CN113632601A - 元件安装装置 - Google Patents

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Abstract

该元件安装装置(100)具备吸嘴轴(311)。吸嘴轴(311)包括过滤器(311d)和过滤器状态确认部(311f)。过滤器状态确认部构成为根据过滤器的插入状态，使光在轴正交方向上从吸嘴轴的一侧向另一侧通过。

Description

元件安装装置
技术领域
本发明涉及元件安装装置，特别是涉及在吸嘴轴插入有过滤器的元件安装装置。
背景技术
以往，已知有在吸嘴轴插入有过滤器的元件安装装置。这种元件安装装置例如在国际公开第2018/179048号中被公开。
在上述国际公开第2018/179048号中，公开了吸附元件而将元件安装于印刷基板的表面安装机(元件安装装置)。该表面安装机具备：吸嘴轴；及吸嘴，构成为能够相对于吸嘴轴进行装卸，并吸附元件。另外，在吸嘴轴的内部插入有集尘用的过滤器。该表面安装机构成为通过照相机对吸嘴轴的内部进行拍摄，并且根据照相机对吸嘴轴的内部的拍摄结果，来判断吸嘴轴的内部的过滤器的插入状态是否良好。
另外，在上述国际公开第2018/179048号中，关于过滤器的拍摄，公开了如下结构：经由在吸嘴轴的下方开口的开口部，利用照相机从下方对吸嘴轴的内部进行拍摄的结构；及经由在吸嘴轴的侧方开口的开口部，利用照相机从侧方对吸嘴轴的内部进行拍摄的结构。无论在哪种结构中，都认为在该表面安装机中，利用从过滤器的表面反射的光来拍摄吸嘴轴的内部的过滤器，由此判断吸嘴轴的内部的过滤器的插入状态是否良好。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：国际公开第2018/179048号
发明内容
发明所要解决的课题
但是，在上述国际公开第2018/179048号所记载的表面安装机中，由于利用从过滤器的表面反射的光来确认吸嘴轴的内部的过滤器的插入状态是否良好，因此，认为根据过滤器的表面状态(脏污、颜色等)，有时无法得到适于确认吸嘴轴的内部的过滤器的插入状态是否良好的反射光。在该情况下，认为难以高精度地确认吸嘴轴的内部的过滤器的插入状态是否良好。在这一点上，上述国际公开第2018/179048号所记载的表面安装机存在改善的余地。
本发明是为了解决如上所述的课题而完成的，本发明的一个目的在于提供一种能够高精度地确认过滤器的插入状态是否良好的元件安装装置。
用于解决课题的技术方案
本发明一个方面的元件安装装置具备：吸嘴轴；及吸嘴，构成为能够相对于吸嘴轴进行装卸，该吸嘴吸附元件，吸嘴轴包括：侧壁部；流体通路，设置在侧壁部内；过滤器，沿着吸嘴轴的轴向插入于流体通路，并且构成为能够相对于流体通路进行装卸；及过滤器状态确认部，以在与吸嘴轴的轴向正交的轴正交方向上与正确地安装的状态下的过滤器的端部对向的方式设置于侧壁部，过滤器状态确认部构成为，根据过滤器的插入状态，使光在轴正交方向上从吸嘴轴的一侧向另一侧通过。
在本发明的一个方面的元件安装装置中，如上所述，以在与吸嘴轴的轴向正交的轴正交方向上与正确地安装的状态下的过滤器的端部对向的方式，在侧壁部设置过滤器状态确认部。另外，将过滤器状态确认部构成为根据过滤器的插入状态，使光在轴正交方向上从吸嘴轴的一侧向另一侧通过。由此，在过滤器的端部与过滤器状态确认部在轴正交方向上的对向位置根据过滤器的插入状态而在轴向上发生变化情况下，能够使过滤器状态确认部中的光的通过状态发生变化。其结果是，通过确认过滤器状态确认部中的光的通过状态，能够确认过滤器的插入状态是否良好。由此，与利用从过滤器的表面反射的光来确认过滤器的插入状态是否良好的情况不同，能够与过滤器的表面状态(脏污、颜色等)无关地确认过滤器的插入状态是否良好。其结果是，能够提供一种能够高精度地确认过滤器的插入状态是否良好的元件安装装置。
在上述一个方面的元件安装装置中，优选地，过滤器状态确认部是使光在轴正交方向上从吸嘴轴的一侧向另一侧通过的孔部。如果这样构成，则能够容易地将过滤器状态确认部构成为根据过滤器的插入状态，使光在轴正交方向上从吸嘴轴的一侧向另一侧通过。
在该情况下，优选地，作为过滤器状态确认部的孔部具有隔着过滤器在轴正交方向上相互对向的两个贯通孔。如果这样构成，则能够更容易地将过滤器状态确认部构成为根据过滤器的插入状态，使光在轴正交方向上从吸嘴轴的一侧向另一侧通过。
在上述一个方面的元件安装装置中，优选地，作为过滤器状态确认部的孔部的两个贯通孔中的至少一方设置成与设置于侧壁部的抽吸时的流体通路用开口部连续。如果这样构成，则与作为与流体通路用开口部分别独立的孔部，设置作为过滤器状态确认部的孔部的贯通孔的情况相比，能够抑制由设置作为过滤器状态确认部的孔部的贯通孔引起的吸嘴轴的强度的降低。
在上述一个方面的元件安装装置中，优选地，还具备光照射部，该光照射部从吸嘴轴的轴正交方向的一侧向过滤器状态确认部照射光。如果这样构成，则在确认过滤器状态确认部中的光的通过状态时，能够利用光照射部从吸嘴轴的轴正交方向的一侧向过滤器状态确认部照射光。其结果是，与仅利用自然光来确认过滤器状态确认部中的光的通过状态的情况相比，能够在增加了用于确认过滤器的插入状态的光量的状态下，确认过滤器状态确认部中的光的通过状态。由此，能够更高精度地确认过滤器的插入状态是否良好。
在该情况下，优选地，还具备：光检测部，对由光照射部照射并通过了过滤器状态确认部的光进行检测；及控制部，进行基于光检测部对光的检测结果来检测过滤器的插入状态是否良好的控制。如果这样构成，则能够通过控制部自动地检测过滤器的插入状态是否良好。其结果是，能够省去作业者通过目视来确认过滤器的插入状态是否良好的麻烦。该效果在应确认插入状态是否良好的过滤器的数量多的情况下特别有效。
