CN114701228A - 一种滤光片及晶圆划裂片用环保型基材及其制备方法 - Google Patents

一种滤光片及晶圆划裂片用环保型基材及其制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供了一种滤光片及晶圆划裂片用环保型基材及其制备方法，涉及半导体的技术领域，本发明的环保型基材聚烯烃薄膜包括层叠设置的第一表层和第二表层；其中，第一表层主要由以下组分制备而成：共聚聚丙烯、聚丙烯基弹性体以及爽滑剂，第二表层主要由以下组分制备而成：乙烯‑醋酸乙烯共聚物和高压低密度聚乙烯。本发明解决了晶圆裂片用PVC保护膜的质量稳定性欠佳及其在回收处理过程中污染环境的技术问题，达到了晶圆裂片保护用膜不仅能够达到PVC保护膜相同的性能，而且在回收处理过程中不会污染环境的技术效果。

Description

一种滤光片及晶圆划裂片用环保型基材及其制备方法
技术领域
本发明涉及半导体的技术领域，尤其是涉及一种滤光片及晶圆划裂片用环保型基材及其制备方法。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片。在晶圆上可加工制作成各种电路元件结构，通常将具有电路元件结构的面称为正面，与之相对的面即称为背面。
在晶圆的加工过程中，为了满足各种用途，通常需要将晶圆粘附在一晶圆承载框上。晶圆承载框包括绷膜框和薄膜，薄膜粘附在绷膜框上，薄膜具有一定的张力，晶圆粘附在薄膜上。对整块晶圆进行切割时，一般采用激光切割代替机械刀具切割，因为机械刀具切割晶圆的刀痕宽，而激光切割的刀痕窄，因此激光切割可提高晶圆的利用率；同时，机械刀具切割晶圆时还会产生碎屑，而激光切割则不会产生碎屑，因此可提高切割品质。然而，激光切割的切割深度越深，其对激光发射器的损耗就越大，所以在采用激光切割晶圆时，一般不切透晶圆，而形成纵向裂痕和横向裂痕，将晶圆切割为多个块状晶圆，再利用裂片装置使各块状晶圆相互分离。因为激光切割晶圆时并未将晶圆完全切透，所以需要增加对晶圆进行裂片的操作工序，使晶圆在纵向划痕或横向裂痕处断裂，进而分离成多个块状晶圆。现有的裂片操作通常采用裂片机完成。
目前绷膜框上粘附的薄膜一般为PVC材质薄膜，PVC膜的特点是其本身具有一定的自洁性，能够满足晶圆加工的洁净要求，同时PVC膜在力学性能上的纵横向的各向同性较好，在裂片时能够保证纵横向的晶粒受力均匀而不会出现崩角现象，而且在PVC膜涂胶时，PVC材质由于具有一定的极性而与胶的粘结力较好，使得在裂片时可以控制裂片好的小晶粒不会飞料。
然而，目前的晶圆裂片用PVC保护膜，在生产时用到的助剂较多，导致了其质量稳定性欠佳，最重要的是PVC保护膜在后续的回收处理中会对环境产生污染，比如释放致癌气体氯化氢等。因此在现如今环境保护意识逐渐成为社会共识的环境下，PVC保护膜在晶圆加工中的应用正逐渐被市场和客户限制，所以目前亟需一种晶圆裂片保护用膜，不仅能够达到PVC保护膜相同的性能，而且在后续的回收利用和焚烧处理中均不会向环境释放有害物质，有利于环境保护。
有鉴于此，特提出本发明。
发明内容
本发明的目的之一在于提供一种聚烯烃薄膜，具有较佳的质量稳定性，在力学性能上纵横向的各向同性较好，与胶的粘结力较强，而且对环境无污染。
本发明的目的之二在于提供一种所述的聚烯烃薄膜的制备方法，工艺简单，优秀率高。
本发明的目的之三在于提供一种晶圆裂片用保护膜，具有与上述聚烯烃薄膜相同的优势。
本发明的目的之四在于提供一种所述的晶圆裂片用保护膜的制备方法，工艺简单，优秀率高。
本发明的目的之五在于提供一种所述的聚烯烃薄膜的应用。
为了实现本发明的上述目的，特采用以下技术方案：
第一方面，一种聚烯烃薄膜，包括层叠设置的第一表层和第二表层；
所述第一表层主要由以下组分制备而成：
共聚聚丙烯、丙烯基弹性体以及爽滑剂；
所述第二表层主要由以下组分制备而成：
乙烯-醋酸乙烯共聚物和高压低密度聚乙烯。
