2O8的化学计量比配料，0.06≤x≤0.1，然后进行第一次球磨后过筛，在1000‑1100℃下预烧1‑6h，再进行第二次球磨混合，造粒、成型，在1150‑1200℃下烧结1‑6h制成。本发明采用Cu2+对ZnZrNb2O8晶体结构进行微调，提高了晶格能及有序度。同时降低了烧结温度，提高了陶瓷的致密度，导致了晶粒形态演变，提高了陶瓷材料的品质因数。

Description

一种超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料及其制备方法
技术领域
本发明涉及微波介质陶瓷材料技术领域，具体涉及一种超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料及其制备方法。
背景技术
微波介质陶瓷，主要应用于微波频段(300MHz～300GHz)，是在电路中承担作用的新型功能陶瓷，广泛应用于介质谐振器、滤波器及介质天线等微波元件。为了满足设备小型化、轻量化、多功能化及低成本化的要求，微波介质陶瓷已然成为了国内外微波介质材料研究领域的热点之一。为了满足器件的要求，微波介质陶瓷材料应满足以下条件：①相对高的介电常数：高介电常数可以减小器件尺寸，提高集成度；②高的品质因数以抑制信号衰减，提高信噪比，保证优良的选频特性和降低器件在高频下的插入损耗；③良好的谐振频率温度系数，这样可以保证器件使用的温度可靠性。因此，同时满足介电常数和低损耗要求的微波介电材料吸引了众多研究者的兴趣。但现有的材料体系往往不能同时满足上述性能。因此，开发新的陶瓷材料体系是必要的。
近年来，钨锰铁矿铌锆酸锌(ZnZrNb2O8)系陶瓷是近年来新开发的新型低损耗微波介质陶瓷，具有良好的微波介电性能而被广泛研究。其微波介电性能为：εr＝30，Q×f＝61,000GHz和τf＝-52ppm/℃。但是其烧结温度过高(≥1350℃)且Q×f值仍有进一步优化的空间。低熔点添加剂能够适当的降低ZnZrNb2O8陶瓷的烧结温度，如Shishun Qi等在Effectsof Bi2O3-ZnO-B2O3-SiO2 glass addition on the sintering and microwave dielectricproperties of ZnZrNb2O8 ceramics for LTCC applications(Journal of MaterialsScience:Materials in Electronics(2019)30:6411-6418)中，利用Bi2O3-ZnO-B2O3-SiO2glass作为低熔点添加剂，适当的降低了ZnZrNb2O8陶瓷的烧结温度，但是也引入了第二相，反而降低了陶瓷的品质因数。因此，如何在保持纯相，降低ZnZrNb2O8的烧结温度同时降低介电损耗仍是亟需研究的重点。洪倩等在CuO掺杂对ZnZrNb2O8微波介质陶瓷性能的影响(硅酸盐学报，2017，第45卷第3期：354-359)中，以分析纯的ZnO、ZrO2、CuO及Nb2O5为原料，采用传统固相法制备了Zn1–xCuxZrNb2O8(ZCZN，x＝0.00-0.05)微波介质陶瓷，结果表明：CuO的添加能有效降低ZnZrNb2O8陶瓷的烧结温度，提高其品质因数和介电常数。当x＝0.03时，陶瓷可在1200℃烧结并获得最佳微波介电性能：介电常数εr＝30.1，品质因数Q×f＝53037GHz，频率温度系数τf＝–57.21×10–6/℃，但是其品质因数仍较低，限制了其应用。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于提供一种品质因数高的纯相ZnZrNb2O8微波介质陶瓷材料及其制备方法。
本发明通过以下技术手段实现解决上述技术问题：
一种超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料，其化学通式为Zn1-xCuxZrNb2O8，其中，0.06≤x≤0.1，且其晶相为单一纯相ZnZrNb2O8。
有益效果：具体掺杂了0.06≤x≤0.1特定含量的Cu2+对ZnZrNb2O8晶体结构进行微调，Cu2+进入ZnZrNb2O8晶格并没有形成第二相，并没有改变ZnZrNb2O8陶瓷的晶相结构，提高了晶格能及有序度，同时降低了烧结温度，提高了陶瓷的致密度，导致了晶粒形态演变，提高了陶瓷材料的品质因数。
优选地，x≥0.06时，晶粒形态为多面体中出现棒状结构，x≥0.08时，晶粒形态从多面体全部转换为棒状结构。
优选地，x＝0.06；x＝0.06时得到的微波介质陶瓷材料综合性能最优。