在上述还具备光检测部的结构中，优选地，光检测部包括从轴正交方向对吸附于吸嘴的元件进行拍摄的拍摄部，控制部构成为，进行基于拍摄部对过滤器状态确认部的拍摄结果来检测过滤器的插入状态是否良好的控制。如果这样构成，则作为对通过了过滤器状态确认部的光进行检测的光检测部，能够利用已有的拍摄部。其结果是，不需要新设置对通过了过滤器状态确认部的光进行检测的光检测部。由此，能够在抑制元件安装装置的构造的复杂化的同时检测过滤器的插入状态是否良好。
在上述检测过滤器的插入状态是否良好的结构中，优选地，控制部构成为进行如下控制：作为过滤器的插入状态是否良好，检测过滤器的插入状态为正常状态、过滤器的插入状态为插入过大的状态、过滤器的插入状态为插入过小的状态、及过滤器的插入状态为未插入的状态。如果这样构成，则能够根据过滤器的插入状态而适当且详细地检测过滤器的插入状态是否良好。
在上述检测过滤器的插入状态是否良好的结构中，优选地，控制部构成为，进行在生产开始时及更换过滤器时中的至少一方的情况下，检测过滤器的插入状态是否良好的控制。这样，例如，如果控制部进行在生产开始时检测过滤器的插入状态是否良好的控制，则能够抑制在过滤器的插入状态为不良的状态下开始生产的情况。另外，例如，如果控制部进行在更换过滤器时检测过滤器的插入状态是否良好的控制，则能够在容易产生过滤器的插入状态的不良的定时，在更换过滤器时有效地检测出过滤器的插入状态的不良。
发明效果
根据本发明，如上所述，能够提供一种能够高精度地确认过滤器的插入状态是否良好的元件安装装置。
附图说明
图1是表示一个实施方式的元件安装装置的整体结构的示意性的图。
图2是表示一个实施方式的元件安装装置的控制性结构的框图。
图3是用于说明一个实施方式的元件安装装置的头单元和侧方照相机的示意性的图。
图4的(A)是表示一个实施方式的元件安装装置的吸嘴和未安装过滤器的状态下的吸嘴轴的示意性的图。图4的(B)是表示一个实施方式的元件安装装置的吸嘴和安装有过滤器的状态下的吸嘴轴的示意性的图。
图5是沿着图4(B)的V-V线的示意性的剖视图。
图6的(A)是表示一个实施方式的元件安装装置的吸嘴和吸嘴轴中的抽吸时的流体的流动的示意性的剖视图。图6的(B)是表示一个实施方式的元件安装装置的吸嘴轴的过滤器状态确认部中的拍摄时的光的通过的示意性的剖视图。
图7是用于说明一个实施方式的元件安装装置的过滤器的插入状态是否良好的检测的图。
图8是用于说明一个实施方式的元件安装装置的生产开始时的过滤器插入状态检测处理的流程图。
图9是用于说明一个实施方式的元件安装装置的更换过滤器时的过滤器插入状态检测处理的流程图。
图10是用于说明一个实施方式的元件安装装置的目视确认时的过滤器插入状态检测处理的流程图。
图11是用于说明一个实施方式的第一变形例的吸嘴轴的过滤器状态确认部的图。
图12是用于说明一个实施方式的第二变形例的吸嘴轴的过滤器状态确认部的图。
图13是用于说明一个实施方式的第三变形例的吸嘴轴的过滤器状态确认部的图。
具体实施方式
以下，基于附图对将本发明具体化的实施方式进行说明。
(元件安装装置的结构)
参照图1～图7，对本发明的一个实施方式的元件安装装置100的结构进行说明。
如图1所示，元件安装装置100是将IC、晶体管、电容器及电阻等元件E(电子元件)安装于印刷基板等基板P的装置。
如图1及图2所示，元件安装装置100具备基台1、输送部2、头单元3、头水平移动机构部4、下方照相机5、侧方照相机6、控制部7(参照图2)、显示部8(参照图2)。
基台1是成为在元件安装装置100中配置各构成要素的基础的台。在基台1上设置有输送部2、头水平移动机构部4的后述的轨道部42及下方照相机5。另外，在基台1内设置有控制部7。另外，在基台1，在Y方向的两侧(Y1方向侧及Y2方向侧)分别配置有元件供给装置11。
元件供给装置11是供给向基板P安装的元件E的装置。元件供给装置11例如包括带式供料器12。带式供料器12保持着卷绕有元件供给带(未图示)的卷轴(未图示)，该元件供给带(未图示)保持有多个元件E。另外，带式供料器12构成为根据由头单元3进行的用于取出元件E的元件吸附动作，使所保持的卷轴旋转而送出元件供给带，由此供给元件E。在基台1中，在Y方向的两侧分别沿X方向排列有多个带式供料器12。另外，元件供给装置11也可以包括利用保持有元件E的托盘来供给元件E的托盘供料器。
输送部2构成为将安装前的基板P搬入，在基板输送方向(X方向)上进行输送，并将安装后的基板P搬出。另外，输送部2构成为，将搬入的基板P输送至安装作业位置M，并且在安装作业位置M处利用基板固定机构(未图示)进行固定。另外，输送部2包括一对输送带21，构成为利用一对输送带21在从下方(Z2方向侧)支承基板P的Y方向的两端的同时在基板输送方向上输送基板P。
头单元3是元件安装用的旋转型的头单元。头单元3向在安装作业位置M处被固定的基板P安装元件E。头单元3包括用于吸附元件E来进行安装的多个(12个)头31(安装头)。多个头31以等角度间隔排列成圆环状。另外，关于头31的详细结构将在后面叙述。
另外，头单元3包括：用于使各个头31在上下方向(Z方向)上移动的Z轴电动机32(参照图2)；用于使各个头31绕在Z方向上延伸的旋转轴线旋转的R轴电动机33(参照图2)；及用于使多个头31绕在Z方向上延伸的旋转轴线A(参照图3)旋转的头电动机34。头31构成为，利用Z轴电动机32，能够在吸附元件E时或安装被吸附的元件E时的下降位置与将被吸附的元件E向基板P进行输送时的上升位置之间沿上下方向移动。另外，头31构成为，通过在吸附了元件E的状态下利用R轴电动机33进行旋转，能够调整所吸附的元件E的朝向。另外，多个头31构成为，利用头电动机34，在维持排列成圆环状的状态的同时绕旋转轴线A旋转。
