CN113452105A - 地板下充电站 - Google Patents

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CN113452105A CN202110275047.9A CN202110275047A CN113452105A CN 113452105 A CN113452105 A CN 113452105A CN 202110275047 A CN202110275047 A CN 202110275047A CN 113452105 A CN113452105 A CN 113452105A
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朱延安
白峻荣
吴丰光
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Abstract

本发明实施例涉及地板下充电站。根据本发明的一些实施例，地板下充电站可经安装于地板下方使得所述地板下充电站的顶板与所述地板的顶面基本上齐平而不触碰地面。所述顶板中的开口允许充电元件在使用时延伸以对移动机器人充电，且在不使用时缩回于所述地板下方。所述伸缩式充电元件防止绊倒的危险且允许所述移动机器人在整个无尘室中自由地移动。此外，因为在所述地板下充电站未投入使用时所述充电元件可缩回于不突出位置中，所以准许所述地板下充电站定位于所述无尘室中允许所述移动机器人在充电时继续工作及/或允许所述移动机器人不停地运行的位置。

Description

地板下充电站
技术领域
本发明实施例涉及地板下充电站。
背景技术
随着对电子装置的需求增加，半导体装置制造商要继续寻找使任务自动化以便降低成本且增加生产率的方式。在一些情况中，可通过使用移动机器人或其它移动运送机构使晶片或半导体裸片在无尘室内的移动至少部分地自动化。在此类情况中，当晶片及/或裸片在整个制造期间移动时，移动机器人可在各种半导体制造过程设备之间运送晶片及/或裸片。
发明内容
本发明的实施例涉及一种用于对移动机器人充电的充电站，其包括：第一板，其具有穿过所述第一板的一或多个开口；第二板，其经定位于所述第一板下方；一或多个充电元件，其在所述第二板上；及发动机，其用来致使所述第二板在第一位置与第二位置之间移动，其中在所述第一位置中，所述一或多个充电元件至少部分地延伸穿过所述一或多个开口以对所述移动机器人充电，且其中在所述第二位置中，所述一或多个充电元件与所述第一板的顶面基本上齐平或在所述第一板的顶面下方。
本发明的实施例涉及一种装置，其包括：一或多个存储器；及一或多个处理器，其通信地耦合到所述一或多个存储器以：从一或多个第一传感器接收与待由相关联于所述装置的地板下充电站充电的移动机器人的位置相关联的传感器信息；基于与所述移动机器人的所述位置相关联的所述传感器信息而确定所述移动机器人定位于所述地板下充电站的充电区上方；基于确定所述移动机器人定位于所述充电区上方而致使一或多个充电元件至少部分地延伸穿过所述地板下充电站的顶板而到充电位置；且在所述一或多个或多个充电元件处于所述充电位置时致使所述地板下充电站对所述移动机器人充电。
本发明的实施例涉及一种方法，其包括：由控制器且基于运动检测电路，检测地板下充电站附近的移动机器人；由所述控制器且基于检测到所述移动机器人，确定所述移动机器人是否定位于所述地板下充电站的充电区上方；由所述控制器且基于确定所述移动机器人定位于所述充电区上方，致使所述地板下充电站的一或多个充电元件转变到其中所述一或多个充电元件的至少一部分在所述移动机器人行进的地板上方延伸的充电位置；由所述控制器确定所述一或多个充电元件是否处于所述充电位置；及由所述控制器且基于确定所述一或多个充电元件处于所述充电位置，致使充电电路激活以对所述移动机器人充电。
附图说明
当结合附图阅读时，从以下详细描述可最好地理解本揭露的方面。应注意，根据行业中的标准实践，各种特征未按比例绘制。实际上，为了论述清楚起见，各种特征的尺寸可任意地增加或减小。
图1A到图1G是本文中所描述的实例性地板下充电站的图。
图2A到图2G是本文中所描述的一或多个实例性实施方案的图。
图3是其中可实施本文中所描述的系统及/或方法的实例性环境的图。
图4是图1A到图1G及/或图2A到图2G的一或多个装置的实例组件的图。
图5到图7是用于对移动机器人充电的实例性制造过程的流程图。
具体实施方式
本揭露提供用于实施所提供标的物的不同特征的许多不同实施例或实例。下文描述组件及布置的特定实例以简化本揭露。当然，这些仅仅是实例且并非希望具限制性。例如，在以下描述中第一构件形成于第二构件上方或上可包含其中第一构件及第二构件经形成为直接接触的实施例，且还可包含其中额外构件可经形成于第一构件与第二构件之间使得第一构件及第二构件可不直接接触的实施例。另外，本揭露可在各个实例中重复元件符号及/或字母。此重复出于简化及清楚的目的且本身不规定所论述的各个实施例及/或结构设计之间的关系。
此外，为便于描述，空间相对术语(例如“在…下面”、“在…下方”、“下”、“在…上方”、“上”及类似物)可在本文中用来描述一个元件或构件与另一(其它)元件或构件的关系，如图中所说明。空间相对术语希望涵盖除图中所描绘的定向以外的使用或操作中装置的不同定向。所述设备可以其它方式定向(旋转90度或按其它定向)且因此可同样解释本文中所使用的空间相对描述词。
移动机器人可在无尘室中行进以在整个无尘室中运送晶片容器及/或裸片容器。移动机器人可依靠电池操作，此准许移动机器人自由地行进而无需附接到电力电缆。然而，电池在长时间使用之后将耗尽且因此移动机器人将必须停止工作并再充电。
用于移动机器人的充电站可经放置于整个无尘室中使得移动机器人可在无尘室中的各个位置处充电。然而，一些充电站设计具有特定缺点。例如，一些充电站具有从无尘室地板突出的充电杆或充电垫。此类突出充电杆或充电垫可能对无尘室人员造成绊倒的危险，可能中断移动机器人的行进路径，且可引起其它问题。作为另一实例，一些充电站以导致移动机器人在一时间周期(例如，5小时)之后停止生产率以便在闲置时(例如，在一小时或更长时间内)充电的方式放置于无尘室中。闲置充电周期导致移动机器人的生产率降低，无尘室中的半导体处理的处理能力降低及/或类似物。
本文中所描述的一些实施方案提供一种地板下充电站，其可经安装于高架无尘室地板下面使得所述地板下充电站的顶板与所述高架无尘室地板基本上齐平而不触碰地面。所述地板下充电站的所述顶板中的开口允许充电元件(例如，充电杆、充电垫及/或其它类型的充电元件)在使用时延伸以对移动机器人充电，且在不使用时缩回于所述高架无尘室地板下。
以此方式，地板下充电站的伸缩式充电元件防止绊倒的危险且允许移动机器人在整个无尘室中自由地移动。特定来说，移动机器人可在地板下充电站上方行进，而地板下充电站不会干扰移动机器人的行进路径。此允许移动机器人在更直接路径中行进，此降低编程移动机器人的行进路径的复杂性且允许移动机器人的行进路径更加优化。此外，因为在地板下充电站未投入使用时充电元件可缩回于不突出位置中，所以准许地板下充电站定位于无尘室中允许移动机器人在充电时继续工作及/或允许移动机器人不停地运行的位置。例如，地板下充电站可经定位于晶片架、半导体处理设备的装载端口及/或类似物附近使得移动机器人可在装载及卸除晶片/裸片容器时充电。
