DE112015006913T5 - Filterhaltestruktur und Bauteilmontageeinrichtung - Google Patents

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DE112015006913T5
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Yukinari Awano
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Abstract

In einer Filterhaltestruktur zum Halten eines Filters in einem Bauteilansaugkopf, in dem eine Saugdüse abnehmbar an einem Spitzenteil eines Düsenschafts befestigt ist, sind ein Filterhalteraum zum Halten des Filters und eine Öffnung, die Kommunikation zwischen dem Filterhalteraum und der Saugdüse erlaubt, in einem Spitzenteil des Düsenschafts vorgesehen; und eine Kommunikationsregion des Filterhalteraums, der mit der Öffnung verbunden ist, ist schmaler gemacht als eine Endoberfläche des Filters an der Seite der Saugdüse, und wird in dem Spitzenteil des Düsenschafts gehalten.

Description

  • Diese Erfindung betrifft eine Filterhaltestruktur zum Halten eines Filters im Innern eines Bauteilsaugkopfes zum Ansaugen eines Bauteils und eine Bauteilmontageeinrichtung, die diese Filterhaltestruktur aufweist.
  • [ALLGEMEINER STAND DER TECHNIK]
  • In einer Bauteilmontageeinrichtung zum Montieren eines Bauteils, das von einer Bauteilzuführungseinheit wie einer Bandvorschubeinrichtung einem Substrat zugeführt wird, wird ein Bauteilsaugkopf verwendet, um das Bauteil von der Bauteilzuführungseinheit aufzunehmen und es dann auf dem Substrat zu montieren. Der Bauteilsaugkopf ist derart ausgestaltet, dass eine Saugdüse an einem Spitzenkopf eines Düsenschafts befestigt ist und das Bauteil mittels der Saugdüse ansaugt, indem die Saugdüse über einen Kanal, der im Innern des Düsenschafts vorgesehen ist, mit einem Unterdruck beaufschlagt wird. Überdies ist in dem Bauteilsaugkopf ein Filter in einer Unterdruckstrecke angeordnet, um Fremdstoffe zu entfernen. Beispielsweise erstreckt sich in einer Vorrichtung, die in Patentliteratur 1 beschrieben ist, eine Saugbohrung zu einer Saugdüse im Innern eines Düsenblocks äquivalent zu dem obigen Düsenschaft. Eine Filtereinheit, die ein Filter aufweist, das im Innern eines hohlzylindrischen Halters fixiert ist, ist in der Saugbohrung montiert.
  • [ENTGEGENHALTUNGSLISTE]
  • [PATENTLITERATUR]
  • [PTL 1] Japanische Patentschrift Nr. 3878816
  • [KURZDARSTELLUNG DER ERFINDUNG]
  • [TECHNISCHE PROBLEME]
  • In der obigen herkömmlichen Technologie muss das Filter in dem Düsenblock montiert werden, während es in dem Halter aufgenommen ist, wodurch ein Innendurchmesser der Saugbohrung größer wird. Somit sind die Vergrößerung des Düsenblocks und schließlich die Vergrößerung der Bauteilsaugdüse in einer Richtung senkrecht zu einer Erstreckungsrichtung der Saugbohrung unvermeidbar, und ein Kopfabstand bei der Anordnung einer Vielzahl von nebeneinander angeordneten Bauteilsaugköpfen wird größer. Dies ist eine der Hauptursachen zum Vermindern der Betriebswirtschaftlichkeit von Bauteilmontageeinrichtungen gewesen.
  • Überdies ist in der obigen herkömmlichen Technologie ein Abschnitt mit Außengewinde an der äußeren Peripherie des Halters vorgesehen, und die Filtereinheit ist in dem Düsenblock durch Gewindeeingriff in den Abschnitt mit Außengewinde mit einem Innengewinde montiert, das in der Saugbohrung vorgesehen ist. Somit müssen drei Montagevorgänge, umfassend das Einsetzen des Filters in den Halter, das Fixieren des Filters mittels eines Ringelements und das Montieren der Filtereinheit (Halter + Filter + Ringelement) in den Düsenblock, ausgeführt werden, um das Filter in den Düsenblock zu montieren.
  • Die Erfindung wurde mit Blick auf die zuvor aufgeführten Probleme entwickelt und zielt darauf ab, eine Filterhaltestruktur bereitzustellen, die die Montage eines Filters in eine Bauteilsaugdüse erleichtert, während sie die Vergrößerung der Bauteilsaugdüse vermeidet, und eine Bauteilmontageeinrichtung, die diese Filterhaltestruktur aufweist.
  • Gemäß einem Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung wird eine Filterhaltestruktur zum Halten eines Filters in einem Bauteilansaugkopf bereitgestellt, in der eine Saugdüse abnehmbar an einem Spitzenteil eines Düsenschafts befestigt ist, wobei: Ein Filterhalteraum zum Halten des Filters und eine Öffnung, die Kommunikation zwischen dem Filterhalteraum und der Saugdüse erlaubt, in einem Spitzenteil des Düsenschafts vorgesehen sind; und eine Kommunikationsregion des Filterhalteraums, der mit der Öffnung verbunden ist, schmaler gemacht ist als eine Endoberfläche des Filters an der Seite der Saugdüse, und in dem Spitzenteil des Düsenschafts gehalten wird.
  • Gemäß einem weiteren Gesichtspunkt der vorliegenden Erfindung wird eine Bauteilmontageeinrichtung zum Halten und Montieren eines Bauteils an einem Substrat durch einen Bauteilansaugkopf bereitgestellt, in dem eine Saugdüse abnehmbar an einem Spitzenteil eines Düsenschafts befestigt ist, wobei: ein Filterhalteraum zum Halten des Filters und eine Öffnung, die Kommunikation zwischen dem Filterhalteraum und der Saugdüse erlaubt, in einem Spitzenteil des Düsenschafts vorgesehen sind; und eine Kommunikationsregion, die mit der Öffnung verbunden ist, außerhalb des Filterhalteraums schmaler gemacht ist als eine Endoberfläche an der Seite der Saugdüse des Filters, der sich in dem Filterhalteraum befindet, und in dem Spitzenteil des Düsenschafts gehalten wird.
  • In der so ausgestalteten Erfindung ist der Saugkopf abnehmbar an dem Spitzenteil des Düsenschafts befestigt und kommuniziert mit dem Filterhalteraum über die Öffnung, die in dem Spitzenteil des Düsenschafts vorgesehen ist. Das Filter ist allein in diesem Filterhalteraum aufgenommen. Zusätzlich ist die Kommunikationsregion des Filterhalteraums, der mit der Öffnung verbunden ist, schmaler gemacht als die Endoberfläche des Filters an der Seite der Saugdüse. Somit kann das Filter fest gehalten werden, ohne durch die obige Öffnung zu fallen.
  • Figurenliste
  • Wie zuvor beschrieben kann, da das Filter allein direkt in dem Spitzenteil des Düsenschafts montiert und zuverlässig in der Erfindung gehalten werden kann, das Filter einfach montiert werden. Überdies kann eine Zunahme des Durchmessers des Düsenschafts, der mit der Montage des Filters zusammenhängt, verhindert werden, mit dem Ergebnis, dass die Vergrößerung des Bauteilsaugkopfes, die mit der Montage des Filters zusammenhängt, vermieden werden kann.
    • 1 ist eine Draufsicht, die eine erste Ausführungsform einer Bauteilmontageeinrichtung gemäß der Erfindung zeigt.
    • 2 ist eine Vorderansicht der Bauteilmontageeinrichtung von 1.
    • 3 ist eine Grafik, die die Ausgestaltungen der Saugdüse und des Düsenschafts zeigt.
    • 4A ist eine Grafik, die die Ausgestaltung der Filterzuführungseinheit zeigt.
    • 4B ist eine Teilschnittansicht der Filterzuführungseinheit.
    • 5 ist eine Grafik, die die Ausgestaltungen der Filtermontage-/Filterentfernungseinheit und des Filterentsorgungsbehälters zeigt.
    • 6 ist ein Blockdiagramm, das eine elektrische Ausgestaltung der Bauteilmontageeinrichtung von 1 zeigt.
    • 7 ist ein Flussdiagramm, das den Filteraustauschprozess zeigt, der von der Bauteilmontageeinrichtung von 1 ausgeführt wird.
    • 8 ist eine Grafik, die schematisch den Filterentfernungsschritt zeigt.
    • 9 ist eine Grafik, die schematisch den Filterzuführungsschritt zeigt.
    • 10 ist eine Grafik, die schematisch den Filtermontageschritt zeigt.
    • 11 ist eine Grafik, die die Ausgestaltung einer Filtermontage-/Filterentfernungseinheit zeigt, die in einer zweiten Ausführungsform der Bauteilmontageeinrichtung gemäß der Erfindung vorgesehen ist.
    • 12 ist eine Grafik, die die Ausgestaltung einer Filterzuführungseinheit zeigt, die in einer dritten Ausführungsform der Bauteilmontageeinrichtung gemäß der Erfindung vorgesehen ist.
    • 13 ist eine Grafik, die die Ausgestaltung einer Filterzuführungseinheit zeigt, die in einer vierten Ausführungsform der Bauteilmontageeinrichtung gemäß der Erfindung vorgesehen ist.
    • 14 ist eine Grafik, die die Ausgestaltung einer Filterzuführungseinheit zeigt, die in einer fünften Ausführungsform der Bauteilmontageeinrichtung gemäß der Erfindung vorgesehen ist.
    • 15 ist eine Grafik, die schematisch einen Spitzenteil eines Düsenschafts und die Struktur eines Filters in einer sechsten Ausführungsform der Bauteilmontageeinrichtung gemäß der Erfindung zeigt.
    • 16 ist eine Grafik, die die Ausgestaltung der Filterzuführungs-/Filtermontageeinheit zeigt, die in der sechsten Ausführungsform der Bauteilmontageeinrichtung gemäß der Erfindung vorgesehen ist.
    • 17 ist eine Grafik, die schematisch einen Filterzuführungs-/Filtermontagevorgang seitens der Filterzuführungs-/Filtermontageeinheit von 16 zeigt.
    • 18 ist eine Draufsicht, die eine siebte Ausführungsform der Bauteilmontageeinrichtung gemäß der Erfindung zeigt.
    • 19A ist eine Grafik, die eine Gesamtausgestaltung einer Filteraustauschvorrichtung zeigt, die in der Bauteilmontageeinrichtung von 18 vorgesehen ist.
    • 19B ist eine Teilschnittansicht der Filteraustauschvorrichtung von 19A.
  • [BESCHREIBUNG DER AUSFÜHRUNGSFORM]
  • Erste Ausführungsform
  • 1 ist eine Draufsicht, die eine erste Ausführungsform einer Bauteilmontageeinrichtung gemäß der Erfindung zeigt. Überdies ist 2 eine Vorderansicht der Bauteilmontageeinrichtung von 1. Die Bauteilmontageeinrichtung 100 umfasst, wie in 1 und 2 gezeigt, eine Basis 1, einen Substratfördermechanismus 2, der an der Basis 1 angeordnet ist, zum Fördern eines Substrats 110 in einer X-Richtung, Bauteilspeicher 4a, 4b, in denen Bauteilzuführungseinheiten 41 zum Zuführen von Bauteilen entfernbar montiert sind, und eine Kopfeinheit 5 zur Bauteilmontage.