头水平移动机构部4构成为，使头单元3在水平方向(X方向及Y方向)上移动。头水平移动机构部4包括：支承部41，将头单元3以能够在基板输送方向(X方向)上移动的方式进行支承；及轨道部42，将支承部41以能够在Y方向上移动的方式进行支承。支承部41具有：滚珠丝杠轴41a，在基板输送方向上延伸；及X轴电动机41b，使滚珠丝杠轴41a旋转。在头单元3设置有与支承部41的滚珠丝杠轴41a卡合的滚珠螺母35。头单元3构成为，通过利用X轴电动机41b使滚珠丝杠轴41a旋转，能够与同滚珠丝杠轴41a卡合的滚珠螺母35一起沿着支承部41在基板输送方向上移动。
轨道部42具有：一对导轨42a，将支承部41的X方向的两端部以能够在Y方向上移动的方式进行支承；滚珠丝杠轴42b，在Y方向上延伸；及Y轴电动机42c，使滚珠丝杠轴42b旋转。在支承部41设置有与轨道部42的滚珠丝杠轴42b卡合的滚珠螺母41c。支承部41构成为，通过利用Y轴电动机42c使滚珠丝杠轴42b旋转，能够与同滚珠丝杠轴42b卡合的滚珠螺母41c一起沿着轨道部42的一对导轨42a在Y方向上移动。
通过头水平移动机构部4的支承部41和轨道部42，头单元3构成为能够在基台1上沿水平方向移动。由此，头单元3移动到元件供给装置11的上方，能够吸附并保持从元件供给装置11供给的元件E。另外，头单元3移动到在安装作业位置M处被固定的基板P的上方，能够将所保持(吸附)的元件E安装于基板P。
下方照相机5是元件识别用的照相机。下方照相机5构成为在安装元件E之前对吸附于头31的后述的吸嘴312(参照图3)的元件E进行拍摄。下方照相机5固定在基台1的上表面上，构成为从元件E的下方(Z2方向侧)对吸附于头31的吸嘴312的元件E进行拍摄。基于下方照相机5对元件E的拍摄结果，控制部7取得(识别)元件E的保持状态(旋转姿势及相对于头31的保持位置)。
侧方照相机6(侧视照相机)构成为，在安装元件E之前从侧方(水平方向)对头31的吸嘴312和吸附于头31的吸嘴312的元件E进行拍摄。控制部7构成为，基于侧方照相机6对元件E的拍摄结果识别从侧方观察到的元件E的实际的厚度，并对伴随公差而产生的元件E的厚度的偏差进行修正。另外，侧方照相机6设置于头单元3。侧方照相机6构成为能够与头单元3一起在基台1上沿水平方向移动。
另外，如图3所示，侧方照相机6包括：光照射部61，在拍摄作为被摄体的元件E时发光；及拍摄部62，对作为被摄体的元件E进行拍摄。另外，拍摄部62是本发明的“光检测部”的一例。
光照射部61具有光源部611和扩散部612。光源部611例如包括LED(发光二极管)，构成为能够发光。扩散部612构成为使来自光源部611的光扩散。具体而言，扩散部612通过使颗粒状的扩散材料分散于丙烯酸树脂等具有透光性的树脂材料而形成。光照射部61构成为，利用光源部611和扩散部612，从侧方(X2方向侧)向吸附了作为拍摄对象的元件E的头31(X1方向侧的头31)照射光。
拍摄部62包括CCD图像传感器或CMOS图像传感器等半导体成像元件，构成为从侧方(X1方向侧、与头31的轴向正交的方向)对吸附了作为拍摄对象的元件E的头31进行拍摄。另外，拍摄部62构成为将拍摄结果发送到控制部7。
如图2所示，控制部7是对元件安装装置100的动作进行控制的控制电路。控制部7包括CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)、ROM(Read Only Memory：只读存储器)及RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)。控制部7构成为，通过按照生产程序来控制输送部2、元件供给装置11、X轴电动机41b及Y轴电动机42c等，由此进行利用头单元3将元件E安装于基板P的控制。显示部8例如包括液晶监视器，构成为显示应通知给作业者等用户的信息。
(与头相关的结构)
接着，参照图3～图6(A)、(B)对头31的结构进行说明。另外，在图3～图6(A)、(B)中，将与头31的轴向(Z方向)正交的轴正交方向(水平方向)图示为A方向。另外，A方向中的一个方向被图示为A1方向，A方向中的另一个方向被图示为A2方向。
如图3及图4(A)、(B)所示，头31具备：作为头31的沿着上下方向(Z方向)延伸的主体部的吸嘴轴311；及构成为能够相对于吸嘴轴311进行装卸的吸嘴312。另外，在图3中，头31被简化图示。另外，在图4(A)、(B)中，关于吸嘴轴311，仅图示了吸嘴轴311的吸嘴312侧(Z2方向侧)的前端部311a。
如图4(A)、(B)及图5所示，吸嘴312具有前端部312a，构成为在前端部312a吸附元件E。另外，吸嘴312在内部具有流体通路312b(参照图5)，构成为经由流体通路312b从泵等压力源(未图示)供给负压或正压。吸嘴312构成为，利用经由流体通路312b供给的负压来将元件E吸附于前端部312a。另外，吸嘴312构成为，利用经由流体通路312b供给的正压来将吸附于前端部312a的元件E压贴并配置于基板P的安装位置。
吸嘴轴311具有作为吸嘴312侧(Z2方向侧)的端部的前端部311a。前端部311a构成为能够装卸吸嘴312。另外，吸嘴轴311具有中空的筒状形状，构成为负压或正压供给用的流体(空气)能够在内部流通。具体而言，吸嘴轴311具有：作为筒的沿着上下方向(Z方向)延伸的壁部分的侧壁部311b；及作为筒的设置在侧壁部311b内的中空部分的流体通路311c。流体通路311c是供负压或正压供给用的流体(空气)流通的流路。流体通路311c与吸嘴312的流体通路312b流体性地连接。
另外，吸嘴轴311具有构成为能够相对于流体通路311c进行装卸的集尘用的过滤器311d。过滤器311d例如在脏污的程度变得严重的情况下被更换。过滤器311d构成为沿着吸嘴轴311的轴向(Z方向)插入于流体通路311c。由此，过滤器311d构成为安装于流体通路311c。吸嘴轴311在前端部311a的Z2方向侧的端面具有用于插入过滤器311d的开口部311aa。开口部311aa与流体通路311c连接。过滤器311d例如可以由海绵构成。
