CN114682501B - 分选机装置及控制方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种分选机装置及控制方法，包括机架台、第一图像检测装置、第二图像检测装置、翻转台以及吹气装置；机架台上设有工件上料工位，搬运机构对处于工件上料工位的翻转盘进行上工件在作直线往返移动地过程中，经过工件上料工位、吹气装置的下方及第二图像检测装置的下方；第一图像检测装置作直线往返移动地设置在机架台上，向上检测搬运机构搬运过来的工件的背面图像，第一方向与第二方向垂直设置；第二图像检测装置向下检测吸附在翻转台上的工件的正面图像；吹气装置向下对吸附在翻转台上的工件进行除水干燥。

Description

分选机装置及控制方法

技术领域

本发明涉及划片机切割技术领域，尤其是涉及一种分选机装置及控制方法。

背景技术

硅片作为半导体领域最基础的材料，在其上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。在目前的硅片生产过程中，需要先将硅片切割，然后对硅片清洗，清洗完成后需要对硅片进行多项检测，例如可以包括表面脏污、厚度、尺寸和隐裂的检测。

目前的硅片分选机包括两个分别检测工件正面、背面的图像检测装置、以及吹气除水装置、两个图像检测装置、吹气除水装置均设置在翻转台的下方，由于往翻转台上放工件时，翻转台需要翻转朝上吸附工件，而在对工件进行检测时，需要翻转向下，以便于图像检测装置向上采集工件的正面图像，因此，在工作过程中，翻转台需要进行多次翻转，不仅控制难度大，而且较为耗能，生产效率低。而且两个图像检测装置、吹气除水装置并排布置在翻转台下方，导致整个分选机装置的长度变得冗长。此外，吹气除水装置在翻转台下方进行吹气除水，也会导致除水集水的困难，也有水飞溅到图像检测装置上影响图像检测的风险。

发明内容

本发明的目的在于提供一种分选机装置及控制方法，以解决了现有技术中存在的分选机的翻转台翻转频繁，控制难度大、耗能且生产效率低，以及翻转台上的除水集水困难的问题的技术问题。

进一步解决现有技术中存在的分选机长度冗长、整机结构空间体积过大的技术问题，本发明提供的一种分选机装置，包括机架台、第一图像检测装置、第二图像检测装置、翻转台以及吹气装置；

其中，所述机架台上设有工件上料工位，搬运机构对处于所述工件上料工位的翻转盘进行上工件，所述翻转台可沿第一方向作直线往返移动地设置在所述机架台上，且在作直线往返移动地过程中，经过所述工件上料工位、所述吹气装置的下方及所述第二图像检测的下方；

所述第一图像检测装置可沿第二方向作直线往返移动地设置在所述机架台上，向上检测搬运机构搬运过来的工件的背面图像，所述第一方向与所述第二方向垂直设置；

所述第二图像检测装置向下检测吸附在所述翻转台上的工件的正面图像，且所述第二图像检测装置可沿所述第二方向作直线往返移动地设置在所述机架台上；

所述吹气装置向下对吸附在所述翻转台上的工件进行除水干燥。

根据本发明实施例所提供的分选机装置，所述工件上料工位处于所述第一图像检测装置的移动方向的正上方，所述第一图像检测装置对处于所述工件上料工位上方的搬运机构上的工件进行拍摄。

根据本发明实施例所提供的分选机装置，所述吹气装置设于所述工件上料工位的一侧，所述工件上料工位的另一侧上设有集水槽，所述吹气装置能够将处于所述工件上料工位处的所述翻转台上的工件上的水气吹气所述集水槽内。

根据本发明实施例所提供的分选机装置，所述第二图像检测装置设置于所述吹气装置远离所述工件上料工位的一侧。

根据本发明实施例所提供的分选机装置，所述机架台包括主机架台和辅机架台，所述辅机架台位于所述主机架台的下方，所述第二图像检测装置、翻转台以及吹气装置设置在所述主机架台上，所述辅机架台上设有第一移动模组，所述第一图像检测装置设置在所述第一移动模组的第一端上，能够在所述第一移动模组的驱动下沿所述第二方向作直线往返移动。

根据本发明实施例所提供的分选机装置，所述第一移动模组的第一端伸出所述主机架台外侧，形成第一图像检测装置的初始位置，第一图像检测装置在未进行采集工作时，处于所述初始位置。

