CN117476524B - 一种用于切割分选一体机的翻转台控制方法 - Google Patents

一种用于切割分选一体机的翻转台控制方法 Download PDF

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Abstract

本发明属于半导体加工设备搬运机构控制方法技术领域，特别提供了一种用于切割分选一体机的翻转台控制方法，其步骤包括：步骤一、接料工序；步骤二、A面烘干工序；翻转单元移动至干燥单元下方，对A面进行烘干处理；步骤三、A面检测工序；直接移动至检测单元处，对A面进行检测；步骤四、A面下料工序；翻转使B面朝上，并通过下一工站的搬运机构从翻转单元的下方取走A面的料盘；步骤五、B面烘干工序；步骤六、B面检测工序；步骤七、B面下料工序；最后，翻转单元复位。通过优化烘干检测环节中翻转单元的工作逻辑，减少流程中的动作，从而达到提高设备整体工作效率、降低故障率和提高检测精度的效果。

Description

一种用于切割分选一体机的翻转台控制方法
技术领域
本发明属于半导体加工设备搬运机构控制方法技术领域，特别提供了一种用于切割分选一体机的翻转台控制方法。
背景技术
切割分选一体机通常具备自动上料、定位切割、清洗干燥、Vision检测、分选摆盘功能。其中，Vision检测功能是指对切割、清洗、干燥完成后的IC芯片进行表面品质检测。
市面上可查的切割分选一体机中，部分类型的设备采用双面载料设计，每面负责搬运整片料片的一半，以达到压缩设备占用空间和提高加工效率的目的，但考虑到烘干单元和检测单元通常只有一套，且出于检测精度的考量，两者的装配位置相对固定，因此，此类设备通常具备一个翻转台来配合烘干单元和检测单元，以实现对两个载料面的烘干检测处理。
考虑到半导体加工对设备的运行效率和运行精度的要求都极高，而工作流程中动作越多，其对应的工作效率就越低，且每次动作都可能发生设备故障或造成精度下降，因此，需要在不影响加工精度的前提下，尽可能的优化工作流程。
目前，上述设备烘干检测中，翻转台的控制逻辑为A面接料→B面接料→A面干燥→B面干燥→A面检测→B面检测→A面下料→B面下料，该流程虽然能够正常完成两面的烘干检测工作，但流程中仍存在不必要的动作，需要对该流程进行进一步优化。
发明内容
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种用于切割分选一体机的翻转台控制方法，其步骤如下：
步骤一、接料工序；
通过搬运机械臂将两块料盘分别运载至双面载料板的正反两面上；
步骤二、A面烘干工序；
将步骤一中完成反面接料的双面载料板翻转至A面朝上，翻转单元移动至干燥单元下方，对A面进行烘干处理；
步骤三、A面检测工序；
完成A面烘干处理后，直接移动至检测单元处，对A面进行检测；
步骤四、A面下料工序；
翻转单元进行翻转，使B面朝上，并通过下一工站的搬运机构从翻转单元的下方取走A面的料盘；
步骤五、B面烘干工序；
翻转单元移动至干燥单元下方，对B面进行烘干处理；
步骤六、B面检测工序；
完成B面烘干处理后，直接移动至检测单元处，对B面进行检测；
步骤七、B面下料工序；
翻转单元进行翻转，使A面朝上，并通过下一工站的搬运机构从翻转单元的下方取走B面的料盘；
最后，翻转单元复位。
进一步地，所述接料工序的流程如下：
翻转单元停留在接料工位等待，双面载料板A面朝上；
搬运机械臂执行搬运流程，携带一块料盘移动至接料工位正上方，随后搬运机械臂释放料盘至双面载料板的A面，最后搬运机械臂回前一工站，准备执行下一次搬运流程；
双面载料板动作，对位于其A面上的料盘进行固定；
翻转单元沿X轴运行到翻转工位，双面载料板翻转至B面朝上，随后翻转单元复位至接料工位；
搬运机械臂重复上述搬运流程将另一块料盘搬运并固定至双面载料板的B面，至此完成接料工序。
进一步地，所述A面烘干工序的流程如下：
翻转单元沿X轴运行到翻转工位，双面载料板翻转至A面朝上；
翻转单元沿X轴运行到烘干工位，干燥单元启动，对A面上的料盘进行烘干处理，直至料盘表面完全干燥后，干燥单元暂停运行，至此完成A面烘干工序。
进一步地，所述A面检测工序的流程如下：
翻转单元沿X轴运行到检测工位，检测单元沿Y轴运动，对A面上的料盘进行检测，直至完整采集料盘表面全部料片的信息后，检测单元沿Y轴运动回到待机位，至此完成A面检测工序。