在此，参照图6(A)，对经由过滤器311d的、吸嘴312的流体通路312b及吸嘴轴311的流体通路311c中的抽吸时(供给负压时)的流体(空气)的流动进行说明。
如图6(A)所示，流体从吸嘴312的前端部312a的开口向Z1方向流入到吸嘴312的流体通路312b。然后，流体在吸嘴312的流体通路312b中向Z1方向流通，并向Z1方流入到吸嘴轴311的流体通路311c。然后，流体在配置于流体通路311c的过滤器311d中向Z1方向流通。此时，利用过滤器311d除去流体中的被除去成分(尘埃等)。然后，流体进一步在流体通路311c中向Z1方向流通，到达泵等压力源。另外，虽然省略了详细说明，但在供给正压时，流体向与供给负压时相反的方向流通。
另外，吸嘴轴311具有流体通路用开口部311e，该流体通路用开口部311e以与过滤器311d的侧面在A方向上对向的方式设置于A1方向侧的侧壁部311b。流体通路用开口部311e是在抽吸时(供给负压时)或供给正压时使负压或正压供给用的流体(空气)向过滤器311d的A1方向侧的侧面流通的开口部。由此，不仅能够从过滤器311d的Z2方向侧的端面，还能够从过滤器311d的A1方向侧的侧面使流体流通到过滤器311d内，因此能够提高过滤器311d的集尘效果。
在此，在本实施方式中，如图4(A)、(B)、图5、图6(B)及图7所示，吸嘴轴311具有用于确认过滤器311d在吸嘴轴311的流体通路311c中的插入状态的过滤器状态确认部311f。过滤器状态确认部311f以在A方向上与正确地安装的状态下的过滤器311d的端部311da(与插入侧相反的一侧(Z2方向侧)的端部、下端部)对向的方式设置于侧壁部311b。另外，过滤器状态确认部311f构成为，根据过滤器311d的插入状态(安装状态)，使光在A方向上从吸嘴轴311的一侧向另一侧通过。即，过滤器状态确认部311f构成为，使与过滤器311d的插入状态相应的光以在A方向上贯通吸嘴轴311的方式通过。另外，在图4(B)、图5及图6(B)中，关于过滤器311d，图示了被正确地安装的状态下的过滤器311d。
过滤器状态确认部311f是使光在A方向上从吸嘴轴311的一侧向另一侧通过的孔部。即，过滤器状态确认部311f是使光以在A方向上贯通吸嘴轴311的方式通过的孔部。作为过滤器状态确认部311f的孔部具有隔着过滤器311d在A方向上相互对向的两个贯通孔311fa和311fb。贯通孔311fa设置于吸嘴轴311的A2方向侧的侧壁部311b。贯通孔311fa形成为大致圆形状。另外，贯通孔311fb设置于吸嘴轴311的A1方向侧的侧壁部311b。贯通孔311fb设置成与流体通路用开口部311e连续。与流体通路用开口部311e连续的贯通孔311fb以切掉流体通路用开口部311e的方式形成为大致半圆形状。
另外，在本实施方式中，如图6(B)所示，在进行过滤器311d的插入状态的确认的情况下，相对于吸嘴轴311在A2方向侧配置侧方照相机6的光照射部61，并且相对于吸嘴轴311在A1方向侧配置侧方照相机6的拍摄部62。此时，吸嘴轴311配置成过滤器状态确认部311f的贯通孔311fa朝向侧方照相机6的光照射部61侧(A2方向侧)，并且过滤器状态确认部311f的贯通孔311fb朝向侧方照相机6的拍摄部62侧(A1方向侧)。另外，在进行过滤器311d的插入状态的确认的情况下，吸嘴312处于从吸嘴轴311拆下的状态。
侧方照相机6的光照射部61在侧方照相机6的拍摄部62对过滤器状态确认部311f进行拍摄时，相对于吸嘴轴311从A2方向侧向过滤器状态确认部311f的贯通孔311fa照射光。由侧方照相机6的光照射部61照射的光按照贯通孔311fa、贯通孔311fb的顺序通过过滤器状态确认部311f。侧方照相机6的拍摄部62对由侧方照相机6的光照射部61照射并通过了过滤器状态确认部311f的贯通孔311fa和311fb的光进行检测。即，侧方照相机6的拍摄部62从A1方向侧拍摄过滤器状态确认部311f。
(与过滤器的插入状态是否良好的检测相关的结构)
如图7所示，由于过滤器311d的端部311da与过滤器状态确认部311f在A方向上的对向位置根据过滤器311d的插入状态而在Z方向上发生变化，因此过滤器状态确认部311f中的光的通过状态发生变化。即，过滤器311d对通过过滤器状态确认部311f的光的遮挡状态发生变化。另外，在图7中，为了容易理解，对过滤器311d附加阴影来进行图示。
在过滤器311d被正确地安装的状态下，过滤器311d的端部311da位于设计位置B1。设计位置B1是过滤器状态确认部311f的、沿着过滤器311d的插入方向的方向(Z方向)的一端部到另一端部之间的位置。设计位置B1优选为该一端部与另一端部之间的中间位置的附近的位置。在该状态下，要通过过滤器状态确认部311f的光的一部分被过滤器311d遮挡，要通过过滤器状态确认部311f的光的剩余部分不被过滤器311d遮挡而通过。
另外，例如在插入的力弱、过滤器311d以过小地插入的状态被安装的状态下，过滤器311d的端部311da位于比设计位置B1靠Z2方向侧的位置B2。在该状态下，与过滤器311d被正确地安装的状态相比，过滤器311d的端部311da与过滤器状态确认部311f的重叠度变大。因此，在该状态下，与过滤器311d被正确地安装的状态相比，过滤器311d对要通过过滤器状态确认部311f的光的遮挡度变大，并且过滤器状态确认部311f中的光的通过度变小。
另外，例如在插入的力强、过滤器311d以过大地插入的状态被安装的状态下，过滤器311d的端部311da位于比设计位置B1靠Z1方向侧的位置B3。在该状态下，与过滤器311d被正确地安装的状态相比，过滤器311d的端部311da与过滤器状态确认部311f的重叠度变小。因此，在该状态下，与过滤器311d被正确地安装的状态相比，过滤器311d对要通过过滤器状态确认部311f的光的遮挡度变小，并且过滤器状态确认部311f中的光的通过度变大。
