CN114256126A - 晶圆加工设备及晶圆输送方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种晶圆加工设备及晶圆输送方法。晶圆加工设备包括：承载板，开设有通孔，承载板用于承载晶圆；驱动座，相对于承载板可升降；升降杆，设于承载板与驱动座之间，升降杆的一端与驱动座接触，驱动座带动升降杆在通孔间升降，使升降杆的另一端通过通孔作用于晶圆的底面以使晶圆脱离承载板；电磁转换装置，设于驱动座，电磁转换装置通电后，产生磁力；磁性元件，设于升降杆的靠近驱动座的端部，电磁转换装置产生磁力后，电磁转换装置吸附磁性元件，当驱动座下降时，对升降杆施加拉力。本发明的晶圆加工设备能有效分离升降杆与晶圆，避免升降杆与晶圆受损。

Description

晶圆加工设备及晶圆输送方法

技术领域

本发明涉及半导体器件制备技术领域，尤其涉及一种晶圆加工设备及晶圆输送方法。

背景技术

在半导体晶圆加工工艺中，晶圆加工的设备较为复杂，包括很多不同的系统。其中，最为重要的就是反应腔室。晶圆在反应腔室中的位置是通过升降杆的升降驱动来完成的。在晶圆加工完成后，升降杆的顶端顶抵于晶圆的底面，将晶圆升起至适当的位置，使机械臂能够准确抓取该晶圆。但是，目前的升降杆在顶起晶圆后常常会被卡住，在加工下一个晶圆时，容易与该晶圆发生碰撞而损坏。

在所述背景技术部分公开的上述信息仅用于加强对本发明的背景的理解，因此它可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

发明内容

本发明的一个目的在于提供一种晶圆加工设备，能够有效分离升降杆与晶圆，避免升降杆与晶圆受损。

本发明的另一个目的在于提供一种晶圆输送方法，能够将晶圆顺利输出，避免升降杆受损。

为实现上述目的，根据本发明实施例提供一种晶圆加工设备，包括：承载板、驱动座、升降杆、电磁转换装置和磁性元件。其中，承载板开设有通孔，所述承载板用于承载晶圆；驱动座相对于所述承载板可升降；升降杆设于所述承载板与所述驱动座之间，所述升降杆的一端与所述驱动座接触，所述驱动座带动所述升降杆在所述通孔间升降，使所述升降杆的另一端通过所述通孔作用于所述晶圆的底面以使所述晶圆脱离所述承载板；电磁转换装置设于所述驱动座，所述电磁转换装置通电后，产生磁力；磁性元件，设于所述升降杆的靠近所述驱动座的端部，所述电磁转换装置产生磁力后，所述电磁转换装置吸附所述磁性元件，当所述驱动座下降时，对所述升降杆施加拉力。

根据本发明的一示例性实施方式，该晶圆加工设备还包括：控制器，所述控制器与所述驱动座以及所述电磁转换装置电连接，当所述驱动座带动所述升降杆下降到预设位置时，控制所述电磁转换装置通电，以对所述升降杆产生拉力。

根据本发明的一示例性实施方式，所述晶圆加工设备还包括：拉力传感器，与所述控制器电连接，用于感测所述升降杆受到的拉力。

根据本发明的一示例性实施方式，所述拉力传感器中设有一预设力值，当所述拉力传感器感测到所述拉力大于所述预设力值时，发出一预警信号至所述控制器，所述控制器控制所述电磁转换装置断电。

根据本发明的一示例性实施方式，所述晶圆加工设备还包括：报警器，与所述控制器电连接，当所述控制器接收到所述拉力传感器发送的预警信号后，所述控制器控制所述报警器报警。

根据本发明的一示例性实施方式，所述晶圆加工设备还包括：输出机构，所述输出机构与所述预设位置处于同一水平高度，用于在所述预设位置处承载并输出与所述承载板脱离后的所述晶圆；位置感测器，设于所述升降杆，并与所述控制器电连接，用于感测当所述升降杆作用于所述晶圆，并且将所述晶圆置于所述输出机构上时，所述升降杆与所述晶圆的底面是否脱离；当所述位置感测器感测到所述升降杆的另一端吸附于所述晶圆的底面时，所述控制器控制所述电磁转换装置通电，并控制磁力逐渐增大，所述升降杆所受的拉力逐渐增大，直至当所述位置感测器感测到所述升降杆脱离所述晶圆，所述控制器控制所述电磁转换装置断电。