进一步的，所述第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯30-75份、丙烯基弹性体25-70份以及爽滑剂1-10份。
进一步的，所述第二表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
乙烯-醋酸乙烯共聚物70-90份和高压低密度聚乙烯10-30份。
进一步的，所述第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯65份、丙烯基弹性体30份以及爽滑剂5份；
优选地，所述第二表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
乙烯-醋酸乙烯共聚物75份和高压低密度聚乙烯25份。
进一步的，所述第一表层的厚度为50-100微米，优选为50-60微米；
优选地，所述第二表层的厚度为15-75微米，优选为30-40微米。
第二方面，一种所述的聚烯烃薄膜的制备方法，包括以下步骤：
混合第一表层的组分，得到第一表层物料；
混合第二表层的组分，得到第二表层物料；
将第一表层物料和第二表层物料流延成型，得到所述聚烯烃薄膜。
第三方面，一种晶圆裂片用保护膜，包括基材层和粘结胶层；
所述基材层的材料包括所述的聚烯烃薄膜；
其中，所述粘结胶层设置于所述聚烯烃薄膜的第二表层上。
进一步的，所述粘结胶层的厚度为20-60微米，优选为20-30微米。
第四方面，一种所述的晶圆裂片用保护膜的制备方法，包括以下步骤：
将粘结胶涂覆于所述聚烯烃薄膜的第二表层上，得到所述晶圆裂片用保护膜。
第五方面，一种上述任一项所述的聚烯烃薄膜在晶圆或滤光片裂片中的应用。
与现有技术相比，本发明至少具有如下有益效果：
本发明提供的聚烯烃薄膜，第一表层中，共聚聚丙烯能够为整个薄膜基材提供刚性性能，丙烯弹性体能够改善共聚聚丙烯的力学性能，使得共聚聚丙烯在提供刚性的同时，基材仍具有一定的韧性，爽滑剂能够改善外层的爽滑开口性能，方便后续涂布的收放卷操作；第二表层中，乙烯-醋酸乙烯共聚物能够提供极性官能团，以使得其与胶层的粘结效果达到预期，高压低密度聚乙烯与乙烯-醋酸乙烯共聚物共混后能够改善薄膜制程上的加工性能。因此，本发明聚烯烃薄膜中的两层材料互相配合，使得聚烯烃薄膜具有较佳的质量稳定性，而且在力学性能上纵横向的各向同性较好，同时与胶的粘结力较强，最重要的是能够达到与PVC膜同样的性能，而且对环境无污染。
本发明提供的聚烯烃薄膜的制备方法，工艺简单，优秀率高，适合工厂化生产。
本发明提供的晶圆裂片用保护膜，具有与上述聚烯烃薄膜相同的优势，在此不再赘述；本发明提供的晶圆裂片用保护膜能够完美地替代目前现有的晶圆裂片用聚氯乙烯基材的保护膜。
本发明提供的晶圆裂片用保护膜的制备方法，工艺简单，优秀率高。
本发明提供的聚烯烃薄膜的应用，能够有效提高晶圆加工后的效果。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明一种实施方式提供的聚烯烃薄膜的制备流程图；
图2为本发明一种实施方式提供的晶圆裂片用保护膜的结构示意图。
图标：1-第一表层；2-第二表层；3-粘结胶层。
具体实施方式
下面将结合实施例对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
根据本发明的第一个方面，提供了一种聚烯烃薄膜，包括层叠设置的第一表层和第二表层；
其中，第一表层主要由以下组分制备而成：
共聚聚丙烯、丙烯基弹性体以及爽滑剂；
第二表层主要由以下组分制备而成：
乙烯-醋酸乙烯共聚物和高压低密度聚乙烯。
