CN107852850B - 过滤器保持构造及元件安装装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种过滤器保持构造，在吸嘴拆装自如地安装于吸嘴轴的前端部的元件吸附头中保持过滤器，在吸嘴轴的前端部设有保持过滤器的过滤器保持空间及使过滤器保持空间与吸嘴连通的开口，使过滤器保持空间的与开口相连的连通区域比过滤器的吸嘴侧的端面窄，而在吸嘴轴的前端部保持过滤器。

Description

过滤器保持构造及元件安装装置

技术领域

本发明涉及在吸附元件的元件吸附头的内部保持过滤器的过滤器保持构造及具有该过滤器保持构造的元件安装装置。

背景技术

在将从带式送料器等元件供给部供给的元件向基板安装的元件安装装置中，为了从元件供给部拾取上述元件并向基板安装而使用元件吸附头。元件吸附头在吸嘴轴的前端部安装有吸嘴，通过经由设于吸嘴轴的内部的管路对吸嘴赋予负压而利用吸嘴吸附元件。另外，在元件吸附头中，为了去除异物而在负压路径上配置有过滤器。例如，在专利文献1所记载的装置中，在相当于上述吸嘴轴的吸嘴块的内部，朝着吸嘴延伸设置有吸引孔。并且，将在圆筒形状的保持体的内部固定过滤器而成的过滤器部安装于吸引孔。

现有技术文献

专利文献1：日本特许第3878816号

发明内容

发明所要解决的课题

在上述以往技术中，需要将过滤器以收纳在保持体内的状态安装于吸嘴块，由此，吸引孔的内径变大。因此，无法避免吸嘴块在与吸引孔的延伸设置方向正交的方向上大型化，进而无法避免元件吸嘴的大型化，导致并排设置多个元件吸附头时的头间隔变大。这成为使元件安装装置的作业效率下降的主要因素之一。

另外，在上述以往技术中，在保持体的外周设有螺纹部，通过使该螺纹部与设于吸引孔的内螺纹螺合而将过滤器部安装于吸嘴块。因此，过滤器向吸嘴块的安装需要进行过滤器向保持体插入、通过环部件固定过滤器、过滤器部(保持体+过滤器+环部件)向吸嘴块的安装这三个阶段的安装作业。

本发明是鉴于上述课题而作出的，其目的在于提供避免元件吸嘴大型化并简化过滤器向元件吸嘴的安装的过滤器保持构造及具有该过滤器保持构造的元件安装装置。

用于解决课题的技术方案

本发明的一技术方案是一种过滤器保持构造，在吸嘴拆装自如地安装于吸嘴轴的前端部的元件吸附头中保持过滤器，其特征在于，在吸嘴轴的前端部设有保持过滤器的过滤器保持空间及使过滤器保持空间与吸嘴连通的开口，使过滤器保持空间的与开口相连的连通区域比过滤器的吸嘴侧的端面窄，而在吸嘴轴的前端部保持过滤器。

另外，本发明的另一技术方案是一种元件安装装置，通过吸嘴拆装自如地安装于吸嘴轴的前端部的元件吸附头来保持元件并向基板安装，其特征在于，在吸嘴轴的前端部设有用于保持过滤器的过滤器保持空间及使过滤器保持空间与吸嘴连通的开口，使过滤器保持空间中的与开口相连的连通区域比位于过滤器保持空间的过滤器的吸嘴侧的端面窄，而在吸嘴轴的前端部保持过滤器。

在这样构成的发明中，吸嘴拆装自如地安装于吸嘴轴的前端部，经由设于吸嘴轴的前端部的开口而与过滤器保持空间连通。并且，在该过滤器保持空间中以单体的方式收纳有过滤器。而且，使过滤器保持空间的与开口相连的连通区域比过滤器的吸嘴侧的端面窄。因此，能够牢固地保持过滤器而过滤器不会从上述开口脱落。

发明效果

如以上那样，在本发明中，能够将过滤器单体直接安装于吸嘴轴的前端部，并可靠地进行保持，因此过滤器安装变得简单。另外，能够防止与过滤器安装相伴的吸嘴轴的直径变大，其结果是，能够避免与过滤器安装相伴的元件吸附头的大型化。

附图说明

图1是表示本发明的元件安装装置的第一实施方式的俯视图。

图2是图1所示的元件安装装置的主视图。

图3是表示吸嘴及吸嘴轴的结构的图。

图4A是表示过滤器供给部的结构的图。

图4B是过滤器供给部的局部剖视图。

图5是表示过滤器拆装部及过滤器废弃箱的结构的示意图。

图6是表示图1的元件安装装置的电结构的框图。

图7是表示由图1的元件安装装置执行的过滤器更换处理的流程图。

图8是示意性地表示过滤器拆卸工序的图。

图9是示意性地表示过滤器供给工序的图。

图10是示意性地表示过滤器安装工序的图。

图11是表示在本发明的元件安装装置的第二实施方式中装备的过滤器拆装部的结构的图。

图12是表示在本发明的元件安装装置的第三实施方式中装备的过滤器供给部的结构的图。

图13是表示在本发明的元件安装装置的第四实施方式中装备的过滤器供给部的结构的图。

图14是表示在本发明的元件安装装置的第五实施方式中装备的过滤器供给部的结构的图。

图15是示意性地表示本发明的元件安装装置的第六实施方式中的吸嘴轴的前端部及过滤器的构造的图。

图16是表示在本发明的元件安装装置的第六实施方式中装备的过滤器供给安装部的结构的图。

图17是示意性地表示基于图16的过滤器供给部的过滤器供给安装动作的图。

图18是表示本发明的元件安装装置的第七实施方式的俯视图。

图19A是在表示图18的元件安装装置中装备的过滤器更换装置的整体结构的图。

图19B是图19A的过滤器更换装置的局部剖视图。

具体实施方式

A.第一实施方式

图1是表示本发明的元件安装装置的第一实施方式的俯视图。另外，图2是图1所示的元件安装装置的主视图。如图1及图2所示，该元件安装装置100具备：基台1；基板输送机构部2，配置于基台1上，沿着X方向输送基板110；元件收纳部4a、4b，拆装自如地安装有供给元件的元件供给部41；及元件安装用的头单元5。

基板输送机构部2具有沿着基板110的输送方向(X方向)延伸的一对输送机2a。一对输送机2a构成为，从X1方向侧接收基板110并输送至预定的安装作业位置，并且在安装作业后，将作业完成的基板110向X2方向侧搬出。

