JP7058375B2 - 部品実装装置 - Google Patents

Description

この発明は、部品実装装置に関し、特に、ノズルシャフトにフィルタが挿入されている部品実装装置に関する。

従来、ノズルシャフトにフィルタが挿入されている部品実装装置が知られている。このような部品実装装置は、たとえば、国際公開第２０１８／１７９０４８号に開示されている。

上記国際公開第２０１８／１７９０４８号には、部品を吸着してプリント基板に実装する表面実装機（部品実装装置）が開示されている。この表面実装機は、ノズルシャフトと、ノズルシャフトに着脱可能に構成され、部品を吸着する吸着ノズルとを備えている。また、ノズルシャフトの内部には、集塵用のフィルタが挿入されている。この表面実装機は、カメラによりノズルシャフトの内部を撮像させるとともに、カメラによるノズルシャフトの内部の撮像結果に基づいて、ノズルシャフトの内部のフィルタの挿入状態の良否を判断するように構成されている。

また、上記国際公開第２０１８／１７９０４８号には、フィルタの撮像に関して、ノズルシャフトの下方に開口する開口部を介して、カメラによりノズルシャフトの内部を下方から撮像する構成と、ノズルシャフトの側方に開口する開口部を介して、カメラによりノズルシャフトの内部を側方から撮像する構成とが開示されている。いずれの構成においても、この表面実装機では、フィルタの表面から反射された光を利用して、ノズルシャフトの内部のフィルタが撮像されて、ノズルシャフトの内部のフィルタの挿入状態の良否が判断されていると考えられる。

国際公開第２０１８／１７９０４８号

しかしながら、上記国際公開第２０１８／１７９０４８号に記載された表面実装機では、フィルタの表面から反射された光を利用して、ノズルシャフトの内部のフィルタの挿入状態の良否が確認されると考えられるため、フィルタの表面状態（汚れ、色など）によっては、ノズルシャフトの内部のフィルタの挿入状態の良否を確認するのに適した反射光が得られない場合があると考えられる。この場合、ノズルシャフトの内部のフィルタの挿入状態の良否を精度良く確認することが困難であると考えられる。この点において、上記国際公開第２０１８／１７９０４８号に記載された表面実装機には、改善の余地がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、フィルタの挿入状態の良否を精度良く確認することが可能な部品実装装置を提供することである。

この発明の一の局面による部品実装装置は、ノズルシャフトと、ノズルシャフトに着脱可能に構成され、部品を吸着するノズルと、を備え、ノズルシャフトは、側壁部と、側壁部内に設けられた流体通路と、ノズルシャフトの軸方向に沿って流体通路に挿入されるとともに、流体通路に着脱可能に構成されたフィルタと、ノズルシャフトの軸方向に直交する軸直交方向において、正しく取り付けられた状態のフィルタの端部と対向するように、側壁部に設けられたフィルタ状態確認部と、を含み、フィルタ状態確認部は、フィルタの挿入状態に応じて、軸直交方向においてノズルシャフトの一方側から他方側に光を通過させるように構成されている。

この発明の一の局面による部品実装装置では、上記のように、ノズルシャフトの軸方向に直交する軸直交方向において、正しく取り付けられた状態のフィルタの端部と対向するように、側壁部に、フィルタ状態確認部を設ける。また、フィルタ状態確認部を、フィルタの挿入状態に応じて、軸直交方向においてノズルシャフトの一方側から他方側に光を通過させるように構成する。これにより、フィルタの挿入状態に応じて、フィルタの端部と、フィルタ状態確認部との軸直交方向の対向位置が軸方向に変化される場合に、フィルタ状態確認部における光の通過状態を変化させることができる。その結果、フィルタ状態確認部における光の通過状態を確認することにより、フィルタの挿入状態の良否を確認することができる。これにより、フィルタの表面から反射された光を利用して、フィルタの挿入状態の良否を確認する場合と異なり、フィルタの表面状態（汚れ、色など）によらずに、フィルタの挿入状態の良否を確認することができる。その結果、フィルタの挿入状態の良否を精度良く確認可能な部品実装装置を提供することができる。

上記一の局面による部品実装装置において、好ましくは、フィルタ状態確認部は、軸直交方向においてノズルシャフトの一方側から他方側に光を通過させる孔部である。このように構成すれば、フィルタ状態確認部を、フィルタの挿入状態に応じて、軸直交方向においてノズルシャフトの一方側から他方側に光を通過させるように容易に構成することができる。

この場合、好ましくは、フィルタ状態確認部である孔部は、フィルタを隔てて軸直交方向に互いに対向する２つの貫通孔を有する。このように構成すれば、フィルタ状態確認部を、フィルタの挿入状態に応じて、軸直交方向においてノズルシャフトの一方側から他方側に光を通過させるようにより容易に構成することができる。

上記一の局面による部品実装装置において、好ましくは、フィルタ状態確認部である孔部の２つの貫通孔のうちの少なくとも一方は、側壁部に設けられた吸引時の流体通路用開口部と連続するように設けられている。このように構成すれば、流体通路用開口部とは別個独立した孔部として、フィルタ状態確認部である孔部の貫通孔を設ける場合に比べて、フィルタ状態確認部である孔部の貫通孔を設けることに起因するノズルシャフトの強度の低下を抑制することができる。

上記一の局面による部品実装装置において、好ましくは、ノズルシャフトの軸直交方向の一方側から、フィルタ状態確認部に光を照射する光照射部をさらに備える。このように構成すれば、フィルタ状態確認部における光の通過状態を確認する際、光照射部により、ノズルシャフトの軸直交方向の一方側から、フィルタ状態確認部に光を照射させることができる。その結果、自然光のみによりフィルタ状態確認部における光の通過状態を確認する場合に比べて、フィルタの挿入状態の確認のための光量を増加させた状態で、フィルタ状態確認部における光の通過状態を確認することができる。これにより、フィルタの挿入状態の良否をより精度良く確認することができる。

この場合、好ましくは、光照射部により照射され、フィルタ状態確認部を通過した光を検出する光検出部と、光検出部による光の検出結果に基づいて、フィルタの挿入状態の良否を検出する制御を行う制御部と、をさらに備える。このように構成すれば、制御部により自動的にフィルタの挿入状態の良否を検出することができる。その結果、作業者が目視によりフィルタの挿入状態の良否を確認する手間を省くことができる。この効果は、挿入状態の良否を確認すべきフィルタの数が多い場合に、特に有効である。

上記光検出部をさらに備える構成において、好ましくは、光検出部は、ノズルに吸着された部品を軸直交方向から撮像する撮像部を含み、制御部は、撮像部によるフィルタ状態確認部の撮像結果に基づいて、フィルタの挿入状態の良否を検出する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、フィルタ状態確認部を通過した光を検出する光検出部として、既存の撮像部を利用することができる。その結果、フィルタ状態確認部を通過した光を検出する光検出部を新たに設ける必要がない。これにより、部品実装装置の構造の複雑化を抑制しつつ、フィルタの挿入状態の良否を検出することができる。

