CN113446861B - 热处理装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供热处理装置，能够防止利用过热水蒸汽进行被处理物的热处理的热处理装置的结构复杂化，并且能够抑制在进行被处理物的热处理的热处理室内产生气氛的停滞。热处理装置(1)具有热处理室(11)、水蒸汽供给部(13)以及水蒸汽排出部(15)。热处理室设置有供被处理物(10)搬入的入口(31)和供被处理物搬出的出口(32)，并且进行从入口向出口运送的被处理物的热处理。水蒸汽供给部设置在热处理室的加热区域(HR)，向热处理室内供给过热水蒸汽。水蒸汽排出部在热处理室中相对于水蒸汽供给部分别设置在入口侧和出口侧，将热处理室内的过热水蒸汽向热处理室的外部排出。

Description

热处理装置

技术领域

本发明涉及通过过热水蒸汽加热被处理物来进行被处理物的热处理的热处理装置。

背景技术

以往，已知有利用过热水蒸汽加热被处理物来进行被处理物的热处理的热处理装置(例如，参照专利文献1)。专利文献1所记载的热处理装置具有作为加热炉而设置的进行被处理物的热处理的热处理室，在热处理室内形成用于加热被处理物的加热区域。热处理室内的加热区域被划分为从被处理物的运送方向的上游侧向下游侧依次相邻设置的多个区域。并且，专利文献1的热处理装置构成为，被处理物在各区域内被依次运送的同时被过热水蒸汽加热，进行被处理物的热处理。

另外，专利文献1的热处理装置构成为，在热处理室内的多个区域分别供给作为过热水蒸汽的水蒸汽。更具体而言，在热处理室中的各区域的上表面设置开孔部，从各区域的上表面的开孔部向各区域内供给作为过热水蒸汽的水蒸汽。另外，在专利文献1的热处理装置中，在热处理室的各区域的下表面设置有排气孔。由此，专利文献1的热处理装置构成为，在热处理室内的各区域中，从上表面的开孔部供给并通过各区域内的水蒸汽从下表面的排气孔排出。

专利文献1：日本特开2015-2325号公报

专利文献1所公开的热处理装置构成为，在热处理室内沿被处理物的运送方向排列的多个区域中，分别从上表面的开孔部供给过热水蒸汽，并从下表面的排气孔排出水蒸汽。因此，热处理室内的多个区域分别需要用于向热处理室内供给过热水蒸汽、然后将用于加热被处理物的水蒸汽向外部排出的结构，存在热处理装置的结构复杂化的问题。

另外，专利文献1的热处理装置如上所述，在热处理室内的多个区域的每一个区域中，从上表面的开孔部供给过热水蒸汽，从下表面的排气孔排出水蒸汽。因此，在热处理室内的各区域中，水蒸汽从上表面的开孔部向下表面的排气孔流动，形成在每个区域中偏置地从上方向下方流动的水蒸汽的流动。由此，在热处理室内，难以产生沿着与被处理物的运送方向平行的方向的水蒸汽的流动。由此，沿着与被处理物的运送方向平行的方向的水蒸汽的流动的偏差较大，容易产生水蒸汽的流动停滞的区域，其结果，在热处理室内容易产生气氛停滞的区域。

若在热处理室内容易产生气氛的停滞，则在热处理室内容易产生过热水蒸汽的分布不均，存在在同一热处理室内进行热处理的多个被处理物之间容易产生热处理不均的问题。另外，在热处理时从被处理物气化了一部分成分而产生气体的处理的情况下，如果在热处理室内产生滞留，则在产生滞留的区域中，从被处理物产生的气体滞留。而且，如果发生气氛的停滞，在热处理时从被处理物产生的气体滞留，则存在加热区域内的过热水蒸汽的纯度降低，导致热处理效率降低的问题。另外，从被处理物产生并滞留在气氛的停滞区域的气体不从热处理室排出，随着热处理结束时的温度的降低而液化，在热处理室内的顶面或壁面结露。进而，在重新开始热处理时，在热处理室内的顶面或壁面结露的成分滴落到被处理物上，存在对被处理物产生污染的问题。

另外，作为热处理时从被处理物气化了一部分成分而产生气体的处理，例如有烧结处理。在烧结处理中，进行如下处理：对通过含有油脂成分的粘合剂一体化的作为被烧结体的被处理物进行加热，使粘合剂气化而去除。在该处理时，若气化的粘合剂滞留在气氛的停滞区域而不被排出，则随着热处理结束时的温度的降低而液化，在热处理室内的顶面或壁面结露。而且，在重新开始热处理时，在热处理室内的顶面或壁面结露的粘合剂的成分滴落到被处理物上，在被处理物上产生污染。

如上所述，如果在热处理室内容易发生气氛的停滞，则在同一热处理室内进行热处理的多个被处理物之间容易产生热处理的不均，进而，还容易产生伴随从被处理物中产生的气体的滞留的热处理效率的降低以及被处理物的污染的发生的问题。因此，希望实现抑制发生热处理室内的气氛停滞的热处理装置。

发明内容

本发明鉴于上述情况，其目的在于提供一种热处理装置，能够防止利用过热水蒸汽进行被处理物的热处理的热处理装置的结构的复杂化，并且能够抑制在进行被处理物的热处理的热处理室内产生气氛的停滞。

(1)为了解决上述课题，本发明的一个方面的热处理装置通过过热水蒸汽对被处理物进行加热，来进行该被处理物的热处理。而且，本发明的一个方面的热处理装置具有：热处理室，其设置有供所述被处理物搬入的入口和供所述被处理物搬出的出口，该热处理室进行从所述入口向所述出口运送的所述被处理物的热处理；水蒸汽供给部，其设置于所述热处理室中的加热区域，向所述热处理室内供给过热水蒸汽，该加热区域是进行所述被处理物的加热的区域；以及水蒸汽排出部，其在所述热处理室中相对于所述水蒸汽供给部分别设置于所述入口侧和所述出口侧，将所述热处理室内的过热水蒸汽向所述热处理室的外部排出。

根据该结构，利用从设置在热处理室的加热区域的水蒸汽供给部向热处理室内供给的过热水蒸汽加热被处理物，进行被处理物的热处理。并且，用于被处理物的加热的过热水蒸汽从设置在加热区域的水蒸汽供给部向分别设置在热处理室的入口侧和出口侧的水蒸汽排出部流动，从水蒸汽排出部向热处理室的外部排出。因此，在热处理室中，形成有从加热区域内的水蒸汽供给部向入口侧流动而从水蒸汽排出部向外部排出的水蒸汽的流动、和从加热区域内的水蒸汽供给部向出口侧流动而从水蒸汽排出部向外部排出的水蒸汽的流动。而且，在热处理室内，从加热区域内的水蒸汽供给部朝向入口侧以及出口侧，分别沿着与被处理物的运送方向平行的方向形成流速偏差少的更均匀的水蒸汽的流动。由此，在热处理室内，难以产生水蒸汽的流动停滞的区域，其结果，在热处理室内难以产生气氛停滞的区域。

因此，根据上述结构，能够抑制在进行被处理物的热处理的热处理室内发生气氛的停滞。另外，根据上述结构，由于能够抑制在热处理室内发生气氛的停滞，所以能够抑制在同一热处理室内进行热处理的多个被处理物之间产生热处理的不均，并且，还能够抑制伴随从被处理物中产生的气体的滞留而产生的热处理效率的降低以及被处理物的污染。

另外，根据上述结构，通过将水蒸汽供给部设置在热处理室的加热区域、将水蒸汽排出部设置在热处理室的入口侧以及出口侧的简单结构，能够实现能够抑制热处理室内的气氛的停滞的发生的热处理装置。因此，能够防止利用过热水蒸汽进行被处理物的热处理的热处理装置的结构的复杂化。

如上所述，根据上述结构，能够提供一种热处理装置，该热处理装置能够防止利用过热水蒸汽对被处理物进行热处理的热处理装置的结构复杂化，并且能够抑制在对被处理物进行热处理的热处理室内产生气氛的停滞。

(2)该热处理装置还具有向所述热处理室内供给惰性气体和空气中的至少任意一种的气体供给部，所述入口相对于所述热处理室的外部开放，该热处理装置具有入口侧气体供给部作为所述气体供给部，该入口侧气体供给部设置于比在所述热处理室中相对于所述水蒸汽供给部设置于所述入口侧的所述水蒸汽排出部更靠所述入口侧的位置。

根据该结构，由于热处理室的入口相对于外部开放，因此能够连续且迅速且容易地进行被处理物向热处理室内的搬入作业。由此，能够使热处理工艺连续化而实现热处理的作业效率的提高。而且，根据上述结构，除了入口开放之外，还设置有入口侧气体供给部，该入口侧气体供给部设置于比水蒸汽排出部更靠入口侧的位置向热处理室内供给惰性气体和空气中的至少任意一种气体，该水蒸汽排出部相对于水蒸汽供给部设置在入口侧。因此，通过从入口侧气体供给部供给的气体，能够在向外部开放的入口与水蒸汽排出部之间分离热处理室内的气氛。即，能够将从水蒸汽供给部到入口侧气体供给部的区域的气氛与从向外部开放的入口到入口侧气体供给部的区域的气氛分离。由此，在为了提高热处理的作业效率而入口开放的热处理装置中，能够将从水蒸汽供给部到水蒸汽排出部的区域的气氛相对于外部隔断，能够高效地进行加热区域中的利用过热水蒸汽的被处理物的热处理。

(3)所述入口侧气体供给部设置有一对，在所述热处理室中，在一对所述入口侧气体供给部之间设置有将所述热处理室内的气体向所述热处理室的外部排出的入口侧排气部。

根据该结构，入口侧气体供给部设置有一对，在它们之间设置有入口侧排气部。因此，从水蒸汽排出部向入口侧，按照水蒸汽排出部、一对入口侧气体供给部的一方、入口侧排气部、一对入口侧气体供给部的另一方的顺序配置这些部件。根据该结构，以在水蒸汽排出部未完全排出而泄漏的方式向入口侧流动的少量水蒸汽与从一对入口侧气体供给部的一方供给的气体混合而被稀释。而且，与从一对入口侧气体供给部的一方供给的气体混合而稀释的水蒸汽从入口侧排气部向外部排出。因此，以从水蒸汽排出部泄漏的方式向入口侧流动的少量水蒸汽也从入口侧排气部排出。其结果是，能够防止水蒸汽流入入口侧排气部和入口之间的、温度较低的区域。由此，能够防止水蒸汽流入入口侧排气部与入口之间的温度较低的区域而产生结露。通过防止结露的产生，防止水分滴落到从入口搬入的被处理物上而润湿被处理物，对被处理物的热处理状态产生影响。另外，根据上述结构，通过从一对入口侧气体供给部的另一方供给的气体，即，通过从配置在入口侧排气部和入口之间的入口侧气体供给部供给的气体，能够更可靠地分离并阻断从水蒸汽供给部到入口侧气体供给部的区域的气氛和从入口到入口侧气体供给部的区域的气氛。

(4)该热处理装置还具有向所述热处理室内供给惰性气体和空气中的至少任意一种的气体供给部，所述出口相对于所述热处理室的外部开放，该热处理装置具有出口侧气体供给部作为所述气体供给部，该出口侧气体供给部设置于比在所述热处理室中相对于所述水蒸汽供给部设置于所述出口侧的所述水蒸汽排出部更靠所述出口侧的位置。

根据该结构，由于热处理室的出口相对于外部开放，所以能够连续迅速且容易地进行被处理物从热处理室的搬出作业。由此，能够使热处理工艺连续化而实现热处理的作业效率的提高。而且，根据上述结构，除了出口开放之外，还设置有出口侧气体供给部，该出口侧气体供给部设置于比水蒸汽排出部更靠出口侧的位置向热处理室内供给惰性气体和空气中的至少任意一种气体，该水蒸汽排出部相对于水蒸汽供给部设置在出口侧。因此，通过从出口侧气体供给部供给的气体，能够在向外部开放的出口与水蒸汽排出部之间分离热处理室内的气氛。即，能够将从水蒸汽供给部到出口侧气体供给部的区域的气氛与从向外部开放的出口到出口侧气体供给部的区域的气氛分离。由此，在为了提高热处理的作业效率而出口开放的热处理装置中，能够将从水蒸汽供给部到水蒸汽排出部的区域的气氛相对于外部隔断，能够高效地进行加热区域中的利用过热水蒸汽的被处理物的热处理。

(5)所述出口侧气体供给部设置有一对，在所述热处理室中，在一对所述出口侧气体供给部之间设置有将所述热处理室内的气体向所述热处理室的外部排出的出口侧排气部。

根据该结构，出口侧气体供给部设置有一对，在它们之间设置有出口侧排气部。因此，从水蒸汽排出部向出口侧，按照水蒸汽排出部、一对出口侧气体供给部的一方、出口侧排气部、一对出口侧气体供给部的另一方的顺序配置这些部件。根据该结构，以在水蒸汽排出部未完全排出而泄漏的方式向出口侧流动的少量水蒸汽与从一对出口侧气体供给部的一方供给的气体混合而被稀释。而且，与从一对出口侧气体供给部的一方供给的气体混合而稀释的水蒸汽从出口侧排气部向外部排出。因此，以从水蒸汽排出部泄漏的方式向出口侧流动的少量水蒸汽也从出口侧排气部排出。其结果是，能够防止水蒸汽流入出口侧排气部和出口之间的、温度较低的区域。由此，能够防止水蒸汽流入出口侧排气部与出口之间的温度较低的区域而产生结露。通过防止结露的发生，在被处理物从出口搬出时，防止水分滴在被处理物上而润湿被处理物。另外，根据上述结构，通过从一对出口侧气体供给部的另一方，即，配置在出口侧排气部和出口之间的出口侧气体供给部供给的气体，能够更可靠地分离并阻断从水蒸汽供给部到出口侧气体供给部的区域的气氛和从出口到出口侧气体供给部的区域的气氛。