元件收纳部4a、4b在基板输送机构部2的前方侧(Y2方向侧)彼此沿着X方向分离地配置。在上述元件收纳部4a、4b中设有多个元件供给部41。在本实施方式中，作为元件供给部的一个例子，使用收纳有IC、晶体管及电容器等芯片元件的带式送料器41，在各元件收纳部4a、4b中，多个带式送料器41沿着基板输送机构部2在X方向上排列。并且，在元件收纳部4a、4b中，各带式送料器41构成为，一边间歇性地送出带，一边将芯片元件供给至基板输送机构部2附近的预定的元件供给位置41a。另外，上述带式送料器41能够由作业者等适当地变更向各元件收纳部4a、4b的安装位置。

头单元5具有通过后述的吸嘴51吸附从元件收纳部4a、4b供给的元件而向基板110安装的功能。头单元5构成为能够在基板110的输送方向(X方向)及前后方向(Y方向)上移动。具体而言，头单元5被沿着X方向延伸的单元支撑部件6支撑为能够沿着X方向移动。另外，滚珠丝杠轴7b通过X轴马达7a而转动，由此头单元5沿着X方向移动。单元支撑部件6经由沿着Y方向延伸的一对固定导轨1b被一对高架框架1a支撑为能够沿着Y方向移动。滚珠丝杠轴8b通过Y轴马达8a而转动，由此单元支撑部件6能够沿着Y方向移动。

另外，头单元5具备多个元件吸附头53，上述元件吸附头53将元件吸附用的吸嘴51的后端部以拆装自如的方式安装于吸嘴轴52的前端部。各元件吸附头53构成为，能够通过Z轴马达5a(图6)进行升降(Z方向上的移动)，并且能够通过R轴马达5b(图6)以穿过吸嘴51的中心的铅垂轴线为转动中心地沿着R方向进行转动。元件吸附头53设有六个，每列三个而呈前后两列地排列。另外，吸嘴51在各元件吸附头53各安装有一个，与元件吸附头53相同地，每列三个而呈前后两列地排列。即，如图1所示，六个吸嘴51以每列三个在Y方向上错开的状态配置。

图3是表示吸嘴及吸嘴轴的结构的图。在该图中，在吸嘴轴52上安装有吸嘴51的状态记载于该图的(a)栏，从吸嘴轴52拆下了吸嘴51的状态记载于该图的(b)栏，从吸嘴轴52拆下了过滤器54的状态记载于该图的(c)栏。吸嘴51具有：吸嘴支架511，外嵌于吸嘴轴52的前端部；吸嘴主体512，被保持为相对于该吸嘴支架511的前端部在上下方向上移动自如；及压缩螺旋弹簧513，用于对吸嘴主体512向下方(从吸嘴支架511突出的方向)施力。吸嘴支架511及吸嘴主体512分别沿着上下方向贯通地设有管路。并且，当吸嘴支架511向吸嘴轴52的前端部外嵌了长度L1时，上述管路与在吸嘴轴52中沿着上下方向延伸设置的管路521连通，形成向吸嘴51的前端部提供压缩空气并向元件、压缩了过滤器等吹送压缩空气的吹送路径及通过负压对吸嘴51的前端部赋予吸引力的吸引路径。

如上所述，为了向吸嘴51赋予正压及负压而对于每个元件吸附头53设有以下说明的切换阀。即，如图2所示，各元件吸附头53的吸嘴轴52通过配管31a而与负压/正压切换阀32连接。除了上述配管31a以外，配管31b、31c也与该负压/正压切换阀32连接。其中，配管31b与由真空泵等构成的负压产生装置33连接。因此，在从控制整个装置的控制单元8向负压/正压切换阀32赋予的切换信号被设定为负压等级的期间，负压/正压切换阀32使配管31a仅与配管31b连接。由此，经由由配管31a、负压/正压切换阀32、配管31b、吸嘴轴52的管路521构成的吸引路径而向吸嘴51供给负压。另一方面，当上述切换信号切换为正压等级时，负压/正压切换阀32将配管31a的连接目的地从配管31b切换为配管31c。此外，在配管31a上安装有压力传感器37，检测向吸嘴轴52的管路521赋予的压力并向控制单元8输出。

配管31c与压力切换阀34连接。除了上述配管31c以外，配管31d、31e也与该压力切换阀34连接。其中，配管31d与由压缩机等构成的正压产生装置35直接连接，供给由正压产生装置35产生的具有较高的压力的压缩空气。另一配管31e是从配管31d分支出的分支配管，在其中间部夹设有调节器36。该调节器36具有将经由配管31d、31e流入进来的压缩空气的压力减压至适用于元件安装处理的压力的功能。并且，将被调节器36调压至低压的空气通过配管31e向压力切换阀34供给。

压力切换阀34根据来自控制单元8的切换信号而切换上述配管31c与配管31d、31e的连接状态。更加详细而言，在切换信号为“高压”等级的期间，压力切换阀34切换为配管31d与配管31c连接的状态，即“高压连接状态”。另一方面，当上述切换信号被切换为“低压”等级时，压力切换阀34将配管31c的连接目的地从配管31d切换为配管31e。即，切换为配管31e与配管31c的“低压连接状态”。因此，在负压/正压切换阀32切换为正压供给侧的期间，经由配管31c、负压/正压切换阀32及配管31a而向吸嘴51供给正压。而且，能够通过压力切换阀34对连接状态的切换，而将向吸嘴51供给的空气的压力调整为两种，将这些正压经由由配管31c、负压/正压切换阀32、吸嘴轴52的管路521构成的吹送路径而向吸嘴51供给压缩空气。

如上述那样构成的吸嘴51形成为相对于吸嘴轴52的前端部拆装自如，当拆下了吸嘴51时，吸嘴轴52的过滤器保持空间523经由形成于吸嘴轴52的前端面的开口522而与外部连通。另外，该开口522在吸嘴51安装于吸嘴轴52时发挥使吸嘴51的吸嘴支架511与过滤器保持空间523连通的功能。

另外，开口522经由沿着Z方向延伸的通路525而与过滤器保持空间523连通。在本实施方式中，将开口522的内径D1设定为比过滤器54的外径D2稍宽，但是随着进入过滤器保持空间523侧，上述通路525的内径变细。另外，过滤器保持空间523的连通区域523a经由该通路525而与开口522相连，但在本实施方式中，将该连通区域523a的内径D3设定为比过滤器54的外径D2稍窄。因此，如后所述，使过滤器54的后端部(Z1侧端部)与吸嘴轴52的前端部抵接，进而通过过滤器拆装部的圆筒部件将过滤器54的前端面541向上方向(Z1方向)按压，从而能够经由开口522将过滤器54压入过滤器保持空间523并保持在过滤器保持空间523中。特别是在本实施方式中，当从连通区域523a观察前端侧(Z2方向侧)时，通路525及开口522呈喇叭状扩展，容易压入过滤器54。此外，为了压入过滤器54并将其保持在过滤器保持空间523，需要确保在过滤器54进行弹性变形的范围内、即弹性极限的范围内。由此，优选的是，以使在压入时赋予过滤器54的应力为弹性极限以下的方式设定连通区域523a的内径D3与过滤器54的外径D2之差(＝D2-D3)。