根据本发明的一示例性实施方式，所述预设力值为所述升降杆的重力的5-10倍。

根据本发明的另一方面，提供一种晶圆输送方法，用于输送在上述任一实施方式中所述的晶圆加工设备中加工的晶圆，包括：将所述晶圆置于承载板上；由驱动座带动升降杆作用于所述晶圆的底面，使所述晶圆置于一预设位置；对所述升降杆施加拉力，使所述升降杆脱离所述晶圆底面。

根据本发明的一示例性实施方式，由驱动座带动升降杆作用于所述晶圆的底面，使所述晶圆置于一预设位置包括：控制所述升降杆带动所述晶圆自第一位置上升至第二位置；将输出机构置于预设位置；控制所述升降杆带动所述晶圆自所述第二位置下降至所述预设位置。

根据本发明的一示例性实施方式，对所述升降杆施加拉力，使所述升降杆脱离所述晶圆底面包括：控制所述驱动座下降；对设于所述驱动座上的电磁转换装置通电产生磁力，吸附设于所述升降杆上的磁性元件，以对所述升降杆产生拉力。

根据本发明的一示例性实施方式，所述方法还包括：感测所述升降杆受到的拉力，当所述拉力大于一预设力值时，控制所述电磁转换装置断电。

由上述技术方案可知，本发明具备以下优点和积极效果中的至少之一：

由于晶圆加工设备中设有电磁转换装置以及磁性元件，电磁转换装置通电后会产生磁力，吸引磁性元件，进而对升降杆产生拉力，使得当升降杆顶起晶圆后，通过该拉力迫使升降杆与晶圆分离，避免升降杆发生倾斜卡住的情况，进而避免升降杆以及下一个需要加工的晶圆受损的情况发生。

附图说明

通过参照附图详细描述其示例实施方式，本发明的上述和其它特征及优点将变得更加明显。

图1为本发明一示例性实施例中的晶圆加工设备中升降杆未顶起晶圆时的示意图；

图2为本发明一示例性实施例中的晶圆加工设备中升降杆顶起晶圆时的示意图；

图3为本发明一示例性实施例中的晶圆设备中升降杆吸附在晶圆底面的示意图；

图4为本发明一示例性实施例中的晶圆设备中升降杆在拉力作用下与晶圆分离的示意图；

图5为本发明一示例性实施例中的升降杆的拉力大于或等于预设力值时，晶圆加工设备报警的示意图；

图6为本发明一示例性实施例中的晶圆设备中的电磁转换装置的示意图；

图7为本发明一示例性实施例中的晶圆设备中的拉力传感器的原理图；

图8为本发明一示例性实施例中的晶圆设备的功能框图；

图9为现有技术中升降杆顶起晶圆并吸附在晶圆底面的示意图；

图10为现有技术中升降杆倾斜卡住的状态示意图；

图11为现有技术中升降杆与下一个晶圆发生碰撞的示意图；

图12为本发明一示例性实施例中的晶圆输送方法的流程示意图。

附图标记说明：

1、承载板；11、通孔；2、驱动座；3、升降杆；4、电磁转换装置；41、电感线圈；42、金属棒；5、磁性元件；6、拉力传感器；61、基底；62、覆盖层；63、电阻丝式敏感栅；64、引线；7、控制器；8、报警器；9、位置感测器；10、驱动部；101、驱动腔体；102、升降管；103、安装台；104、固定销；100，100’、晶圆；200、输出机构；201、承载面；F、拉力。

具体实施方式

现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本发明将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。

在对本公开的不同示例性实施方式的下面描述中，参照附图进行，附图形成本公开的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本公开的多个方面的不同示例性结构。应理解的是，可以使用部件、结构、示例性装置、系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本公开范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“之上”、“之间”、“之内”等来描述本公开的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如根据附图中的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本公开的范围内。此外，权利要求书中的术语“第一”、“第二”等仅作为标记使用，不是对其对象的数字限制。