(6)所述水蒸汽供给部具有在所述被处理物的运送方向上相互对置配置的一对喷嘴部，一对所述喷嘴部分别构成为朝向一对所述喷嘴部的对置的中间位置侧吹出过热水蒸汽。

根据该结构，从水蒸汽供给部的一对喷嘴部分别吹出的过热水蒸汽向对置的一对喷嘴部的中间位置侧流动。在对置的一对喷嘴部之间的区域中，存在设置有隔板的情况以及没有设置这样的隔板的情况，该隔板构成为部分地限制与被处理物的运送方向平行的方向上的气体的流动。在设置有隔板的情况下，从各喷嘴部吹出并朝向一对喷嘴部的中间位置侧流动的各过热水蒸汽与隔板碰撞，在加热区域中在与被处理物的运送方向垂直的截面的整体范围内扩散，并且以在与被处理物的运送方向平行的方向上反转折返的方式流动。另外，在未设置隔板的情况下，从各喷嘴部吹出并朝向一对喷嘴部的中间位置侧流动的各过热水蒸汽相互碰撞，在加热区域中在与被处理物的运送方向垂直的截面的整体范围内扩散，并且以在与被处理物的运送方向平行的方向上反转折返的方式流动。因此，在设置有隔板的情况和未设置有隔板的情况下，从各喷嘴部吹出的过热水蒸汽朝向一对喷嘴部的中间位置侧流动并反转后，在加热区域中在与被处理物的运送方向垂直的截面的整体范围内扩散的状态下，朝向与一对喷嘴部的中间位置侧相反的方向并沿着与被处理物的运送方向平行的方向流动。即，从一对喷嘴部分别吹出的过热水蒸汽在一对喷嘴部的中间位置侧流动反转后，在扩展到加热区域的整个截面的状态下，沿着与被处理物的运送方向平行的方向沿着相互远离的方向流动。因此，从一对喷嘴部的一方吹出的过热水蒸汽以从一对喷嘴部的中间位置侧向热处理室的入口侧扩展到加热区域的整个截面的状态流动。并且，从一对喷嘴部的另一方吹出的过热水蒸汽以从一对喷嘴部的中间位置侧向热处理室的出口侧扩展到加热区域的整个截面的状态流动。由此，在热处理室内，在从一对喷嘴部的中间位置侧向入口侧以及出口侧分别沿与被处理物的运送方向平行的方向扩展到加热区域的整个截面的状态下，形成流速偏差更少的更均匀的水蒸汽的流动。由此，在热处理室内，更难以产生水蒸汽的流动停滞的区域，其结果，在热处理室内更难以产生气氛停滞的区域。因此，根据上述结构，能够进一步抑制在热处理室内发生气氛的停滞。

(7)在一对所述入口侧气体供给部各自与所述入口侧排气部之间分别设置有入口侧隔板，所述入口侧隔板构成为部分地限制所述热处理室中的与所述被处理物的运送方向平行的方向上的气体的流动。

根据该结构，在一对入口侧气体供给部的各自与入口侧排气部之间，设置有部分地限制与被处理物的运送方向平行的方向上的气体的流动的入口侧隔板。因此，在夹着入口侧排气部而配置的一对入口侧气体供给部之间，能够维持以气体能够流动的方式使气氛连通的状态，并且能够形成更容易分离气氛的状态。由此，能够更有效地分离并隔断从水蒸汽供给部到入口侧气体供给部的区域的气氛和从入口到入口侧气体供给部的区域的气氛。

(8)在一对所述出口侧气体供给部各自与所述出口侧排气部之间分别设置有出口侧隔板，所述出口侧隔板构成为部分地限制所述热处理室中的与所述被处理物的运送方向平行的方向上的气体的流动。

根据该结构，在一对出口侧气体供给部的各自与出口侧排气部之间，设置有部分地限制与被处理物的运送方向平行的方向上的气体的流动的出口侧隔板。因此，在夹着出口侧排气部而配置的一对出口侧气体供给部之间，能够维持以气体能够流动的方式使气氛连通的状态，并且能够形成更容易分离气氛的状态。由此，能够更有效地分离并隔断从水蒸汽供给部到出口侧气体供给部的区域的气氛和从出口到出口侧气体供给部的区域的气氛。

根据本发明，能够防止利用过热水蒸汽进行被处理物的热处理的热处理装置的结构的复杂化，并且能够抑制在进行被处理物的热处理的热处理室内产生气氛的停滞。

附图说明

图1是示意性地示出本发明的实施方式的热处理装置的一例的图。

图2是示意地示出热处理装置的水蒸汽供给部、水蒸汽供给系统、水蒸汽排出部、水蒸汽排出系统、气体供给部、气体供给系统等的图。

图3是放大示出热处理装置的一部分的图，图3的(A)是放大示出热处理装置中的热处理室的入口及其附近的图，图3的(B)是放大示出热处理装置中的热处理室的出口及其附近的图。

图4是放大示出热处理装置的热处理室中的水蒸汽供给部及其附近的图。

图5是热处理装置的一部分的示意剖视图，图5的(A)是示出从图4的A-A线箭头位置观察的状态的图，图5的(B)是示出从图4的B-B线箭头位置观察的状态的图。

图6是放大示出热处理装置的热处理室中的入口侧水蒸汽排出部以及入口侧气体供给部及其附近的图。

图7是热处理装置的一部分的示意剖视图，图7的(A)是示出从图6的C-C线箭头位置观察的状态的图，图7的(B)是示出从图6的D-D线箭头位置观察的状态的图。

图8是放大示出热处理装置的热处理室中的出口侧水蒸汽排出部和出口侧气体供给部及其附近的图。

图9是热处理装置的一部分的示意剖视图，图9的(A)是示出从图8的E-E线箭头位置观察的状态的图，图9的(B)是示出从图8的F-F线箭头位置观察的状态的图。

图10是用于说明热处理装置中的热处理室内的过热水蒸汽和惰性气体的流动的图。

图11是用于说明热处理装置中的热处理室内的过热水蒸汽和惰性气体的流动的图，图11的(A)是说明水蒸汽供给部周围的区域中的过热水蒸汽和惰性气体的流动的图，图11的(B)是说明入口侧水蒸汽排出部和入口侧气体供给部周围的区域中的过热水蒸汽和惰性气体的流动的图，图11的(C)是说明出口侧水蒸汽排出部和出口侧气体供给部周围的区域中的过热水蒸汽和惰性气体的流动的图。

标号说明

1：热处理装置；10：被处理物；11：热处理室；13：水蒸汽供给部；15，15a、15b：水蒸汽排出部；17：气体供给部；19：入口侧排气部；20：出口侧排气部；31：入口；32：出口；36a、36b：入口侧气体供给部(气体供给部)；37a、37b：出口侧气体供给部(气体供给部)；HR：加热区域。

具体实施方式

以下，参照附图对用于实施本发明的方式进行说明。

[热处理装置的概略]

图1是示意性地示出本发明的实施方式的热处理装置1的一例的图。图2是示意地示出热处理装置1的水蒸汽供给部13、水蒸汽供给系统14、水蒸汽排出部15、水蒸汽排出系统(16a、16b)、气体供给部17、气体供给系统18等的图。图3是放大示出热处理装置1的一部分的图，图3的(A)是放大示出热处理装置1的热处理室11的入口31及其附近的图，图3的(B)是放大示出热处理装置1的热处理室1的出口32及其附近的图。

参照图1至图3，热处理装置1构成为用过热水蒸汽加热金属制的被处理物10来进行被处理物10的热处理的装置。另外，过热水蒸汽是被加热到比沸点高的温度的水蒸汽，是比沸点高的温度的干燥水蒸汽。热处理装置1具有热处理室11，该热处理室11设置有供被处理物10搬入的入口31和供被处理物10搬出的出口32。而且，在热处理装置1中，在热处理室11内，一边从入口31向出口32运送被处理物10，一边用过热水蒸汽加热，进行被处理物10的热处理。作为在热处理装置1中使用过热水蒸汽进行的对被处理物10的热处理，例如可以例示脱脂处理、烧结处理。

在热处理装置1中进行脱脂处理的情况下，在热处理装置1中的处理前的处理工序中实施了机械加工等的被处理物10被搬入热处理装置1。并且，在热处理装置1中，附着在被处理物10上的油脂被过热水蒸汽加热而气化，从被处理物10上去除。另外，在热处理装置1中进行烧结处理的情况下，构成为由含有油脂成分的粘合剂结合的被烧结材料的被处理物10被搬入热处理装置1。并且，在热处理装置1中，被处理物10被过热水蒸汽加热而使粘合剂气化而被去除，接着，被过热水蒸汽进一步加热，由此，去除了粘合剂的被处理物10被烧结。

在热处理装置1中，被处理物10被搬入热处理室11，在热处理室11内一边被运送一边被过热水蒸汽加热。由此，对被处理物10进行热处理。然后，在热处理室11内的热处理结束后的被处理物10被从热处理室11搬出。另外，被处理物10被连续地运送到热处理室11，在热处理室11内被连续地运送的同时实施热处理，从热处理室11连续地搬出。

由热处理装置11处理的被处理物10例如作为金属制的部件设置，作为外形为大致环状或大致圆筒状的部件设置。作为外形为大致环状或大致圆筒状的被处理物10，例如可以例示电动马达的铁芯(core)、滚动轴承的外圈以及内圈等圈部件、正齿轮等齿轮、滚动轴承的滚子、轴、垫圈等。另外，被处理物10可以不构成为大致环状或大致圆筒状的部件，也可以构成为形成为大致环状或大致圆筒状以外的形状的部件。例如，也可以是圆柱状、棱柱状、方筒状、长方体状、立方体状、棒状、板状、具有特殊的截面形状或表面形状的形状等各种形状。

在热处理装置1中的热处理室11的入口31及其附近的放大图即图3的(A)中，示出被处理物10被搬入热处理室11的状态。另外，在热处理装置1中的热处理室11的出口32及其附近的放大图即图3的(B)中，示出被处理物10在热处理室11内被运送并从热处理室11搬出的状态。参照图3的(A)以及图3的(B)，被处理物10在被搬入热处理室11时，例如以配置在形成为薄型的箱状的壳体10a的内的状态被搬入。在壳体10a中，多个被处理物10以大致均等间隔扩展配置的状态被收纳。然后，被处理物10在配置于壳体10a的内的状态下被搬入热处理室11内。另外，在收纳多个被处理物10的壳体10a上设置有例如形成于周围侧面以及底面的多个孔和形成于上表面的开口，以使周围的气体能够大致无阻力地通过。由此，热处理室11内的气氛的过热水蒸汽通过壳体10a而流动。另外，壳体10a只要是热处理室11内的气氛的过热水蒸汽能够以大致无阻力地通过壳体10a的方式流动的结构即可，例如，也可以是由网状的部件形成的形态。

热处理装置1构成为具有热处理室11、加热器12、水蒸汽供给部13、水蒸汽供给系统14、水蒸汽排出部15、水蒸汽排出系统(16a、16b)、气体供给部17、气体供给系统18、入口侧排气部19、出口侧排气部20、排气系统(21a、21b)、隔板22、粘合剂排出部23、气帘部24、控制部25等。以下，对热处理装置1的结构进行详细说明。

[热处理室]

图4是放大示出热处理装置1的热处理室11中的水蒸汽供给部13及其附近的图。图5是热处理装置11的一部分的示意剖视图，图5的(A)是示出从图4的A-A线箭头位置观察的状态的图，图5的(B)是示出从图4的B-B线箭头位置观察的状态的图。参照图1至图5，热处理室11设置有搬入被处理物10的入口31和搬出被处理物10的出口32，构成为对从入口31向出口32运送的被处理物10进行热处理的热处理炉。

热处理室11具有直线地以筒状延伸的隧道状的外形，在内部设置有运送被处理物10并且进行被处理物10的热处理的处理空间。被处理物10的运送方向、即在热处理室11内运送被处理物10的方向成为与热处理室11呈筒状延伸的长度方向平行的方向。另外，在图1至图3中，关于被处理物10的运送方向，用点划线的箭头X1表示，以下称为运送方向X1。

热处理室11具有一对侧壁(11a、11b)、顶壁11c以及底壁11d。热处理室11的一对侧壁(11a、11b)、顶壁11c以及底壁11d由钢铁制的板状部件形成。热处理室11由钢铁制的板状部件形成，由此，来自从外部对热处理室11进行加热的后述的加热器12的热容易传导。一对侧壁(11a、11b)平行配置，均设置为沿上下方向和运送方向X1延伸的壁部。顶壁11c作为划分热处理室11的上部的顶部分的壁部而设置，以将一对侧壁(11a、11b)的上端部结合成一体的方式设置。另外，顶壁11c形成为在与运送方向X1垂直的截面上以拱状延伸。底壁11d设置为划分热处理室11的底部分的壁部，设置为将一对侧壁(11a、11b)的下端部结合为一体。

热处理室11的入口31设置为热处理室11中的被处理物10被搬入的开口。在本实施方式中，入口31设置为由侧壁11a的端部、侧壁11b的端部、顶壁11c的端部以及底壁11d的端部划分的开口。而且，入口31在热处理室11中，作为与运送方向X1平行的方向上的一个端部的开口而设置，在热处理室11中的运送方向X1的上游侧的端部开口。入口31相对于热处理室11的外部开放，不设置门，始终相对于外部开放。另外，被处理物10如上所述，在被收纳于壳体10a的状态下，从入口31被搬入热处理室11。

热处理室11的出口32设置为热处理室11中的被处理物10搬出的开口。在本实施方式中，出口32设置为由侧壁11a的端部、侧壁11b的端部、顶壁11c的端部以及底壁11d的端部划分的开口。而且，出口32在热处理室11中，作为与运送方向X1平行的方向上的入口31侧的端部的相反侧的端部的开口而设置，在热处理室11中的运送方向X1的下游侧的端部开口。出口32相对于热处理室11的外部开放，不设置门，始终相对于外部开放。另外，被处理物10如上所述，在收纳于壳体10a的状态下，从出口32向热处理室11的外部搬出。

另外，在热处理室11中，设置有进行被处理物10的加热的区域即加热区域HR。加热区域HR在热处理室11中被设定为运送方向X1上的一部分区域。另外，在图1中，对于热处理室11中的加热区域HR，作为运送方向X1上的规定范围用两端箭头表示，在热处理室11的外部用图示的两端箭头示意性地示出。

在热处理室11内，被处理物10被从后述的水蒸汽供给部13供给的过热水蒸汽加热，并且通过从外部对热处理室11进行加热的后述的加热器12对热处理室11进行加热，由此，也通过经由热处理室11加热的热处理室11内的气氛加热。因此，在热处理室11中，进行被处理物10的加热的区域即加热区域HR构成为进行由过热水蒸汽进行的加热和由来自加热器12的热进行的加热(即，由通过来自加热器12的热经由热处理室11加热的热处理室11内的气氛进行的加热)中的至少任意一个的区域。

另外，在热处理室11内，利用来自加热器12的热对被处理物10的加热，在运送方向X1上配置有加热器12的区域中进行。并且，由过热水蒸汽进行的被处理物10的加热在热处理室11内的气氛中含有过热水蒸汽的区域中进行。在本实施方式中，在热处理室11中利用过热水蒸汽对被处理物10进行加热区域为从水蒸汽供给部13到后述的气体供给部17中的入口侧气体供给部36a的区域、以及从水蒸汽供给部13到后述的气体供给部17中的出口侧气体供给部37b的区域。并且，在本实施方式中，在热处理室11中，利用来自加热器12的热对被处理物10进行加热的区域包含在利用过热水蒸汽对被处理物10进行加热的区域中。即，在热处理室11的运送方向X1上，利用来自加热器12的热对被处理物10进行加热的区域配置在利用过热水蒸汽对被处理物10进行加热的区域的内侧。因此，在本实施方式中，加热区域HR为从水蒸汽供给部13到后述气体供给部17的入口侧气体供给部36a的区域、以及从水蒸汽供给部13到后述的气体供给部17的出口侧气体供给部37b的区域。