优选地，所述微波介质陶瓷材料的介电性能如下：相对介电常数εr为27-29，品质因数Q×f为70,000-100,000GHz，谐振频率温度系数τf为-41～-35ppm/℃。
优选地，所述微波介质陶瓷材料主要由ZnO、CuO、ZrO2、Nb2O5为原料制备而成。
本发明还提出的一种所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料的制备方法，包括以下步骤：以ZnO、CuO、ZrO2和Nb2O5为原料，按照化学通式Zn1-xCuxZrNb2O8的化学计量比进行配料，其中0.06≤x≤0.1；将配好的原料进行第一次球磨后过筛，在1000-1100℃的温度下预烧1-6小时，然后再进行第二次球磨混合，造粒、成型，在1150-1200℃的温度下烧结1-6小时得到所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料。
优选地，所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料的制备方法，包括如下步骤：
S1：配料；将原料ZnO、CuO、ZrO2、Nb2O5按照化学通式Zn1-xCuxZrNb2O8的化学计量比进行配料；其中0.06≤x≤0.1；
S2：混料；将S1中配好的原料与溶剂和球磨介质置于球磨机中进行第一次湿法球磨，得到第一浆料；
S3：烘干浆料；将S2中得到的第一浆料烘干，得到干燥的混合料，然后将所述干燥的混合料过筛得到干燥粉末；
S4：预烧；将S3中得到的干燥粉末在1000-1100℃的温度下煅烧1-6小时得到预烧粉料；
S5：球磨；将S4中得到的预烧粉料与溶剂和球磨介质置于球磨机中进行第二次湿法球磨，得到第二浆料；
S6：造粒、压制生坯；将S5中得到的第二浆料烘干、过100-120目标准筛，然后向其中加入造粒剂进行造粒，再将造粒后的粉料压制形成生坯；
S7：烧结；将S6得到的生坯在1150-1200℃的温度下烧结1-6小时得到所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料。
优选地，在第一次球磨和第二次球磨过程中，均采用去离子水作为溶剂，锆球作为球磨介质，原料、锆球、去离子水的质量比为1：3-6：2-4，转速为200-400rad/min，球磨时间为1-6小时。
优选地，在S3和S6中，所述烘干的温度为80-120℃。
优选地，在S6中，所述造粒剂为聚乙烯醇水溶液；所述聚乙烯醇水溶液中，聚乙烯醇在水中的质量浓度为10-15％。
优选地，聚乙烯醇在水中的质量浓度为12％。
优选地，在S7中，升温至1150-1200℃进行烧结；具体的升温操作包括：从常温以2-6℃/min的升温速率升温至400-600℃，并在此温度下保持1-6小时，再以1-4℃/min的升温速率升温至烧结温度。
优选地，所述ZnO、CuO、ZrO2和Nb2O5的纯度均大于99％。
本发明的优点在于：
本发明采用特定含量的Cu2+离子对ZnZrNb2O8陶瓷取代，Cu2+能够进入晶格促进烧结，并对晶体结构进行微调(晶相为纯相结构)，提高了晶格能及有序度。此外，Cu2+离子取代提高了陶瓷的致密度，导致晶粒形态演变，从而提高了陶瓷材料的品质因数。根据具体实施例，样品在保持纯相结构的前提下，可在较低烧结温度下仍然具备极其优异的介电性能，具体为εr＝27～29，Q×f＝70,000～100,000GHz，τf＝-41～-35ppm/℃。
附图说明
图1为本发明实施例1-5以及对比例1-2中陶瓷材料的X射线衍射(XRD)图谱；
图2为本发明实施例1以及对比例1-2中陶瓷材料的SEM图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
下述实施例中所用的试验材料和试剂等，如无特殊说明，均可从商业途径获得。
实施例中未注明具体技术或条件者，均可以按照本领域内的文献所描述的技术或条件或者按照产品说明书进行。
实施例1
本实施例提供一种超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料，其化学式为Zn0.94Cu0.06ZrNb2O8，其晶相为纯相ZnZrNb2O8。X射线衍射(XRD)图谱如图1中的b所示，SEM图如图2中的c所示；从图2中可看出，晶粒形态从多面体向棒状结构演变，为多面体与棒状形状共存。其制备方法包括如下步骤：
步骤1：配料；将原料ZnO、CuO、ZrO2和Nb2O5分别按照化学式Zn0.94Cu0.06ZrNb2O8的化学计量比进行配料，所述原料的纯度均大于99％；