根据本发明实施例所提供的分选机装置，所述主机架台包括相对设置的第一安装架结构、第二安装架结构，所述第一安装架结构包括至少两个第一支柱、以及设置在所述第一支柱上的第一横板；所述第一安装架结构包括至少两个第二支柱、以及设置在所述第二支柱上的第二横板，所述第二横板高于所述第一横板设置，所述第一移动模组的第一端由所述第二横板的下方伸出所述第二横板外侧，所述第一横板上设有驱动用于安装所述翻转台的翻转台安装座移动的第二移动模组，所述第二横板上设有导轨；所述主机架台还包括第一连接板和第一连接结构，所述第一连接板的上端与翻转台安装座的第一端连接，下端与所述第二移动模组连接，所述第一连接结构的下端与所述翻转台安装座的第二端连接，上端设有导轨槽，通过所述导轨槽可滑动地连接在所述导轨上。

根据本发明实施例所提供的分选机装置，所述吹气装置可沿第一方向作直线往返移动地设置在所述机架台上。

根据本发明实施例所提供的分选机装置，所述吹气装置包括气缸和喷嘴组件，所述喷嘴组件包括若干个成排设置的喷嘴，所述喷嘴的出风口朝向位于所述翻转台上的所述工件；所述气缸驱动所述喷嘴组件在所述机架台上沿第一方向移动。

根据本发明实施例所提供的分选机装置，所述喷嘴组件包括腔体，所述腔体的一侧成排设有所述喷嘴，所述喷嘴均与所述腔体连通，所述腔体的另一侧上还设有若干进气口；

和/或

所述喷嘴的出风口的角度根据所述工件的位置进行调节。

本发明实施例还提供一种分选机装置的控制方法，包括：

控制吸附有工件的搬运机构移动至所述工件上料工位的上方，控制第一图像检测装置移动至所述工件上料工位下方，并向上采集所述搬运机构上的工件的背面图像；

控制搬运机构将工件转移到翻转台上进行吸附固定；

控制吹气装置从上往下对所述翻转台上的工件进行吹气除水干燥处理；

控制所述翻转台将干燥除水后的所述工件转移到所述第二图像检测装置下方进行检测，控制所述第二图像检测装置向下采集所述工件的正面图像；

控制所述翻转台翻转所述工件后，将所述工件放到下一个工位上。

根据本发明实施例所提供的分选方法，所述控制搬运机构将工件转移到翻转台上进行吸附的步骤前还包括：控制采集完毕的第一图像检测装置移动至初始位置，控制所述翻转台移动至所述工件上料工位。

本发明提供的一种分选机装置及方法，通过重新布置第一图像检测装置、第二图像检测装置、翻转台以及吹气装置之间的相对位置，将所述第一图像检测装置设置所述翻转台的下方，第一图像检测装置直接从翻转台下方，进行工件背面图像的检测。将所述第二图像检测装置和所述吹气装置设置在所述翻转台上方，所述翻转台可以往返的移动到所述吹气装置下方进行吹气除水操作，所述吹气装置从上往下进行吹气可以有效地对工件进行除水干燥，而且相比于从下往上吹水，可以更容易将水吹到位于分选机下方的集水槽内，也会更容易的将工件表面的水除掉。所述第一图像检测装置可以直接检测所述工件背面图像，所述第二图像检测装置则可以直接检测所述工件的正面图像，在检测过程中所述翻转台不需要进行翻转，避免了翻转台的多次翻转，且本发明提供的分选机装置控制简单，能耗也会降低，生产效率也有所提高。所述第一图像检测装置和所述第二图像检测装置可以沿工件的方向进行往返运动，可以快速地在图像检测装置的视野范围内对工件进行检测，大大的提高了图像检测的工作效率。本发明提供的分选机装置各个部件之间排布紧凑，减小了整机的空间体积，缩短了整个分选机的长度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的分选机装置结构示意图 ；