在本发明的第一表层中，共聚聚丙烯能够为整个薄膜基材提供刚性性能，丙烯弹性体能够改善共聚聚丙烯的力学性能，使得共聚聚丙烯在提供刚性的同时，基材仍具有一定的韧性，爽滑剂能够改善外层的爽滑开口性能，方便后续涂布的收放卷操作；在本发明的第二表层中，乙烯-醋酸乙烯共聚物能够提供极性官能团，以使得其与胶层的粘结效果达到预期，高压低密度聚乙烯与乙烯-醋酸乙烯共聚物共混后能够改善薄膜制程上的加工性能。因此，本发明提供的具有双层结构的聚烯烃薄膜，两层材料互相配合，使得聚烯烃薄膜具有较佳的质量稳定性，而且在力学性能上纵横向的各向同性较好，同时与胶的粘结力较强，最重要的是能够达到与PVC膜同样的性能，而且对环境无污染。
在一种优选的实施方式中，本发明聚烯烃薄膜的第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯30-75份、聚丙烯基弹性体25-70份以及爽滑剂1-10份。
其中，共聚聚丙烯典型但非限制性的质量份数例如为30份、35份、40份、45份、50份、55份、60份、65份、70份、75份；聚丙烯基弹性体典型但非限制性的质量份数例如为25份、30份、35份、40份、45份、50份、55份、60份、65份、70份；爽滑剂典型但非限制性的质量份数例如为1份、2份、3份、4份、5份、6份、7份、8份、9份、10份，本发明对爽滑剂不作特别限定，可优选为低析出爽滑料，例如可以为广东佛塑低析出爽滑剂ABSL002，但不限于此。
在一种优选的实施方式中，本发明聚烯烃薄膜的第二表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
乙烯-醋酸乙烯共聚物70-90份和高压低密度聚乙烯10-30份。
其中，乙烯-醋酸乙烯共聚物典型但非限制性的质量份数例如为70份、75份、80份、85份、90份；乙烯-醋酸乙烯共聚物中的醋酸乙烯(VA)的含量为5-20％，例如可以为5％、8％、10％、13％、15％、18％、20％，乙烯-醋酸乙烯共聚物中的醋酸乙烯(VA)的含量在此范围内，能够与高压低密度聚乙烯更好地配合以提高材料的质量；高压低密度聚乙烯典型但非限制性的质量份数例如为10份、15份、20份、25份、30份。
本发明所选择的聚烯烃薄膜两层结构材料的原料用量，能够进一步提高聚烯烃薄膜的质量稳定性和在力学性能上纵横向的各向同性，以及与胶的粘结力强度，使聚烯烃薄膜在同样的性能上能够达到甚至是超越PVC膜。
在一种优选的实施方式中，本发明聚烯烃薄膜的第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯65份、丙烯基弹性体30份以及爽滑剂5份；
聚烯烃薄膜的第二表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
乙烯-醋酸乙烯共聚物75份和高压低密度聚乙烯25份。
本发明所限定的聚烯烃薄膜两层结构材料的原料具体用量，能够使得聚烯烃薄膜具有出色的质量稳定性和优异的在力学性能上纵横向的各向同性，以及具有与胶的高粘结强度，使聚烯烃薄膜在同样的性能上能够达到甚至是超越PVC膜。
在一种优选的实施方式中，本发明聚烯烃薄膜的第一表层的厚度为50-100微米，例如可以为50微米、55微米、60微米、70微米、80微米、90微米、100微米，可优选为50-60微米；本发明聚烯烃薄膜的第二表层的厚度为15-75微米，例如可以为15微米、25微米、30微米、35微米、40微米、45微米、50微米、55微米、60微米、65微米、70微米、75微米，可优选为30-40微米。
本发明所限定的聚烯烃薄膜第一表层的厚度和第二表层的厚度，能够进一步提高聚烯烃薄膜的质量稳定性和力学性能上纵横向的各向同性。
根据本发明的第二个方面，提供了一种上述的聚烯烃薄膜的制备方法，包括以下步骤：
混合第一表层的组分，得到第一表层物料；
混合第二表层的组分，得到第二表层物料；
将第一表层物料和第二表层物料流延成型，得到聚烯烃薄膜。
本发明提供的聚烯烃薄膜的制备方法，工艺简单，优秀率高，适合工厂化生产。
一种典型的聚烯烃薄膜的制备方法，工艺流程见图1，包括以下步骤：