另一方面，在压入后，过滤器54的下表面周缘部卡止于吸嘴轴52的前端部中的、包围连通区域523a的区域，当供给正压时，过滤器54也被牢固地保持在过滤器保持空间523中。另外，在过滤器保持空间523的Z1方向侧，与管路521相连的连通区域523b的内径D4也比过滤器54的外径D2稍窄。因此，过滤器54的上表面周缘部卡止于吸嘴轴52的前端部中的、包围连通区域523b的区域，当供给负压时，过滤器54也被牢固地保持在过滤器保持空间523中。

另外，在本实施方式中，如图3的(a)栏所示，在上下方向Z上，过滤器保持空间523设于吸嘴51相对于吸嘴轴52进行外嵌的外嵌区域(长度L1的范围)内，被保持在过滤器保持空间523中的过滤器54也位于外嵌区域内。这样，利用用于相对于吸嘴轴52拆装吸嘴51的外嵌区域配置过滤器54。其结果是，能够有效地防止与在元件吸附头53的内部设置过滤器54相伴的元件吸附头53的长尺寸化。其理由在于，元件吸附头53的长度受过滤器的保持位置的影响。例如，在专利文献1记载的装置中，由于在从用于将吸嘴安装于吸嘴块(相当于本实施方式的吸嘴轴)的区域(配置有夹持部件的区域)分离的位置保持过滤器，因此需要另外确保用于保持过滤器的区域，从而导致元件吸附头相应地变长。与此相对的，在本实施方式中，由于用于保持过滤器54的区域与用于将吸嘴51相对于吸嘴轴52进行拆装的区域(外嵌区域)在元件吸附头53的延伸设置方向Z上完全重复，因此能够缩短元件吸附头53。

这样，在本实施方式中，在元件吸附头53采用有如下的过滤器保持构造：将过滤器54压入过滤器保持空间523中并保持在该过滤器保持空间523中。并且，如图1所示，与相对于吸嘴轴52的前端部拆装吸嘴51并更换吸嘴51的吸嘴更换部60相邻接地设有用于供给该过滤器54的过滤器供给部62。另外，为了将从过滤器供给部62供给的过滤器54安装于吸嘴轴52并从吸嘴轴52拆下使用后的过滤器54而与过滤器供给部62相邻接地设有过滤器拆装部64。进而，与过滤器拆装部64相邻接地设有用于废弃由过滤器拆装部64拆下的使用后过滤器54的过滤器废弃箱66。另外，在本实施方式中，如图1所示，吸嘴更换部60、过滤器供给部62、过滤器拆装部64及过滤器废弃箱66依次沿X1方向排列设置，但它们的配置是任意的。

图4A是表示过滤器供给部的结构的图，图4B是过滤器供给部的局部剖视图。在过滤器供给部62中，过滤器供给壳体622拆装自如地安装于供给主体621。该过滤器供给壳体622将多个过滤器54以排列成一列的状态予以收纳，能够将受到基于来自正压产生装置35的压缩空气的高压送风的过滤器54向过滤器供给位置623引导。另外，图4A中的附图标记624是开闭阀，根据来自控制单元8的开指令而开启，由此向过滤器供给壳体622的Z2侧端部供给压缩空气而进行高压送风，根据闭指令而闭合，由此停止高压送风。由此，切换过滤器54向Z1方向的送入及送入停止。

如图4B所示，在过滤器供给位置623的Y2侧配置有气缸625及过滤器定位部件626。过滤器定位部件626与气缸625的活塞(省略图示)连结，根据来自控制单元8的移动指令而气缸625工作，从而沿着Y方向移动，并相对于过滤器供给位置623进退移动。在此，作为气缸625，能够使用各种类型，例如，也可以使用在后文说明的第七实施方式中使用的双动型的气缸。另外，当过滤器定位部件626移动到过滤器供给位置623时，将被高压送风向Z1方向送入的过滤器54卡止，限制了过滤器54进一步的上升移动，而在上下方向Z上对过滤器54进行定位。此时，收纳在过滤器供给壳体622内的过滤器54中的、位于最上位的过滤器54如后文说明的那样被高压送风压入到吸嘴轴52中。但是，仅通过高压送风难以将过滤器54整体压入到吸嘴轴52的过滤器保持空间523中，而且，由于在此时刻下过滤器定位部件626的前端存在于过滤器保持空间523，因此仅过滤器54的后端部(Z1侧端部)被压入吸嘴轴52而被保持(以下，将该保持称作“局部保持”)。另一方面，当过滤器定位部件626从过滤器供给位置623后退时，对于过滤器54的限制消失，过滤器54能够移动。另外，图4A及图4B中的附图标记524是形成于吸嘴轴52的前端部的侧面的过滤器排出用的开口，附图标记627是用于规定过滤器保持空间523中的过滤器定位部件626的前端位置的限位器。

图5是表示过滤器拆装部及过滤器废弃箱的结构的示意图。在过滤器拆装部64中，从基座部件641的上表面向Z1方向突出设置有圆筒部件642。该圆筒部件642的外径稍小于连通区域523a的内径D3(图3)，圆筒部件642的Z1方向侧的端部能够经由连通区域523a进入到过滤器保持空间523中。例如，当在局部保持有过滤器54的状态下的吸嘴轴52被定位于圆筒部件642的正上方位置的状态下使吸嘴轴52向Z2方向下降时，过滤器54的前端面541与圆筒部件642的顶部抵接。并且，通过使吸嘴轴52进一步下降，过滤器54被圆筒部件642向Z1方向按压而被压入到过滤器保持空间523中。这样，圆筒部件642作为按压过滤器54的部件、即“按压部件”发挥作用，使用该圆筒部件642而过滤器拆装部64作为本发明的“过滤器安装部”发挥作用。

另外，圆筒部件642也作为将在过滤器保持空间523内保持的过滤器54压扁的部件、即“压扁部件”发挥作用，使用该圆筒部件642而过滤器拆装部64还作为本发明的“过滤器拆卸部”发挥作用。即，当在保持有过滤器54的状态下的吸嘴轴52被定位于圆筒部件642的正上方位置的状态下使吸嘴轴52向Z2方向下降时，圆筒部件642经由连通区域523a而进入到过滤器保持空间523中。由此，过滤器54在过滤器保持空间523内进行塑性变形，具体而言，沿着上下方向Z被压扁而压缩。另外，这样被压缩后的过滤器54与过滤器保持空间523相比而大幅度地小型化，向吸嘴轴52的管路521供给高压的压缩空气而进行高压送风，从而将压缩后过滤器54经由过滤器排出用开口524向过滤器废弃箱66废弃。