图1A到图1G是本文中所描述的实例性充电站100的图。在一些实施方案中，充电站100是用于对移动机器人的电池充电的充电站。在一些实施方案中，充电站可为用于对依靠电池电力操作的其它类型的移动装置充电的充电站。
图1A展示充电站100的透视图。如图1A中所展示，充电站100可经安装于地板102下方。在此类情况中，充电站100可称为地板下充电站。在一些实施方案中，地板102是由多个导轨及地砖组成的高架地板(例如，在半导体处理无尘室、数据中心或相对于地面或较低地板具有高架地板的另一类型的设施中，所述高架地板经构建于所述地面或较低地板上)。在一些实施方案中，地板102是非高架地板，且充电站100可经安装于非高架地板下的腔中。
如图1A中进一步展示，充电站100可包含用来将充电站100安装到地板102(例如，到地板102的一或多个导轨)的多个安装支架104。安装支架104可包含各种类型及形状的安装支架，例如L形支架、板形支架及/或能够沿着地板102的一或多个导轨滑动以准许水平地调整充电站100的其它类型的安装支架。充电站100可进一步包含连接及/或可移除地附接到安装支架104的多个支撑部件106。支撑部件106可包含导轨、管或准许充电站100在平行于地板102的平面中水平地平移的其它类型的支撑部件。例如，充电站100可包含准许充电站100在平行于地板102的平面中沿着第一轴(例如，X轴)水平地平移的一或多个第一支撑部件106a，且可包含准许充电站100在平行于地板102的平面中沿着第二轴(例如，Y轴)水平地平移的一或多个第一支撑部件106b。第一支撑部件106a及第二支撑部件106b可为垂直的或正交的使得第一轴及第二轴也是垂直或正交的。以此方式，支撑部件106准许在地板102的地砖开口的空间内横向地调整充电站100的位置。
如图1A中进一步展示，充电站100可包含底板108、中间板110及顶板112。底板108、中间板110及顶板112可由各种形状、尺寸及/或材料(例如，塑料、金属及/或类似物)形成，且还可称为托盘或其它类型的基本上平坦及平面的结构。底板108可连接及/或可移除地附接到第一支撑部件106a及/或第二支撑部件106b使得可通过沿着第一支撑部件106a及/或第二支撑部件106b滑动底板108、中间板110及顶板112来调整底板108、中间板110及顶板112的位置。
顶板112可由一或多个安装支架或其它安装机构连接及/或可移除地安装到底板108上。顶板112可经连接及/或可移除地安装到底板108上使得地板102的顶面114及顶板112的顶面116基本上齐平以减小及/或最小化绊倒的危险且准许移动机器人及其它移动装置在充电站100上方行进。中间板110可经定位于底板108与顶板112之间。
中间板110可以准许相对于底板108及顶板112调整中间板110的高度(例如，沿着Z轴或垂直轴)的方式连接到底板108。充电站100可包含用来调整中间板110相对于底板108及顶板112的高度的发动机118。发动机118可包含各种类型的发动机，例如永磁直流(DC)发动机、并联DC发动机、一系列DC发动机、伺服发动机、有刷或无刷发动机、感应交流(AC)发动机及/或类似物。
图1B展示充电站100的侧视图。如图1B中所展示，充电站100可包含一或多个支架120。支架120可用来以准许支撑部件106a相对于支撑部件106b滑动及/或准许支撑部件106b相对于支撑部件106a滑动的方式连接支撑部件106a及支撑部件106b。如图1B中进一步展示，充电站100可包含连接及/或可移除地安装到底板108的多个支撑部件122。支撑部件122可为基本上垂直于底板108、中间板110及顶板112定位的杆、管、导轨及/或其它类型的长形部件。中间板110可以改变中间板110相对于底板108及顶板112的高度及/或垂直位置(例如，沿着Z轴或垂直轴)的方式沿着支撑部件122滑动。中间板110可通过可移除地附接到中间板110的多个摩擦环124与支撑部件122可滑动地介接。摩擦环124可包含线性轴承、塑料或聚合物圆柱形套筒，或可在中间板110沿着支撑部件122滑动时减少摩擦及/或降低磨损的其它类型的组件。
如图1B中进一步展示，充电站100可包含在中间板110上的一或多个充电元件126。在一些实施方案中，充电元件126可经连接及/或可移除地或不可移除地安装于中间板110上。因此，中间板110沿着支撑部件122的移动可改变充电元件126的高度及/或垂直位置连同中间板110的高度及/或垂直位置。以此方式，中间板110可沿着支撑部件122滑动以使充电元件126的至少一部分在地板102的顶面114上方延伸及/或使充电元件126缩回于地板102的顶面114下方或与地板102的顶面114齐平。
充电元件126可包含充电杆、充电垫、充电叉或可用来对移动机器人充电的其它类型的结构。充电元件126可朝向顶板112向上延伸且可由用来载送电流的各种导电材料形成，例如铜、金、银及/或类似物。图1A到图1G中所说明的充电元件126的数量、大小、形状及/或配置可仅作为实例提供且实践上可基于待由充电站100充电的移动机器人及其它装置。
如图1B中进一步展示，充电站100可包含用于调整中间板110的高度及/或垂直位置(及因此充电元件126的高度及/或垂直位置)的各种构件。例如，充电站100可包含连杆组128及转动部件130。连杆组128可将发动机118机械地连接到转动部件130。连杆组128可包含各种齿轮、轴件及/或将发动机118的旋转运动转换为转动部件130的旋转运动的其它类型的机械组件。转动部件130可为旋转以调整中间板110的高度及/或垂直位置(及因此充电元件126的高度及/或垂直位置)的螺纹杆或螺纹轴件。
如图1B中进一步展示，充电站100可包含多个传感器138。传感器138可为用于检测中间板110的高度或垂直位置(例如，沿着Z轴)的位置传感器。传感器138可包含近接传感器、光电检测器、霍尔效应传感器、反射性纤维传感器、线性可变差动变压器(LVDT)及/或能够检测中间板110的高度或垂直位置、能够基于中间板110的高度或垂直位置而产生传感器信息或传感器数据及/或类似物的其它类型的传感器。
在一些实施方案中，传感器138中的每一者可经定位及/或以其它方式经配置以基于中间板110的特定高度或垂直位置而检测及/或产生传感器信息。例如，传感器138a可经定位及/或以其它方式经配置以检测中间板110的位置上限，基于中间板110的位置上限而产生传感器信息及/或类似物。位置上限可对应于中间板110的最大所准许高度或垂直位置。作为另一实例，传感器138b可经定位及/或以其它方式经配置以检测中间板110的充电位置，基于中间板的充电位置而产生传感器信息及/或类似物。充电位置可为充电元件126的至少一部分在地板102的顶面114上方延伸以准许对移动机器人的充电所处的中间板110的特定高度、高度范围、垂直位置或垂直位置范围。
作为另一实例，传感器138c可经定位及/或以其它方式经配置以检测中间板110的存储位置，基于中间板110的存储位置而产生传感器信息及/或类似物。存储位置可为充电元件126缩回于地板102的顶面114下方或与地板102的顶面114齐平使得充电元件126并非绊倒的危险且不会干扰移动机器人的行进所处的中间板110的特定高度、高度范围、垂直位置或垂直位置范围。作为另一实例，传感器138d可经定位及/或以其它方式经配置以检测中间板110的位置下限，基于中间板110的位置下限而产生传感器信息及/或类似物。位置下限可对应于中间板110的最小所准许高度或垂直位置。
