CN114877666A - 一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构及其加工工艺 - Google Patents

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焦明印
孔祥振
李为一
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23P—METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; COMBINED OPERATIONS; UNIVERSAL MACHINE TOOLS
    • B23P15/00—Making specific metal objects by operations not covered by a single other subclass or a group in this subclass

Abstract

本发明涉及基板清洁机构技术领域，尤其为一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构及其加工工艺，包括双缝气刀结构本体、滚轮和玻璃，所述玻璃位于滚轮的顶部，所述双缝气刀结构本体分别位于玻璃的上下两侧，所述双缝气刀结构本体包括前板、中板和后板，所述中板位于前板和后板之间。本发明提出的双缝气刀结构，相对于单缝气刀，更适合于宽幅玻璃基板的干燥工艺，较之以往的单缝气刀结构强度更高，气体喷射更均匀，干燥效果更好，能有效地对宽幅玻璃基板进行干燥，去除基板表面沾有的水分或清洁液，并且能够保证气刀不弯曲或变形，有效提升玻璃基板的干燥效率，此外，该双缝气刀较之双列单缝气刀的设置占用空间更小，更易于设置组装。

Description

一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构及其加工工艺
技术领域
本发明涉及基板清洁机构技术领域，具体为一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构及其加工工艺。
背景技术
半导体晶圆、LCD、OLED等平板显示用基板或玻璃板等各种基板都是经过多种制造工艺制造的，这些基板的制造工序中，基板的表面受各种粉尘或污染物污染，为清除基板表面的粉尘或污染物，部分制造工序前后会进行清洗工序。清洗工序是基板表面清洁化的工序，一般包括药液处理工艺、清洗工艺、干燥工艺，其中，干燥工艺是经过药液处理工程和清洗工程，去除基板表面残留的水分或清洁液的工程。干燥工艺是在基板表面采用高压喷射干燥空气，达到去除基板表面残留的水分或者清洁液的效果，这种干燥工艺利用的就是从外部获得干燥空气并加压喷射的气刀装置。
气刀设置在完成药液处理工艺和清洗工艺后移送的基板的上方和下方，分别与基板的宽度方向平行排列，用其端部形成的开口，在基板表面用高压喷射干燥空气，去除基板表面残留的水分或清洁液，随着用于平板显示基板的增大，气刀需要喷射空气的区域变大，出现了通过一次干燥空气喷射无法完全烘干基板表面的问题，如果基板表面水分或清洁液无法完全去除，基板干燥后，基板表面会留下污渍，需要进行进一步的清洁工作。另外，以往的气刀存在作业速度慢、作业时间长等问题。
另外，为了干燥大尺寸的基板，气刀的长度也要相应地延长，如果气刀的长度变长，气刀容易弯曲，在气刀弯曲的状态下喷射干燥空气，则不能均匀喷射整个基板，导致干燥效率下降的问题。
目前市面上主流的气刀普遍为单缝气刀，由于宽幅玻璃基板尺寸比较大，气刀需要喷射空气的区域变大，单缝气刀一次干燥空气喷射经常无法完全烘干基板表面导致工艺不良，如果采用两列单缝气刀，则会造成气刀安装的空间增大，结构变复杂，甚至有时会因为两列气刀的间距过大，导致第一列气刀干燥后的玻璃基板被二次污染，从而使得干燥效果下降。
发明内容