另外，例如在忘记插入而未插入过滤器311d的状态下，由于没有作为光的遮挡物的过滤器311d，因此过滤器状态确认部311f中的光的通过度变为最大。
如上所述，由于过滤器状态确认部311f中的光的通过状态根据过滤器311d的插入状态而变化，因此通过确认过滤器状态确认部311f中的光的通过状态，能够确认过滤器311d的插入状态是否良好。
因此，在本实施方式中，控制部7构成为，进行基于侧方照相机6的拍摄部62对通过了过滤器状态确认部311f的光的检测结果来检测过滤器311d的插入状态是否良好的控制。即，控制部7构成为，进行基于侧方照相机6的拍摄部62对过滤器状态确认部311f的拍摄结果来检测过滤器311d的插入状态是否良好的控制。
具体而言，控制部7构成为进行如下控制：作为过滤器311d的插入状态是否良好，检测过滤器311d的插入状态为正常状态、过滤器311d的插入状态为插入过大的状态、过滤器311d的插入状态为插入过小的状态、及过滤器311d的插入状态为未插入的状态。
基于拍摄结果的过滤器311d的插入状态是否良好的检测没有特别限定，例如能够基于作为拍摄结果的拍摄图像中的与过滤器状态确认部311f对应的亮部的面积来进行。在该情况下，例如，控制部7根据过滤器状态确认部311f的拍摄结果来取得作为拍摄结果的拍摄图像中的与过滤器状态确认部311f对应的亮部的面积。然后，控制部7进行基于所取得的亮部的面积来检测过滤器311d的插入状态是否良好的控制。
具体而言，控制部7在所取得的亮部的面积处于预先决定的第一阈值范围内的情况下，检测出过滤器311d的插入状态为正常状态。另外，控制部7在所取得的亮部的面积为预先决定的第一阈值范围的下限值以下的情况下，检测出过滤器311d的插入状态为插入过小的状态。另外，控制部7在所取得的亮部的面积为预先决定的第一阈值范围的上限值以上、且为预先决定的第二阈值范围的下限值以下的情况下，检测出过滤器311d的插入状态为插入过大的状态。另外，控制部7在所取得的亮部的面积为预先决定的第二阈值范围的上限值以上的情况下，检测出过滤器311d的插入状态为未插入的状态。
另外，例如，基于拍摄结果的过滤器311d的插入状态是否良好的检测能够基于作为拍摄结果的拍摄图像中的过滤器311d的端部311da的位置来进行。在该情况下，例如，控制部7基于过滤器状态确认部311f的拍摄结果来取得作为拍摄结果的拍摄图像中的过滤器311d的端部311da的位置。然后，控制部7进行基于所取得的过滤器311d的端部311da的位置来检测过滤器311d的插入状态是否良好的控制。
具体而言，控制部7在所取得的过滤器311d的端部311da的位置处于预先决定的位置范围内的情况下，检测出过滤器311d的插入状态为正常状态。另外，控制部7在所取得的过滤器311d的端部311da的位置处于预先决定的位置范围的下限位置的外侧的情况下，检测出过滤器311d的插入状态为插入过小的状态。另外，控制部7在所取得的过滤器311d的端部311da的位置位于预先决定的位置范围的上限位置的外侧的情况下，检测出过滤器311d的插入状态为插入过大的状态。另外，控制部7在不能取得过滤器311d的端部311da的位置的情况下，检测出过滤器311d的插入状态为未插入的状态。
(与检测结果的通知相关的结构)
另外，控制部7构成为，进行在检测出过滤器311d的插入状态为异常状态的情况下，将过滤器311d的插入状态为异常状态的情况通知给用户的控制。例如，控制部7进行如下控制：通过在显示部8显示信息、或在用户携带的移动终端的显示部显示信息，来将过滤器311d的插入状态为异常状态的情况通知给用户。
(与检测定时相关的结构)
控制部7构成为，进行在基板P的生产开始时(元件安装装置100起动时)，检测过滤器311d的插入状态是否良好的控制。即，控制部7构成为，进行在将基板P搬入到元件安装装置100内之前，检测过滤器311d的插入状态是否良好的控制。此时，控制部7构成为，进行检测多个(12个)吸嘴轴311的全部的过滤器311d的插入状态是否良好的控制。
另外，控制部7构成为，进行在更换过滤器311d时也检测过滤器311d的插入状态是否良好的控制。此时，控制部7构成为，进行检测多个吸嘴轴311中的更换了过滤器311d的吸嘴轴311的过滤器311d的插入状态是否良好的控制。
另外，控制部7构成为，在作业者确认过滤器311d的插入状态是否良好时，以向过滤器状态确认部311f照射光的方式控制侧方照相机6的光照射部61。由此，在作业者进行目视确认时，也能够容易地确认过滤器状态确认部311f中的光的通过状态。
(生产开始时的过滤器插入状态检测处理)
接着，参照图8，基于流程图对本实施方式的元件安装装置100的生产开始时的过滤器插入状态检测处理进行说明。另外，流程图的各处理由控制部7进行。另外，所谓生产开始时，例如是按下了用于生产开始的开始按钮时等。
如图8所示，例如当按下了用于生产开始的开始按钮而开始生产时，首先在步骤S1中，进行侧方照相机6对过滤器状态确认部311f的拍摄。在步骤S1中，进行侧方照相机6的光照射部61向过滤器状态确认部311f的光的照射。另外，在步骤S1中，进行侧方照相机6的拍摄部62对过滤器状态确认部311f的拍摄。
然后，在步骤S2中，基于过滤器状态确认部311f的拍摄结果，进行过滤器311d的插入状态是否为正常状态的判断。在步骤S2中，在判断为过滤器311d的插入状态是正常状态的情况下，进入步骤S4。另外，在步骤S2中，在判断为过滤器311d的插入状态不是正常状态(异常状态)的情况下，进入步骤S3。需要说明的是，在步骤S2中，可以连异常状态的种类(即，插入过小、插入过大、未插入等)也检测出，也可以仅检测出为异常状态。