  • Der Substratfördermechanismus 2 umfasst ein Paar von Förderern 2a, das sich in einer Förderrichtung (X-Richtung) des Substrats 110 erstreckt. Das Paar von Förderern 2a ist ausgestaltet, das Substrat 110 von einer X1-Richtungsseite zu empfangen, das Substrat 110 zu einer vorbestimmten Montagevorgangsposition zu fördern und das fertige Substrat 110 nach dem Montagevorgang mit einem Montagevorgang zu einer X2-Richtungsseite herauszubringen.
  • Die Bauteilspeicher 4a, 4b sind an einer Vorderseite (Y2-Richtungsseite) des Substratfördermechanismus 2 angeordnet, während Sie voneinander in der X-Richtung beabstandet sind. In diesen Bauteilspeichern 4a, 4b ist eine Vielzahl von Bauteilzuführungseinheiten 41 vorgesehen. In dieser Ausführungsform werden Bandvorschubeinrichtungen 41, die Chipbauteile wie ICs, Transistoren und Kondensatoren speichern, als Beispiele der Bauteilzuführungseinheiten verwendet. In jeder Bauteilzuführungseinheit 4a, 4b ist eine Vielzahl von Bandvorschubeinrichtungen 41 in der X-Richtung entlang dem Substratfördermechanismus 2 angeordnet. In der Bauteilzuführungseinheit 4a, 4b ist jede Bandvorschubeinrichtung 41 ausgestaltet, den Chipbauteil einer vorbestimmten Bauteilzuführungsposition 41a in der Nähe des Substratfördermechanismus 2 zuzuführen, während periodisch ein Band vorgeschoben wird. Es ist zu beachten, dass montierte Positionen dieser Bandvorschubeinrichtungen 41 an jeder Bauteilzuführungseinheit 4a, 4b willkürlich von einem Bediener oder Ähnlichem geändert werden können.
  • Die Kopfeinheit 5 weist eine Funktion des Ansaugens der Bauteile auf, die von den Bauteilspeichern 4a, 4b über Saugdüsen 51 zugeführt werden, die später beschrieben werden, und des Montierens der Bauteile auf dem Substrat 110. Die Kopfeinheit 5 ist ausgestaltet, in der Förderrichtung (X-Richtung) des Substrats 110 und einer Vorn-Hinten-Richtung (Y-Richtung) beweglich zu sein. Insbesondere wird die Kopfeinheit 5 beweglich in der X-Richtung von einem Einheitstützelement 6 gestützt, das sich in der X-Richtung erstreckt. Überdies wird die Kopfeinheit 5 in der X-Richtung durch die Drehung einer Kugelgewindespindel 7b von einem X-Achsen-Motor 7a bewegt. Das Einheitstützelement 6 wird beweglich in der Y-Richtung von einem Paar von Hochrahmen 1a über ein Paar von Fixierschienen 1b gestützt, die sich in der Y-Richtung erstrecken. Das Einheitstützelement 6 wird in der Y-Richtung von der Drehung einer Kugelgewindespindel 8b von einem Y-Achsen-Motor 8a bewegt.
  • Überdies umfasst die Kopfeinheit 5 eine Vielzahl von Bauteilsaugköpfen 53, von denen jeder einen hinteren Endteil der Saugdüse 51 zum Bauteilansaugen aufweist, der abnehmbar an einem Spitzenteil eines Düsenschafts 52 befestigt ist. Jeder Bauteilsaugkopf 53 ist ausgestaltet, mittels eines Z-Achsen-Motors 5a (6) nach oben und nach unten beweglich (Bewegungen in einer Z-Richtung) und drehbar in einer R-Richtung zu sein, wobei eine vertikale Achse durch eine Mitte der Saugdüse 51 als ein Drehpol von einem R-Achsen-Motor 5b (6) verläuft. Sechs Bauteilsaugköpfe 53 sind vorgesehen, und drei Bauteilsaugköpfe 53 sind in jeder der zwei vorderen und hinteren Reihen angeordnet. Überdies ist eine Saugdüse 51 an jedem Bauteilsaugkopf 53 befestigt. Ähnlich zu den Bauteilsaugköpfen 53 sind drei Saugdüsen 51 in jeder der zwei vorderen und hinteren Reihen angeordnet. Insbesondere sind drei von sechs Saugdüsen 51 in der Y-Richtung von den verbleibenden drei versetzt, wie in 1 gezeigt.
  • In 3 ist ein Zustand, in dem die Saugdüse 51 an dem Düsenschaft 52 befestigt ist, in Säule (a) von 3 gezeigt, ein Zustand, in dem die Saugdüse 51 von dem Düsenschaft 52 abgenommen ist, ist in Säule (b) von 3 gezeigt, und ein Zustand, in dem ein Filter 54 von dem Düsenschaft 52 entfernt ist, ist in Säule (c) von 3 gezeigt. Die Saugdüse 51 umfasst einen Düsenhalter 511, der extern an einem Spitzenteil des Düsenschafts 52 anzubringen ist, einen Düsenkörper 512, der vertikal beweglich an einem Spitzenteil dieses Düsenhalters 511 gehalten wird, und eine Druckschraubenfeder 513 zum Vorspannen des Düsenkörpers 512 nach unten (in einer Richtung, um von dem Düsenhalter 511 hervorzuspringen). Jeder, der Düsenhalter 511 und der Düsenkörper 512, ist mit einem Kanal versehen, der in einer vertikalen Richtung eindringt. Wenn der Düsenhalter 511 extern an dem Spitzenteil des Düsenschafts 52 mittels einer Länge L1 angebracht ist, kommuniziert der obige Kanal mit einem Kanal 521, der sich in der vertikalen Richtung in dem Düsenschaft 52 erstreckt, wodurch eine Blasstrecke und eine Saugstrecke gebildet werden. Die Blasstrecke dient zum Blasen der Druckluft zu dem Bauteil, dem komprimierten Filter und Ähnlichem, indem Druckluft zu dem Spitzenteil der Saugdüse 51 gegeben wird. Die Saugstrecke dient zum Geben eines Unterdrucks als eine Saugkraft an den Spitzenteil der Saugdüse 51.
  • Um Über- und Unterdruck an die Saugdüse 51 zu geben, wie zuvor beschrieben, ist ein Schaltventil für jeden Bauteilsaugkopf 53 vorgesehen, das als nächstes beschrieben wird. Daher ist insbesondere, wie in 2 gezeigt, der Düsenschaft 52 jedes Bauteilsaugkopfes 53 mittels eines Rohrs 31a mit einem Unterdruck-/Überdruckschaltventil 32 verbunden. Neben dem Rohr 31a sind die Rohre 31b, 31c mit diesem Unterdruck-/Überdruckschaltventil 32 verbunden. Von diesen ist das Rohr 31b mit einem Unterdruckgenerator 33 verbunden, der aus einer Vakuumpumpe oder Ähnlichem besteht. Somit verbindet das Unterdruck-/Überdruckschaltventil 32 das Rohr 31a nur mit dem Rohr 31b, während ein Schaltsignal, das dem Unterdruck-/Überdruckschaltventil 32 von einer Steuereinheit 8 zum Steuern der gesamten Einrichtung gegeben wird, an einem Unterdruckpegel eingestellt wird. Auf diese Weise wird der Saugdüse 51 ein Unterdruck über die Saugstrecke zugeführt, die von dem Rohr 31a, dem Unterdruck-/Überdruckschaltventil 32, dem Rohr 31b und dem Kanal 521 des Düsenschafts 52 ausgestaltet ist. Andererseits schaltet, wenn das obige Schaltsignal auf einen positiven Druckpegel geschaltet wird, das Unterdruck-/Überdruckschaltventil 32 ein Verbindungsziel des Rohrs 31a von dem Rohr 31b zu dem Rohr 31c. Es ist zu beachten, dass ein Drucksensor 37 in dem Rohr 31a montiert ist, einen Druck erkennt, mit dem der Kanal 521 des Düsenschafts 52 beaufschlagt wird, und den erkannten Druck an die Steuereinheit 8 ausgibt.
  • Das Rohr 31c ist mit einem Druckschaltventil 34 verbunden. Neben dem Rohr 31c sind die Rohre 31d, 31e mit diesem Druckschaltventil 34 verbunden. Von diesen ist das Rohr 31d direkt mit einem Überdruckgenerator 35 verbunden, der von einem Kompressor oder Ähnlichem gebildet ist, und führt Druckluft zu, die einen relativ hohen Druck aufweist, der in dem Überdruckgenerator 35 erzeugt wird. Das andere Rohr 31e ist ein Abzweigrohr, das von dem Rohr 31d abgezweigt ist, und ein Regler 36 ist in einen Zwischenteil des Rohrs 31e eingesetzt. Dieser Regler 36 weist eine Funktion des Verminderns des Drucks der Druckluft, die über die Rohre 31d, 31e dort hineinströmt, auf einen Druck auf, der für einen Bauteilmontageprozess geeignet ist. Luft, die von dem Regler 36 auf einen niedrigen Druck geregelt wird, wird von dem Rohr 31e dem Druckschaltventil 34 zugeführt.
  • Das Druckschaltventil 34 schaltet einen verbundenen Zustand zwischen dem Rohr 31c und dem Rohr 31d, 31e gemäß einem Schaltsignal von der Steuereinheit 8. Genauer gesagt schaltet, während das Schaltsignal auf einen „Hochdruck“-Pegel geschaltet ist, das Druckschaltventil 34 auf einen Zustand, in dem das Rohr 31d mit dem Rohr 31c verbunden ist, d. h. einen „Hochdruck-Verbindungszustand“. Andererseits schaltet, wenn das obige Schaltsignal auf einen „Niederdruck“-Pegel geschaltet ist, das Druckschaltventil 34 das Verbindungsziel des Rohrs 31c von dem Rohr 31d zu dem Rohr 31e. Das heißt, das Druckschaltventil 34 schaltet auf einen „Hochdruck-Verbindungszustand“, in dem das Rohr 31e mit dem Rohr 31c verbunden ist. Während das Unterdruck-/Überdruckschaltventil 32 auf eine Überdruckzuführungsseite geschaltet ist, wird der Überdruck der Saugdüse 51 daher über das Rohr 31c, das Unterdruck-/Überdruckschaltventil 32 und das Rohr 31a zugeführt. Zusätzlich kann der Druck der Luft, die der Saugdüse 51 durch den Schalter des Verbindungszustands von dem Druckschaltventil 34 zugeführt wird, an zwei Typen angepasst werden, und diese Überdrücke werden von der Druckluft der Saugdüse 51 über die Blasstrecke zugeführt, die von dem Rohr 31c, dem Unterdruck-/Überdruckschaltventil 32 und dem Kanal 521 des Düsenschafts 52 gebildet wird.
  • Die Saugdüse 51, die wie oben beschrieben ausgestaltet ist, ist abnehmbar an dem Spitzenteil des Düsenschafts 52 befestigt. Wenn die Saugdüse 51 abgenommen ist, kommuniziert ein Filterhalteraum 523 des Düsenschafts 52 über eine Öffnung 522, die in der Spitzenoberfläche des Düsenschafts 52 gebildet ist, mit außen. Überdies zeigt diese Öffnung 522 eine Funktion des Erlaubens von Kommunikation zwischen dem Düsenhalter 511 der Saugdüse 51 und dem Filterhalteraum 523, wenn die Saugdüse 51 an dem Düsenschaft 52 befestigt ist.