如图5所示，过滤器废弃箱66将回收用的开口661朝向过滤器拆装部64设置，经由回收用开口661接收通过高压送风从过滤器保持空间523排出的压缩后过滤器54。另外，在本实施方式中，过滤器废弃箱66构成为在内部存积回收的压缩后过滤器54，但是也可以如在后文说明的第七实施方式所采用的那样，构成为向过滤器废弃箱66的内部赋予负压而自动地将回收的压缩后过滤器54向其它废弃箱输送。

返回图1，继续元件安装装置100的结构说明。在元件安装装置100中设有拍摄由头单元5吸附的元件的元件拍摄单元9。元件拍摄单元9具有识别被头单元5从元件收纳部4a、4b取出并被各吸嘴51保持的元件的保持状态的功能。该元件拍摄单元9设于基台1上，在本实施方式中，在俯视下的元件收纳部4a、4b之间，配置于与沿着各带式送料器41的X方向排列成一列的元件供给位置41a相同的Y方向位置处。元件拍摄单元9构成为从由头单元5吸附的元件的下方对其进行拍摄。

此外，在头单元5的X2方向侧固定有基板拍摄单元10，通过头单元5沿着X轴向及Y轴向移动而能够在任意的位置从基板110的上方进行拍摄。并且，基板拍摄单元10拍摄附于位于安装作业位置上的基板110的多个基准标记，来对基板位置、基板方向进行图像识别。

图6是表示图1的元件安装装置的电结构的框图。控制该元件安装装置100整体的控制单元8具有主控制部81，该主控制部81由具有CPU(＝Central Processing Unit：中央处理单元)和RAM(＝Random Access Memory：随机存取存储器)等的计算机构成，主控制部81基于存储于存储部82的程序、数据，经由总线83而与控制单元8的各部相互进行信号的交换，从而控制元件安装装置100整体。即，由主控制部81读出存储于存储部82的程序821。并且，主控制部81按照该程序821控制驱动控制部84、图像处理部85及输入输出控制部86，依次对基板110执行元件安装，而生产安装基板。另外，当需要更换过滤器54时，基于上述程序821，执行接下来说明的过滤器更换处理。另外，图6中的附图标记68是主控制部81显示与元件安装、过滤器更换相关的各种信息或者用于用户对主控制部81输入各种数据、指令等信息的显示/操作单元。特别是在本实施方式中，如接下来说明的那样，在需要更换过滤器的时间点下，将建议更换过滤器的消息显示于显示/操作单元68。

图7是表示图1的元件安装装置执行的过滤器更换处理的流程图。优选的是，根据上述元件安装装置100的作业状况而在适当的时间点更换过滤器54。因此，在元件安装装置100中，控制单元8基于程序821如下地控制装置各部，而执行过滤器更换处理。以下，参照图7～图10说明过滤器更换处理的内容。

控制单元8在适当的时间点，例如电源接通之后或经过了一定的作业时间的时刻下检查过滤器54的污染，即堵塞状态(步骤S1)。例如，也可以对各元件吸附头53施加正压或者负压，并且基于通过压力传感器37测量的压力值是否处于恰当的范围内来检查过滤器54的污染。另外，也可以在通过各元件吸附头53进行元件吸附的次数达到一定值的时刻对过滤器54的污染进行检查。

控制单元8在下一个步骤S2中若判断为过滤器54未被污染，则使过滤器更换处理结束，并移向通常的元件安装动作。另一方面，在步骤S2中若判断为过滤器54变脏或者变脏的可能性较高，则控制单元8在显示/操作单元68显示建议更换过滤器的消息(步骤S3)。另外，控制单元8与上述消息一并地显示更换过滤器的执行按钮及取消按钮，并促使用户选择。在此，当用户触摸显示/操作单元68上显示的取消按钮(在步骤S4中为“否”)时，使过滤器更换处理结束，并移向通常的元件安装动作。另一方面，当用户触摸显示/操作单元68上显示的更换执行按钮(在步骤S4中为“是”)时，使头单元5向吸嘴更换部60移动。并且，控制单元8对吸嘴更换部60赋予拆下指令。接收到该指令，吸嘴更换部60拆下安装于作为过滤器更换的对象的元件吸附头53的吸嘴51，而使吸嘴轴52的前端部露出(步骤S5)。进而，控制单元8执行过滤器拆卸工序(步骤S6)、过滤器供给工序(步骤S7)及过滤器安装工序(步骤S8)，而进行过滤器54的自动更换。

图8是示意性地表示过滤器拆卸工序的图。另外，在以下的说明中，限定为仅装备于头单元5的六个元件吸附头53中的一个元件吸附头53需要更换过滤器的案例并进行说明，但是在一次对多个元件吸附头53更换过滤器的情况下，基本动作也是相同的。

在该过滤器拆卸工序(步骤S6)中，头单元5从吸嘴更换部60向过滤器拆装部64移动，将作为过滤器更换的对象的元件吸附头53(吸嘴轴52的前端部露出的元件吸附头53)定位于过滤器拆卸位置的上方(步骤S61)。更加详细而言，如图8的(a)栏所示，将过滤器保持空间523的连通区域523a定位于圆筒部件642的铅垂上方。

接着，该元件吸附头53下降，使吸嘴轴52的前端部移动至压扁位置，由此如图8的(b)栏所示，圆筒部件642经由连通区域523a而进入到过滤器保持空间523中(步骤S62)。该状态下的元件吸附头53的高度位置为压扁位置，通过向该压扁位置移动，而过滤器54被圆筒部件642在上下方向Z上压扁，被压缩为上下方向Z上的尺寸比排出用开口524短的紧凑的形状。

当过滤器54的压扁结束时，元件吸附头53上升而离开压扁位置，排出用开口524被定位于与过滤器废弃箱66的回收用开口661相对的位置、即排出位置(步骤S63)。并且，在保持使元件吸附头53位于该排出位置的状态下向吸嘴轴52的管路521供给高压的压缩空气。由此，压缩后过滤器54被高压送风，从而经由过滤器排出用开口524向过滤器废弃箱66排出(步骤S64)。如此一来，当来自元件吸附头53的过滤器54的废弃结束时，元件吸附头53进一步上升而使过滤器拆卸工序结束(步骤S6)，执行接下来的过滤器供给工序(步骤S7)。

图9是示意性地表示过滤器供给工序的图。在该过滤器供给工序(步骤S7)中，如图9的(a)栏所示，头单元5从过滤器拆装部64向过滤器供给部62移动，将作为过滤器更换的对象的元件吸附头53定位于过滤器供给位置623的上方(步骤S71)。在该时刻下，定位部件627从过滤器供给位置623退避。接着，该元件吸附头53下降，使吸嘴轴52的开口522靠近过滤器供给壳体622的上端开口并相对配置(步骤S72)。如此一来，上述元件吸附头53能够经由开口522接收新的过滤器54。该状态下的元件吸附头53的高度位置为接收位置。另外，当定位于接收位置时，吸嘴轴52被调整为过滤器保持空间523经由过滤器排出用开口524而朝着过滤器定位部件626的状态。