如图9至图11所示，发明人在研究过程中发现，在晶圆100加工完成后，需要升降杆3将晶圆100顶起，晶圆100被顶起后，通过机械手臂从反应腔室中取出，之后，升降杆3会通过自身重力下降。但是，由于晶圆100底面和升降杆3之间存在静电吸附力，升降杆3通常会粘连在晶圆100底面而不能坠落，当机械手臂取出该晶圆100后，升降杆3被晶圆100拖拽而成倾斜状被卡住，即升降杆3发生卡顿，然而，目前的设备中，并不能监测到该情况，当下一片晶圆100’进入反应腔室后，会与该倾斜的升降杆3发生碰撞，造成升降杆3的损坏，并且也可能会损伤晶圆100’。

为了解决上述问题，本发明实施例提供了一种晶圆加工设备。请参考图1至图5，其分别示出了晶圆加工设备在不同状态的结构示意图。其中，图1示出了晶圆设备中的升降杆3未升起时的示意图，图2示出了晶圆设备中升降杆3顶起晶圆100的示意图，图3示出了晶圆设备中升降杆3吸附在晶圆100底面的示意图，图4示出了晶圆设备中升降杆3在拉力F作用下与晶圆100分离的示意图，图5示出了升降杆3的拉力F大于或等于预设力值时，晶圆加工设备报警的示意图。

如图1至图5所示，本发明实施例的晶圆加工设备包括：承载板1、驱动座2、升降杆3、电磁转换装置4和磁性元件5。其中，承载板1开设有通孔11，用于承载晶圆100。驱动座2相对于承载板1可升降。升降杆3设于承载板1与驱动座2之间，升降杆3的一端与驱动座2接触，驱动座2带动升降杆3在通孔间升降，使升降杆3的另一端通过通孔11作用于晶圆100的底面以使晶圆100脱离承载板。电磁转换装置4设于驱动座2，电磁转换装置4通电后，产生磁力。磁性元件5设于升降杆3的靠近驱动座2的端部，电磁转换装置4产生磁力后，电磁转换装置4吸附磁性元件5，当驱动座2下降时，对升降杆3施加一拉力F。

需要说明的是，本发明实施例中的“上升”与“下降”用于描述晶圆100加工设备中部件的相对运动。以承载板1为参照，升降杆3和/或驱动座2向靠近晶圆100的方向运动时，则为上升，当升降杆3和/或驱动所向远离晶圆100的方向运动时，则为下降。也可以理解为，驱动座2位于晶圆100的下方，因此，其靠近晶圆100运动即为上升。此处描述只是用来解释上述技术术语，并不具有限定意义。

由于晶圆加工设备中设有电磁转换装置4以及磁性元件5，电磁转换装置4通电后会产生磁力，吸引磁性元件5，进而对升降杆3产生拉力F，使得当升降杆3顶起晶圆100后，通过该拉力F迫使升降杆3与晶圆100分离，避免升降杆3发生倾斜而被卡住的情况，进而避免升降杆3以及下一个需要加工的晶圆100受到损坏的情况发生。

下面对本发明实施例的晶圆加工设备进行详细的说明。

本发明实施例的晶圆加工设备，包括一壳体(图中未示出)，该壳体内形成一反应腔室，在该反应腔室内完成对晶圆100的加工。在壳体中，还包括工作台，工作台可以为旋转工作台或固定工作台。工作台用于吸附晶圆100。在加工过程中，晶圆100可以通过机械手臂放于工作台的上表面。工作台上可以开设有若干均匀分布的气孔或气槽，通过均匀分布的气孔或气槽真空吸附晶圆100，避免其滑落导致碎片。上述的工作台可以是本发明实施例中的承载板1。

如图1所示，承载板1中心开设有通孔11，该通孔11的直径大于升降杆3的外径，避免升降杆3与承载板1的通孔11处发生摩擦而损坏。

如图1所示，本发明实施例的晶圆加工设备还包括驱动部10，驱动部10中设有驱动腔体101，承载板1设于驱动部10上，并且位于驱动腔体101上方。驱动座2、升降杆3、电磁转换装置4以及磁性元件5均设于该驱动腔体101中。该驱动腔体101的开口与承载板1的通孔11连通，使升降杆3能够自该驱动腔体101伸出至承载板1的通孔11。具体地，如图2所示，该驱动部10可以包括：升降管102、安装台103以及固定销104，三者由下至上同轴安装而成，且升降管102、安装台103和固定销104均为中空结构。升降管102、安装台103和固定销104的中空部分的内径依次减小，即固定销104的内径最小。但是最小的内径大于升降杆3的直径，以避免升降杆3与驱动腔体101内壁摩擦而被损坏。承载板1设于固定销104的顶端。

