CN216773181U - 一种检测激光se台面上碎片的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种检测激光SE台面上碎片的装置，包括：基座，所述基座上设置有台面、雕刻加工台和转臂装置，所述转臂装置上连接有摄像机械臂、吹气机械臂和吸盘机械臂，所述吸盘机械臂位于摄像机械臂上方，所述摄像机械臂位于吹气机械臂和吸盘机械臂之间，且摄像机械臂与吸盘机械臂在水平面上设置有夹角，摄像机械臂端部设置有摄像装置，所述吹气机械臂位于摄像机械臂正下方，吹气机械臂端部设置有吹气喷嘴，吹气喷嘴连接气泵装置。本实用新型采用拍照图像识别技术对台面进行监控，在识别到碎片后可对台面进行吹气清理，清除碎片，保持台面清洁，避免对雕刻图案精度造成影响。

Description

一种检测激光SE台面上碎片的装置

技术领域

本实用新型涉及硅晶电池加工相关技术领域，具体是一种检测激光SE台面上碎片的装置。

背景技术

晶硅电池选择性发射极（SE）激光掺杂技术已实现工业化量产，成为新一代主流技术。SE电池是利用扩散后硅片表面的磷硅玻璃（PSG），通过激光在电极区域形成高浓度掺杂，在光吸收区进行低浓度轻掺杂，该电池结构可以有效提升填充因子，短路电流和开路电压，从而提高电池转换效率。

激光SE掺杂的加工方式为将上料传送皮带上硅片通过机械旋转吸盘放置台面上，台面吸附住硅片，然后将台面旋转至激光出口处进行雕刻，完成后由吸盘吸附放置下料传送皮带。激光SE最重要的监控参数为雕刻图形的精度，精度偏差较大会导致丝网印刷偏移，影响良率效率，而影响精度最主要的是台面的水平，在正常生产过程中，因硅片隐裂或机械接触导致硅片碎裂，产生的碎片残留在台面上未被发现，导致硅片放置在台面上水平异常，从而导致精度异常。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种检测激光SE台面上碎片的装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种检测激光SE台面上碎片的装置，包括：基座，所述基座上设置有台面、雕刻加工台和转臂装置，所述转臂装置上连接有摄像机械臂、吹气机械臂和吸盘机械臂，所述吸盘机械臂位于摄像机械臂上方，所述摄像机械臂位于吹气机械臂和吸盘机械臂之间，且摄像机械臂与吸盘机械臂在水平面上设置有夹角，摄像机械臂端部设置有摄像装置，所述吹气机械臂位于摄像机械臂正下方，吹气机械臂端部设置有吹气喷嘴，吹气喷嘴连接气泵装置。

作为本实用新型进一步的方案：所述吸盘机械臂端部设置电动伸缩杆,所述电动伸缩杆位于台面正上方，电动伸缩杆端部连接有吸盘装置。

作为本实用新型进一步的方案：所述夹角为硅片在台面和雕刻加工台间转运所转动的角度。

作为本实用新型进一步的方案：所述摄像装置为CCD相机，CCD相机连接至控制计算机。

作为本实用新型进一步的方案：所述吹气喷嘴水平设置并与台面平齐。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型采用拍照图像识别技术对台面进行监控，在识别到碎片后可对台面进行吹气清理，清除碎片，保持台面清洁，避免对雕刻图案精度造成影响。

附图说明

图1为本实用新型的主视结构示意图。

图2为本实用新型的俯视结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1、2，本实用新型实施例中，一种检测激光SE台面上碎片的装置，包括：基座1，所述基座1上设置有台面2、雕刻加工台8和转臂装置6，所述转臂装置6为能够自动回转的转盘，转臂装置6上连接有摄像机械臂61、吹气机械臂62和吸盘机械臂63，所述吸盘机械臂63位于摄像机械臂61上方，吸盘机械臂63端部设置电动伸缩杆4,所述电动伸缩杆4位于台面2正上方，电动伸缩杆4端部连接有吸盘装置5，吸盘装置5用于对硅片进行吸附，由电动伸缩杆4将硅片提起；所述摄像机械臂61位于吹气机械臂62和吸盘机械臂63之间，且摄像机械臂61与吸盘机械臂63在水平面上设置有夹角，该夹角为硅片在台面2和雕刻加工台8间转运所转动的角度，摄像机械臂61端部设置有摄像装置3，所述摄像装置3为CCD相机，CCD相机连接至控制计算机，所述吹气机械臂62位于摄像机械臂61正下方，吹气机械臂62端部设置有吹气喷嘴7，吹气喷嘴7水平设置并与台面2平齐，吹气喷嘴7连接气泵装置。

当吸盘将硅片吸走并放置到雕刻工位上，此时摄像机械臂61和吹气机械臂62移动到台面2上方，此时CCD相机进行一次拍照，上传系统进行分析，若台面上有碎片显示报警信息，并启动气泵装置通过吹气喷嘴7将台面2上的碎片吹出以达到清楚碎片的目的。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种检测激光SE台面上碎片的装置，包括：基座（1），其特征在于：所述基座（1）上设置有台面（2）、雕刻加工台（8）和转臂装置（6），所述转臂装置（6）上连接有摄像机械臂（61）、吹气机械臂（62）和吸盘机械臂（63），所述吸盘机械臂（63）位于摄像机械臂（61）上方，所述摄像机械臂（61）位于吹气机械臂（62）和吸盘机械臂（63）之间，且摄像机械臂（61）与吸盘机械臂（63）在水平面上设置有夹角，摄像机械臂（61）端部设置有摄像装置（3），所述吹气机械臂（62）位于摄像机械臂（61）正下方，吹气机械臂（62）端部设置有吹气喷嘴（7），吹气喷嘴（7）连接气泵装置。

2.根据权利要求1所述的一种检测激光SE台面上碎片的装置，其特征在于：所述吸盘机械臂（63）端部设置电动伸缩杆（4）,所述电动伸缩杆（4）位于台面（2）正上方，电动伸缩杆（4）端部连接有吸盘装置（5）。

3.根据权利要求1所述的一种检测激光SE台面上碎片的装置，其特征在于：所述夹角为硅片在台面（2）和雕刻加工台（8）间转运所转动的角度。

4.根据权利要求1所述的一种检测激光SE台面上碎片的装置，其特征在于：所述摄像装置（3）为CCD相机，CCD相机连接至控制计算机。

5.根据权利要求1所述的一种检测激光SE台面上碎片的装置，其特征在于：所述吹气喷嘴（7）水平设置并与台面（2）平齐。

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