如图1B中进一步展示，充电站100可包含一或多个传感器140。传感器140可例如通过支架142安装及/或可移除地附接到底板108。传感器140可经配置以检测充电站100附近的运动，可经配置以产生与移动机器人的水平位置或横向位置(例如，沿着X轴及Y轴的水平位置或横向位置)相关联的传感器信息及/或类似物。传感器140可包含近接传感器、光电检测器、霍尔效应传感器、反射性纤维传感器、LVDT及/或能够检测充电站100附近的运动、能够产生与移动机器人的水平位置或横向位置相关联的传感器信息或传感器数据及/或类似物的其它类型的传感器。
如图1B中进一步展示，充电站100可包含控制器壳体144。控制器壳体144可包含金属壳体、塑料壳体或经配置以保护充电站100中包含的各种电及机电组件(例如控制器、各种类型的运动检测电路系统、各种类型的充电电路系统及/或类似物)的另一类型的壳体。
图1C展示底板108的透视图。如图1C中所展示，传感器140可例如通过支架142或另一类型的支撑结构安装及/或可移除地附接到底板108。如图1C中进一步展示，传感器138可例如通过支架146或另一类型的支撑结构安装及/或可移除地附接到底板108。如图1C中进一步展示，开口148可经形成穿过其中转动部件130可经支撑且可与连杆组128机械地连接的底板108。
图1D展示中间板110的俯视图。如图1D中所展示，充电元件126的一或多个区段可经定位于中间板110上。在一些实施方案中，充电元件126通过各种类型的紧固机构(例如螺钉、铆钉、支架、夹子及/或类似物)可移除地附接到中间板110。在一些实施方案中，充电元件126经集成到中间板110中。
如图1D中进一步展示，各种开口可经形成穿过中间板110。例如，开口150可经形成穿过中间板110以准许支撑部件122经定位穿过开口150。此外，摩擦环124可经定位于开口150中使得支撑部件122经插入穿过摩擦环124。作为另一实例，开口152可经形成穿过中间板110以准许转动部件130经定位穿过开口152。在一些实施方案中，多个开口152可经形成穿过中间板110以准许将各种配置的调整机构与中间板110一起使用以调整中间板110的高度或垂直位置。支撑结构154可经定位及/或可移除地附接于开口152中以支撑及/或介接转动部件130。支撑结构154可包含螺纹开口以与转动部件130的螺纹介接使得转动部件130的旋转致使转动部件130的螺纹及支撑结构154的螺纹沿着垂直轴或Z轴移动中间板110。
如图1D中进一步展示，一或多个开口156可经形成穿过中间板110以准许传感器140检测充电站100附近的运动，以通过中间板110产生与移动机器人的水平位置或横向位置相关联的传感器信息及/或类似物。在一些实施方案中，多个开口156可经形成穿过中间板110以准许各种配置及/或类型的传感器140与充电站100一起使用。
图1E及图1F分别展示顶板112的透视图。如图1E及图1F中所展示，多个开口可经形成穿过顶板112。例如，一或多个开口158可经形成穿过顶板112，充电元件126可延伸穿过顶板112且通过顶板112缩回。开口158可经定位于充电站100及/或顶板112的充电区160中。充电区160可为其中主要发生在充电元件126与移动机器人之间传送电荷或电流的区。作为另一实例，一或多个开口162可经形成穿过顶板112以准许传感器140通过顶板112检测充电站100附近的运动，产生与移动机器人的水平位置或横向位置相关联的传感器信息及/或类似物。在一些实施方案中，多个开口162可经形成穿过顶板112以准许各种配置及/或类型的传感器140与充电站100一起使用。在一些实施方案中，开口156的数量及开口162的数量可为相同开口数量。在一些实施方案中，开口156的数量及开口162的数量可为不同开口数量。
此外，图1E及图1F分别展示充电站100的存储配置及充电站100的充电配置。如图1E中所展示，在存储配置中，充电元件126通过顶板112中的开口158缩回使得充电元件126经定位成与顶板112的顶面116齐平或经定位于顶板112的顶面116下方(且因此，与地板102的顶面114齐平或经定位于地板102的顶面114下方)。存储位置可对应于基于由传感器138c产生的传感器信息检测到的中间板110的高度或垂直位置。如图1F中所展示，在充电配置中，充电元件126的至少一部分延伸穿过顶板112中的开口158且在顶板112的顶面116上方(及因此在地板102的顶面114上方)。充电位置可对应于基于由传感器138b产生的传感器信息检测到的中间板110的高度或垂直位置。
图1G展示控制器壳体144中包含的各种电及机电组件。如图1G中所展示，充电站100可包含控制器164、运动检测电路系统166、充电电路系统168及/或一或多个其它电及机电组件。如图1G中所展示，控制器164可与充电站100的各种组件进行通信，包含发动机118、传感器138、传感器140、运动检测电路166、充电电路168及/或类似物。
控制器164可包含可编程逻辑控制器(PLC)，微控制器及/或能够与充电站100的各种组件进行通信，能够接收、产生及处理电子信息，能够传输指令及/或致使充电站100的各种组件执行各种类型的动作及/或类似物的其它类型的电子控制器。例如，控制器164可与发动机118进行通信以致使发动机118激活及撤销激活以调整中间板110的高度或垂直位置。作为另一实例，控制器164可与传感器138进行通信以接收与中间板110的高度或垂直位置相关联的传感器信息且可致使发动机118基于传感器信息而激活或撤销激活。作为另一实例，控制器164可与传感器140进行通信以接收与检测充电站100附近(例如，顶板112的充电区160附近)的移动机器人相关联的传感器信息，接收与移动机器人相对于充电站100(例如，相对于顶板112的充电区160)的位置相关联的传感器信息及/或类似物，且可致使发动机118基于传感器信息而激活或撤销激活。
作为另一实例，控制器164可与运动检测电路166进行通信以接收已在充电站100附近(例如，在顶板112的充电区160附近)检测到移动机器人的指示。例如，运动检测电路系统166可包含激活或供能给运动检测电路166中包含的运动检测电路系统的运动检测继电器。运动检测继电器可基于从传感器140接收到已在充电站100附近(例如，在顶板112的充电区160附近)检测到移动机器人的指示而激活或通电到运动检测电路。所述指示可为闭合或断开运动检测继电器的电压变化、断开或闭合运动检测继电器的电流变化及/或类似物。闭合或断开运动检测继电器可致使运动检测电路激活或通电。控制器164可确定运动检测电路已激活或通电且可基于运动检测电路激活或通电而确定已在充电站100附近(例如，在顶板112的充电区160附近)检测到移动机器人。在此类情况中，控制器164可基于确定已在充电站100附近(例如，在顶板112的充电区160附近)检测到移动机器人而与传感器140进行通信，接收与移动机器人相对于充电站100(例如，相对于顶板112的充电区160)的位置相关联的传感器信息。