  • Überdies kommuniziert die Öffnung 522 über einen Durchgang 525, der sich in der Z-Richtung erstreckt, mit dem Filterhalteraum 523. Obgleich ein Innendurchmesser D1 der Öffnung 522 so eingestellt ist, dass er leicht größer ist als ein Außendurchmesser D2 des Filters 54 in dieser Ausführungsform, wird ein Innendurchmesser des Durchgangs 525 zu dem Filterhalteraum 523 schmaler. Überdies ist, obgleich eine Kommunikationsregion 523a des Filterhalteraums 523 über den Durchgang 525 mit der Öffnung 522 verbunden ist, ein Innendurchmesser D3 dieser Kommunikationsregion 523a so eingestellt, dass er leicht kleiner ist als der Außendurchmesser D2 des Filters 54 in dieser Ausführungsform. Indem ein hinterer Endteil (Endteil Z1-Seite) des Filters 54 in Kontakt mit dem Spitzenteil des Düsenschafts 52 gebracht wird, und eine vordere Endoberfläche 541 des Filters 54 von einem zylindrischen Element einer Filterentfernungseinheit wie später beschrieben nach oben gepresst wird (Z1-Richtung), kann somit das Filter 54 über die Öffnung 522 in den Filterhalteraum 523 eingepresst und in dem Filterhalteraum 523 gehalten werden. Insbesondere sind in dieser Ausführungsform der Durchgang 525 und die Öffnung 522 in einer Rundhomform geweitet, und das Filter 54 wird einfach eingepresst, wenn eine Spitzenseite (Z2-Richtungsseite) von der Kommunikationsregion 523a betrachtet wird. Es ist zu beachten, dass das Filter 54 innerhalb eines elastisch verformbaren Bereichs gehalten werden muss, d. h. innerhalb der Spanne der Elastizitätsgrenze, um das Filter 54 einzupressen und das Filter 54 in dem Filterhalteraum 523 zu halten. Somit wird eine Differenz (=D2-D3) zwischen dem Innendurchmesser D3 der Kommunikationsregion 523a und dem Außendurchmesser D2 des Filters 54 wünschenswerterweise so eingestellt, dass Spannung, die auf das Filter 54 zur Zeit des Einpressens gegeben wird, gleich oder unterhalb einer Elastizitätsgrenze ist
  • Andererseits ist nach dem Einpressen ein peripherer Kantenteil der unteren Oberfläche des Filters 54 in einem Bereich des Spitzenteils des Düsenschafts 52 verriegelt, der die Kommunikationsregion 523a umgibt, und das Filter 54 wird fest in dem Filterhalteraum 523 gehalten, auch wenn der Überdruck zugeführt wird. Überdies ist auch an einer Z1-Richtungsseite des Filterhalteraums 523 ein Innendurchmesser D4 einer Kommunikationsregion 523b, der mit dem Kanal 521 verbunden ist, leicht kleiner als der Außendurchmesser D2 des Filters 54. Somit ist ein peripherer Kantenteil der oberen Oberfläche des Filters 54 in einem Bereich des Spitzenteils des Düsenschafts 52 verriegelt, der die Kommunikationsregion 523b umgibt, und das Filter 54 wird fest in dem Filterhalteraum 523 gehalten, auch wenn der Unterdruck zugeführt wird.
  • Überdies ist in dieser Ausführungsform der Filterhalteraum 523 in einem externen Einbaubereich (Spanne der Länge L1) der Saugdüse 51 an dem Düsenschaft 52 in der vertikalen Richtung Z vorgesehen, und das Filter 54, das in dem Filterhalteraum 523 gehalten wird, befindet sich auch in dem externen Einbaubereich, wie in Säule (a) von 3 gezeigt. Auf diese Weise ist das Filter 54 unter Verwendung des externen Einbaubereichs zum Anbringen und Abnehmen der Saugdüse 51 an und von der Saugdüse 52 angebracht. Folglich kann die Verlängerung des Bauteilsaugkopfes 53 aufgrund des Bereitstellens des Filters 54 im Innern effektiv verhindert werden. Dies liegt daran, dass eine Länge des Bauteilsaugkopfes 53 von einer Filterhalteposition beeinträchtigt ist. Beispielsweise wird in der Vorrichtung, die in Patentliteratur 1 beschrieben ist, das Filter an einer Position entfernt von dem Bereich gehalten (ein Bereich, an dem ein Klemmenelement angeordnet ist), zum Montieren der Saugdüse in dem Düsenblock (äquivalent zu dem Düsenschaft dieser Ausführungsform). Somit muss ein Bereich zum Halten des Filters separat bereitgestellt werden und der Bauteilsaugkopf wird dadurch entsprechend länger. Im Gegensatz dazu kann in dieser Ausführungsform, da der Bereich zum Halten des Filters 54 und der Bereich zum Abnehmen und Anbringen der Saugdüse 51 an und von dem Düsenschaft 52 (externer Einbaubereich) sich in der Z-Erstreckungsrichtung des Bauteilsaugkopfes 53 vollständig überlappen, der Bauteilsaugkopf 53 verkürzt werden.
  • Wie zuvor beschrieben worden ist, wird in dieser Ausführungsform eine Filterhaltestruktur zum Einpressen des Filters 54 in den Filterhalteraum 523 und Halten des Filters 54 in dem Filterhalteraum 523 für den Bauteilsaugkopf 53 angenommen. Wie in 1 gezeigt, ist eine Filterzuführungseinheit 62 zum Zuführen des Filters 54 benachbart zu einer Düsenaustauscheinheit 60 zum Austauschen der Saugdüse 51 durch Abnehmen und Anbringen der Saugdüse 51 von und an dem Spitzenteil des Düsenschafts 52 vorgesehen. Überdies ist eine Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 benachbart zu der Filterzuführungseinheit vorgesehen, um das Filter 54, das von der Filterzuführungseinheit 62 dem Düsenschaft 52 zugeführt wird, zu montieren und das gebrauchte Filter 54 von dem Düsenschaft zu entfernen. Überdies ist ein Filterentsorgungsbehälter 66 zum Entsorgen des gebrauchten Filters 54, das von der Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 entfernt wurde, benachbart zu dem Filtermontage-/Filterentfernungsabschnitt 64 vorgesehen. Es ist zu beachten, dass, obgleich die Düsenaustauscheinheit 60, die Filterzuführungseinheit 62, die Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 und der Filterentsorgungsbehälter 66 in dieser Reihenfolge nebeneinander in der X 1-Richtung angeordnet sind, wie in 1 in dieser Ausführungsform gezeigt, diese Einheiten willkürlich angeordnet sein können.
  • 4A ist eine Grafik, die die Ausgestaltung der Filterzuführungseinheit zeigt, und 4B ist eine Teilschnittansicht der Filterzuführungseinheit. In der Filterzuführungseinheit 62 ist eine Filterzuführungsummantelung 622 abnehmbar an einem Zuführungskörper 621 befestigt. Diese Filterzuführungsummantelung 622 nimmt eine Vielzahl von Filtern 54 auf, die in einer Reihe angeordnet sind, und kann das Filter 54, das Hochdruckblasen durch Druckluft unterzogen wird, von dem Überdruckgenerator 35 zu einer Filterzuführungsposition 623 leiten. Es ist zu beachten, dass das Bezugszeichen 624 in 4A ein Schaltventil bezeichnet, das als Reaktion auf einen Öffnungsbefehl von der Steuereinheit 8 geöffnet wird, um die Druckluft der Seite eines Z2-Endteils der Filterzuführungsummantelung 622 zuzuführen, wodurch Hochdruckblasen ausgeführt wird, und als Reaktion auf einen Schließbefehl geschlossen wird, um Hochdruckblasen zu stoppen. Auf diese Weise werden der Vorschub des Filters 54 in der Z1-Richtung und der Stopp des Vorschubs geschaltet.
  • Ein Luftzylinder 625 und ein Filterpositionierungselement 626 sind an einer Y2-Seite der Filterzuführungsposition 623 angebracht, wie in 4B gezeigt. Das Filterpositionierungselement 626 ist an einen Kolben (nicht gezeigt) des Luftzylinders 625 gekoppelt, und bewegt sich in Bezug auf die Filterzuführungsposition 623 entlang der Y-Richtung durch den Betrieb des Luftzylinders 625 in Reaktion auf einen Bewegungsbefehl von der Steuereinheit 8 vor und zurück. Hier können verschiedene Typen von Luftzylindern als der Luftzylinder 625 verwendet werden, und beispielsweise wird möglicherweise ein doppelt wirkender Luftzylinder, der in einer siebten Ausführungsform verwendet und später beschrieben wird, verwendet. Überdies verriegelt das Filterpositionierungselement 626, wenn es sich zu der Filterzuführungsposition 623 bewegt, das Filter 54, das in der Z1-Richtung durch Hochdruckblasen zugeführt wird, beschränkt eine beliebige weitere Aufwärtsbewegung des Filters 54 und positioniert das Filter 54 in der vertikalen Richtung Z. Zu dieser Zeit wird das Filter 54, das sich an einer obersten Position außerhalb der Filter 54, die in der Filterzuführungsummantelung 622 aufgenommen sind, durch Hochdruckblasen in den Düsenschaft 52 eingepresst, wie später beschrieben. Da es schwierig ist, das gesamte Filter 54 nur durch Hochdruckblasen in den Filterhalteraum 523 des Düsenschafts 52 einzupressen, und die Spitze des Filterpositionierungselements 626 in dem Filterhalteraum 523 zu diesem Zeitpunkt vorhanden ist, wird jedoch nur ein hinterer Endteil (Seite des Z1-Endteils) des Filters 54 eingepresst und in dem Düsenschaft 52 gehalten (nachfolgend wird dieses Halten als „Teilhalten“ bezeichnet). Andererseits gibt es, wenn sich das Filterpositionierungselement 626 von der Filterzuführungsposition 623 zurückzieht, keine weitere Beschränkung auf das Filter 54, und das Filter 54 kann sich bewegen. Es ist zu beachten, dass das Bezugszeichen 524 in 4A und 4B eine Filterabführöffnung bezeichnet, die in einer Seitenoberfläche des Spitzenteils des Düsenschafts 52 gebildet ist, und Bezugszeichen 627 bezeichnet einen Stopper zum Spezifizieren der Position der Spitze des Filterpositionierungselements 626 in dem Filterhalteraum 523.
  • 5 ist eine Grafik, die die Ausgestaltungen der Filtermontage-/Filterentfernungseinheit und des Filterentsorgungsbehälters zeigt. In der Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 springt ein zylindrisches Element 642 in der Z1-Richtung von der oberen Oberfläche eines Basiselements 641 hervor. Ein Außendurchmesser dieses zylindrischen Elements 642 ist leicht kleiner als der Innendurchmesser D3 (3) der Kommunikationsregion 523a, und ein Endteil des zylindrischen Elements 642 an einer Z1-Richtungsseite kann über die Kommunikationsregion 523a in den Filterhalteraum 523 eintreten. Wenn beispielsweise der Düsenschaft 52 in der Z2-Richtung abwärts verläuft, beispielsweise in einem Zustand, in dem der Düsenschaft 52, der das Filter 54 teilweise hält, an einer Position rechts oben des zylindrischen Elements 642 positioniert ist, kommt die vordere Endoberfläche 541 des Filters 54 in Kontakt mit einem oberen Teil des zylindrischen Elements 642. Durch eine weitere Abwärtsbewegung des Düsenschafts 52 wird das Filter 54 in der Z1-Richtung von dem zylindrischen Element 642 gepresst und in den Filterhalteraum 523 eingepresst. Wie zuvor beschrieben, fungiert das zylindrische Element 642 als ein Element zum Pressen des Filters 54, d. h. als ein „Presselement“, und die Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 fungiert unter Verwendung dieses zylindrischen Elements 642 als eine „Filtermontageeinheit“ der Erfindung.