上記フィルタの挿入状態の良否を検出する構成において、好ましくは、制御部は、フィルタの挿入状態の良否として、フィルタの挿入状態が正常状態であること、フィルタの挿入状態が挿入過大の状態であること、フィルタの挿入状態が挿入過小の状態であること、および、フィルタの挿入状態が未挿入の状態であること、を検出する制御を行うように構成されている。このように構成すれば、フィルタの挿入状態に応じて、フィルタの挿入状態の良否を適切かつ詳細に検出することができる。

上記フィルタの挿入状態の良否を検出する構成において、好ましくは、制御部は、生産開始時、および、フィルタの交換時のうちの少なくとも一方の場合に、フィルタの挿入状態の良否を検出する制御を行うように構成されている。このように、たとえば、制御部が生産開始時にフィルタの挿入状態の良否を検出する制御を行えば、フィルタの挿入状態が不良の状態において、生産が開始されることを抑制することができる。また、たとえば、制御部がフィルタの交換時にフィルタの挿入状態の良否を検出する制御を行えば、フィルタの挿入状態の不良が発生しやすいタイミングにおいて、フィルタの交換時にフィルタの挿入状態の不良を効果的に検出することができる。

本発明によれば、上記のように、フィルタの挿入状態の良否を精度良く確認することが可能な部品実装装置を提供することができる。

一実施形態による部品実装装置の全体構成を示した模式的な図である。 一実施形態による部品実装装置の制御的な構成を示したブロック図である。 一実施形態による部品実装装置のヘッドユニットおよび側方カメラを説明するための模式的な図である。 （Ａ）は、一実施形態による部品実装装置のノズルおよびフィルタの未装着状態のノズルシャフトを示した模式的な図である。（Ｂ）は、一実施形態による部品実装装置のノズルおよびフィルタの装着状態のノズルシャフトを示した模式的な図である。 図４（Ｂ）のＶ－Ｖ線に沿った模式的な断面図である。 （Ａ）は、一実施形態による部品実装装置のノズルおよびノズルシャフトにおける吸引時の流体の流れを示した模式的な断面図である。（Ｂ）は、一実施形態による部品実装装置のノズルシャフトのフィルタ状態確認部における撮像時の光の通過を示した模式的な断面図である。 一実施形態による部品実装装置のフィルタの挿入状態の良否の検出を説明するための図である。 一実施形態による部品実装装置の生産開始時のフィルタ挿入状態検出処理を説明するためのフローチャートである。 一実施形態による部品実装装置のフィルタ交換時のフィルタ挿入状態検出処理を説明するためのフローチャートである。 一実施形態による部品実装装置の目視確認時のフィルタ挿入状態検出処理を説明するためのフローチャートである。 一実施形態の第１変形例によるノズルシャフトのフィルタ状態確認部を説明するための図である。 一実施形態の第２変形例によるノズルシャフトのフィルタ状態確認部を説明するための図である。 一実施形態の第３変形例によるノズルシャフトのフィルタ状態確認部を説明するための図である。

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

（部品実装装置の構成）
図１～図７を参照して、本発明の一実施形態による部品実装装置１００の構成について説明する。

部品実装装置１００は、図１に示すように、ＩＣ、トランジスタ、コンデンサおよび抵抗などの部品Ｅ（電子部品）を、プリント基板などの基板Ｐに実装する装置である。

図１および図２に示すように、部品実装装置１００は、基台１と、搬送部２と、ヘッドユニット３と、ヘッド水平移動機構部４と、下方カメラ５と、側方カメラ６と、制御部７（図２参照）と、表示部８（図２参照）とを備えている。

基台１は、部品実装装置１００において各構成要素を配置する基礎となる台である。基台１上には、搬送部２、ヘッド水平移動機構部４の後述するレール部４２、および、下方カメラ５が設けられている。また、基台１内には、制御部７が設けられている。また、基台１には、Ｙ方向の両側（Ｙ１方向側およびＹ２方向側）に、部品供給装置１１がそれぞれ配置されている。

部品供給装置１１は、基板Ｐに実装される部品Ｅを供給する装置である。部品供給装置１１は、たとえば、テープフィーダ１２を含んでいる。テープフィーダ１２は、複数の部品Ｅを保持した部品供給テープ（図示せず）が巻き回されたリール（図示せず）を保持している。また、テープフィーダ１２は、ヘッドユニット３による部品Ｅの取出しのための部品吸着動作に応じて、保持されたリールを回転させて部品供給テープを送り出すことにより、部品Ｅを供給するように構成されている。基台１では、Ｙ方向の両側のそれぞれにおいて、複数のテープフィーダ１２がＸ方向に並んで配列されている。なお、部品供給装置１１は、部品Ｅを保持したトレイにより部品Ｅを供給するトレイフィーダを含んでいてもよい。

搬送部２は、実装前の基板Ｐを搬入し、基板搬送方向（Ｘ方向）に搬送し、実装後の基板Ｐを搬出するように構成されている。また、搬送部２は、搬入された基板Ｐを実装作業位置Ｍまで搬送するとともに、実装作業位置Ｍにおいて基板固定機構（図示せず）により固定するように構成されている。また、搬送部２は、一対の搬送ベルト２１を含んでおり、一対の搬送ベルト２１により、基板ＰのＹ方向の両端を下方（Ｚ２方向側）から支持しつつ、基板Ｐを基板搬送方向に搬送するように構成されている。

ヘッドユニット３は、部品実装用のロータリ型のヘッドユニットである。ヘッドユニット３は、実装作業位置Ｍにおいて固定された基板Ｐに部品Ｅを実装する。ヘッドユニット３は、部品Ｅを吸着して実装するための複数（１２本）のヘッド３１（実装ヘッド）を含んでいる。複数のヘッド３１は、等角度間隔に円環状に配列されている。なお、ヘッド３１の詳細な構成については、後述する。

また、ヘッドユニット３は、個々のヘッド３１を上下方向（Ｚ方向）に移動させるためのＺ軸モータ３２（図２参照）と、個々のヘッド３１をＺ方向に延びる回転軸線周りに回転させるためのＲ軸モータ３３（図２参照）と、複数のヘッド３１をＺ方向に延びる回転軸線Ａ（図３参照）周りに回転させるためのヘッドモータ３４とを含んでいる。ヘッド３１は、Ｚ軸モータ３２により、部品Ｅを吸着する際かまたは吸着された部品Ｅを実装する際の下降位置と、吸着された部品Ｅを基板Ｐに搬送する際の上昇位置との間で、上下方向に移動可能に構成されている。また、ヘッド３１は、部品Ｅを吸着した状態でＲ軸モータ３３により回転されることにより、吸着している部品Ｅの向きを調整可能に構成されている。また、複数のヘッド３１は、ヘッドモータ３４により、円環状に配列された状態を維持しつつ、回転軸線Ａ周りに回転されるように構成されている。

ヘッド水平移動機構部４は、ヘッドユニット３を水平方向（Ｘ方向およびＹ方向）に移動させるように構成されている。ヘッド水平移動機構部４は、ヘッドユニット３を基板搬送方向（Ｘ方向）に移動可能に支持する支持部４１と、支持部４１をＹ方向に移動可能に支持するレール部４２とを含んでいる。支持部４１は、基板搬送方向に延びるボールねじ軸４１ａと、ボールねじ軸４１ａを回転させるＸ軸モータ４１ｂとを有している。ヘッドユニット３には、支持部４１のボールねじ軸４１ａと係合するボールナット３５が設けられている。ヘッドユニット３は、Ｘ軸モータ４１ｂによりボールねじ軸４１ａが回転されることにより、ボールねじ軸４１ａと係合するボールナット３５とともに、支持部４１に沿って基板搬送方向に移動可能に構成されている。