然后，在步骤S3中，进行错误标志的设置。在步骤S3中，在连异常状态的种类也检测出的情况下，根据异常状态的种类，进行错误标志的设置。所设置的错误标志例如在异常状态是过滤器311d的插入状态为插入过小的状态的情况下设为“1”，在异常状态是过滤器311d的插入状态为插入过大的状态的情况下设为“2”，在异常状态是过滤器311d的插入状态为未插入的状态的情况下设为“3”。另外，在步骤S3中，在未连异常状态的种类也检测出的情况下，仅进行表示是异常状态的错误标志的设置。被设置的错误标志例如可以设为“1”。
然后，在步骤S4中，判断是否进行了多个(12个)吸嘴轴311的全部的过滤器311d的插入状态是否良好的检测。在步骤S4中，在判断为未进行多个吸嘴轴311的全部的过滤器311d的插入状态是否良好的检测的情况下，返回到步骤S1。然后，进行下一个吸嘴轴311的过滤器311d的插入状态是否良好的检测。另外，在步骤S4中，在判断为进行了多个吸嘴轴311的全部的过滤器311d的插入状态是否良好的检测的情况下，进入步骤S5。
然后，在步骤S5中，判断是否检测出多个吸嘴轴311的全部的过滤器311d的插入状态为正常状态。在步骤S5中，在判断为检测出多个吸嘴轴311的全部的过滤器311d的插入状态为正常状态的情况下，结束过滤器插入状态检测处理。另外，在步骤S5中，在判断为未检测出多个吸嘴轴311的全部的过滤器311d的插入状态为正常状态的情况下，进入步骤S6。
然后，在步骤S6中，进行向作业者等用户的错误通知。在步骤S6中，向用户通知过滤器311d的插入状态是异常状态。在步骤S6中，例如向用户通知检测出异常状态的吸嘴轴311、异常状态的种类等。之后，结束过滤器插入状态检测处理。另外，在异常的情况(经由步骤S6结束了过滤器插入状态检测处理的情况)下，不开始基板P的生产。另一方面，在正常的情况(未经由步骤S6而结束了过滤器插入状态检测处理的情况)下，开始基板P的生产。
(更换过滤器时的过滤器插入状态检测处理)
接着，参照图9，基于流程图对本实施方式的元件安装装置100的更换过滤器时的过滤器插入状态检测处理进行说明。另外，流程图的各处理由控制部7进行。另外，该流程图例如在因负压等的变化而进行了过滤器311d的自动更换的情况下，在自动更换结束时被执行。另外，例如，也可以准备用于使过滤器插入状态检测处理开始的按钮等，并在该按钮被按下的情况下执行该流程图。
如图9所示，当进行了过滤器311d的更换时，首先，在步骤S11中，进行侧方照相机6对更换了过滤器311d的吸嘴轴311的过滤器状态确认部311f的拍摄。在步骤S11中，进行侧方照相机6的光照射部61向过滤器状态确认部311f的光的照射。另外，在步骤S11中，进行侧方照相机6的拍摄部62对过滤器状态确认部311f的拍摄。
然后，在步骤S12中，基于过滤器状态确认部311f的拍摄结果，进行过滤器311d的插入状态是否为正常状态的判断。需要说明的是，在步骤S12中，可以连异常状态的种类(即，插入过小、插入过大、未插入等)也检测出，也可以仅检测出为异常状态。在步骤S12中，在判断为过滤器311d的插入状态不是正常状态(异常状态)的情况下，进入步骤S13。
然后，在步骤S13中，进行向作业者等用户的错误通知。在步骤S13中，向用户通知过滤器311d的插入状态是异常状态。在步骤S13中，例如向用户通知检测出异常状态的吸嘴轴311、异常状态的种类等。之后，结束过滤器插入状态检测处理。
另外，在步骤S12中，在判断为过滤器311d的插入状态是正常状态的情况下，进入步骤S14。
然后，在步骤S14中，进行是否检测出多个吸嘴轴311的全部的过滤器311d的插入状态为正常状态的判断。在步骤S14中，在判断为未检测出多个吸嘴轴311的全部的过滤器311d的插入状态为正常状态的情况下，返回到步骤S11。然后，进行下一个吸嘴轴311的过滤器311d的插入状态是否良好的检测。另外，在步骤S14中，在判断为检测出多个吸嘴轴311的全部的过滤器311d的插入状态为正常状态的情况下，结束过滤器插入状态检测处理。
(目视确认时的过滤器插入状态检测处理)
接着，参照图10，基于流程图对本实施方式的元件安装装置100的目视确认时的过滤器插入状态检测处理进行说明。另外，流程图的各处理由控制部7进行。
如图10所示，首先，在步骤S21中，受理用户对过滤器311d的插入状态的目视确认的开始操作。
然后，在步骤S22中，进行侧方照相机6的光照射部61向过滤器状态确认部311f的光的照射。用户确认过滤器状态确认部311f中的光的通过状态，来确认过滤器311d的插入状态是否良好。
然后，在步骤S23中，受理用户对过滤器311d的插入状态的目视确认的结束操作。之后，结束过滤器插入状态检测处理。
(本实施方式的效果)
在本实施方式中，能够得到如下的效果。
在本实施方式中，如上所述，以在与吸嘴轴311的轴向正交的轴正交方向上与被正确地安装状态下的过滤器311d的端部311da对向的方式，在侧壁部311b设置过滤器状态确认部311f。另外，将过滤器状态确认部311f构成为，根据过滤器311d的插入状态，使光在轴正交方向上从吸嘴轴311的一侧向另一侧通过。由此，在过滤器311d的端部311da与过滤器状态确认部311f在轴正交方向上的对向位置根据过滤器311d的插入状态而在轴向上发生变化情况下，能够使过滤器状态确认部311f中的光的通过状态发生变化。其结果是，通过确认过滤器状态确认部311f中的光的通过状态，能够确认过滤器311d的插入状态是否良好。由此，与利用从过滤器311d的表面反射的光来确认过滤器311d的插入状态是否良好的情况不同，能够与过滤器311d的表面状态(脏污、颜色等)无关地确认过滤器311d的插入状态是否良好。其结果是，能够提供一种能够高精度地确认过滤器311d的插入状态是否良好的元件安装装置100。
另外，在本实施方式中，如上所述，将过滤器状态确认部311f构成为，使光在轴正交方向上从吸嘴轴311的一侧向另一侧通过的孔部。由此，能够容易地将过滤器状态确认部311f构成为，根据过滤器311d的插入状态，使光在轴正交方向上从吸嘴轴311的一侧向另一侧通过。
