JP2006190863A - 部品搭載装置および部品搭載方法ならびに部品反転装置および部品反転方法 - Google Patents

Abstract

【課題】部品供給部から取り出した部品を反転する反転機構をコンパクトに構成して、装置のコンパクト化を促進することができる部品搭載装置および部品搭載方法ならびに部品反転装置および部品反転方法を提供することを目的とする。
【解決手段】チップ６を上下反転した後に基板に搭載する部品搭載装置に配置される部品反転ステージ１４を、載置面４１ａが設けられた部品載置ブロック４１上に、チップ６を保持した保持プレート４６を回転機構４９によって反転させる構成の部品反転ユニット４５を複数並列して配置した構成とし、移載ヘッド３３によって保持プレート４６に載置された複数のチップ６を反転して載置面４１ａに載置し、移載ヘッド３３によってこれらのチップ６を取り出して基板に搭載する。これにより、部品供給部から取り出した部品を反転する反転機構をコンパクトに構成して、装置のコンパクト化を促進することができる。
【選択図】図３

Description

本発明は、部品を基板に搭載する部品搭載装置および部品搭載方法ならびに部品を反転する部品反転装置および部品反転方法に関するものである。

部品搭載装置では、部品供給部から取り出した部品を搭載ヘッドによって保持して基板に搭載する搭載動作が反復して行われる。フリップチップなどのように接続用の突起電極であるバンプが形成された部品は、一般にバンプ形成面を上向きにした姿勢で供給され、部品供給部から取り出された部品は上下反転によってバンプ形成面を下向きにした姿勢で基板に搭載される。このような、取り出した後に上限反転を必要とする部品を対象とする部品搭載装置として、複数の部品が載置された保持ヘッドをフラックス膜が形成されたステージ上で反転させることにより、複数の部品を一括して反転するとともにバンプにフラックスを転写する構成の反転機構を備えた部品搭載装置が知られている（特許文献１参照）
特開２００３−２８２６４２号公報

上記従来の部品搭載装置では、複数の部品を単一の保持ヘッドに保持させ、この保持ヘッドを一端側に設けられた軸廻りに回転させる構成を採用していたため、部品供給部から取り出された複数の部品を載置する保持ヘッドと、反転された部品を載置するステージとを並列して反転機構に配置する必要があった。このため部品搭載装置における各機能部のレイアウトにおいて、反転機構の占有スペースが大きくなり、装置のコンパクト化の要請に反するという問題があった。そしてこの問題は、同時に反転対象とする部品数が増大するにつれてより顕著になっていた。

そこで本発明は、部品供給部から取り出した部品を反転する反転機構をコンパクトに構成して、装置のコンパクト化を促進することができる部品搭載装置および部品搭載方法ならびに部品反転装置および部品反転方法を提供することを目的とする。

本発明の部品搭載装置は、電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転して搭載ヘッドによって基板に搭載する部品搭載装置であって、前記部品を前記電極面を上方に向けた姿勢で供給する部品供給部と、複数の前記部品を前記電極面の反対側の裏面を上方に向けた姿勢で載置する部品ステージと、前記部品を前記裏面側から保持する保持部を備え前記部品ステージの上面に配設された複数の保持プレートと、前記部品供給部から前記複数の部品を取出しノズルによって前記電極面側から保持することにより取り出して前記複数の保持プレートの保持部に保持させる部品取出し手段と、前記複数の保持プレートを反転することによりそれぞれの保持プレートに保持された部品を上下反転して前記部品ステージに載置する反転機構と、前記部品ステージから前記複数の部品を搭載ノズルによって裏面側から保持することにより受け取って前記基板に搭載する部品搭載手段とを備えた。

本発明の部品搭載方法は、電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転して搭載ヘッドによって基板に搭載する部品搭載方法であって、前記部品を前記電極面を上方に向けた姿勢で供給する部品供給部から、複数の前記部品を取出しノズルによって前記電
極面側から保持することにより取り出して複数の保持プレートのそれぞれに設けられた保持部に保持させる部品取出し工程と、前記複数の保持プレートを反転することによりそれぞれの保持プレートに保持された部品を上下反転して前記部品ステージに載置する部品反転工程と、前記部品ステージから前記複数の部品を搭載ノズルによって裏面側から保持することにより受け取って前記基板に搭載する部品搭載工程とを含む。