本发明的目的在于提供一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构及其加工工艺，具备气体喷射更均匀，干燥效果更好，能有效地对宽幅玻璃基板进行干燥的优点，解决了目前单缝气刀一次干燥空气喷射经常无法完全烘干基板表面导致工艺不良，如果采用两列单缝气刀，则会造成气刀安装的空间增大，结构变复杂，甚至有时会因为两列气刀的间距过大，导致第一列气刀干燥后的玻璃基板被二次污染，从而使得干燥效果下降的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构及其加工工艺，包括双缝气刀结构本体、滚轮和玻璃，所述玻璃位于滚轮的顶部，所述双缝气刀结构本体分别位于玻璃的上下两侧，所述双缝气刀结构本体包括前板、中板和后板，所述中板位于前板和后板之间，且中板的两侧分别与前板和后板贴合，所述前板的表面开设有高压空气进口一，所述后板的表面开设有高压空气进口二，所述前板和中板的贴合处分别设置有主气体腔室一和副气体腔室一，所述后板和中板的贴合处分别设置有主气体腔室二和副气体腔室二，所述前板和后板的表面均开设有固定螺栓沉头孔，所述前板、中板和后板的表面均开设有定位销孔，所述中板的表面开设有固定螺纹孔，所述前板的表面贯穿设置有固定螺栓一，所述后板的表面贯穿设置有固定螺栓二，所述固定螺栓一和固定螺栓二贯穿至固定螺纹孔的内部。
优选的，所述双缝气刀结构本体还包括定位销，所述定位销的数量为若干个，且定位销贯穿至定位销孔的内部。
优选的，所述前板和后板的表面均开设有干燥气体进气螺纹孔，所述干燥气体进气螺纹孔分别与主气体腔室一和主气体腔室二连通。
优选的，所述中板和后板的表面均设置有间隙风道，所述间隙风道的两端分别设置有呈对称分布的风道边缘角，且风道边缘角为弧形。
优选的，所述中板和后板的表面均固定连接有固定螺栓凸台，所述固定螺栓凸台位于间隙风道的内部，且固定螺栓凸台呈均匀排列，所述固定螺栓一和固定螺栓二贯穿至固定螺栓凸台的内部。
优选的，所述前板的底部和后板的侧面均设置有气缝，所述前板的气缝呈倾斜设置，所述后板底部的气缝呈垂直设置。
优选的，所述前板底部的气缝与中板的连接处形成喷射间隙一，所述后板侧面的气缝与中板的连接处形成喷射间隙二。
优选的，所述喷射间隙一与副气体腔室一连通，所述喷射间隙二与副气体腔室二连通。
优选的，所述双缝气刀结构本体呈对称设置，且位于玻璃底部双缝气刀结构本体的两侧分别设置有高压空气进口三和高压空气进口四。
一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构的加工工艺，包括以下步骤：
步骤一，选用高速钢作为双缝气刀坯料，将双缝气刀坯料放入模具中，经热压机热压成型；
步骤二，将成型的双缝气刀坯料的表面进行抛光处理，然后通过超声清洗30min，去除表面杂质，再进行干燥处理；
步骤三，根据双缝气刀图纸参数对双缝气刀坯料进行精磨加工，并通过机械加工出双缝气刀坯料表面的螺纹孔；
步骤四，最后通过螺栓等配件完成双缝气刀结构的装配。
与现有技术相比，本发明的有益效果如下：
本发明提出的双缝气刀结构，相对于单缝气刀，更适合于宽幅玻璃基板的干燥工艺，较之以往的单缝气刀结构强度更高，气体喷射更均匀，干燥效果更好，能有效地对宽幅玻璃基板进行干燥，去除基板表面沾有的水分或清洁液，并且能够保证气刀不弯曲或变形，有效提升玻璃基板的干燥效率，此外，该双缝气刀较之双列单缝气刀的设置占用空间更小，更易于设置组装，解决了目前单缝气刀一次干燥空气喷射经常无法完全烘干基板表面导致工艺不良，如果采用两列单缝气刀，则会造成气刀安装的空间增大，结构变复杂，甚至有时会因为两列气刀的间距过大，导致第一列气刀干燥后的玻璃基板被二次污染，从而使得干燥效果下降的问题。
附图说明
图1为本发明双缝气刀结构应用布局图；
图2为本发明双缝气刀结构组装剖面图；
图3为本发明前板解析图；
图4为本发明中板解析图；
图5为本发明后板解析图；
图6为本发明局部结构组装解析图。
图中，各附图标记的含义如下：1、滚轮；2、玻璃；3、前板；4、中板；5、后板；6、高压空气进口一；7、高压空气进口二；8、主气体腔室一；9、副气体腔室一；10、主气体腔室二；11、副气体腔室二；12、固定螺栓沉头孔；13、定位销孔；14、固定螺纹孔；15、固定螺栓一；16、固定螺栓二；17、定位销；18、干燥气体进气螺纹孔；19、间隙风道；20、风道边缘角；21、固定螺栓凸台；22、气缝；23、喷射间隙一；24、喷射间隙二；25、高压空气进口三；26、高压空气进口四。