作为另一实例，控制器164可与充电电路系统168进行通信以致使由充电站100对移动机器人充电。例如，充电电路系统168可包含激活或通电到充电电路系统168中包含的充电电路的充电继电器。控制器164可基于从传感器138接收到的传感器信息而致使充电继电器断开或闭合。例如，控制器164可基于传感器信息而确定中间板110(及因此，充电元件126)处于充电位置。控制器164可基于确定中间板110处于充电位置而致使充电继电器断开或闭合以激活充电电路以致使移动机器人充电。
如上文所指示，提供图1A到图1G作为一或多个实例。其它实例可不同于关于图1A到图1G所描述的实例。
图2A到图2G是本文中所描述的一或多个实例性实施方案200的图。实例性实施方案200说明用于使用充电站100对移动机器人202的电池充电的各种技术及/或动作。在一些实施方案中，结合实例性实施方案200所描述的各种技术及/或动作可用来对依靠电池电力操作的其它类型的移动装置充电。
如图2A中所展示，且通过元件符号204，充电站100可监测移动机器人。在一些实施方案中，充电站100使用充电站100的各种组件(例如，传感器140、控制器164、运动检测电路系统166及/或类似物)监测移动机器人(例如，移动机器人202)。例如，传感器140可包含一或多个反射性光纤传感器。(传感器140的)反射性光纤传感器可发射光(例如，可见光、红外光及/或类似物)且可测量在所述反射性光纤传感器处接收到的反射光的量。
因此，移动机器人202可在移动机器人202的底部处或附近配备有经配置以反射从传感器140发射的光的一或多个反射器206。传感器140可产生电压、电流或对应于在传感器140处接收到的反射光的量的另一类型的传感器信息。传感器140可将电压、电流或另一类型的传感器信息提供到控制器164及/或运动检测电路系统166。在一些实施方案中，控制器164基于确定由至少一个传感器140提供的电压满足阈值电压、基于确定由至少一个传感器140提供的电流满足阈值电流及/或类似物而检测充电站100附近的移动机器人202的存在。
在一些实施方案中，控制器164基于运动检测电路系统166的运动检测电路的激活或通电而检测充电站100附近的移动机器人202的存在。例如，传感器140可将电压、电流或另一类型的传感器信息提供到运动检测电路系统166的运动检测继电器。运动检测继电器可基于所述电压满足用来断开或闭合运动检测继电器的阈值电压、基于所述电流满足用来断开或闭合运动检测继电器的阈值电流及/或类似物而断开或闭合。运动检测继电器的断开或闭合可激活或通电到运动检测电路，此向控制器164指示在充电站100附近存在移动机器人202。
如图2B中所展示，且通过元件符号208，充电站100可确定移动机器人(例如，移动机器人202)经定位于充电站100的顶板112的充电区160上方。充电站100可使用各种组件来确定移动机器人202经定位于充电区160上方，例如传感器140、控制器164及/或类似物。例如，移动机器人202可沿着地板102且在充电站100上方(例如，在顶板112上方)行进。充电站100可经安装于地板102下方使得地板102的顶面114及顶板112的顶面116基本上平坦或齐平，由此准许移动机器人202在顶板112上方行进。传感器140可包含多个传感器，其中每一传感器经定位及/或经配置以基于来自移动机器人202上的相应反射器206的反射光而产生传感器信息。传感器140可经定位于充电区160周围使得当移动机器人202处于待在充电区160上方充电的位置时，控制器164可确定在所有传感器140处检测到反射光的阈值量。因此，如果控制器164确定在所有传感器140处检测到反射光的阈值量，那么控制器164可确定移动机器人202经定位于充电区160上方以由充电站100充电。在一些实施方案中，如果控制器164确定移动机器人202未经定位于充电区160上方但在定位于充电区160上方的阈值范围(例如，X轴范围及/或一Y轴范围)内，那么控制器164可致使(例如，通过沿着支撑部件106滑动充电站100)调整充电站100的位置使得移动机器人202经定位于充电区160上方。
如图2C中所展示，且通过元件符号210，充电站100可致使充电元件126延伸到充电位置以对移动机器人202充电。充电站100可致使充电元件126基于确定移动机器人202经定位于充电区160上方以进行充电而延伸到充电位置。充电站100可使用各种组件来致使充电元件126延伸到充电位置，例如发动机118、传感器138、转动部件130、控制器164及/或类似物。例如，控制器164可从传感器138c接收指示充电元件126所在的中间板110的位置的传感器信息。传感器信息可指示中间板110(及因此，充电元件126)处于存储位置，其中充电元件126经定位成与顶板112的顶面116齐平或经定位于顶板112的顶面116下方。因此，控制器164可将激活发动机118的信号或指令传输到发动机118。发动机118可通过连杆组128致使转动部件130沿致使中间板110的高度或垂直位置增加的方向旋转，由此致使中间板110(及因此，充电元件126)从存储位置转变到充电位置。
如图2D中所展示，且通过元件符号212，充电站100可确定中间板110(及因此，充电元件126)处于充电位置。充电站100可使用各种组件来确定中间板110(及因此，充电元件126)处于充电位置，例如传感器138、控制器164及/或类似物。控制器164可从传感器138b接收指示中间板110(及因此，充电元件126)已到达充电位置的传感器信息。在充电位置中，充电元件126的至少一部分延伸穿过顶板112中的开口158使得充电元件126的部分在顶板112的顶面116及地板102的顶面114上方延伸。此外，在充电位置中，充电元件126的至少一部分接触移动机器人202的充电元件使得可在充电元件126与移动机器人202的充电元件之间传送电荷及/或电流。控制器164可基于接收到指示中间板110(及因此，充电元件126)已到达充电位置的传感器信息而致使发动机118撤销激活且停止致使转动部件130增加中间板110的高度或垂直位置。
如图2E中所展示，且通过元件符号214，充电站100可对移动机器人202充电。充电站100可通过致使电荷或电流通过移动机器人202的充电元件从充电元件126传送到移动机器人202的电池来对移动机器人202充电。充电站100可使用各种组件来对移动机器人202充电，包含充电元件126、控制器164、充电电路168及/或类似物。例如，移动机器人202可通过控制器164的通信接口与控制器164进行通信以起始充电。在一些实施方案中，移动机器人202可通过将致使移动机器人202充电的指令传输到控制器164来起始充电。
在一些实施方案中，当移动机器人202经定位于充电区160上方时，在控制器164与移动机器人202之间建立通信路径。例如，充电站100可包含当充电元件126延伸到充电位置时与移动机器人202的通信连接器连接的通信连接器。在此类情况中，控制器164及移动机器人202可经由通信路径进行通信。在一些实施方案中，控制器164及移动机器人202通过经由无线通信通道传输无线信号来无线通信。
控制器164可通过激活或通电到充电电路系统168的充电电路来开始对移动机器人202的充电。在一些实施方案中，控制器164可基于从移动机器人202接收指令而激活或通电到充电电路。控制器164可通过闭合或断开充电电路系统168的充电继电器来激活或通电到充电电路。充电继电器的闭合或断开可致使充电电路激活，此可致使电荷或电流通过移动机器人202的充电元件从充电元件126流动到移动机器人202的电池。
