CN114871157A - 多层交错式料盒收纳装置、下料分选设备和分选系统 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种多层交错式料盒收纳装置、下料分选设备和分选系统，属于半导体或光伏领域的下料收集技术，料盒收纳装置包括设置于收纳架上的料盒滑轨组件、料盒组件、交错驱动组件、竖直导轨组件、竖直驱动组件、换料警示按钮和料盒控制器；交错驱动组件用于驱动上下相邻的两组料盒组件沿着料盒滑轨组件滑动，以将料盒组件送至接料位或换盒位；通过本申请的多层交错式料盒收纳装置，相比于上一代或现有的料盒，采用交错布置，集成了到位检测、料满感知、料盒交错供给接料，减少了料盒更换带来的时间，提高了作业效率和产能，便于涉及片材产品的硅片、PCB领域推广应用。

Description

多层交错式料盒收纳装置、下料分选设备和分选系统

技术领域

本发明属于硅片检测分选领域，涉及下料收纳技术，具体公开了一种多层交错式料盒收纳装置、下料分选设备和分选系统。

背景技术

硅片作为重要的工业原材料，被广泛用于太阳能电池、电路板等产品的生产制造中。因此，在硅片生产出厂之前需要对其质量进行严格的把控，以保证由硅片制造的太阳能电池、电路板等产品的质量。硅片分选机是一种集成自动化、测量、视觉瑕疵检测于一体的自动化检测、分选设备，应用在太阳能硅片生产流程中，如我司申请的专利(公开号CN112605010A)公开的下料分选装置及硅片智能分选机，分选机能够实现对太阳能硅片切片、清洗后的原片进行厚度、TTV、线痕、电阻率、尺寸、脏污、崩边、隐裂等项目的测量和检测，并根据分选菜单，自动将硅片按照质量等级要求分选到不同的盒子内，充分满足硅片使用厂家的质量管控的需求，是生产中不可缺少的一个环节。

随着各硅片厂商的对自动上下料自动化要求的提高，使得设备的检测能力需求将要大大提升。

目前，在硅片检测之后，还需要完成硅片的分选，使硅片分类传送至对应的收纳盒中。现有的硅片收纳盒机构通常包括多个上下间隔设置的收纳盒，或者为避免震动设置的上下间隔的收纳盒(如我司的CN215390948U专利)；然而上述料盒结构限制了单个料盒的容量，且料盒更换费时费力，且难以保证更换后料盒的工作位置高度一致。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明的目的在于提供一种多层交错式料盒收纳装置、下料分选设备和分选系统，其能解决上述问题。

一种多层交错式料盒收纳装置，料盒收纳装置包括设置于收纳架上的料盒滑轨组件、料盒组件、交错驱动组件、竖直导轨组件、竖直驱动组件、换料警示按钮和料盒控制器；其中，多个所述料盒滑轨组件水平的且上下平行的设置于所述收纳架上；每个所述料盒滑轨组件上设置一个所述料盒组件，且多个所述料盒组件上下交错布置；交错驱动组件用于驱动料盒组件沿着所述料盒滑轨组件滑动，以将料盒组件送至接料位或换盒位；除顶层的料盒组件均通过所述竖直导轨组件转接至所述料盒滑轨组件；所述竖直驱动组件驱动连接至所述竖直导轨组件，用于驱动所述竖直导轨组件上下移动以便于达到预设接料高度或退出更换料盒；多个所述换料警示按钮用于提示对应料盒组件是否满料及空盒到位，并用于向所述料盒控制器发出料盒退出或装载信号；所述交错驱动组件、竖直驱动组件和换料警示按钮与所述料盒控制器电讯连接，通过料盒控制器控制驱动实现多个所述料盒组件的到位接料、满料退出和更换。

进一步的，所述收纳架包括收纳主立板和收纳底板，用于支撑整个装置。

进一步的，所述料盒滑轨组件包括料盒滑轨、滑块、料盒垫块、外端缓冲块和滑块位置传感器；多个料盒滑轨上下平行的安装至所述收纳主立板的收纳面，滑块滑动套接在料盒滑轨上，所述料盒组件通过所述料盒垫块安装至所述滑块上；所述外端缓冲块安装至料盒滑轨的外端部，用于滑块的端部到位缓冲；多个滑块位置传感器安装至收纳主立板上并位于料盒滑轨下方布置。