分别将第一表层和第二表层的组分物料按比例配好后充分搅拌，然后分别倒入流延膜挤出机的料斗中，通过挤出机塑化、过滤器、分配器后两股熔料汇合进入模头型腔，再由模头狭缝流出至铁辊急冷成型，得到聚烯烃薄膜；
A、制备物料：混合第一表层的组分，得到第一表层物料；混合第二表层的组分，得到第二表层物料；
B、双层共挤流延生产：采用南通三信SDLZ/CPO-1700流延机进行生产，将配好的第一表层物料和第二表层物料分别置于各自的挤出机料斗中，其中挤出机1-3区温度分别设置为195℃，210℃，220℃，其他各区以及模头温度设置在240℃；模头(美国科罗炼模头)为衣架式共挤模头，第一表层物料和第二表层物料的熔体经由模头流延至冷却铁辊上冷却成型，经牵引分别经过钢辊压花(后压花工艺)、电晕装置、收卷机构最后收卷成卷状基材原膜，得到聚烯烃薄膜；
其中，后压花工艺包括：熔体经急冷辊冷却定型后，再次升温35-75℃后通过精密钢辊进行压花处理。一方面，后压花工艺能够使聚烯烃薄膜的第一表层具有雾面纹路，有利于收卷薄膜叠层之间的排气，保证收卷的质量；另一方面，后压花工艺在压花的同时能够起到回火处理消除薄膜内部应力的作用，使得到的聚烯烃薄膜作为基材在后续涂胶的工艺中具有更好的尺寸稳定性。
由此可见，本发明提供的聚烯烃薄膜的制备方法，工艺简单，优秀率高，适合工厂化生产，本发明制备方法得到的聚烯烃薄膜具有质量稳定性高和力学性能上纵横向的各向同性佳的特点。
根据本发明的第三个方面，提供了一种晶圆裂片用保护膜，包括基材层和粘结胶层；其中，基材层包括上述任一项所述的聚烯烃薄膜，粘结胶层层叠设置于聚烯烃薄膜的第二表层上。
本发明提供的晶圆裂片用保护膜，其中作为基材层的聚烯烃薄膜的第一表层为非胶面层，而第二表层为胶面层，粘结胶层层叠设置在聚烯烃薄膜的胶面层上，二者之间的粘结效果较佳。
本发明提供的晶圆裂片用保护膜，具有与上述聚烯烃薄膜相同的优势，在此不再赘述；本发明提供的晶圆裂片用保护膜能够完美地替代目前现有的晶圆裂片用聚氯乙烯基材的保护膜。
在本发明中，粘结胶层的厚度可以为20-60微米，例如可以为20微米、25微米、30微米、35微米、40微米、45微米、50微米、55微米、60微米，优选为20-30微米。
本发明所选择的粘结胶层的厚度，有利于提高晶圆裂片用保护膜的综合性能。
一种典型的晶圆裂片用保护膜，结构如图2所示，包括基材层聚烯烃薄膜(聚烯烃薄膜包括第一表层1、第二表层2)和粘结胶层3；
其中，粘结胶层3层叠设置在聚烯烃薄膜的第二表层2上；
基材层聚烯烃薄膜为双层共挤流延膜结构，聚烯烃薄膜的第一表层1(非胶面层)主要由共聚聚丙烯、聚丙烯基弹性体以及爽滑剂制备而成，具有一定的刚性和较佳的力学性能；聚烯烃薄膜的第二表层2(胶面层)主要由乙烯-醋酸乙烯共聚物与高压低密度聚乙烯制备而成，能够与胶粘剂达到粘结较佳的效果，形成粘结胶层3。
本发明提供的晶圆裂片用保护膜，质量稳定性高，在力学性能上纵横向的各向同性较佳，在同样的性能上能够达到甚至是超越PVC膜，因此能够完美地替代目前现有的晶圆裂片用聚氯乙烯基材的保护膜。
根据本发明的第四个方面，提供了一种上述任一项所述的晶圆裂片用保护膜的制备方法，包括以下步骤：
将粘结胶涂覆于聚烯烃薄膜的第二表层上，得到晶圆裂片用保护膜。
本发明提供的晶圆裂片用保护膜的制备方法，工艺简单，优秀率高，适合工厂化生产。
一种典型的晶圆裂片用保护膜的制备方法，包括以下步骤：
使用单面离型PET膜做转移涂布，通过涂覆工艺在聚烯烃薄膜的第二表层上涂覆填充粘结层，形成粘结胶层，得到晶圆裂片用保护膜。
本发明提供的晶圆裂片用保护膜的制备方法，工艺简单，易于操作，而且优秀率高。
根据本发明的第五个方面，提供了一种上述任一项所述的聚烯烃薄膜在晶圆或滤光片裂片中的应用，能够有效提高晶圆加工后的效果。
下面通过实施例对本发明作进一步说明。如无特别说明，实施例中的材料为根据现有方法制备而得，或直接从市场上购得。
实施例1
