JP4595740B2 - チップ反転装置およびチップ反転方法ならびにチップ搭載装置 - Google Patents
チップ反転装置およびチップ反転方法ならびにチップ搭載装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4595740B2 JP4595740B2 JP2005235764A JP2005235764A JP4595740B2 JP 4595740 B2 JP4595740 B2 JP 4595740B2 JP 2005235764 A JP2005235764 A JP 2005235764A JP 2005235764 A JP2005235764 A JP 2005235764A JP 4595740 B2 JP4595740 B2 JP 4595740B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chip
- reversing
- holding
- receiving
- mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67144—Apparatus for mounting on conductive members, e.g. leadframes or conductors on insulating substrates
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
- H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
- Y10T156/17—Surface bonding means and/or assemblymeans with work feeding or handling means
- Y10T156/1702—For plural parts or plural areas of single part
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/4913—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/4913—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
- Y10T29/49131—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc. by utilizing optical sighting device
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49002—Electrical device making
- Y10T29/49117—Conductor or circuit manufacturing
- Y10T29/49124—On flat or curved insulated base, e.g., printed circuit, etc.
- Y10T29/4913—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc.
- Y10T29/49133—Assembling to base an electrical component, e.g., capacitor, etc. with component orienting
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/5313—Means to assemble electrical device
- Y10T29/53174—Means to fasten electrical component to wiring board, base, or substrate
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/53—Means to assemble or disassemble
- Y10T29/53478—Means to assemble or disassemble with magazine supply
Description
転装置と、前記チップ反転装置によって上下反転された前記チップを受け渡されこのチップを前記基板に搭載するチップ搭載手段とを備え、前記チップ反転装置は、前記チップを保持するチップ保持部が配設され一方の端部に設けられた水平な反転軸廻りに上下反転自在な反転部材と、前記反転部材を前記反転軸廻りに下方に回動させて前記チップ保持部の上下の向きを変える反転駆動手段と、上向き姿勢の前記チップ保持部に保持された後前記チップ保持部の上下の向きを変えることにより上下反転されたチップを下向き姿勢の前記チップ保持部から受け取るチップ受取部と、下向き姿勢の前記チップ保持部からチップを受け取る受取位置と前記反転部材との干渉を生じない退避位置とに前記チップ受取部を移動させるチップ受取部移動手段とを備えた。
図1は本発明の実施の形態1のチップ搭載装置の平面図、図2は本発明の実施の形態1のチップ搭載装置の側面図、図3は本発明の実施の形態1のチップ搭載装置における部品反転ステージの構造説明図、図4は本発明の実施の形態1のチップ搭載装置における部品反転ステージの動作説明図、図5、図6,図7,図8,図9,図10は本発明の実施の形態1におけるチップ搭載動作の動作説明図である。
してチップ14の粘着力を低減させる方式など、各種の方式を用いることができる。
21を反転軸34,35廻りに下方に回動させてチップ保持部22の上下の向きを変えることによりこのチップ保持部22に保持された前記チップを上下反転する反転工程と、上下反転されたチップ14を下向き姿勢のチップ保持部22からチップ受取部39によって受け取るチップ受取工程と、下向き姿勢のチップ保持部22からチップ14を受け取る受取位置と反転部材21との干渉を生じない退避位置とにチップ受取部39を移動させるチップ受取部移動工程とを含む形態となっている。なお、上記チップ保持工程において複数のチップ14を保持した場合には、上記反転工程において上記複数のチップ14は同時に上下反転されることとなる。
プ受渡工程が実行される。すなわち、図8(a)に示すように、昇降移動機構36によってチップ受取部39を上昇させ、チップ保持部22に保持されたチップ14をチップ受取部39によって受け取る。そして図8(b)に示すように、チップ受取部39を退避位置まで下降させた後、図9(a)に示すように、反転部材21を反時計方向に下方に回動させる。これにより、反転部材21をチップ保持部22が上向き姿勢となる原位置に復帰させるとともに、図9(b)に示すように、チップ14を保持したチップ受取部39を上昇させて、チップ14を図2に示す高さレベルLに位置させる。そしてこの状態のチップ14に対してボンディングノズル20を位置合わせして昇降させることにより、ボンディングノズル20にチップ14を保持させて受け渡す。