进一步的，所述料盒组件包括料盒转接件、料盒托架、料盒规格调整垫板、料盒导向止挡柱和树脂板；其中，顶层的料盒组件的料盒转接件直接连接至所述料盒垫块上，下层各级料盒组件的料盒转接件通过所述竖直导轨组件后再连接至所述料盒垫块上；所述料盒托架向外端下侧倾斜的连接至所述料盒转接件上，所述料盒规格调整垫板位置可调的安装至所述料盒托架上，并在料盒规格调整垫板的外端设置所述料盒导向止挡柱，规格可选的树脂板铺设在所述料盒规格调整垫板上，用以直接接收支撑硅片落料。

进一步的，所述交错驱动组件包括料盒驱动电机、同步轮组、同步带组和同步带夹；所述料盒驱动电机和同步轮组安装于所述收纳主立板上；同步带组中与料盒滑轨平行的部分通过两个同步带夹与上下相邻的料盒滑轨组件连接，实现上下相邻两个料盒滑轨组件的交错驱动。

进一步的，所述竖直导轨组件包括升降滑轨和升降滑块；所述升降滑块与需升降的料盒组件对应的料盒滑轨组件的料盒垫块连接，所述升降滑轨的上部与需升降的料盒组件的料盒转接件连接,以此使得料盒组件沿竖直导轨组件上下滑动。

进一步的，所述竖直驱动组件包括升降气缸、升降电磁阀、升降底板和升降底部限位块，所述升降气缸的缸体固定至所述收纳主立板，所述升降气缸的驱动杆底部连接至所述升降底板上，当竖直导轨组件运动至所述升降底部限位块时，升降电磁阀被激发驱动升降地板升降运动实现竖直导轨组件的升降驱动。

进一步的，所述竖直驱动组件包括升降气缸和升降电磁阀，所述升降气缸的缸体固定至所述收纳主立板，所述升降气缸的驱动杆底部连接至所述升降底板上，在升降电磁阀的控制下实现竖直导轨组件的升降驱动。

本发明还公开了一种下料分选设备，下料分选设备包括安装于下料机架上的分片装置、安装在分片装置两出料端的料盒收纳装置、下料中轴皮带流线、尾料盒和顶板架；所述下料中轴皮带流线沿着中轴线安装至所述下料机架上，所述顶板架设置在所述下料中轴皮带流线上方；多个分片装置沿着所述下料中轴皮带流线间隔的设置，并且其顶部连接至所述顶板架的顶板下表面上；每个分片装置的左右两端均设置一个料盒收纳装置；所述尾料盒正对所述下料中轴皮带流线的尾端设置，用于承载杂项硅片或未检测的硅片；其中，所述料盒收纳装置采用前述的多层交错式料盒收纳装置。

本发明还提供了一种智能硅片分选系统，分选系统包括上料设备、检测设备和采用前述的下料分选设备；在所述上料设备和检测设备之间设置料型检测装置和碎片剔除装置，用于检测硅片型号以及是否发生破碎，并将破碎的硅片剔除，避免破碎硅片流入检测设备。

相比现有技术，本发明的有益效果在于：通过本申请的多层交错式料盒收纳装置，相比于上一代或现有的料盒，采用交错布置，集成了到位检测、料满感知、料盒交错供给接料，减少了料盒更换带来的时间，提高了作业效率和产能，便于涉及片材产品的硅片、PCB领域推广应用。

附图说明

图1-图3为本发明多层交错式料盒收纳装置不同视角的示意图；

图4为下料分选设备的示意图；

图5和图6为多层交错式料盒收纳装置、下料分选设备和下料中轴皮带流线的布置示意图；

图7为智能硅片分选系统的示意图。

图中：

10000、下料分选设备

1000、分片装置；

2000、料盒收纳装置；

2101、收纳主立板；2102、收纳底板；2103、外端立板；2014、主防护罩； 2015、电机防护罩；

2201、料盒滑轨；2202、滑块；2203、料盒垫块；2204、外端缓冲块；2205、滑块位置传感器；

2301、料盒转接件；2302、料盒托架；2303、料盒规格调整垫板；2304、料盒导向止挡柱；2305、树脂板；2306、升降顶部限位块；

2401、料盒驱动电机；2402、同步带夹；2403、驱动轮；2404、双头传动轮；2405、水平内端传动轮；2406、驱动同步带；2407、传动同步带；2408、带轮防护罩；