如图2F中所展示，且通过元件符号216，充电站100可确定对移动机器人202的充电已完成。在此类情况中，充电站100可基于确定对移动机器人202的充电已完成来停止对移动机器人202充电。充电站100可确定对移动机器人的充电已完成且可致使充电站100使用例如控制器164及/或类似物的各种组件停止对移动机器人202充电。在一些实施方案中，控制器164可基于充电定时器的逾期而确定对移动机器人202的充电已完成，所述充电定时器可在移动机器人202的电池经完全再充电时或之前逾期。在一些实施方案中，控制器164可基于接收到停止充电的指令而确定对移动机器人202的充电已完成，所述指令可在移动机器人202的电池经完全再充电时或之前逾期。
在一些实施方案中，控制器164可与移动机器人202进行通信以接收识别移动机器人202的电池的充电电平及所述电池的阈值充电电平的信息。因此，当电池的充电电平满足阈值充电电平时，控制器164可确定对移动机器人202的充电已完成。充电电平及阈值充电电平可由相应电压、相应电流及/或另一指示符来指示。控制器164可通过使充电电路撤销激活或断电来致使充电站100停止对移动机器人202充电。例如，控制器164可通过断开或闭合充电继电器来致使充电电路撤销激活或断电。
如图2G中所展示，且通过元件符号218，充电站100可致使充电元件126缩回到存储位置以在对移动机器人202充电之后进行存储。充电站100可基于确定对移动机器人202的充电已完成而致使充电元件126缩回到存储位置。充电站100可使用各种组件来致使充电元件126缩回到存储位置，例如发动机118、传感器138、转动部件130、控制器164及/或类似物。例如，控制器164可从传感器138b接收指示中间板110的位置的传感器信息。传感器信息可指示中间板110(及因此，充电元件126)处于充电位置。因此，控制器164可将激活发动机118的信号或指令传输到发动机118。发动机118可通过连杆组128致使转动部件130沿致使中间板的高度或垂直位置降低的方向旋转，由此致使中间板110(及因此，充电元件126)从充电位置转变到存储位置。
充电站100可确定中间板110(及因此，充电元件126)处于存储位置。充电站100可使用各种组件来确定中间板110(及因此，充电元件126)处于存储位置，例如传感器138、控制器164及/或类似物。控制器164可从传感器138c接收指示中间板110(及因此，充电元件126)已到达存储位置的传感器信息。控制器164可基于接收到指示中间板110(及因此，充电元件126)已到达存储位置的传感器信息而致使发动机118撤销激活且停止致使转动部件130降低中间板110的高度或垂直位置。
如上文所指示，提供图2A到图2G作为一或多个实例。其它实例可不同于关于图2A到图2G所描述的实例。
图3是其中可实施本文中所描述的系统及/或方法的实例性环境300的图。如图3中所展示，环境300可包含无尘室302，其中移动机器人304沿着行进路径行进以在整个无尘室302中运送晶片、裸片及/或其它物品。移动机器人304可在一或多个装载端口306、一或多个晶片架308及/或无尘室302中的一或多个其它位置之间运送晶片、裸片及/或其它物品。此外，移动机器人304可由无尘室302中的一或多者充电站310来充电。
无尘室302可为用于制造晶片、各种类型的半导体装置(例如，晶体管、存储器装置、处理器、模拟装置(例如，传感器、信号处理装置及/或类似物))、半导体发光二极管(LED)、半导体激光器及/或类似物及/或其组件的无尘室。
移动机器人304可为能够在整个无尘室302内运送晶片、裸片及/或其它物品的自动化移动装置(例如，移动机器人202)。例如，移动机器人304可为电池供电机器人、电池供电电动推车、移动及/或电池供电有轨电车或手推车或另一类型的电池供电装置。在一些实施方案中，移动机器人304沿着无尘室302中的各个位置之间的行进路径行进，其可包含在包含装载端口306、晶片架308及/或类似物的位置处的止动件。在一些实施方案中，移动机器人304的行进路径是半自主的或经配置以根据需要或在特定时间且以特定顺序运送晶片、裸片及/或其它物品以支持无尘室302中实行的各种半导体制造过程。在一些实施方案中，移动机器人304能够运送晶片容器(例如，能够固持晶片批次的容器)、裸片容器(例如，能够固持裸片批次的容器)、个别晶片及/或类似物。
装载端口306包含与半导体处理装置或系统相关联的容器基座、晶片端口、裸片端口、预备位置及/或类似物。例如，装载端口306可为半导体处理装置的晶片容器基座，在其上放置晶片容器使得可将晶片容器中的晶片从晶片容器装载到半导体处理装置中以进行处理。半导体处理装置或系统可为光刻装置(例如，旋涂装置、曝光装置、显影剂装置及/或类似物)、沉积装置(例如，化学气相沉积装置、物理气相沉积装置及/或类似物)、蚀刻装置或另一类型的半导体处理装置。晶片架308包含架、架子、存储柜或经配置以固持晶片、裸片、晶片容器、裸片容器及/或类似物的另一结构。
充电站310包含能够安装于无尘室302的地板下方且能够对移动机器人304充电的充电站(例如，充电站100)。例如，充电站310可检测充电站310附近的移动机器人304，可确定移动机器人304是否定位于充电站310的充电区上方，可致使充电站310的一或多个充电元件转变到其中一或多个充电元件的至少一部分在无尘室302的地板上方延伸的充电位置，可激活充电电路以在一或多个充电元件处于充电位置时对移动机器人充电及/或类似物。
提供图3中所展示的装置的数目及布置作为一或多个实例。在实践上，与图3中所展示的装置相比，可存在额外装置、更少装置、不同装置或不同地布置的装置。此外，可在单个装置内实施图3中所展示的两个或更多个装置，或可将图3中所展示的单个装置实施为多个分布式装置。另外或替代地，环境300的一组装置(例如，一或多个装置)可执行被描述为由环境300的另一组装置执行的一或多个功能。
图4是装置400的实例组件的图。装置400可对应于控制器164、移动机器人202、移动机器人304及/或类似物。在一些实施方案中，控制器164、移动机器人202、移动机器人304及/或类似物可包含一或多个装置400及/或装置400的一或多个组件。如图4中所展示，装置400可包含总线410、处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460及通信接口470。
总线410包含准许在装置400的多个组件当中进行通信的组件。处理器420以硬件、固件及/或硬件及软件的组合来实施。处理器420是中央处理单元(CPU)、图形处理单元(GPU)、加速处理单元(APU)、微处理器、微控制器、数字信号处理器(DSP)、场可编程门阵列(FPGA)、专用集成电路(ASIC)或另一类型的处理组件。在一些实施方案中，处理器420包含能够经编程以执行功能的一或多个处理器。存储器430包含随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)及/或存储信息及/或指令以供处理器420使用的另一类型的动态或静态存储装置(例如，闪存、磁性存储器及/或光学存储器)。