図11、図12,図13,図14,図15,図16は本発明の実施の形態2におけるチップ搭載動作の動作説明図である。本実施の形態2も実施の形態1と同様のチップ搭載装置を用いて、チップ供給部2によって供給されるチップ14を上下反転して基板保持部7に保持された基板14に搭載するものである。なお以下の各図においても同様に、説明の不要な装置構成部分の図示を適宜省略しており、またチップ14においてバンプ14aの図示を省略している。
示すように、チップ保持部22が下向き姿勢となるまで反転部材21を180度回動させることにより、チップ保持部22に保持されたチップ14を上下反転する。このときチップ受取部39は下降して、反転部材21やチップ保持部22との干渉を生じない退避位置にある。
ングと、一のチップに後続して搭載される次のチップについてのチップ保持工程から反転工程までの実行タイミングとの重複を許容する形態となっている。
4 チップ搭載機構
5 チップ反転装置
7 基板保持部
14 チップ
14a バンプ
17 搭載ヘッド
20 ボンディングノズル
21 反転部材
22 チップ保持部
27 基板
33 反転駆動部
34 反転軸
36 昇降移動機構
39 チップ受取部
Claims (4)
- 水平姿勢で載置されたチップを下面側から保持して上下反転するチップ反転装置であって、
前記チップを保持するチップ保持部が配設され一方の端部に設けられた水平な反転軸廻りに上下反転自在な反転部材と、前記反転部材を前記反転軸廻りに下方に回動させて前記チップ保持部の上下の向きを変える反転駆動手段と、上向き姿勢の前記チップ保持部に保持された後前記チップ保持部の上下の向きを変えることにより上下反転されたチップを下向き姿勢の前記チップ保持部から受け取るチップ受取部と、下向き姿勢の前記チップ保持部からチップを受け取る受取位置と前記反転部材との干渉を生じない退避位置とに前記チップ受取部を移動させるチップ受取部移動手段とを備えたことを特徴とするチップ反転装置。 - チップ供給部によって供給されるチップを上下反転して基板保持部に保持された基板に搭載するチップ搭載装置であって、
前記チップ供給部からチップ取出し移送手段によって取り出された前記チップを受け取って上下反転するチップ反転装置と、前記チップ反転装置によって上下反転された前記チップを受け渡されこのチップを前記基板に搭載するチップ搭載手段とを備え、前記チップ反転装置は、
前記チップを保持するチップ保持部が配設され一方の端部に設けられた水平な反転軸廻りに上下反転自在な反転部材と、前記反転部材を前記反転軸廻りに下方に回動させて前記チップ保持部の上下の向きを変える反転駆動手段と、上向き姿勢の前記チップ保持部に保持された後前記チップ保持部の上下の向きを変えることにより上下反転されたチップを下向き姿勢の前記チップ保持部から受け取るチップ受取部と、下向き姿勢の前記チップ保持部からチップを受け取る受取位置と前記反転部材との干渉を生じない退避位置とに前記チップ受取部を移動させるチップ受取部移動手段とを備えたことを特徴とするチップ搭載装置。 - 前記チップ搭載手段は、前記チップ取出し移送手段を兼ねることを特徴とする請求項2記載のチップ搭載装置。
- チップを保持するチップ保持部が配設され一方の端部に設けられた水平な反転軸廻りに上下反転自在な反転部材と、前記チップを下向き姿勢の前記チップ保持部から受け取るチップ受取部とを備えたチップ反転装置によって、前記チップを上下反転するチップ反転方法であって、
上向き姿勢の前記チップ保持部にチップを載置して保持させるチップ保持工程と、前記反転部材を前記反転軸廻りに下方に回動させて前記チップ保持部の上下の向きを変えることによりこのチップ保持部に保持された前記チップを上下反転する反転工程と、上下反転された前記チップを下向き姿勢の前記チップ保持部から前記チップ受取部によって受け取るチップ受取工程と、下向き姿勢の前記チップ保持部からチップを受け取る受取位置と前記反転部材との干渉を生じない退避位置とに前記チップ受取部を移動させるチップ受取部移動工程とを含むことを特徴とするチップ反転方法。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005235764A JP4595740B2 (ja) | 2005-08-16 | 2005-08-16 | チップ反転装置およびチップ反転方法ならびにチップ搭載装置 |
US11/464,230 US7669317B2 (en) | 2005-08-16 | 2006-08-14 | Method for reversing a chip vertically |
TW095129904A TW200713477A (en) | 2005-08-16 | 2006-08-15 | Chip reversing device and chip reversing method, and chip mounting apparatus and chip mounting method |
DE112006002145T DE112006002145T5 (de) | 2005-08-16 | 2006-08-16 | Chip-Wendevorrichtung und Chip-Wendeverfahren sowie Chip-Montagevorrichtung und Chip-Montageverfahren |
CN2006800193440A CN101189705B (zh) | 2005-08-16 | 2006-08-16 | 芯片反转装置和芯片反转方法,及芯片安装设备和芯片安装方法 |
PCT/JP2006/316442 WO2007021029A2 (en) | 2005-08-16 | 2006-08-16 | Chip reversing device and chip reversing method, and chip mounting apparatus and chip mounting method |
KR1020077027574A KR101225650B1 (ko) | 2005-08-16 | 2006-08-16 | 칩 반전 장치와 칩 반전 방법, 및 칩 탑재 장치와 칩 탑재방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005235764A JP4595740B2 (ja) | 2005-08-16 | 2005-08-16 | チップ反転装置およびチップ反転方法ならびにチップ搭載装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007053156A JP2007053156A (ja) | 2007-03-01 |
JP4595740B2 true JP4595740B2 (ja) | 2010-12-08 |
Family
ID=37124307
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005235764A Active JP4595740B2 (ja) | 2005-08-16 | 2005-08-16 | チップ反転装置およびチップ反転方法ならびにチップ搭載装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7669317B2 (ja) |