レール部４２は、支持部４１のＸ方向の両端部をＹ方向に移動可能に支持する一対のガイドレール４２ａと、Ｙ方向に延びるボールねじ軸４２ｂと、ボールねじ軸４２ｂを回転させるＹ軸モータ４２ｃとを有している。支持部４１には、レール部４２のボールねじ軸４２ｂと係合するボールナット４１ｃが設けられている。支持部４１は、Ｙ軸モータ４２ｃによりボールねじ軸４２ｂが回転されることにより、ボールねじ軸４２ｂと係合するボールナット４１ｃとともに、レール部４２の一対のガイドレール４２ａに沿ってＹ方向に移動可能に構成されている。

ヘッド水平移動機構部４の支持部４１およびレール部４２により、ヘッドユニット３は、基台１上を水平方向に移動可能に構成されている。これにより、ヘッドユニット３は、部品供給装置１１の上方に移動して、部品供給装置１１から供給される部品Ｅを吸着して保持することが可能である。また、ヘッドユニット３は、実装作業位置Ｍにおいて固定された基板Ｐの上方に移動して、保持（吸着）された部品Ｅを基板Ｐに実装可能である。

下方カメラ５は、部品認識用のカメラである。下方カメラ５は、部品Ｅの実装に先立ってヘッド３１の後述するノズル３１２（図３参照）に吸着された部品Ｅを撮像するように構成されている。下方カメラ５は、基台１の上面上に固定されており、部品Ｅの下方（Ｚ２方向側）から、ヘッド３１のノズル３１２に吸着された部品Ｅを撮像するように構成されている。下方カメラ５による部品Ｅの撮像結果に基づいて、制御部７は、部品Ｅの保持状態（回転姿勢およびヘッド３１に対する保持位置）を取得（認識）する。

側方カメラ６（サイドビューカメラ）は、部品Ｅの実装に先立ってヘッド３１のノズル３１２およびヘッド３１のノズル３１２に吸着された部品Ｅを側方（水平方向）から撮像するように構成されている。側方カメラ６による部品Ｅの撮像結果に基づいて、制御部７は、側方から見た部品Ｅの実際の厚みを認識し、公差に伴う部品Ｅの厚みのバラツキを補正するように構成されている。また、側方カメラ６は、ヘッドユニット３に設けられている。側方カメラ６は、ヘッドユニット３とともに、基台１上を水平方向に移動可能に構成されている。

また、図３に示すように、側方カメラ６は、被写体である部品Ｅの撮像時に発光する光照射部６１と、被写体である部品Ｅを撮像する撮像部６２とを含んでいる。なお、撮像部６２は、請求の範囲の「光検出部」の一例である。

光照射部６１は、光源部６１１と、拡散部６１２とを有している。光源部６１１は、たとえばＬＥＤ（発光ダイオード）を含み、発光可能に構成されている。拡散部６１２は、光源部６１１からの光を拡散させるように構成されている。具体的には、拡散部６１２は、アクリル樹脂などの透光性を有する樹脂材料に粒子状の拡散材を分散させることにより形成されている。光照射部６１は、光源部６１１と拡散部６１２とにより、撮像対象の部品Ｅを吸着したヘッド３１（Ｘ１方向側のヘッド３１）に、側方（Ｘ２方向側）から光を照射するように構成されている。

撮像部６２は、ＣＣＤイメージセンサやＣＭＯＳイメージセンサなどの半導体撮像素子を含んでおり、撮像対象の部品Ｅを吸着したヘッド３１を側方（Ｘ１方向側、ヘッド３１の軸方向と直交する方向）から撮像するように構成されている。また、撮像部６２は、撮像結果を制御部７に送信するように構成されている。

図２に示すように、制御部７は、部品実装装置１００の動作を制御する制御回路である。制御部７は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）、および、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）を含んでいる。制御部７は、搬送部２、部品供給装置１１、Ｘ軸モータ４１ｂおよびＹ軸モータ４２ｃなどを生産プログラムに従って制御することにより、ヘッドユニット３により基板Ｐに部品Ｅを実装させる制御を行うように構成されている。表示部８は、たとえば液晶モニタを含み、作業者などのユーザに通知すべき情報を表示するように構成されている。

（ヘッドに関する構成）
次に、図３～図６（Ａ）（Ｂ）を参照して、ヘッド３１の構成について説明する。なお、図３～図６（Ａ）（Ｂ）では、ヘッド３１の軸方向（Ｚ方向）と直交する軸直交方向（水平方向）がＡ方向として図示されている。また、Ａ方向のうちの一方方向がＡ１方向として、Ａ方向のうちの他方方向がＡ２方向として図示されている。

図３および図４（Ａ）（Ｂ）に示すように、ヘッド３１は、上下方向（Ｚ方向）に沿って延びるヘッド３１の本体部であるノズルシャフト３１１と、ノズルシャフト３１１に着脱可能に構成されたノズル３１２とを備えている。なお、図３では、ヘッド３１が簡略化されて図示されている。また、図４（Ａ）（Ｂ）では、ノズルシャフト３１１については、ノズルシャフト３１１のノズル３１２側（Ｚ２方向側）の先端部３１１ａのみが図示されている。

図４（Ａ）（Ｂ）および図５に示すように、ノズル３１２は、先端部３１２ａを有しており、先端部３１２ａに部品Ｅを吸着するように構成されている。また、ノズル３１２は、内部に流体通路３１２ｂ（図５参照）を有しており、流体通路３１２ｂを介して、ポンプなどの圧力源（図示せず）から負圧または正圧が供給されるように構成されている。ノズル３１２は、流体通路３１２ｂを介して供給された負圧により、先端部３１２ａに部品Ｅを吸着するように構成されている。また、ノズル３１２は、流体通路３１２ｂを介して供給された正圧により、先端部３１２ａに吸着された部品Ｅを基板Ｐの実装位置に押し付けて配置するように構成されている。

ノズルシャフト３１１は、ノズル３１２側（Ｚ２方向側）の端部である先端部３１１ａを有している。先端部３１１ａは、ノズル３１２を着脱可能に構成されている。また、ノズルシャフト３１１は、中空の筒状形状を有しており、負圧または正圧供給用の流体（空気）が内部を流通可能に構成されている。具体的には、ノズルシャフト３１１は、上下方向（Ｚ方向）に沿って延びる筒の壁部分である側壁部３１１ｂと、側壁部３１１ｂ内に設けられた筒の中空部分である流体通路３１１ｃとを有している。流体通路３１１ｃは、負圧または正圧供給用の流体（空気）が流通する流路である。流体通路３１１ｃは、ノズル３１２の流体通路３１２ｂに流体的に接続されている。