本発明の部品反転装置は、電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転する部品反転装置であって、前記部品を前記電極面の反対側の裏面を上方に向けた姿勢で載置する部品ステージと、前記部品ステージの上面に配設され前記部品を前記裏面側から保持する保持部を備えた複数の保持プレートと、前記保持プレートを反転することにより前記部品を上下反転して前記部品ステージに載置する反転機構とを備えた。

本発明の部品反転方法は、電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転する部品反転方法であって、前記部品を前記電極面を上方に向けた姿勢で供給する部品供給部から、複数の前記部品を取出しノズルによって前記電極面側から保持することにより取り出して複数の保持プレートに設けられた保持部に保持させる部品取出し工程と、前記保持プレートを反転することにより前記複数の部品を上下反転して部品ステージに載置する部品反転工程とを含む。

本発明によれば、部品ステージの上面に部品を裏面側から保持する保持部を備えた複数の保持プレートを配設し、これらの複数の保持プレートを反転機構によって反転して複数の部品を同時に反転する構成を採用することにより、部品供給部から取り出した部品を反転する反転機構をコンパクトに構成して、装置のコンパクト化を促進することができる。

次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施の形態の部品搭載装置の平面図、図２は本発明の一実施の形態の部品搭載装置の側断面図、図３、図４は本発明の一実施の形態の部品搭載装置の部品反転ステージの構造説明図、図５は本発明の一実施の形態の部品搭載装置による部品搭載動作の動作説明図、図６、図７は本発明の一実施の形態の部品搭載装置における部品反転動作の動作説明図である。

まず図１、図２を参照して、部品搭載装置の全体構造を説明する。この部品搭載装置は、電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転して搭載ヘッドによって基板に搭載する機能を有している。なお図２は、図１におけるＡ−Ａ矢視を示している。

図１において、基台１上には部品供給部２が配設されている。図２に示すように、部品供給部２は治具ホルダ３を備えており、治具ホルダ３はシート５が装着された治具４を着脱自在に保持する。シート５には部品である半導体チップ（以下単にチップ６と略記する。）が個片に分離された状態で貼着されている。チップ６の上面には突起電極であるバンプ６ａが複数形成されており、治具ホルダ３に治具４が保持された状態では、部品供給部２は複数のチップ６をバンプ形成面（電極面）を上方に向けた姿勢で供給する。

図２において、治具ホルダ３に保持されたシート５の下方には、エジェクタ８がＸＹテーブル７によって水平移動自在に配設されている。エジェクタ８はチップ突き上げ用のエジェクタピン（図示省略）を昇降させるピン昇降機構を備えており、後述する移載ヘッドによってシート５からチップ６をピックアップする際に、エジェクタピンによってシート５の下方からチップ６を突き上げることにより、チップ６はシート５から剥離される。エジェクタ８はチップ６をシート５から剥離するシート剥離手段となっている。シート剥離手段としては、エジェクタピンを用いる突き上げ方式以外にも、シート５を下面側から真
空吸着することによりシート５をチップ６から剥離させる方式や、シート５の下面側から紫外光を照射してチップ６の粘着力を低減させる方式など、各種の方式を用いることができる。

図１において、基台１の上面の部品供給部２からＹ方向に隔てた位置には、基板保持部１０が配置されている。基板保持部１０の上流側、下流側には、それぞれ基板搬入部１１、基板搬出部１２がＸ方向に直列に配置されている。基板搬入部１１は、上流側から供給される基板１３を受け取って基板保持部１０に搬入する。また基板保持部１０は、搬入された基板１３を保持して部品実装位置に位置決めする。そして基板搬出部１２は、基板保持部１０から受け渡された部品搭載後の基板１３を下流側に搬出する。

図１において基台１の上面の両端部には、Ｙ軸ベース２０Ａ、２０ＢがＹ方向に配設されており、Ｙ軸ベース２０Ａ、２０Ｂの上面には、略全長にわたってＹ方向ガイド２１が配設されている。Ｙ軸ベース２０Ａ、２０Ｂには、第１ビーム部材３１、センタービーム部材３０および第２ビーム部材３２の３つのビーム部材が、それぞれ両端部をＹ方向ガイド２１によって支持されてＹ方向にスライド自在に架設されている。