另外，在本实施方式中，如上所述，利用来自加热器12的热进行加热的区域配置在利用过热水蒸汽进行加热的区域的内侧。因此，在加热区域HR内的区域、且利用来自加热器12的热进行加热的区域中，进行基于来自加热器12的热的加热和基于过热水蒸汽的加热这两者的加热。并且，在加热区域HR内的区域、且未配置加热器12而不利用来自加热器12的热进行加热的区域中，仅利用过热水蒸汽进行加热。

另外，在本实施方式中，例示了利用来自加热器12的热进行加热的区域配置在利用过热水蒸汽进行加热的区域的内侧的方式，但也可以不是这样。利用来自加热器12的热对被处理物10进行加热的区域也可以从利用过热水蒸汽对被处理物10进行加热的区域的内侧到外侧配置。在该情况下，由过热水蒸汽进行加热的区域配置在由来自加热器12的热进行加热的区域的内侧。并且，加热区域HR是包含利用过热水蒸汽进行加热的区域的区域，成为利用来自加热器12的热进行加热的区域。

另外，在热处理室11中设置有运送机构33。运送机构33作为在热处理室11内运送被处理物10的机构而设置。另外，在本实施方式中，运送机构33构成为将被处理物10按照每个壳体10a运送，即，在收纳于壳体10a的状态下运送被处理物10。运送机构33配置在热处理室11内的下方区域，在底壁11d的上方与底壁11d的壁面平行地沿着运送方向X1配置。运送机构33例如构成为通过环绕的环状的网格带34运送被处理物10的机构。并且，运送机构33构成为，通过网格带34环绕，将收纳在配置于网格带34的上表面的壳体10a中的被处理物10与壳体10a一起运送。

另外，环状的网格带34例如具有在其宽度方向的两缘部分别设置有滚子链的结构，由设置有与滚子链啮合的链轮的多个驱动轴35驱动而环绕。多个驱动轴35设置成在贯穿插入网格带34的内侧的状态下分别绕轴心旋转。多个驱动轴35以相互平行地延伸的方式配置，并以沿着与一对侧壁(11a、11b)垂直的方向延伸的方式配置。另外，各驱动轴35旋转自如地支承在一对侧壁(11a、11b)上。另外，在各驱动轴35上设置有在其轴向上分离配置的一对链轮(35a、35a)，各链轮35a与网眼带34的两缘部的各滚子链啮合。另外，多个驱动轴35中的至少一个被电动马达(省略图示)旋转驱动，该电动马达根据来自控制部25的控制指令进行动作。当驱动轴35由电动马达旋转驱动时，驱动轴35的旋转驱动经由链轮35a和滚子链的啮合传递到网格带34。并且，进行被多个驱动轴35环绕自如地支承的网格带34的环绕动作。当网格带34进行环绕动作时，在收纳于壳体10a的状态下运送配置于网格带34的上表面的被处理物10。

[加热器]

参照图1，加热器12作为从外部对热处理室11进行加热的机构而设置，设置有多个。多个加热器12沿着热处理室11的长度方向(即，沿着运送方向X1)串联排列配置。另外，在图2和图4以后的附图中，省略了加热器12的图示。

各加热器12构成为具有配置在热处理室11的周围的发热体(省略图示)、和在配置在热处理室11的周围的发热体的更外侧以覆盖热处理室11的周围和发热体的方式配置的绝热部件(省略图示)。发热体配置成从外部对热处理室11中的一对侧壁(11a、11b)、顶壁11c以及底壁11d进行加热。发热体例如具有将从省略了图示的电源供给的电能转换为热能的电热体，通过对电热体进行通电而发热。另外，加热器12的发热体基于来自控制部25的控制指令进行动作，发热。若基于来自控制部25的控制指令，加热器12的发热体动作而发热，则热处理室11的一对侧壁(11a、11b)、顶壁11c以及底壁11d被来自加热器12的发热体的热量加热。由此，热处理室11内的气氛被加热。然后，在热处理室11中运送的被处理物10被过热水蒸汽加热，并且也被由来自加热器12的热加热的热处理室11内的气氛加热。

[水蒸汽供给部]

参照图1、图2、图4、图5，水蒸汽供给部13设置在热处理室11的加热区域HR，作为向热处理室11内供给过热水蒸汽的机构而设置。在本实施方式中例示的热处理装置1中，水蒸汽供给部13设置在加热区域HR的被处理物10的运送方向X1的中央部分。另外，水蒸汽供给部13只要配置在加热区域HR即可，也可以设置在比运送方向X1的中央部分更靠入口31侧或出口32侧的位置。

水蒸汽供给部13构成为具有将从后述的水蒸汽供给系统14供给的过热水蒸汽向热处理室11内供给的一对喷嘴部(38a、38b)。一对喷嘴部(38a、38b)分别设置为以圆筒状延伸且圆筒轴方向的两端部被封闭的部件。一对喷嘴部(38a、38b)在被处理物10的运送方向X1上相互对置配置。并且，在被处理物10的运送方向X1上，喷嘴部38a相对于喷嘴部38b配置在入口31侧，喷嘴部38b相对于喷嘴部38a配置在出口32侧。另外，在本实施方式中，一对喷嘴部(38a、38b)在热处理室11内配置在加热区域HR的运送方向X1的中央部分。并且，喷嘴部38a配置在比加热区域HR的运送方向X1的中央位置更靠入口31侧的位置，喷嘴部38b配置在比加热区域HR的运送方向X1的中央位置更靠出口32侧的位置。另外，各喷嘴部(38a、38b)以其圆筒轴方向沿着热处理室11的宽度方向水平延伸的状态配置在热处理室11内。另外，热处理室11的宽度方向被规定为与水平延伸的热处理室11的长度方向(即，运送方向X1)和热处理室11的高度方向(即，上下方向)垂直的方向。

另外，各喷嘴部(38a、38b)在其圆筒轴方向的大致中央位置与后述的水蒸汽供给系统14的各水蒸汽供给配管(42a、42b)连接。另外，喷嘴部38a与水蒸汽供给配管42a连接，喷嘴部38b与水蒸汽供给配管42b连接。各水蒸汽供给配管(42a、42b)贯通热处理室11的顶壁11c，与热处理室11内的各喷嘴部(38a、38b)连接。与各喷嘴部(38a、38b)连接的各水蒸汽供给配管(42a、42b)以贯通顶壁11c的状态固定在顶壁11c上。由此，在热处理室11内，各喷嘴部(38a、38b)通过各水蒸汽供给配管(42a、42b)支承在顶壁11c上。

各喷嘴部(38a、38b)的内部和各水蒸汽供给配管(42a、42b)的内部连通，从各水蒸汽供给配管(42a、42b)供给的过热水蒸汽被供给到各喷嘴部(38a、38b)的内部。另外，在各喷嘴部(38a、38b)上设置有多个喷嘴孔39。各喷嘴孔39例如设置为以圆形的形状开口的贯通孔。另外，各喷嘴孔39的开口形状不限于圆形的形状，例如也可以形成为矩形的形状、缝状的形状等各种形状。多个喷嘴孔39在各喷嘴部(38a、38b)中沿着其圆筒轴方向直线状排列配置，例如等间隔排列配置。另外，由于各喷嘴部(38a、38b)的圆筒轴方向沿着热处理室11的宽度方向，因此各喷嘴部(38a、38b)中的多个喷嘴孔39沿着热处理室11的宽度方向配置。从各水蒸汽供给配管(42a、42b)向各喷嘴部(38a、38b)供给的过热水蒸汽充满各喷嘴部(38a、38b)内，进而从多个喷嘴孔39向外部吹出。通过从多个喷嘴孔39吹出过热水蒸汽，从各喷嘴部(38a、38b)向热处理室11内供给过热水蒸汽。

另外，在喷嘴部38a中，沿着其圆筒轴方向配置的多个喷嘴孔39均朝向一对喷嘴部(38a、38b)的对置的中间位置侧开口，朝向出口32侧开口。因此，从一对喷嘴部(38a、38b)中的配置在入口31侧的喷嘴部38a向热处理室11内供给的过热水蒸汽朝向与入口31侧相反侧的出口32侧从喷嘴部38a吹出。另外，在本实施方式中，在喷嘴部38a中，多个喷嘴孔39朝向加热区域HR的运送方向X1的中央位置侧开口。另外，喷嘴部38a配置在比加热区域HR的运送方向X1的中央位置更靠入口31侧的位置，喷嘴部38a的各喷嘴孔39朝向出口32侧开口。因此，从配置在比加热区域HR的运送方向X1的中央位置更靠入口31侧的喷嘴部38a向热处理室11内供给的过热水蒸汽从入口31侧向加热区域HR的运送方向X1的中央位置侧从喷嘴部38a吹出。

另外，在喷嘴部38b中，沿着其圆筒轴方向配置的多个喷嘴孔39都朝向一对喷嘴部(38a、38b)的对置的中间位置侧开口，朝向入口31侧开口。因此，从一对喷嘴部(38a、38b)中的配置在出口32侧的喷嘴部38b供给到热处理室11内的过热水蒸汽，朝向与出口32侧相反侧的入口31侧，从喷嘴部38b吹出。另外，在本实施方式中，在喷嘴部38b中，多个喷嘴孔39朝向加热区域HR的运送方向X1的中央位置侧开口。另外，喷嘴部38b配置在比加热区域HR的运送方向X1的中央位置更靠出口32侧的位置，喷嘴部38b的各喷嘴孔39朝向入口31侧开口。因此，从配置在比加热区域HR的运送方向X1的中央位置更靠出口32侧的喷嘴部38a向热处理室11内供给的过热水蒸汽从出口32侧朝向加热区域HR的运送方向X1的中央位置侧从喷嘴部38b吹出。

根据上述结构，一对喷嘴部(38a、38b)分别构成为朝向一对喷嘴部(38a、38b)的对置的中间位置侧吹出过热水蒸汽。另外，在本实施方式中，喷嘴部38a配置为，在加热区域HR的运送方向X1的中央部分，从入口31侧向加热区域HR的运送方向X1的中央位置侧吹出过热水蒸汽。而且，喷嘴部38b以在加热区域HR的运送方向X1的中央部分从出口32侧朝向加热区域HR的运送方向X1的中央位置侧吹出过热水蒸汽的方式配置。因此，一对喷嘴部(38a、38b)夹着加热区域HR的运送方向X1的中央位置，在被处理物10的运送方向X1上相互对置配置。而且，一对喷嘴部(38a、38b)分别构成为朝向加热区域HR中的被处理物10的运送方向X1的中央位置侧吹出过热水蒸汽。

[水蒸汽供给系统]

参照图2、图4以及图5，水蒸汽供给系统14作为生成过热水蒸汽并向水蒸汽供给部13供给过热水蒸汽的机构而设置。而且，水蒸汽供给系统14具有过热水蒸汽生成部40、水蒸汽供给配管(41、42a、42b)而构成。

过热水蒸汽生成部40作为加热水而生成过热水蒸汽的机构而设置，具有锅炉和过热器而构成。锅炉加热水并使其蒸发，生成沸点程度的温度的饱和水蒸汽，过热器进一步加热在锅炉中生成的饱和水蒸汽，生成过热水蒸汽。过热水蒸汽生成部40根据来自控制部25的控制指令进行动作，生成过热水蒸汽。即，根据来自控制部25的控制指令，锅炉以及过热器工作，进行过热水蒸汽的生成。当过热水蒸汽生成部40根据来自控制部25的控制指令进行动作而生成过热水蒸汽时，通过后述的水蒸汽供给配管(41、42a、42b)向水蒸汽供给部13的一对喷嘴部(38a、38b)供给过热水蒸汽。

水蒸汽供给配管41在其上游端侧与过热水蒸汽生成部40连接，作为供给由过热水蒸汽生成部40生成的过热水蒸汽的配管系统而设置。另外，水蒸汽供给配管41在其下游端侧与水蒸汽供给配管42a和水蒸汽供给配管42b连接。即，水蒸汽供给配管41以并列分支的方式与水蒸汽供给配管(42a、42b)连接。水蒸汽供给配管42a被设置为连接水蒸汽供给配管41和喷嘴部38a的配管系统，构成为将由过热水蒸汽生成部40生成并经由水蒸汽供给配管41供给的过热水蒸汽向喷嘴部38a供给。水蒸汽供给配管42b设置为连接水蒸汽供给配管41和喷嘴部38b的配管系统，构成为将由过热水蒸汽生成部40生成并经由水蒸汽供给配管41供给的过热水蒸汽向喷嘴部38b供给。

[水蒸汽排出部]

图6是放大示出热处理装置1的热处理室11中的后述的入口侧水蒸汽排出部15a和后述的入口侧气体供给部(36a、36b)及其附近的图。图7是热处理装置1的一部分的示意剖视图，图7的(A)是示出从图6的C-C线箭头位置观察的状态的图，图7的(B)是示出从图6的D-D线箭头位置观察的状态的图。图8是放大示出热处理装置1的热处理室11中的后述的出口侧水蒸汽排出部15b以及后述的出口侧气体供给部(37a、37b)及其附近的图。图9是热处理装置1的一部分的示意剖视图，图9的(A)是示出从图8的E-E线箭头方向观察的状态的图，图9的(B)是示出从图8的F-F线箭头方向观察的状态的图。

参照图1至图3、图6至图9，水蒸汽排出部15作为用于将热处理室11内的过热水蒸汽向热处理室11的外部排出的机构而设置。而且，水蒸汽排出部15在热处理室11中，相对于水蒸汽供给部13分别设置在入口31侧和出口32侧。

在热处理室11的入口31侧，作为水蒸汽排出部15，设置有入口侧水蒸汽排出部15a。在热处理室11的出口32侧，作为水蒸汽排出部15，设置有出口侧水蒸汽排出部15b。在本实施方式中，入口侧水蒸汽排出部15a和出口侧水蒸汽排出部15b配置在热处理室11的加热区域HR内，分别配置在加热区域HR的运送方向X1的两端部附近的区域。另外，在本实施方式中，入口侧水蒸汽排出部15a在热处理室11中配置在与沿着运送方向X1排列多个加热器12中的最靠入口31侧配置的加热器12对应的位置。而且，出口侧水蒸汽排出部15b在热处理室11中配置在与沿着运送方向X1排列的多个加热器12中的最靠出口32侧配置的加热器12对应的位置。另外，入口侧水蒸汽排出部15a和出口侧水蒸汽排出部15b在与加热区域HR的运送方向X1平行的方向上的两端部的各自附近的区域中，配置在顶壁11c侧的区域、即热处理室11的与运送方向X1垂直的截面的上半部分侧的区域。