また、ノズルシャフト３１１は、流体通路３１１ｃに着脱可能に構成された集塵用のフィルタ３１１ｄを有している。フィルタ３１１ｄは、たとえば汚れの程度がひどくなった場合、交換される。フィルタ３１１ｄは、ノズルシャフト３１１の軸方向（Ｚ方向）に沿って流体通路３１１ｃに挿入されるように構成されている。これにより、フィルタ３１１ｄは、流体通路３１１ｃに取り付けられるように構成されている。ノズルシャフト３１１は、先端部３１１ａのＺ２方向側の端面に、フィルタ３１１ｄの挿入のための開口部３１１ａａを有している。開口部３１１ａａは、流体通路３１１ｃに接続されている。フィルタ３１１ｄは、たとえばスポンジにより構成することができる。

ここで、図６（Ａ）を参照して、フィルタ３１１ｄを介した、ノズル３１２の流体通路３１２ｂおよびノズルシャフト３１１の流体通路３１１ｃにおける吸引時（負圧供給時）の流体（空気）の流れについて説明する。

図６（Ａ）に示すように、ノズル３１２の先端部３１２ａの開口から、流体が、ノズル３１２の流体通路３１２ｂにＺ１方向に流入する。そして、流体は、ノズル３１２の流体通路３１２ｂをＺ１方向に流通して、ノズルシャフト３１１の流体通路３１１ｃにＺ１方向に流入する。そして、流体は、流体通路３１１ｃに配置されたフィルタ３１１ｄをＺ１方向に流通する。この際、フィルタ３１１ｄにより、流体中の被除去成分（塵埃など）が除去される。そして、流体は、さらに流体通路３１１ｃをＺ１方向に流通して、ポンプなどの圧力源に達する。なお、詳細な説明は省略するが、正圧供給時には、流体は、負圧供給時とは反対方向に流通する。

また、ノズルシャフト３１１は、フィルタ３１１ｄの側面とＡ方向に対向するように、Ａ１方向側の側壁部３１１ｂに設けられた流体通路用開口部３１１ｅを有している。流体通路用開口部３１１ｅは、吸引時（負圧供給時）または正圧供給時に、負圧または正圧供給用の流体（空気）を、フィルタ３１１ｄのＡ１方向側の側面に流通させる開口部である。これにより、フィルタ３１１ｄのＺ２方向側の端面からだけでなく、フィルタ３１１ｄのＡ１方向側の側面からも、フィルタ３１１ｄ内に流体を流通させることができるので、フィルタ３１１ｄの集塵効果を高めることができる。

ここで、本実施形態では、図４（Ａ）（Ｂ）、図５、図６（Ｂ）および図７に示すように、ノズルシャフト３１１は、ノズルシャフト３１１の流体通路３１１ｃにおけるフィルタ３１１ｄの挿入状態を確認するためのフィルタ状態確認部３１１ｆを有している。フィルタ状態確認部３１１ｆは、Ａ方向において、正しく取り付けられた状態のフィルタ３１１ｄの端部３１１ｄａ（挿入側とは反対側（Ｚ２方向側）の端部、下端部）と対向するように、側壁部３１１ｂに設けられている。また、フィルタ状態確認部３１１ｆは、フィルタ３１１ｄの挿入状態（取り付け状態）に応じて、Ａ方向においてノズルシャフト３１１の一方側から他方側に光を通過させるように構成されている。すなわち、フィルタ状態確認部３１１ｆは、フィルタ３１１ｄの挿入状態に応じた光を、ノズルシャフト３１１をＡ方向に貫通するように通過させるように構成されている。なお、図４（Ｂ）、図５および図６（Ｂ）では、フィルタ３１１ｄについては、正しく取り付けられた状態のフィルタ３１１ｄが図示されている。

フィルタ状態確認部３１１ｆは、Ａ方向においてノズルシャフト３１１の一方側から他方側に光を通過させる孔部である。すなわち、フィルタ状態確認部３１１ｆは、ノズルシャフト３１１をＡ方向に貫通するように光を通過させる孔部である。フィルタ状態確認部３１１ｆである孔部は、フィルタ３１１ｄを隔ててＡ方向に互いに対向する２つの貫通孔３１１ｆａおよび３１１ｆｂを有している。貫通孔３１１ｆａは、ノズルシャフト３１１のＡ２方向側の側壁部３１１ｂに設けられている。貫通孔３１１ｆａは、略円形状に形成されている。また、貫通孔３１１ｆｂは、ノズルシャフト３１１のＡ１方向側の側壁部３１１ｂに設けられている。貫通孔３１１ｆｂは、流体通路用開口部３１１ｅに連続するように設けられている。流体通路用開口部３１１ｅに連続する貫通孔３１１ｆｂは、流体通路用開口部３１１ｅを切り欠くように略半円形状に形成されている。

また、本実施形態では、図６（Ｂ）に示すように、フィルタ３１１ｄの挿入状態の確認を行う場合、ノズルシャフト３１１に対してＡ２方向側に、側方カメラ６の光照射部６１が配置されるとともに、ノズルシャフト３１１に対してＡ１方向側に、側方カメラ６の撮像部６２が配置される。この際、ノズルシャフト３１１は、フィルタ状態確認部３１１ｆの貫通孔３１１ｆａが、側方カメラ６の光照射部６１側（Ａ２方向側）を向くとともに、フィルタ状態確認部３１１ｆの貫通孔３１１ｆｂが、側方カメラ６の撮像部６２側（Ａ１方向側）を向くように、配置される。なお、フィルタ３１１ｄの挿入状態の確認を行う場合、ノズル３１２はノズルシャフト３１１から取り外された状態である。

側方カメラ６の光照射部６１は、側方カメラ６の撮像部６２によるフィルタ状態確認部３１１ｆの撮像時に、ノズルシャフト３１１に対してＡ２方向側から、フィルタ状態確認部３１１ｆの貫通孔３１１ｆａに光を照射する。側方カメラ６の光照射部６１により照射された光は、貫通孔３１１ｆａ、貫通孔３１１ｆｂの順に、フィルタ状態確認部３１１ｆを通過する。側方カメラ６の撮像部６２は、側方カメラ６の光照射部６１により照射され、フィルタ状態確認部３１１ｆの貫通孔３１１ｆａおよび３１１ｆｂを通過した光を検出する。すなわち、側方カメラ６の撮像部６２は、フィルタ状態確認部３１１ｆをＡ１方向側から撮像する。

（フィルタの挿入状態の良否の検出に関する構成）
図７に示すように、フィルタ３１１ｄの挿入状態に応じて、フィルタ３１１ｄの端部３１１ｄａと、フィルタ状態確認部３１１ｆとのＡ方向の対向位置がＺ方向に変化するため、フィルタ状態確認部３１１ｆにおける光の通過状態が変化する。すなわち、フィルタ３１１ｄによるフィルタ状態確認部３１１ｆを通過する光の遮蔽状態が変化する。なお、図７では、理解の容易化のために、フィルタ３１１ｄがハッチングを付されて図示されている。

フィルタ３１１ｄが正しく取り付けられた状態では、フィルタ３１１ｄの端部３１１ｄａが設計位置Ｂ１に位置している。設計位置Ｂ１は、フィルタ状態確認部３１１ｆの、フィルタ３１１ｄの挿入方向に沿った方向（Ｚ方向）の一方端部から他方端部までの間の位置である。設計位置Ｂ１は、この一方端部と他方端部との中間位置の近傍の位置であることが好ましい。この状態では、フィルタ状態確認部３１１ｆを通過しようとする光の一部がフィルタ３１１ｄにより遮蔽され、フィルタ状態確認部３１１ｆを通過しようとする光の残りの一部がフィルタ３１１ｄにより遮蔽されずに通過する。