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-6，一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构及其加工工艺，包括双缝气刀结构本体、滚轮1和玻璃2，玻璃2位于滚轮1的顶部，双缝气刀结构本体分别位于玻璃2的上下两侧，双缝气刀结构本体包括前板3、中板4和后板5，中板4位于前板3和后板5之间，且中板4的两侧分别与前板3和后板5贴合，前板3的表面开设有高压空气进口一6，后板5的表面开设有高压空气进口二7，前板3和中板4的贴合处分别设置有主气体腔室一8和副气体腔室一9，后板5和中板4的贴合处分别设置有主气体腔室二10和副气体腔室二11，前板3和后板5的表面均开设有固定螺栓沉头孔12，前板3、中板4和后板5的表面均开设有定位销孔13，中板4的表面开设有固定螺纹孔14，前板3的表面贯穿设置有固定螺栓一15，后板5的表面贯穿设置有固定螺栓二16，固定螺栓一15和固定螺栓二16贯穿至固定螺纹孔14的内部。
本实施例中，双缝气刀结构本体还包括定位销17，定位销17的数量为若干个，且定位销17贯穿至定位销孔13的内部。
本实施例中，前板3和后板5的表面均开设有干燥气体进气螺纹孔18，干燥气体进气螺纹孔18分别与主气体腔室一8和主气体腔室二10连通。
本实施例中，中板4和后板5的表面均设置有间隙风道19，间隙风道19的两端分别设置有呈对称分布的风道边缘角20，且风道边缘角20为弧形。
本实施例中，中板4和后板5的表面均固定连接有固定螺栓凸台21，固定螺栓凸台21位于间隙风道19的内部，且固定螺栓凸台21呈均匀排列，固定螺栓一15和固定螺栓二16贯穿至固定螺栓凸台21的内部。
本实施例中，前板3的底部和后板5的侧面均设置有气缝22，前板3的气缝22呈倾斜设置，后板5底部的气缝22呈垂直设置。
本实施例中，前板3底部的气缝22与中板4的连接处形成喷射间隙一23，后板5侧面的气缝22与中板4的连接处形成喷射间隙二24。
本实施例中，喷射间隙一23与副气体腔室一9连通，喷射间隙二24与副气体腔室二11连通。
本实施例中，双缝气刀结构本体呈对称设置，且位于玻璃2底部双缝气刀结构本体的两侧分别设置有高压空气进口三25和高压空气进口四26。
一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构的加工工艺，包括以下步骤：
步骤一，选用高速钢作为双缝气刀坯料，将双缝气刀坯料放入模具中，经热压机热压成型；
步骤二，将成型的双缝气刀坯料的表面进行抛光处理，然后通过超声清洗30min，去除表面杂质，再进行干燥处理；
步骤三，根据双缝气刀图纸参数对双缝气刀坯料进行精磨加工，并通过机械加工出双缝气刀坯料表面的螺纹孔；
步骤四，最后通过螺栓等配件完成双缝气刀结构的装配。
工作原理：双缝气刀结构由前板3、中板4以及后板5组装而成，定位采用定位销17，前板3与中板4、中板4与后板5均采用螺栓垫片固定，高压干燥气体进口连接管件配件，此外，为保证气刀喷出的气体均匀稳定性，中板4和后板5都构建了副气体腔室，并且内部螺栓连接凸台和风道边缘都进行了圆角处理；
前板3体和中板4体贴合形成第一气体腔室，高压干燥气体通过前板3的进气孔进入主气体腔室一8，气体通过风道被引导流入中板4下部副气体腔室一9然后通过喷射缝隙相对于玻璃基板成一定倾斜角喷出形成第一中板4喷射部分；
中板4体和后板5体贴合形成第二气体腔室，高压气体通过后板5的进气孔进入主气体腔室二10，气体通过风道被引导流入后板5下部的副气体腔室二11然后通过喷射缝隙垂直与玻璃基板喷出形成第二中板4喷射部分，该双缝气刀装配后需两侧同时供应高压干燥气体，高压气体经过不同的腔室然后通过不同的喷射缝隙喷射于玻璃基板表面，实现对于玻璃基板的干燥工艺。
综上，该双缝气刀结构，相对于单缝气刀，更适合于宽幅玻璃基板的干燥工艺，较之以往的单缝气刀结构强度更高，气体喷射更均匀，干燥效果更好，能有效地对宽幅玻璃基板进行干燥，去除基板表面沾有的水分或清洁液，并且能够保证气刀不弯曲或变形，有效提升玻璃基板的干燥效率，此外，该双缝气刀较之双列单缝气刀的设置占用空间更小，更易于设置组装，解决了目前单缝气刀一次干燥空气喷射经常无法完全烘干基板表面导致工艺不良，如果采用两列单缝气刀，则会造成气刀安装的空间增大，结构变复杂，甚至有时会因为两列气刀的间距过大，导致第一列气刀干燥后的玻璃基板被二次污染，从而使得干燥效果下降的问题。