センタービーム部材３０はＹ軸駆動機構２２によってＹ方向に移動し、さらに内蔵されたＸ軸駆動機構によってＸ方向に移動可能な移載ヘッド３３を備えている。したがって移載ヘッド３３は、部品供給部２および基板保持部１０を含む移動範囲内において、Ｘ方向、Ｙ方向に移動自在となっている。移載ヘッド３３はそれぞれ１個のチップ６を吸着保持する保持ノズル３３ａを複数（ここでは、４本（Ｘ方向）×２列（Ｙ方向）＝８本）備えており、各保持ノズル３３ａはチップ６をバンプ形成面側および裏面側（バンプ形成面の反対側）のいずれの面側からも保持できるように、サイズ・形状が設定されている。

各保持ノズル３３ａにチップ６を保持した状態で、Ｙ軸駆動機構２２およびＸ軸駆動機構を駆動することにより、移載ヘッド３３はチップ６を保持して移動する。したがって、移載ヘッド３３，センタービーム部材３０およびＹ軸駆動機構２２は、チップ６を保持して移動し、部品保持を解除することにより部品を移載する部品移載機構を構成する。

第１ビーム部材３１、第２ビーム部材３２は、それぞれＹ軸駆動機構２３、Ｙ軸駆動機構２４によってＹ方向に移動し、内蔵されたＸ軸駆動機構によってＸ方向に移動自在に配設された基板認識カメラ３４、供給部認識カメラ３５をそれぞれ備えている。基板認識カメラ３４は基板保持部１０の上方に移動して基板１３を撮像し、また供給部認識カメラ３５は部品供給部２の上方に移動してシート５に保持された状態のチップ６を撮像する。

そしてこれらの撮像結果を認識処理することにより、基板保持部１０における基板１３上の部品搭載位置および部品供給部２におけるチップ６の位置が認識される。後述する部品取り出し動作および部品搭載動作においては、これらの認識結果に基づいて移載ヘッド３３の位置補正が行われる。

部品供給部２と基板保持部１０との間には、部品認識カメラ１５および部品反転ステージ１４が配設されている。部品認識カメラ１５は１次元画像を取り込むラインカメラを備えており、保持ノズル３３ａにチップ６を保持した移載ヘッド３３が部品認識カメラ１５の上方をＸ方向に移動することにより、保持ノズル３３ａに保持された状態のチップ６が撮像される。そしてこの撮像結果を認識処理することにより、チップ６の位置が検出される。

部品反転ステージ１４の構造について、図３、図４を参照して説明する。この部品反転ステージ１４は、バンプ形成面を有するチップ６を上下反転する部品反転装置としての機
能を有している。図３（ａ）に示すように、部品反転ステージ１４は、Ｘ方向に細長形状の部品載置ブロック４１を、ベース部材４０上に昇降シリンダ４２によって昇降可能に配置し、さらに部品載置ブロック４１の上方に複数の部品反転ユニット４５をＸ方向に並列配置した構成となっている。

部品載置ブロック４１の上面に設けられた凹部の底面は平滑な載置面４１ａとなっており、載置面４１ａには粘着物であるフラックス４３がスキージ４４によって膜状に延展される。載置面４１ａには、後述するように部品反転ユニット４５によって反転されたチップ６が、裏面を上方に向けた姿勢で載置される。すなわち部品載置ブロック４１は、複数のチップ６をバンプ形成面の反対側の裏面を上方に向けた姿勢で載置する部品ステージとなっている。

部品載置ブロック４１の上方に並列配置された部品反転ユニット４５は、ベース部材４０に部品載置ブロック４１を挟んで両側に立設された２つの軸受ブラケット４７によって、Ｙ方向に細長形状の保持プレート４６を反転軸４８廻りに軸支した構成となっている。保持プレート４６の片面（図３（ａ）において上面）は、チップ６を裏面側から保持する保持面４６ａとなっており、保持面４６ａにはそれぞれ吸着孔４６ｃを備えた複数（ここでは２つ）の保持部４６ｂが、Ｙ方向に並んで設けられている。すなわち、チップ６を保持する保持部４６ｂは、細長形状の保持プレート４６の長手方向に沿って複数配置されている。