また、たとえば挿入する力が弱く、フィルタ３１１ｄが過小に挿入された状態で取り付けられた状態では、フィルタ３１１ｄの端部３１１ｄａが設計位置Ｂ１よりもＺ２方向側の位置Ｂ２に位置している。この状態では、フィルタ３１１ｄが正しく取り付けられた状態に比べて、フィルタ３１１ｄの端部３１１ｄａと、フィルタ状態確認部３１１ｆとの重なり度が大きくなる。このため、この状態では、フィルタ３１１ｄが正しく取り付けられた状態に比べて、フィルタ３１１ｄによるフィルタ状態確認部３１１ｆを通過しようとする光の遮蔽度が大きくなるとともに、フィルタ状態確認部３１１ｆにおける光の通過度が小さくなる。

また、たとえば挿入する力が強く、フィルタ３１１ｄが過大に挿入された状態で取り付けられた状態では、フィルタ３１１ｄの端部３１１ｄａが設計位置Ｂ１よりもＺ１方向側の位置Ｂ３に位置している。この状態では、フィルタ３１１ｄが正しく取り付けられた状態に比べて、フィルタ３１１ｄの端部３１１ｄａと、フィルタ状態確認部３１１ｆとの重なり度が小さくなる。このため、この状態では、フィルタ３１１ｄが正しく取り付けられた状態に比べて、フィルタ３１１ｄによるフィルタ状態確認部３１１ｆを通過しようとする光の遮蔽度が小さくなるとともに、フィルタ状態確認部３１１ｆにおける光の通過度が大きくなる。

また、たとえば挿入を忘れて、フィルタ３１１ｄが未挿入の状態では、光の遮蔽物であるフィルタ３１１ｄがないため、フィルタ状態確認部３１１ｆにおける光の通過度が最大になる。

これらのように、フィルタ３１１ｄの挿入状態に応じて、フィルタ状態確認部３１１ｆにおける光の通過状態が変化するため、フィルタ状態確認部３１１ｆにおける光の通過状態を確認することにより、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を確認することができる。

そこで、本実施形態では、制御部７は、側方カメラ６の撮像部６２によるフィルタ状態確認部３１１ｆを通過した光の検出結果に基づいて、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を検出する制御を行うように構成されている。すなわち、制御部７は、側方カメラ６の撮像部６２によるフィルタ状態確認部３１１ｆの撮像結果に基づいて、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を検出する制御を行うように構成されている。

具体的には、制御部７は、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否として、フィルタ３１１ｄの挿入状態が正常状態であること、フィルタ３１１ｄの挿入状態が挿入過大の状態であること、フィルタ３１１ｄの挿入状態が挿入過小の状態であること、および、フィルタ３１１ｄの挿入状態が未挿入の状態であること、を検出する制御を行うように構成されている。

撮像結果に基づくフィルタ３１１ｄの挿入状態の良否の検出は、特に限られないが、たとえば、撮像結果である撮像画像中のフィルタ状態確認部３１１ｆに対応する明部の面積に基づいて行うことができる。この場合、たとえば、制御部７は、フィルタ状態確認部３１１ｆの撮像結果に基づいて、撮像結果である撮像画像中のフィルタ状態確認部３１１ｆに対応する明部の面積を取得する。そして、制御部７は、取得した明部の面積に基づいて、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を検出する制御を行う。

具体的には、制御部７は、取得した明部の面積が、予め決められた第１しきい値範囲内である場合、フィルタ３１１ｄの挿入状態が正常状態であることを検出する。また、制御部７は、取得した明部の面積が、予め決められた第１しきい値範囲の下限値以下である場合、フィルタ３１１ｄの挿入状態が挿入過小の状態であることを検出する。また、制御部７は、取得した明部の面積が、予め決められた第１しきい値範囲の上限値以上で、かつ、予め決められた第２しきい値範囲の下限値以下である場合、フィルタ３１１ｄの挿入状態が挿入過大の状態であることを検出する。また、制御部７は、取得した明部の面積が、予め決められた第２しきい値範囲の上限値以上である場合、フィルタ３１１ｄの挿入状態が未挿入の状態であることを検出する。

また、たとえば、撮像結果に基づくフィルタ３１１ｄの挿入状態の良否の検出は、撮像結果である撮像画像中のフィルタ３１１ｄの端部３１１ｄａの位置に基づいて行うことができる。この場合、たとえば、制御部７は、フィルタ状態確認部３１１ｆの撮像結果に基づいて、撮像結果である撮像画像中のフィルタ３１１ｄの端部３１１ｄａの位置を取得する。そして、制御部７は、取得したフィルタ３１１ｄの端部３１１ｄａの位置に基づいて、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を検出する制御を行う。

具体的には、制御部７は、取得したフィルタ３１１ｄの端部３１１ｄａの位置が、予め決められた位置範囲内にある場合、フィルタ３１１ｄの挿入状態が正常状態であることを検出する。また、制御部７は、取得したフィルタ３１１ｄの端部３１１ｄａの位置が、予め決められた位置範囲の下限位置の外側にある場合、フィルタ３１１ｄの挿入状態が挿入過小の状態であることを検出する。また、制御部７は、取得したフィルタ３１１ｄの端部３１１ｄａの位置が、予め決められた位置範囲の上限位置の外側にある場合、フィルタ３１１ｄの挿入状態が挿入過大の状態であることを検出する。また、制御部７は、フィルタ３１１ｄの端部３１１ｄａの位置が取得できない場合、フィルタ３１１ｄの挿入状態が未挿入の状態であることを検出する。

〈検出結果の通知に関する構成〉
また、制御部７は、フィルタ３１１ｄの挿入状態が異常状態であることが検出された場合、フィルタ３１１ｄの挿入状態が異常状態であることをユーザに通知する制御を行うように構成されている。たとえば、制御部７は、表示部８に情報を表示したり、ユーザが携帯する携帯端末の表示部に情報を表示させたりすることにより、フィルタ３１１ｄの挿入状態が異常状態であることをユーザに通知する制御を行う。

〈検出タイミングに関する構成〉
制御部７は、基板Ｐの生産開始時（部品実装装置１００の起動時）に、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を検出する制御を行うように構成されている。すなわち、制御部７は、基板Ｐの部品実装装置１００内への搬入前に、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を検出する制御を行うように構成されている。この際、制御部７は、複数（１２本）のノズルシャフト３１１の全部のフィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を検出する制御を行うように構成されている。

また、制御部７は、フィルタ３１１ｄの交換時にも、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を検出する制御を行うように構成されている。この際、制御部７は、複数のノズルシャフト３１１のうち、フィルタ３１１ｄが交換されたノズルシャフト３１１のフィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を検出する制御を行うように構成されている。

また、制御部７は、作業者によるフィルタ３１１ｄの挿入状態の良否の確認時に、フィルタ状態確認部３１１ｆに光を照射するように、側方カメラ６の光照射部６１を制御するように構成されている。これにより、作業者による目視確認時にも、フィルタ状態確認部３１１ｆにおける光の通過状態を容易に確認することができる。