一种聚烯烃薄膜，包括层叠设置的第一表层和第二表层；
其中，第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯65份、聚丙烯基弹性体30份以及爽滑剂5份；共聚聚丙烯为上海石化共聚聚丙烯F280B，聚丙烯基弹性体为埃克森化学弹性体3980FL，爽滑剂为广东佛塑低析出爽滑剂ABSL002；
第二表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
乙烯-醋酸乙烯共聚物75份和高压低密度聚乙烯25份；乙烯-醋酸乙烯共聚物为韩华乙烯-醋酸乙烯共聚物1826，高压低密度聚乙烯为杜邦化学高压低密度聚乙烯450E。
实施例2
一种聚烯烃薄膜，包括层叠设置的第一表层和第二表层；
其中，第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯65份、聚丙烯基弹性体30份以及爽滑剂5份；共聚聚丙烯为法国道达尔TF430，聚丙烯基弹性体为埃克森化学弹性体3980FL，爽滑剂为广东佛塑低析出爽滑剂ABSL002；
第二表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
乙烯-醋酸乙烯共聚物75份和高压低密度聚乙烯25份；乙烯-醋酸乙烯共聚物为韩华乙烯-醋酸乙烯共聚物1826，高压低密度聚乙烯为江苏扬子巴斯夫茂高压低密度聚乙烯2426K。
实施例3
与实施例1相比，本实施例的聚烯烃薄膜第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯(上海石化F280B)75份、聚丙烯基弹性体(埃克森化学弹性体3980FL)25份以及爽滑剂(广东佛塑低析出ABSL002)3份。
其余均与实施例1相同，得到聚烯烃薄膜。
实施例4
与实施例1相比，本实施例的聚烯烃薄膜第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯(上海石化F280B)50份、聚丙烯基弹性体(埃克森化学弹性体3980FL)50份以及爽滑剂(广东佛塑低析出ABSL002)3份；
其余均与实施例1相同，得到聚烯烃薄膜。
实施例5
与实施例1相比，本实施例的聚烯烃薄膜第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯(上海石化F280B)30份、聚丙烯基弹性体(埃克森化学弹性体3980FL)70份以及爽滑剂(广东佛塑低析出ABSL002)3份；
其余均与实施例1相同，得到聚烯烃薄膜。
实施例6
与实施例1相比，本实施例的聚烯烃薄膜第二表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
乙烯-醋酸乙烯共聚物(韩华1826)90份和高压低密度聚乙烯(杜邦化学450E)10份；
其余均与实施例1相同，得到聚烯烃薄膜。
实施例7
与实施例1相比，本实施例的聚烯烃薄膜第二表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
乙烯-醋酸乙烯共聚物(韩华1826)70份和高压低密度聚乙烯(杜邦化学450E)30份；
其余均与实施例1相同，得到聚烯烃薄膜。
实施例8
本实施例为实施例1-7的聚烯烃薄膜的制备方法，包括以下步骤：
A、制备物料：混合第一表层的组分，得到第一表层物料；混合第二表层的组分，得到第二表层物料；
B、双层共挤流延生产：采用南通三信SDLZ/CPO-1700流延机进行生产，将配好的第一表层物料和第二表层物料分别置于各自的挤出机料斗中，其中挤出机1-3区温度分别设置为195℃，210℃，220℃，其他各区以及模头温度设置在240℃；模头(美国科罗炼模头)为衣架式共挤模头，第一表层物料和第二表层物料的熔体经由模头流延至冷却铁辊上冷却成型，经牵引分别经过钢辊压花(后压花工艺)、电晕装置、收卷机构最后收卷成卷状基材原膜，得到聚烯烃薄膜；聚烯烃薄膜的第一表层厚度为50微米，第二表层厚度为40微米；