具体地，承载板1可以相对于该驱动部10可旋转，例如，承载板1安装于固定销104的上方。承载板1也可以与固定销104的顶端固定连接，承载板1与固定部能够同时旋转。承载板1也可以是非旋转的。本领域技术人员可以根据实际情况进行设置，此处不做特殊限定。晶圆100置于承载板1上加工，承载板1的承载面所处的位置可以称为第一位置。

进一步地，参考图1至图5，驱动座2能够在驱动腔体101中进行升降运动。驱动座2与一驱动装置连接，该驱动装置为驱动座2提供动力，促使驱动座2进行升降运动。该驱动装置例如可以是液压系统、气压系统或磁力系统，即能够通过控制该驱动装置进而控制驱动座2的升降运动，此处不做特殊限定。

驱动座2主要为升降杆3的上升提供动力。进一步参考图1，升降杆3设于驱动腔体101中。在未升起时，升降杆3的一端与驱动座2接触，另一端可以设于驱动腔体101中，另一端也可以伸出驱动腔体101，另一端的端面可以与承载板1的上表面平齐，以便于顶抵晶圆100。图1至图5中仅为示意图，实际上升降杆3靠近驱动座2的一端可以设有支撑台，使升降杆3能够在驱动腔体101中保持竖直。由于本领域技术人员能够清楚地知道该支撑台，为了简化附图，因此未示出。升降杆3数量可以是一个、两个、三个、四个、五个或六个，本领域技术人员可以根据实际需求设置，此处不做特殊限定。但是，承载板1上的通孔11的数量需与升降杆3的数量相同，并且一一对应。如果升降杆3的数量为多个，优选的，升降杆3可以对称布置。在本发明一实施例中，升降杆3设置为一个，在实现对晶圆100的顶起作用的同时，简化设备的结构以及简化制造工艺。

继续参考图1至图5，电磁转换装置4设于驱动座2。当电磁转换装置4通电后，产生磁力。可以通过控制电流的大小，控制磁力的大小。电磁转换装置4可以为电磁转换器，如图6所示，该电磁转换器主要由电感线圈41以及金属棒42构成。对电感线圈41通入不同方向的电流，电磁转换器产生的磁力方向不同。在本发明实施例中，需要对升降杆3产生向下的拉力F，因此，需要通入对应方向的电流。当电流断开时，磁力便可消失。

如图1所示，磁性元件5设于升降杆3的靠近驱动座2的一端的端部。该磁性元件5的材质可以是硅钢、不锈钢及其他耐高温的合金等，当电磁转换装置4产生磁力后，能够与该磁性元件5相互吸引。由于升降杆3设于驱动座2的上方，因此，电磁转换装置4可以对升降杆3产生向下的拉力F。当升降杆3的另一端由于静电吸附力而吸附在晶圆100的底面时，可以通过该拉力F与晶圆100分离，之后靠自身重力坠落，因此避免了升降杆3发生倾斜并被卡住而不能自由下落的情况发生。当升降杆3与晶圆100脱离，拉力F为静电吸附力减升降杆3的重力。

进一步地，如图8所示，本发明实施例的晶圆加工设备还可以包括控制器7。该控制器7与驱动座2和电磁转换装置4电连接。当驱动座2带动升降杆3下降到预设位置时，控制电磁转换装置4通电，以对升降杆3产生拉力。

然而，有时升降杆3和晶圆100之间的静电吸附力较大，此时需要较大的拉力F才能把二者分开。但是较大的拉力F可能会对晶圆100产生破损。为了避免这种情况的发生，本发明实施例的晶圆加工设备还可以包括拉力传感器6。该拉力传感器6与控制器7电连接，用于感测升降杆3受到的拉力F。具体地，该拉力传感器6可以设置于驱动座2上，该拉力传感器为压片式传感器，与升降杆3的底端接触，当电磁转换装置4通电时，与磁性元件5之间产生磁力，吸附升降杆3的底端，升降杆3受到向下的拉力，该拉力被拉力传感器检测到。