（生産開始時のフィルタ挿入状態検出処理）
次に、図８を参照して、本実施形態による部品実装装置１００の生産開始時のフィルタ挿入状態検出処理についてフローチャートに基づいて説明する。なお、フローチャートの各処理は、制御部７により行われる。また、生産開始時とは、たとえば、生産開始のためのスタートボタンが押されたときなどである。

図８に示すように、たとえば生産開始のためのスタートボタンが押されて生産が開始されると、まず、ステップＳ１において、側方カメラ６によるフィルタ状態確認部３１１ｆの撮像が行われる。ステップＳ１では、側方カメラ６の光照射部６１によるフィルタ状態確認部３１１ｆへの光の照射が行われる。また、ステップＳ１では、側方カメラ６の撮像部６２によるフィルタ状態確認部３１１ｆの撮像が行われる。

そして、ステップＳ２において、フィルタ状態確認部３１１ｆの撮像結果に基づいて、フィルタ３１１ｄの挿入状態が正常状態であるか否かの判断が行われる。ステップＳ２において、フィルタ３１１ｄの挿入状態が正常状態であると判断された場合、ステップＳ４に進む。また、ステップＳ２において、フィルタ３１１ｄの挿入状態が正常状態ではない（異常状態である）と判断された場合、ステップＳ３に進む。なお、ステップＳ２では、異常状態の種類（すなわち、挿入過小、挿入過大、未挿入など）まで検出されてもよいし、単に異常状態であることのみが検出されてもよい。

そして、ステップＳ３において、エラーフラグのセットが行われる。ステップＳ３では、異常状態の種類まで検出されている場合、異常状態の種類に応じて、エラーフラグのセットが行われる。セットされるエラーフラグは、たとえば、異常状態が、フィルタ３１１ｄの挿入状態が挿入過小の状態である場合に「１」とし、異常状態が、フィルタ３１１ｄの挿入状態が挿入過大の状態である場合に「２」とし、異常状態が、フィルタ３１１ｄの挿入状態が未挿入の状態である場合に「３」とすることができる。また、ステップＳ３では、異常状態の種類までは検出されていない場合には、単に異常状態であることを示すエラーフラグのセットが行われる。セットされるエラーフラグは、たとえば、「１」とすることができる。

そして、ステップＳ４において、複数（１２本）のノズルシャフト３１１の全部のフィルタ３１１ｄの挿入状態の良否の検出が行われたか否かの判断が行われる。ステップＳ４において、複数のノズルシャフト３１１の全部のフィルタ３１１ｄの挿入状態の良否の検出が行われていないと判断された場合、ステップＳ１に戻る。そして、次のノズルシャフト３１１のフィルタ３１１ｄの挿入状態の良否の検出が行われる。また、ステップＳ４において、複数のノズルシャフト３１１の全部のフィルタ３１１ｄの挿入状態の良否の検出が行われたと判断された場合、ステップＳ５に進む。

そして、ステップＳ５において、複数のノズルシャフト３１１の全部のフィルタ３１１ｄの挿入状態が正常状態であることが検出されたか否かの判断が行われる。ステップＳ５において、複数のノズルシャフト３１１の全部のフィルタ３１１ｄの挿入状態が正常状態であることが検出されたと判断された場合、フィルタ挿入状態検出処理が終了される。また、ステップＳ５において、複数のノズルシャフト３１１の全部のフィルタ３１１ｄの挿入状態が正常状態であることが検出されていないと判断された場合、ステップＳ６に進む。

そして、ステップＳ６において、作業者などのユーザへのエラーの通知が行われる。ステップＳ６では、フィルタ３１１ｄの挿入状態が異常状態であることのユーザへの通知が行われる。ステップＳ６では、たとえば、異常状態が検出されたノズルシャフト３１１、異常状態の種類などのユーザへの通知が行われる。その後、フィルタ挿入状態検出処理が終了される。なお、異常の場合（ステップＳ６を介してフィルタ挿入状態検出処理が終了された場合）、基板Ｐの生産は開始されない。一方、正常の場合（ステップＳ６を介さずにフィルタ挿入状態検出処理が終了された場合）、基板Ｐの生産が開始される。

（フィルタ交換時のフィルタ挿入状態検出処理）
次に、図９を参照して、本実施形態による部品実装装置１００のフィルタ交換時のフィルタ挿入状態検出処理についてフローチャートに基づいて説明する。なお、フローチャートの各処理は、制御部７により行われる。また、このフローチャートは、たとえば、負圧などの変化でフィルタ３１１ｄの自動交換が行われた場合に自動交換の終了時に実行される。また、たとえば、このフローチャートは、フィルタ挿入状態検出処理をスタートさせるためのボタンを用意するなどして、それが押された場合に実行されてもよい。

図９に示すように、フィルタ３１１ｄの交換が行われると、まず、ステップＳ１１において、フィルタ３１１ｄが交換されたノズルシャフト３１１のフィルタ状態確認部３１１ｆの、側方カメラ６による撮像が行われる。ステップＳ１１では、側方カメラ６の光照射部６１によるフィルタ状態確認部３１１ｆへの光の照射が行われる。また、ステップＳ１１では、側方カメラ６の撮像部６２によるフィルタ状態確認部３１１ｆの撮像が行われる。

そして、ステップＳ１２において、フィルタ状態確認部３１１ｆの撮像結果に基づいて、フィルタ３１１ｄの挿入状態が正常状態であるか否かの判断が行われる。なお、ステップＳ１２では、異常状態の種類（すなわち、挿入過小、挿入過大、未挿入など）まで検出されてもよいし、単に異常状態であることのみが検出されてもよい。ステップＳ１２において、フィルタ３１１ｄの挿入状態が正常状態ではない（異常状態である）と判断された場合、ステップＳ１３に進む。

そして、ステップＳ１３において、作業者などのユーザへのエラーの通知が行われる。ステップＳ１３では、フィルタ３１１ｄの挿入状態が異常状態であることのユーザへの通知が行われる。ステップＳ１３では、たとえば、異常状態が検出されたノズルシャフト３１１、異常状態の種類などのユーザへの通知が行われる。その後、フィルタ挿入状態検出処理が終了される。

また、ステップＳ１２において、フィルタ３１１ｄの挿入状態が正常状態であると判断された場合、ステップＳ１４に進む。

そして、ステップＳ１４において、複数のノズルシャフト３１１の全部のフィルタ３１１ｄの挿入状態が正常状態であることが検出されているか否かの判断が行われる。ステップＳ１４において、複数のノズルシャフト３１１の全部のフィルタ３１１ｄの挿入状態が正常状態であることが検出されていないと判断された場合、ステップＳ１１に戻る。そして、次のノズルシャフト３１１のフィルタ３１１ｄの挿入状態の良否の検出が行われる。また、ステップＳ１４において、複数のノズルシャフト３１１の全部のフィルタ３１１ｄの挿入状態が正常状態であることが検出されていると判断された場合、フィルタ挿入状態検出処理が終了される。

（目視確認時のフィルタ挿入状態検出処理）
次に、図１０を参照して、本実施形態による部品実装装置１００の目視確認時のフィルタ挿入状態検出処理についてフローチャートに基づいて説明する。なお、フローチャートの各処理は、制御部７により行われる。