另外，当元件吸附头53向接收位置的移动结束时，如图9的(b)栏所示，气缸625工作而使活塞前进。随之，过滤器定位部件626的前端部经由过滤器排出用开口524而插入到过滤器保持空间523中(步骤S73)。

接下来，保持插入状态，根据来自控制单元8的开指令而开启开闭阀624，向过滤器供给壳体622的下端开口供给高压的压缩空气。由此，收纳于过滤器供给壳体622的过滤器54被从下方侧高压送风，如图9的(c)栏所示，被收纳的全部过滤器54被向上方输送(步骤S74)。上述过滤器54中的最靠近过滤器供给位置623的、即最上位的过滤器54经由开口522及连通区域523a被送入到过滤器保持空间523中并被压入。此时，由于在过滤器保持空间523中预先存在有过滤器定位部件626，因此最上位的过滤器54被局部保持。

如此一来，当过滤器54的局部保持结束时，根据来自控制单元8的闭指令而关闭开闭阀624，压缩空气的供给停止。接着，如图9的(d)栏所示，气缸625使活塞后退。随之，过滤器定位部件626的前端部从过滤器保持空间523经由过滤器排出用开口524而从吸嘴轴52退避(步骤S75)。由此，元件吸附头53能够进行移动。

如此一来，元件吸附头53对过滤器54进行局部保持，为了在过滤器54向吸嘴轴52的前端部的供给结束时将该过滤器54全部压入到过滤器保持空间523中，执行接下来的过滤器安装工序(步骤S8)。

图10是示意性地表示过滤器安装工序的图。在该过滤器安装工序(步骤S8)中，头单元5从过滤器供给部62再次向过滤器拆装部64移动，将局部保持有新的过滤器54的元件吸附头53定位于过滤器安装位置(另外，在本实施方式中，与过滤器拆卸位置一致)的上方(步骤S81)。更加详细而言，局部保持状态下的过滤器54的前端面541被定位于圆筒部件642的铅垂上方。

接着，该元件吸附头53开始下降(步骤S82)。于是，在元件吸附头53下降至某种程度的时刻下，如图10的(a)栏所示，过滤器54的前端面541与圆筒部件642的顶部抵接。并且，通过进一步使元件吸附头53下降，而圆筒部件642的顶部将过滤器54向上方向Z1按压，将过滤器54压入到过滤器保持空间523中并对其进行保持(图10的(b)栏)。并且，当在步骤S83中控制单元8确认了过滤器54向过滤器保持空间523的安装结束(在步骤S83中为“是”)时，由控制单元8通过停止指令使元件吸附头53的下降停止，继而由控制单元8通过上升指令使元件吸附头53在过滤器保持空间523内保持有过滤器54的状态下上升(图10的(c)栏)，并使过滤器安装工序结束。

如此一来，当过滤器54的自动更换结束时，头单元5从过滤器拆装部64向吸嘴更换部60移动。并且，在通过上述自动更换安装了新的过滤器54的元件吸附头53的前端部安装吸嘴51(步骤S9)，使过滤器更换处理结束。另外，然后通过装备有新的过滤器54及吸嘴51的元件吸附头53来执行元件安装。

如以上那样，在本发明的第一实施方式中，在吸嘴轴52的前端部设有过滤器保持空间523，将过滤器54单体压入并安装于该过滤器保持空间523。该过滤器保持空间523经由设于吸嘴轴52的前端面的开口522而与吸嘴51连通，但是过滤器保持空间523中的与开口522相连的连通区域523a比过滤器54的吸嘴51侧的端面、即前端面541窄，因此例如，即使在如图3的(b)栏所示的拆下了吸嘴51的状态下，过滤器54也被牢固地保持在过滤器保持空间523中，能够可靠地防止从吸嘴轴52的前端部落下。这样，在本实施方式中，能够将过滤器54单体直接安装于吸嘴轴52的前端部，并能够可靠地进行保持，因此简化了过滤器安装。另外，能够防止与过滤器安装相伴的吸嘴轴52的直径变大。该做法能够避免与过滤器安装相伴的元件吸附头53大型化，能够在头单元5上配备很多元件吸附头53。其结果是，能够高效地进行元件安装。

另外，在上述实施方式中，在过滤器保持空间523内保持有过滤器54单体，在该过滤器保持空间523内使过滤器54压缩变形而使过滤器54的体积比过滤器保持空间523的容积小，继而通过高压送风将其从过滤器保持空间523排出。这样，能够简单地进行从吸嘴轴52拆下过滤器54的拆卸作业。

另外，在上述实施方式中，在过滤器供给部62中，能够将新的过滤器54的后端部插入到过滤器保持空间523中，而以简单的结构向吸嘴轴52的前端部供给过滤器。而且，通过组合过滤器定位部件626的进退动作与向过滤器供给壳体622的高压送风动作，能够从过滤器供给壳体622逐个供给过滤器54，能够可靠地进行过滤器供给。

另外，在上述实施方式中，构成为向过滤器保持空间523压入并安装过滤器54，因此能够通过极简单的作业向吸嘴轴52安装过滤器54。

另外，在元件安装装置100中，也可以独立地设置进行上述过滤器拆卸工序的专用的过滤器拆卸部和进行上述过滤器安装工序的专用的过滤器安装装置。然而，如上述实施方式那样构成为通过过滤器拆装部64来进行过滤器拆卸工序及过滤器安装工序。因此，能够简化装置结构。

另外，在上述实施方式中，通过组合过滤器拆卸工序、过滤器供给工序及过滤器安装工序这三个工序来进行过滤器54的更换，但是任意工序均如上所述为简单的作业，能够通过组合这些工序来进行过滤器54的自动更换。

另外，在上述实施方式中，当需要更换过滤器54而从用户接到更换指示(在步骤S4中为“是”)时，自动地更换过滤器54。由此，与必须通过用户的手作业来更换过滤器的以往的元件安装装置相比，能够缩短更换过滤器所需的时间，能够提高元件安装的作业效率。另外，能够大幅地减少用户的麻烦，成为对用户友好的装置。

B.第二实施方式

图11是表示在本发明的元件安装装置的第二实施方式中装备的过滤器拆装部的结构的图。该第二实施方式与第一实施方式较大的不同点为过滤器拆装部64的结构和过滤器54的拆下方法，其它结构与第一实施方式相同。因此，以下以不同点为中心进行说明，对于相同的结构标注相同的附图标记并省略说明。

在该第二实施方式中，在圆筒部件642上设有凹部643。如图11所示，在该凹部643中，在圆筒部件642的顶部形成有倒圆锥台形状的凹坑。并且，过滤器拆卸工序如下所述地执行。