  • Überdies fungiert das zylindrische Element 642 auch als ein Element zum Drücken des Filters 54, der in dem Filterhalteraum 523 gehalten wird, d. h. als ein „Drückelement“, und die Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 fungiert unter Verwendung dieses zylindrischen Elements 642 auch als eine „Filterentfernungseinheit“. Insbesondere tritt, wenn der Düsenschaft 52 in der Z2-Richtung abwärts verläuft, in einem Zustand, in dem der Düsenschaft 52, der das Filter 54 hält, an der Position rechts oben des zylindrischen Elements 642 positioniert ist, das zylindrische Element 642 über die Kommunikationsregion 523a in den Filterhalteraum 523 ein. Auf diese Weise wird das Filter 54 in dem Filterhalteraum 523 plastisch verformt, insbesondere in der vertikalen Richtung Z gedrückt, um komprimiert zu werden. Es ist zu beachten, dass das Filter 54, das auf diese Weise komprimiert wird, erheblich kleiner bemessen ist als der Filterhalteraum 523, und das komprimierte Filter 54 wird über die Filterabführöffnung 524 durch Hochdruckblasen, das durch Zuführen der Hochdruckdruckluft zu dem Kanal 521 des Düsenschafts 52 verursacht wird, in den Filterentsorgungsbehälter 66 ausgestoßen.
  • Wie in 5 gezeigt, ist der Filterentsorgungsbehälter 66 mit einer Abscheidungsöffnung 661 versehen, die der Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 zugewandt ist, und empfängt das komprimierte Filter 54, das durch Hochdruckblasen über die Abscheidungsöffnung 661 von dem Filterhalteraum 523 abgeführt wird. Es ist zu beachten, dass, obgleich der Filterentsorgungsbehälter 66 ausgestaltet ist, in dieser Ausführungsform das abgeschiedene komprimierte Filter 54 im Innern zu speichern, der Filterentsorgungsbehälter 66 möglicherweise ausgestaltet ist, das abgeschiedene komprimierte Filter 54 zu einem anderen Entsorgungsbehälter zu befördern, indem wie in der siebten Ausführungsform angenommen, die später beschrieben wird, ein Unterdruck auf das Innere des Filterentsorgungsbehälters 66 gegeben wird.
  • Mit Rückbezug auf 1 wird die Ausgestaltung der Bauteilmontageeinrichtung 100 weiter beschrieben. Die Bauteilmontageeinrichtung 100 ist mit einer Bauteilabbildungseinheit 9 zum Abbilden der Bauteile versehen, die von der Kopfeinheit 5 angesaugt werden. Die Bauteilabbildungseinheit 9 weist eine Funktion des Erkennens eines gehaltenen Zustands des Bauteils auf, das aus dem Bauteilspeicher 4a, 4b genommen und von jeder Saugdüse 51 gehalten wird. Diese Bauteilabbildungseinheit 9 ist an der Basis 1 vorgesehen und an der gleichen Position in der Y-Richtung angeordnet wie die Bauteilzuführungspositionen 41a der jeweiligen Bandvorschubeinrichtungen 41, die in einer Reihe in der X-Richtung zwischen den Bauteilspeichern 4a, 4b in einer Draufsicht in dieser Ausführungsform angeordnet sind. Die Bauteilabbildungseinheit 9 ist ausgestaltet, die Bauteile abzubilden, die von der Kopfeinheit 5 von unten angesaugt werden.
  • Überdies ist eine Substratabbildungseinheit 10 an einer X2-Richtungsseite der Kopfeinheit 5 fixiert und kann das Substrat 110 an einer beliebigen Position von oben abbilden, indem sich die Kopfeinheit 5 in X- und Y-Achsenrichtung bewegt. Die Substratabbildungseinheit 10 bildet eine Vielzahl von unterschiedlichen Zeichen ab, die an dem Substrat 110 an einer Montagevorgangsposition befestigt sind, und erkennt die Position und Richtung des Substrats von Abbildungen.
  • 6 ist ein Blockdiagramm, das eine elektrische Ausgestaltung der Bauteilmontageeinrichtung von 1 zeigt. Die Steuereinheit 8 zum gesamten Steuern dieser Bauteilmontageeinrichtung 100 umfasst eine Hauptsteuerung 81, die von einem Computer ausgestaltet ist, umfassend eine Zentraleinheit (Central Processing Unit - CPU), einen Schreib-Lese-Speicher (Random Access Memory - RAM) und Ähnliches, und die Hauptsteuerung 81 steuert die gesamte Bauteilmontageeinrichtung 100, indem sie basierend auf einem Programm und Daten, die in einem Speicher 82 gespeichert sind, Signale zu und von jedem Teil der Steuereinheit 8 über einen Bus 83 überträgt. Insbesondere wird ein Programm 821, das in dem Speicher 82 gespeichert ist, von der Hauptsteuerung 81 gelesen. Die Hauptsteuerung 81 steuert dann eine Antriebssteuerung 84, einen Bildprozessor 85 und eine Eingabe-/Ausgabesteuerung 86 in Übereinstimmung mit diesem Programm 821, wodurch die Bauteile nacheinander auf dem Substrat 110 montiert werden, um ein montiertes Substrat herzustellen. Wenn der Austausch des Filters 54 notwendig wird, wird überdies ein Filteraustauschprozess basierend auf dem obigen Programm 821 ausgeführt, der nachfolgend beschrieben wird. Es ist zu beachten, dass das Bezugszeichen 68 in 6 eine Anzeige/Betriebseinheit bezeichnet, die veranlasst wird, verschiedene Stücke von Informationen in Bezug auf die Bauteilmontage und den Filteraustausch von der Hauptsteuerung 81 anzuzeigen und von einem Benutzer verwendet wird, um verschiedene Stücke von Daten und Informationen einzugeben, wie Befehle an die Hauptsteuerung 81. Insbesondere wird in dieser Ausführungsform eine Nachricht auf der Anzeige/Betriebseinheit 68 angezeigt, die den Filteraustausch bei einer Zeitgebung vorschlägt, bei der der Filteraustausch notwendig ist, wie nachfolgend beschrieben wird.
  • 7 ist ein Flussdiagramm, das den Filteraustauschprozess zeigt, der von der Bauteilmontageeinrichtung von 1 ausgeführt wird. Das Filter 54 wird wünschenswerterweise bei einer angemessenen Zeitgebung gemäß einem Betriebszustand der Bauteilmontageeinrichtung 100 ausgetauscht. Entsprechend führt die Steuereinheit 8 in der Bauteilmontageeinrichtung 100 den Filteraustauschprozess durch Steuern jeder Einrichtungseinheit wie nachfolgend beschrieben basierend auf dem Programm 821 aus. Die Inhalte des Filteraustauschprozesses werden nachfolgend mit Bezug auf 7 bis 10 beschrieben.
  • Die Steuereinheit 8 prüft die Verschmutzung, d. h. einen verstopften Zustand, der Filter 54 bei einer angemessenen Zeitgebung, z. B. unmittelbar nachdem die Einrichtung eingeschaltet ist oder nach dem Ablauf einer bestimmten Betriebszeit (Schritt S1). Beispielsweise wird möglicherweise ein Überdruck oder Unterdruck an jedem Bauteilsaugkopf 53 angelegt, und die Verschmutzung des Filters 54 wird möglicherweise basierend darauf erkannt, ob ein Druckwert, der von dem Drucksensor 37 gemessen wird, innerhalb eines ordnungsgemäßen Bereichs ist oder nicht. Überdies wird möglicherweise die Verschmutzung des Filters 54 geprüft, nachdem ein Bauteilansaugen eine feste Anzahl von Malen von jedem Bauteilsaugkopf 53 ausgeführt worden ist.
  • Die Steuereinheit 8 stellt den Filteraustauschprozess fertig und geht zum normalen Bauteilmontagevorgang über, wenn bestimmt wird, dass die Filter 54 noch nicht im nächsten Schritt S2 verschmutzt sind. Andererseits zeigt, wenn in Schritt S2 bestimmt wird, dass das Filter 54 verschmutzt ist, oder es eine hohe Wahrscheinlichkeit gibt, dass das Filter 54 verschmutzt ist, die Steuereinheit 8 die Meldung an der Anzeige/Betriebseinheit 68 an, die den Filteraustausch vorschlägt (Schritt S3). Überdies drängt die Steuereinheit 8 zu einer Benutzerauswahl durch Anzeigen zusammen mit der obigen Meldung einer Ausführungsschaltfläche und einer Abbruch-Schaltfläche für den Filteraustausch. Wenn der Benutzer hier die Abbruch-Schaltfläche berührt, die an der Anzeige/Betriebseinheit 68 angezeigt wird („Nein“ in Schritt S4), wird der Filteraustauschprozess fertiggestellt, und es erfolgt ein Übergang zum normalen Bauteilmontagevorgang. Andererseits wird, wenn der Benutzer die Austauschausführungsschaltfläche berührt, die an der Anzeige/Betriebseinheit 68 angezeigt wird („JA“ in Schritt S4), die Kopfeinheit 5 veranlasst, die Düsenaustauscheinheit 60 zu bewegen. Dann erteilt die Steuereinheit 8 einen Entfernungsbefehl an die Düsenaustauscheinheit 60. Als Reaktion auf diesen Befehl entfernt die Düsenaustauscheinheit 60 die Saugdüse 51, die an dem Bauteilsaugkopf 53 befestigt ist, als ein Ziel des Filteraustausches, wodurch der Spitzenteil des Düsenschafts 52 freigelegt wird (Schritt S5). Überdies führt die Steuereinheit 8 einen Filterentfernungsschritt (Schritt S6), einen Filterzuführungsschritt (Schritt S7) und einen Filtermontageschritt (Schritt S8) aus, um das Filter 54 automatisch auszutauschen.
  • 8 ist eine Grafik, die schematisch den Filterentfernungsschritt zeigt. Es ist zu beachten, dass in der folgenden Beschreibung ausschließlich ein Fall beschrieben wird, bei dem der Filteraustausch für einen der sechs Bauteilsaugköpfe 53 notwendig ist, die in der Kopfeinheit 5 vorgesehen sind. Ein Grundbetrieb ist jedoch auch im Falle des Ausführens des Filteraustausches für eine Vielzahl von Bauteilsaugköpfen 53 auf einmal gleich.
  • In diesem Filterentfernungsschritt (Schritt S6) bewegt sich die Kopfeinheit 5 von der Düsenaustauscheinheit 60 zu der Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64, und der Bauteilsaugkopf 53 (Bauteilsaugkopf 53 mit dem Düsenschaft 52, der den freigelegten Spitzenteil aufweist) als ein Ziel des Filteraustausches wird über einer Filterentfernungsposition positioniert (Schritt S61). Insbesondere wird, wie in Säule (a) von 8 gezeigt, die Kommunikationsregion 523a des Filterhalteraums 523 vertikal über dem zylindrischen Element 642 positioniert.
  • Nachfolgend verläuft der Bauteilsaugkopf 53 abwärts, um den Spitzenteil des Düsenschaft 52 zu einer Drückposition zu bewegen, wodurch das zylindrische Element 642 über die Kommunikationsregion 523a in den Filterhalteraum 523 eintritt, wie in Säule (b) von 8 gezeigt (Schritt S62). Die Höhenposition des Bauteilsaugkopfes 53 in diesem Zustand ist die Drückposition, und das Filter 54 wird in der vertikalen Abmessung Z von dem zylindrischen Element 542 mittels einer Bewegung zu dieser Drückposition bewegt und in eine kompakte Form komprimiert, die eine Abmessung in der vertikalen Abmessung Z aufweist, die kürzer ist als die Abführöffnung 524.