后压花工艺包括：
物料的熔体经急冷辊冷却定型后，再次升温35-75℃后通过精密钢辊进行压花处理。一方面，后压花工艺能够使聚烯烃薄膜的第一表层具有雾面纹路，有利于收卷薄膜叠层之间的排气，保证收卷的质量；另一方面，后压花工艺在压花的同时能够起到回火处理消除薄膜内部应力的作用，使得到的聚烯烃薄膜作为基材在后续涂胶的工艺中具有更好的尺寸稳定性。
实施例9-15
实施例9-15提供的是晶圆裂片用保护膜，由基材层和粘结胶层层叠而成；
实施例9-15的晶圆裂片用保护膜的基材层分别为实施例1-7提供的聚烯烃薄膜，粘结胶层层叠设置于聚烯烃薄膜的第二表层上，粘结胶层的厚度为20微米。
实施例16
本实施例为实施例9-15的晶圆裂片用保护膜的制备方法，包括以下步骤：
使用0.05mm厚度的单面离型PET膜做转移涂布，采用太仓广盛高精密涂布机通过涂覆工艺在聚烯烃薄膜的第二表层上涂覆填充粘结层(粘结层的胶水为广州汇盛科技有限公司生产的HS-1060)，涂布干胶厚度为20微米，形成粘结胶层，得到晶圆裂片用保护膜。
对比例1
与实施例1的聚烯烃薄膜相比，本对比例聚烯烃薄膜的第一表层的制备原料中不含有共聚聚丙烯和聚丙烯基弹性体，第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
高密度聚乙烯95份以及爽滑剂5份；高密度聚乙烯为独山子石化HDPE8008，爽滑剂为广东佛塑低析出爽滑剂ABSL002；
第二表层同实施例1，制备方法同实施例1，得到聚烯烃薄膜。
对比例2
与实施例1的聚烯烃薄膜相比，本对比例聚烯烃薄膜的第一表层的制备原料中以等量的高密度聚乙烯替换共聚聚丙烯，第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
高密度聚乙烯65份、聚丙烯基弹性体30份以及爽滑剂5份；高密度聚乙烯为独山子石化HDPE8008，聚丙烯基弹性体为埃克森化学弹性体3980FL，爽滑剂为广东佛塑低析出爽滑剂ABSL002；
第二表层同实施例1，制备方法同实施例1，得到聚烯烃薄膜。
对比例3
与实施例1的聚烯烃薄膜相比，本对比例聚烯烃薄膜的第一表层的制备原料中不含有聚丙烯基弹性体，第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯95份和爽滑剂5份；共聚聚丙烯为上海石化共聚聚丙烯F280B，爽滑剂为广东佛塑低析出爽滑剂ABSL002；
第二表层同实施例1，制备方法同实施例1，得到聚烯烃薄膜。
对比例4
与实施例1的聚烯烃薄膜相比，本对比例聚烯烃薄膜的第一表层的制备原料中以等量的乙烯基弹性体替换聚丙烯基弹性体，第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯65份、乙烯基弹性体30份以及爽滑剂5份；共聚聚丙烯为上海石化共聚聚丙烯F280B，乙烯基弹性体为美国陶氏7387，爽滑剂为广东佛塑低析出爽滑剂ABSL002；
第二表层同实施例1，制备方法同实施例1，得到聚烯烃薄膜。
对比例5
与实施例1的聚烯烃薄膜相比，本对比例聚烯烃薄膜的第一表层的制备原料中不含有爽滑剂，第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯65份和聚丙烯基弹性体35份；共聚聚丙烯为上海石化共聚聚丙烯F280B，聚丙烯基弹性体为埃克森化学弹性体3980FL；
第二表层同实施例1，制备方法同实施例1，得到聚烯烃薄膜。
对比例6
与实施例1的聚烯烃薄膜相比，本对比例聚烯烃薄膜的第二表层的制备原料中不含有乙烯-醋酸乙烯共聚物，具体的：