图2为本发明实施例提供的移动模组结构示意图；

图3为本发明实施例提供的第一图像检测装置结构示意图；

图4为本发明实施例提供的第一图像检测装置工作位置示意图；

图5为本发明实施例提供的主机架台第一安装架结构示意图；

图6为本发明实施例提供的主机架台第二安装架结构示意图；

图7为本发明实施例提供的翻转台结构示意图；

图8为本发明实施例提供的第二图像检测装置结构示意图；

图9为本发明实施例提供的吹气装置结构示意图。

图标：10-机架台；20-第一图像检测装置；30-第二图像检测装置；40-翻转台；50-吹气装置；60-移动模组；601-框架体；602-丝杆；603-滑块；604-电机；110-主机架台；120-辅机架台；70-集水槽；610-第一移动模组；620-第二移动模组；630-第三移动模组；201-第一相机；202-第一镜头；203-第一光源；204-第一相机罩；111-第一安装架结构；112-第二安装架结构；1111-第一支柱；401-翻转气缸；402-翻转轴；403-翻转盘；113-第三安装架结构；301-第二相机；302-第二镜头；303-第二光源；304-第二相机罩；501-气缸；502-喷嘴组件；5021-喷嘴；114-第四安装架结构；1112-第一横板；1121-第二支柱；1122-第二横板；404-翻转台安装座；1123-第一连接板；1124-第一连接结构。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本申请的不同结构。为了简化本申请的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本申请。此外，本申请可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本申请提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

如图1-图8所示，本发明实施例提供了一种分选机装置，包括机架台10、第一图像检测装置20、第二图像检测装置30、翻转台40以及吹气装置50；具体地，所述机架台10包括若干承重支架、设置在所述承重支架上的承重框架以及拖链，拖链用于承载电气线路、气管以及水管等线路。

其中，所述机架台10上设有工件上料工位，搬运机构对处于所述工件上料工位的翻转盘403进行上工件（工件上料工位可以是翻转台40的初始位置或者初始位置附近），所述翻转台40可沿第一方向（即图中X坐标轴方向）作直线往返移动地设置在所述机架台10上，且在作直线往返移动地过程中，经过所述工件上料工位、所述吹气装置50的下方以及所述第二图像检测装置30的下方。

所述第一图像检测装置20可沿第二方向（即图中Y坐标轴方向）作直线往返移动地设置在所述机架台10上，可直接向上检测搬运机构搬运过来的工件的背面图像，所述第一方向与所述第二方向垂直设置；且所述第一图像检测装置20设置在所述翻转台40初始位置的下方，当翻转台40移动一段距离给第一图像检测装置20让出工作空间之后所述第一图像检测装置20可以直接检测所述工件背面的图像。

所述第二图像检测装置30向下检测吸附在所述翻转台40上的工件的正面图像，且所述第二图像检测装置30可沿所述第二方向作直线往返移动地设置在所述机架台10上。

所述吹气装置50向下对吸附在所述翻转台40上的工件进行除水干燥。

具体地，如图2所示，在所述机架台10上设置有若干个移动模组60，所述移动模组60包括用于承载支撑的框架体601，设置在所述框架体601内的丝杆602和滑块603，所述滑块603可以在所述丝杆602上进行往复运动，以及给所述滑块603提供动力的电机604。

如图1、图3所示，所述工件上料工位处于所述第一图像检测装置20的移动路径的正上方，当翻转台40往第一方向移动一段距离给第一图像检测装置20让出工作空间之后，所述第一图像检测装置20即可直接对处于所述工件上料工位上方的搬运机构上的工件进行拍摄。具体地，搬运机构将待检测的工件直接搬运至所述工件上料工位处，此时所述工件的背面暴露出来，此时所述第一图像检测装置20对所述工件的背面进行检测。

所述吹气装置50设于所述工件上料工位的一侧，所述工件上料工位的另一侧上设有集水槽70，所述吹气装置50能够将处于所述工件上料工位处的所述翻转台40上的工件上的水气吹向所述集水槽70内。所述吹气装置50从上往下对所述翻转台40进行吹气除水，可以更有效的去除工件表面的水，而且更容易将水吹向所述集水槽70。

所述第二图像检测装置30设置于所述吹气装置50远离所述工件上料工位的一侧。所述第二图像检测装置30远离所述工件上料工位，可以避免所述吹气装置50吹气除水时水滴飞溅到所述第二图像检测装置30上，从而避免影响所述第二图像检测装置30的检测效果。

所述机架台10包括主机架台110和辅机架台120，所述辅机架台120位于所述主机架台110的下方，且低于所述翻转台40，所述第二图像检测装置30、翻转台40以及吹气装置50设置在所述主机架台110上，所述辅机架台120上设有第一移动模组610，所述第一移动模组610的第一端伸出所述主机架台110外侧，所述第一图像检测装置20设置在所述第一移动模组610的第一端上，能够在所述第一移动模组610的驱动下沿所述第二方向作直线往返移动。