図１０に示すように、まず、ステップＳ２１において、ユーザによるフィルタ３１１ｄの挿入状態の目視確認の開始操作の受付が行われる。

そして、ステップＳ２２において、側方カメラ６の光照射部６１によるフィルタ状態確認部３１１ｆへの光の照射が行われる。ユーザは、フィルタ状態確認部３１１ｆにおける光の通過状態を確認して、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を確認する。

そして、ステップＳ２３において、ユーザによるフィルタ３１１ｄの挿入状態の目視確認の終了操作の受付が行われる。その後、フィルタ挿入状態検出処理が終了される。

（本実施形態の効果）
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

本実施形態では、上記のように、ノズルシャフト３１１の軸方向に直交する軸直交方向において、正しく取り付けられた状態のフィルタ３１１ｄの端部３１１ｄａと対向するように、側壁部３１１ｂに、フィルタ状態確認部３１１ｆを設ける。また、フィルタ状態確認部３１１ｆを、フィルタ３１１ｄの挿入状態に応じて、軸直交方向においてノズルシャフト３１１の一方側から他方側に光を通過させるように構成する。これにより、フィルタ３１１ｄの挿入状態に応じて、フィルタ３１１ｄの端部３１１ｄａと、フィルタ状態確認部３１１ｆとの軸直交方向の対向位置が軸方向に変化される場合に、フィルタ状態確認部３１１ｆにおける光の通過状態を変化させることができる。その結果、フィルタ状態確認部３１１ｆにおける光の通過状態を確認することにより、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を確認することができる。これにより、フィルタ３１１ｄの表面から反射された光を利用して、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を確認する場合と異なり、フィルタ３１１ｄの表面状態（汚れ、色など）によらずに、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を確認することができる。その結果、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を精度良く確認可能な部品実装装置１００を提供することができる。

また、本実施形態では、上記のように、フィルタ状態確認部３１１ｆを、軸直交方向においてノズルシャフト３１１の一方側から他方側に光を通過させる孔部であるように構成する。これにより、フィルタ状態確認部３１１ｆを、フィルタ３１１ｄの挿入状態に応じて、軸直交方向においてノズルシャフト３１１の一方側から他方側に光を通過させるように容易に構成することができる。

また、本実施形態では、上記のように、フィルタ状態確認部３１１ｆである孔部を、フィルタ３１１ｄを隔てて軸直交方向に互いに対向する２つの貫通孔３１１ｆａおよび３１１ｆｂを有するように構成する。これにより、フィルタ状態確認部３１１ｆを、フィルタ３１１ｄの挿入状態に応じて、軸直交方向においてノズルシャフト３１１の一方側から他方側に光を通過させるようにより容易に構成することができる。

また、本実施形態では、上記のように、フィルタ状態確認部３１１ｆである孔部の２つの貫通孔３１１ｆａおよび３１１ｆｂのうちの貫通孔３１１ｆｂは、側壁部３１１ｂに設けられた吸引時の流体通路用開口部３１１ｅと連続するように設けられている。これにより、流体通路用開口部３１１ｅとは別個独立した孔部として、フィルタ状態確認部３１１ｆである孔部の貫通孔３１１ｆａおよび３１１ｆｂを設ける場合に比べて、フィルタ状態確認部３１１ｆである孔部の貫通孔３１１ｆａおよび３１１ｆｂを設けることに起因するノズルシャフト３１１の強度の低下を抑制することができる。

また、本実施形態では、上記のように、部品実装装置１００を、ノズルシャフト３１１の軸直交方向の一方側から、フィルタ状態確認部３１１ｆに光を照射する光照射部６１を備えるように構成する。これにより、フィルタ状態確認部３１１ｆにおける光の通過状態を確認する際、光照射部６１により、ノズルシャフト３１１の軸直交方向の一方側から、フィルタ状態確認部３１１ｆに光を照射させることができる。その結果、自然光のみによりフィルタ状態確認部３１１ｆにおける光の通過状態を確認する場合に比べて、フィルタ３１１ｄの挿入状態の確認のための光量を増加させた状態で、フィルタ状態確認部３１１ｆにおける光の通過状態を確認することができる。これにより、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否をより精度良く確認することができる。

また、本実施形態では、上記のように、部品実装装置１００を、光照射部６１により照射され、フィルタ状態確認部３１１ｆを通過した光を検出する光検出部である撮像部６２と、光検出部である撮像部６２による光の検出結果に基づいて、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を検出する制御を行う制御部７と、を備えるように構成する。これにより、制御部７により自動的にフィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を検出することができる。その結果、作業者が目視によりフィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を確認する手間を省くことができる。この効果は、挿入状態の良否を確認すべきフィルタ３１１ｄの数が多い場合に、特に有効である。

また、本実施形態では、上記のように、光検出部を、ノズル３１２に吸着された部品Ｅを軸直交方向から撮像する撮像部６２を含むように構成する。また、制御部７を、撮像部６２によるフィルタ状態確認部３１１ｆの撮像結果に基づいて、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を検出する制御を行うように構成する。これにより、フィルタ状態確認部３１１ｆを通過した光を検出する光検出部として、既存の撮像部６２を利用することができる。その結果、フィルタ状態確認部３１１ｆを通過した光を検出する光検出部を新たに設ける必要がない。これにより、部品実装装置１００の構造の複雑化を抑制しつつ、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を検出することができる。

また、本実施形態では、上記のように、制御部７を、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否として、フィルタ３１１ｄの挿入状態が正常状態であること、フィルタ３１１ｄの挿入状態が挿入過大の状態であること、フィルタ３１１ｄの挿入状態が挿入過小の状態であること、および、フィルタ３１１ｄの挿入状態が未挿入の状態であること、を検出する制御を行うように構成する。これにより、フィルタ３１１ｄの挿入状態に応じて、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を適切かつ詳細に検出することができる。

また、本実施形態では、上記のように、制御部７を、生産開始時、および、フィルタ３１１ｄの交換時に、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を検出する制御を行うように構成する。このように、制御部７が生産開始時にフィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を検出する制御を行うことにより、フィルタ３１１ｄの挿入状態が不良の状態において、生産が開始されることを抑制することができる。また、制御部７がフィルタ３１１ｄの交換時にフィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を検出する制御を行うことにより、フィルタ３１１ｄの挿入状態の不良が発生しやすいタイミングにおいて、フィルタ３１１ｄの交換時にフィルタ３１１ｄの挿入状態の不良を効果的に検出することができる。

［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく請求の範囲によって示され、さらに請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

たとえば、上記実施形態では、部品実装装置が、ロータリ型のヘッドユニットを備えている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、部品実装装置が、複数のヘッドが直線状に配列されたインライン型のヘッドユニットを備えていてもよい。

また、上記実施形態では、ノズルシャフトが、Ａ１方向側の側壁部に流体通路用開口部を有している例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ノズルシャフトが、流体通路用開口部を必ずしも有していなくてもよい。この場合、たとえば、図１１に示す第１変形例のように、フィルタ状態確認部４１１ｆの貫通孔４１１ｆａおよび４１１ｆｂを設けてもよい。第１変形例の貫通孔４１１ｆａおよび４１１ｆｂは共に、略円形状を有している。また、この場合、図１２示す第２変形例のように、フィルタ状態確認部４１１ｆの貫通孔４１１ｆａおよび４１１ｆｂに、光を透過可能な透明な窓部４１１ｇを設けてもよい。このように構成しても、上記実施形態と同様に、フィルタ状態確認部４１１ｆにおける光の通過状態を確認することにより、フィルタ３１１ｄの挿入状態の良否を確認することができる。