  • Wenn das Drücken des Filters 54 beendet ist, verläuft der Bauteilsaugkopf 53 aufwärts weg von der Drückposition und wird an einer Position positioniert, an der die Abführöffnung 524 der Abscheidungsöffnung 661 des Filterentsorgungsbehälters 66 zugewandt ist, d. h. an einer Austrittsposition (Schritt S63). Dann wird, wenn der Bauteilsaugkopf 53 an dieser Austrittsposition gehalten wird, Hochdruck-Druckluft dem Kanal 521 des Düsenschafts 52 zugeführt. Auf diese Weise wird das komprimierte Filter 54 bei Hochdruck geblasen und über die Filterabführöffnung 524 an den Filterentsorgungsbehälter 66 abgeführt (Schritt S64). Wenn das Entsorgen des Filters 54 von dem Bauteilsaugkopf 53 auf diese Weise beendet wird, verläuft der Bauteilsaugkopf 53 weiter aufwärts, der Filterentfernungsschritt (Schritt S6) wird fertiggestellt und der nächste Filterzuführungsschritt (Schritt S7) wird ausgeführt.
  • 9 ist eine Grafik, die schematisch den Filterzuführungsschritt zeigt. In diesem Filterzuführungsschritt (Schritt S7) bewegt sich, wie in Säule (a) von 9 gezeigt, die Kopfeinheit 5 von der Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 zu der Filterzuführungseinheit 62, und der Bauteilsaugkopf 53 als ein Ziel des Filteraustausches wird über der Filterzuführungsposition 623 positioniert (Schritt S71). Zu diesem Zeitpunkt wird das Filterpositionierungselement 626 von der Filterzuführungsposition 623 eingezogen. Nachfolgend dazu verläuft der Bauteilsaugkopf 53 abwärts, und die Öffnung 522 des Düsenschafts 52 ist angeordnet, einer Öffnung am oberen Ende der Filterzuführungsummantelung 622 proximal zugewandt zu sein (Schritt S72). Auf diese Weise kann der Bauteilsaugkopf 53 über die Öffnung 522 ein neues Filter 54 empfangen. Die Höhenposition des Bauteilsaugkopfes 53 in diesem Zustand ist eine Empfangsposition. Es ist zu beachten, dass, wenn der Bauteilsaugkopf 53 an der Empfangsposition positioniert ist, der Düsenschaft 52 auf einen Zustand angepasst wird, in dem der Filterhalteraum 523 dem Filterpositionierungselement 626 über die Filterabführöffnung 524 zugewandt ist.
  • Wenn eine Bewegung des Bauteilsaugkopfes 53 zu der Empfangsposition beendet ist, arbeitet der Luftzylinder 625 überdies, den Kolben vorwärts zu bewegen, wie in Säule (b) von 9 gezeigt. Zusammen damit wird der Spitzenteil des Filterpositionierungselements 626 über die Filterabführöffnung 524 in den Filterhalteraum 523 eingesetzt (Schritt S73).
  • Nachfolgend wird bei einem aufrechterhaltenen, eingesetzten Zustand das Schaltventil 624 als Reaktion auf einen Öffnungsbefehl von der Steuereinheit 8 geöffnet, und Hochdruck-Druckluft wird einer Öffnung am unteren Ende der Filterzuführungsummantelung 622 zugeführt. Auf diese Weise werden die Filter 54, die in der Filterzuführungssummantelung 622 aufgenommen sind, bei Hochdruck von unten geblasen, und alle aufgenommenen Filter 54 werden nach oben zugeführt, wie in Säule (c) von 9 gezeigt (Schritt S74). Von diesen Filtern 54 wird dasjenige, das der Filterzuführungsposition 623 am nächsten ist, d. h. das oberste Filter 54, über die Öffnung 522 und die Kommunikationsregion 523a dem Filterhalteraum 523 zugeführt und in ihn eingepresst. Zu diesem Zeitpunkt wird, da das Filterpositionierungselement 623 bereits in dem Filterhalteraum 523 vorhanden ist, das oberste Filter 54 teilweise gehalten.
  • Wenn das Teilhalten des Filters 54 auf diese Weise beendet ist, wird das Schaltventil 624 geschlossen und das Zuführen der Druckluft wird als Reaktion auf einen Schließbefehl von der Steuereinheit 8 gestoppt. Nachfolgend veranlasst der Luftzylinder 625 den Kolben, sich zurückzuziehen, wie in Säule (d) von 9 gezeigt. Zusammen damit wird der Spitzenteil des Filterpositionierungselements 626 von dem Düsenschaft 52 über die Filterabführöffnung 524 weg von dem Filterhalteraum 523 eingezogen (Schritt S7). Auf diese Weise wird eine Bewegung des Bauteilsaugkopfes 53 ermöglicht.
  • Wenn das Filter 54 teilweise von dem Bauteilsaugkopf 53 gehalten wird, und das Zuführen des Filters 54 zu dem Spitzenteil des Düsenschafts 52 auf diese Weise beendet wird, wird der nächste Filtermontageschritt (Schritt S8) ausgeführt, um das gesamte Filter 54 in den Filterhalteraum 523 einzupressen.
  • 10 ist eine Grafik, die schematisch den Filtermontageschritt zeigt. In diesem Filtermontageschritt (Schritt S8) bewegt sich die Kopfeinheit 5 erneut von der Filterzuführungseinheit 62 zu der Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64, um den Bauteilsaugkopf 53, der teilweise das neue Filter 54 hält, über einer Filtermontageposition (die mit der Filterentfernungsposition in dieser Ausführungsform übereinstimmt) zu positionieren (Schritt S81). Genauer gesagt wird die vordere Endoberfläche 541 des Filters 54 in dem teilweise gehaltenen Zustand vertikal über dem zylindrischen Element 642 positioniert.
  • Nachfolgend beginnt dieser Bauteilsaugkopf 53, abwärts zu verlaufen (Schritt S82). Dann, wenn der Bauteilsaugkopf 53 in einem gewissen Maße abwärts verläuft, kommt die vordere Endoberfläche 541 des Filters 54 in Kontakt mit dem oberen Teil des zylindrischen Elements 642, wie in Säule (a) von 10 gezeigt. Der obere Teil des zylindrischen Elements 642 presst das Filter 54 in der Aufwärtsrichtung Z1 aufgrund einer weiter abwärts verlaufenden Bewegung des Bauteilsaugkopfes 53, und das Filter 54 wird in den Filterhalteraum 523 eingepresst und gehalten (Säule (b) von 10). Wenn die Steuereinheit 8 in Schritt S83 erkennt, dass die Montage des Filters 54 in den Filterhalteraum 523 beendet worden ist („JA“ in Schritt S83), wird das Abwärtsverlaufen des Bauteilsaugkopfes 53 als Reaktion auf einen Stoppbefehl von der Steuereinheit 8 gestoppt, und nachfolgend verläuft der Bauteilsaugkopf 53 aufwärts, während er das Filter 54 in dem Filterhalteraum 523 als Reaktion auf einen Aufwärtsbefehl von der Steuereinheit 8 (Säule (c) von 10) hält, und der Filtermontageschritt ist fertiggestellt.
  • Wenn das automatische Austauschen des Filters 54 auf diese Weise beendet wird, bewegt sich die Kopfeinheit 5 von der Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 zu der Düsenaustauscheinheit 60. Die Saugdüse 51 ist dann an dem Spitzenteil des Bauteilsaugkopfes 53 befestigt, der das neue Filter 54 aufweist, das durch den automatischen Austausch (Schritt S9) darin montiert wurde, und der Filteraustauschprozess ist fertiggestellt. Es ist zu beachten, dass danach die Bauteile von dem Bauteilsaugkopf 53 montiert werden, der mit dem neuen Filter 54 und der Saugdüse 51 versehen ist.
  • Wie zuvor beschrieben, ist in der ersten Ausführungsform der Erfindung der Filterhalteraum 523 in dem Spitzenteil des Düsenschafts 52 vorgesehen, und das Filter 54 wird allein eingepresst und in diesem Filterhalteraum 523 montiert. Dieser Filterhalteraum 523 kommuniziert mit der Saugdüse 51 über die Öffnung 522, die in der Spitzenoberfläche des Düsenschafts 52 vorgesehen ist, aber die Kommunikationsregion 523a des Filterhalteraums 523, der mit der Öffnung 522 verbunden ist, ist schmaler als die Endoberfläche des Filters 54 an der Seite der Saugdüse 51, d. h. der vorderen Endoberfläche 541. Somit wird, selbst wenn die Saugdüse 51 abgenommen wird, beispielsweise wie in Säule (b) von 3 gezeigt, das Filter 54 fest in dem Filterhalteraum 523 gehalten, und das Herunterfallen des Filters 54 von dem Spitzenteil des Düsenschafts 52 kann zuverlässig verhindert werden. Wie soeben beschrieben wurde, wird das Montieren des Filters vereinfacht, da das Filter 54 allein direkt in dem Spitzenteil des Düsenschafts 52 montiert und zuverlässig in dieser Ausführungsform gehalten werden kann. Überdies kann eine Zunahme des Durchmessers des Düsenschafts 52, die mit der Montage des Filters zusammenhängt, verhindert werden. Dies kann die Vergrößerung des Bauteilsaugkopfes 53 vermeiden, die mit der Montage des Filters zusammenhängt, und ermöglicht, dass viele Bauteilsaugköpfe 53 in der Kopfeinheit 5 vorgesehen sein können. Folglich können Bauteile wirksam montiert werden.
  • Überdies wird in der obigen Ausführungsform das Filter 54 allein in dem Filterhalteraum 523 gehalten, und das Filter 54 wird komprimiert und in dem Filterhalteraum 523 verformt, sodass das Volumen des Filters 54 kleiner wird als das des Filterhalteraums 523 und von dem Filterhalteraum 523 durch Hochdruckblasen abgeführt wird. Auf diese Weise kann das Filter 54 einfach von dem Düsenschaft 52 entfernt werden.
  • Überdies wird in der obigen Ausführungsform der hintere Endteil des neuen Filters 54 in den Filterhalteraum 523 in der Filterzuführungseinheit 62 eingesetzt, und das Filter kann dem Spitzenteil des Düsenschafts 52 mittels einer einfachen Ausgestaltung zugeführt werden. Zusätzlich werden die Filter 54 einer nach dem anderen von der Filterzuführungssummantelung 622 zugeführt, und die Filter können durch Kombinieren der Vorschub- und Rückzugsbewegungen des Filterpositionierungselements 626 und dem Hochdruck-Blasvorgang der Filterzuführungssummantelung 622 zuverlässig zugeführt werden.
  • Zusätzlich kann, da das Filter 54 in den Filterhalteraum 523 in der obigen Ausführungsform eingepresst und montiert wird, das Filter 54 mittels eines sehr einfachen Vorgangs in den Düsenschaft 52 montiert werden.
  • Überdies sind in der Bauteilmontageeinrichtung 100 möglicherweise eine speziell dafür vorgesehene Filterentfernungseinheit zum Ausführen des obigen Filterentfernungsschritts und eine speziell dafür vorgesehene Filtermontagevorrichtung zum Ausführen des obigen Filtermontageschritts separat vorgesehen. Der Filterentfernungsschritt und der Filtermontageschritt werden jedoch von der Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 in der obigen Ausführungsform ausgeführt. Die Einrichtungsausgestaltung kann somit vereinfacht werden.
  • Obgleich das Filter 54 durch Kombinieren von drei Schritten, d. h. dem Filterentfernungsschritt, dem Filterzuführungsschritt und dem Filtermontageschritt, in der obigen Ausführungsform ausgetauscht wird, ist überdies ein beliebiger der Schritte ein einfacher Vorgang, wie zuvor beschrieben, und das Filter 54 kann automatisch mittels Kombinieren dieser Schritte ausgetauscht werden.