步骤2：混料；将步骤1得到的原料进行球磨，具体球磨过程中，以二氧化锆球为球磨介质，以去离子水作为溶剂，将原料、锆球、去离子水按照质量比1：6：3置于行星式球磨机中进行湿法球磨，球磨时间为6小时，转速为300rad/min，得到第一浆料；
步骤3：烘干浆料；将步骤2得到的第一浆料倒出，在90℃烘箱中烘干，得到干燥的混合料，然后将所述干燥的混合料过120目标准筛得到干燥粉末；
步骤4：预烧；将步骤3得到的干燥粉末置于氧化铝坩埚中，在1100℃温度下预烧6小时，使得混合均匀的粉末进行预反应，得到预烧粉料；
步骤5：球磨；将步骤4得到的预烧粉料进行球磨，具体球磨过程中，以二氧化锆球为球磨介质，以去离子水作为溶剂，将原料、锆球、去离子水按照质量比1：6：3置于行星式球磨机中进行湿法球磨，球磨时间为5小时，转速为300rad/min，得到第二浆料；
步骤6：造粒、压制生坯；将步骤5得到的第二浆料倒出，在100℃烘箱中烘干，过120目标准筛后向其中加入质量浓度为15％的聚乙烯醇(PVA)水溶液，造粒后过80目筛，然后在8MPa下压制形成直径12mm、厚度为6mm的圆柱体生坯；
步骤7：烧结；将步骤6得到的生坯首先以2℃/min的升温速率升温到500℃，在此温度下维持2小时，其目的在于排除多余的PVA，然后再继续以1℃/min的升温速率升温至1200℃烧结6小时得到所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料。
实施例2
本实施例提供一种超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料，其化学式为Zn0.92Cu0.08ZrNb2O8，其晶相为纯相ZnZrNb2O8，X射线衍射(XRD)图谱如图1中的c所示，其制备方法，包括如下步骤：
步骤1：配料；将原料ZnO、CuO、ZrO2和Nb2O5分别按照化学式Zn0.92Cu0.08ZrNb2O8的化学计量比进行配料，所述原料的纯度均大于99％；
步骤2：混料；将步骤1得到的原料进行球磨，具体球磨过程中，以二氧化锆球为球磨介质，以去离子水作为溶剂，将原料、锆球、去离子水按照质量比为1：4：3置于行星式球磨机中进行湿法球磨，球磨时间为5小时，转速为220rad/min，得到第一浆料；
步骤3：烘干浆料；将步骤2得到的第一浆料倒出，在110℃烘箱中烘干，得到干燥的混合料，然后将所述干燥的混合料过120目标准筛得到干燥粉末；
步骤4：预烧；将步骤3得到的干燥粉末置于氧化铝坩埚中，在1000℃温度下预烧4小时，使得混合均匀的粉末进行预反应，得到预烧粉料；
步骤5：球磨；将步骤4得到的预烧粉料进行球磨，具体球磨过程中，以二氧化锆球为球磨介质，以去离子水作为溶剂，将原料、锆球、去离子水按照质量比1：4：3置于行星式球磨机中进行湿法球磨，球磨时间为5小时，转速为220rad/min，得到第二浆料；
步骤6：造粒、压制生坯；将步骤5得到的第二浆料倒出，在100℃烘箱中烘干，过120目标准筛后向其中加入质量浓度为15％的聚乙烯醇(PVA)水溶液，造粒后过120目筛，然后在10MPa下压制形成直径12mm、厚度为6mm的圆柱体生坯；
步骤7：烧结；将步骤6得到的生坯升温至1175℃烧结4小时，具体升温操作如下：首先以5℃/min的升温速率升温到600℃，在此温度下维持2小时，其目的在于排除多余的PVA，然后再继续以3℃/min的升温速率升温至烧结温度，从而得到所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料。
实施例3
本实施例提供一种超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料，其化学式为Zn0.9Cu0.1ZrNb2O8，其晶相为纯相ZnZrNb2O8，X射线衍射(XRD)图谱如图1中的d所示，其制备方法，包括如下步骤：
步骤1：配料；将原料ZnO、CuO、ZrO2和Nb2O5分别按照化学式Zn0.9Cu0.1ZrNb2O8的化学计量比进行配料，所述原料的纯度均大于99％；
步骤2：混料；将步骤1得到的原料进行球磨，具体球磨过程中，以二氧化锆球为球磨介质，以去离子水作为溶剂，将原料、锆球、去离子水按照质量比1：4：3置于行星式球磨机中进行湿法球磨，球磨时间为6小时，转速为220rad/min，得到第一浆料；
步骤3：烘干浆料；将步骤2得到的第一浆料倒出，在110℃烘箱中烘干，得到干燥的混合料，然后将所述干燥的混合料过120目标准筛得到干燥粉末；
步骤4：预烧；将步骤3得到的干燥粉末置于氧化铝坩埚中，在1000℃温度下预烧5小时，使得混合均匀的粉末进行预反应，得到预烧粉料；