首先，与第一实施方式中的过滤器拆卸工序相同，头单元5从吸嘴更换部60向过滤器拆装部64移动，将作为过滤器更换的对象的元件吸附头53(吸嘴轴52的前端部露出的元件吸附头53)定位于过滤器拆卸位置的上方(参照图11的(a)栏)。

接着，该元件吸附头53下降，使吸嘴轴52的前端部向前端压扁位置移动，由此，如图11的(b)栏所示，圆筒部件642经由连通区域523a进入到过滤器保持空间523中。但是，在第二实施方式的过滤器拆卸工序中，进入量设定得比第一实施方式少，圆筒部件642的前端部在从过滤器54的前端面541向后端面侧前进了1/3左右的位置处移动停止。因此，过滤器54的前端部被圆筒部件642压扁而被成形为仿形于圆筒部件642的凹部643的形状、即倒圆锥台形状，另一方面，后端部保持原本的圆筒形状，过滤器54被加工呈大致子弹形状。

如此一来，当过滤器54的成形结束时，元件吸附头53上升而离开前端压扁位置，并且向吸嘴轴52的管路521供给高压的压缩空气，对大致子弹形状的过滤器54吹送高压送风。此时，如图11的(c)栏所示，过滤器54经过连通区域523a、通路525及开口522而向过滤器拆装部64的基座部件641排出。另外，虽省略了图示，为了高效地回收被这样地排出的过滤器54，过滤器废弃箱66以使回收用开口661朝着基座部件641的状态配置于过滤器拆装部64的铅垂下方。

如以上那样，在第二实施方式中，通过将过滤器54的前端部加工为倒圆锥台形状而使前端部的宽度与连通区域523a的内径D3(图3)相比大幅地变窄，因此能够经由连通区域523a良好地排出过滤器54。另外，由于过滤器54的排出方向与高压送风的方向均与方向Z2一致，因此能够高效地排出过滤器54。另外，在上述第二实施方式中，同时开始元件吸附头53的上升与高压送风，但是也可以构成为在元件吸附头53上升后执行高压送风。

C.第三实施方式

图12是表示在本发明的元件安装装置的第三实施方式中装备的过滤器供给部的结构的图。该第三实施方式与第一实施方式较大的不同点为过滤器供给部62的结构和过滤器54的供给方法，其它结构与第一实施方式相同。因此，以下，以不同点为中心进行说明，对于相同的结构标注相同的附图标记并省略说明。

在该第三实施方式中，更换用的过滤器54与基于带式送料器41的元件供给相同地被供给。即，在第三实施方式的过滤器供给部62中，如图12所示，取代过滤器供给壳体622而使用压纹带628。在压纹带628上，以隔开一定间隔的方式在带主体628b上形成有向上方开口的凹部、即空洞状的过滤器收纳部628a，并且在各过滤器收纳部628a中收纳有更换用过滤器54。在带主体628b的一边侧，沿着其边缘部以一定间隔设有贯通带厚度方向的卡合孔628c，能够与省略图示的带输送用链轮卡合。

在此，当需要供给过滤器时，根据自控制单元8的输送指令而使链轮旋转，从而将带主体628b向过滤器供给位置623侧输送，并将最靠近过滤器供给位置623的过滤器54定位于过滤器供给位置623。另外，与此同时，头单元5从过滤器拆装部64向过滤器供给部62移动，将作为过滤器更换的对象的元件吸附头53定位于过滤器供给位置623的上方。接着，在该元件吸附头53下降之后，向吸嘴轴52供给负压，从而在吸嘴轴52的前端部局部保持过滤器54。

如以上那样，在第三实施方式中，能够使用与以往公知的带式送料器41相同的机构供给过滤器54。即，能够将带式送料器代用为过滤器供给部62。另外，也能够将如上述那样构成的过滤器供给部62安装于元件收纳部4a、4b。

另外，在上述第三实施方式中，未对压纹带628设置盖带，但是也可以构成为与元件供给用的带相同，通过盖带覆盖并保护过滤器收纳部628a，另一方面，在供给过滤器之前剥离盖带而进行过滤器供给。

D.第四实施方式

图13是表示在本发明的元件安装装置的第四实施方式中装备的过滤器供给部结构的图。该第四实施方式与第一实施方式较大的不同点为过滤器供给部62的结构和过滤器54的供给方法，其它结构与第一实施方式相同。因此，以下以不同点为中心进行说明，对于相同的结构标注相同的附图标记并省略说明。

在该第四实施方式中，在板状的矩阵板629的上表面呈矩阵状地保持有更换用的过滤器54，该矩阵板629作为过滤器供给部62发挥作用。并且，当需要供给过滤器时，头单元5从过滤器拆装部64向过滤器供给部62移动，将作为过滤器更换的对象的元件吸附头53定位在保持于矩阵板629的过滤器54中的一个过滤器54的上方。接着，在该元件吸附头53下降之后向吸嘴轴52供给负压，从而在吸嘴轴52的前端部局部保持过滤器54。

如以上那样，在第四实施方式中，与第一实施方式、第三实施方式中的过滤器供给部62相比，能够以简单的结构进行过滤器供给。

E.第五实施方式

图14是表示在本发明的元件安装装置的第五实施方式中装备的过滤器供给部的结构的图。该第五实施方式与第一实施方式较大的不同点为过滤器供给部62的结构和过滤器54的供给方法，其它结构与第一实施方式相同。因此，以下以不同点为中心进行说明，对于相同的结构标注相同的附图标记并省略说明。

在该第五实施方式中，与第一实施方式相同，在过滤器供给壳体622中收纳有过滤器54，多个过滤器54沿着上下方向Z排列成一列。另一方面，省略对通过高压送风而向上方移动的过滤器54进行定位的机构(气缸625、过滤器定位部件626、限位器627)。在这样构成的过滤器供给部62中，与第三实施方式和第四实施方式相同地通过施加于元件吸附头53的负压而产生的吸引力来局部保持过滤器54。即，当需要供给过滤器时，头单元5从过滤器拆装部64向过滤器供给部62移动，如图14的(a)栏所示，将作为过滤器更换的对象的元件吸附头53定位于过滤器供给位置623的上方。接着，在该元件吸附头53下降之后向吸嘴轴52供给负压，从而在吸嘴轴52的前端部局部保持过滤器54(图14的(b)栏)。然后，该元件吸附头53上升而离开过滤器供给位置623(图14的(c)栏)。

如以上那样，在第五实施方式中，能够以比第一实施方式简单的结构进行过滤器供给。

F.第六实施方式

在上述第一实施方式至第五实施方式中使用了圆筒形状的过滤器54，但是过滤器形状不限于此，例如，能够对使用圆盘形状的过滤器54的装置应用本发明。以下，参照附图并说明使用圆盘形状的过滤器54的元件安装装置100。