另外，在本实施方式中，如上所述，将作为过滤器状态确认部311f的孔部构成为，具有隔着过滤器311d在轴正交方向上相互对向的两个贯通孔311fa和311fb。由此，能够更容易地将过滤器状态确认部311f构成为，根据过滤器311d的插入状态，使光在轴正交方向上从吸嘴轴311的一侧向另一侧通过。
另外，在本实施方式中，如上所述，作为过滤器状态确认部311f的孔部的两个贯通孔311fa和311fb中的贯通孔311fb设置成与设置于侧壁部311b的抽吸时的流体通路用开口部311e连续。由此，与作为与流体通路用开口部311e分别独立的孔部，设置作为过滤器状态确认部311f的孔部的贯通孔311fa和311fb的情况相比，能够抑制由设置作为过滤器状态确认部311f的孔部的贯通孔311fa和311fb引起的吸嘴轴311的强度的降低。
另外，在本实施方式中，如上所述，将元件安装装置100构成为，具备从吸嘴轴311的轴正交方向的一侧向过滤器状态确认部311f照射光的光照射部61。由此，在确认过滤器状态确认部311f中的光的通过状态时，能够利用光照射部61从吸嘴轴311的轴正交方向的一侧向过滤器状态确认部311f照射光。其结果是，与仅利用自然光来确认过滤器状态确认部311f中的光的通过状态的情况相比，能够在增加了用于确认过滤器311d的插入状态的光量的状态下，确认过滤器状态确认部311f中的光的通过状态。由此，能够更高精度地确认过滤器311d的插入状态是否良好。
另外，在本实施方式中，如上所述，将元件安装装置100构成为具备：作为对由光照射部61照射并通过了过滤器状态确认部311f的光进行检测的光检测部的拍摄部62；及控制部7，进行基于作为光检测部的拍摄部62对光的检测结果来检测过滤器311d的插入状态是否良好的控制。由此，能够利用控制部7自动地检测过滤器311d的插入状态是否良好。其结果是，能够省去作业者通过目视来确认过滤器311d的插入状态是否良好的麻烦。该效果在应确认插入状态是否良好的过滤器311d的数量多的情况下特别有效。
另外，在本实施方式中，如上所述，将光检测部构成为包括从轴正交方向对吸附于吸嘴312的元件E进行拍摄的拍摄部62。另外，将控制部7构成为，进行基于拍摄部62对过滤器状态确认部311f的拍摄结果来检测过滤器311d的插入状态是否良好的控制。由此，作为对通过了过滤器状态确认部311f的光进行检测的光检测部，能够利用已有的拍摄部62。其结果是，不需要新设置对通过了过滤器状态确认部311f的光进行检测的光检测部。由此，能够在抑制元件安装装置100的构造的复杂化的同时检测过滤器311d的插入状态是否良好。
另外，在本实施方式中，如上所述，将控制部7构成为进行如下控制：作为过滤器311d的插入状态是否良好，检测过滤器311d的插入状态为正常状态、过滤器311d的插入状态为插入过大的状态、过滤器311d的插入状态为插入过小的状态、及过滤器311d的插入状态为未插入的状态。由此，能够根据过滤器311d的插入状态而适当且详细地检测过滤器311d的插入状态是否良好。
另外，在本实施方式中，如上所述，将控制部7构成为，进行在生产开始时及更换过滤器311d时检测过滤器311d的插入状态是否良好的控制。这样，通过控制部7进行在生产开始时检测过滤器311d的插入状态是否良好的控制，能够抑制在过滤器311d的插入状态为不良的状态下开始生产的情况。另外，通过控制部7进行在更换过滤器311d时检测过滤器311d的插入状态是否良好的控制，能够在容易产生过滤器311d的插入状态的不良的定时，在更换过滤器311d时有效地检测出过滤器311d的插入状态的不良。
[变形例]
另外，应当认为本次公开的实施方式在所有方面均是例示，而不是限制性的。本发明的范围并不是由上述的实施方式的说明示出，而是由权利要求书示出，而且包括与权利要求书等同的含义和范围内的所有改变(变形例)。
例如，在上述实施方式中，示出了元件安装装置具备旋转型的头单元的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，元件安装装置也可以具备将多个头排列成直线状的直列型的头单元。
另外，在上述实施方式中，示出了吸嘴轴在A1方向侧的侧壁部具有流体通路用开口部的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，吸嘴轴也可以不必具有流体通路用开口部。在该情况下，例如，也可以如图11所示的第一变形例那样，设置过滤器状态确认部411f的贯通孔411fa和411fb。第一变形例的贯通孔411fa和411fb均具有大致圆形形状。另外，在该情况下，也可以如图12所示的第二变形例那样，在过滤器状态确认部411f的贯通孔411fa和411fb设置能够透射光的透明的窗部411g。即使这样构成，也与上述实施方式同样地，能够通过确认过滤器状态确认部411f中的光的通过状态来确认过滤器311d的插入状态是否良好。
另外，在上述实施方式中，示出了过滤器状态确认部具有两个贯通孔的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，也可以如图13所示的第三变形例那样，过滤器状态确认部511f仅具有一个切口状的贯通孔511fa。过滤器状态确认部511f的贯通孔511fa以在A方向上与被正确地安装的状态下的过滤器311d的端部311da对向的方式设置于侧壁部311b。另外，过滤器状态确认部511f的贯通孔511fa构成为，使光在A方向上从吸嘴轴311的一侧向另一侧通过。
另外，在上述实施方式中，示出了侧方照相机的光照射部包括光源部和扩散部的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，侧方照相机的光照射部也可以不必包括扩散部。在该情况下，例如，只要将侧方照相机的光照射部构成为在上述实施方式的扩散部的位置包括光源部即可。