入口侧水蒸汽排出部15a和出口侧水蒸汽排出部15b同样地构成，形成为沿着热处理室11的宽度方向延伸的中空的箱状。而且，入口侧水蒸汽排出部15a和出口侧水蒸汽排出部15b分别构成为具有在与运送方向X1垂直的截面上沿着顶壁11c以拱状延伸的上壁43a、水平延伸的下壁43b、以及沿着与运送方向X1垂直的截面延伸的一对侧壁(43c、43d)。由此，入口侧水蒸汽排出部15a以及出口侧水蒸汽排出部15b各自的内侧的中空区域形成为由上壁43a、下壁43b以及一对侧壁(43c、43d)包围的圆弧状的圆顶型的中空区域。

另外，在入口侧水蒸汽排出部15a和出口侧水蒸汽排出部15b各自的下壁43b上设置有用于吸入过热水蒸汽的多个贯通孔(省略图示)。过热水蒸汽分别从入口侧水蒸汽排出部15a和出口侧水蒸汽排出部15b吸入并从热处理室11排出。

[水蒸汽排出系统]

参照图2以及图6至图9，水蒸汽排出系统(16a、16b)作为从入口侧水蒸汽排出部15a以及出口侧水蒸汽排出部15b吸入过热水蒸汽而向热处理室11的外部排出过热水蒸汽的机构而设置。而且，水蒸汽排出系统(16a、16b)分别与入口侧水蒸汽排出部15a和出口侧水蒸汽排出部15b连接。另外，水蒸汽排出系统16a与入口侧水蒸汽排出部15a连接，被吸入入口侧水蒸汽排出部15a的过热水蒸汽被吸入水蒸汽排出系统16a而从热处理室11排出。而且，水蒸汽排出系统16b与出口侧水蒸汽排出部15b连接，被吸入出口侧水蒸汽排出部15b的过热水蒸汽被吸入水蒸汽排出系统16b而从热处理室11排出。

水蒸汽排出系统16a以及水蒸汽排出系统16b同样地构成，均具有水蒸汽排出管44和喷射器45而构成。

水蒸汽排出系统(16a、16b)的各水蒸汽排出管44贯通热处理室11的顶壁11c，分别与热处理室11内的入口侧水蒸汽排出部15a和出口侧水蒸汽排出部15b连接。入口侧水蒸汽排出部15a和出口侧水蒸汽排出部15b各自的内部与各水蒸汽排出管44连通，分别吸入入口侧水蒸汽排出部15a和出口侧水蒸汽排出部15b的过热水蒸汽被吸入各水蒸汽排出管44。另外，分别与入口侧水蒸汽排出部15a和出口侧水蒸汽排出部15b连接的各水蒸汽排出管44以贯通顶壁11c的状态固定在顶壁11c上。由此，在热处理室11内，入口侧水蒸汽排出部15a和出口侧水蒸汽排出部15b分别经由各水蒸汽排出管44支承在顶壁11c上。

水蒸汽排出系统(16a、16b)的各喷射器45相对于各水蒸汽排出管44，在与各水蒸汽排出管44的入口侧水蒸汽排出部15a以及出口侧水蒸汽排出部15b分别连接的端部的相反侧的端部连接。而且，各喷射器45设置为通过使用高压流体产生负压，经由各水蒸汽排出管44分别从入口侧水蒸汽排出部15a和出口侧水蒸汽排出部15b吸引过热水蒸汽，进而将吸引的过热水蒸汽向外部排出的机构。

水蒸汽排出系统(16a、16b)的各喷射器45例如具有供给作为高压流体的压缩空气的喷嘴、覆盖喷嘴的周围的主体、和与主体连通且设置有向外部开口的排出口的扩散器而构成。喷嘴构成为从压缩空气供给源(省略图示)供给压缩空气。另外，在喷嘴的上游侧，设置有根据来自后述的控制部25的控制指令进行开闭的电磁阀，控制向喷嘴的压缩空气的给排。主体将喷嘴的下游端周围的区域划分为负压产生区域，并且与各水蒸汽排出管44连接。另外，在主体中的与各水蒸汽排出管44的下游端连接的部分，设置有基于来自控制部25的控制指令进行开闭的电磁阀，在使喷射器45工作而进行经由各水蒸汽排出管44的过热水蒸汽的吸引动作的情况下，打开该电磁阀。

在利用入口侧水蒸汽排出部15a和出口侧水蒸汽排出部15b进行粘合剂的排出时，基于来自控制部25的控制指令，打开水蒸汽排出系统(16a、16b)的各喷射器45的电磁阀，喷射器45工作。即，喷嘴的上游侧的电磁阀被开放，并且设置在主体中的与各水蒸汽排出管44的下游端连接的部分的电磁阀被开放，各喷射器45工作。当各喷射器45工作时，压缩空气从喷嘴向主体内高速吹出，由此在主体内产生负压，由此，经由各水蒸汽排出管44吸引入口侧水蒸汽排出部15a以及出口侧水蒸汽排出部15b各自内部的过热水蒸汽。通过入口侧水蒸汽排出部15a和出口侧水蒸汽排出部15b各自的内部的过热水蒸汽被吸引到各水蒸汽排出管44，从设置在入口侧水蒸汽排出部15a和出口侧水蒸汽排出部15b各自的下壁43b上的多个贯通孔吸入热处理室11内的过热水蒸汽。分别吸入入口侧水蒸汽排出部15a和出口侧水蒸汽排出部15b的过热水蒸汽经由各水蒸汽排出管44向各喷射器45的主体流动，在主体内与从喷嘴吹出的压缩空气混合。并且，过热水蒸汽和压缩空气混合的状态的混合气体在扩散器内向下游侧流动，从扩散器的排出口向外部排出。这样，热处理室11内的过热水蒸汽分别从入口侧水蒸汽排出部15a以及出口侧水蒸汽排出部15b吸入，并经由各水蒸汽排出管44以及各喷射器45向外部排出。

[气体供给部]

参照图1至图3以及图6至图9，气体供给部17作为向热处理室11内供给惰性气体以及空气中的至少任意一种的机构而设置。即，气体供给部17作为向热处理室11内供给惰性气体机构、或者作为向热处理室11内供给空气的机构、或者作为向热处理室11内供给惰性气体和空气的混合气体的机构而设置。另外，在本实施方式中，例示了气体供给部17作为向热处理室11内供给惰性气体的机构而构成的方式。气体供给部17向热处理室11内供给的惰性气体例如为氮气。另外，作为气体供给部17供给的氮气以外的惰性气体，例如可以例示氦气和氩气。

在热处理装置1中，作为气体供给部17，设置有入口侧气体供给部(36a、36b)和出口侧气体供给部(37a、37b)。在热处理室11中，入口侧气体供给部(36a、36b)相对于水蒸汽供给部13设置在入口31侧，出口侧气体供给部(37a、37b)相对于水蒸汽供给部13设置在出口32侧。

入口侧气体供给部(36a、36b)设置有一对，在热处理室11中相对于水蒸汽供给部13设置在比设置于入口31侧的入口侧水蒸汽排出部15a更靠入口31侧的位置。一对入口侧气体供给部(36a、36b)分别设置为例如圆筒状地延伸且圆筒轴方向的两端部封闭的部件。在本实施方式中，一对入口侧气体供给部(36a、36b)配置在与加热区域HR的运送方向X1平行的方向上的入口31侧的端部附近的区域。并且，一对入口侧气体供给部(36a、36b)沿着运送方向X1排列配置，入口侧气体供给部36a相对于入口侧气体供给部36b配置在入口31侧。另外，各入口侧气体供给部(36a、36b)以其圆筒轴方向沿着热处理室11的宽度方向水平延伸的状态配置在热处理室11内。

另外，各入口侧气体供给部(36a、36b)在其圆筒轴方向的大致中央位置，与供给惰性气体的后述的气体供给系统18的各分支配管(48a、48b)连接。另外，入口侧气体供给部36a与分支配管48a连接，入口侧气体供给部36b与分支配管48b连接。各分支管道(48a、48b)贯通热处理室11的顶壁11c，与热处理室11内的各入口侧气体供给部(36a、36b)连接。与各入口侧气体供给部(36a、36b)连接的各分支管道(48a、48b)以贯通顶壁11c的状态固定在顶壁11c上。由此，在热处理室11内，各入口侧气体供给部(36a、36b)通过各分支管道(48a、48b)支承在顶壁11c上。

各入口侧气体供给部(36a、36b)的内部和各分支配管(48a、48b)的内部连通，从各分支配管(48a、48b)供给的惰性气体被供给到各入口侧气体供给部(36a、36b)的内部。另外，在各入口侧气体供给部(36a、36b)上设置有多个喷嘴孔(省略图示)。多个喷嘴孔在各入口侧气体供给部(36a、36b)中沿着其圆筒轴方向直线状地排列配置，例如等间隔地排列配置。另外，在各入口侧气体供给部(36a、36b)中沿着圆筒轴方向配置的多个喷嘴孔均朝向下方开口。因此，惰性气体从各入口侧气体供给部(36a、36b)向下方吹出。

根据上述结构，从各分支管道(48a、48b)向各入口侧气体供给部(36a、36b)供给的惰性气体充满在各入口侧气体供给部(36a、36b)内，进而从多个喷嘴孔朝向下方吹出到外部。而且，通过从多个喷嘴孔吹出惰性气体，从各入口侧气体供给部(36a、36b)向热处理室11内供给惰性气体。通过从设置在比入口侧水蒸汽排出部15a更靠入口31侧的位置的入口侧气体供给部(36a、36b)供给惰性气体，在入口31和入口侧水蒸汽排出部15a之间，热处理室11内的气氛被分离。

出口侧气体供给部(37a、37b)设置成一对，在热处理室11中相对于水蒸汽供给部13设置在比设置于出口32侧的出口侧水蒸汽排出部15b更靠出口32侧的位置。一对出口侧气体供给部(37a、37b)分别设置为例如圆筒状延伸且圆筒轴方向的两端部封闭的部件。在本实施方式中，一对出口侧气体供给部(37a、37b)配置在与加热区域HR的运送方向X1平行的方向上的出口32侧的端部附近的区域。而且，一对出口侧气体供给部(37a、37b)沿着运送方向X1排列配置，出口侧气体供给部37b相对于出口侧气体供给部37a配置在出口32侧。另外，各出口侧气体供给部(37a、37b)以其圆筒轴方向沿着热处理室11的宽度方向水平延伸的状态配置在热处理室11内。

另外，各出口侧气体供给部(37a、37b)在其圆筒轴方向的大致中央位置，与供给惰性气体的后述的气体供给系统18的各分支管道(48c、48d)连接。另外，出口侧气体供给部37a与分支配管48c连接，出口侧气体供给部37b与分支配管48d连接。各分支管道(48c、48d)贯通热处理室11的顶壁11c，与热处理室11内的各出口侧气体供给部(37a、37b)连接。与各出口侧气体供给部(37a、37b)连接的各分支管道(48c、48d)以贯通顶壁11c的状态固定在顶壁11c上。由此，在热处理室11内，各出口侧气体供给部(37a、37b)通过各分支管道(48c、48d)支承在顶壁11c上。

各出口侧气体供给部(37a、37b)的内部和各分支配管(48c、48d)的内部连通，从各分支配管(48c、48d)供给的惰性气体被供给到各出口侧气体供给部(37a、37b)的内部。另外，在各出口侧气体供给部(37a、37b)上设置有多个喷嘴孔(省略图示)。多个喷嘴孔在各出口侧气体供给部(37a、37b)中沿着其圆筒轴方向直线状地排列配置，例如等间隔地排列配置。另外，在各出口侧气体供给部(37a、37b)中，沿着圆筒轴方向配置的多个喷嘴孔均朝向下方开口。因此，惰性气体从各出口侧气体供给部(37a、37b)向下方吹出。

根据上述结构，从各分支管道(48c、48d)向各出口侧气体供给部(37a、37b)供给的惰性气体充满各出口侧气体供给部(37a、37b)内，进而从多个喷嘴孔朝向下方吹出到外部。而且，通过从多个喷嘴孔吹出惰性气体，从各出口侧气体供给部(37a、37b)向热处理室11内供给惰性气体。通过从设置在比出口侧水蒸汽排出部15b更靠出口32侧的位置的出口侧气体供给部(37a、37b)供给惰性气体，在出口32和出口侧水蒸汽排出部15b之间，热处理室11内的气氛被分离。

[气体供给系统]

参照图2以及图6至图9，气体供给系统18作为向气体供给部17供给惰性气体的机构而设置。而且，气体供给系统18具有惰性气体供给源46、共同配管47、分支配管(48a、48b、48c、48d)、气体供给阀(49a、49b、49c、49d)而构成。

惰性气体供给源46作为供给大气压以上的高压的惰性气体的供给源而设置，例如构成为储藏被压缩为大气压以上的高压的状态的惰性气体的罐或储气瓶等容器。共同配管46a与惰性气体供给源46连接，作为用于从惰性气体供给源46向分支配管(48a、48b、48c、48d)供给高压的惰性气体的配管系统而设置。

分支配管(48a、48b、48c、48d)从共同配管47分支，作为连接共同配管47和气体供给部17的入口侧气体供给部(36a、36b)以及出口侧气体供给部(37a、37b)的配管系统而设置。4个分支配管(48a、48b、48c、48d)从共同配管47并列地分支。并且，各分支配管(48a、48b)分别与各入口侧气体供给部(36a、36b)连接，各分支配管(48c、48d)分别与各出口侧气体供给部(37a、37b)连接。具体地说，分支配管48a构成为连接共同配管47和入口侧气体供给部36a，向入口侧气体供给部36a供给惰性气体。分支配管48b连接共同配管47和入口侧气体供给部36b，向入口侧气体供给部36b供给惰性气体。分支配管48c构成为连接共同配管47和出口侧气体供给部37a，向出口侧气体供给部37a供给惰性气体。分支配管48d构成为连接共同配管47和出口侧气体供给部37b，向出口侧气体供给部37b供给惰性气体。

气体供给阀(49a、49b、49c、49d)分别作为电磁阀设置，分别设置在分支管道(48a、48b、48c、48d)上。另外，气体供给阀49a设置在分支配管48a上，气体供给阀49b设置在分支配管48b上，气体供给阀49c设置在分支配管48c上，气体供给阀49d设置在分支配管48d上。各气体供给阀(49a、49b、49c、49d)构成为，通过进行开闭动作，将各个分支管道(48a、48b、48c、48d)的状态在开放状态和封闭状态之间切换。各气体供给阀(49a、49b、49c、49d)根据来自控制部25的控制指令进行动作。当各气体供给阀(49a、49b、49c、49d)根据来自控制部25的控制指令进行打开动作，各分支配管(48a、48b、48c、48d)的状态切换为开放状态时，惰性气体供给源46和各入口侧气体供给部(36a、36b)以及各出口侧气体供给部(37a、37b)经由共同配管47和各分支配管(48a、48b、48c、48d)连通。由此，从惰性气体供给源46供给的惰性气体经由共同配管47以及各分支配管(48a、48b、48c、48d)供给到各入口侧气体供给部(36a、36b)以及各出口侧气体供给部(37a、37b)。然后，从各入口侧气体供给部(36a、36b)以及各出口侧气体供给部(37a、37b)向热处理室11内供给惰性气体。另外，根据来自控制部25的控制指令，各气体供给阀(49a、49b、49c、49d)进行关闭动作，各分支管道(48a、48b、48c、48d)的状态切换为关闭状态，连通被切断时，不向热处理室11供给惰性气体。