所述第一图像检测装置20设置在所述机架台10的外侧，形成第一图像检测装置20的初始位置，第一图像检测装置20在未进行采集工作时，处于所述初始位置。所述第一图像检测装置20初始位置设置在外侧，既可以减小所述辅机架台120的高度，减小所述机架台10的内部空间；而且第一图像检测装置20移动到初始位置，还有能够防止吹气装置50把水吹到第一图像检测装置20上，影响拍摄的效果。所述第一图像检测装置20可在所述机架台10的外侧向所述机架台10内部沿第二方向作直线往返运动。具体地，支撑所述第一移动模组610的承重支架高度略低于或等于支撑所述机架台10的承重支架，使得所述第一图像检测装置20沿第二方向时始终位于所述翻转台40的下方。所述第一图像检测装置20包括第一相机201、第一镜头202、第一光源203以及第一相机罩204，所述第一图像检测装置20整体设置在所述第一移动模组610上。所述第一光源203设置在所述第一相机罩204的顶端，所述第一相机201设置在所述第一相机罩204的底端，所述第一相机罩204的两侧开设有使所述第一移动模组610通过的开口，所述第一镜头202设置在所述第一相机201的上方。

如图4所示，在所述第一图像检测装置20进行图像检测时，搬运机构将待检测的工件搬运到所述翻转台40上方，所述翻转台40往第一方向移动一段距离给所述第一图像检测装置20让出工作空间，所述第一图像检测装置20沿所述第一移动模组610在第二方向做直线运动，在所述第一镜头202的视野范围内每次拍摄可以拍摄五排的工件，每次拍摄的工件数量可以根据所述第一镜头202的规格进行调整更换，拍摄完后所述第一图像检测装置20沿第二方向继续运动，直至拍摄完所有所述工件。所述第一相机201和所述第一镜头202用于对通过所述第一光源203上方的所述工件的背面进行图像取样，并根据得到的图像确定所述工件背面字符是否合格。所述第一图像检测装置20主要作用在于检测所述工件背面有无字符，字符是否存在偏移、重印、倾斜以及残缺等问题。所述第一图像检测装置20每次可以对至少五排工件进行拍摄检测，相对于单次吸取一个工件进行检测，大大地提高了检测效率，节约了大量工作时间。

如图5、图6所示，在所述主机架台110上，包括相对设置的第一安装架结构111、第二安装架结构112，且所述第一安装架结构111、第二安装架结构112的长度方向沿所述第一方向延伸。所述第一安装架结构111包括至少两个第一支柱1111、以及设置在所述第一支柱1111上的第一横板1112；所述第二安装架结构112包括至少两个第二支柱1121、以及设置在所述第二支柱1121上的第二横板1122。所述第二横板1122高于所述第一横板1112设置，所述第一移动模组610的第一端位于所述第二横板1122的下方伸出所述第二横板1122外侧，所述第一横板1112上设有驱动翻转台安装座404移动的第二移动模组620，翻转台40安装在翻转台安装座404上。所述第二横板1122上设有导轨。主机架台110上还包括第一连接板1123和第一连接结构1124，所述第一连接板1123的上端与翻转台安装座404的第一端连接，下端与所述第二移动模组620连接，所述第一连接结构1124的下端与所述翻转台安装座404的第二端连接，所述第一连接结构1124的上端设有导轨槽，通过所述导轨槽可滑动地连接在所述导轨上。

所述第一安装架结构111的高度低于所述第二安装架结构112的高度，所述分选机的各个部件主要是分布在所述第一安装架结构111和所述第二安装架结构112之间，具有高度差的所述第一安装架结构111和所述第二安装架结构112可以提供更多的安装空间，进一步提高了各个部件的空间利用率，有效减少了整机的体积空间。且所述第一安装架结构111的所述第一支柱1111设置为重量比较重的大脚座支撑柱，可以避免所述分选机上的部件移动速度过快导致所述分选机支撑不稳定的问题。

