CN115007523B - 气化清洗液回收装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供气化清洗液回收装置，其能够抑制清洗液的蒸汽向废气回收槽外排出。气化清洗液回收装置包括：废气回收槽，其贮存有作为回收对象的清洗液能够溶解的贮存液；第1气体排出通路，其一端连接于清洗液的蒸汽的产生源，另一端在废气回收槽内的第1位置处开口；第1泵，其设于第1气体排出通路，使产生源的气体排出；第2气体排出通路，其一端在废气回收槽内的比第1位置靠上的第2位置处开口，另一端处于废气回收槽外；第2泵，其设于第2气体排出通路，使废气回收槽内的气体排出；以及开闭阀，其设于第2气体排出通路的比第2泵靠前的位置，在废气回收槽内的压力达到预定的第1值以上时打开，在该压力达到预定的第2值以下时关闭。

Description

气化清洗液回收装置

技术领域

本发明涉及一种用于回收蒸汽清洗、蒸汽清洗后的真空干燥所产生的清洗液的蒸汽(气体)、浸渍清洗所使用的清洗液蒸发而得到的气体的装置。

背景技术

以往，对工件进行将蒸汽清洗和真空干燥组合而成的处理。在蒸汽清洗中，在将工件收纳于真空容器并使真空容器内成为真空的基础之上向真空容器导入清洗液的蒸汽，从而在比蒸汽低温的工件的表面使蒸汽液化，由此清洗该表面。在蒸汽的压力下降的时刻再次向真空容器内导入蒸汽，清洗工件的表面。若重复这样的动作，则工件表面被充分地清洗，并且工件的温度上升，接近蒸汽的温度。最后，通过使真空槽内的压力急速地下降，从而使附着于工件的表面的清洗液爆沸、气化，使该表面干燥(真空干燥)。

在蒸汽清洗时，通常而言，在1次的操作中供给到真空容器内的清洗液的蒸汽不是全部在工件的表面液化，而是一部分仍以蒸汽(气体)的状态残留。由于残留的蒸汽的温度下降，因此在清洗效率这一点上优选在下一次蒸汽清洗的操作之前从真空容器排出该残留的蒸汽。此外，在真空干燥时，工件的表面的清洗液气化，由此产生的气体被从真空容器排出。由于这样产生的清洗液的气体会导致污染环境，因此需要不向环境中排出而是进行回收。

在专利文献1中记载了一种装置，其包括：第1排出管，其用于排出进行蒸汽清洗和真空干燥的真空槽内的气体；真空泵，其设于第1排出管，用于从真空槽抽吸气体；废气回收槽，其贮存有能够使清洗液溶解的液体(或者溶解有与该清洗液相同的成分的液体。以下将这些液体称为“贮存液”)，所述第1排出管的一端(与真空泵侧相反的一侧的端)插入到该贮存液内；第2排出管，其一端连接于废气回收槽，其另一端向大气开放；以及排气风扇，其设于第2排出管。在该装置，通过使利用真空泵从真空槽内抽吸来的清洗液的蒸汽溶解于废气回收槽内的贮存液来进行回收。在利用真空泵抽吸来的气体中，除了清洗液的蒸汽之外也含有残留于真空容器内的空气等。抽吸来的气体中的、不溶解于贮存液的气体利用排气风扇从第2排出管向废气回收槽外排出。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2014-109425号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在专利文献1所记载的装置中，清洗液的蒸汽仍会被向废气回收槽外排出。