[入口侧排气部、出口侧排气部]

参照图1至图3以及图6至图9，入口侧排气部19以及出口侧排气部20作为用于将热处理室11内的气体向热处理室11的外部排气的机构而设置。

入口侧排气部19在热处理室11中设置在一对入口侧气体供给部(36a、36)之间。即，入口侧排气部19在热处理室11中设置在入口侧气体供给部36a和入口侧气体供给部36b之间的区域。因此，在热处理室11内的比入口侧水蒸汽排出部15a更靠入口31侧的区域中，从入口侧水蒸汽排出部15a侧朝向入口31侧依次配置有入口侧水蒸汽排出部15a、入口侧气体供给部36b、入口侧排气部19、入口侧气体供给部36a。另外，入口侧排气部19在热处理室11内的一对入口侧气体供给部(36a、36)之间的区域中，配置在顶壁11c侧的区域、即热处理室11的与运送方向X1垂直的截面的上半部分侧的区域。

出口侧排气部20在热处理室11中设置在一对出口侧气体供给部(37a、37b)之间。即，出口侧排气部20在热处理室11中设置在出口侧气体供给部37a和出口侧气体供给部37b之间的区域。因此，在热处理室11内的比出口侧水蒸汽排出部15b更靠出口32侧的区域中，从出口侧水蒸汽排出部15b侧向出口32侧依次配置有出口侧水蒸汽排出部15b、出口侧气体供给部37a、出口侧排气部20、出口侧气体供给部36b。另外，出口侧排气部20在热处理室11内的一对出口侧气体供给部(37a、37b)之间的区域中，配置在顶壁11c侧的区域、即热处理室11的与运送方向X1垂直的截面的上半部分侧的区域。

入口侧排气部19以及出口侧排气部20同样地构成，形成为沿着热处理室11的宽度方向延伸的中空的箱状。而且，入口侧排气部19以及出口侧排气部20分别具有在与运送方向X1垂直的截面上沿着顶壁11c以拱状延伸的上壁50a、水平延伸的下壁50b、沿着与运送方向X1垂直的截面延伸的一对侧壁(50c、50d)而构成。由此，入口侧排气部19以及出口侧排气部20各自的内侧的中空区域形成为由上壁50a、下壁50b以及一对侧壁(50c、50d)包围的圆弧状的圆顶型的中空区域。

另外，在入口侧排气部19以及出口侧排气部20各自的下壁50b上设置有用于吸入热处理室11内的气体的多个贯通孔(省略图示)。热处理室11内的气体分别从入口侧排气部19以及出口侧排气部20吸入而从热处理室11排出。另外，从入口侧排气部19，将从入口侧气体供给部36b供给到热处理室11内的惰性气体、从入口侧气体供给部36a供给到热处理室11内并向与入口31侧相反的一侧流动的惰性气体、未由入口侧水蒸汽排出部15a排出而向入口31侧流动的少量过热水蒸汽作为热处理室11内的气体吸入并排出。另外，从出口侧排气部20将从出口侧气体供给部37a供给到热处理室11内的惰性气体、从出口侧气体供给部37b供给到热处理室11内并向与出口32侧相反的一侧流动的惰性气体、以及未由出口侧水蒸汽排出部15b排出而向出口32侧流动的少量过热水蒸汽作为热处理室11内的气体吸入并排出。

[排气系统]

参照图2以及图6至图9，排气系统(21a、21b)作为从入口侧排气部19以及出口侧排气部20吸入热处理室11内的气体并将该吸入的气体向热处理室11的外部排出的机构而设置。并且，排气系统(21a、21b)分别与入口侧排气部19以及出口侧排气部20连接。另外，排气系统21a与入口侧排气部19连接，被吸入入口侧排气部19的热处理室11内的气体被吸入排气系统21a而从热处理室11排出。而且，排气系统21b与出口侧排气部20连接，被吸入出口侧排气部20的热处理室11内的气体被吸入排气系统21b而从热处理室11排出。

排气系统21a以及排气系统21b同样地构成，均具有气体排气管51和喷射器52而构成。

排气系统(21a、21b)的各气体排气管51贯通热处理室11的顶壁11c，分别与热处理室11内的入口侧排气部19以及出口侧排气部20连接。入口侧排气部19以及出口侧排气部20各自的内部与各气体排气管51连通，分别吸入入口侧排气部19以及出口侧排气部20的气体被吸入各气体排气管51。另外，分别与入口侧排气部19以及出口侧排气部20连接的各气体排气管51以贯通顶壁11c的状态固定在顶壁11c上。由此，在热处理室11内，入口侧排气部19以及出口侧排气部20分别经由各气体排气管51支承在顶壁11c上。

排气系统(21a、21b)的各喷射器52相对于各气体排气管51，在与各气体排气管51的入口侧排气部19以及出口侧排气部20分别连接的端部的相反侧的端部连接。而且，各喷射器52设置为通过使用高压流体产生负压，经由各气体排气管51分别从入口侧排气部19以及出口侧排气部20吸引气体，进而将吸引的气体向外部排出的机构。排气系统(21a、21b)的各喷射器52与水蒸汽排出系统(16a、16b)的各喷射器45同样地构成。即，各喷射器52具有供给作为高压流体的压缩空气的喷嘴、覆盖喷嘴的周围的主体、和与主体连通且设置有向外部开口的吹出口的扩散器而构成。而且，设置于喷嘴上游侧和主体的与气体排气管51的下游端连接的部分的电磁阀基于来自后述的控制部25的控制指令进行开闭，由此喷射器52的动作被控制。

在由入口侧排气部19以及出口侧排气部20进行热处理室11内的气体的排出时，基于来自控制部25的控制指令，排气系统(21a、21b)的各喷射器52的电磁阀开放，喷射器52工作。即，喷嘴的上游侧的电磁阀被开放，并且设置在主体中的与各气体排气管51的下游端连接的部分的电磁阀被开放，各喷射器52动作。通过各喷射器52动作，经由各气体排气管51吸引入口侧排气部19以及出口侧排气部20各自的内部的气体。入口侧排气部19以及出口侧排气部20各自的气体被各气体排气管51吸引，由此热处理室11内的气体从设置于入口侧排气部19以及出口侧排气部20各自的下壁50b的多个贯通孔被吸入。分别吸入入口侧排气部19以及出口侧排气部20的气体经由各气体排气管51向各喷射器52的主体流动，在主体内与压缩空气混合，从各喷射器52的扩散器的排出口向外部排出。这样，热处理室11内的气体分别从入口侧排气部19以及出口侧排气部20吸入，经由各气体排气管51以及各喷射器52向外部排出。

[隔板]

参照图1至图9，隔板22设置有多个，在本实施方式中，作为多个隔板22，设置有隔板(22a、22b、22c、22d、22e、22f、22g、22h、22i、22j)。多个隔板22(22a～j)在热处理室11内沿着运送方向X1配置。

各隔板22(22a～j)设置为仅部分地堵塞热处理室11的与运送方向X1垂直的截面的上半部分的平板状的部件。另外，各隔板22(22a～j)的上端的边缘部分沿着顶壁11c配置，并相对于顶壁11c固定。而且，各隔板22(22a～j)在热处理室11内的上半部分的区域，以沿着热处理室11的与运送方向X1垂直的截面扩展的方式设置。各隔板22(22a～j)通过如上所述地设置，构成为部分地限制热处理室11中的与被处理物10的运送方向X1平行的方向上的气体的流动。另外，在本实施方式中，各隔板22(22a～j)构成为，在热处理室11的与运送方向X1垂直的截面中，限制上半部分侧的区域的气体的流动，容许下半部分侧的区域的气体的流动。

另外，参照图2、图3、图6、图7，多个隔板22中的隔板(22a、22b)设置为本实施方式中的入口侧隔板(22a、22b)。入口侧隔板(22a、22b)分别设置在一对入口侧气体供给部(36a、36b)的各自与入口侧排气部19之间。更具体而言，入口侧隔板22a设置在入口侧气体供给部36a和入口侧排气部19之间，相对于入口侧排气部19在入口31侧相邻配置。另外，入口侧隔板22b设置在入口侧排气部19和入口侧气体供给部36b之间，相对于入口侧排气部19在出口32侧相邻配置。

根据上述配置结构，在热处理室11内的入口侧气体供给部(36a、36b)附近的区域中，从入口31侧朝向出口32侧依次排列设置有入口侧气体供给部36a、入口侧隔板22a、入口侧排气部19、入口侧隔板22b、入口侧气体供给部36b。而且，入口侧隔板(22a、22b)构成为，在入口侧气体供给部(36a、36b)附近的区域中，部分地限制热处理室11中的与被处理物10的运送方向X1平行的方向上的气体的流动。

另外，参照图2、图3、图6、图7，多个隔板22中的隔板(22c、22d)在热处理室11内配置在入口侧水蒸汽排出部15a的附近。另外，隔板(22c、22d)相对于入口侧水蒸汽排出部15a配置在运送方向X1的两侧。更具体而言，隔板22c设置在入口侧气体供给部36b和水蒸汽排出部15a之间，相对于入口侧水蒸汽排出部15a在入口31侧相邻配置。另外，隔板22d相对于入口侧水蒸汽排出部15a在出口32侧相邻配置。

另外，参照图2、图4、图5，多个隔板22中的隔板(22e、22f)在热处理室11内设置在水蒸汽供给部13的一对喷嘴部(38a、38b)之间。另外，在隔板22e和隔板22f之间配置有后述的粘合剂排出部23。另外，隔板22e相对于粘合剂排出部23在入口31侧相邻配置，隔板22f相对于粘合剂排出部23在出口32侧相邻配置。

另外，参照图2、图3、图8、图9，多个隔板22中的隔板(22g、22h)在热处理室11内配置在出口侧水蒸汽排出部15b的附近。另外，隔板(22g、22h)相对于出口侧水蒸汽排出部15b配置在运送方向X1的两侧。更具体而言，隔板22g在入口31侧与出口侧水蒸汽排出部15b相邻配置。另外，隔板22h设置在水蒸汽排出部15b与出口侧气体供给部37a之间，相对于出口侧水蒸汽排出部15b在出口32侧相邻配置。

另外，参照图2、图3、图8、图9，多个隔板22中的隔板(22i、22j)被设置为本实施方式中的出口侧隔板(22i、22j)。出口侧隔板(22i、22j)分别设置在一对出口侧气体供给部(37a、37b)的各自与出口侧排气部20之间。更具体而言，出口侧隔板22i设置在出口侧气体供给部37a与出口侧排气部20之间，相对于出口侧排气部20在出口32侧相邻配置。另外，出口侧隔板22j设置在出口侧排气部20和出口侧气体供给部37b之间，相对于出口侧排气部20在出口32侧相邻配置。

根据上述配置结构，在热处理室11内的出口侧气体供给部(37a、37b)附近的区域，从入口31侧朝向出口32侧依次排列设置有出口侧气体供给部37a、出口侧隔板22i、出口侧排气部20、出口侧隔板22j、出口侧气体供给部37b。而且，出口侧隔板(22i、22j)构成为，在出口侧气体供给部(37a、37b)附近的区域中，部分地限制热处理室11中的与被处理物10的运送方向X1平行的方向上的气体的流动。

[粘合剂排出部]

参照图1、图2、图4以及图5，粘合剂排出部23作为在热处理装置1中进行烧结处理时用于将从被处理物10产生的气化的粘合剂排出到热处理室11的外部的机构而设置。粘合剂排出部23例如在热处理装置1中的烧结处理时，在从被处理物10大量产生粘合剂的情况下，用于排出大量产生的粘合剂。

粘合剂排出部23在热处理室11中配置在隔板22e和隔板22f之间，配置在加热区域HR的运送方向X1的中央位置。隔板(22e、22f)配置在水蒸汽供给部13的一对喷嘴部(38a、38b)之间，相对于粘合剂排出部23，在入口31侧配置隔板22e，在出口32侧配置隔板22f。因此，在本实施方式中，在加热区域HR的运送方向X1的中央部分，从入口31侧朝向出口32侧依次排列设置有喷嘴部38a、隔板22e、粘合剂排出部23、隔板22f、喷嘴部38b。另外，在热处理室11内的隔板(22e、22f)之间的区域中，粘合剂排出部23配置在顶壁11c侧的区域、即热处理室11的与运送方向X1垂直的截面的上半部分侧的区域。

粘合剂排出部23形成为沿着热处理室11的宽度方向延伸的中空的箱状。并且，粘合剂排出部23构成为包含在与运送方向X1垂直的截面上沿着顶壁11c以拱状延伸的上壁23a、水平延伸的下壁23b、以及沿着与运送方向X1垂直的截面延伸的一对侧壁(23c、23d)。由此，粘合剂排出部23内的中空区域形成为由上壁23a、下壁23b以及一对侧壁(23c、23d)包围的圆弧状的圆顶型的中空区域。而且，在粘合剂排出部23的下壁23b上设置有用于吸入粘合剂的多个贯通孔(省略图示)。另外，在从粘结剂排出部23吸入粘结剂而从热处理室11排出时，粘结剂与热处理室11内的气氛气体一起被吸入粘结剂排出部23而排出。即，热处理室11内的气氛中的含有高浓度粘合剂的气体被吸入粘合剂排出部23，由此粘合剂被吸入粘合剂排出部23，从热处理室11排出。

另外，粘结剂排出部23与粘结剂排出系统53连接，该粘结剂排出系统53用于从粘结剂排出部23吸入含有较多粘结剂的气体而向热处理室11的外部排出含有粘结剂的气体。粘合剂排出系统53具有粘合剂排出管54和喷射器55而构成。

粘合剂排出管54贯通热处理室11的顶壁11c，与热处理室11内的粘合剂排出部23连接。粘结剂排出部23的内部与粘结剂排出管54连通，被吸入粘结剂排出部23的含有粘结剂的气体被吸入粘结剂排出管54。另外，与粘合剂排出部23连接的粘合剂排出管54以贯通顶壁11c的状态固定在顶壁11c上。由此，在热处理室11内，粘合剂排出部23经由粘合剂排出管53被支承在顶壁11c上。

