CN112635616B - 一种硅片湿化学处理工艺 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种硅片湿化学处理工艺，通过载具承载硅片以用于处理硅片，硅片湿化学处理设备包括硅片烘干槽，所述硅片烘干槽包括槽本体和设置在所述槽本体内的吸湿装置，所述吸湿装置适于汲取载具的架杆、侧板上以及硅片底部的液体，在对载具进行湿化学处理之后，采用如下除湿方法：S1,将带有硅片的载具承载到槽本体内并通过吸湿装置吸取载具的架杆、侧板上以及硅片底部的液体。通过将带有硅片的载具承载到承载板，实现对于载具的架杆、侧板上以及硅片底部的液体的排出，从而很好的提高了硅片湿化学处理工艺的效率，降低能耗以及对环境的危害性。

Description

一种硅片湿化学处理工艺

技术领域

本发明涉及一种硅片湿化学处理工艺。

背景技术

随着太阳能光伏行业的发展，晶体硅电池发展的趋势是低成本、高效率、大产量，晶体硅电池的制备需要经过各种工艺设备加工而成，在对硅片表面进行湿化学处理，使用各种化学溶液或纯水对硅片表面进行处理后，需要对硅片表面和载具进行烘干。硅片放置在载具上，当对载具和硅片进行烘干时，载具的底部会聚集大颗粒水滴，需要长时间和高温蒸发掉载具上的聚集水滴，现有的硅片清洗设备中设置的烘干装置不能对载具的底部溶液进行有效去除/需要很长时间才可以去除，当工艺完成后，操作人员或自动化设备从设备上取下载具时，会存在翻转，载具位置有残留溶液的部位，水珠会溅落，存留的溶液易接触到硅片，影响加工效果，对一下道工艺的加工质量造成影响、同时残留的化学品对人类和环境都具有危害性。

为解决上述问题，能够提供一种硅片湿化学处理工艺是很有必要的。

发明内容

本发明的目的是提供一种硅片湿化学处理工艺。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种硅片湿化学处理工艺，通过载具承载硅片以用于处理硅片，硅片湿化学处理设备包括硅片烘干槽，所述硅片烘干槽包括槽本体和设置在所述槽本体内的吸湿装置，所述吸湿装置适于汲取载具的架杆、侧板上以及硅片底部的液体，

在对载具进行湿化学处理之后，采用如下除湿方法：

S1,将带有硅片的载具承载到槽本体内并通过吸湿装置吸取载具的架杆、侧板上以及硅片底部的液体。

作为优选，所述吸湿装置包括放置在所述槽本体内的吸水海绵；

作为步骤S1的替换步骤S1b，带有硅片的载具被放置至与吸水海绵接触以汲取载具的架杆、侧板上以及硅片底部的液体。

作为优选，所述槽本体的侧壁和/或底部具有风道装置；

在步骤S1b中，所述风道装置被打开。

作为优选，所述槽本体的侧壁具有喷淋管，所述喷淋管的喷淋口朝向所述吸水海绵；

在步骤S1b之前具有步骤S1a，打开喷淋管喷水以使吸水海绵处于保湿状态。

作为优选，所述吸湿装置包括吸风罩，所述吸风罩位于所述槽本体的底部并且所述吸风罩的入口朝向工件；

作为步骤S1的替换步骤S1B，将带有硅片的载具承载到槽本体内并通过吸风罩吸取载具的架杆、侧板上以及硅片底部的液体。

作为优选，所述槽本体上设置有一承载件；

作为优选，所述槽本体的侧壁和/或底部具有风道装置；

在步骤S1B中，所述风道装置被打开。

在步骤S1B之前具有步骤S1A，将带有硅片的载具承载到承载件。

作为优选，所述吸湿装置包括若干长条吸风管，所述长条吸风管的入风口朝向工件；

在步骤S1B之前具有步骤S1C，将带有硅片的载具的架杆置于所述长条吸风管上方。

作为优选，所述槽本体的侧壁和/或底部具有风道装置；

在步骤S1C中，所述风道装置被打开。

本发明的有益效果是通过将带有硅片的载具承载到承载板，实现对于载具的架杆、侧板上以及硅片底部的液体的排出，从而很好的提高了硅片湿化学处理工艺的效率，降低能耗以及对环境的危害性。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的载具的优选实施例的侧视图；

图2是本发明的实施例一的一种硅片烘干槽的优选实施例的主视图；

图3是本发明的实施例二的一种硅片烘干槽的优选实施例的主视图；

图4是本发明的实施例三中倒虹管、负压吸管一体设置状态下的一种硅片烘干槽的优选实施例的侧视图；

图5是本发明的实施例三中倒虹管路管、负压吸管分体设置状态下的一种硅片烘干槽的优选实施例的侧视图；

图6是本发明的承载板与吸风罩结合的优选实施例的主视图。

图中：载具1，架杆101，侧板102，风管103，风道装置104，槽本体2，吸水海绵3，喷淋管4，承载件5，排液管6，抽风管口601，V形管7，负压管路8，吸风罩9，长条吸风管10，负压吸风口1001，外围管体11，风机12，负压装置13。