至此以蒸汽清洗和真空干燥的情况为例进行了说明，但在通过浸渍于在清洗槽内贮存的清洗液来清洗工件的浸渍清洗中，在回收因清洗液蒸发而产生的气体时也会发生同样的问题。

本发明要解决的问题在于，提供一种能够抑制清洗液的蒸汽向废气回收槽外排出的气化清洗液回收装置。

用于解决问题的方案

为了解决上述问题而完成的本发明的气化清洗液回收装置的特征在于，该气化清洗液回收装置包括：

a)废气回收槽，其贮存有作为回收对象的清洗液能够溶解的贮存液；

b)第1气体排出通路，其一端连接于所述清洗液的蒸汽的产生源，其另一端在所述废气回收槽内的第1位置处开口；

c)第1泵，其设于所述第1气体排出通路中，用于使所述产生源的气体排出；

d)第2气体排出通路，其一端在所述废气回收槽内的比所述第1位置靠上的第2位置处开口，其另一端处于所述废气回收槽外；

e)第2泵，其设于所述第2气体排出通路中，用于使所述废气回收槽内的气体排出；以及

f)开闭阀，其设于所述第2气体排出通路的比所述第2泵靠前(靠近所述废气回收槽)的位置，在所述废气回收槽内的压力达到预定的第1值以上时该开闭阀打开，在该压力达到预定的第2值以下时该开闭阀关闭。

对于本发明的气化清洗液回收装置，在将贮存液贮存至废气回收槽的第1位置和第2位置之间的高度的状态下，利用第1泵将由产生源产生的蒸汽经由第1气体排出通路向贮存液导入。由此，清洗液的蒸汽溶解于贮存液。除了清洗液的蒸汽之外，空气等除该蒸汽之外的气体也能从产生源向贮存液导入。利用第2泵将除该蒸汽之外的气体中的不溶解于贮存液的气体经由第2气体排出通路向外部排出。

在废气回收槽内，利用第1泵导入含有所述蒸汽的气体为导致压力的上升的原因，而另一方面，利用第2泵将不溶解于贮存液的气体向外部排出为导致压力的下降的原因。基于这两个原因结合得到的结果，在废气回收槽内的压力下降时，贮存液内的清洗液易于气化，并且从产生源导入到贮存液的清洗液的蒸汽难以溶解于贮存液。其结果，有可能利用第2泵将清洗液的蒸汽从废气回收槽向外部排出。

于是，在第2气体排出通路的位于第2泵之前(即排气的方向上的上游侧)的部分设置开闭阀，在废气回收槽内的压力达到预定的第1值以上时该开闭阀打开，在该压力达到预定的第2值以下时该开闭阀关闭。在此，第1值和第2值均设为贮存液内的清洗液(几乎)不会气化的值。此外，第1值和第2值既可以是相同的值，也可以是互不相同的值。

本发明的气化清洗液回收装置通过具备这样的开闭阀，在废气回收槽内的压力达到清洗液(几乎)不会气化的第1值以上时开闭阀打开，从而使不溶解于贮存液的气体从废气回收槽向外部排出。另一方面，在废气回收槽内的压力达到第2值以下时开闭阀关闭，从而使废气回收槽内的压力不会下降至清洗液会发生气化的压力，防止清洗液的蒸汽从废气回收槽向外部排出。

所述开闭阀例如能够使用将如下构件组合而成的装置：设于第2气体排出通路的阀主体、用于使所述阀主体开闭的驱动源、用于测量废气回收槽内的压力的压力计、以及基于所述压力计的测量值来控制所述驱动源的控制部。

此外，能够使用止回阀作为所述开闭阀。止回阀是如下这样的阀：在该止回阀的上游侧的压力达到第1值以上时该止回阀在该压力的作用下开放，之后在上游侧的压力达到第2值以下时该止回阀在下游侧的压力、阀芯的自重等的作用下关闭。由于止回阀不使用驱动源、压力计及控制装置就能够工作，因此能够使装置简化、低成本化。

对于本发明的气化清洗液回收装置，优选的是，在所述废气回收槽内的压力达到所述第1值以上时，该压力越大，所述开闭阀的开度越大。由此，能够防止在废气回收槽内的压力比较低时因开闭阀的开度过大而使废气回收槽内的清洗液易于气化，并且能够防止在废气回收槽内的压力上升时开闭阀的开度不足而使废气回收槽内成为加压状态。就这样的开闭阀的开度的调整而言，在具备包括前述的阀主体、驱动源、压力计及控制部的开闭阀的结构中，控制部进行控制从而基于压力计的测量值来调整阀主体的开度即可。此外，对于使用在盖体的自重的作用下开闭的开闭阀的情况，废气回收槽内的压力越大，推起盖体的力越大，由此开度也变得越大，因此能够自然地进行开度的调整。