2501、升降滑轨；2502、升降滑块；

2601、升降气缸；2602、升降电磁阀；2603、升降底板；2604、升降底部限位块；2605、料盒到位传感器组件；

2700、换料警示按钮；

3000、下料中轴皮带流线；

4000、尾料盒；

5000、顶板架；

6000、下料机架；

7000、下料过渡机构；

8000、急停机构；

9000、蜂鸣器；

20000、检测设备；

30000、上料设备；

40000、料型检测装置；

50000、碎片剔除装置。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

应当理解，本说明书中所使用的“系统”、“装置”、“机构”、“单元”和/或“模组”是用于区分不同级别的不同组件、元件、部件、部分或装配的一种方法。然而，如果其他词语可实现相同的目的，则可通过其他表达来替换所述词语。

多层交错式料盒收纳装置

一种多层交错式料盒收纳装置，参见图1-图3，料盒收纳装置2000包括设置于收纳架上的料盒滑轨组件、料盒组件、交错驱动组件、竖直导轨组件、竖直驱动组件、换料警示按钮和料盒控制器。

布置关系：多个所述料盒滑轨组件水平的且上下平行的设置于所述收纳架上；每个所述料盒滑轨组件上设置一个所述料盒组件，且多个所述料盒组件上下交错布置；交错驱动组件用于驱动上下相邻的两组料盒组件沿着所述料盒滑轨组件交错滑动，以将料盒组件送至接料位或换盒位；除顶层的料盒组件均通过所述竖直导轨组件转接至所述料盒滑轨组件；所述竖直驱动组件驱动连接至所述竖直导轨组件，用于驱动所述竖直导轨组件上下移动以便于达到预设接料高度或退出更换料盒；多个所述换料警示按钮用于提示对应料盒组件是否满料及空盒到位，并用于向所述料盒控制器发出料盒退出或装载信号。

所述交错驱动组件、竖直驱动组件和换料警示按钮与所述料盒控制器电讯连接，通过料盒控制器控制驱动实现多个所述料盒组件的到位接料、满料退出和更换。

如图1-3的示例中，料盒收纳装置2000采用双层料盒，采用两组料盒滑轨组件、两个料盒组件、一个交错驱动组件、一个竖直导轨组件、一个竖直驱动组件和两个换料警示按钮。

其中，所述收纳架包括收纳主立板2101和收纳底板2102，用于支撑整个装置。

收纳架还包括外端立板2103、主防护罩2014和电机防护罩2015，所述外端立板2103设置在所述收纳主立板2101外端，所述主防护罩2014设置在收纳主立板2101上与料盒组件相反的安装侧，所述电机防护罩2015设置在所述外端立板2103处。

其中，所述料盒滑轨组件包括料盒滑轨2201、滑块2202、料盒垫块2203、外端缓冲块2204和滑块位置传感器2205。多个料盒滑轨2201(图1-3的示例为两个)上下平行的安装至所述收纳主立板2101的收纳面，滑块2202滑动套接在料盒滑轨2201上，所述料盒组件通过所述料盒垫块2203安装至所述滑块 2202上；所述外端缓冲块2204安装至料盒滑轨2201的外端部，用于滑块2202 的端部到位缓冲；多个滑块位置传感器2205安装至收纳主立板2101上并位于料盒滑轨2201下方布置。

其中，所述料盒组件包括料盒转接件2301、料盒托架2302、料盒规格调整垫板2303、料盒导向止挡柱2304和树脂板2305；其中，顶层的料盒组件的料盒转接件2301直接连接至所述料盒垫块2203上，下层各级料盒组件的料盒转接件2301通过所述竖直导轨组件后再连接至所述料盒垫块2203上；所述料盒托架2302向外端下侧倾斜的连接至所述料盒转接件2301上，所述料盒规格调整垫板2303位置可调的安装至所述料盒托架2302上，并在料盒规格调整垫板2303的外端设置所述料盒导向止挡柱2304，规格可选的树脂板2305铺设在所述料盒规格调整垫板2303上，用以直接接收支撑硅片落料。