可以设定一预设力值，该预设力值可以为晶圆100不被破坏所能承受的最大力，例如预设力值可以为升降杆3的重力的5-10倍，具体地，可以时5倍、6倍、7倍、8倍、9倍或10倍，具体数值可以是4N、4.5N、5N，当然，本领域技术人员可以根据实际情况进行设定，此处不做特殊限定。当拉力传感器6检测到升降杆3所受到的拉力F大于该预设力值时，发出一预警信号至控制器7，控制器7接收该预警信号后，控制电磁转换装置4断电，磁力消失，进而解除该拉力F，避免由于压力过大而对晶圆100造成损坏。由于升降杆3并未脱离该晶圆100，因此，可以暂停对下一晶圆100的输入。

进一步地，如图7所示，该拉力传感器6为压电阻型传感器。其包括基底61、覆盖层62、电阻丝式敏感栅63以及引线64。其中，电阻丝式敏感栅63收覆盖层62和基底61之间。电阻丝式敏感栅63为一种应变式电阻敏感栅，其工作原理是当其感应到覆盖层62上的作用力发生变化时，其电阻发生变化，进而控制电流信号发生变化，将压力变化转换为电信号输出。该压电阻型传感器反应灵敏，检测精度高，能够有效避免升降杆3被损坏。压力传感器的量程为0～5N，具体地，可以为1N、2N、3N或4N，本领域技术人员可以根据实际情况设置，例如可以根据晶圆100所能承受的力设置，此处不做特殊限定。另外，由于对晶圆100进行加工时，反应腔室中一般抽真空，并且为高温环境，因此，拉力传感器6可以为耐高温的材质制成，例如，拉力传感器6的材料可以是合金或者其套壳含有石英，或者其他耐高温的材料，例如耐高温至1200℃的材料。

进一步地，本发明实施例的晶圆加工设备还可以包括报警器8，与控制器7电连接。当电磁转换装置4断电时，控制器7控制报警器8报警。虽然升降杆3未脱离晶圆100，但是由于报警器8的报警响应，操作人员会注意到设备出现故障，能够及时调整，避免了对升降杆3以及晶圆100的损坏。

进一步地，如图3和图8所示，本发明实施例的晶圆加工设备还包括：输出机构200和位置感测器9。其中，输出机构200用于承载并输出加工后的晶圆100。输出机构200可以是上述的机械手臂，其具有一承载面201，该承载面201的位置即为上述的预设位置，晶圆100加工完毕后通过升降杆3顶起并放置于承载面201上，再被输送出反应腔室。位置感测器9，设于升降杆3，并与控制器7电连接，用于感测当升降杆3顶起晶圆100并将其置于输出机构200的承载面201时，即晶圆100的底面与机械手臂承载面201接触时，升降杆3与晶圆100是否脱离。换句话说，当升降杆3将晶圆100顶起并且晶圆100置于机械手臂后，该位置感测器9感测升降杆3的顶端是否与晶圆100底面接触。若位置感测器9感测到升降杆3与晶圆100底面接触，则发出一启动信号至控制器7，控制器7接收该启动信号后，控制电磁转换装置4启动，产生磁力，进而对升降杆3产生拉力F，并通过增大电流，使拉力F持续增大，直至位置感测器9感测到升降杆3与晶圆100底面脱离，则发出一预警信号至控制器7，控制器7接收到该预警信号后控制电磁转换装置4断电，磁力消失。如果拉力传感器6感测到升降杆3的拉力F大于预设力值，即便位置感测器9未检测到升降杆3脱离晶圆100底面，则控制器7也会控制电磁转换装置4断电，使磁力消失。

设置位置感测器9，能够准确判断升降杆3是否吸附于晶圆100的底面，并且在电磁转换装置4产生磁力后，若拉力小于预设力值时升降杆3脱离晶圆100，则能够及时使电磁转换装置4断电。因此，在发明中，只要拉力传感器6检测到拉力大于预设力值和位置感测器9感测到升降杆3脱离晶圆100的底面这两种情况中的任一种，都会使控制器7控制电磁转换装置4断电，节省能耗，而且使操作更精确。

升降杆3脱离晶圆100底面后，利用自身重力降落至驱动腔体101中，且一端(可为支撑台)接触驱动座2。当升降杆3与晶圆100底面脱离后电磁转换装置4即断电，节省能耗，而且拉力F消失后，升降杆3仅仅依靠重力坠落，最大程度的降低其与驱动座2的碰撞力，有效地保护了升降杆3。