吸着孔４６ｃは真空吸引源（図示省略）に接続されており、吸着孔４６ｃを覆ってチップ６を保持部４６ｂに載置した状態で、吸着孔４６ｃから真空吸引することにより、チップ６は保持部４６ｂに吸着保持される。すなわち複数の保持プレート４６は、チップ６を裏面側から保持する保持部４６ｂを備え載置面４１ａの上面に配設されている。すなわち、保持プレート４６は、細長形状の部品載置ブロック４１の長手方向に沿って複数配置されている。

図３（ａ）に示すように、部品反転ユニット４５の保持面４６ａには、移載ヘッド３３の複数の保持ノズル３３ａによってチップ６が載置される。ここで移載ヘッド３３における保持ノズル３３ａの配列ピッチは、Ｘ方向、Ｙ方向とも部品反転ステージ１４における保持部４６ｂの配列ピッチと一致しており、移載ヘッド３３によって部品供給部２から取り出した８個のチップ６を、部品反転ステージ１４の８個の保持部４６ｂに同時に保持させることができるようになっている。

すなわち保持プレート４６における保持部４６ｂのＹ方向のピッチｐｙ（図３（ｂ））は、移載ヘッド３３における保持ノズル３３ａのＹ方向の配列ピッチ（図２参照）と一致するように設定されている。また部品反転ステージ１４における保持プレート４６のＸ方向の配列ピッチは、部品移載機構における保持ノズル３３ａの配列ピッチに対応しており、各保持部４６ｂ間の間隔が移載ヘッド３３における保持ノズル３３ａのＸ方向の配列ピッチｐｘと一致するように設定されている。したがって前述の部品移載機構は、部品供給部２から複数のチップ６を取出しノズルとしての保持ノズル３３ａによってバンプ形成面側から保持することにより取り出して、複数の保持プレート４６の保持部４６ｂに保持させる部品取出し手段を構成する。

保持プレート４６は回転式のエアアクチュエータを用いた回転機構４９に反転軸４８を介して結合されている。各部品反転ユニット１５において回転機構４９をそれぞれ駆動して、反転軸４８を１８０°回転させることにより、複数の保持プレート４６は反転軸４８廻りに同一方向に上下反転する。それぞれの保持プレート４６の保持部４６ｂにチップ６を保持した状態で、回転機構４９を同時に駆動することにより、図４（ａ）に示すように
、保持プレート４６に保持されたチップ６は同時に上下反転される。

そしてこの状態で昇降シリンダ４２のロッド４２ａを突出させて、部品載置ブロック４１を上昇させることにより、バンプ６ａはフラックス４３が延展された載置面４１ａに対して押し付けられるとともに、バンプ６ａは載置面４１ａに塗布されたフラックス４３に接触する。そしてこのときの押付力によりバンプ６ａの先端部を平滑にするフラットニングが行われる。

この後、吸着孔４６ｃによるチップ６の吸着保持を解除した状態で、部品載置ブロック４１を下降させ、次いで保持プレート４６を保持面４６ａが上向きになる方向に反転させると、複数のチップ６は保持面４６ａから離脱し載置面４１ａ上のチップ載置位置４１ｂ（保持部４６ｂの反転軸４８についての対称位置・・図３（ｂ）参照）に、裏面を上方に向けた姿勢で載置された状態となる。すなわち、部品載置ブロック４１の上面に配列された複数の部品反転ユニット４５は、複数の保持プレート４６を反転することにより、それぞれの保持プレート４６に保持されたチップ６を同一方向に上下反転して部品載置ブロック４１の載置面４１ａ上に載置する反転機構となっている。

この後、保持ノズル３３ａによって載置面４１ａから取り出されたチップ６は、バンプ６ａの先端部にフラックス４３が転写塗布された状態で移載ヘッド３３とともに移動する。ここで複数のチップ載置位置４１ｂは、保持部４６ｂの配列をＸ方向に平行移動させたものに等しいことから、移載ヘッド３３の複数の保持ノズル３３ａによってこれらの複数のチップ６を同時に吸着保持することが可能となっている。そしてこの後、移載ヘッド３３が基板保持部１０へ移動し、ここで移載ヘッド３３に部品搭載動作を行わせることにより、複数の保持ノズル３３ａに保持されたチップ６は、順次基板１３に搭載される。