进一步的，下层各级料盒组件还包括升降顶部限位块2306，所述升降顶部限位块2306设置在所述料盒转接件2301上并位于所述竖直导轨组件正上方布置。

进一步的，所述料盒托架2302呈L形或凹形，其前后和/或左右可调，其中，在所述料盒托架2302的底板上开设前后方向的长条槽孔，用于料盒规格调整垫板2303的位置调整。

其中，所述交错驱动组件包括料盒驱动电机2401、同步轮组、同步带组和同步带夹2402；所述料盒驱动电机2401和同步轮组安装于所述收纳主立板 2101上。同步带组中与料盒滑轨2201平行的部分通过两个同步带夹2402与上下相邻的料盒滑轨组件连接，实现上下相邻两个料盒滑轨组件的交错驱动。

进一步的，平行传动的同步带通过两个同步带夹2402与所述料盒滑轨组件的滑块2202或料盒垫块2203连接，实现交错驱动组件驱动相邻两个料盒滑轨组件及料盒组件沿着料盒滑轨2201交错运动。

进一步的，所述同步轮组包括驱动轮2403、双头传动轮2404和水平内端传动轮2405，其中所述水平内端传动轮2405与双头传动轮2404规格相同且水平平齐的设置。

一个示例中，所述同步带组包括驱动同步带2406和传动同步带2407，所述驱动同步带2406安装于驱动轮2403和双头传动轮2404中的一个轮头，实现动力输入；所述传动同步带2407设置于水平内端传动轮2405和与之同侧的双头传动轮2404的轮头。

当然也可以采用电机、带轮同侧设置，传送带对一组料盒组件采用一条带，这些可以根据实际安装空间和场景布置。

进一步的，在与水平内端传动轮2405同侧的双头传动轮2404的轮头处设置带轮防护罩2408。

其中，所述竖直导轨组件包括升降滑轨2501和升降滑块2502；所述升降滑块2502与需升降的料盒组件对应的料盒滑轨组件的料盒垫块2203连接，所述升降滑轨2501的上部与需升降的料盒组件的料盒转接件2301连接，以此使得料盒组件沿竖直导轨组件上下滑动。

所述竖直驱动组件包括升降气缸2601、升降电磁阀2602、升降底板2603 和升降底部限位块2604，所述升降气缸2601的缸体固定至所述收纳主立板 2101，所述升降气缸2601的驱动杆底部连接至所述升降底板2603上，当竖直导轨组件运动至所述升降底部限位块2604时，升降电磁阀2602被激发驱动升降地板2603升降运动实现竖直导轨组件的升降驱动。

进一步的，竖直驱动组件还包括一个料盒到位传感器组件2605，所述料盒到位传感器组件2605安装于收纳主立板2101上，用于检测下层对应料盒组件是否到达顶部接料位。

其中，所述换料警示按钮2700的个数与料盒组件的个数相等，通过料盒按钮底板连接至所述收纳主立板2101的顶部，所述换料警示按钮采用不同显示颜色显示料盒到位、料盒满料和料盒装载完成状态，并在相应状态下按下按钮触发对应的驱控信号。

下料分选设备

一种下料分选设备，参见图4-图6，下料分选设备10000包括安装于下料机架6000上的分片装置1000、安装在分片装置1000两出料端的料盒收纳装置2000、下料中轴皮带流线3000、尾料盒4000和顶板架5000。

布置关系：所述下料中轴皮带流线3000沿着中轴线安装至所述下料机架 6000上，所述顶板架5000设置在所述下料中轴皮带流线3000上方；多个分片装置1000沿着所述下料中轴皮带流线3000间隔的设置，并且其顶部连接至所述顶板架5000的顶板下表面上；每个分片装置1000的左右两端均设置一个料盒收纳装置2000；所述尾料盒4000正对所述下料中轴皮带流线3000的尾端设置，用于承载杂项硅片或未检测的硅片；其中，所述料盒收纳装置2000 采用前述的多层交错式料盒收纳装置。