また、上記実施形態では、フィルタ状態確認部が、２つの貫通孔を有している例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、図１３に示す第３変形例のように、フィルタ状態確認部５１１ｆが、１つの切り欠き状の貫通孔５１１ｆａのみを有していていもよい。フィルタ状態確認部５１１ｆの貫通孔５１１ｆａは、Ａ方向において、正しく取り付けられた状態のフィルタ３１１ｄの端部３１１ｄａと対向するように、側壁部３１１ｂに設けられている。また、フィルタ状態確認部５１１ｆの貫通孔５１１ｆａは、Ａ方向においてノズルシャフト３１１の一方側から他方側に光を通過させるように構成されている。

また、上記実施形態では、側方カメラの光照射部が、光源部と、拡散部とを含んでいる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、側方カメラの光照射部が、必ずしも拡散部を含んでいなくてもよい。この場合、たとえば、側方カメラの光照射部を、上記実施形態の拡散部の位置に、光源部を含むように構成すればよい。

また、上記実施形態では、本発明の光照射部として、側方カメラの光照射部が用いられるとともに、本発明の光検出部として、側方カメラの撮像部が用いられる例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、光照射部として、専用の光照射部が用いられるとともに、光検出部として、専用の光検出部が用いられてもよい。この場合、たとえば、光照射部として、レーザ光を照射する光照射部が用いられるとともに、光検出部として、フォトダイオードなどの受光素子が用いられてもよい。また、レーザ光を照射する光照射部と、受光素子とが用いられる場合、レーザ光が複数回照射されたり、レーザ光が走査されたりすることにより、フィルタの端部の位置が検出されればよい。そして、検出されたフィルタの端部の位置に基づいて、フィルタの挿入状態の良否が検出されればよい。

また、上記実施形態では、フィルタの挿入状態の良否として、フィルタの挿入状態が正常状態であること、フィルタの挿入状態が挿入過大の状態であること、フィルタの挿入状態が挿入過小の状態であること、および、フィルタの挿入状態が未挿入の状態であること、が検出される例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、フィルタの挿入状態の良否として、単に、フィルタの挿入状態が正常状態であること、および、フィルタの挿入状態が異常状態であることのみが検出されてもよい。

また、上記実施形態では、生産開始時、および、フィルタの交換時に、フィルタの挿入状態の良否が検出される例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、生産開始時、および、フィルタの交換時のうちの一方の場合にのみ、フィルタの挿入状態の良否が検出されてもよい。また、生産開始時、および、フィルタの交換時以外の場合に、フィルタの挿入状態の良否が検出されてもよい。たとえば、ユーザの操作に基づいて、フィルタの挿入状態の良否が検出されてもよい。

また、上記実施形態では、生産開始時に、フィルタの挿入状態の良否が検出される場合、複数のノズルシャフトの全部のフィルタの挿入状態の良否が検出される例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、生産開始時に、フィルタの挿入状態の良否が検出される場合に、複数のノズルシャフトの一部のフィルタの挿入状態の良否のみが検出されてもよい。

また、上記実施形態では、フィルタ交換時に、フィルタの挿入状態の良否が検出される場合、複数のノズルシャフトのうち、フィルタが交換されたノズルシャフトのフィルタの挿入状態の良否が検出される例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、フィルタ交換時に、フィルタの挿入状態の良否が検出される場合に、複数のノズルシャフトの全部のフィルタの挿入状態の良否が検出さされてもよい。

また、上記実施形態では、説明の便宜上、制御部の処理動作を処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローチャートを用いて説明したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御部の処理動作を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型（イベントドリブン型）の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。

７ 制御部
６１ 光照射部
６２ 撮像部（光検出部）
１００ 部品実装装置
３１１ ノズルシャフト
３１１ｂ 側壁部
３１１ｃ 流体通路
３１１ｄ フィルタ
３１１ｅ 流体通路用開口部
３１１ｆ、４１１ｆ、５１１ｆ フィルタ状態確認部
３１１ｆａ、３１１ｆｂ 貫通孔
３１２ ノズル
Ｅ 部品

Claims (9)

1. ノズルシャフトと、
   前記ノズルシャフトに着脱可能に構成され、部品を吸着するノズルと、を備え、
   前記ノズルシャフトは、
   側壁部と、
   前記側壁部内に設けられた流体通路と、
   前記ノズルシャフトの軸方向に沿って前記流体通路に挿入されるとともに、前記流体通路に着脱可能に構成されたフィルタと、
   前記ノズルシャフトの軸方向に直交する軸直交方向において、正しく取り付けられた状態の前記フィルタの端部と対向するように、前記側壁部に設けられたフィルタ状態確認部と、を含み、
   前記フィルタ状態確認部は、前記フィルタの挿入状態に応じて、前記軸直交方向において前記ノズルシャフトの一方側から他方側に光を通過させるように構成されている、部品実装装置。
2. 前記フィルタ状態確認部は、前記軸直交方向において前記ノズルシャフトの一方側から他方側に光を通過させる孔部である、請求項１に記載の部品実装装置。
3. 前記フィルタ状態確認部である孔部は、前記フィルタを隔てて前記軸直交方向に互いに対向する２つの貫通孔を有する、請求項２に記載の部品実装装置。
4. 前記フィルタ状態確認部である孔部の２つの貫通孔のうちの少なくとも一方は、前記側壁部に設けられた吸引時の流体通路用開口部と連続するように設けられている、請求項３に記載の部品実装装置。
5. 前記ノズルシャフトの前記軸直交方向の一方側から、前記フィルタ状態確認部に光を照射する光照射部をさらに備える、請求項１～４のいずれか１項に記載の部品実装装置。
6. 前記光照射部により照射され、前記フィルタ状態確認部を通過した光を検出する光検出部と、
   前記光検出部による光の検出結果に基づいて、前記フィルタの挿入状態の良否を検出する制御を行う制御部と、をさらに備える、請求項５に記載の部品実装装置。
7. 前記光検出部は、前記ノズルに吸着された前記部品を前記軸直交方向から撮像する撮像部を含み、
   前記制御部は、前記撮像部による前記フィルタ状態確認部の撮像結果に基づいて、前記フィルタの挿入状態の良否を検出する制御を行うように構成されている、請求項６に記載の部品実装装置。
8. 前記制御部は、前記フィルタの挿入状態の良否として、前記フィルタの挿入状態が正常状態であること、前記フィルタの挿入状態が挿入過大の状態であること、前記フィルタの挿入状態が挿入過小の状態であること、および、前記フィルタの挿入状態が未挿入の状態であること、を検出する制御を行うように構成されている、請求項６または７に記載の部品実装装置。
9. 前記制御部は、生産開始時、および、前記フィルタの交換時のうちの少なくとも一方の場合に、前記フィルタの挿入状態の良否を検出する制御を行うように構成されている、請求項６～８のいずれか１項に記載の部品実装装置。

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