すなわち、ここでは前述の部品移載機構が、部品載置ブロック４１から複数のチップ６を搭載ノズルとしての保持ノズル３３ａによって裏面側から保持することにより受け取って、基板１３に搭載する部品搭載手段となっており、この部品搭載手段が前述の部品取り出し手段を兼務する形態となっている。もちろん部品搭載手段と部品取り出し手段とを別個に設けるようにしてもよい。

そして部品反転ステージ１４においては、部品載置ブロック４１の載置面４１ａ上にフラックス４３を延展しておき、部品反転ユニット４５によりチップ６を上下反転することによって、バンプ６ａにフラックス４３を塗布するようにしている。これにより、フラックス転写ステージを部品反転ステージと個別に設ける構成と比較して機構簡略化と省スペースを図ることができるとともに、部品反転とフラックス転写とを同一工程で行うことができ、動作時間の短縮が実現される。

次に図５、図６、図７を参照して、電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転して搭載ヘッドによって基板に搭載する部品搭載方法およびこの部品搭載過程で行われる部品反転動作について説明する。図５（ａ）において、部品供給部２に保持されたシート５には複数のチップ６が整列状態でバンプ形成面を上向きにした姿勢で貼着されている。部品供給部２においては、まず取り出し対象のチップ６を供給部認識カメラ３５によって撮像して、これらのチップ６を認識する。そして供給部認識カメラ３５が退去した後に、移載ヘッド３３がシート５の上方に進出し、取り出し対象の複数のチップ６を保持ノズル３３ａによって順次吸着保持して取り出す。

この後、各保持ノズル３３ａにそれぞれチップ６を保持した移載ヘッド３３は、図５（ｂ）に示すように、部品反転ステージ１４の上方に移動する。この後、部品反転ステージ１４においては、図６、図７に示す部品反転動作が実行される。ここでは、部品反転ステ
ージ１４の１つの部品反転ユニット４５において実行される動作過程を示している。

まず図６（ａ）に示すように、保持ノズル３３ａに保持したチップ６を、保持プレート４６の保持面４６ａ上に載置し、保持部４６ｂによってチップ６を吸着保持する。すなわち部品供給部２から複数のチップ６を、取出しノズルとしての保持ノズル３３ａによってバンプ形成面側から保持することにより取り出して、複数の保持プレート４６のそれぞれに設けられた保持部４６ｂに保持させる（部品取出し工程）。

この後図６（ｂ）に示すように、保持プレート４６を上下反転させ、次いで図６（ｃ）に示すように部品載置ブロック４１を上昇させて、チップ６のバンプ６ａをフラックス４３が延展された載置面４１ａに着地させる。そして図６（ｄ）に示すように、保持プレート４６を再度上下反転させるとともに、部品載置ブロック４１を下降させることにより、保持プレート４６に保持されていたチップ６は部品載置ブロック４１の載置面４１ａに載置される。すなわち複数の保持プレート４６を反転することにより、それぞれの保持プレート４６に保持されたチップ６を上下反転して部品載置ブロック４１に載置する（部品反転工程）。

ここでは部品取出し工程においては、細長形状の保持プレート４６の長手方向に沿って複数配置された保持部４６ｂにチップ６を保持させるようにしており（図３（ｂ）参照）、部品反転工程において、細長形状の部品載置ブロック４１の長手方向に沿って複数配置された保持プレート４６を個別に反転させることにより、各チップ６の反転を行うようにしている。

この後、移載ヘッド３３は再び部品供給部２に移動し、シート５から複数のチップ６を再度取り出した後に、部品反転ステージ１４に移動する。そして図７（ａ）に示すように、保持ノズル３３ａに保持されたチップ６を保持プレート４６上に載置し保持部４６ｂに保持する。次いでチップ６の吸着保持を解除した保持ノズル３３ａは、既に載置面４１ａに載置されているチップ６の上方に移動し、図７（ｂ）に示すように、保持ノズル３３ａによってチップ６を裏面側から吸着保持する。