  • Überdies wird in der obigen Ausführungsform das Filter 54 automatisch ausgetauscht, wenn das Austauschen des Filters 54 notwendig wird, und eine Austauschanweisung von dem Benutzer gegeben wird („JA“ in Schritt S4). Somit kann eine Zeit verkürzt werden, die für den Filteraustausch erforderlich ist, und die Vorgangseffizienz bei der Montage von Bauteilen kann im Vergleich zu herkömmlichen Bauteilmontageeinrichtungen verbessert werden, in denen der Filteraustausch manuell von einem Benutzer vorgenommen werden muss. Überdies können die Zeit und der Aufwand des Benutzers erheblich vermindert werden, wodurch die Einrichtung benutzerfreundlich wird.
  • Zweite Ausführungsform
  • 11 ist eine Grafik, die die Ausgestaltung einer Filtermontage-/Filterentfernungseinheit zeigt, die in einer zweiten Ausführungsform der Bauteilmontageeinrichtung gemäß der Erfindung vorgesehen ist. Diese zweite Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform weitgehend in der Ausgestaltung der Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 und dem Entfernungsverfahren des Filters 54, wobei die anderen Ausgestaltungen wie in der ersten Ausführungsform sind. Entsprechend konzentriert sich die nachfolgende Beschreibung auf Unterschiede, und die gleichen Bauteile werden durch die gleichen Bezugszeichen bezeichnet und nicht beschrieben.
  • In dieser zweiten Ausführungsform ist eine Aussparung 643 in einem zylindrischen Element 642 vorgesehen. Wie in 11 gezeigt, ist diese Aussparung 64 eine Vertiefung, die eine umgekehrte konische Form aufweist und in einem oberen Teil des zylindrischen Elements 642 gebildet ist. Ein Filterentfernungsschritt wird wie folgt ausgeführt.
  • Zunächst bewegt sich, ähnlich wie der Filterentfernungsschritt in der ersten Ausführungsform, eine Kopfeinheit 5 von einer Düsenaustauscheinheit 60 zu einer Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64, und ein Bauteilsaugkopf 53 (Bauteilsaugkopf 53 mit einem Düsenschaft 52, der einen freigelegten Spitzenteil aufweist) als ein Ziel des Filteraustausches wird über einer Filterentfernungsposition positioniert (Schritt S61). 11).
  • Nachfolgend verläuft dieser Bauteilsaugkopf 53 abwärts, um den Spitzenteil des Düsenschafts 52 zu einer Drückposition zu bewegen, wodurch das zylindrische Element 642 über eine Kommunikationsregion 523a in einen Filterhalteraum 523 eintritt, wie in Säule (b) von 11 gezeigt. In dem Filterentfernungsschritt der zweiten Ausführungsform ist der Eintrittsbetrag jedoch kleiner einzustellen als in der ersten Ausführungsform, und eine Bewegung wird gestoppt, wenn ein Spitzenteil des zylindrischen Elements 642 von einer vorderen Endoberfläche 541 eines Filters 54 zu einer Seite einer hinteren Endoberfläche um ungefähr 1/3 der Länge vorläuft. Somit wird ein vorderer Endteil des Filters 54 von dem zylindrischen Element 542 gedrückt und in eine Form entsprechend der Aussparung 643 des zylindrischen Elements 642 geformt, d. h. in eine umgekehrte konische Form, wobei der hintere Endteil verbleibt, eine hohlzylindrische Form aufzuweisen. Das Filter 54 wird somit in einer im Wesentlichen Kugelform fertiggestellt.
  • Wenn das Formen des Filters 54 auf diese Weise beendet ist, verläuft der Bauteilsaugkopf 53 aufwärts weg von der Spitzendrückposition, und Hochdruck-Druckluft wird einem Kanal 521 des Düsenschafts 52 zugeführt und zu dem Filter 54 geblasen, das die im Wesentlichen Kugelform aufweist. Zu dieser Zeit wird, wie in Säule (c) von 11 gezeigt, das Filter 54 zu einem Basiselement 641 der Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 durch die Kommunikationsregion 523a, einen Durchgang 525 und eine Öffnung 522 abgeführt. Es ist zu beachten, dass, um das so abgeführte Filter 54 wirksam abzuscheiden, ein Filterentsorgungsbehälter 66 vertikal unterhalb der Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 angeordnet ist, wobei eine Abscheidungsöffnung 661 dem Basiselement 641 zugewandt ist.
  • Wie zuvor beschrieben, ist in der zweiten Ausführungsform der vordere Endteil des Filters 54 in der umgekehrten konischen Form fertiggestellt, wodurch eine Breite dieses vorderen Endteils erheblich schmaler wird als ein Innendurchmesser D3 (3) der Kommunikationsregion 523a. Das Filter 54 kann somit zufriedenstellend über die Kommunikationsregion 523a abgeführt werden. Da sowohl eine Abführrichtung des Filters 54 als auch eine Richtung des Hochdruckblasens mit einer Richtung Z2 übereinstimmen, kann das Filter 54 wirksam abgeführt werden. Es ist zu beachten, dass, obgleich der Aufwärtsverlauf des Bauteilsaugkopfes 53 und das Hochdruckblasen gleichzeitig in der obigen zweiten Ausführungsform begonnen werden, das Hochdruckblasen möglicherweise nach dem Aufwärtsverlauf des Bauteilsaugkopfes 53 ausgeführt wird.
  • Dritte Ausführungsform
  • 12 ist eine Grafik, die die Ausgestaltung einer Filterzuführungseinheit zeigt, die in einer dritten Ausführungsform der Bauteilmontageeinrichtung gemäß der Erfindung vorgesehen ist. Diese dritte Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform weitgehend in der Ausgestaltung der Filterzuführungseinheit 62 und dem Zuführungsverfahren des Filters 54, wobei die anderen Ausgestaltungen wie in der ersten Ausführungsform sind. Entsprechend konzentriert sich die nachfolgende Beschreibung auf Unterschiede, und die gleichen Bauteile werden durch die gleichen Bezugszeichen bezeichnet und nicht beschrieben.
  • In dieser dritten Ausführungsform wird ein Filter 54 für den Austausch ähnlich zu der Zuführung eines Bauteils durch die Bandvorschubeinrichtung 41 zugeführt. Insbesondere wird in einer Filterzuführungseinheit 62 gemäß der dritten Ausführungsform ein geprägtes Band 628 anstelle der Filterzuführungssummantelung 622 verwendet. In dem geprägten Band 628 sind nach oben gerichtete offene Aussparungen, d. h. Hohlfilteraufnahmeabschnitte 628a in festen Abständen in einem Bandkörper 628b gebildet, und ein Filter 54 für den Austausch ist in jedem Filteraufnahmeabschnitt 628a aufgenommen. Eingriffsbohrungen 628c, die in einer Banddickenrichtung eindringen, sind in festen Abständen entlang einem Kantenteil an einer Seite des Bandkörpers 628b vorgesehen und sind mit einem nicht gezeigten Zahnkranz für den Bandvorschub in Eingriff bringbar.
  • Wenn das Zuführen des Filters notwendig wird, dreht sich hierbei der Zahnkranz als Reaktion auf einen Vorschubbefehl von einer Steuereinheit 8, wobei der Bandkörper 628b zu einer Filterzuführungsposition 623 vorgeschoben wird, und das Filter 54, das am nächsten an der Filterzuführungsposition 623 ist, wird an der Filterzuführungsposition 623 positioniert. Parallel dazu bewegt sich eine Kopfeinheit 5 von einer Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 zu der Filterzuführungseinheit 62, und ein Bauteilsaugkopf 53 als ein Ziel des Filteraustausches wird über der Filterzuführungsposition 623 positioniert. Nachfolgend wird, nachdem dieser Bauteilsaugkopf 53 abwärts verläuft, ein Unterdruck einem Düsenschaft 52 zugeführt, wodurch das Filter 54 teilweise in einem Spitzenteil des Düsenschafts 52 gehalten wird.
  • Wie zuvor beschrieben, kann in der dritten Ausführungsform das Filter 54 unter Verwendung eines Mechanismus zugeführt werden, der ähnlich der herkömmlichen bekannten Bandvorschubeinrichtung 41 ist. Das heißt, eine Bandvorschubeinrichtung kann anstelle der Filterzuführungssummantelung 62 verwendet werden. Überdies kann die wie zuvor beschrieben ausgestaltete Filterzuführungseinheit 62 in dem Bauteilspeicher 4a, 4b montiert sein.
  • Es ist zu beachten, dass, obgleich ein Abdeckband nicht für das geprägte Band 628 in der obigen dritten Ausführungsform vorgesehen ist, die Filteraufnahmeabschnitte 628a möglicherweise von einem Abdeckband abgedeckt und geschützt sind und, andererseits, das Filter möglicherweise durch Abziehen des Abdeckbands unverzüglich vor dem Zuführen des Filters ähnlich dem Band zum Zuführen von Bauteilen zugeführt wird.
  • Vierte Ausführungsform
  • 13 ist eine Grafik, die die Ausgestaltung einer Filterzuführungseinheit zeigt, die in einer vierten Ausführungsform der Bauteilmontageeinrichtung gemäß der Erfindung vorgesehen ist. Diese vierte Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform weitgehend in der Ausgestaltung der Filterzuführungseinheit 62 und dem Zuführungsverfahren des Filters 54, wobei die anderen Ausgestaltungen wie in der ersten Ausführungsform sind. Entsprechend konzentriert sich die nachfolgende Beschreibung auf Unterschiede, und die gleichen Bauteile werden durch die gleichen Bezugszeichen bezeichnet und nicht beschrieben.
  • In dieser vierten Ausführungsform werden Filter 54 für den Austausch in einer Matrix auf der oberen Oberfläche einer plattenähnlichen Matrixplatte 629 gehalten, und diese Matrixplatte 629 fungiert als eine Filterzuführungseinheit 62. Wenn das Zuführen des Filters notwendig wird, bewegt sich eine Kopfeinheit 5 von einer Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 zu der Filterzuführungseinheit 62, und ein Bauteilsaugkopf 53 als ein Ziel des Filteraustausches wird über einem der Filter 54 positioniert, die an der Matrixplatte 629 gehalten werden. Nachfolgend wird, nachdem dieser Bauteilsaugkopf 53 abwärts verläuft, ein Unterdruck einem Düsenschaft 52 zugeführt, wodurch das Filter 54 teilweise in einem Spitzenteil des Düsenschafts 52 gehalten wird.
  • Wie zuvor beschrieben, kann das Filter in der vierten Ausführungsform mittels einer einfachen Ausgestaltung im Vergleich zu den Filterzuführungseinheiten 62 in der ersten und dritten Ausführungsform zugeführt werden.
  • Fünfte Ausführungsform
  • 14 ist eine Grafik, die die Ausgestaltung einer Filterzuführungseinheit zeigt, die in einer fünften Ausführungsform der Bauteilmontageeinrichtung gemäß der Erfindung vorgesehen ist. Diese fünfte Ausführungsform unterscheidet sich von der ersten Ausführungsform weitgehend in der Ausgestaltung der Filterzuführungseinheit 62 und dem Zuführungsverfahren des Filters 54, wobei die anderen Ausgestaltungen wie in der ersten Ausführungsform sind. Entsprechend konzentriert sich die nachfolgende Beschreibung auf Unterschiede, und die gleichen Bauteile werden durch die gleichen Bezugszeichen bezeichnet und nicht beschrieben.