另外，在上述实施方式中，示出了使用侧方照相机的光照射部作为本发明的光照射部，并且使用侧方照相机的拍摄部作为本发明的光检测部的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，也可以使用专用的光照射部作为光照射部，并且使用专用的光检测部作为光检测部。在该情况下，例如，可以使用照射激光的光照射部作为光照射部，并且使用光电二极管等受光元件作为光检测部。另外，在使用照射激光的光照射部和受光元件的情况下，只要通过多次照射激光或扫描激光来检测过滤器的端部的位置即可。然后，只要基于检测出的过滤器的端部的位置来检测过滤器的插入状态是否良好即可。
另外，在上述实施方式中，例示了作为过滤器的插入状态是否良好，检测过滤器的插入状态为正常状态、过滤器的插入状态为插入过大的状态、过滤器的插入状态为插入过小的状态、及过滤器的插入状态为未插入的状态的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，作为过滤器的插入状态是否良好，也可以仅检测过滤器的插入状态为正常状态、及过滤器的插入状态为异常状态。
另外，在上述实施方式中，示出了在生产开始时及更换过滤器时检测过滤器的插入状态是否良好的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，也可以仅在生产开始时及更换过滤器时中的一方的情况下，检测过滤器的插入状态是否良好。另外，也可以在生产开始时及更换过滤器时之外的情况下，检测过滤器的插入状态是否良好。例如，也可以基于用户的操作来检测过滤器的插入状态是否良好。
另外，在上述实施方式中，示出了在生产开始时检测过滤器的插入状态是否良好的情况下，检测多个吸嘴轴的全部的过滤器的插入状态是否良好的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，也可以在生产开始时检测过滤器的插入状态是否良好的情况下，仅检测多个吸嘴轴的一部分的过滤器的插入状态是否良好。
另外，在上述实施方式中，示出了在更换过滤器时检测过滤器的插入状态是否良好的情况下，检测多个吸嘴轴中的更换了过滤器的吸嘴轴的过滤器的插入状态是否良好的例子，但本发明并不限于此。在本发明中，也可以在更换过滤器时检测过滤器的插入状态是否良好的情况下，检测多个吸嘴轴的全部的过滤器的插入状态是否良好。
另外，在上述实施方式中，为了便于说明，使用按照处理流程依次进行处理的流程驱动型的流程图对控制部的处理动作进行了说明，但本发明并不限于此。在本发明中，也可以通过以事件单位执行处理的事件驱动型(event-driven type)的处理来进行控制部的处理动作。在该情况下，可以以完全的事件驱动型进行，也可以组合事件驱动和流程驱动来进行。
标号说明
7 控制部
61 光照射部
62 拍摄部(光检测部)
100 元件安装装置
311 吸嘴轴
311b 侧壁部
311c 流体通路
311d 过滤器
311e 流体通路用开口部
311f、411f、511f 过滤器状态确认部
311fa、311fb 贯通孔
312 吸嘴
E 元件

Claims (9)

1.一种元件安装装置，具备：
吸嘴轴；及
吸嘴，构成为能够相对于所述吸嘴轴进行装卸，该吸嘴吸附元件，
所述吸嘴轴包括：
侧壁部；
流体通路，设置在所述侧壁部内；
过滤器，沿着所述吸嘴轴的轴向插入于所述流体通路，并且构成为能够相对于所述流体通路进行装卸；及
过滤器状态确认部，以在与所述吸嘴轴的轴向正交的轴正交方向上与正确地安装的状态下的所述过滤器的端部对向的方式设置于所述侧壁部，
所述过滤器状态确认部构成为根据所述过滤器的插入状态，使光在所述轴正交方向上从所述吸嘴轴的一侧向另一侧通过。
2.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，
所述过滤器状态确认部是使光在所述轴正交方向上从所述吸嘴轴的一侧向另一侧通过的孔部。
3.根据权利要求2所述的元件安装装置，其中，
作为所述过滤器状态确认部的孔部具有隔着所述过滤器在所述轴正交方向上相互对向的两个贯通孔。
4.根据权利要求3所述的元件安装装置，其中，
作为所述过滤器状态确认部的孔部的两个贯通孔中的至少一方设置成与设置于所述侧壁部的抽吸时的流体通路用开口部连续。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的元件安装装置，其中，
所述元件安装装置还具备光照射部，该光照射部从所述吸嘴轴的所述轴正交方向的一侧向所述过滤器状态确认部照射光。
6.根据权利要求5所述的元件安装装置，其中，
所述元件安装装置还具备：
光检测部，对由所述光照射部照射并通过了所述过滤器状态确认部的光进行检测；及
控制部，进行基于所述光检测部对光的检测结果来检测所述过滤器的插入状态是否良好的控制。
7.根据权利要求6所述的元件安装装置，其中，
所述光检测部包括从所述轴正交方向对吸附于所述吸嘴的所述元件进行拍摄的拍摄部，
所述控制部构成为进行基于所述拍摄部对所述过滤器状态确认部的拍摄结果来检测所述过滤器的插入状态是否良好的控制。
8.根据权利要求6或7所述的元件安装装置，其中，
所述控制部构成为进行如下控制：作为所述过滤器的插入状态是否良好，检测所述过滤器的插入状态为正常状态、所述过滤器的插入状态为插入过大的状态、所述过滤器的插入状态为插入过小的状态、及所述过滤器的插入状态为未插入的状态。
9.根据权利要求6至8中任一项所述的元件安装装置，其中，
所述控制部构成为进行在生产开始时及更换所述过滤器时中的至少一方的情况下，检测所述过滤器的插入状态是否良好的控制。
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