喷射器55在与粘合剂排出部23连接的端部相反的一侧的端部与粘合剂排出管54连接。而且，喷射器55设置为通过使用高压流体产生负压，从而经由粘合剂排出管54从粘合剂排出部23吸引含有粘合剂的气体，进而将吸引的气体向外部排出的机构。粘合剂排出系统53的喷射器55与水蒸汽排出系统(16a、16b)的喷射器45同样地构成。即，喷射器55构成为具有供给作为高压流体的压缩空气的喷嘴、覆盖喷嘴的周围的主体、和与主体连通且设置有向外部开口的排出口的扩散器。而且，设置在喷嘴的上游侧和主体中的与粘合剂排出管54的下游端连接的部分上的电磁阀基于来自后述的控制部25的控制指令进行开闭，由此，喷射器55的动作被控制。

在通过粘合剂排出部23进行粘合剂的排出时，基于来自控制部25的控制指令，打开喷射器55的电磁阀，喷射器55工作。即，喷嘴的上游侧的电磁阀被开放，并且设置在主体的与粘合剂排气管54的下游端连接的部分的电磁阀被开放，喷射器55工作。通过喷射器55的动作，经由粘合剂排气管54吸引粘合剂排出部23内的气体。粘合剂排出部23的气体被粘合剂排气管54吸引，从而从设置在粘合剂排气部23的下壁23b上的多个贯通孔吸入热处理室11内的含有粘合剂的气体。被吸入粘合剂排气部23的含有粘合剂的气体经由粘合剂排气管54向喷射器55的主体流动，在主体内与从喷嘴吹出的压缩空气混合，从喷射器55的扩散器的吹出口向外部排出。这样，热处理室11内的含有粘合剂的气体从粘合剂排出部23吸入，经由粘合剂排气管54以及喷射器55向外部排出。

[气帘部]

参照图1以及图3，气帘部24设置为在热处理室11的入口31侧的端部和出口32侧的端部，以形成惰性气体以帘状扩散的区域的方式喷射惰性气体的机构。在热处理室11的入口31侧的端部设置有作为气帘部24的入口气帘部24a，在热处理室11的出口32侧的端部设置有作为气帘部24的出口气帘部24b。

入口气帘部24a以及出口气帘部24b分别形成为中空的箱状，并且具有供给来自惰性气体供给源46的惰性气体的气体供给箱。入口气帘部24a的气体供给箱设置在热处理室11的入口31侧的端部，出口气帘部24b的气体供给箱设置在热处理室11的出口32侧的端部。入口气帘部24a以及出口气帘部24b的各自的气体供给箱经由省略了图示的配管与气体供给系统18的共同配管47连接，构成为供给来自惰性气体供给源46的惰性气体。

另外，在入口气帘部24a以及出口气帘部24b的各气体供给箱上设置有与热处理室11内连通的多个喷射孔。而且，设置在各气体供给箱上的多个喷射孔构成为，将从惰性气体供给源46供给的惰性气体喷射到热处理室11的内部。另外，入口气帘部24a的气体供给箱的多个喷射孔构成为喷射惰性气体，以使惰性气体沿着与入口31的开口面平行的方向扩散成帘状。而且，出口气帘部24b的气体供给箱的多个喷射孔构成为喷射惰性气体，以使惰性气体沿着与出口32的开口面平行的方向扩散为帘状。在热处理室11的入口31侧的端部，惰性气体从入口气帘部24a呈帘状喷射，由此，在热处理室11的入口31附近，热处理室11的内侧的区域和外侧的区域的气氛被分离。另外，在热处理室11的出口32侧的端部，惰性气体从出口气帘部24b以帘状喷射，由此，在热处理室11的出口32附近，热处理室11的内侧的区域和外侧的区域的气氛被分离。

[控制部]

参照图2，热处理室11的运送机构33、加热器12、水蒸汽供给系统14、水蒸汽排出系统(16a、16b)、气体供给系统18、排气系统(21a、21b)、粘合剂排出系统53的动作由控制部25控制。具体而言，控制部25通过控制驱动运送机构33的驱动轴35的电动马达、加热器12的发热体、水蒸汽供给系统14的过热水蒸汽生成部40的锅炉以及过热器、水蒸汽排出系统(16a、16b)的喷射器45的电磁阀、气体供给系统18的气体供给阀(49a～d)、排气系统(21a、21b)的喷射器52的电磁阀、以及粘合剂排出系统53的喷射器55的电磁阀的动作，来控制运送机构33、加热器12、水蒸汽供给系统14、水蒸汽排出系统(16a、16b)、气体供给系统18、排气系统(21a、21b)以及粘合剂排出系统53的动作。

此外，控制部25构成为具有CPU(Central Processing Unit：中央处理器)等硬件处理器、RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)以及ROM(Read Only Memory：只读存储器)等存储器，由用户操作的操作面板等操作部、接口回路等。在控制部25的存储器中存储有用于生成控制指令的程序，该控制指令对驱动驱动轴35的电动马达、加热器12的发热体、过热水蒸汽生成部40的锅炉以及过热器、喷射器45的电磁阀、气体供给阀(49a～d)、喷射器52的电磁阀、喷射器55的电磁阀等的动作进行控制。例如，通过由操作者对操作部进行操作，由硬件处理器从存储器读出上述程序并执行。由此，生成上述控制指令，基于该控制指令，驱动驱动轴35的电动马达、加热器12的发热体、过热水蒸汽生成部40的锅炉以及过热器、喷射器45的电磁阀、气体供给阀(49a～d)、喷射器52的电磁阀、喷射器55的电磁阀等动作。

[热处理装置的动作]

接着，对热处理装置1的处理动作的一例进行说明。在开始热处理装置1的处理动作时，首先，基于来自控制部25的控制指令，开始热处理室11的运送机构33、加热器12、水蒸汽供给系统14、水蒸汽排出系统(16a、16b)、气体供给系统18、排气系统(21a、21b)的动作。当基于来自控制部25的控制指令开始热处理装置1的处理动作时，具体而言，在热处理装置1中进行以下的动作。

首先，利用加热器12对热处理室11内的气氛进行加热。具体而言，向加热器12的发热体的电热体进行通电，发热体发热，热处理室11被加热器12从外部加热。而且，通过从外部加热热处理室11，进行热处理室11内的气氛的加热。

另外，在热处理室11中，驱动运送机构33的驱动轴35的电动马达的运转开始，运送机构33的网格带34的环绕动作开始，成为能够利用运送机构33在热处理室11内运送被处理物10的状态。另外，通过适当设定电动马达的旋转速度，通过网格带34的环绕动作运送被处理物10时的运送速度、即运送机构33对被处理物10的运送速度被设定为规定的速度。另外，运送机构33对被处理物10的运送速度根据在热处理室11内进行热处理的被处理物10的热处理时间等热处理条件适当设定。

另外，水蒸汽供给系统14的过热水蒸汽生成部40的锅炉以及过热器工作，连续地进行过热水蒸汽的生成。另外，在过热水蒸汽生成部40生成的过热水蒸汽的温度和每单位时间生成的过热水蒸汽的量，根据通过基于过热水蒸汽的加热进行热处理的作为热处理对象的被处理物10的热处理条件适当设定。由过热水蒸汽生成部40生成的加热水蒸汽经由水蒸汽供给配管(41、42a、42b)连续地供给到水蒸汽供给部13的一对喷嘴部(38a、38b)。进而，供给到各喷嘴部(38a、38b)的过热水蒸汽从各喷嘴部(38a、38b)的多个喷嘴孔39吹出，过热水蒸汽被连续地供给到热处理室11内。

另外，开始水蒸汽排出系统(16a、16b)的各喷射器45的工作。由此，热处理室11内的过热水蒸汽分别从入口侧水蒸汽排出部15a以及出口侧水蒸汽排出部15b吸入，并经由各水蒸汽排出管44以及各喷射器45连续地向外部排出。

另外，开始从气体供给部17的入口侧气体供给部(36a、36b)和出口侧气体供给部(37a、37b)向热处理室11内供给惰性气体。具体而言，以气体供给系统18的气体供给阀(49a～d)进行打开动作的方式进行动作，从惰性气体供给源46供给的惰性气体经由共同配管47以及各分支配管(48a～d)连续地供给到入口侧气体供给部(36a、36b)以及出口侧气体供给部(37a、37b)。然后，从入口侧气体供给部(36a、36b)和出口侧气体供给部(37a、37b)向热处理室11内连续供给惰性气体。

另外，开始排气系统(21a、21b)的喷射器52的工作。由此，热处理室11内的气体分别从入口侧排气部19以及出口侧排气部20吸入，并经由各气体排气管51以及各喷射器52连续地向外部排出。

另外，粘合剂排出系统53在热处理装置1中进行烧结处理，在从被处理物10大量产生粘合剂这样的热处理条件的情况下，基于来自控制部25的控制指令进行动作。在粘合剂排出系统53的喷射器55的工作中，热处理室11内的气氛中的含有高浓度粘合剂的气体被吸入粘合剂排出部23，从热处理室11排出。

如上所述，当热处理装置1的处理动作开始时，从设置在加热区域HR的运送方向X1的中央部分的水蒸汽供给部13供给的过热水蒸汽在热处理室11内充满的同时流动。而且，从水蒸汽供给部13向入口31侧以及出口32侧的水蒸汽排出部15流动的过热水蒸汽的流动继续形成。即，在热处理室11内充满过热水蒸汽的同时，持续地形成从水蒸汽供给部13流向入口侧水蒸汽排出部15a的过热水蒸汽的流动、和从水蒸汽供给部13流向出口侧水蒸汽排出部15b的过热水蒸汽的流动。

另外，从气体供给部17的入口侧气体供给部(36a、36b)供给的惰性气体以在热处理室11内的入口侧气体供给部(36a、36b)附近的区域扩散的方式流动。由此，在入口侧气体供给部(36a、36b)附近的区域中，进行基于惰性气体的气氛的分离。另外，从气体供给部17的出口侧气体供给部(37a、37b)供给的惰性气体以在热处理室11内的出口侧气体供给部(37a、37b)附近的区域扩散的方式流动。由此，在出口侧气体供给部(37a、37b)附近的区域中，进行基于惰性气体的气氛的分离。

如上所述，当热处理装置1的处理动作开始时，在热处理室11内，从水蒸汽供给部13向入口31侧以及出口32侧的水蒸汽排出部15流动的过热水蒸汽的流动持续地形成，并且还进行基于从气体供给部17供给的惰性气体的气氛的分离。

在此，进一步说明热处理装置1动作中的热处理室11内的水蒸汽的流动和基于惰性气体的气氛的分离。图10以及图11是用于说明热处理装置1中热处理室11内的过热水蒸汽以及惰性气体的流动的图。另外，图11的(A)是说明在水蒸汽供给部13周围的区域的过热水蒸汽的流动的图。图11的(B)是说明入口侧水蒸汽排出部15a以及入口侧气体供给部(36a、36b)周围的区域中的过热水蒸汽以及惰性气体的流动的图。图11的(C)是说明在出口侧水蒸汽排出部15b以及出口侧气体供给部(37、37b)周围的区域的过热水蒸汽以及惰性气体的流动的图。另外，在图10和图11中，用虚线的箭头示意地表示热处理室11内的过热水蒸汽的流动方向，用实线的箭头示意地表示热处理室11内的惰性气体的流动方向。

如图10以及图11的(A)所示，从水蒸汽供给部13的一对喷嘴部(38a、38b)分别吹出的过热水蒸汽朝向一对喷嘴部(38a、38b)的中间位置侧流动，在本实施方式中，朝向加热区域HR中的被处理物10的运送方向X1的中央位置侧流动。另外，在一对喷嘴部(38a、38b)之间的区域且加热区域HR的中央位置附近的区域，设置有隔板(22e、22f)。因此，从各喷嘴部(38a、38b)吹出并朝向一对喷嘴部(38a、38b)的中间位置侧(在本实施方式中，加热区域HR的中央位置侧)流动的各过热水蒸汽与隔板(22e、22f)碰撞。即，从喷嘴部38a吹出的过热水蒸汽与隔板22e碰撞，从喷嘴部38b吹出的过热水蒸汽与隔板22f碰撞。然后，从各喷嘴部(38a、38b)吹出并与隔板(22e、22f)碰撞的各过热水蒸汽在加热区域HR中在与运送方向X1垂直的截面的整体范围内扩散，同时在与运送方向X1平行的方向上反转并折返地流动。

如上所述，从喷嘴部38a吹出的过热水蒸汽朝向一对喷嘴部(38a、38b)的中间位置侧流动并反转后，在加热区域HR中在与运送方向X1垂直的截面的整体范围内扩散的状态下，朝向与一对喷嘴部(38a、38b)的中间位置侧相反的方向并沿着与运送方向X1平行的方向流动。即，从喷嘴部38a吹出的过热水蒸汽以从一对喷嘴部(38a、38b)的中间位置侧向热处理室11的入口31侧扩展到加热区域HR的整个截面的状态流动。并且，从喷嘴部38b吹出的过热水蒸汽朝向一对喷嘴部(38a、38b)的中间位置侧流动并反转后，在加热区域HR中在与运送方向X1垂直的截面的整体范围内扩散的状态下，朝向与一对喷嘴部(38a、38b)的中间位置侧相反的方向沿着与运送方向X1平行的方向流动。即，从喷嘴部38b吹出的过热水蒸汽以从一对喷嘴部(38a、38b)的中间位置侧向热处理室11的出口32侧扩展到加热区域HR的整个截面的状态流动。由此，在热处理室11内，在从一对喷嘴部(38a、38b)的中间位置侧分别向入口31侧以及出口32侧沿与运送方向X1平行的方向扩展到加热区域HR的整个截面的状态下，形成流速偏差少的大致均匀的水蒸汽的流动。

另外，从喷嘴部38a吹出并向入口31侧流动的过热水蒸汽如图10以及图11的(B)所示，朝向入口侧水蒸汽排出部15a流动，从入口侧水蒸汽排出部15a吸入并向热处理室11的外部排出。另外，流向入口侧水蒸汽排出部15a的过热水蒸汽通过隔板22d的下方的区域，从入口侧水蒸汽排出部15a的下壁43b的多个贯通孔被吸入入口侧水蒸汽排出部15a。另外，从喷嘴部38b吹出并流向出口32侧的过热水蒸汽如图10以及图11的(C)所示，朝向出口侧水蒸汽排出部15b流动，从出口侧水蒸汽排出部15b吸入并向热处理室11的外部排出。另外，朝向出口侧水蒸汽排出部15b流动的过热水蒸汽通过隔板22g的下方的区域，从出口侧水蒸汽排出部15b的下壁43b的多个贯通孔被吸入入口侧水蒸汽排出部15a。

如上所述，在热处理室11内，持续地形成从水蒸汽供给部13向入口31侧以及出口32侧的水蒸汽排出部15流动的大致均匀的过热水蒸汽的流动。因此，在从水蒸汽供给部13到入口31侧以及出口32侧的水蒸汽排出部15的区域中，充满流动状态的过热水蒸汽，并且在扩展到加热区域HR的整个截面的状态下，持续地形成流速偏差少的大致均匀的过热水蒸汽的流动。