具体实施方式

现在结合附图对本发明作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本发明的基本结构，因此其仅显示与本发明有关的构成。

硅片湿化学处理工艺的一般过程为上料，酸碱浸泡，水清洗，脱水，烘干然后下料。

在上料的时候，首先需要将硅片安装到一种载具上，如图1所示，为承载硅片的载具1；该载具1具有侧板102和架设在侧板102上的架杆101，而硅片则架设在架杆101上。承载有硅片的载具1在进行脱水的时候即将承载有硅片的载具1提出清洗的水面，硅片因为自身较薄，其破水张力效果较好，而架杆101和侧板102因为其形状无规则，导致其脱水效果差，并且很容易在架杆101和侧板102上形成较大颗粒的水珠。

并且，该载具1在运转的过程中，载具1会出现翻转，而翻转的时候这些大颗粒的水珠会滞留在硅片上，该残留的液体，不仅影响着加工效果，而且残留的化学品对人类和环境都具有危害性。针对以上的情况，采用了如下的技术方案。

实施例一

如图2所示，提供一种硅片烘干槽，包括槽本体2，所述槽本体2内具有一吸湿装置，所述吸湿装置包括吸水海绵3，以及所述吸水海绵3承载在所述槽本体2内。

通过硅片烘干槽中的吸水海绵3，实现对于载具1的架杆101、侧板102上以及硅片底部的液体的排出，从而很好的提高了整个工艺过程的加工效率。

需要指出的是，该吸水海绵3采用的材料可以为聚乙烯醇材质、纳米细菌纤维素材质或者两者材质的复合，并且此类材质，在干燥条件下整体的硬度较高，因此，为了保证其具有较好的吸水性能，采用了如下的技术方案：在槽本体2内壁上设置喷淋管4，所述喷淋管4的喷淋口朝向所述吸水海绵3。其中，喷淋管4以及喷淋管4的喷淋口的朝向设置，便于保证吸水海绵3处于长期保湿的状态，促进对于酸碱液的快速吸收，并且，水体的喷射，便于清洗该吸水海绵3，使酸碱液体能够尽快的被清洗排出，再而，吸水海绵3适于被挤压，从而促使侧板102、架杆101以及硅片与吸水海绵3的接触，从而实现快速的吸取酸碱液的效果。

实施例二

如图3~6所示，提供一种硅片烘干槽，包括槽本体2，所述槽本体2内具有一吸湿装置，所述吸湿装置包括吸湿组件和负压组件，其中，吸湿组件包括吸风罩9和承载件5，该承载件5呈网孔板，所述吸风罩9位于所述承载件5之下。

通过硅片烘干槽中的吸风罩9配合承载件5，实现对于载具1的架杆101、侧板102上以及硅片底部的液体的排出，从而很好的提高了整个工艺过程的加工效率。

在一些实施例中，所述吸湿组件还包括若干长条吸风管10，以及所述长条吸风管10的入风口1001高于所述承载件5，所述长条吸风管10的入风口1001呈倒锥形。

其中，长条吸风管10的设置配合长条吸风管10的吸风口1001的倒锥形，便于承载载具1的架杆101并且通过负压吸风的作用，将架杆101上的酸碱液很好的吸收。

在一些实施例中，所述槽本体2的侧壁具有若干风道装置104。其中，这些风道装置104的开设，便于采用如下两种形式：1、形成负压吸风，在其负压吸风的过程中，部分液体会从此吸走；2、形成正压吹风，在其正压吹风的过程中，部分液体会从载具1上被吹下。在该风道装置包括与其连接的风机12，风管103，所述风机12提供抽风或者吹风，所述风管103设置有风口，用于向槽内吹入正风，或将槽内的风抽离。

设置风道装置用于加速硅片及载具上的液体下落，对去除液体起到辅助作用。

实施例三

如图3和6所示，提供一种硅片烘干槽，包括槽本体2，所述槽本体2内具有一吸湿装置，所述吸湿装置包括吸湿组件和负压组件，其中，吸湿组件包括吸风罩9和承载件5，该承载件5呈网孔板，所述吸风罩9位于所述承载件5之下。通过硅片烘干槽中的吸风罩9配合承载件5，实现对于载具1的架杆101、侧板102上以及硅片底部的液体的排出，从而很好的提高了整个工艺过程的加工效率。

在一些实施例中，所述吸湿装置还包括若干长条吸风管10，以及所述长条吸风管10的负压吸风口1001高于所述承载件5，所述长条吸风管10的入风口1001呈倒锥形。

其中，长条吸风管10的设置配合长条吸风管10的负压吸风口1001的倒锥形，便于承载载具1的架杆101并且通过负压吸风的作用，将架杆101上的酸碱液很好的吸收。

在一些实施例中，所述槽本体2的侧壁同样可以设置若干风道装置104。其中，这些风道装置104的开设，便于采用如下两种形式：1、形成负压吸风，在其负压吸风的过程中，部分液体会从此吸走；2、形成正压吹风，在其正压吹风的过程中，部分液体会从载具1上被吹下。在该风道装置104包括与其连接的风机12，风管103，所述风机12提供抽风或者吹风，所述风管103设置有风口，用于向槽内吹入正风，或将槽内的风抽离。