如图7所示，所述翻转台40横跨在所述第一安装架结构111和所述第二安装架结构112上，在所述第一安装架结构111和所述第二安装架结构112上设有第二移动模组620，所述翻转台40在所述第二移动模组620的驱动下沿所述第一方向作直线往返移动，所述翻转台40的一侧设置翻转气缸401驱动所述翻转台40进行翻转。具体地，所述翻转台40的主要作用是承载工件，并将所述工件进行上下翻转。所述翻转台40包括：翻转气缸401、翻转轴402以及翻转盘403。翻转台安装座404设置在所述第二移动模组620上，所述翻转台40设置在所述翻转台安装座404上，所述第二移动模组620带动所述翻转台安装座404移动。翻转气缸401连接所述第一连接结构1124。在所述翻转盘403的两端均设置有所述翻转轴402，所述工件通过真空吸盘吸附设置在所述翻转盘403上，所述翻转气缸401驱动所述翻转轴402，带动所述翻转盘403进行翻转。

如图8所示，所述主机架台110还包括第三安装架结构113，所述第三安装架结构113的两端分别与所述第一安装架结构111、第二安装架结构112连接，所述第三安装架结构113上设有第三移动模组630，所述第二图像检测装置30设置在所述第三移动模组630的一端上，能够在所述第三移动模组630的驱动下沿所述第二方向作直线往返移动。

具体地，所述第二图像检测装置30包括第二相机301、第二镜头302、第二光源303以及第二相机罩304，所述第二图像检测装置30整体设置在所述第三移动模组630上。所述第二光源303设置在所述第二相机罩304的底端，所述第二相机301设置在所述第二相机罩304的顶端，所述第二相机罩304的两侧开设有使所述第三移动模组630通过的开口，所述第二镜头302设置在所述第二相机301的下方。

在所述第二图像检测装置30进行图像检测时，所述翻转台40沿所述第一方向移动到所述第二图像检测装置30下方，所述第二图像检测装置30沿所述第三移动模组630在第二方向做直线运动。同样地，所述第二图像检测装置30在所述第二镜头302的视野范围内每次拍摄可以拍摄五排的工件，每次拍摄的工件数量可以根据所述第二镜头302的规格进行调整更换，拍摄完后所述第二图像检测装置30沿第二方向继续运动，直至拍摄完所有所述工件。所述第二相机301和所述第二镜头302用于对通过所述第二光源303下方的所述工件的正面进行图像取样，并根据得到的图像确定所述工件是否合格。判断所述工件是否合格包括判断所述工件的正面的整体尺寸，工件的管脚数量、尺寸、间距、是否产生偏移，工件的切割道是否达到标准，以及工件是否存在划伤、脏污等问题。所述第二图像检测装置30每次拍摄检测可以检测至少五排工件，相对于单次吸取一个工件进行检测，大大地提高了检测效率，节约了大量工作时间。

如图9所示，所述吹气装置50在所述机架台10的中部，所述吹气装置50的第一侧为所述翻转盘403的工件上料位，所述吹气装置50的第二侧设置有所述第二图像检测装置30。所述吹气装置50可沿第一方向作直线往返移动地设置在所述机架台10上。

具体地，所述吹气装置50包括气缸501和喷嘴组件502，所述喷嘴组件502包括若干个成排设置的喷嘴5021，所述喷嘴5021的出风口朝向位于所述翻转台40上的所述工件；所述气缸501驱动所述喷嘴组件502在所述机架台10上沿第一方向移动。所述吹气装置50主要用于将所述工件表面上的水去除并干燥所述工件表面，在所述气缸501的带动下沿第一方向作直线往返运动，所述喷嘴组件502具有一排大排量喷嘴5021对着所述工件反复吹气来保证将所述工件表面上的水除净。所述喷嘴组件502包括腔体，所述腔体的一侧成排设有所述喷嘴5021，所述喷嘴5021均与所述腔体连通，所述腔体的另一侧上还设有若干进气口，进气口连接供气装置给所述吹气装置50提供气体。所述喷嘴5021的出风口的角度根据所述工件的位置进行调节，且所述喷嘴组件502由所述翻转台40上方从上往下进行吹气除水，相比于现有技术中从下往上吹气的方式，本实施例中的吹气装置50除水更完全，更方便，以及更容易将水吹到位于主机架台110前方的集水槽70内。