步骤5：球磨；将步骤4得到的预烧粉料进行球磨，具体球磨过程中，以二氧化锆球为球磨介质，以去离子水作为溶剂，将原料、锆球、去离子水按照质量比1：4：3置于行星式球磨机中进行湿法球磨，球磨时间为5小时，转速为220rad/min，得到第二浆料；
步骤6：造粒、压制生坯；将步骤5得到的第二浆料倒出，在100℃烘箱中烘干，过120目标准筛后向其中加入质量浓度为12％的聚乙烯醇(PVA)水溶液，造粒后过100目筛，然后在9MPa下压制形成直径12mm、厚度为6mm的圆柱体生坯；
步骤7：烧结；将步骤6得到的生坯升温至1150℃烧结4小时，具体升温操作如下：首先以5℃/min的升温速率先升温到600℃，在此温度下维持2小时，其目的在于排除多余的PVA，然后再继续以3℃/min的升温速率升温至烧结温度，从而得到所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料。
实施例4
本实施例提供一种超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料，其化学式为Zn0.93Cu0.07ZrNb2O8，其晶相为纯相ZnZrNb2O8。其制备方法，包括如下步骤：
步骤1：配料；将原料ZnO、CuO、ZrO2和Nb2O5分别按照化学式Zn0.93Cu0.07ZrNb2O8的化学计量比进行配料，所述原料的纯度均大于99％；
步骤2：混料；将步骤1得到的原料进行球磨，具体球磨过程中，以二氧化锆球为球磨介质，以去离子水作为溶剂，将原料、锆球、去离子水按照质量比1：6：2置于行星式球磨机中进行湿法球磨，球磨时间为1小时，转速为400rad/min，得到第一浆料；
步骤3：烘干浆料；将步骤2得到的第一浆料倒出，在120℃烘箱中烘干，得到干燥的混合料，然后将所述干燥的混合料过120目标准筛得到干燥粉末；
步骤4：预烧；将步骤3得到的干燥粉末置于氧化铝坩埚中，在1050℃温度下预烧1小时，使得混合均匀的粉末进行预反应，得到预烧粉料；
步骤5：球磨；将步骤4得到的预烧粉料进行球磨，具体球磨过程中，以二氧化锆球为球磨介质，以去离子水作为溶剂，将原料、锆球、去离子水按照质量比1：6：2置于行星式球磨机中进行湿法球磨，球磨时间为1小时，转速为400rad/min，得到第二浆料；
步骤6：造粒、压制生坯；将步骤5得到的第二浆料倒出，在100℃烘箱中烘干，过100目标准筛后向其中加入质量浓度为15％的聚乙烯醇(PVA)水溶液，造粒后过100目筛，然后在9MPa下压制形成直径12mm、厚度为6mm的圆柱体生坯；
步骤7：烧结；将步骤6得到的生坯升温至1200℃烧结6小时，具体升温操作如下：首先以6℃/min的升温速率先升温到600℃，在此温度下维持1小时，其目的在于排除多余的PVA，然后再继续以2℃/min的升温速率升温至烧结温度，从而得到所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料。
实施例5
本实施例提供一种超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料，其化学式为Zn0.91Cu0.09ZrNb2O8，其晶相为纯相ZnZrNb2O8。其制备方法，包括如下步骤：
步骤1：配料；将原料ZnO、CuO、ZrO2和Nb2O5分别按照化学式Zn0.91Cu0.09ZrNb2O8的化学计量比进行配料，所述原料的纯度均大于99％；
步骤2：混料；将步骤1得到的原料进行球磨，具体球磨过程中，以二氧化锆球为球磨介质，以去离子水作为溶剂，将原料、锆球、去离子水按照质量比1：3：4置于行星式球磨机中进行湿法球磨，球磨时间为6小时，转速为200rad/min，得到第一浆料；
步骤3：烘干浆料；将步骤2得到的第一浆料倒出，在80℃烘箱中烘干，得到干燥的混合料，然后将所述干燥的混合料过120目标准筛得到干燥粉末；
步骤4：预烧；将步骤3得到的干燥粉末置于氧化铝坩埚中，在1075℃温度下预烧6小时，使得混合均匀的粉末进行预反应，得到预烧粉料；
步骤5：球磨；将步骤4得到的预烧粉料进行球磨，具体球磨过程中，以二氧化锆球为球磨介质，以去离子水作为溶剂，将原料、锆球、去离子水按照质量比1：3：4置于行星式球磨机中进行湿法球磨，球磨时间为6小时，转速为200rad/min，得到第二浆料；
步骤6：造粒、压制生坯；将步骤5得到的第二浆料倒出，在100℃烘箱中烘干，过120目标准筛后向其中加入质量浓度为10％的聚乙烯醇(PVA)水溶液，造粒后过100目筛，然后在9MPa下压制形成直径12mm、厚度为6mm的圆柱体生坯；