JP (1) | JP4595740B2 (ja) |
KR (1) | KR101225650B1 (ja) |
CN (1) | CN101189705B (ja) |
DE (1) | DE112006002145T5 (ja) |
TW (1) | TW200713477A (ja) |
WO (1) | WO2007021029A2 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4595740B2 (ja) * | 2005-08-16 | 2010-12-08 | パナソニック株式会社 | チップ反転装置およびチップ反転方法ならびにチップ搭載装置 |
JP2009111312A (ja) * | 2007-11-01 | 2009-05-21 | Trinc:Kk | チップマウンター |
JP2009194306A (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | Juki Corp | 部品供給装置 |
US20090223628A1 (en) * | 2008-03-07 | 2009-09-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Manufacturing apparatus of composite substrate and manufacturing method of composite substrate with use of the manufacturing apparatus |
KR101711497B1 (ko) * | 2010-10-29 | 2017-03-02 | 삼성전자주식회사 | 반도체 칩 실장 장치 |
JP5859195B2 (ja) * | 2010-11-30 | 2016-02-10 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電振動素子搭載装置 |
JP5691001B2 (ja) * | 2011-11-08 | 2015-04-01 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 反転ヘッド |
TWI513646B (zh) * | 2012-02-17 | 2015-12-21 | Shibaura Mechatronics Corp | A reversing device for a substrate, a reversing method, and a processing device for a substrate |
KR20130124070A (ko) * | 2012-05-04 | 2013-11-13 | 삼성전자주식회사 | 플립칩 패키지 제조 장치 및 이를 이용한 플립칩 패키지 제조 방법 |
TW201402261A (zh) * | 2012-07-13 | 2014-01-16 | Mas Automation Corp | 條狀物件的翻轉定位方法及其裝置 |
CN103338598B (zh) * | 2013-06-08 | 2016-01-13 | 长沙金诺自动化技术有限公司 | 一种自动传送装置及电子装联系统 |
MY184276A (en) * | 2015-02-16 | 2021-03-30 | Exis Tech Sdn Bhd | Device and method for conveying and flipping a component |
CN106206392B (zh) * | 2015-05-07 | 2021-04-30 | 梭特科技股份有限公司 | 晶粒定位布置设备以及晶粒定位布置方法 |
NL2015300B1 (nl) * | 2015-08-13 | 2017-02-28 | Specialty Conveyor Bv | Bufferinrichting. |
CN107134418B (zh) * | 2016-02-29 | 2020-02-18 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 倒装芯片键合装置及键合方法 |
CN107887295B (zh) * | 2016-09-30 | 2019-07-23 | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 | 一种芯片键合装置及键合方法 |
TWI610391B (zh) * | 2017-04-17 | 2018-01-01 | 梭特科技股份有限公司 | 可兼用於正面置晶及反面置晶的置晶裝置 |
CN108735646B (zh) * | 2017-04-17 | 2020-10-13 | 梭特科技股份有限公司 | 可兼用于正面置晶及反面置晶的置晶装置 |
US20220005720A1 (en) * | 2020-07-02 | 2022-01-06 | Jian Zhang | Fluxless gang die bonding arrangement |
KR102404135B1 (ko) * | 2020-11-23 | 2022-06-02 | 주식회사 윈텍오토메이션 | Pvd 코팅 후 언로딩 장비에서의 웨이브 형상 초경인서트 회수 시스템 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08130230A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-05-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フリップチップの実装装置 |
JP3132353B2 (ja) * | 1995-08-24 | 2001-02-05 | 松下電器産業株式会社 | チップの搭載装置および搭載方法 |
JP2003092313A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Nec Machinery Corp | チップ反転装置およびダイボンダ |
JP2003282642A (ja) * | 2002-03-25 | 2003-10-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品搭載装置および電子部品搭載方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6461027A (en) * | 1987-08-31 | 1989-03-08 | Mitsubishi Electric Corp | Device for mounting chip |
DE69832337T2 (de) * | 1997-07-28 | 2006-08-03 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd., Kadoma | Bauteilzuführer und Vorrichtung zur Bestückung |
