CN215391305U - 清洗设备 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种清洗设备，属于半导体制造技术领域，清洗设备包括：机架；槽体，设于机架内；抽风系统，抽风系统包括：进风口，设于机架上，用于向机架的内部进风；出风口，和进风口设置在机架的同侧，并与进风口间隔设置；抽风道，抽风道连通进风口与出风口。本申请抽风道中气体流向一致，使得废气能够在第一时间排出到清洗设备外，保证了整体晶圆清洗工艺的效果。

Description

清洗设备

技术领域

本申请属于半导体制造技术领域，具体而言，涉及一种清洗设备。

背景技术

在目前传统发光二极管芯片清洗方法步骤中，清洗设备中的发光二极管芯片晶圆需要与不同溶液反应，会产生部分有害气体，并且晶圆的加工过程中对于环境的清洁度要求很高，所以需要将设备中产生的废气或者挥发的溶液及时通过抽风系统排出到设备外。现有的清洗设备常采用侧壁抽风，顶部压风。由于顶部压风与抽风装置形成的风道有死角，废气不能在第一时间排出到设备外，影响整体晶圆清洗工艺。

实用新型内容

本申请旨在解决上述技术问题的至少之一。

有鉴于此，本申请的第一目的在于提供一种清洗设备。

为了实现上述目的，本申请的技术方案提供了一种清洗设备，清洗设备包括：机架；槽体，设于机架内；抽风系统，抽风系统包括：进风口，设于机架上，用于向机架的内部进风；出风口，和进风口设置在机架的同侧，并与进风口间隔设置；抽风道，抽风道连通进风口与出风口。

根据本申请提供的清洗设备，包括机架、槽体和抽风系统。抽风系统包括进风口、出风口和抽风道。槽体用于盛放可以与晶圆反应的溶液。晶圆与槽体内的溶液发生反应，会产生部分有害气体。通过在进风口进风，使外部的新鲜空气进入清洗设备内，在出风口向外抽风，气体在抽风道中流向一致，没有死角，从而使槽体内液体与晶圆反应产生的废气可以从抽风道及时被第二风机排出到清洗设备外，保证整体晶圆清洗工艺不被影响。

另外，本申请提供的技术方案还可以具有如下附加技术特征：

上述技术方案中，抽风系统还包括：通风板，通风板套设于槽体的开口处的一端，通风板与机架连接，通风板上均匀设有多个通孔。进风口进风后，气流经由多个通孔通过抽风道排出出风口。

在该技术方案中，通风板套设于槽体的开口处的一端，可以防止异物进入抽风道。通风板与机架可以是固定连接，也可以为可装卸地连接。通过通风板与机架可装卸地连接，能够方便对抽风道内的进行清洗，方便于日常的维修与更换。通风板上均匀设有多个通孔，多个通孔用于通过气体，进风口进风后，气流经由多个通孔通过抽风道排出出风口，通孔靠近槽体的开口，有利于废气及时排出。

上述技术方案中，抽风系统还包括：过滤器，设于进风口内，过滤器用于过滤进风口进入的空气。

在该技术方案中，抽风系统还包括过滤器。过滤器设于进风口内，能够使进风口进入的空气经过过滤器，进入清洗设备的内部，从而使得清洗设备的内部的环境更为清洁，满足晶圆的生成过程中对于环境的清洁度的要求。

上述技术方案中，抽风道包括底板，底板位于通风板远离进风口的一侧，底板倾斜设置。

在该技术方案中，抽风道包括底板，底板位于通风板远离进风口的一侧。在机械手在不同槽体抓取与横移晶圆的过程中，溶液很有可能会通过通风板上的通孔滴落到风道中，因此，底板倾斜设置，有利于对滴落的溶液集中在底板倾斜角度的末端，排放出废液。

上述技术方案中，底板设有排放口，排放口用于排放废液。

在该技术方案中，底板设有排放口。滴落在底板上的废液受倾斜设置的底板的影响汇聚到底板倾斜角度的末端，通过排放口，可以将滴落的液体及时排出清洗设备外。

上述技术方案中，抽风系统还包括排废管道，排废管道与排放口相连。

在该技术方案中，抽风系统还包括排废管道，排废管道与排放口相连，可以将滴落的液体及时排出清洗设备外，排废管道设置的不大，因此不会影响整体的排风效果。

上述技术方案中，槽体的数量至少为两个；通风板的数量至少为两个，每个通风板套设于一个槽体上。

在该技术方案中，由于晶圆的清洗过程较为复杂，过程中会与不同的溶液进行接触，因此清洗设备内部的槽体的数量至少为两个，可以盛放不同的溶液。相应地，通风板的数量也应至少为两个，一个通风板与一个槽体对应，便于将清洗过程中的废气通过通孔排出。