对于本发明的气化清洗液回收装置，优选的是，在所述第1气体排出通路的开口处具备设有多个孔的喷嘴。孔例如既可以通过将板材穿孔来设置，也可以是网眼状的构件的网眼。

通过使用这样的喷嘴，与没有该喷嘴的情况相比，从第1气体排出通路供给的气体成为许多气泡而向贮存液内扩散。与没有喷嘴的情况相比，每1个气泡的体积变小，由此气泡的表面积的总和变大。因此，从第1气体排出通路供给的气体变得易于溶解于贮存液，抑制了该气体所含有的清洗液的蒸汽不溶解于贮存液而是向废气回收槽外排出的情况。

若气泡在贮存液的液面破裂，则一部分清洗液会以雾状向比液面靠上侧的空间排出而与气体一同向废气回收槽外排出。与此相对，通过如上所述使用设有多个孔的喷嘴来减小每1个气泡的体积，从而能够减少排出的雾状的清洗液的量，因此能够进一步抑制清洗液的減少。

此外，在所述喷嘴，也可以将多个设有孔的构件(穿孔的板材、网眼状构件)重叠地设置。由此，能够较细且均匀地生成气泡。

发明的效果

采用本发明的气化清洗液回收装置，能够抑制清洗液的蒸汽向废气回收槽外排出。

附图说明

图1是包含本发明的一实施方式的气化清洗液回收装置的清洗装置的概略结构图。

图2是表示本实施方式的气化清洗液回收装置的主要部分的详细的图。

图3是本实施方式的气化清洗液回收装置所使用的喷嘴的纵剖视图。

图4是表示气化清洗液回收装置的一变形例的概略结构图。

附图标记说明

1、清洗装置；10、气化清洗液回收装置；11、废气回收槽；12、第1气体排出通路；122、第1气体排出通路的另一端；13、第1泵；14、第2气体排出通路；141、第2气体排出通路的一端；15、第2泵；16、止回阀(开闭阀)；1601、盖体；1602、铰链；161、开闭阀；162、驱动源；163、压力计；164、控制部；17、喷嘴；1711、第1管；1712、第2管；1713、第3管；1714、筛网；172、孔；181、冷却线圈；182、网眼状构件；19、补液口；21、浸渍清洗槽；211、超声波振子；22、蒸汽清洗、真空干燥槽；23、蒸馏槽；231、过滤器；232、三通阀；24、冷凝槽；25、储备槽；251、喷射器；L、贮存液；W、工件。

具体实施方式

使用图1～图4说明本发明的气化清洗液回收装置的实施方式。

(1)本实施方式的气化清洗液回收装置及具有该气化清洗液回收装置的清洗装置的结构

图1概略地示出具有本实施方式的气化清洗液回收装置10的清洗装置1的结构。在图1中，较粗的单点划线表示液体(主要是清洗液)的流路，较粗的实线表示气体(主要是清洗液的蒸汽)的流路。

清洗装置1除了气化清洗液回收装置10之外还具有浸渍清洗槽21、蒸汽清洗、真空干燥槽22、蒸馏槽23、冷凝槽24以及储备槽25。在说明气化清洗液回收装置10之前说明上述各槽。

浸渍清洗槽21贮存清洗液，通过将工件W浸渍于该清洗液来清洗工件W。超声波振子211与浸渍清洗槽21的底面接触，以提高浸渍清洗的效率。蒸汽清洗、真空干燥槽22用于对由浸渍清洗槽21进行了清洗的工件W进行蒸汽清洗来作为最终的清洗，进而进行真空干燥。浸渍清洗槽21和蒸汽清洗、真空干燥槽22连接于后述的第1气体排出通路12。

从后述的废气回收槽11向蒸馏槽23供给在浸渍清洗槽21和蒸汽清洗、真空干燥槽22中使用的使用完毕的清洗液。在废气回收槽11和蒸馏槽23之间的流路设有用于除去使用完毕的清洗液中的固体物的过滤器231。