当然，位置感测器9也由耐高温材质制成，例如硅钢、不锈钢等。位置感测器9可以设置于升降杆3的顶端(即另一端)，与晶圆100底面接触。优选地，由于加工后的晶圆100会置于输出机构200承载面201上，该承载面201的高度是一个固定位置，因此，可以将位置感测器9设于升降杆3的任意位置，只要设定其与承载面201之间的距离值，一旦该值发生变化，则说明升降杆3脱离晶圆100，此时，该位置感测器9可以是距离传感器，此种设置方式更加灵活，感测更加精确，同时避免由于位置感测器9与晶圆100底面接触而对晶圆100造成损坏。

当然，本发明实施例中的晶圆加工设备还包括抛光装置、支撑装置、传输装置以及清洗装置等。其中，抛光装置用于对晶圆100进行研磨，使其更加光滑，支撑装置用于对承载板1进行支撑，传输装置用于对晶圆100进行输入与输出，其包括机械手臂，清洗装置主要是对加工后的晶圆100清洗，去除表面污渍。上述装置均存在于现有技术中的晶圆加工设备中，本领域技术人员能够获知并知晓其用途，本说明书中不再赘述。

综上，由于晶圆加工设备中设有电磁转换装置4以及磁性元件5，电磁转换装置4通电后会产生磁力，吸引磁性元件5，进而对升降杆3产生拉力F，使得当升降杆3顶起晶圆100后，通过该拉力F迫使升降杆3与晶圆100分离，避免升降杆3发生倾斜卡住的情况，进而避免升降杆3以及下一个需要加工的晶圆100受损的情况发生。另外，由于设置了拉力传感器6，当拉力传感器6检测到升降杆3所受到的拉力F大于或等于该预设力值时，控制电磁装置断电，消除磁力，进而解除拉力F，避免由于拉力F过大而对晶圆100造成损坏。

根据本发明的另一方面，提供一种晶圆输送方法，用于输送利用上述任一实施例中描述的晶圆加工设备所加工的晶圆100。包括：

步骤S100：将晶圆100置于承载板1上；

步骤S200：由驱动座2带动升降杆3作用于晶圆100的底面，使晶圆100置于一预设位置；

步骤S300：对升降杆3施加拉力，使升降杆3脱离晶圆100底面。

其中，步骤S200包括：

步骤S201：控制升降杆3带动晶圆100自第一位置上升至第二位置；

步骤S202：将输出机构置于预设位置；

步骤S203：控制所述升降杆带动所述晶圆自所述第二位置下降至所述预设位置。

其中，第一位置具体是指承载板1的承载面，即晶圆100在加工过程中所处的位置，其为最低位置。第二位置是指升降杆3将晶圆100顶起的最高位置。预设位置位于第一位置和第二位置之间，是输出机构200的承载面201所在的位置。将晶圆100从第一位置先上升至第二位置，是为了将输出机构200的承载面置于预设位置，然后将晶圆100下降至预设位置，即将其置于承载面201上，以供输出机构200将加工完毕的晶圆100输出反应腔室。

其中，步骤S300包括：

步骤S301：控制驱动座2下降；

步骤S302：对设于驱动座2上的电磁转换装置4通电产生磁力，吸附设于升降杆3上的磁性元件5，以对升降杆3产生拉力。

具体地，当晶圆100置于输出机构200的承载面201上后，可通过控制器7控制驱动座2下降。同时，对设于驱动做2上的电磁转换装置4通电产生磁力，吸附设于升降杆3上的磁性元件，使升降杆3受到一拉力，促使升降杆3产生向下的运动趋势。

本发明实施例的晶圆输送方法还包括：

步骤S400：感测升降杆3产生的拉力，当拉力大于一预设力值时，控制电磁转换装置断电。

即通过拉力传感器6感测升降杆3所受到的拉力，拉力传感器6中设有一预设力值，当其感测到的拉力大于该预设力值时，发出一预警信号至控制器7，控制器7控制电磁转换装置4断电。

当然，由于本发明实施例中的晶圆加工设备还包括报警器8，在上述的控制器7控制电磁装置4断电后，还可以控制报警器8报警，告知工作人员出现故障。因此，本发明上述实施例中的方法能够避免升降杆3与晶圆100在输送过程中受到损坏。