进一步地，所述A面下料工序的流程如下：
翻转单元沿X轴运行到翻转工位，双面载料板翻转至B面朝上；
翻转单元沿X轴运行到下料工位，由下一工站的搬运机构从翻转单元的下方对位于A面上的料盘进行装夹；
在装夹稳定后，双面载料板释放位于A面的料盘，下一工站的搬运机构复位，至此完成A面下料工序。
进一步地，所述B面烘干工序的流程如下：
翻转单元沿X轴运行到烘干工位，干燥单元启动，对B面上的料盘进行烘干处理，直至料盘表面完全干燥后，干燥单元暂停运行，至此完成B面烘干工序。
进一步地，完成步骤七中的B面下料工序后，翻转单元沿X轴运行到接料工位，至此完成单次烘干检测循环。
使用本发明的有益效果是：
通过优化烘干检测环节中翻转单元的工作逻辑，减少流程中的动作，从而达到提高设备整体工作效率、降低故障率和提高检测精度的效果；
同时当设备发生异常时，方便快速排查故障，确认设备当前状态，快速恢复生产。
附图说明
图1为切割分选一体机翻转台的结构示意图；
图2为切割分选一体机翻转台的另一结构示意图；
图3为本发明的工位示意图；
附图标记包括：1-后导轨；2-前导轨；3-翻转单元；4-干燥单元；5-检测单元。
具体实施方式
以下结合附图对本发明进行详细的描述。
参照图1-图2，切割分选一体机翻转台包括后导轨1、前导轨2和翻转单元3，后导轨1和前导轨2平行设置，翻转单元3装配于后导轨1和前导轨2之间，翻转单元3能够沿后导轨1和前导轨2水平移动，翻转单元3水平移动轨迹的上方设置有干燥单元4和检测单元5；
翻转单元3主要由驱动机构和双面载料板组成，双面载料板为矩形，双面载料板与驱动机构的输出端轴向装配，驱动机构能够带动双面载料板以其中线为轴进行360°翻转，双面载料板的正反两面均能够接收和固定料盘；
双面载料板的两面完全相同，定义其中一面为A面，另一面则为B面；
其中，翻转单元3水平移动轨迹的起始端为接料工位；
干燥单元4位于翻转单元3水平移动轨迹的中部，干燥单元4的下方为烘干工位；
检测单元5位于翻转单元3水平移动轨迹的末端，检测单元5的下方为检测工位；
如图1中所示，翻转工位位于接料工位和烘干工位之间，能够避免双面载料板翻转过程中发生碰撞的位置；
下料工位位于烘干工位和检测工位之间。
一种用于切割分选一体机的翻转台控制方法，其步骤如下：
步骤一、接料工序；
具体地，接料工序的流程如下：
翻转单元3停留在接料工位等待，双面载料板A面朝上；
搬运机械臂执行搬运流程，携带一块料盘移动至接料工位正上方，随后搬运机械臂释放料盘至双面载料板的A面，最后搬运机械臂回前一工站，准备执行下一次搬运流程；
双面载料板动作，对位于其A面上的料盘进行固定；
翻转单元3沿X轴运行到翻转工位，双面载料板翻转至B面朝上，随后翻转单元3复位至接料工位；
搬运机械臂重复上述搬运流程将另一块料盘搬运并固定至双面载料板的B面，至此完成接料工序；
步骤二、A面烘干工序；
具体地，A面烘干工序的流程如下：
翻转单元3沿X轴运行到翻转工位，双面载料板翻转至A面朝上；
翻转单元3沿X轴运行到烘干工位，干燥单元4启动，对A面上的料盘进行烘干处理，直至料盘表面完全干燥后，干燥单元4暂停运行，至此完成A面烘干工序；
步骤三、A面检测工序；
具体地，A面检测工序的流程如下：
翻转单元3沿X轴运行到检测工位，检测单元5沿Y轴运动，对A面上的料盘进行检测（检测方式为视觉检测），直至完整采集料盘表面全部料片的信息后，检测单元沿Y轴运动回到待机位，至此完成A面检测工序；
步骤四、A面下料工序；
具体地，A面下料工序的流程如下：
翻转单元3沿X轴运行到翻转工位，双面载料板翻转至B面朝上；
翻转单元3沿X轴运行到下料工位，由下一工站的搬运机构从翻转单元3的下方对位于A面上的料盘进行装夹；
在装夹稳定后，双面载料板释放位于A面的料盘，下一工站的搬运机构复位，至此完成A面下料工序；
参照图3，考虑到后续工序为B面烘干工序，A面下料工位位于靠近烘干工位一侧；
步骤五、B面烘干工序；
具体地，B面烘干工序的流程如下：
翻转单元3沿X轴运行到烘干工位，干燥单元4启动，对B面上的料盘进行烘干处理，直至料盘表面完全干燥后，干燥单元4暂停运行，至此完成B面烘干工序；
步骤六、B面检测工序；
具体地，B面检测工序的流程如下：
翻转单元3沿X轴运行到检测工位，检测单元5沿Y轴运动，对B面上的料盘进行检测，直至完整采集料盘表面全部料片的信息后，检测单元沿Y轴运动回到待机位，至此完成B面检测工序；