第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯65份、聚丙烯基弹性体30份以及爽滑剂5份；共聚聚丙烯为上海石化共聚聚丙烯F280B，聚丙烯基弹性体为埃克森化学弹性体3980FL，爽滑剂为广东佛塑低析出爽滑剂ABSL002；
第二表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
高压低密度聚乙烯100份；高压低密度聚乙烯为杜邦化学高压低密度聚乙烯450E；
制备方法同实施例1，得到聚烯烃薄膜。
对比例7
与实施例1的聚烯烃薄膜相比，本对比例聚烯烃薄膜的第二表层的制备原料中以等量的乙烯基弹性体替换乙烯-醋酸乙烯共聚物，具体的：
第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯65份、聚丙烯基弹性体30份以及爽滑剂5份；共聚聚丙烯为上海石化共聚聚丙烯F280B，聚丙烯基弹性体为埃克森化学弹性体3980FL，爽滑剂为广东佛塑低析出爽滑剂ABSL002；
第二表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
乙烯基弹性体75份和高压低密度聚乙烯25份；乙烯基弹性体为美国杜邦7387，高压低密度聚乙烯为杜邦化学高压低密度聚乙烯450E；
制备方法同实施例1，得到聚烯烃薄膜。
对比例8
与实施例1的聚烯烃薄膜相比，本对比例聚烯烃薄膜的第二表层的制备原料中不含有高压低密度聚乙烯，具体的：
第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯65份、聚丙烯基弹性体30份以及爽滑剂5份；共聚聚丙烯为上海石化共聚聚丙烯F280B，聚丙烯基弹性体为埃克森化学弹性体3980FL，爽滑剂为广东佛塑低析出爽滑剂ABSL002；
第二表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
乙烯-醋酸乙烯共聚物100份；乙烯-醋酸乙烯共聚物为韩华乙烯-醋酸乙烯共聚物1826；
制备方法同实施例1，得到聚烯烃薄膜。
对比例9
与实施例1的聚烯烃薄膜相比，本对比例聚烯烃薄膜的第二表层的制备原料中以等量的低压高密度聚乙烯替换高压低密度聚乙烯，以等量的乙烯基弹性体替换乙烯-醋酸乙烯共聚物，具体的：
第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯65份、聚丙烯基弹性体30份以及爽滑剂5份；共聚聚丙烯为上海石化共聚聚丙烯F280B，聚丙烯基弹性体为埃克森化学弹性体3980FL，爽滑剂为广东佛塑低析出爽滑剂ABSL002；
第二表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
乙烯基弹性体75份和低压高密度聚乙烯25份；乙烯基弹性体为美国杜邦7387，低压高密度聚乙烯为独山子石化HDPE8008；
制备方法同实施例1，得到聚烯烃薄膜。
对比例10
与实施例1的聚烯烃薄膜相比，本对比例聚烯烃薄膜仅为第二表层，不含有第一表层，第二表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
乙烯基弹性体75份和高压低密度聚乙烯25份；乙烯基弹性体为美国杜邦7387，高压低密度聚乙烯为杜邦化学高压低密度聚乙烯450E；
制备方法同实施例1，得到聚烯烃薄膜。
对比例11-20
对比例11-20提供的是晶圆裂片用保护膜，由基材层和粘结胶层层叠而成；
对比例11-20的晶圆裂片用保护膜的基材层分别为对比例1-10提供的聚烯烃薄膜，粘结胶层层叠设置于聚烯烃薄膜的第二表层上，粘结胶层的厚度为20微米，制备方法同实施例16，得到晶圆裂片用保护膜。
对比例21
现有市场上的晶圆裂片用PVC保护膜东旭TH95C。
对比例22
现有市场上的晶圆裂片用PVC保护膜东旭TH100C。
试验例
对实施例9-15和对比例16-22提供的晶圆裂片用保护膜进行性能测试，测试标准和方法如下，结果见表1。