图15是示意性地表示本发明的元件安装装置的第六实施方式中的吸嘴轴的前端部及过滤器的构造的图，在该图的(a)栏中记载了从吸嘴轴52的前端部拆下了过滤器54的状态，另一方面，在该图的(b)栏中记载了在吸嘴轴52的前端部安装有过滤器54的状态。

在第六实施方式中，也与第一实施方式至第五实施方式相同地对吸嘴轴52设有两个开口522、524。其中，开口524形成于吸嘴轴52的前端部的侧面，作为排出口发挥作用。另外，在本实施方式中，开口524在上下方向Z上的尺寸H1形成得比过滤器54的尺寸H2稍窄，还作为用于将过滤器54压入到过滤器保持空间523中的压入口发挥作用。

另一个开口522形成于吸嘴轴52的前端面，当将吸嘴51安装于吸嘴轴52时，发挥使吸嘴51的吸嘴支架511与过滤器保持空间523连通的功能。另外，开口522经由沿着Z方向延伸的通路525而与过滤器保持空间523连通。另外，过滤器保持空间523的连通区域523a、开口522及通路525的尺寸关系与第一实施方式至第五实施方式相同。由此，如上所述，当经由开口524而向过滤器保持空间523压入过滤器54时，过滤器54的下表面周缘部卡止于连通区域523a的周缘部，在供给正压时过滤器54也被牢固地保持在过滤器保持空间523内。另外，在过滤器保持空间523的Z1方向侧，与管路521相连的连通区域523b的内径D4也比过滤器54的外径D2稍窄。因此，过滤器54的上表面周缘部卡止于连通区域523b的周缘部，在供给负压时过滤器54也被牢固地保持在过滤器保持空间523内。

在第六实施方式中，如上所述，经由开口524供给过滤器54，进而将其压入到过滤器保持空间523中，从而向吸嘴轴52的前端部安装过滤器54。因此，在第六实施方式的元件安装装置100中，取代过滤器供给部62而设有图16所示的过滤器供给安装部63，并且过滤器拆装部64专门进行过滤器54的压扁。此外，其它结构与第一实施方式相同。由此，以下以与第一实施方式不同的点为中心进行说明，对于相同的结构标注相同的附图标记并省略说明。

图16是表示在本发明的元件安装装置的第六实施方式中装备的过滤器供给安装部的结构的图。另外，图17是示意性地表示基于图16的过滤器供给部的过滤器供给安装动作的图。另外，图17的上段图中的椭圆区域R是切去一部分顶板而表示过滤器供给安装部63的内部构造的区域。

如图16所示，过滤器供给安装部63具备层叠基座板631和顶板632而成的主体部633。在基座板631及顶板632上分别设有贯通孔。并且，基座板631与顶板632在这些贯通孔以沿上下方向Z一致的方式重叠的状态下卡合，由此，构成为供吸嘴轴52的前端部插入自如的中空形状的作业空间634。

槽部635以与该作业空间634连通的方式在基座板631的上表面部沿着水平方向延伸设置。在该槽部635内沿着槽部635的长边方向滑动自如地设有棒状的推压部件636。另外，在基座板631的上表面部，另一槽部637在与槽部635正交的水平方向上延伸设置，如图17所示，槽部637在作业空间634跟前与槽部635连接而形成交叉区域638。该槽部637的宽度比过滤器54的外径稍宽，能够使过滤器54排列成一列并将其向交叉区域638引导。

如图17所示，推压部件636的作业空间侧端部被以比过滤器54的曲率半径稍大的曲率半径加工为圆弧状。另外，虽省略了对于该图的图示，但是往复驱动机构与推压部件636连接，当接收到来自控制单元8的往路移动指令时，使推压部件636向作业空间634移动。由此，存在于交叉区域638的过滤器54被推压部件636向作业空间634推出。另一方面，当接收到来自控制单元8的复路移动指令时，使推压部件636离开作业空间634。

这样构成的过滤器供给安装部63如下地进行动作，而执行过滤器供给工序和过滤器安装工序。具体而言，通过控制单元8控制装置各部而执行以下的动作。首先，头单元5向过滤器供给安装部63移动，将作为过滤器更换的对象的元件吸附头53定位于作业空间634的上方(参照图17的(a)栏)。

接着，该元件吸附头53在使吸嘴轴52的开口524朝向槽部637的状态下下降，吸嘴轴52的前端部插入到作业空间634中。由此，如图17的(b)栏所示，过滤器保持空间523经由开口524靠近交叉区域638并与其相对，并能够经由开口524接收新的过滤器54。在该状态下，对元件吸附头53供给负压，槽部67内的过滤器54被朝向交叉区域638拉近。由此，最靠近交叉区域638的过滤器54被供给至过滤器保持空间523与推压部件636之间，过滤器54的一部分插入到过滤器保持空间523(中图17的(b)栏)。如此一来，进行过滤器54的供给(过滤器供给工序)。

并且，推压部件636通过往复驱动机构进行往路移动，将上述过滤器54从交叉区域638向开口524按压，并压入到过滤器保持空间523中。由此，过滤器54向吸嘴轴52的安装结束(过滤器安装工序)。于是，推压部件636通过往复驱动机构进行复路移动而从交叉区域638退避。

当在这样构成的元件安装装置100中需要更换过滤器54而从用户接收到更换指示(在步骤S4中为“是”)时，在与第一实施方式相同地执行过滤器拆卸工序之后，执行基于上述过滤器供给安装部63的过滤器供给工序和过滤器安装工序。由此，在第六实施方式中也能够自动地更换过滤器54。

如以上那样，在第六实施方式中，在处理圆盘形状的过滤器54的点上与第一实施方式不同，但是在吸嘴轴52的前端部设有过滤器保持空间523，将过滤器54单体压入并安装于该过滤器保持空间523。另外，过滤器拆卸工序大致相同。由此，能够获得与第一实施方式相同的作用效果。

另外，在第六实施方式中，通过过滤器供给安装部63连续地进行过滤器供给工序和过滤器安装工序，因此与第一实施方式相比，能够缩短更换过滤器所需的时间、即更换过滤器的生产节拍时间。

G.第七实施方式

图18是表示本发明的元件安装装置的第七实施方式的俯视图。另外，图19A是表示在图18的元件安装装置中装备的过滤器更换装置的整体结构的图。图19B是图19A的过滤器更换装置的局部剖视图。该第七实施方式与第一实施方式较大的不同点为过滤器供给部62、过滤器拆装部64及过滤器废弃箱66被一体化而构成过滤器更换装置70这一点及该过滤器更换装置70拆装自如地安装于元件收纳部4a、4b这一点，其它结构与第一实施方式相同。由此，以下以与第一实施方式不同的点为中心进行说明，对于相同的结构标注相同的附图标记并省略说明。