  • In dieser fünften Ausführungsform ist eine Vielzahl von Filtern 54 in einer Filterzuführungssummantelung 622 aufgenommen und in einer Reihe in einer vertikalen Richtung Z wie in der ersten Ausführungsform angeordnet. Andererseits wird der Mechanismus zum Positionieren des Filters 54, der mittels Hochdruckblasen nach oben bewegt wird (Luftzylinder 625, Filterpositionierungselement 626, Stopper 627), weggelassen. In der Filterzuführungseinheit 62, die auf diese Weise ausgestaltet ist, wird das Filter 54 teilweise von einer Saugkraft aufgrund eines Unterdrucks gehalten, mit dem ein Bauteilsaugkopf 53 wie in der dritten und vierten Ausführungsform beaufschlagt wird. Das heißt, wenn das Zuführen des Filters notwendig wird, bewegt sich eine Kopfeinheit 5 von einer Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 zu der Filterzuführungseinheit 62, und der Bauteilsaugkopf 53 als ein Ziel des Filteraustausches wird über einer Filterzuführungsposition 623 positioniert. Nachfolgend wird, nachdem dieser Bauteilsaugkopf 53 abwärts verläuft, ein Unterdruck einem Düsenschaft 52 zugeführt, wodurch das Filter 54 teilweise in einem Spitzenteil des Düsenschafts 52 gehalten wird (Säule (b) von 14). Danach verläuft dieser Bauteilsaugkopf 53 aufwärts weg von der Filterzuführungsposition 623 (Säule (c) von 14).
  • Wie zuvor beschrieben, kann das Filter in der fünften Ausführungsform mittels einer einfacheren Ausgestaltung als in der ersten Ausführungsform zugeführt werden.
  • Sechste Ausführungsform
  • Obgleich die hohlzylindrischen Filter 54 in den obigen ersten bis fünften Ausführungsformen verwendet werden, ist die Form der Filter nicht darauf begrenzt. Beispielsweise kann die Erfindung unter Verwendung von scheibenförmigen Filtern 54 auf eine Einrichtung angewandt werden. Eine Bauteilmontageeinrichtung 100, die scheibenförmige Filter 54 verwendet, wird mit Bezug auf die Zeichnungen beschrieben.
  • 15 ist eine Grafik, die schematisch einen Spitzenteil eines Düsenschafts und die Struktur eines Filters in einer sechsten Ausführungsform der Bauteilmontageeinrichtung gemäß der Erfindung zeigt. Ein Zustand, in dem ein Filter 54 von einem Spitzenteil eines Düsenschafts 52 entfernt wird, ist in Säule (a) von 15 gezeigt, wobei ein Zustand, in dem das Filter 54 in dem Spitzenteil des Düsenschafts 52 montiert ist, in Säule (b) von 15 gezeigt ist.
  • Auch in der sechsten Ausführungsform sind zwei Öffnungen 522, 524 für den Düsenschaft 52 wie in der ersten bis fünften Ausführungsform vorgesehen. Von diesen ist die Öffnung 524 in einer Seitenoberfläche des Spitzenteils des Düsenschafts 52 gebildet und fungiert als ein Abführanschluss. Überdies ist in dieser Ausführungsform eine Abmessung H1 der Öffnung 524 in einer vertikalen Richtung Z leicht kleiner als eine Abmessung H2 des Filters 54, und die Öffnung 524 fungiert auch als ein Einpressanschluss zum Einpressen des Filters 54 in einen Filterhalteraum 523.
  • Die andere Öffnung 522 ist in der Spitzenoberfläche des Düsenschafts 52 gebildet. Wenn eine Saugdüse 51 an dem Düsenschaft 52 befestigt ist, fungiert diese Öffnung 522, um Kommunikation zwischen einem Düsenhalter 511 der Saugdüse 51 und dem Filterhalteraum 523 zu erlauben. Überdies kommuniziert die Öffnung 522 über einen Durchgang 525, der sich in der Z-Richtung erstreckt, mit dem Filterhalteraum 523. Es ist zu beachten, dass eine Abmessungsbeziehung der Kommunikationsregion 523a des Filterhalteraums 523, der Öffnung 522 und des Durchgangs 525 wie in den ersten bis fünften Ausführungsformen ist. Wenn das Filter 54 über die Öffnung 524 wie oben beschrieben in den Filterhalteraum 523 eingepresst wird, wird somit ein peripherer Kantenteil der unteren Oberfläche des Filters 54 von einem peripheren Kantenteil der Kommunikationsregion 523a und des Filters 54 fest in dem Filterhalteraum 523 gehalten, auch wenn ein Überdruck zugeführt wird. Überdies ist auch an einer Z1-Richtungsseite des Filterhalteraums 523 ein Innendurchmesser D4 einer Kommunikationsregion 523b, der mit dem Durchgang 521 verbunden ist, leicht kleiner als ein Außendurchmesser D2 des Filters 54. Somit ist ein peripherer Kantenteil der oberen Oberfläche des Filters 54 von einem peripheren Kantenteil der Kommunikationsregion 523b verriegelt, und das Filter 54 wird fest in dem Filterhalteraum 523 gehalten, auch wenn ein Unterdruck zugeführt wird.
  • In der sechsten Ausführungsform wird das Filter 54 über die Öffnung 524 zugeführt und weiter in den Filterhalteraum 523 eingepresst, wie oben beschrieben, wodurch das Filter 54 in den Spitzenteil des Düsenschafts 52 montiert wird. In der Bauteilmontageeinrichtung 100 gemäß der sechsten Ausführungsform ist somit eine Filterzuführungs-/Filtermontageeinheit 63, die in 16 gezeigt ist, anstelle der Filterzuführungseinheit 62 vorgesehen, und eine Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 ist speziell dafür vorgesehen, das Filter 54 zu drücken. Es ist zu beachten, dass die anderen Ausgestaltungen wie in der ersten Ausführungsform sind. Somit konzentriert sich die nachfolgende Beschreibung auf Unterschiede von der ersten Ausführungsform, und die gleichen Bauteile werden durch die gleichen Bezugszeichen bezeichnet und nicht beschrieben.
  • 16 ist eine Grafik, die die Ausgestaltung der Filterzuführungs-/Filtermontageeinheit zeigt, die in der sechsten Ausführungsform der Bauteilmontageeinrichtung gemäß der Erfindung vorgesehen ist. 17 ist eine Grafik, die schematisch einen Filterzuführungs-/Filtermontagevorgang seitens der Filterzuführungs-/Filtermontageeinheit von 16 zeigt. Es ist zu beachten, dass elliptische Regionen R in oberen Teilen von 17 Regionen sind, die eine interne Struktur der Filterzuführungs-/Filtermontageeinheit 63 durch teilweises Abschneiden einer Oberplatte zeigen.
  • Wie in 16 gezeigt, umfasst die Filterzuführungs-/Filtermontageeinheit 63 eine Körpereinheit 633, die durch Laminieren einer Basisplatte 631 und einer Oberplatte 632 gebildet ist. Eine Durchgangsbohrung ist in jeder, der Basisplatte 631 und der Oberplatte 632, gebildet. Die Basisplatte 631 und die Oberplatte 632 sind mit diesen Durchgangsbohrungen überlappend gefügt, um in einer vertikalen Richtung Z zusammenzupassen, wodurch ein hohler Arbeitsraum 634 ausgestaltet wird, in den der Spitzenteil des Düsenschafts 52 einsetzbar ist.
  • Ein Nutabschnitt 635 erstreckt sich, mit diesem Arbeitsraum 634 in einer horizontalen Richtung in einem oberen Oberflächenteil der Basisplatte 631 zu kommunizieren. Ein stabförmiges Schubelement 636 ist in diesem Nutabschnitt 635 verschiebbar in einer Längsrichtung des Nutabschnitts 635 gebildet. Überdies erstreckt sich ein weiterer Nutabschnitt 637 in einer horizontalen Richtung senkrecht zu dem Nutabschnitt 635 in dem oberen Oberflächenteil der Basisplatte 631 und ist, wie in 17 gezeigt, mit dem Nutabschnitt 635 verbunden, bevor der Arbeitsraum 634 eine Schnittregion 638 bildet. Eine Breite dieses Nutabschnitts 637 ist leicht größer als ein Außendurchmesser der Filter 54, sodass die Filter 54 zu der Schnittregion 638 geleitet werden können, während sie in einer Reihe angeordnet sind.
  • Wie in 17 gezeigt, ist ein Endteil des Schubelements 636 an der Seite des Arbeitsraums in einer Bogenform fertiggestellt, die einen Krümmungsradius aufweist, der leicht größer ist als die der Filter 54. Obgleich es nicht in 17 gezeigt ist, ist überdies ein hin- und hergehender Antriebsmechanismus mit dem Schubelement 636 verbunden. Wenn ein Vorwärtsbewegungsbefehl von einer Steuereinheit 8 empfangen wird, wird das Schubelement 636 zu dem Arbeitsraum 634 bewegt. Auf diese Weise wird das Filter 54, das in der Schnittregion 638 vorhanden ist, von dem Schubelement 636 hinaus in den Arbeitsraum 634 geschoben. Andererseits wird, wenn ein Rückkehrbewegungsbefehl von der Steuereinheit 8 empfangen wird, das Schubelement 636 von dem Arbeitsraum 634 getrennt.
  • Die so ausgestaltete Filterzuführungs-/Filtermontageeinheit 63 führt einen Filterzuführungsschritt und einen Filtermontageschritt gemäß dem nachfolgenden Vorgang durch. Insbesondere wird jeder Teil der Einrichtung von der Steuereinheit 8 gesteuert, um den folgenden Vorgang auszuführen. Zunächst bewegt sich eine Kopfeinheit 5 zu der Filterzuführungs-/Filtermontageeinheit 63, um einen Bauteilsaugkopf 53 als ein Ziel des Filteraustausches über dem Arbeitsraum 634 zu positionieren (siehe Säule (a) von 17).
  • Nachfolgend verläuft der Bauteilsaugkopf 53 abwärts, wobei die Öffnung 524 des Düsenschafts 52 dem Nutabschnitt 637 zugewandt ist, um den Spitzenteil des Düsenschafts 52 in den Arbeitsraum 634 einzusetzen. Auf diese Weise ist, wie in Säule (b) von 17 gezeigt, der Filterhalteraum 523 der Schnittregion 638 über die Öffnung 524 proximal zugewandt und kann ein neues Filter 54 über die Öffnung 524 empfangen. In diesem Zustand wird dem Bauteilsaugkopf 53 ein Unterdruck zugeführt, und das Filter 54 in dem Nutabschnitt 637 wird zu der Schnittregion 638 gezogen. Dies veranlasst das Filter 54, das am nächsten an der Schnittregion 638 ist, zwischen dem Filterhalteraum 523 und dem Schubelement 636 zugeführt zu werden, und ein Teil des Filters 54 wird in den Filterhalteraum 523 eingesetzt (Säule (b) von 17). Auf diese Weise wird das Filter 54 zugeführt (Filterzuführungsschritt)
  • Das Schubelement 636 wird von dem Umkehrantriebsmechanismus veranlasst, eine Umkehrbewegung auszuführen, wodurch das Filter 54 von der Schnittregion 638 zu der Öffnung 524 gepresst wird und das Filter 54 in den Filterhalteraum 523 eingepresst wird. Auf diese Weise wird die Montage des Filters 54 in den Düsenschaft 52 beendet (Filtermontageschritt). Dann wird das Schubelement 636 von dem Umkehrantriebsmechanismus veranlasst, eine Vorwärtsbewegung auszuführen, wobei es von der Schnittregion 638 eingezogen wird.