步骤7：烧结；将步骤6得到的生坯升温至1150℃烧结1小时，具体升温操作如下：首先以2℃/min的升温速率先升温到400℃，在此温度下维持6小时，其目的在于排除多余的PVA，然后再继续以4℃/min的升温速率升温至烧结温度，从而得到所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料。
对比例1
本对比例提供一种微波介质陶瓷材料，所述微波介质陶瓷材料的化学通式为ZnZrNb2O8，X射线衍射(XRD)图谱如图1中ZnZrNb2O8所示，SEM图如图2中的a所示；从图2中可看出，晶粒形态是多面体。
其制备方法，包括如下步骤：
步骤1：配料；将原料ZnO、ZrO2和Nb2O5分别按照化学通式ZnZrNb2O8的化学计量比进行配料，所述原料的纯度均大于99％；
步骤2：混料；将步骤1得到的原料进行球磨，具体球磨过程中，以二氧化锆球为球磨介质，以去离子水作为溶剂，将原料、锆球、去离子水按照质量比1：4：2.5置于行星式球磨机中进行湿法球磨，球磨时间为5小时，转速为270rad/min，得到第一浆料；
步骤3：烘干浆料；将步骤2得到的第一浆料倒出，在100℃烘箱中烘干，得到干燥的混合料，然后将所述干燥的混合料过120目标准筛得到干燥粉末；
步骤4：预烧；将步骤3得到的干燥粉末置于氧化铝坩埚中，在1100℃温度下预烧5小时，使得混合均匀的粉末进行预反应，得到预烧粉料；
步骤5：球磨；将步骤4得到的预烧粉料进行球磨，具体球磨过程中，以二氧化锆球为球磨介质，以去离子水作为溶剂，将原料、锆球、去离子水按照质量比1：4：2.5置于行星式球磨机中进行湿法球磨，球磨时间为5小时，转速为270rad/min，得到第二浆料；
步骤6：造粒、压制生坯；将步骤5得到的第二浆料倒出，在100℃烘箱中烘干，过100目标准筛后向其中加入质量浓度为14％的聚乙烯醇(PVA)水溶液，造粒后过80目筛，然后在8MPa下压制形成直径12mm、厚度为6mm的圆柱体生坯；
步骤7：烧结；将步骤6得到的生坯升温至1300℃烧结4小时，具体升温操作如下：首先以2℃/min的升温速率先升温到500℃，在此温度下维持2小时，其目的在于排除多余的PVA，然后再继续以2℃/min的升温速率升温至烧结温度。
对比例2
本对比例提供一种微波介质陶瓷材料，化学式为Zn0.97Cu0.03ZrNb2O8，其晶相为纯相ZnZrNb2O8，X射线衍射(XRD)图谱如图1中a所示，其制备方法包括如下步骤：
步骤1：配料；将原料ZnO、CuO、ZrO2和Nb2O5分别按照化学式Zn0.97Cu0.03ZrNb2O8的化学计量比进行配料，所述原料的纯度均大于99％；
步骤2：混料；将步骤1得到的原料进行球磨，具体球磨过程中，以二氧化锆球为球磨介质，以去离子水作为溶剂，将原料、锆球、去离子水按照质量比1：4：2置于行星式球磨机中进行湿法球磨，球磨时间为4小时，转速为250rad/min，得到第一浆料；
步骤3：烘干浆料；将步骤2得到的第一浆料倒出，在80℃烘箱中烘干，得到干燥的混合料，然后将所述干燥的混合料过100目标准筛得到干燥粉末；
步骤4：预烧；将步骤3得到的干燥粉末置于高纯氧化铝坩埚中，在1000℃温度下预烧2小时，使得混合均匀的粉末进行预反应，得到预烧粉料；
步骤5：球磨；将步骤4得到的预烧粉料进行球磨，具体球磨过程中，以二氧化锆球为球磨介质，以去离子水作为溶剂，将原料、锆球、去离子水按照质量比1：4：2置于行星式球磨机中进行湿法球磨，球磨时间为4小时，转速为250rad/min，得到第二浆料；
步骤6：造粒、压制生坯；将步骤5得到的第二浆料倒出，在80℃烘箱中烘干，过100目标准筛后向其中加入质量浓度为12％的聚乙烯醇(PVA)水溶液，造粒后过80目筛，然后在8MPa下压制形成直径12mm、厚度为6mm的圆柱体生坯；
步骤7：烧结；将步骤6得到的生坯升温至1250℃烧结2小时，具体升温操作如下：首先以1℃/min的升温速率先升温到400℃，在此温度下维持2小时，其目的在于排除多余的PVA，然后再继续以1℃/min的升温速率升温至烧结温度。
图1为本发明实施例1-5以及对比例1-2中陶瓷材料的X射线衍射(XRD)图谱；其中，ZnZrNb2O8为对比例1，a为对比例2，b为实施例1，c为实施例2，d为实施例3，e为实施例4，f为实施例5；从图1中可看出，不同Cu取代量得到的陶瓷材料均为纯相ZnZrNb2O8，这说明Cu离子进入ZnZrNb2O8晶格并没有形成第二相，并没有改变ZnZrNb2O8的陶瓷的晶相结构。Cu2+离子对ZnZrNb2O8晶体结构进行微调，提高了晶格能及有序度。