蒸馏槽23通过将使用完毕的清洗液加热而使其蒸发，从而产生被除去了杂质的清洗液的蒸汽。产生的蒸汽根据三通阀232所开放的方向而向蒸汽清洗、真空干燥槽22和冷凝槽24中的任一者流入。三通阀232在利用蒸汽清洗、真空干燥槽22进行蒸汽清洗时向蒸汽清洗、真空干燥槽22侧开放，在除此之外的时刻向冷凝槽24侧开放。流入到蒸汽清洗、真空干燥槽22的蒸汽被用于蒸汽清洗。另一方面，流入到冷凝槽24的清洗液的蒸汽被冷却而液化。因而，利用这些蒸馏槽23和冷凝槽24将使用完毕的清洗液蒸馏，得到除去了杂质的再生清洗液。得到的再生清洗液在喷射器251的作用下被吸收到储备槽25之后向浸渍清洗槽21供给。

气化清洗液回收装置10具有：废气回收槽11、第1气体排出通路12、第1泵13、第2气体排出通路14、第2泵15、以及止回阀(相当于所述开闭阀)16。图2放大地表示气化清洗液回收装置10中的废气回收槽11和止回阀16、以及第1气体排出通路12和第2气体排出通路14的处于废气回收槽11附近的部分(第1气体排出通路12和第2气体排出通路14的整体结构以及第1泵13和第2泵15参照图1)。

在废气回收槽11分别连接有第1气体排出通路12和第2气体排出通路14。

第1气体排出通路12的一端连接于蒸汽清洗、真空干燥槽22，另一端122在废气回收槽11内开口。在该开口连接有后述的喷嘴17。

第2气体排出通路14的一端141连接于废气回收槽11，该一端141的位置(第2位置)处于比第1气体排出通路12的另一端122的位置(第1位置)靠上的位置。

贮存液L在废气回收槽11内贮存至第1位置和第2位置之间的位置。因而，相对于第1气体排出通路12的开口和喷嘴17配置于贮存液L内，第2气体排出通路14的开口处于比贮存液L靠上的位置。在本实施方式中，贮存液L是与在浸渍清洗槽21和蒸汽清洗、真空干燥槽22中使用的液体相同的清洗液。也可以替代清洗液其自身而使用清洗液能够溶解的其他的液体作为贮存液L。

第1泵13设于第1气体排出通路12中。在本实施方式中，第1气体排出通路12在比第1泵13靠蒸汽清洗、真空干燥槽22侧(上游侧)的位置分支，第1气体排出通路12的分支出的上游侧的部分连接于浸渍清洗槽21。该分支是为了通过使浸渍清洗槽21内的清洗液脱气来提高浸渍清洗的效果而设置的。由于在浸渍清洗槽21自然地蒸发的蒸汽的量与从蒸汽清洗、真空干燥槽22回收的蒸汽的量相比十分少，因此在对环境产生的影响小到能够忽略的情况下也可以省略该分支。在本实施方式中，第1泵13使用真空泵。

第2泵15设于第2气体排出通路14中。在本实施方式中，第2泵15使用排气风扇，但也可以使用真空泵。

止回阀16设于第2气体排出通路14中的靠所述一端141且是该第2气体排出通路14沿大致铅垂方向延伸的位置。止回阀16具备板状的盖体1601，该盖体的一端利用铰链1602安装于第2气体排出通路14的内壁面。盖体1601能够以铰链1602为支点地沿上下方向回旋，其形状形成为在向下方向回旋而变为大致水平时封闭第2气体排出通路14。在废气回收槽11内的压力与大气压的差达到0.4kPa以上、即废气回收槽11内的压力达到比大气压高出0.4kPa这样的第1值以上时，盖体1601被该压力推起而向上方回旋从而使止回阀16开放，在废气回收槽11内的压力达到作为与所述第1值相同的值的第2值以下时，盖体1601在自重的作用下向下方回旋而降下从而使止回阀16关闭。这样，设定盖体1601的重量和第2气体排出通路14的压力(第2泵15的输出)，使得盖体1601在压力和自重的作用下进行动作。在废气回收槽11内是大气压时止回阀16关闭，在该废气回收槽11内的压力达到第1值以上时将止回阀16开放，从而防止废气回收槽11内的压力过度上升而使清洗液的蒸汽向废气回收槽11外泄漏。在本实施方式中，盖体1601的重量设为0.173kgW，盖体1601的位置处的第2气体排出通路14的截面积设为19.6cm²(内径50mm)，第2气体排出通路14内的压力设为-0.65kPa(与大气压的差)。