百格刀测试标准：ASTM D3359；
测试方法：在裂片保护膜涂胶工艺完成后，取一片保护膜用百格刀作划痕处理，同时采用同款未作划痕处理的胶带与此划痕胶带对粘，然后按标准ASTM D3359进行评定。
裂片用保护膜评价测试：下述条件下，在12英寸Si镜面晶圆(厚度：25μm)的单面粘贴裂片用保护膜：
1)从背面研磨带的与粘贴面相反一侧的面进行切割，以得到10.5mm×10.5mm的小片593个；
2)通过激光隐形切割法对晶圆进行切割，切割深度15μm；
3)将切割好的晶圆放入裂片机进行裂片；
4)对裂片好的晶圆进行飞料统计a(％)；纵向横向切割道间距在显微镜下测试和读取树脂Lx(横向切割道间距)、Ly(纵向切割道间距)。
表1
Figure BDA0003592397860000181
由表1的数据可知，本发明实施例9-10提供的晶圆裂片用保护膜在摩擦系数和飞料百分比上均能够与PVC裂片用保护膜(对比例21-22)达到同等的水平，而在纵横向均匀性和百格刀测试上均优于PVC裂片用保护膜(对比例21-22)的性能；同时，本发明实施例9-15提供的晶圆裂片用保护膜的综合性能也是优于其他对比例提供的晶圆裂片用保护膜的。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种聚烯烃薄膜，其特征在于，包括层叠设置的第一表层和第二表层；
所述第一表层主要由以下组分制备而成：
共聚聚丙烯、聚丙烯基弹性体以及爽滑剂；
所述第二表层主要由以下组分制备而成：
乙烯-醋酸乙烯共聚物和高压低密度聚乙烯。
2.根据权利要求1所述的聚烯烃薄膜，其特征在于，所述第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯30-75份、聚丙烯基弹性体25-70份以及爽滑剂1-10份。
3.根据权利要求1所述的聚烯烃薄膜，其特征在于，所述第二表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
乙烯-醋酸乙烯共聚物70-90份和高压低密度聚乙烯10-30份。
4.根据权利要求1-3任一项所述的聚烯烃薄膜，其特征在于，所述第一表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
共聚聚丙烯65份、聚丙烯基弹性体30份以及爽滑剂5份；
优选地，所述第二表层主要由按质量份数计的以下组分制备而成：
乙烯-醋酸乙烯共聚物75份和高压低密度聚乙烯25份。
5.一种权利要求1-3任一项所述的聚烯烃薄膜，其特征在于，所述第一表层的厚度为50-100微米，优选为50-60微米；
优选地，所述第二表层的厚度为15-75微米，优选为30-40微米。
6.一种权利要求1-5任一项所述的聚烯烃薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
混合第一表层的组分，得到第一表层物料；
混合第二表层的组分，得到第二表层物料；
将第一表层物料和第二表层物料流延成型，得到所述聚烯烃薄膜。
7.一种晶圆裂片用保护膜，其特征在于，包括基材层和粘结胶层；
所述基材层的材料包括权利要求1-5任一项所述的聚烯烃薄膜；
其中，所述粘结胶层设置于所述聚烯烃薄膜的第二表层上。
8.根据权利要求7所述的晶圆裂片用保护膜，其特征在于，所述粘结胶层的厚度为20-60微米，优选为20-30微米。
9.一种权利要求7或8所述的晶圆裂片用保护膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
将粘结胶涂覆于所述聚烯烃薄膜的第二表层上，得到所述晶圆裂片用保护膜。
10.一种权利要求1-5任一项所述的聚烯烃薄膜在晶圆或滤光片裂片中的应用。
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