图2为本发明对比例1(图2a)、对比例2(图2b)和实施例1(图2c)制备的陶瓷材料的SEM图。从中可以看出，无Cu取代的样品的晶粒未充分生长，观察到一些小晶粒及孔洞。当取代量x＝0.03时，晶粒开始长大，平均晶粒尺寸增加，这表明Cu2+离子取代促进晶粒生长。当取代量x＝0.06时，出现棒状晶粒，可能是由于晶粒长大和晶界扩散而导致的晶粒融合。因此可以得出，Cu取代能够促进晶粒生长，实现陶瓷的高度致密化。
表1
编号 化学式 烧结温度 ε<sub>r</sub> Q×f τ<sub>f</sub>
对比例1 ZnZrNb<sub>2</sub>O<sub>8</sub> 1300℃ 26.2 48,000GHz -47.5ppm/℃
对比例2 Zn<sub>0.97</sub>Cu<sub>0.03</sub>ZrNb<sub>2</sub>O<sub>8</sub> 1250℃ 27.6 67,400GHz -44.2ppm/℃
实施例1 Zn<sub>0.94</sub>Cu<sub>0.06</sub>ZrNb<sub>2</sub>O<sub>8</sub> 1200℃ 28.51 98,600GHz -40.6ppm/℃
实施例2 Zn<sub>0.92</sub>Cu<sub>0.08</sub>ZrNb<sub>2</sub>O<sub>8</sub> 1175℃ 28.41 81,300GHz -38.4ppm/℃
实施例3 Zn<sub>0.9</sub>Cu<sub>0.1</sub>ZrNb<sub>2</sub>O<sub>8</sub> 1150℃ 28.32 70,200GHz -37.2ppm/℃
实施例4 Zn<sub>0.93</sub>Cu<sub>0.07</sub>ZrNb<sub>2</sub>O<sub>8</sub> 1200℃ 28.46 88,600GHz -39.5ppm/℃
实施例5 Zn<sub>0.91</sub>Cu<sub>0.09</sub>ZrNb<sub>2</sub>O<sub>8</sub> 1150℃ 28.36 78,600GHz -37.9ppm/℃
表1为本发明实施例和对比例陶瓷材料的烧结温度及微波介电性能(谐振腔法测试)；由表1可知，随着Cu2+离子取代量的增加，样品的烧结温度逐渐降低，介电常数先增加后降低，Q×f值呈现先增加后减少趋势，τf值向正方向移动。这是由于Cu离子的极化率较Zn离子高，因而其介电常数呈现逐渐增加的趋势。同时Cu离子取代也促进晶粒生长，增大了晶粒尺寸(即减少晶界)，减小了孔洞。晶界的存在常作为二维缺陷，且会中断晶体的长程有序，导致介电损耗。晶界与晶粒尺寸密切相关，晶界总数随着平均晶粒尺寸的增加而减少。因此Cu离子取代降低了介电损耗。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料，其特征在于：其化学通式为Zn1- xCuxZrNb2O8，其中，0.06≤x≤0.1，且其晶相为单一纯相ZnZrNb2O8。
2.根据权利要求1所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料，其特征在于：x＝0.06。
3.根据权利要求1所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料，其特征在于：其介电性能如下：相对介电常数εr为27-29，品质因数Q×f为70,000-100,000GHz，谐振频率温度系数τf为-41～-35ppm/℃。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料，其特征在于：其主要由ZnO、CuO、ZrO2、Nb2O5为原料制备而成。
5.一种如权利要求1-4中任一项所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：以ZnO、CuO、ZrO2和Nb2O5为原料，按照化学通式Zn1- xCuxZrNb2O8的化学计量比进行配料，其中0.06≤x≤0.1；将配好的原料进行第一次球磨后过筛，在1000-1100℃的温度下预烧1-6小时，然后再进行第二次球磨混合，造粒、成型，在1150-1200℃的温度下烧结1-6小时得到所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料。
6.根据权利要求5所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料的制备方法，其特征在于：包括如下步骤：
S1：配料；将原料ZnO、CuO、ZrO2、Nb2O5按照化学通式Zn1-xCuxZrNb2O8的化学计量比进行配料；其中0.06≤x≤0.1；