如图3所示，喷嘴17是如下述这样而成的构件：第1管1711、第2管1712及第3管1713这3个管按照直径较小的顺序起(换言之是从内侧依次)以同轴状配置，并在第3管1713的表面卷绕有筛网1714。第1管1711的一端开放，连接于第1气体排出通路12的另一端122。第1管1711的另一端及第2管1712和第3管1713的两端被板材封闭。在第1管1711、第2管1712及第3管1713的侧壁设有许多个供气体穿过的孔172。在本实施方式中，孔172的直径均设为1.0mm。筛网1714具有0.14mm的网眼。

另外，构成喷嘴17的多重管(在本实施方式中是三层管)所具有的管的数量并不限定于本实施方式的3个，也可以是两个，也可以是4个以上。此外，筛网1714也可以省略。或者，替代多层管，也可以设置一层或多层的筛网，还可以使用设有许多个孔的喷头状的喷嘴。并且，在本发明中并不是必须使用这样的设有许多个孔的喷嘴，也可以将第1气体排出通路12的另一端122直接配置于废气回收槽11内。

在废气回收槽11内的、浸渍于比第2气体排出通路14的一端141靠下侧的贮存液L中的位置(高度)设有冷却线圈181，用于冷却贮存液L的制冷剂在该冷却线圈181的内部流动。在本实施方式中，设置冷却线圈181的位置设在喷嘴17的周围，但并不限定于该位置。另外，也可以使用除冷却线圈181之外的、用于冷却废气回收槽11内的贮存液L的冷却装置，还可以省略冷却线圈181。

在废气回收槽11内的第1气体排出通路12的另一端122和第2气体排出通路14的一端141之间的位置配置有将金属制的线材编成网眼状而成的网眼状构件182，从而将废气回收槽11内上下分隔。网眼状构件182是为了将从所述第1位置侧向所述第2位置侧移动的气体整流并且对气体从第1位置侧向第2位置侧移动赋予阻力而设置的。另外，也可以替代网眼状构件182而配置在板状构件设有许多个孔而成的构件等。此外，也可以省略包含网眼状构件182在内的上述各种构件等。

在废气回收槽11的侧壁设有用于向废气回收槽11内补充贮存液L的补液口19。

(2)本实施方式的气化清洗液回收装置的动作

接着，说明本实施方式的气化清洗液回收装置10的动作。

预先从补液口19供给与在浸渍清洗槽21和蒸汽清洗、真空干燥槽22中使用的液体相同的清洗液，从而将贮存液L贮存至废气回收槽11内的第1位置和第2位置之间(第1气体排出通路12的另一端122和第2气体排出通路14的一端141之间)的位置。当在气化清洗液回收装置10设有网眼状构件182的情况下，贮存液L的液面比网眼状构件182靠下侧。此外，当在气化清洗液回收装置10设有冷却线圈181的情况下，通过向冷却线圈181内通入制冷剂来持续进行冷却贮存液L的动作。

在清洗装置1的使用过程中使第1泵13和第2泵15运行。通过使第1泵13运行，从而使在浸渍清洗槽21内蒸发的、在蒸汽清洗、真空干燥槽22内进行蒸汽清洗所使用的、以及在蒸汽清洗、真空干燥槽22内由于真空干燥而蒸发的、含有清洗液的蒸汽的气体经过第1气体排出通路12从喷嘴17向废气回收槽11内的贮存液L中排出。在此，通过使含有清洗液的蒸汽的气体经过设于喷嘴17的许多个孔172而向贮存液L中排出，从而使该气体成为较细的气泡而向贮存液L中扩散。由此，与没有喷嘴17的情况相比每1个气泡的体积变小，由此气泡的表面积的总和变大，因此该气体变得易于溶解于贮存液L。因此，抑制了该气体所含有的清洗液的蒸汽不溶解于贮存液L而是向废气回收槽11外排出的情况。

从第1气体排出通路12向废气回收槽11内供给的气体中的、存在于浸渍清洗槽21、蒸汽清洗、真空干燥槽22内的空气等除清洗液的蒸汽之外的成分且是未溶解于贮存液L的气体被向废气回收槽11内的比贮存液L靠上侧的空间排出。在废气回收槽11内的压力小于大气压+0.4kPa(所述第1值)时，止回阀16关闭，因此通过向所述空间排出气体而使废气回收槽11内的压力上升。