进一步的，下料分选设备10000还包括下料过渡机构7000、急停机构8000 和蜂鸣器9000，所述下料过渡机构7000设置在下料中轴皮带流线3000的前端，用于将上游流程检测完的硅片过渡引导至顶面平齐的下料中轴皮带流线 3000。多个所述急停机构8000设置在所述下料机架6000的四周，便于工作人员在遇到紧急情况时便利快速的按下停机。所述蜂鸣器9000安装在下料机架 6000的外周。图未示的，三色灯等报警器也可以设置在下料机架6000处。

参见图5和图6，两组对称设置的料盒收纳装置2000布置在一个分片装置1000的两个出料端，下料中轴皮带流线3000从底部向分片装置1000输送检测好的硅片。分片装置1000根据不同瑕疵类型的硅片向两端将硅片传输给料盒收纳装置2000的料盒组件内，直接落入接料位处的料盒组件的树脂板 2305上。等满料后，换料警示按钮2700发出满料警示，工作人员按需按钮，料盒组件退到外端，人工或机械臂将料盒组件内的硅片搬运归仓，同时下层的料盒组件向前伸出并升高至接料位，继续硅片接收。

智能硅片分选系统

一种智能硅片分选系统，参见图7，分选系统包括上料设备30000、检测设备20000和采用前述的下料分选设备10000；在所述上料设备30000和检测设备20000之间设置料型检测装置40000和碎片剔除装置50000，用于检测硅片型号以及是否发生破碎，并将破碎的硅片剔除，避免破碎硅片流入检测设备 20000。

该系统的下料分选设备10000采用非接触吸附式分片装置1000，提高了分选流片效率，多层交错式料盒收纳装置提高了料盒更换效率；检测设备20000 集成多项检测，包括但不限于厚度、TTV、线痕、电阻率、尺寸、脏污、崩边、隐裂等项目的测量和检测，可根据实际需求模块化增减检测项；通过碎片剔除装置50000提前将碎片剔除，提高了系统整体产能。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种多层交错式料盒收纳装置，其特征在于：料盒收纳装置(2000)包括设置于收纳架上的料盒滑轨组件、料盒组件、交错驱动组件、竖直导轨组件、竖直驱动组件、换料警示按钮和料盒控制器，

其中，多个所述料盒滑轨组件水平的且上下平行的设置于所述收纳架上；

每个所述料盒滑轨组件上设置一个所述料盒组件，且多个所述料盒组件上下交错布置；

交错驱动组件用于驱动上下相邻的两组料盒组件沿着所述料盒滑轨组件交错滑动，以将料盒组件送至接料位或换盒位；

除顶层的料盒组件均通过所述竖直导轨组件转接至所述料盒滑轨组件；

所述竖直驱动组件连接至所述收纳架上，用于驱动所述竖直导轨组件上下移动以便于达到预设接料高度或退出更换料盒；

多个所述换料警示按钮用于提示对应料盒组件是否满料及空盒到位，并用于向所述料盒控制器发出料盒退出或装载信号；

所述交错驱动组件、竖直驱动组件和换料警示按钮与所述料盒控制器电讯连接，通过料盒控制器控制驱动实现多个所述料盒组件的到位接料、满料退出和更换。

2.根据权利要求1所述的料盒收纳装置，其特征在于：所述收纳架包括收纳主立板(2101)和收纳底板(2102)，用于支撑整个装置。

3.根据权利要求2所述的料盒收纳装置，其特征在于：所述料盒滑轨组件包括料盒滑轨(2201)、滑块(2202)、料盒垫块(2203)、外端缓冲块(2204)和滑块位置传感器(2205)；多个料盒滑轨(2201)上下平行的安装至所述收纳主立板(2101)的收纳面，滑块(2202)滑动套接在料盒滑轨(2201)上，所述料盒组件通过所述料盒垫块(2203)安装至所述滑块(2202)上；所述外端缓冲块(2204)安装至料盒滑轨(2201)的外端部，用于滑块(2202)的端部到位缓冲；多个滑块位置传感器(2205)安装至收纳主立板(2101)上并位于料盒滑轨(2201)下方布置。