另外，在热处理室11内的比入口侧水蒸汽排出部15a更靠入口31侧的区域中，如图10以及图11的(B)所示，分别从入口侧气体供给部36a以及入口侧气体供给部36b吹出惰性气体。

惰性气体以朝向下方扩散的方式从入口侧气体供给部36a吹出。从入口侧气体供给部36a吹出的惰性气体以充满入口侧气体供给部36b附近的区域的方式扩散。而且，以充满入口侧气体供给部36a附近的区域的方式扩散的惰性气体的一部分朝向比入口侧气体供给部36a更靠入口31侧的区域流动。因此，阻止比入口侧气体供给部36a更靠入口31侧的区域的气氛气体向入口侧气体供给部36a侧流动。由此，从水蒸汽供给部13到入口侧气体供给部(36a、36b)的区域的气氛和从入口31到入口侧气体供给部(36a、36b)的区域的气氛被更可靠地分离并隔断。另外，从入口侧气体供给部36a吹出的惰性气体的一部分朝向入口侧气体排气部19流动，在以充满隔板22a的下方区域的方式扩散的状态下通过隔板22a的下方区域。然后，通过隔板22a的下方的区域的惰性气体从入口侧气体排气部19的下壁50b的多个贯通孔被吸入入口侧气体排气部19，向热处理室11的外部排出。

另外，从入口侧气体供给部36b也以朝向下方扩散的方式吹出惰性气体。从入口侧气体供给部36b向下方扩散而吹出的惰性气体朝向入口侧气体排气部19流动，以充满隔板22b下方的区域的方式扩散的状态通过隔板22b的下方的区域。然后，通过隔板22b的下方区域的惰性气体从入口侧气体排气部19的下壁50b的多个贯通孔被吸入入口侧气体排气部19，并向热处理室11的外部排出。

另外，在入口侧气体供给部36b附近的区域中，以在入口侧水蒸汽排出部15a不完全排出而泄漏的方式向入口31侧流动的少量水蒸汽与从入口侧气体供给部36b向热处理室11内供给的惰性气体混合而被稀释。然后，与从入口侧气体供给部36b供给到热处理室11内的惰性气体混合而稀释的水蒸汽从入口侧排气部19向外部排出。因此，以从入口侧水蒸汽排出部15a泄漏的方式向入口31侧流动的少量水蒸汽也从入口侧排气部19排出。

如上所述，从入口侧气体供给部(36a、36b)供给的惰性气体以在热处理室11内的入口侧气体供给部(36a、36b)附近的区域扩散的方式流动。而且，持续形成向入口31侧流动的惰性气体的流动、和向配置在入口侧气体供给部(36a、36b)之间的入口侧气体排气部19流动的惰性气体的流动。由此，在入口侧气体供给部(36a、36b)附近的区域中，利用从入口侧气体供给部(36a、36b)供给到热处理室11内的惰性气体进行气氛的分离。

另外，在热处理室11内的比出口侧水蒸汽排出部15b更靠出口32侧的区域中，如图10以及图11的(C)所示，分别从出口侧气体供给部37a以及出口侧气体供给部37b吹出惰性气体。

从出口侧气体供给部37a以朝向下方扩散的方式吹出惰性气体。从出口侧气体供给部37a向下方扩散而吹出的惰性气体朝向出口侧气体排气部20流动，以充满隔板22i的下方区域的方式扩散的状态通过隔板22i的下方区域。然后，通过隔板22i的下方的区域的惰性气体从出口侧气体排气部20的下壁50b的多个贯通孔被吸入出口侧气体排气部20，向热处理室11的外部排出。

另外，在出口侧气体供给部37a附近的区域中，以在出口侧水蒸汽排出部15b不完全排出而泄漏的方式向出口32侧流动的少量水蒸汽与从出口侧气体供给部37a向热处理室11内供给的惰性气体混合而被稀释。然后，与从出口侧气体供给部37a供给到热处理室11内的惰性气体混合而稀释的水蒸汽从出口侧排气部20向外部排出。因此，以从出口侧水蒸汽排出部15b泄漏的方式向出口32侧流动的少量水蒸汽也从出口侧排气部20排出。

另外，惰性气体也从出口侧气体供给部37b以向下方扩散的方式吹出。从出口侧气体供给部37b吹出的惰性气体以充满出口侧气体供给部37b附近的区域的方式扩散。而且，以充满出口侧气体供给部37b附近区域的方式扩散的惰性气体的一部分朝向比出口侧气体供给部37b更靠出口32侧的区域流动。因此，阻止比出口侧气体供给部37b更靠出口32侧的区域的气氛气体向出口侧气体供给部37b侧流动。由此，从水蒸汽供给部13到出口侧气体供给部(37a、37b)的区域的气氛和从出口32到出口侧气体供给部(37a、37b)的区域的气氛被更可靠地分离并隔断。另外，从出口侧气体供给部37b吹出的惰性气体的一部分朝向出口侧气体排气部20流动，以充满隔板22j的下方区域的方式扩散的状态通过隔板22j的下方区域。然后，通过隔板22j的下方的区域的惰性气体从出口侧气体排气部20的下壁50b的多个贯通孔被吸入出口侧气体排气部20，向热处理室11的外部排出。

如上所述，从出口侧气体供给部(37a、37b)供给的惰性气体以在热处理室11内的出口侧气体供给部(37a、37b)附近的区域扩散的方式流动。然后，持续形成向出口32侧流动的惰性气体的流动、和向配置在出口侧气体供给部(37a、37b)之间的出口侧气体排气部20流动的惰性气体的流动。由此，在出口侧气体供给部(37a、37b)附近的区域，利用从出口侧气体供给部(37a、37b)供给到热处理室11内的惰性气体进行气氛的分离。

如上所述，当热处理装置1的处理动作开始，各设备动作时，在从水蒸汽供给部13到入口31侧以及出口32侧的水蒸汽排出部15的区域中，成为在热处理室11内一边充满一边大致均匀地流动的过热水蒸汽的流动持续形成的状态。而且，在入口侧气体供给部(36a、36b)的附近和出口侧气体供给部(37a、37b)的附近，分别成为利用惰性气体进行气氛分离的状态。在该状态下，收纳于壳体10a的被处理物10被搬入热处理室11。

收纳在壳体10a中的状态的被处理物10从入口31向热处理室11内反复且连续地依次搬入。更具体而言，若将收纳有多个被处理物10的一个壳体10a从入口31向热处理室11搬入，则在经过规定时间后，将收纳有多个被处理物10的下一个壳体10a从入口31向热处理室11搬入。然后，每当再经过规定时间，将收纳有多个被处理物10的再下一个壳体10a从入口31搬入热处理室11。这样，收纳有多个被处理物10的壳体10a从入口31向热处理室11内反复且连续地依次搬入。

收纳有被处理物10的壳体10a当从入口31被搬入热处理室11内时，在配置于运送机构33的网格带34的上表面的状态下，与网格带34的环绕动作一起，在热处理室11内向运送方向X1运送。在热处理室11内向运送方向X1与壳体10a一起被运送的被处理物10在通过入口侧气体供给部36a的下方时，进入加热区域HR，开始基于加热区域HR的过热水蒸汽的加热。另外，被处理物10从通过入口侧气体供给部36a的下方后直至到达入口侧气体供给部36b的附近为止的期间，被不通过入口侧水蒸汽排出部15a排出而向入口31侧流动的少量过热水蒸汽加热。并且，在从到达入口侧气体供给部36b附近起直至通过入口侧水蒸汽排出部15a下方的区域为止的期间，利用向入口31侧流动的上述少量过热水蒸汽和被来自加热器12的热量加热的气氛进行加热。

当被处理物10通过入口侧水蒸汽排出部15a的下方时，在充满热处理室11内的同时大致均匀地从水蒸汽供给部13向入口侧气体排出部15a流动的过热水蒸汽的气氛中沿运送方向X1运送。然后，被处理物10在过热水蒸汽流动的上述气氛中继续加热。另外，在此期间，被处理物10也被气氛加热，该气氛被来自加热器12的热加热。

被处理物10如上所述一边被加热一边被运送到加热区域HR的中央部分。然后，被处理物10通过设置在加热区域HR的中央部分的水蒸汽供给部13的下方时，在充满热处理室11内的同时大致均匀地从水蒸汽供给部13向出口侧气体排出部15b流动的过热水蒸汽的气氛中向运送方向X1运送。然后，被处理物10在过热水蒸汽流动的上述气氛中继续加热。另外，在此期间，被处理物10也被气氛加热，该气氛被来自加热器12的热加热。

在热处理室11内如上述那样一边被加热一边向运送方向X1运送的被处理物10被持续加热并运送至出口侧水蒸汽排出部15b的下方的区域。另外，需要对被处理物10进行的基于过热水蒸汽的热处理主要利用从通过入口侧水蒸汽排出部15a的下方经过水蒸汽供给部13的下方的区域到达出口侧水蒸汽排出部15b的下方的区域的期间的过热水蒸汽的加热来进行。

当被处理物10通过出口侧水蒸汽排出部15b的下方的区域时，被没有通过出口侧水蒸汽排出部15b排出而向出口32侧流动的少量过热水蒸汽加热。进而，被处理物10从出口侧水蒸汽排出部15b的下方的区域向出口32侧运送时，通过出口侧排气部20的下方到达出口侧气体供给部37b的下方的区域，从加热区域HR脱离。被处理物10若通过出口侧气体供给部37b下方的区域而从加热区域HR脱离，则不进行加热处理，在热处理室11内沿着运送方向X1运送到出口32。然后，当到达出口32时，收纳在壳体10a中的状态的被处理物10从出口32被搬出到热处理室11之外。另外，收纳有被处理物10的壳体10a被反复且连续地依次搬入热处理室11内，在从出口32搬出时也被反复且连续地依次搬出。

当需要热处理装置1中的热处理的全部被处理物10的热处理结束，全部被处理物10从热处理室11搬出时，基于来自控制部25的控制指令，运送机构33、加热器12、水蒸汽供给系统14、水蒸汽排出系统(16a、16b)、气体供给系统18、排气系统(21a、21b)的工作停止。由此，热处理装置1的处理动作结束。

[本实施方式的效果]

如上所述，根据本实施方式的热处理装置1，利用从设置在热处理室11的加热区域HR的水蒸汽供给部13供给到热处理室11内的过热水蒸汽加热被处理物10，进行被处理物10的热处理。并且，用于被处理物10的加热的过热水蒸汽从设置在加热区域HR的水蒸汽供给部13向分别设置在热处理室11的入口31侧和出口32侧的水蒸汽排出部15(15a、15b)流动，从水蒸汽排出部15(15a、15b)向热处理室的外部排出。因此，在热处理室11中，形成有从加热区域HR内的水蒸汽供给部13朝向入口31侧流动并从入口侧水蒸汽排出部15a向外部排出的水蒸汽的流动、和从加热区域HR内的水蒸汽供给部13朝向出口32侧流动并从出口侧水蒸汽排出部15b向外部排出的水蒸汽的流动。而且，在热处理室11内，从加热区域HR内的水蒸汽供给部13分别朝向入口31侧以及出口32侧，沿着与被处理物10的运送方向X1平行的方向形成流速偏差少的更均匀的水蒸汽流。由此，在热处理室11内，难以产生水蒸汽的流动停滞的区域，其结果，在热处理室11内难以产生气氛停滞的区域。

因此，根据本实施方式的热处理装置1，能够抑制在进行被处理物10的热处理的热处理室11内发生气氛的停滞。另外，根据热处理装置1，由于能够抑制在热处理室11内发生气氛的停滞，所以能够抑制在相同的热处理室11内进行热处理的多个被处理物10之间产生热处理的不均，而且，还能够抑制伴随从被处理物10中产生的气体的滞留而产生的热处理效率的降低以及被处理物10的污染。

另外，根据本实施方式，通过将水蒸汽供给部13设置在热处理室11的加热区域HR，将水蒸汽排出部15(15a、15b)设置在热处理室11的入口31侧以及出口32侧的简单的结构，能够实现能够抑制热处理室11内的气氛的停滞的发生的热处理装置1。因此，能够防止利用过热水蒸汽进行被处理物10的热处理的热处理装置1的结构的复杂化。

如上所述，根据本实施方式，能够提供一种热处理装置1，其能够防止利用过热水蒸汽进行被处理物10的热处理的热处理装置1的结构的复杂化，并且能够抑制在进行被处理物10的热处理的热处理室11内产生气氛的停滞。

另外，根据本实施方式的热处理装置1，由于热处理室11的入口31相对于外部开放，所以能够连续地迅速且容易地进行被处理物10向热处理室11内的搬入作业。由此，能够使热处理工艺连续化而实现热处理的作业效率的提高。而且，根据热处理装置1，除了入口31开放之外，还设置有入口侧气体供给部(36a、36b)，该入口侧气体供给部(36a、36b)相对于水蒸汽供给部13设置在比设置于入口31侧的入口侧水蒸汽排出部15a更靠入口31侧的位置，向热处理室11内供给惰性气体。因此，通过从入口侧气体供给部(36a、36b)供给的惰性气体，能够在向外部开放的入口31与入口侧水蒸汽排出部15a之间分离热处理室11内的气氛。即，能够分离从水蒸汽供给部13到入口侧气体供给部(36a、36b)的区域的气氛、和从向外部开放的入口31到入口侧气体供给部(36a、36b)的区域的气氛。由此，在为了提高热处理的作业效率而开放了入口31的热处理装置1中，能够相对于外部隔断从水蒸汽供给部13到入口侧水蒸汽排出部15a的区域的气氛，能够高效地进行基于加热区域HR中的过热水蒸汽的被处理物10的热处理。

另外，根据本实施方式的热处理装置1，设置有一对入口侧气体供给部(36a、36b)，在它们之间设置有入口侧排气部19。因此，从入口侧水蒸汽排出部15a朝向入口31侧，按照入口侧水蒸汽排出部15a、入口侧气体供给部36b、入口侧排气部19、入口侧气体供给部36a的顺序配置这些部件。根据该结构，以在入口侧水蒸汽排出部15a未完全排出而泄漏的方式向入口31侧流动的少量水蒸汽与从入口侧气体供给部36b供给的惰性气体混合而被稀释。然后，与从入口侧气体供给部36b供给的惰性气体混合而稀释的水蒸汽从入口侧排气部19向外部排出。因此，以从入口侧水蒸汽排出部15a泄漏的方式向入口31侧流动的少量水蒸汽也从入口侧排气部19排出。其结果是，能够防止水蒸汽流入入口侧排气部19和入口31之间的区域、即温度低的区域。由此，能够防止水蒸汽流入入口侧排气部19与入口31之间的温度较低的区域而产生结露。通过防止结露的产生，防止水分滴落到从入口31搬入的被处理物10上而润湿被处理物10，对被处理物10的热处理状态产生影响。另外，根据上述结构，通过从配置在入口侧排气部19和入口31之间的入口侧气体供给部36a供给的惰性气体，能够更可靠地分离并阻断从水蒸汽供给部13到入口侧气体供给部(36a、36b)的区域的气氛和从入口31到入口侧气体供给部(36a、36b)的区域的气氛。