而且，在废气回收槽11内的压力达到大气压+0.4kPa(所述第1值)以上时，在该压力的作用下止回阀16自然地开放。由此，废气回收槽11内的气体向第2气体排出通路14内流入，并利用第2泵15的工作向外部排出。在通过这样排出气体而使废气回收槽11内的压力达到大气压+0.4kPa(所述第2值)以下时，止回阀16在阀芯1601的自重的作用下自然地关闭。这样，采用本实施方式的气化清洗液回收装置10，通过止回阀16的动作将废气回收槽11内的压力维持在大气压+0.4kPa以上。

倘若没有止回阀16，则在第2泵15的作用下废气回收槽11内的压力下降到小于大气压+0.4kPa，有可能因此导致清洗液自贮存液L蒸发而其蒸汽经由第2气体排出通路14向外部排出。与此相对，在本实施方式中，由于在止回阀16的作用下废气回收槽11内的压力维持在大气压+0.4kPa以上，因此能够抑制清洗液蒸发而其蒸汽从贮存液L向外部排出的情况。

此外，在蒸汽清洗、真空干燥槽22中，相对于在蒸汽清洗前成为大致大气压的情况而言，在蒸汽清洗、真空干燥过程中与蒸汽清洗前相比压力降低几位数。随之，废气回收槽11内的压力也能较大程度地变动。特别是，在蒸汽清洗、真空干燥过程中，若比从废气回收槽11排出的量更多的蒸汽向废气回收槽11内流入，则废气回收槽11内成为加压状态，气体有可能从废气回收槽11泄漏。因此，第2泵15需要设定排气量，使得在蒸汽清洗、真空干燥的整个过程中废气回收槽11内的压力成为不会发生气体的泄漏的程度。但是，若这样设定排气量，则有可能因在蒸汽清洗、真空干燥过程中废气回收槽11内的压力过度降低而加速清洗液自贮存液L的蒸发。与此相对，对于本实施方式的气化清洗液回收装置，通过设置止回阀16，能够防止废气回收槽11内的压力过度降低，由此抑制清洗液蒸发而其蒸汽从贮存液L向外部排出的情况。

并且，在本实施方式中，通过除了止回阀16之外还设置喷嘴17，贮存液L内的每1个气泡的体积变小，从第1气体排出通路12供给的气体中的清洗液的蒸汽变得易于溶解于贮存液L，因此能够抑制该蒸汽从废气回收槽11向外部排出的情况。

此外，在本实施方式中，通过使用冷却线圈181冷却贮存液L，也能抑制清洗液自贮存液L蒸发。

并且，由于网眼状构件182成为气体从比该网眼状构件182靠下侧的位置向上侧移动时的阻力，因此具有提高其下侧(贮存液L侧)的压力而抑制贮存液L的蒸发的作用。并且，网眼状构件182也具有使贮存液L的蒸汽的流速下降而由此使一部分蒸汽在该网眼状构件182处液化而留在废气回收槽11内的作用。

(3)使用本实施方式的气化清洗液回收装置进行的实验

接着，针对本实施方式的气化清洗液回收装置10说明进行实验得到的结果，该实验是测量源自从第2气体排出通路14排出的气体所含有的清洗液的VOC(挥发性有机化合物)的量。在此，针对省略了气化清洗液回收装置10的一部分的实施例1和具有气化清洗液回收装置10的全部结构的实施例2～4分别进行实验。

在实施例1中，自气化清洗液回收装置10省略了喷嘴17(将第1气体排出通路12的另一端122的开口直接浸渍于贮存液L)，利用冷却线圈181将贮存液L的温度控制为30℃。在实施例2～4中，设置有喷嘴17，利用冷却线圈181的工作将贮存液的温度设为30℃(实施例2(与实施例1相同))、20℃(实施例3)及10℃(实施例4)这样的不同的值。

并且，作为比较例，在实施例1的结构中，针对替代止回阀16而设有将第2气体排出通路14的开口1411始终开放1/4的盖的(贮存液L的温度与实施例1同样设为30℃的)气化清洗液回收装置也进行实验。