S2：混料；将S1中配好的原料与溶剂和球磨介质置于球磨机中进行第一次湿法球磨，得到第一浆料；
S3：烘干浆料；将S2中得到的第一浆料烘干，得到干燥的混合料，然后将所述干燥的混合料过筛得到干燥粉末；
S4：预烧；将S3中得到的干燥粉末在1000-1100℃的温度下煅烧1-6小时得到预烧粉料；
S5：球磨；将S4中得到的预烧粉料与溶剂和球磨介质置于球磨机中进行第二次湿法球磨，得到第二浆料；
S6：造粒、压制生坯；将S5中得到的第二浆料烘干、过100-120目标准筛，然后向其中加入造粒剂进行造粒，再将造粒后的粉料压制形成生坯；
S7：烧结；将S6得到的生坯在1150-1200℃的温度下烧结1-6小时得到所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料。
7.根据权利要求5或6所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料的制备方法，其特征在于：在第一次球磨和第二次球磨过程中，均采用去离子水作为溶剂，锆球作为球磨介质，原料、锆球、去离子水的质量比为1：3-6：2-4，转速为200-400rad/min，球磨时间为1-6小时。
8.根据权利要求6所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料的制备方法，其特征在于：在S3和S6中，所述烘干的温度为80-120℃。
9.根据权利要求6所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料的制备方法，其特征在于：在S6中，所述造粒剂为聚乙烯醇水溶液；所述聚乙烯醇水溶液中，聚乙烯醇在水中的质量浓度为10-15％。
10.根据权利要求5-9中任一项所述的超低损耗铌锆酸锌系微波介质陶瓷材料的制备方法，其特征在于：在S7中，升温至1150-1200℃进行烧结；具体的升温操作包括：从常温以2-6℃/min的升温速率升温至400-600℃，并在此温度下保持1-6小时，再以1-4℃/min的升温速率升温至烧结温度。
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Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS508099A (zh) * 1973-05-28 1975-01-28
CN101462874A (zh) * 2008-11-28 2009-06-24 西安交通大学 一种低温烧结中介电常数微波介质陶瓷材料及其制备方法
US20090217512A1 (en) * 2008-02-29 2009-09-03 Byd Company Limited Composite compound with mixed crystalline structure
CN104844206A (zh) * 2015-04-23 2015-08-19 中国矿业大学 一种高性能微波介质陶瓷材料的制备方法
CN104987071A (zh) * 2015-07-24 2015-10-21 天津大学 一种低温烧结中介电常数微波介质陶瓷材料
CN104987070A (zh) * 2015-07-24 2015-10-21 天津大学 中介电常数温度稳定型微波介质陶瓷及其制备方法
CN105272245A (zh) * 2015-10-30 2016-01-27 天津大学 一种采用反应烧结法制备低损耗锌锆铌系微波介质陶瓷
CN105777119A (zh) * 2016-02-22 2016-07-20 济南大学 一种利用反应烧结工艺制备低损耗钨锰铁矿结构微波介质陶瓷的方法
CN106830919A (zh) * 2017-02-28 2017-06-13 天津大学 低温烧结钨锰铁矿结构微波介质陶瓷及其制备方法
CN107056295A (zh) * 2016-11-04 2017-08-18 天津大学 一种高性能锌锆铌系微波介质陶瓷
CN107162592A (zh) * 2017-04-26 2017-09-15 天津大学 一种铌酸盐微波介质陶瓷材料及其制备方法
CN112125668A (zh) * 2020-09-22 2020-12-25 研创光电科技（赣州）有限公司 一种中介低损耗ltcc微波介电陶瓷材料及其制备方法
US20210020931A1 (en) * 2019-07-18 2021-01-21 Guangxi Nowphene Energy Storage Technologies Co., Ltd Electrode active compositionwith reduced amount of cobalt