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构，包括双缝气刀结构本体、滚轮(1)和玻璃(2)，其特征在于：所述玻璃(2)位于滚轮(1)的顶部，所述双缝气刀结构本体分别位于玻璃(2)的上下两侧，所述双缝气刀结构本体包括前板(3)、中板(4)和后板(5)，所述中板(4)位于前板(3)和后板(5)之间，且中板(4)的两侧分别与前板(3)和后板(5)贴合，所述前板(3)的表面开设有高压空气进口一(6)，所述后板(5)的表面开设有高压空气进口二(7)，所述前板(3)和中板(4)的贴合处分别设置有主气体腔室一(8)和副气体腔室一(9)，所述后板(5)和中板(4)的贴合处分别设置有主气体腔室二(10)和副气体腔室二(11)，所述前板(3)和后板(5)的表面均开设有固定螺栓沉头孔(12)，所述前板(3)、中板(4)和后板(5)的表面均开设有定位销孔(13)，所述中板(4)的表面开设有固定螺纹孔(14)，所述前板(3)的表面贯穿设置有固定螺栓一(15)，所述后板(5)的表面贯穿设置有固定螺栓二(16)，所述固定螺栓一(15)和固定螺栓二(16)贯穿至固定螺纹孔(14)的内部。
2.根据权利要求1所述的一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构，其特征在于：所述双缝气刀结构本体还包括定位销(17)，所述定位销(17)的数量为若干个，且定位销(17)贯穿至定位销孔(13)的内部。
3.根据权利要求1所述的一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构，其特征在于：所述前板(3)和后板(5)的表面均开设有干燥气体进气螺纹孔(18)，所述干燥气体进气螺纹孔(18)分别与主气体腔室一(8)和主气体腔室二(10)连通。
4.根据权利要求1所述的一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构，其特征在于：所述中板(4)和后板(5)的表面均设置有间隙风道(19)，所述间隙风道(19)的两端分别设置有呈对称分布的风道边缘角(20)，且风道边缘角(20)为弧形。
5.根据权利要求1所述的一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构，其特征在于：所述中板(4)和后板(5)的表面均固定连接有固定螺栓凸台(21)，所述固定螺栓凸台(21)位于间隙风道(19)的内部，且固定螺栓凸台(21)呈均匀排列，所述固定螺栓一(15)和固定螺栓二(16)贯穿至固定螺栓凸台(21)的内部。
6.根据权利要求1所述的一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构，其特征在于：所述前板(3)的底部和后板(5)的侧面均设置有气缝(22)，所述前板(3)的气缝(22)呈倾斜设置，所述后板(5)底部的气缝(22)呈垂直设置。
7.根据权利要求6所述的一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构，其特征在于：所述前板(3)底部的气缝(22)与中板(4)的连接处形成喷射间隙一(23)，所述后板(5)侧面的气缝(22)与中板(4)的连接处形成喷射间隙二(24)。
8.根据权利要求7所述的一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构，其特征在于：所述喷射间隙一(23)与副气体腔室一(9)连通，所述喷射间隙二(24)与副气体腔室二(11)连通。
9.根据权利要求1所述的一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构，其特征在于：所述双缝气刀结构本体呈对称设置，且位于玻璃(2)底部双缝气刀结构本体的两侧分别设置有高压空气进口三(25)和高压空气进口四(26)。
10.一种适用于面板干燥用的双缝气刀结构的加工工艺，其特征在于：包括以下步骤：
步骤一，选用高速钢作为双缝气刀坯料，将双缝气刀坯料放入模具中，经热压机热压成型；
步骤二，将成型的双缝气刀坯料的表面进行抛光处理，然后通过超声清洗30min，去除表面杂质，再进行干燥处理；
步骤三，根据双缝气刀图纸参数对双缝气刀坯料进行精磨加工，并通过机械加工出双缝气刀坯料表面的螺纹孔；
步骤四，最后通过螺栓等配件完成双缝气刀结构的装配。
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