存储组件440存储与装置400的操作及使用相关的信息及/或软件。例如，存储组件440可包含硬盘(例如，磁盘、光盘及/或磁光盘)、固态磁盘(SSD)、光盘(CD)、数字多功能光盘(DVD)、软盘、卡匣、磁带及/或另一类型的非暂时性计算机可读媒体，以及对应驱动器。
输入组件450包含准许装置400例如经由用户输入接收信息的组件(例如，触控屏幕显示器、键盘、小键盘、鼠标、按钮、开关及/或麦克风)。另外或替代地，输入组件450可包含用于确定位置的组件(例如，全球定位系统(GPS)组件)及/或传感器(例如，加速度计、陀螺仪、致动器、另一类型的位置或环境传感器及/或类似物)。输出组件460包含(经由例如，显示器、扬声器、触觉反馈组件、音频或视觉指示器及/或类似物)提供来自装置400的输出信息的组件。
通信接口470包含使装置400能够例如经由有线连接、无线连接或有线及无线连接的组合与其它装置进行通信的收发器类组件(例如，收发器、单独接收器、单独传输器及/或类似物)。通信接口470可准许装置400从另一装置接收信息及/或将信息提供到另一装置。例如，通信接口470可包含以太网络接口、光学接口、同轴接口、红外接口、射频(RF)接口、通用串行总线(USB)接口、Wi-Fi接口、蜂窝网络接口及/或类似物。
装置400可执行本文中所描述的一或多个制造过程。装置400可基于处理器420执行由例如存储器430及/或存储组件440的非暂时性计算机可读媒体存储的软件指令而执行此类制造过程。如本文中所使用，术语“计算机可读媒体”指代非暂时性存储器装置。存储器装置包含单个物理存储装置内的存储器空间或跨多个物理存储装置分布的存储器空间。
软件指令可经由通信接口470从另一计算机可读媒体或另一装置读取到存储器430及/或存储组件440中。当被执行时，存储于存储器430及/或存储组件440中的软件指令可致使处理器420执行本文中所描述的一或多个制造过程。另外或替代地，硬件电路可代替或组合软件指令使用以执行本文中所描述的一或多个制造过程。因此，本文中所描述的实施方案不限于硬件电路系统及软件的任何特定组合。
提供图4中所展示的组件的数目及布置作为实例。在实践上，与图4中所展示的组件相比，装置400可包含额外组件、更少组件、不同组件或不同地布置的组件。另外或替代地，装置400的一组组件(例如，一或多个组件)可执行被描述为由装置400的另一组组件执行的一或多个功能。
图5是与对移动机器人充电相关联的实例性制造过程500的流程图。在一些实施方案中，图5的一或多个制造过程框可由充电站的控制器(例如，充电站100的控制器164、充电站310的控制器、装置400及/或类似物)来执行。
如图5中所展示，制造过程500可包含从一或多个第一传感器接收与待由相关联于所述装置的地板下充电站充电的移动机器人的位置相关联的传感器信息(框510)。例如，控制器(例如，使用处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)可从一或多个第一传感器(例如，一或多个传感器140)接收与待由相关联于所述装置的地板下充电站(例如，充电站100、充电站310及/或类似物)充电的移动机器人(例如，移动机器人202、移动机器人304及/或类似物)的位置相关联的传感器信息，如上文所描述。
如图5中进一步展示，制造过程500可包含基于与移动机器人的位置相关联的传感器信息而确定移动机器人经定位于地板下充电站的充电区上方(框520)。例如，控制器(例如，使用处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)可基于与移动机器人的位置相关联的传感器信息而确定移动机器人经定位于地板下充电站的充电区(例如，充电区160)上方，如上文所描述。
如图5中进一步展示，制造过程500可包含基于确定移动机器人经定位于充电区上方而致使一或多个充电元件至少部分地延伸穿过地板下充电站的顶板到充电位置(框530)。例如，控制器(例如，使用处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)可基于确定移动机器人经定位于充电区上方而致使一或多个充电元件(例如，一或多个充电元件126)至少部分地延伸穿过地板下充电站的顶板(例如，顶板112)而到充电位置，如上文所描述。
如图5中进一步展示，制造过程500可包含在一或多个充电元件处于充电位置时致使地板下充电站对移动机器人充电(框540)。例如，控制器(例如，使用处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)可在一或多个充电元件处于充电位置时致使地板下充电站对移动机器人充电，如上文所描述。
制造过程500可包含额外实施方案，例如在下文及/或结合本文中别处所描述的一或多个其它制造过程所描述的任何单个实施方案或任何实施方案组合。
在第一实施方案中，制造过程500包含致使一或多个充电元件从存储位置朝向充电位置移动，基于从一或多个第二传感器(例如，一或多个传感器138)接收到的传感器信息而确定一或多个充电元件处于充电位置，及基于确定一或多个充电元件处于充电位置而致使一或多个充电元件停止移动。在第二实施方案中，单独地或与第一实施方案组合，制造过程500包含确定对移动机器人的充电已完成，及基于确定对移动机器人的充电已完成而致使一或多个充电元件通过顶板缩回到其中一或多个充电元件经定位于顶板的顶面(例如，顶面116)下方的存储位置。
在第三实施方案中，单独地或与第一及第二实施方案中的一或多者组合，制造过程500包含致使一或多个充电元件从充电位置朝向存储位置移动，基于从一或多个第二传感器(例如，一或多个传感器138)接收到的传感器信息而确定一或多个充电元件处于存储位置，及基于确定一或多个充电元件处于存储位置而致使一或多个充电元件停止移动。
尽管图5展示制造过程500的实例性框，但在一些实施方案中，与图5中所描绘的框相比，制造过程500可包含额外框、更少框、不同框或不同地布置的框。另外或替代地，可并行执行制造过程500的框中的两者或更多者。
图6是与对移动机器人充电相关联的实例性制造过程600的流程图。在一些实施方案中，图6的一或多个制造过程框可由充电站的控制器(例如，充电站100的控制器164、充电站310的控制器、装置400及/或类似物)来执行。
如图6中所展示，制造过程600可包含基于运动检测电路系统而检测地板下充电站附近的移动机器人(框610)。例如，控制器(例如，使用处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)可基于运动检测电路系统(例如，运动检测电路系统166)而检测地板下充电站(例如，充电站100、充电站310及/或类似物)附近的移动机器人(例如，移动机器人202、移动机器人304及/或类似物)，如上文所描述。
如图6中进一步展示，制造过程600可包含基于检测到移动机器人而确定移动机器人是否定位于地板下充电站的充电区上方(框620)。例如，控制器(例如，使用处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)可基于检测移动机器人而确定移动机器人是否定位于地板下充电站的充电区(例如，充电区160)上方，如上文所描述。