次いで図７（ｃ）に示すように、保持ノズル３３ａをチップ６とともに上昇させる。このとき、バンプ６ａの下端部には載置面４１ａに延展されていたフラックス４３が転写により塗布される。すなわち、ここでは部品載置ブロック４１上にフラックス４３を延展しておき、部品反転工程においてチップ６を上下反転することによって、バンプ６ａにフラックス４３を塗布するようにしている。チップ６を取り出した後の載置面４１ａにおいては、スキージ４４を往復動させてフラックス４３を掻き寄せて、転写により荒れたフラックス膜を平滑に修復するスキージングが行われる。

この後、フラックス転写後のチップ６を保持した移載ヘッド３３は、図５（ｂ）に示すように部品認識カメラ１５の上方に移動し、ここでチップ６の認識を行う。そしてその後、基板保持部１０に移動して基板１３上の部品搭載位置に各保持ノズル３３ａに保持したチップ６を順次搭載する。すなわち本実施の形態においては、部品取り出し工程および部品搭載工程において、共通の保持ノズル３３ａによってチップ６を保持するようにしている。

そして部品反転ステージ１４においては、図７（ｄ）に示すように保持プレート４６を再度反転させてチップ６を載置面４１ａ上に載置した後に、保持プレート４６を保持面４６ａを上向きにした正転状態に復帰させる。これにより、図６（ｄ）に示す状態に戻り、これ以降同様の動作が反復実行される。

上記説明したように、部品供給部２から取り出した後のチップ６を反転した後に基板１３に搭載する構成の部品搭載装置において、部品反転ステージ１４に前記構成を採用することにより、部品供給部２から取り出されたチップ６を所定配列で保持する保持ヘッドの機能と、反転されたチップ６を所定配列で載置する載置ステージとしての機能とを、１つの部品載置ブロック４１上の限られた面積内に配設した形態となっている。

したがって、部品供給部から取り出された複数のチップを載置する保持ヘッドと、反転された部品を載置する載置ステージとを個別に並列して配置する構成の従来装置と比較して、部品反転機構の占有スペースを略半減することができ、装置のコンパクト化を促進することができる。

本発明の部品搭載装置は、部品供給部から取り出した部品を反転する反転機構をコンパクトに構成して、装置のコンパクト化を促進することができるという効果を有し、フリップチップなど電極面を有する部品を上下反転した後に搭載する態様の部品搭載装置に対して有用である。

本発明の一実施の形態の部品搭載装置の平面図 本発明の一実施の形態の部品搭載装置の側断面図 本発明の一実施の形態の部品搭載装置の部品反転ステージの構造説明図 本発明の一実施の形態の部品搭載装置の部品反転ステージの構造説明図 本発明の一実施の形態の部品搭載装置による部品搭載動作の動作説明図 本発明の一実施の形態の部品搭載装置における部品反転動作の動作説明図 本発明の一実施の形態の部品搭載装置における部品反転動作の動作説明図

符号の説明

２ 部品供給部
５ シート
６ チップ
１０ 基板保持部
１３ 基板
１４ 部品反転ステージ
３３ 移載ヘッド
３３ａ 保持ノズル
４１ 部品載置ブロック
４１ａ 載置面
４３ フラックス
４５ 部品反転ユニット
４６ 保持プレート
４６ａ 保持面
４６ｂ 保持部
４６ｃ 吸着孔
４９ 回転機構

Claims (16)