关于该晶圆加工设备中的其他结构，已经在其实施例中作出了详细的描述，关于其具体结构以及作用，此处不再赘述。

应可理解的是，本发明不将其应用限制到本说明书提出的部件的详细结构和布置方式。本发明能够具有其他实施方式，并且能够以多种方式实现并且执行。前述变形形式和修改形式落在本发明的范围内。应可理解的是，本说明书公开和限定的本发明延伸到文中和/或附图中提到或明显的两个或两个以上单独特征的所有可替代组合。所有这些不同的组合构成本发明的多个可替代方面。本说明书所述的实施方式说明了已知用于实现本发明的最佳方式，并且将使本领域技术人员能够利用本发明。

Claims (11)

1.一种晶圆加工设备，其特征在于，包括：

承载板，开设有通孔，所述承载板用于承载晶圆；

驱动座，相对于所述承载板可升降；

升降杆，设于所述承载板与所述驱动座之间，所述升降杆的一端与所述驱动座接触，所述驱动座带动所述升降杆在所述通孔间升降，使所述升降杆的另一端通过所述通孔作用于所述晶圆的底面以使所述晶圆脱离所述承载板；

电磁转换装置，设于所述驱动座，所述电磁转换装置通电后，产生磁力；

磁性元件，设于所述升降杆的靠近所述驱动座的端部，所述电磁转换装置产生磁力后，所述电磁转换装置吸附所述磁性元件，当所述驱动座下降时，对所述升降杆施加拉力。

2.根据权利要求1所述的晶圆加工设备，其特征在于，还包括：控制器，所述控制器与所述驱动座以及所述电磁转换装置电连接，当所述驱动座带动所述升降杆下降到预设位置时，控制所述电磁转换装置通电，以对所述升降杆产生拉力。

3.根据权利要求2所述的晶圆加工设备，其特征在于，还包括：

拉力传感器，与所述控制器电连接，用于感测所述升降杆受到的拉力。

4.根据权利要求3所述的晶圆加工设备，其特征在于，所述拉力传感器中设有一预设力值，当所述拉力传感器感测到所述拉力大于所述预设力值时，发出一预警信号至所述控制器，所述控制器控制所述电磁转换装置断电。

5.根据权利要求4所述的晶圆加工设备，其特征在于，还包括：报警器，与所述控制器电连接，当所述控制器接收到所述拉力传感器发送的预警信号后，所述控制器控制所述报警器报警。

6.根据权利要求5所述的晶圆加工设备，其特征在于，还包括：

输出机构，所述输出机构与所述预设位置处于同一水平高度，用于在所述预设位置处承载并输出与所述承载板脱离后的所述晶圆；位置感测器，设于所述升降杆，并与所述控制器电连接，用于感测当所述升降杆作用于所述晶圆，并且将所述晶圆置于所述输出机构上时，所述升降杆与所述晶圆的底面是否脱离；

当所述位置感测器感测到所述升降杆的另一端吸附于所述晶圆的底面时，所述控制器控制所述电磁转换装置通电，并控制磁力逐渐增大，所述升降杆所受的拉力逐渐增大，直至当所述位置感测器感测到所述升降杆脱离所述晶圆，所述控制器控制所述电磁转换装置断电。

7.根据权利要求3所述的晶圆加工设备，其特征在于，所述预设力值为所述升降杆的重力的5-10倍。

8.一种晶圆输送方法，用于输送在如权利要求1至7中任一项所述的晶圆加工设备中加工的晶圆，其特征在于，包括：

将所述晶圆置于承载板上；

由驱动座带动升降杆作用于所述晶圆的底面，使所述晶圆置于一预设位置；

对所述升降杆施加拉力，使所述升降杆脱离所述晶圆底面。

9.根据权利要求8所述的晶圆输送方法，其特征在于，由驱动座带动升降杆作用于所述晶圆的底面，使所述晶圆置于一预设位置包括：

控制所述升降杆带动所述晶圆自第一位置上升至第二位置；

将输出机构置于预设位置；

控制所述升降杆带动所述晶圆自所述第二位置下降至所述预设位置。

10.根据权利要求8所述的晶圆输送方法，其特征在于，对所述升降杆施加拉力，使所述升降杆脱离所述晶圆底面包括：

控制所述驱动座下降；

对设于所述驱动座上的电磁转换装置通电产生磁力，吸附设于所述升降杆上的磁性元件，以对所述升降杆产生拉力。

11.根据权利要求10所述的晶圆输送方法，其特征在于，还包括：

感测所述升降杆受到的拉力，当所述拉力大于一预设力值时，控制所述电磁转换装置断电。

Images