如图6中进一步展示，制造过程600可包含基于确定移动机器人经定位于充电区上方而致使地板下充电站的一或多个充电元件转变到其中一或多个充电元件的至少一部分在移动机器人行进所在的地板上方延伸的充电位置(框630)。例如，控制器(例如，使用处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)可基于确定移动机器人经定位于充电区上方而致使地板下充电站的一或多个充电元件(例如，充电元件126)转变到其中一或多个充电元件的至少一部分在移动机器人行进所在的地板(例如，地板102)上方延伸的充电位置，如上文所描述。
如图6中进一步展示，制造过程600可包含确定一或多个充电元件是否处于充电位置(框640)。例如，控制器(例如，使用处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)可确定一或多个充电元件是否处于充电位置，如上文所描述。
如图6中进一步展示，制造过程600可包含基于确定一或多个充电元件处于充电位置而致使充电电路系统激活以对移动机器人充电(框650)。例如，控制器(例如，使用处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)可基于确定一或多个充电元件处于充电位置而致使充电电路系统(例如，充电电路系统168)激活以对移动机器人充电，如上文所描述。
制造过程600可包含额外实施方案，例如在下文及/或结合本文中别处所描述的一或多个其它制造过程所描述的任何单个实施方案或任何实施方案组合。
在第一实施方案中，确定移动机器人是否定位于充电区上方包含从一或多个传感器(例如，一或多个传感器140)接收与移动机器人的位置相关联的传感器信息，及基于与移动机器人的位置相关联的传感器信息而确定移动机器人是否定位于充电区上方。在第二实施方案中，单独地或与第一实施方案组合，一或多个传感器是一或多个反射性光纤传感器，且与移动机器人的位置相关联的传感器信息指示来自与移动机器人相关联的一或多个反射器(例如，一或多个反射器206)的反射是否由一或多个反射性光纤传感器接收。
在第三实施方案中，单独地或与第一及第二实施方案中的一或多者组合，制造过程600包含在从检测到移动机器人起的阈值时间周期之后确定移动机器人未经定位于充电区上方，及基于确定移动机器人未经定位于充电区上方而触发警报。在第四实施方案中，单独地或与第一到第三实施方案中的一或多者组合，一或多个传感器是一或多个反射性光纤传感器，且确定移动机器人未经定位于充电区上方包含基于与移动机器人的位置相关联的传感器信息而确定移动机器人未经定位于充电区上方，所述传感器信息指示来自与移动机器人相关联的至少一个反射器的反射未被一或多个反射性光纤中的至少一者接收。
在第五实施方案中，单独地或与第一到第四实施方案中的一或多者组合，致使充电电路系统激活包含基于接收到指令而致使充电继电器激活充电电路以对移动机器人充电。在第六实施方案中，单独地或与第一到第五实施方案中的一或多者组合，确定一或多个充电元件是否处于充电位置包含从与充电位置相关联的传感器(例如，传感器138b)接收与其上支撑一或多个充电元件的板的位置相关联的传感器信息，及基于与板的位置相关联的传感器信息而确定一或多个充电元件是否处于充电位置。
在第七实施方案中，单独地或与第一到第六实施方案中的一或多者组合，制造过程600包含致使一或多个充电元件从充电位置转变到存储位置；从与存储位置相关联的传感器(例如，传感器138c)接收与板的位置相关联的其它传感器信息；及基于与板的位置相关联的另一传感器信息而确定一或多个充电元件是否处于存储位置。
尽管图6展示制造过程600的实例性框，但在一些实施方案中，与图6中所描绘的框相比，制造过程600可包含额外框、更少框、不同框或不同地布置的框。另外或替代地，可并行执行制造过程600的框中的两者或更多者。
图7是用于对移动机器人充电的实例性制造过程700的流程图。在一些实施方案中，图7的一或多个制造过程框可由充电站的控制器(例如，充电站100的控制器164、充电站310的控制器、装置400及/或类似物)来执行。
如图7中所展示，制造过程700可包含基于传感器数据而确认移动机器人位置(框710)。例如，控制器(例如，使用处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)可基于传感器数据而确认移动机器人位置，如上文所描述。在一些实施方案中，传感器数据可指示移动机器人(例如，移动机器人202、移动机器人304及/或类似物)的X轴位置、移动机器人的Y轴位置及/或类似物。在一些实施方案中，传感器数据可由一或多个X轴及Y轴传感器(例如，传感器140)来产生。
如图7中进一步展示，如果无法确认移动机器人位置(框710-否)，那么制造过程700可包含触发警报(框720)。例如，控制器(例如，使用处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)可触发警报，如上文所描述。在一些实施方案中，所述警报可为听觉警报(例如，警笛、蜂鸣器、语音警报及/或类似物)、视觉警报(例如，灯指示器、电子显示器上的指示器及/或类似物)或用来指示无法确认移动机器人位置的另一类型的警报。在一些实施方案中，如果在从在充电站附近检测到移动机器人起的特定时间量之后无法确认移动机器人位置，那么可触发所述警报。
如图7中进一步展示，如果确认移动机器人位置(框710-是)，那么制造过程700可包含延伸充电站的充电元件(框730)。例如，控制器(例如，使用处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)可延伸充电站的充电元件，如上文所描述。在一些实施方案中，充电元件(例如，充电元件126)可处于存储位置，且可从存储位置延伸到充电位置。在充电位置中，充电元件的至少一部分可在地板(例如，地板102)的顶面(例如，顶面114)上方延伸。
如图7中进一步展示，制造过程700可包含确认充电元件的位置(框740)。例如，控制器(例如，使用处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)可确认充电元件的位置，如上文所描述。在一些实施方案中，控制器可基于Z轴传感器数据而确认充电元件的位置。Z轴传感器数据可指示充电元件或充电元件所在的板(例如，中间板110)的Z轴位置。在一些实施方案中，传感器数据可由一或多个Z轴传感器(例如，传感器138)来产生。
如图7中进一步展示，如果无法确认充电元件的位置(框740-否)，那么制造过程700可包含触发警报(框750)。例如，控制器(例如，使用处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)可触发警报，如上文所描述。在一些实施方案中，所述警报可为听觉警报(例如，警笛、蜂鸣器、语音警报及/或类似物)、视觉警报(例如，灯指示器、电子显示器上的指示器及/或类似物)或用来指示无法确认充电元件的另一类型的警报。在一些实施方案中，如果充电元件的位置不正确或在充电元件从存储位置初始移动之后无法被确认，那么可触发所述警报。
如图7中进一步展示，如果确认充电元件的位置(框740-是)，那么制造过程700可包含接通充电继电器(框760)。例如，控制器(例如，使用处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)可接通充电继电器，如上文所描述。在一些实施方案中，充电继电器可作为充电站的充电电路系统(例如，充电电路系统168)的部分而包含。接通充电继电器可激活充电电路系统中包含的充电电路。