具体地，所述主机架台110还包括第四安装架结构114，所述第四安装架结构114的两端分别与所述第一安装架结构111、第二安装架结构112连接，所述吹气装置50设置在所述第四安装架结构114上。所述第四安装架结构114为“L”型弯折结构，所述“L”型弯折结构的横边的一端连接在所述第二横板1122上，竖边的一端连接在所述第一横板1112上，所述气缸501沿第一方向设置在所述“L”型弯折结构的横边上，所述喷嘴组件502沿第二方向设置在所述第四安装架结构114上。所述“L”型弯折结构可以保证所述吹气装置50位于所述翻转台40的上方。所述吹气装置50中间位置中空设置，所述中空面积大于所述翻转台40的面积。所述吹气装置50中空设置既可以观察所述翻转台40在所述机架台10上进行往复运动，还可以减少整机重量。同样，第二图像检测装置30通过第三移动模组630可沿第二方向移动地设置在另一个“L”型弯折结构上，在此不再多述。

本发明提供的一种分选机装置，通过重新布置第一图像检测装置20、第二图像检测装置30、翻转台40以及吹气装置50之间的相对位置，将所述第一图像检测装置20设置所述翻转台40的下方，第一图像检测装置20直接从翻转台40下方（非正下方）,对搬运结构上的工件背面进行图像的检测。将所述第二图像检测装置30和所述吹气装置50设置在所述翻转台40上方，所述翻转台40可以往返得移动到所述吹气装置50下方进行吹气除水操作，所述吹气装置50从上往下进行吹气可以有效地对工件进行除水干燥，而且相比于从下往上吹水，可以更容易将水吹到位于分选机下方的集水槽70内。所述第二图像检测装置30可以从上往下直接进行工件正面图像的检测。所述第一图像检测装置20和所述第二图像检测装置30可以沿工件的方向进行往返运动，可以快速地在图像检测装置的视野范围内对工件进行检测，大大的提高了图像检测的工作效率。

本发明实施例还提供一种本实施例所述的分选机装置的控制方法，包括：

控制吸附有工件的搬运机构移动至所述工件上料工位的上方，控制第一图像检测装置20移动至所述工件上料工位下方，并向上采集所述搬运机构上的工件的背面图像；

控制搬运机构将工件转移到翻转台40上进行吸附固定；

控制吹气装置50从上往下对所述翻转台40上的工件进行吹气除水干燥处理；

控制所述翻转台40将干燥除水后的所述工件转移到所述第二图像检测装置30下方进行检测，控制所述第二图像检测装置30向下采集所述工件的正面图像；

控制所述翻转台40翻转所述工件后，将所述工件放到下一个工位上。

所述控制搬运机构将工件转移到翻转台40上进行吸附的步骤前还包括：控制采集完毕的第一图像检测装置20移动至初始位置，控制所述翻转台40移动至所述工件上料工位。

本实施例所提供的分选机装置的控制方法，通过控制搬运机构将工件移动在工件上料工位的上方，然后所述第一图像检测装置20直接对工件的背面进行检测，减少了现有技术中放置在翻转台40上后再翻转到背面检测的步骤，而是直接在下方进行检测，且所述第一图像检测装置20的检测范围比较大，有效的提高了工作效率。控制所述吹气装置50从上往下吹水，不仅可以更容易的将工件干燥，而且还便于集水。在工件干燥后，控制翻转台40向所述第二图像检测装置30移动，所述第二图像检测装置30从上往下检测所述工件的正面图像，每次拍摄检测五排工件，极大地提高了工作效率。整个控制方法不仅减少了翻转台40的翻转次数，还提高了工作检测效率。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (8)

1.一种分选机装置，其特征在于，包括机架台、第一图像检测装置、第二图像检测装置、翻转台以及吹气装置；

其中，所述机架台上设有工件上料工位，所述工件上料工位处于所述第一图像检测装置的移动方向的正上方，所述第一图像检测装置对处于所述工件上料工位上方的搬运机构上的工件进行拍摄；所述工件为硅片；

搬运机构对处于所述工件上料工位的翻转盘进行上工件，所述翻转台可沿第一方向作直线往返移动地设置在所述机架台上，且在作直线往返移动地过程中，经过所述工件上料工位、所述吹气装置的下方及所述第二图像检测的下方；

所述第一图像检测装置可沿第二方向作直线往返移动地设置在所述机架台上，向上检测搬运机构搬运过来的工件的背面图像，所述第一方向与所述第二方向垂直设置；其中，所述第一图像检测装置设置在所述翻转台初始位置的下方，所述第一图像检测装置检测所述工件的背面图像之前，所述翻转台移动一段距离给所述第一图像检测装置让出工作空间；