针对这些实施例1～4及比较例，在蒸汽清洗、真空干燥槽22中将蒸汽清洗进行了160秒钟之后，将真空干燥进行140秒钟，在这些蒸汽清洗和真空干燥之间测量从第2气体排出通路14排出的气体所含有的VOC的浓度。在此测量的VOC的浓度设为测量期间中(300秒钟)的平均值。另外，相对于在实施例1及比较例中在蒸汽清洗结束后暂且打破了蒸汽清洗、真空干燥槽22内的真空并在此基础之上进行真空干燥而言，在实施例2～4中是在蒸汽清洗结束后直接进行真空干燥。

将测量结果在表1中示出。

【表1】

根据该测量结果可知，在省略了喷嘴17和网眼状构件182的实施例1中，与比较例相比废气中的VOC的浓度(量)也有所减少。因而，根据实施例1和比较例的实验可确认的是，在止回阀16的作用下能够抑制清洗液的蒸汽被排出。

此外，根据该测量结果也可知，在使用了喷嘴17和网眼状构件182的实施例2～4中，能够进一步抑制废气中的VOC的浓度。并且，在实施例2～4之间进行比较，越利用冷却线圈181降低贮存液L的温度，越能够抑制废气中的VOC的浓度。

(4)变形例

在上述实施方式中，作为开闭阀，使用了利用废气回收槽11内的压力抬起而开放并在自重的作用下下降而关闭的止回阀16，但在本发明中，开闭阀的结构并不限定于此。例如作为开闭阀，也可以使用具有与止回阀16的结构不同的结构的止回阀。此外，开闭阀能够使用图4所示的结构。在图4所示的结构中，设有开闭阀161、用于使该开闭阀161开闭的驱动源162、用于测量废气回收槽11内的压力的压力计163、基于压力计163的测量值来控制驱动源162的控制部164。在压力计163检测到废气回收槽11内的压力达到第1值以上时，控制部164控制驱动源162使得开闭阀161开放。另一方面，在压力计163检测到废气回收槽11内的压力达到第2值以下时，控制部164控制驱动源162使得开闭阀161关闭。

对于除了开闭阀的结构之外的结构也是，本发明并不限定于上述实施方式，能够在本发明的主旨的范围内进行各种变形。

Claims (6)

1.一种气化清洗液回收装置，其特征在于，

该气化清洗液回收装置包括：

a)废气回收槽，其贮存有作为回收对象的清洗液能够溶解的贮存液；

b)第1气体排出通路，其一端连接于所述清洗液的蒸汽的产生源，其另一端在所述废气回收槽内的第1位置处开口；

c)第1泵，其设于所述第1气体排出通路中，用于使所述产生源的气体排出；

d)第2气体排出通路，其一端在所述废气回收槽内的比所述第1位置靠上的第2位置处开口，其另一端处于所述废气回收槽外；

e)第2泵，其设于所述第2气体排出通路中，用于使所述废气回收槽内的气体排出；以及

f)开闭阀，其设于所述第2气体排出通路的比所述第2泵靠排气的方向上的上游侧的位置，在所述废气回收槽内的压力达到预定的第1值以上时该开闭阀打开，在该压力达到预定的第2值以下时该开闭阀关闭。

2.根据权利要求1所述的气化清洗液回收装置，其特征在于，

在所述废气回收槽内的压力达到所述第1值以上时，该压力越大，所述开闭阀的开度越大。

3.根据权利要求1或2所述的气化清洗液回收装置，其特征在于，

所述开闭阀是止回阀。

4.根据权利要求1或2所述的气化清洗液回收装置，其特征在于，

该气化清洗液回收装置还在所述第1气体排出通路的开口处具备设有多个孔的喷嘴。

5.根据权利要求1或2所述的气化清洗液回收装置，其特征在于，

该气化清洗液回收装置还具备用于冷却所述废气回收槽内的贮存液的冷却装置。

6.根据权利要求1或2所述的气化清洗液回收装置，其特征在于，

该气化清洗液回收装置还在所述废气回收槽内的所述第1位置和所述第2位置之间具备构件，该构件成为气体从该第1位置侧向该第2位置侧移动时的阻力。

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