如图7中进一步展示，制造过程700可包含与移动机器人进行通信(框770)。例如，控制器(例如，使用处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)可与移动机器人进行通信，如上文所描述。在一些实施方案中，移动机器人可起始与充电站的通信以起始对移动机器人的充电。
如图7中进一步展示，制造过程700可包含对移动机器人充电(框780)。例如，控制器(例如，使用处理器420、存储器430、存储组件440、输入组件450、输出组件460、通信接口470及/或类似物)可对移动机器人充电，如上文所描述。在一些实施方案中，控制器可基于移动机器人起始与充电站的通信而致使充电电路对移动机器人充电。在一些实施方案中，控制器可致使充电电路造成电流流动通过充电元件且到移动机器人的充电元件以对移动机器人充电。
制造过程700可包含额外实施方案，例如在下文及/或结合本文中别处所描述的一或多个其它制造过程所描述的任何单个实施方案或任何实施方案组合。尽管图7展示制造过程700的实例性框，但在一些实施方案中，与图7中所描绘的框相比，制造过程700可包含额外框、更少框、不同框或不同地布置的框。另外或替代地，可并行执行制造过程700的框中的两者或更多者。
以此方式，地板下充电站(例如，地板下充电站100、地板下充电站310及/或类似物)可经安装于地板(例如，地板102)下面，例如高架无尘室地板或另一类型的地板，其中地板下充电站的顶板(例如，顶板112)与地板的顶面(例如，顶面114)基本上齐平而不触碰地面。顶板中的开口(例如，开口158)允许充电元件(例如，充电元件126)在使用时延伸以对移动机器人(例如，移动机器人202、移动机器人304及/或类似物)充电，且在未投入使用时缩回于地板下方。地板下充电站的伸缩式充电元件防止绊倒的危险且允许移动机器人在整个无尘室中自由地移动。特定来说，移动机器人可在地板下充电站上方行进而地板下充电站不会干扰移动机器人的行进路径。此允许移动机器人沿更直接路径行进，此降低编程移动机器人的行进路径的复杂性且允许移动机器人的行进路径更加优化。此外，因为当地板下充电站未投入使用时充电元件可缩回于不突出位置中，所以准许地板下充电站定位于无尘室中允许移动机器人在充电时继续工作及/或允许移动机器人不停地运行的位置。例如，地板下充电站可经定位于晶片架、半导体处理设备的装载端口及/或类似物附近使得移动机器人可在装载及卸除晶片/裸片容器时充电。
如上文更详细地描述，本文中所描述的一些实施方案提供一种用于对移动机器人充电的充电站。所述充电站包含具有穿过所述第一板的一或多个开口的第一板。所述充电站包含定位于所述第一板下方的第二板。所述充电站包含在所述第二板上的一或多个充电元件。所述充电站包含用来致使所述第二板在第一位置与第二位置之间移动的发动机。在所述第一位置中，所述一或多个充电元件至少部分地延伸穿过一或多个开口以对所述移动机器人充电。在所述第二位置中，所述一或多个充电元件与所述第一板的顶面基本上齐平或在所述第一板的顶面下方。
如上文更详细地描述，本文中所描述的一些实施方案提供一种装置。所述装置包含：一或多个存储器；及一或多个处理器，其通信地耦合到所述一或多个存储器。所述一或多个存储器及所述一或多个处理器可经配置以从一或多个第一传感器接收与待由相关联于所述装置的地板下充电站充电的移动机器人的位置相关联的传感器信息。所述一或多个存储器及所述一或多个处理器可经配置以基于与所述移动机器人的所述位置相关联的所述传感器信息而确定所述移动机器人经定位于所述地板下充电站的充电区上方。所述一或多个存储器及所述一或多个处理器可经配置以基于确定所述移动机器人经定位于所述充电区上方而致使一或多个充电元件至少部分地延伸穿过所述地板下充电站的顶板到充电位置。所述一或多个存储器及所述一或多个处理器可经配置以在所述一或多个或多个充电元件处于所述充电位置时致使所述地板下充电站对所述移动机器人充电。
如上文更详细地描述，本文中所描述的一些实施方案提供一种方法。所述方法包含通过控制器且基于运动检测电路系统，检测地板下充电站附近的移动机器人。所述方法包含通过所述控制器且基于检测到所述移动机器人，确定所述移动机器人是否定位于所述地板下充电站的充电区上方。所述方法包含通过所述控制器且基于确定所述移动机器人经定位于所述充电区上方，致使所述地板下充电站的一或多个充电元件转变到其中所述一或多个充电元件的至少一部分在所述移动机器人行进的地板上方延伸的充电位置。所述方法包含通过所述控制器确定所述一或多个充电元件是否处于所述充电位置。所述方法包含通过所述控制器且基于确定所述一或多个充电元件处于所述充电位置，致使充电电路系统激活以对所述移动机器人充电。
前文概述若干实施例的特征使得所属领域的技术人员可更好地理解本揭露的方面。所属领域的技术人员应明白，其可容易地将本揭露用作设计或修改其它制造过程及结构的基础以实行本文中所介绍的实施例的相同目的及/或实现相同优点。所属领域的技术人员还应认识到，此类等效构造不脱离本揭露的精神及范围，且其在不脱离本揭露的精神及范围的情况下可在本文中进行各种改变、替换及更改。
符号说明
100:充电站
102:地板
104:安装支架
106a:第一支撑部件
106b:第二支撑部件
108:底板
110:中间板
112:顶板
114:顶面
116:顶面
118:发动机
120:支架
122:支撑部件
124:摩擦环
126:充电元件
128:连杆组
130:转动部件
138a:传感器
138b:传感器
138c:传感器
138d:传感器
140:传感器
142:支架
144:控制器壳体
146:支架
148:开口
150:开口
152:开口
154:支撑结构
156:开口
158:开口
160:充电区
162:开口
164:控制器
166:运动检测电路系统
168:充电电路系统
200:实施方案
202:移动机器人
206:反射器
300:环境
302:无尘室
304:移动机器人
306:装载端口
308:晶片架
310:充电站
400:装置
410:总线
420:处理器
430:存储器
440:存储组件
450:输入组件
460:输出组件
470:通信接口
500:制造过程
510:框
520:框
530:框
540:框
600:制造过程
610:框
620:框
630:框
640:框
650:框
700:制造过程
710:框
720:框
730:框
740:框
750:框
760:框
770:框
780:框。

Claims (1)

1.一种用于对移动机器人充电的充电站，其包括：
第一板，其具有穿过所述第一板的一或多个开口；
第二板，其经定位于所述第一板下方；
一或多个充电元件，其在所述第二板上；及
发动机，其用来致使所述第二板在第一位置与第二位置之间移动，
其中在所述第一位置中，所述一或多个充电元件至少部分地延伸穿过所述一或多个开口以对所述移动机器人充电，且
其中在所述第二位置中，所述一或多个充电元件与所述第一板的顶面基本上齐平或在所述第一板的顶面下方。
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