  • In der so ausgestalteten Bauteilmontageeinrichtung 100 werden, wenn der Austausch des Filters 54 notwendig wird und eine Austauschanweisung von einem Benutzer gegeben wird („JA“ in Schritt S4), der Filterzuführungsschritt und der Filtermontageschritt von der Filterzuführungs-/Filtermontageeinheit 63 ausgeführt, nachdem der Filterentfernungsschritt wie in der ersten Ausführungsform ausgeführt worden ist. Auf diese Weise wird das Filter 54 automatisch auch in der sechsten Ausführungsform ausgetauscht.
  • Wie zuvor beschrieben, unterscheidet sich die sechste Ausführungsform von der ersten Ausführungsform darin, dass die scheibenförmigen Filter 54 gehandhabt werden, aber der Filterhalteraum 523 in dem Spitzenteil des Düsenschafts 52 vorgesehen ist und das Filter 54 allein eingepresst und in diesem Filterhalteraum 523 montiert ist. Überdies ist der Filterentfernungsschritt genau der gleiche. Funktionen und Wirkungen, die denen der ersten Ausführungsform ähnlich sind, werden somit erhalten.
  • Da der Filterzuführungsschritt und der Filtermontageschritt nacheinander von der Filterzuführungs-/Filtermontageeinheit 63 in der sechsten Ausführungsform ausgeführt werden, kann überdies eine Zeit, die für den Filteraustausch erforderlich ist, d. h. eine Klebzeit für den Filteraustausch, kürzer gemacht werden als in der ersten Ausführungsform.
  • Siebte Ausführungsform
  • 18 ist eine Draufsicht, die eine siebte Ausführungsform der Bauteilmontageeinrichtung gemäß der Erfindung zeigt. Überdies ist 19A eine Grafik, die eine Gesamtausgestaltung einer Filteraustauschvorrichtung zeigt, die in der Bauteilmontageeinrichtung von 18 vorgesehen ist. 19B ist eine Teilschnittansicht der Filteraustauschvorrichtung von 19A. Diese siebte Ausführungsform unterscheidet sich weitgehend von der ersten Ausführungsform darin, dass die Filterzuführungseinheit 62, die Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 und der Filterentsorgungsbehälter 66 in eine Filteraustauschvorrichtung 70 integriert sind, und dass diese Filteraustauschvorrichtung 70 entfernbar in einem Bauteilspeicher 4a, 4b montiert ist, wobei die anderen Ausgestaltungen wie in der ersten Ausführungsform sind. Somit konzentriert sich die nachfolgende Beschreibung auf Unterschiede von der ersten Ausführungsform, und die gleichen Bauteile werden durch die gleichen Bezugszeichen bezeichnet und nicht beschrieben.
  • Die Filteraustauschvorrichtung 70 umfasst ein Gehäuse 71, das ausgestaltet ist, entfernbar in einem Bauteilspeicher 4a, 4b montierbar zu sein. Ein Vorschubkörper der Bandvorschubeinrichtung 41 wird möglicherweise als dieses Gehäuse 71 verwendet. Wie in 19A gezeigt, sind zwei Blöcke 72, 73 an einer Vorderseite des Gehäuses 71 fixiert, d. h. an einer Seite in der Nähe einer Kopfeinheit 5. Wie in 19B gezeigt, ist ein Block 72 mit einer Filterzuführungseinheit 62 versehen. Überdies ist der andere Block 73 mit einer Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 und einem Filterentsorgungsbehälter 66 versehen.
  • Überdies sind eine Druckluftzuführungseinheit 74, eine Filterzuführungseinheit 75 und eine Filterabscheidungseinheit 76 in einem Mittelteil des Gehäuses 71 fixiert. Die Druckluftzuführungseinheit 74 führt einen Filterzuführungsvorgang durch Zuführen von Druckluft zu der Filterzuführungseinheit 62 aus. In dieser Ausführungsform wird ein doppelt wirkender Luftzylinder 645 als eine Antriebsquelle für ein Filterpositionierungselement 626 verwendet. Ein linker Raum 625a, der an einer linken Endseite des Luftzylinders 625 gebildet ist, und ein Mittelraum 625b, der in einem seitlichen Zwischenteil gebildet ist, sind mit der Druckluftzuführungseinheit 74 verbunden. Durch Zuführen von Druckluft von der Druckluftzuführungseinheit 74 zu dem linken Raum 625a läuft das Filterpositionierungselement 626 zu einer Position über der Filterzuführungseinheit 62 vor. Andererseits zieht sich, durch Zuführen von Druckluft von der Druckluftzuführungseinheit 74 zu dem Mittelraum 625b, das Filterpositionierungselement 626 zurück, um von der Position über der Filterzuführungseinheit 62 eingezogen zu werden. Überdies führt die Filterzuführungseinheit 75 zum Austauschen der Filterzuführungseinheit 62 Filter 54 für die Filternachfüllung zu. Überdies beaufschlagt die Filterzuführungseinheit 62 den Filterentsorgungsbehälter 66 mit einem Unterdruck, um das gebrauchte Filter 54 abzuscheiden.
  • Wie zuvor beschrieben, sind in der siebten Ausführungsform die Filterzuführungseinheit 62, die Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 und der Filterentsorgungsbehälter 66 integriert, um die kompakte Filteraustauschvorrichtung 70 zu erhalten, und die Bauteilmontageeinrichtung 100 kann in der Größe vermindert werden.
  • Überdies ist die Filteraustauschvorrichtung 70 entfernbar in dem Bauteilspeicher 4a, 4b montiert, ähnlich zu den Bandvorschubeinrichtungen 41. Das heißt, durch Handhaben der Filter 54 auf ähnliche Weise wie die Bauteile, können die Filter automatisch bloß durch Montieren der Filteraustauschvorrichtung 70 in dem Bauteilspeicher 4a, 4b ähnlich den Bandvorschubeinrichtungen ausgetauscht werden, ohne die Bauteilmontageeinrichtungen umzugestalten, die herkömmlicherweise breite Anwendung finden. Unter Verwendung der Filteraustauschvorrichtung 70 auf diese Weise können funktionale Verbesserungen von Bauteilmontageeinrichtungen, die bereits in Betrieb sind, einfach realisiert werden.
  • Verschiedenes
  • Es ist zu beachten, dass die Erfindung nicht auf die obigen Ausführungsformen beschränkt ist, und verschiedene Änderungen an den zuvor erwähnten Ausführungsformen vorgenommen werden können, ohne von dem Hauptpunkt der Erfindung abzuweichen. Obgleich das komprimierte Filter 54 mittels Hochdruckblasen abgeführt wird, nachdem das Filter 54 in der obigen ersten bis siebten Ausführungsform komprimiert wird, beispielsweise das Filter 54 möglicherweise mittels Hochdruckblasen abgeführt, ohne komprimiert zu werden.
  • Überdies ist, obgleich das Filter 54, das in dem Spitzenteil des Düsenschafts 52 zu montieren ist, eine hohlzylindrische Form oder eine Scheibenform in den obigen Ausführungsformen aufweist, die Form des Filters nicht auf diese begrenzt, und die Erfindung ist auf Filter im Allgemeinen anwendbar, die in Bauteilsaugköpfen montierbar sind.
  • Obgleich die Filtermontage-/Filterentfernungseinheit 64 sowohl als die Filtermontageeinheit als auch als die Filterentfernungseinheit in der obigen ersten bis fünften sowie siebten Ausführungsform verwendet wird, sind die Filtermontageeinheit und die Filterentfernungseinheit möglicherweise getrennt voneinander vorgesehen.
  • Überdies ist, obgleich die Filterhaltestruktur, das Filterentfernungsverfahren, das Filterzuführungsverfahren, das Filteraustauschverfahren und die Filteraustauschvorrichtung in den obigen Ausführungsformen auf die Bauteilmontageeinrichtung angewandt werden, das Anwendungsziel von ihnen nicht auf die Bauteilmontageeinrichtung begrenzt, und die Anwendung auf Einrichtungen im Allgemeinen, die einen Bauteilsaugkopf/Bauteilsaugköpfe verwenden, wie Bauteiluntersuchungseinrichtungen, sind möglich.
  • Wie zuvor in den obigen Ausführungsformen beschrieben, entspricht die Z-Richtung einer „externen Einbaurichtung“ der Erfindung, und die Länge L des externen Einbaubereichs der Saugdüse 51 an dem Düsenschaft 52 entspricht einer „externen Einbaulänge“. Überdies entspricht die vordere Endoberfläche 541 des Filters 54 einer „Endoberfläche des Filters an der Seite der Saugdüse“.
  • Da die spezifischen Ausführungsformen zuvor veranschaulicht und beschrieben worden sind, ist die Erfindung möglicherweise so, dass das hintere Endteil der Saugdüse extern eingebaut und an dem Spitzenteil des Düsenschafts montiert ist, wodurch der Bauteilsaugkopf verkürzt sein kann. Insbesondere ist es wirksam, bei der Verkürzung des Bauteilsaugkopfes eine Länge des Filters in der externen Einbaurichtung des hinteren Endteils der Saugdüse an dem Spitzenteil des Düsenschafts kürzer zu machen als die externe Einbaulänge des hinteren Endteils der Saugdüse an dem Spitzenteil des Düsenschafts.
  • Diese Erfindung kann auf Filterhaltetechniken im Allgemeinen zum Halten eines Filters im Innern eines Bauteilsaugkopfes zum Ansaugen eines Bauteils angewandt werden.
  • Bezugszeichenliste
    • 51...
    Saugdüse
    52...
    Düsenschaft
    53...
    Bauteilsaugkopf
    100...
    Bauteilmontageeinrichtung
    110...
    Substrat
    522...
    Öffnung
    523a...
    Kommunikationsregion
    541...
    vordere Endoberfläche (des Filters)
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
    • JP 3878816 [0003]

Claims (4)

  1. Filterhaltestruktur zum Halten eines Filters in einem Bauteilsaugkopf, in der eine Saugdüse abnehmbar an einem Spitzenteil eines Düsenschafts befestigt ist, wobei: ein Filterhalteraum zum Halten des Filters und eine Öffnung, die Kommunikation zwischen dem Filterhalteraum und der Saugdüse erlaubt, in einem Spitzenteil des Düsenschafts vorgesehen sind; und eine Kommunikationsregion des Filterhalteraums, die mit der Öffnung verbunden ist, schmaler gemacht ist als eine Endoberfläche des Filters an der Seite der Saugdüse und in dem Spitzenteil des Düsenschafts gehalten wird.
  2. Filterhaltestruktur nach Anspruch 1, wobei ein hinterer Endteil der Saugdüse extern eingebaut und an dem Spitzenteil des Düsenschafts montiert ist.
  3. Filterhaltestruktur nach Anspruch 2, wobei eine Länge des Filters in einer externen Einbaurichtung des hinteren Endteils der Saugdüse an dem Spitzenteil des Düsenschafts kürzer ist als eine externe Einbaulänge des hinteren Endteils der Saugdüse an dem Spitzenteil des Düsenschafts.
  4. Bauteilmontageeinrichtung zum Halten und Montieren eines Bauteils an einem Substrat mittels eines Bauteilsaugkopfes, in dem eine Saugdüse abnehmbar an einem Spitzenteil eines Düsenschafts befestigt ist, wobei: ein Filterhalteraum zum Halten des Filters und eine Öffnung, die Kommunikation zwischen dem Filterhalteraum und der Saugdüse erlaubt, in einem Spitzenteil des Düsenschafts vorgesehen sind; und eine Kommunikationsregion, die mit der Öffnung verbunden ist, außerhalb des Filterhalteraums schmaler gemacht ist als eine Endoberfläche an der Seite der Saugdüse des Filters, der sich in dem Filterhalteraum befindet und in dem Spitzenteil des Düsenschafts gehalten wird.
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