所述第二图像检测装置向下检测吸附在所述翻转台上的工件的正面图像，且所述第二图像检测装置可沿所述第二方向作直线往返移动地设置在所述机架台上；

所述吹气装置向下对吸附在所述翻转台上的工件进行干燥；所述吹气装置设于所述工件上料工位的一侧，所述工件上料工位的另一侧上设有集水槽，所述吹气装置能够将处于所述工件上料工位处的所述翻转台上的工件上的水气吹向所述集水槽内；

所述工件上料工位处于所述第一图像检测装置的移动路径的正上方；所述吹气装置设于所述工件上料工位的一侧；所述第二图像检测装置设置于所述吹气装置远离所述工件上料工位的一侧；

所述机架台包括主机架台和辅机架台，所述辅机架台位于所述主机架台的下方，所述第二图像检测装置、翻转台以及吹气装置设置在所述主机架台上，所述辅机架台上设有第一移动模组，所述第一图像检测装置设置在所述第一移动模组的第一端上，能够在所述第一移动模组的驱动下沿所述第二方向作直线往返移动；所述第一移动模组的第一端伸出所述主机架台外侧，形成第一图像检测装置的初始位置，第一图像检测装置在未进行采集工作时，处于所述初始位置；

所述主机架台包括沿第二方向相对设置的第一安装架结构和第二安装架结构，所述第一安装架结构的高度低于所述第二安装架结构的高度，所述翻转台横跨在所述第一安装架结构和所述第二安装架结构上。

2.根据权利要求1所述的分选机装置，其特征在于，所述第二图像检测装置设置于所述吹气装置远离所述工件上料工位的一侧。

3.根据权利要求1所述的分选机装置，其特征在于，所述第一安装架结构包括至少两个第一支柱、以及设置在所述第一支柱上的第一横板；所述第二安装架结构包括至少两个第二支柱、以及设置在所述第二支柱上的第二横板，所述第二横板高于所述第一横板设置，所述第一移动模组的第一端由所述第二横板的下方伸出所述第二横板外侧，所述第一横板上设有驱动用于安装所述翻转台的翻转台安装座移动的第二移动模组，所述第二横板上设有导轨；所述主机架台还包括第一连接板和第一连接结构，所述第一连接板的上端与翻转台安装座的第一端连接，下端与所述第二移动模组连接，所述第一连接结构的下端与所述翻转台安装座的第二端连接，上端设有导轨槽，通过所述导轨槽可滑动地连接在所述导轨上。

4.根据权利要求1或2所述的分选机装置，其特征在于，所述吹气装置可沿第一方向作直线往返移动地设置在所述机架台上。

5.根据权利要求3所述的分选机装置，其特征在于，所述吹气装置包括气缸和喷嘴组件，所述喷嘴组件包括若干个成排设置的喷嘴，所述喷嘴的出风口朝向位于所述翻转台上的所述工件；所述气缸驱动所述喷嘴组件在所述机架台上沿第一方向移动。

6.根据权利要求5所述的分选机装置，其特征在于，所述喷嘴组件包括腔体，所述腔体的一侧成排设有所述喷嘴，所述喷嘴均与所述腔体连通，所述腔体的另一侧上还设有若干进气口；

和/或

所述喷嘴的出风口的角度根据所述工件的位置进行调节。

7.一种使用如权利要求1-6任一项所述的分选机装置的控制方法，其特征在于，包括：

控制吸附有工件的搬运机构移动至所述工件上料工位的上方，控制第一图像检测装置移动至所述工件上料工位下方，并向上采集所述搬运机构上的工件的背面图像；

控制搬运机构将工件转移到翻转台上进行吸附固定；

控制吹气装置从上往下对所述翻转台上的工件进行吹气除水干燥处理；

控制所述翻转台将干燥除水后的所述工件转移到所述第二图像检测装置下方进行检测，控制所述第二图像检测装置向下采集所述工件的正面图像；

控制所述翻转台翻转所述工件后，将所述工件放到下一个工位上。

8.根据权利要求7所述的控制方法，其特征在于，所述控制搬运机构将工件转移到翻转台上进行吸附的步骤前还包括：控制采集完毕的第一图像检测装置移动至初始位置，控制所述翻转台移动至所述工件上料工位。

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