过滤器更换装置70具有构成为相对于元件收纳部4a、4b拆装自如的壳体部71。作为该壳体部71，例如也可以沿用带式送料器41的送料器主体。并且，如图19A所示，在壳体部71的前方侧、即靠近头单元5的一侧固定有两个块72、73。并且，如图19B所示，在一个块72中设有过滤器供给部62。另外，在另一个块73中设有过滤器拆装部64和过滤器废弃箱66。

另外，在壳体部71的中央部固定有压缩空气供给部74、过滤器供给部75及过滤器回收部76。并且，压缩空气供给部74向过滤器供给部62供给压缩空气而执行过滤器供给动作。在该实施方式中，作为过滤器定位部件626的驱动源使用双动型的气缸625。形成于该气缸625的左端侧的左侧空间625a及形成于左右中间的中央空间625b与压缩空气供给部74连接。并且，通过从压缩空气供给部74向左侧空间625a供给压缩空气，而过滤器定位部件626向过滤器供给部62的上方位置前进。另一方面，通过从压缩空气供给部74向中央空间625b供给压缩空气，而过滤器定位部件626后退而从过滤器供给部62的上方位置退避。另外，过滤器供给部75向过滤器供给部62供给更换用的过滤器54而补充过滤器补充。此外，过滤器供给部62向过滤器废弃箱66赋予负压而回收使用后的过滤器54。

如以上那样，在第七实施方式中，通过使过滤器供给部62、过滤器拆装部64及过滤器废弃箱66一体化而得到紧凑的过滤器更换装置70，能够实现元件安装装置100的小型化。

另外，过滤器更换装置70与带式送料器41相同地拆装自如地安装于元件收纳部4a、4b。即，通过构成为与元件相同地对过滤器54进行处理，无需对以往广为普及的元件安装装置进行改造，仅与带式送料器相同地将过滤器更换装置70安装于元件收纳部4a、4b即可自动地进行过滤器更换。这样，能够通过使用过滤器更换装置70而简单地提高已经处于作业中的元件安装装置的功能。

H.其它

另外，本发明不限于上述实施方式，能够在不脱离其主旨的范围内在上述内容以外进行各种变更。例如，在上述第一实施方式至第七实施方式中，在压缩了过滤器54之后通过高压送风排出压缩后过滤器54，但是也可以在不进行压缩的情况下通过高压送风排出过滤器54。

另外，在上述实施方式中，安装于吸嘴轴52的前端部的过滤器54是圆筒形状、圆盘形状，但是过滤器形状不限于此，本发明能够应用于能够安装于元件吸附头的所有过滤器。

另外，在上述第一实施方式至第五实施方式及第七实施方式中，过滤器拆装部64被兼作过滤器安装部及过滤器拆卸部，但是也可以独立地设置过滤器安装部及过滤器拆卸部。

另外，在上述实施方式中，将过滤器保持构造、过滤器取出方法、过滤器供给方法、过滤器更换方法及过滤器更换装置应用于元件安装装置，但是它们的应用对象不限于元件安装装置，能够应用于使用元件吸附头的所有装置，例如元件检查装置等。

如以上所说明的那样，在上述实施方式中，方向Z相当于本发明的“外嵌方向”，吸嘴51相对于吸嘴轴52进行外嵌的外嵌区域的长度L1相当于本发明的“外嵌长度”。另外，过滤器54的前端面541相当于本发明的“过滤器的吸嘴侧的端面”。

如以上举例说明了具体的实施方式那样，本发明还可以构成为，例如吸嘴的后端部外嵌并安装于吸嘴轴的前端部，由此，能够缩短元件吸附头。特别是在吸嘴的后端部相对于吸嘴轴的前端部进行外嵌的外嵌方向上，过滤器的长度比吸嘴的后端部相对于吸嘴轴的前端部进行外嵌的外嵌长度短的构造能够有效地缩短元件吸附头。

工业上的实用性

本发明能够应用于在吸附元件的元件吸附头的内部保持过滤器的所有过滤器保持技术。

附图标记说明

51…吸嘴

52…吸嘴轴

53…元件吸附头

54…过滤器

100…元件安装装置

110…基板

522…开口

523a…连通区域

541…(过滤器的)前端面

Claims (4)

1.一种过滤器保持构造，在吸嘴拆装自如地安装于吸嘴轴的前端部的元件吸附头中保持过滤器，所述过滤器保持构造的特征在于，

在所述吸嘴轴的前端部设有开口，所述开口的内径比所述过滤器的外径大，

在所述吸嘴轴的前端部设有过滤器保持空间及使所述过滤器保持空间与所述开口连通的通路，

所述通路的内径随着从所述开口进入所述过滤器保持空间而变细，

所述过滤器保持空间包括与所述通路相连的连通区域、和在所述连通区域的吸嘴侧的相反侧与该连通区域相连的保持所述过滤器的过滤器保持区域，

所述过滤器保持空间的所述连通区域比所述过滤器的吸嘴侧的端面窄，

经由所述开口、所述通路及所述连通区域将所述过滤器压入到所述过滤器保持空间中的所述过滤器保持区域，并且，使被压入到所述过滤器保持区域的所述过滤器的吸嘴侧的端面的周缘部卡止于所述吸嘴轴的前端部中的包围所述连通区域的区域，从而在所述吸嘴轴的前端部保持所述过滤器。

2.根据权利要求1所述的过滤器保持构造，其特征在于，

所述吸嘴的后端部外嵌并安装于所述吸嘴轴的前端部。

3.根据权利要求2所述的过滤器保持构造，其特征在于，

在所述吸嘴的后端部相对于所述吸嘴轴的前端部的外嵌方向上，所述过滤器的长度比所述吸嘴的后端部相对于所述吸嘴轴的前端部的外嵌长度短。

4.一种元件安装装置，通过吸嘴拆装自如地安装于吸嘴轴的前端部的元件吸附头来保持元件并向基板安装，所述元件安装装置的特征在于，

在所述吸嘴轴的前端部设有开口，

在所述吸嘴轴的前端部设有过滤器保持空间及使所述过滤器保持空间与所述开口连通的通路，

所述通路的内径随着从所述开口进入所述过滤器保持空间而变细，

所述过滤器保持空间包括与所述通路相连的连通区域、和在所述连通区域的吸嘴侧的相反侧与该连通区域相连的保持所述过滤器的过滤器保持区域，

所述过滤器保持空间的所述连通区域比位于所述过滤器保持空间的过滤器的所述吸嘴侧的端面窄，

所述开口的内径比所述过滤器的外径大，

经由所述开口、所述通路及所述连通区域将所述过滤器压入到所述过滤器保持空间中的所述过滤器保持区域，并且，使被压入到所述过滤器保持区域的所述过滤器的吸嘴侧的端面的周缘部卡止于所述吸嘴轴的前端部中的包围所述连通区域的区域，从而在所述吸嘴轴的前端部保持所述过滤器。

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