CN112851346A (zh) * 2021-02-25 2021-05-28 电子科技大学 超低损耗铌酸锆镁体系微波介质陶瓷材料及制备方法
CN114656261A (zh) * 2022-03-28 2022-06-24 电子科技大学 一种中介电常数ltcc微波介质陶瓷材料及其制备方法

Patent Citations (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS508099A (zh) * 1973-05-28 1975-01-28
US20090217512A1 (en) * 2008-02-29 2009-09-03 Byd Company Limited Composite compound with mixed crystalline structure
CN101462874A (zh) * 2008-11-28 2009-06-24 西安交通大学 一种低温烧结中介电常数微波介质陶瓷材料及其制备方法
CN104844206A (zh) * 2015-04-23 2015-08-19 中国矿业大学 一种高性能微波介质陶瓷材料的制备方法
CN104987071A (zh) * 2015-07-24 2015-10-21 天津大学 一种低温烧结中介电常数微波介质陶瓷材料
CN104987070A (zh) * 2015-07-24 2015-10-21 天津大学 中介电常数温度稳定型微波介质陶瓷及其制备方法
CN105272245A (zh) * 2015-10-30 2016-01-27 天津大学 一种采用反应烧结法制备低损耗锌锆铌系微波介质陶瓷
CN105777119A (zh) * 2016-02-22 2016-07-20 济南大学 一种利用反应烧结工艺制备低损耗钨锰铁矿结构微波介质陶瓷的方法
CN107056295A (zh) * 2016-11-04 2017-08-18 天津大学 一种高性能锌锆铌系微波介质陶瓷
CN106830919A (zh) * 2017-02-28 2017-06-13 天津大学 低温烧结钨锰铁矿结构微波介质陶瓷及其制备方法
CN107162592A (zh) * 2017-04-26 2017-09-15 天津大学 一种铌酸盐微波介质陶瓷材料及其制备方法
US20210020931A1 (en) * 2019-07-18 2021-01-21 Guangxi Nowphene Energy Storage Technologies Co., Ltd Electrode active compositionwith reduced amount of cobalt
CN112125668A (zh) * 2020-09-22 2020-12-25 研创光电科技（赣州）有限公司 一种中介低损耗ltcc微波介电陶瓷材料及其制备方法
CN112851346A (zh) * 2021-02-25 2021-05-28 电子科技大学 超低损耗铌酸锆镁体系微波介质陶瓷材料及制备方法
CN114656261A (zh) * 2022-03-28 2022-06-24 电子科技大学 一种中介电常数ltcc微波介质陶瓷材料及其制备方法

Non-Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
FAN H ET AL.: "Perovskite stabilization and electromechanical properties of polycrystalline lead zinc niobate–lead zirconate titanate", 《JOURNAL OF APPLIED PHYSICS》 *
H.T. WU ET AL.: "Correlation of crystal structure, bond energy and microwave dielectric properties of AzrNb2O8(A=zn,co,mg,mn) ceramics", 《JOURNAL OF ALLOYS AND COMPOUNDS》 *
李月明等: "(1-x)Zn0.97Cu0.03Zr(Nb0.93Ta0.07)2O8-xTiO2陶瓷微波介电性能研究", 《功能材料》 *
洪倩等: "CuO掺杂对ZnZrNb2O8微波介质陶瓷性能的影响", 《硅酸盐学报》 *

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