JP4390503B2 (ja) * | 2003-08-27 | 2009-12-24 | パナソニック株式会社 | 部品実装装置及び部品実装方法 |
JP4595740B2 (ja) * | 2005-08-16 | 2010-12-08 | パナソニック株式会社 | チップ反転装置およびチップ反転方法ならびにチップ搭載装置 |
-
2005
- 2005-08-16 JP JP2005235764A patent/JP4595740B2/ja active Active
-
2006
- 2006-08-14 US US11/464,230 patent/US7669317B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-08-15 TW TW095129904A patent/TW200713477A/zh unknown
- 2006-08-16 KR KR1020077027574A patent/KR101225650B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2006-08-16 WO PCT/JP2006/316442 patent/WO2007021029A2/en active Application Filing
- 2006-08-16 DE DE112006002145T patent/DE112006002145T5/de not_active Withdrawn
- 2006-08-16 CN CN2006800193440A patent/CN101189705B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08130230A (ja) * | 1994-10-31 | 1996-05-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | フリップチップの実装装置 |
JP3132353B2 (ja) * | 1995-08-24 | 2001-02-05 | 松下電器産業株式会社 | チップの搭載装置および搭載方法 |
JP2003092313A (ja) * | 2001-09-19 | 2003-03-28 | Nec Machinery Corp | チップ反転装置およびダイボンダ |
JP2003282642A (ja) * | 2002-03-25 | 2003-10-03 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 電子部品搭載装置および電子部品搭載方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101189705B (zh) | 2011-12-14 |
WO2007021029A2 (en) | 2007-02-22 |
KR20080034836A (ko) | 2008-04-22 |
KR101225650B1 (ko) | 2013-01-23 |
US7669317B2 (en) | 2010-03-02 |
JP2007053156A (ja) | 2007-03-01 |
CN101189705A (zh) | 2008-05-28 |
US20070039686A1 (en) | 2007-02-22 |
DE112006002145T5 (de) | 2008-06-26 |
TW200713477A (en) | 2007-04-01 |
WO2007021029A3 (en) | 2007-06-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4595740B2 (ja) | チップ反転装置およびチップ反転方法ならびにチップ搭載装置 | |
JP4508016B2 (ja) | 部品実装方法 | |
JP2003124238A (ja) | 電子部品実装装置および電子部品実装方法 | |
KR102079082B1 (ko) | 전자 부품 핸들링 유닛 | |
JP3879679B2 (ja) | 電子部品搭載装置および電子部品搭載方法 | |
KR101082827B1 (ko) | 비전카메라 일체형 픽업유닛을 구비하는 플립칩 장착 장치 | |
JP4016982B2 (ja) | 電子部品実装装置および電子部品実装方法 | |
JP2012248778A (ja) | ダイボンダ及びボンディング方法 | |
JP3399260B2 (ja) | フリップチップの実装装置およびフリップチップの実装方法 | |
JPH08130230A (ja) | フリップチップの実装装置 | |
JPH11288980A (ja) | ダイボンダ | |
JP2012186505A (ja) | 部品供給装置 | |
JP3646687B2 (ja) | フリップチップの実装装置およびフリップチップの実装方法 | |
JP4466377B2 (ja) | 部品搭載装置および部品搭載方法ならびに部品反転装置および部品反転方法 | |
JP2004265953A (ja) | 電子部品搭載装置および電子部品搭載方法 | |
JP2725701B2 (ja) | 電子部品実装装置 | |
JP4234300B2 (ja) | チップ移送装置 | |
JP2000022395A (ja) | 電子部品の実装方法および実装装置 | |
JP4296826B2 (ja) | 電子部品搭載装置および電子部品搭載方法 | |
JPH11233555A (ja) | バンプボンディング装置 | |
JP2006190864A (ja) | 部品搭載装置および部品搭載方法 | |
JP4862872B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP2009252890A (ja) | 部品供給装置 | |
CN117059519B (zh) | 一种多功能芯片组装一体机 | |
JP5479961B2 (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070925 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100713 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100803 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100824 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100906 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4595740 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131001 Year of fee payment: 3 |