步骤七、B面下料工序；
具体地，B面下料工序的流程如下：
翻转单元3沿X轴运行到翻转工位，双面载料板翻转至B面朝下；
翻转单元3沿X轴运行到下料工位，由下一工站的搬运机构从翻转单元3的下方对位于B面上的料盘进行装夹；
在装夹稳定后，双面载料板释放位于B面的料盘，下一工站的搬运机构复位，至此完成B面下料工序；
参照图3，考虑到前工序为B面检测工序，进行下料操作前，翻转单元3的位置位于检测工位，因此B面下料工位位于靠近检测工位一侧；
最后，翻转单元3沿X轴运行到接料工位；
至此完成单次烘干检测循环，通过重复步骤一至步骤七，实现标准化的烘干检测循环。
分别设置A面下料工位和B面下料工位，且采用就近停靠原则，不仅能够分别减少两次下料工序中翻转单元3的移动距离，还能够达到提高加工效率和减小设备体积的效果。
以上内容仅为本发明的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上可以作出许多变化，只要这些变化未脱离本发明的构思，均属于本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种用于切割分选一体机的翻转台控制方法，其特征在于：步骤如下：
步骤一、接料工序；
通过搬运机械臂将两块料盘分别运载至双面载料板的正反两面上；
步骤二、A面烘干工序；
将步骤一中完成反面接料的双面载料板翻转至A面朝上，翻转单元移动至干燥单元下方，对A面进行烘干处理；
步骤三、A面检测工序；
完成A面烘干处理后，直接移动至检测单元处，对A面进行检测；
步骤四、A面下料工序；
翻转单元进行翻转，使B面朝上，并通过下一工站的搬运机构从翻转单元的下方取走A面的料盘；
步骤五、B面烘干工序；
翻转单元移动至干燥单元下方，对B面进行烘干处理；
步骤六、B面检测工序；
完成B面烘干处理后，直接移动至检测单元处，对B面进行检测；
步骤七、B面下料工序；
翻转单元进行翻转，使A面朝上，并通过下一工站的搬运机构从翻转单元的下方取走B面的料盘；
最后，翻转单元复位。
2.根据权利要求1中所述的一种用于切割分选一体机的翻转台控制方法，其特征在于：所述接料工序的流程如下：
翻转单元停留在接料工位等待，双面载料板A面朝上；
搬运机械臂执行搬运流程，携带一块料盘移动至接料工位正上方，随后搬运机械臂释放料盘至双面载料板的A面，最后搬运机械臂回前一工站，准备执行下一次搬运流程；
双面载料板动作，对位于其A面上的料盘进行固定；
翻转单元沿X轴运行到翻转工位，双面载料板翻转至B面朝上，随后翻转单元复位至接料工位；
搬运机械臂重复上述搬运流程将另一块料盘搬运并固定至双面载料板的B面，至此完成接料工序。
3.根据权利要求1中所述的一种用于切割分选一体机的翻转台控制方法，其特征在于：所述A面烘干工序的流程如下：
翻转单元沿X轴运行到翻转工位，双面载料板翻转至A面朝上；
翻转单元沿X轴运行到烘干工位，干燥单元启动，对A面上的料盘进行烘干处理，直至料盘表面完全干燥后，干燥单元暂停运行，至此完成A面烘干工序。
4.根据权利要求1中所述的一种用于切割分选一体机的翻转台控制方法，其特征在于：所述A面检测工序的流程如下：
翻转单元沿X轴运行到检测工位，检测单元沿Y轴运动，对A面上的料盘进行检测，直至完整采集料盘表面全部料片的信息后，检测单元沿Y轴运动回到待机位，至此完成A面检测工序。
5.根据权利要求1中所述的一种用于切割分选一体机的翻转台控制方法，其特征在于：所述A面下料工序的流程如下：
翻转单元沿X轴运行到翻转工位，双面载料板翻转至B面朝上；
翻转单元沿X轴运行到下料工位，由下一工站的搬运机构从翻转单元的下方对位于A面上的料盘进行装夹；
在装夹稳定后，双面载料板释放位于A面的料盘，下一工站的搬运机构复位，至此完成A面下料工序。
6.根据权利要求1中所述的一种用于切割分选一体机的翻转台控制方法，其特征在于：所述B面烘干工序的流程如下：
翻转单元沿X轴运行到烘干工位，干燥单元启动，对B面上的料盘进行烘干处理，直至料盘表面完全干燥后，干燥单元暂停运行，至此完成B面烘干工序。
7.根据权利要求1中所述的一种用于切割分选一体机的翻转台控制方法，其特征在于：完成步骤七中的B面下料工序后，翻转单元沿X轴运行到接料工位，至此完成单次烘干检测循环。
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