4.根据权利要求3所述的料盒收纳装置，其特征在于：所述料盒组件包括料盒转接件(2301)、料盒托架(2302)、料盒规格调整垫板(2303)、料盒导向止挡柱(2304)和树脂板(2305)；其中，顶层的料盒组件的料盒转接件(2301)直接连接至所述料盒垫块(2203)上，下层各级料盒组件的料盒转接件(2301)通过所述竖直导轨组件后再连接至所述料盒垫块(2203)上；所述料盒托架(2302)向外端下侧倾斜的连接至所述料盒转接件(2301)上，所述料盒规格调整垫板(2303)位置可调的安装至所述料盒托架(2302)上，并在料盒规格调整垫板(2303)的外端设置所述料盒导向止挡柱(2304)，规格可选的树脂板(2305)铺设在所述料盒规格调整垫板(2303)上，用以直接接收支撑硅片落料。

5.根据权利要求4所述的料盒收纳装置，其特征在于：所述交错驱动组件包括料盒驱动电机(2401)、同步轮组、同步带组和同步带夹(2402)；所述料盒驱动电机(2401)和同步轮组安装于所述收纳主立板(2101)上；

同步带组中与料盒滑轨(2201)平行的部分通过两个同步带夹(2402)与上下相邻的料盒滑轨组件连接，实现上下相邻两个料盒滑轨组件的交错驱动。

6.根据权利要求5所述的料盒收纳装置，其特征在于：所述竖直导轨组件包括升降滑轨(2501)和升降滑块(2502)；所述升降滑块(2502)与需升降的料盒组件对应的料盒滑轨组件的料盒垫块(2203)连接，所述升降滑轨(2501)的上部与需升降的料盒组件的料盒转接件(2301)连接，以此使得料盒组件沿竖直导轨组件上下滑动。

7.根据权利要求6所述的料盒收纳装置，其特征在于：所述竖直驱动组件包括升降气缸(2601)、升降电磁阀(2602)、升降底板(2603)和升降底部限位块(2604)，所述升降气缸(2601)的缸体固定至所述收纳主立板(2101)，所述升降气缸(2601)的驱动杆底部连接至所述升降底板(2603)上，当竖直导轨组件运动至所述升降底部限位块(2604)时，升降电磁阀(2602)被激发驱动升降地板(2603)升降运动实现竖直导轨组件的升降驱动。

8.根据权利要求7所述的料盒收纳装置，其特征在于：所述换料警示按钮(2700)的个数与料盒组件的个数相等，通过料盒按钮底板连接至所述收纳主立板(2101)的顶部，所述换料警示按钮采用不同显示颜色显示料盒到位、料盒满料和料盒装载完成状态，并在相应状态下按下按钮触发对应的驱控信号。

9.一种下料分选设备，其特征在于：下料分选设备(10000)包括安装于下料机架(6000)上的分片装置(1000)、安装在分片装置(1000)两出料端的料盒收纳装置(2000)、下料中轴皮带流线(3000)、尾料盒(4000)和顶板架(5000)；所述下料中轴皮带流线(3000)沿着中轴线安装至所述下料机架(6000)上，所述顶板架(5000)设置在所述下料中轴皮带流线(3000)上方；多个分片装置(1000)沿着所述下料中轴皮带流线(3000)间隔的设置，并且其顶部连接至所述顶板架(5000)的顶板下表面上；每个分片装置(1000)的左右两端均设置一个料盒收纳装置(2000)；所述尾料盒(4000)正对所述下料中轴皮带流线(3000)的尾端设置，用于承载杂项硅片或未检测的硅片；其中，所述料盒收纳装置(2000)采用权利要求1-8任一项所述的多层交错式料盒收纳装置。

10.一种智能硅片分选系统，其特征在于：分选系统包括上料设备(30000)、检测设备(20000)和采用权利要求9所述的下料分选设备(10000)；在所述上料设备(30000)和检测设备(20000)之间设置料型检测装置(40000)和碎片剔除装置(50000)，用于检测硅片型号以及是否发生破碎，并将破碎的硅片剔除，避免破碎硅片流入检测设备(20000)。

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