1. 電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転して搭載ヘッドによって基板に搭載する部品搭載装置であって、
   前記部品を前記電極面を上方に向けた姿勢で供給する部品供給部と、複数の前記部品を前記電極面の反対側の裏面を上方に向けた姿勢で載置する部品ステージと、前記部品を前記裏面側から保持する保持部を備え前記部品ステージの上面に配設された複数の保持プレートと、前記部品供給部から前記複数の部品を取出しノズルによって前記電極面側から保持することにより取り出して前記複数の保持プレートの保持部に保持させる部品取出し手段と、前記複数の保持プレートを反転することによりそれぞれの保持プレートに保持された部品を上下反転して前記部品ステージに載置する反転機構と、前記部品ステージから前記複数の部品を搭載ノズルによって裏面側から保持することにより受け取って前記基板に搭載する部品搭載手段とを備えたことを特徴とする部品搭載装置。
2. 前記保持部が細長形状の前記保持プレートの長手方向に沿って複数配置され、且つ前記保持プレートが細長形状の前記部品ステージの長手方向に沿って複数配置されていることを特徴とする請求項１記載の部品搭載装置。
3. 前記部品ステージ上に粘着物を延展しておき、前記反転機構により前記部品を上下反転することによって前記電極に前記粘着物を塗布することを特徴とする請求項１記載の部品搭載装置。
4. 前記保持プレートの配列ピッチが、前記部品搭載手段における搭載ノズルの配列ピッチに対応していることを特徴とする請求項１記載の部品搭載装置。
5. 前記部品搭載手段が、前記部品取出し手段を兼務することを特徴とする請求項１記載の部品搭載装置。
6. 電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転して搭載ヘッドによって基板に搭載する部品搭載方法であって、
   前記部品を前記電極面を上方に向けた姿勢で供給する部品供給部から、複数の前記部品を取出しノズルによって前記電極面側から保持することにより取り出して複数の保持プレートのそれぞれに設けられた保持部に保持させる部品取出し工程と、前記複数の保持プレートを反転することによりそれぞれの保持プレートに保持された部品を上下反転して前記部品ステージに載置する部品反転工程と、前記部品ステージから前記複数の部品を搭載ノズルによって裏面側から保持することにより受け取って前記基板に搭載する部品搭載工程とを含むことを特徴とする部品搭載方法。
7. 前記部品取出し工程において細長形状の前記保持プレートの長手方向に沿って複数配置された前記保持部に前記部品を保持させ、且つ前記部品反転工程において細長形状の前記部品ステージの長手方向に沿って複数配置された前記保持プレートを個別に反転させることを特徴とする請求項６記載の部品搭載方法。
8. 前記部品ステージ上に粘着物を延展しておき、前記部品反転工程において前記部品を上下反転することによって前記電極に前記粘着物を塗布することを特徴とする請求項６記載の部品搭載方法。
9. 前記部品取り出し工程および部品搭載工程において、共通の保持ノズルによって前記部品を保持することを特徴とする請求項６記載の部品搭載方法。
10. 電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転する部品反転装置であって、
    前記部品を前記電極面の反対側の裏面を上方に向けた姿勢で載置する部品ステージと、前記部品ステージの上面に配設され前記部品を前記裏面側から保持する保持部を備えた複数の保持プレートと、前記保持プレートを反転することにより前記部品を上下反転して前記部品ステージに載置する反転機構とを備えたことを特徴とする部品反転装置。
11. 前記保持部が細長形状の前記保持プレートの長手方向に沿って複数配置され、且つ前記保持プレートが細長形状の前記ステージの長手方向に沿って複数配置されていることを特徴とする請求項１０記載の部品反転装置。
12. 前記部品ステージ上に粘着物を延展しておき、前記反転機構により前記部品を上下反転することによって前記電極に前記粘着物を塗布することを特徴とする請求項１０記載の部品反転装置。
13. 前記保持プレートの配列ピッチが、前記部品搭載手段における搭載ノズルの配列ピッチに対応していることを特徴とする請求項１０記載の部品反転装置。
14. 電極が形成された電極面を片面に有する部品を上下反転する部品反転方法であって、
    前記部品を前記電極面を上方に向けた姿勢で供給する部品供給部から、複数の前記部品を取出しノズルによって前記電極面側から保持することにより取り出して複数の保持プレートに設けられた保持部に保持させる部品取出し工程と、前記保持プレートを反転することにより前記複数の部品を上下反転して部品ステージに載置する部品反転工程とを含むことを特徴とする部品反転方法。
15. 前記部品取出し工程において細長形状の前記保持プレートの長手方向に沿って複数配置された前記保持部に前記部品を保持させ、且つ前記部品反転工程において細長形状の前記部品ステージの長手方向に沿って複数配置された前記保持プレートを個別に反転させることを特徴とする請求項１４記載の部品反転方法。
16. 前記部品ステージ上に粘着物を延展しておき、前記部品反転工程において前記部品を反転することによって前記電極に前記粘着物を塗布することを特徴とする請求項１４記載の部品反転方法。

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