设置风道装置用于加速硅片及载具上的液体下落，对去除液体起到辅助作用。

在一些实施例中，所述吸湿组件还包括吸水海绵3，以及所述吸水海绵3承载在所述承载件5上。通过硅片烘干槽中的吸水海绵3，实现对于载具1的架杆101、侧板102上以及硅片底部的液体的吸取，从而很好的提高了整个工艺过程的加工效率。

需要指出的是，该吸水海绵3采用的材料可以为聚乙烯醇材质、纳米细菌纤维素材质或者两者材质的复合，并且此类材质，在干燥条件下整体的硬度较高，因此，为了保证其具有较好的吸水性能，采用了如下的技术方案：在该吸水海绵3的侧部及槽本体2的内壁上具有喷淋管4，所述喷淋管4的喷淋口朝向所述吸水海绵3。其中，喷淋管4以及喷淋管4的喷淋口的朝向设置，便于保证吸水海绵3处于长期保湿的状态，促进对于酸碱液的快速吸收，并且，水体的喷射，便于清洗该吸水海绵3，使酸碱液体能够尽快的被清洗排出，再而，吸水海绵3适于被挤压，从而促使侧板102、架杆101以及硅片与吸水海绵3的接触，从而实现快速的吸取酸碱液的效果。

需要指出的是，清洗用的水体以及掉落的酸碱液会沉降在槽本体2的底部，以及承载件5之下，为了需要将其排除，在槽本体2的底部设置了一个排液管6，并且因为载具1在除湿的过程中是在一个负压的条件下进行并且同时为了避免废水的倒灌，在排液管6的底部设置了一个外围管体11，而外围管体11则与一个倒虹管7连接且连通，通过倒虹管7的设置，很好的借助了废水滞留而形成水密封的效果，优选地倒虹管为U型管。

而长条吸风管10同样配备有负压管路8。如图4所示，为了节省底部开口的开设，负压管路8与排液管6可共用一个管道组件，即将排液管6连接且连通在负压管路8的底部，而在排液管6的侧部开设一个抽风管口601，在该抽风管口601处，连接且连通有一个负压装置13。通过此种形式的设计，在负压装置13负压吸风的过程中，会促进排废的进行，并且通过一个管道组件的形成，很好的降低了成本。

如图5所示，负压管路8与排液管6没有共用一个管道组件，即将排液管6连接且连通在槽本体2的底部，在排液管6的底部设置了一个外围管体11，而外围管体11则与一个倒虹管7连接且连通，通过倒虹管7的设置，很好的借助了废水滞留而形成水密封的效果。

同步地，在排液管6的侧部开设一个抽风管口601，在该抽风管口601处，连接且连通有一个负压装置13。通过此种形式的设计，在负压装置13负压吸风的过程中，促进排废的进行。

实施例四

一种湿化学处理设备，包括槽室、搬移装置，所述槽室包括至少一处工艺槽，一处设置加热组件的硅片烘干槽，还包括上述任一所述设置吸湿装置的硅片烘干槽，所述工艺槽槽内通入溶液，用于对硅片表面进行加工，上述任一所述的硅片烘干槽，用于去除对承载待加工件的载具上的液体，一处设置加热组件的硅片烘干槽用于对已完成加工的加工件及载具进行进一步烘干处理，完全去除附着在其表面的液体。

搬移装置可以为机械手，由于实现将含加工件的载具在槽体间转运，即从一个槽室至另一个槽室，由于含加工件的载具经过工艺槽内溶液的加工后，硅片及载具上会存留溶液，优选地，含加工件的载具优先经过设置有吸湿装置的硅片烘干槽，再经过设置加热组件的硅片烘干槽，实现对含硅片的载具进行烘干，有效去除硅片表面及载具的溶液。

以上述依据本发明的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项发明技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项发明的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。

Claims (2)

1.一种硅片湿化学处理工艺，通过载具承载硅片以用于处理硅片，其特征在于，硅片湿化学处理设备包括硅片烘干槽，所述硅片烘干槽包括槽本体和设置在所述槽本体内的吸湿装置，所述吸湿装置适于汲取载具的架杆、侧板上以及硅片底部的液体， 在对载具进行湿化学处理之后，采用如下除湿方法： S1 , 打开喷淋管喷水以使吸水海绵处于保湿状态，带有硅片的载具被放置至与吸水海绵接触以汲取载具的 架杆、侧板上以及硅片底部的液体，吸水海绵适于被挤压，促使侧板、架杆以及硅片与吸水海绵的接触；所述吸湿装置包括放置在所述槽本体内的吸水海绵，所述槽本体的侧壁具有喷淋管，所述喷淋管的喷淋口朝向所述吸水海绵，所述吸水海绵为聚乙烯醇材质，纳米细菌纤维素材质或者两种材质的复合。

2.如权利要求1所述的硅片湿化学处理工艺，其特征在于， 所述槽本体的侧壁和/或底部具有风道装置； 在步骤S1b中，所述风道装置被打开。

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