另外，根据本实施方式的热处理装置1，由于热处理室11的出口32相对于外部开放，所以能够连续地迅速且容易地进行被处理物10从热处理室11的搬出作业。由此，能够使热处理工艺连续化而实现热处理的作业效率的提高。而且，根据热处理装置1，除了出口32开放之外，还设置有出口侧气体供给部(37a、37b)，该出口侧气体供给部(37a、37b)相对于水蒸汽供给部13设置在比设置于出口32侧的出口侧水蒸汽排出部15b更靠出口32侧的位置，向热处理室11内供给惰性气体。因此，利用从出口侧气体供给部(37a、37b)供给的惰性气体，能够在向外部开放的出口32与出口侧水蒸汽排出部15b之间分离热处理室11内的气氛。即，能够分离从水蒸汽供给部13到出口侧气体供给部(37a、37b)的区域的气氛和从向外部开放的出口32到出口侧气体供给部(37a、37b)的区域的气氛。由此，在为了提高热处理的作业效率而开放了出口32的热处理装置1中，能够将从水蒸汽供给部13到出口侧水蒸汽排出部15b的区域的气氛相对于外部隔断，能够高效地进行基于加热区域HR的过热水蒸汽的被处理物10的热处理。

另外，根据本实施方式的热处理装置1，设置有一对出口侧气体供给部(37a、37b)，在它们之间设置有出口侧排气部20。因此，从出口侧水蒸汽排出部15b朝向出口32侧，按照出口侧水蒸汽排出部15b、出口侧气体供给部37a、出口侧排气部20、出口侧气体供给部37b的顺序配置这些部件。根据该结构，以在出口侧水蒸汽排出部15b未完全排出而泄漏的方式向出口32侧流动的少量水蒸汽与从出口侧气体供给部37a供给的惰性气体混合而被稀释。然后，与从出口侧气体供给部37b供给的惰性气体混合而稀释的水蒸汽从出口侧排气部20向外部排出。因此，以从出口侧水蒸汽排出部15b泄漏的方式向出口32侧流动的少量水蒸汽也从出口侧排气部20排出。其结果是，能够防止水蒸汽流入出口侧排气部20和出口32之间的区域、即温度低的区域。由此，能够防止水蒸汽流入出口侧排气部20与出口32之间的温度较低的区域而产生结露。通过防止结露的发生，在被处理物10从出口32搬出时，防止水分滴落到被处理物10上而润湿被处理物10。另外，根据上述结构，通过从配置在出口侧排气部20和出口32之间的出口侧气体供给部37b供给的气体，能够更可靠地分离并阻断从水蒸汽供给部13到出口侧气体供给部(37a、37b)的区域的气氛和从出口32到出口侧气体供给部(37a、37b)的区域的气氛。

另外，根据本实施方式的热处理装置1，水蒸汽供给部13具有一对喷嘴部(38a、38b)。并且，从一对喷嘴部(38a、38b)分别吹出的过热水蒸汽朝向一对喷嘴部(38a、38b)的对置的中间位置侧流动。在对置的一对喷嘴部(38a、38b)之间的区域设置有隔板(22e、22f)，该隔板(22e、22f)构成为部分地限制与被处理物10的运送方向X1平行的方向上的气体的流动。从各喷嘴部(38a、38b)吹出并朝向一对喷嘴部(38a、38b)的中间位置侧流动的各过热水蒸汽与隔板(22e、22f)碰撞，在加热区域HR中一边在与被处理物10的运送方向X1垂直的整个截面上扩散一边在与被处理物10的运送方向X1平行的方向上反转折返地流动。因此，从各喷嘴部(38a、38b)吹出的过热水蒸汽朝向一对喷嘴部(38a、38b)的中间位置侧流动并反转后，在加热区域HR中在与被处理物10的运送方向X1垂直的整个截面上扩展的状态下，朝向与一对喷嘴部(38a、38b)的中间位置侧相反的方向，沿着与被处理物10的运送方向X1平行的方向流动。即，从一对喷嘴部(38a、38b)分别吹出的过热水蒸汽在一对喷嘴部(38a、38b)的中间位置侧流动反转后，以向加热区域HR的截面整体扩展的状态，沿着与被处理物10的运送方向X1平行的方向沿相互分离的方向流动。因此，从喷嘴部38a吹出的过热水蒸汽以从一对喷嘴部(38a、38b)的中间位置侧向热处理室11的入口31侧在加热区域HR的整个截面上扩散的状态流动。并且，从喷嘴部38b吹出的过热水蒸汽以从一对喷嘴部(38a、38b)的中间位置侧向热处理室11的出口32侧扩展到加热区域HR的整个截面的状态流动。由此，在热处理室11内，在从一对喷嘴部(38a、38b)的中间位置侧分别向入口31侧以及出口32侧沿着与被处理物10的运送方向HR平行的方向扩展到整个加热区域HR的截面的状态下，形成流速偏差更少的更均匀的水蒸汽流。由此，在热处理室11内，更难以产生水蒸汽的流动停滞的区域，其结果是，在热处理室11内更难以产生气氛停滞的区域。因此，根据上述结构，能够进一步抑制在热处理室11内发生气氛的停滞。

另外，根据本实施方式的热处理装置1，在一对入口侧气体供给部(36a、36b)的各自与入口侧排气部19之间，设置有部分地限制与被处理物10的运送方向X1平行的方向上的气体的流动的入口侧隔板(22a、22b)。因此，在夹着入口侧排气部19而配置的一对入口侧气体供给部(36a、36b)之间，能够维持以气体能够流动的方式连通气氛的状态，并且能够形成更容易分离气氛的状态。由此，能够更有效地分离并隔断从水蒸汽供给部13到入口侧气体供给部(36a、36b)的区域的气氛和从入口31到入口侧气体供给部(36a、36b)的区域的气氛。

另外，根据本实施方式的热处理装置1，在一对出口侧气体供给部(37a、37b)的各自与出口侧排气部20之间设置有部分地限制与被处理物10的运送方向X1平行的方向上的气体的流动的出口侧隔板(22i、22j)。因此，在夹着出口侧排气部20配置的一对出口侧气体供给部(37a、37b)之间，能够维持以气体能够流动的方式连通气氛的状态，并且能够形成更容易分离气氛的状态。由此，能够更有效地分离并阻断从水蒸汽供给部13到出口侧气体供给部(37a、37b)的区域的气氛和从出口32到出口侧气体供给部(37a、37b)的区域的气氛。

[变形例]

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明不限于上述的实施方式，在权利要求书所记载的范围内能够进行各种变更来实施。例如，也可以实施如下的变形例。

(1)在上述实施方式中，例示了加热区域构成为从水蒸汽供给部到入口侧气体供给部的区域、以及从水蒸汽供给部到出口侧气体供给部的区域的方式，但也可以不是这样，也可以实施其他方式。加热区域只要是进行热处理室中的被处理物的加热的区域即可，构成为进行基于过热水蒸汽的加热和基于来自加热器的热的加热(即，通过来自加热器的热经由热处理室加热的热处理室内的气氛的加热)中的至少任意一个的区域。例如，如果是从热处理室的入口到出口的整个区域配置有从外部对热处理室进行加热的加热器的方式，则热处理室中的从入口到出口的整个长度的区域成为加热区域。

(2)另外，在上述实施方式中，例示了水蒸汽排出部设置在加热区域的被处理物的运送方向的中央部分的方式，但也可以不是这样，也可以实施其他方式。例如，也可以实施水蒸汽供给部设置在加热区域中的比被处理物的运送方向的中央部分更靠入口侧或出口侧的位置的方式。

(3)另外，在上述实施方式中，例示了水蒸汽供给部具有在被处理物的运送方向上相互对置配置的一对喷嘴部而构成的方式，但也可以不是这样，也可以实施其他方式。例如，也可以实施水蒸汽供给部具有1个或3个以上的喷嘴部而构成的方式。另外，在上述的实施方式中，例示了形成为圆筒状的喷嘴部，但喷嘴部的形状可以不是这样，也可以进行各种变更来实施。例如，也可以实施喷嘴部形成为箱状、方筒状、或者多个圆筒状的部分以它们的内部连通的状态连结的形状等各种形状的方式。另外，在上述的实施方式中，例示了在喷嘴部中，多个喷嘴孔以朝向一对喷嘴部的中间位置侧吹出过热水蒸汽的方式设置的方式，但也可以不是这样，也可以实施其他方式。例如，在喷嘴部中，也可以实施多个喷嘴孔以朝向上方或下方吹出过热水蒸汽的方式设置的方式。或者，在喷嘴部中，也可以实施多个喷嘴孔设置成朝向一对喷嘴部的中间位置侧的相反侧吹出过热水蒸汽的方式。

(4)另外，在上述实施方式中，例示了在水蒸汽供给部的一对喷嘴部之间设置有一对隔板和粘合剂排出部的方式，但也可以不是这样，也可以实施其他方式。例如，也可以实施在水蒸汽供给部的一对喷嘴部之间不设置粘合剂排出部而设置1张隔板的方式。或者，也可以实施在水蒸汽供给部的一对喷嘴部之间不设置隔板而设置粘合剂排出部的方式。或者，也可以实施在水蒸汽供给部的一对喷嘴部之间没有设置隔板以及粘合剂排出部的任意一个的方式。

(5)另外，在上述实施方式中，例示了气体供给部向热处理室内供给惰性气体的方式，但也可以不是这样，也可以实施其他方式。例如，也可以实施气体供给部向热处理室内供给空气的方式。或者，也可以实施气体供给部向热处理室内供给惰性气体和空气的混合气体的方式。

(6)另外，在上述实施方式中，例示了设置一对入口侧气体供给部的方式，但也可以不是这样，也可以实施其他方式。例如，也可以实施设置1个或3个以上入口侧气体供给部的方式。另外，在上述的实施方式中，例示了形成为圆筒状的入口侧气体供给部，但入口侧气体供给部的形状可以不是这样，也可以进行各种变更来实施。例如，也可以实施入口侧气体供给部形成为箱状、方筒状、或者多个圆筒状的部分以它们的内部连通的状态连结的形状等各种形状的方式。另外，在上述的实施方式中，例示了在入口侧气体供给部中，多个喷嘴孔以向下方吹出气体的方式设置的方式，但也可以不是这样，也可以实施其他方式。例如，在喷嘴部中，也可以实施多个喷嘴孔以向下方以外的方向吹出气体的方式设置的方式。

(7)另外，在上述实施方式中，例示了出口侧气体供给部设置有一对的方式，但也可以不是这样，也可以实施其他方式。例如，也可以实施设置1个或3个以上出口侧气体供给部的方式。另外，在上述的实施方式中，例示了形成为圆筒状的出口侧气体供给部，但出口侧气体供给部的形状可以不是这样，也可以进行各种变更来实施。例如，也可以实施出口侧气体供给部形成为箱状、方筒状、或者多个圆筒状的部分以它们的内部连通的状态连结的形状等各种形状的方式。另外，在上述的实施方式中，例示了在出口侧气体供给部中，多个喷嘴孔以向下方吹出气体的方式设置的方式，但也可以不是这样，也可以实施其他方式。例如，在喷嘴部中，也可以实施多个喷嘴孔以向下方以外的方向吹出气体的方式设置的方式。

产业上的可利用性

本发明能够广泛地应用于用过热水蒸汽加热被处理物来进行被处理物的热处理的热处理装置。

Claims (8)

1.一种热处理装置，其通过过热水蒸汽对被处理物进行加热，来进行该被处理物的热处理，其中，

该热处理装置具有：

热处理室，其设置有供所述被处理物搬入的入口和供所述被处理物搬出的出口，该热处理室进行从所述入口向所述出口运送的所述被处理物的热处理；

水蒸汽供给部，其设置于所述热处理室中的加热区域，向所述热处理室内供给过热水蒸汽，该加热区域是进行所述被处理物的加热的区域；

水蒸汽排出部，其在所述热处理室中相对于所述水蒸汽供给部分别设置于所述入口侧和所述出口侧，将所述热处理室内的过热水蒸汽向所述热处理室的外部排出；以及

喷射器，其从所述水蒸气排出部吸引过热水蒸气而向所述热处理室的外部排出，

所述水蒸汽排出部形成为沿着所述热处理室的宽度方向延伸的中空的箱状，所述热处理室的宽度方向是与所述被处理物的搬送方向垂直的方向，并且所述水蒸汽排出部设置有吸入过热水蒸气的多个贯通孔。

2.根据权利要求1所述的热处理装置，其中，

该热处理装置还具有向所述热处理室内供给惰性气体和空气中的至少任意一种的气体供给部，

所述入口相对于所述热处理室的外部开放，

该热处理装置具有入口侧气体供给部作为所述气体供给部，该入口侧气体供给部设置于比在所述热处理室中相对于所述水蒸汽供给部设置于所述入口侧的所述水蒸汽排出部更靠所述入口侧的位置。

3.根据权利要求2所述的热处理装置，其中，

所述入口侧气体供给部设置有一对，

在所述热处理室中，在一对所述入口侧气体供给部之间设置有将所述热处理室内的气体向所述热处理室的外部排出的入口侧排气部。

4.根据权利要求1所述的热处理装置，其中，

该热处理装置还具有向所述热处理室内供给惰性气体和空气中的至少任意一种的气体供给部，

所述出口相对于所述热处理室的外部开放，

该热处理装置具有出口侧气体供给部作为所述气体供给部，该出口侧气体供给部设置于比在所述热处理室中相对于所述水蒸汽供给部设置于所述出口侧的所述水蒸汽排出部更靠所述出口侧的位置。

5.根据权利要求4所述的热处理装置，其中，

所述出口侧气体供给部设置有一对，

在所述热处理室中，在一对所述出口侧气体供给部之间设置有将所述热处理室内的气体向所述热处理室的外部排出的出口侧排气部。

6.根据权利要求1至5中的任意一项所述的热处理装置，其中，

所述水蒸汽供给部具有在所述被处理物的运送方向上相互对置配置的一对喷嘴部，

一对所述喷嘴部分别构成为朝向一对所述喷嘴部的对置的中间位置侧吹出过热水蒸汽。

7.根据权利要求3所述的热处理装置，其中，

在一对所述入口侧气体供给部各自与所述入口侧排气部之间分别设置有入口侧隔板，

所述入口侧隔板构成为部分地限制所述热处理室中的与所述被处理物的运送方向平行的方向上的气体的流动。

8.根据权利要求5所述的热处理装置，其中，

在一对所述出口侧气体供给部各自与所述出口侧排气部之间分别设置有出口侧隔板，

所述出口侧隔板构成为部分地限制所述热处理室中的与所述被处理物的运送方向平行的方向上的气体的流动。