上述技术方案中，抽风道的数量为多个，至少两个抽风道之间连通；和/或至少两个抽风道之间隔绝。

在该技术方案中，抽风道的数量为多个，至少两个抽风道之间可以连通，也可以隔绝。各个抽风道之间不连通，在排废效果上更好。两个或两个以上的抽风道之间连通，可以使多个槽体共用风机，节约成本。

根据本申请的实施例的附加方面和优点将在下面的描述部分中变得明显，或通过根本申请的实施例的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本申请的一个实施例的清洗设备的主视结构示意图；

图2是图1中E-E处的剖视结构示意图；

图3是图1中D-D处的剖视结构示意图；

图4是根据本申请的一个实施例的清洗设备的结构示意框图。

其中，图1至图4的附图标记与部件名称之间的对应关系为：

10：清洗设备；100：抽风系统；102：机架；104：槽体；110：抽风道； 112：第一风机；114：第二风机；116：通风板；122：底板；126：承接板。

具体实施方式

为了能够更清楚地理解本申请的上述目的、特征和优点，下面结合附图和具体实施方式对本申请进行进一步的详细描述。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请，但是，本申请还可以采用其他不同于在此描述的其他方式来实施，因此，本申请的保护范围并不受下面公开的具体实施例的限制。

下面参照图1至图4描述本申请一些实施例的清洗设备。

如图2和图4所示，本实施例提供了一种抽风系统100，设于清洗设备10内，清洗设备10包括机架102及设于机架102内的槽体104，抽风系统100包括进风口、出风口和抽风道110。具体地，进风口设于机架102 上，用于向机架102的内部进风。出风口和进风口设置在机架102的同侧，并与进风口间隔设置。抽风道110连通进风口与出风口。

根据本实施例提供的抽风系统100，包括机架102、槽体104、进风口、出风口、抽风道110、第一风机112和第二风机114。槽体104用于盛放可以与晶圆反应的溶液。晶圆与槽体104内的溶液发生反应，会产生部分有害气体。通过在进风口进风，使外部的新鲜空气进入清洗设备10内，在出风口向外抽风，气体在抽风道110中流向一致，没有死角，从而使槽体104 内液体与晶圆反应产生的废气可以从抽风道110及时被第二风机114排出到清洗设备10外，保证整体晶圆清洗工艺不被影响。

其中，出风口和进风口设置在机架102的同侧，是指出风口与进风口均设置在机架102的同一侧，并与进风口间隔设置，避免气流的相互干涉，影响抽风效果。将出风口与进风口设置在同侧是方便厂家对接排废管道，维修也更便捷，本实施例中出风口与进风口设置在清洗设备10的顶部。

抽风系统100还包括第一风机112和第二风机114，第一风机112与进风口连接。第一风机112用于进风。第二风机114与出风口连接。第二风机114用于抽风。

进一步地，第一风机112的功率大于第二风机114的功率。在进风口使用功率较大的第一风机112使外部的空气送入清洗设备10内，可以增加新鲜空气的比例，在出风口使用功率较小的第二风机114向外抽风，可以在清洗设备10内部形成负压，更便于产生的废气通过通孔进入抽风道110 被第二风机114排出到清洗设备10外。

在一些实施例中，抽风系统100还包括通风板116，通风板116套设于槽体104的开口处的一端，可以防止异物进入抽风道110。通风板116 与机架102可装卸连接，从而方便对抽风道110内的进行清洗，方便于日常的维修与更换。通风板116上均匀设有多个通孔，多个通孔用于通过气体，使废气通过通孔进入抽风道110，通孔靠近槽体104的开口，有利于废气及时排出。

在上述实施例中，抽风系统100还包括过滤器。过滤器设于进风口内，能够使第一风机112送入的空气经过过滤器，进入清洗设备10的内部，从而使得清洗设备10的内部的环境更为清洁，满足晶圆的生成过程中对于环境的清洁度的要求。

在上述实施例中抽风道110包括底板122，底板122位于通风板116 远离第一风机112的一侧。在机械手在不同槽体104抓取与横移晶圆的过程中，溶液很有可能会通过通风板116上的通孔滴落到风道中，因此，底板122倾斜设置，有利于对滴落的溶液集中在底板122倾斜角度的末端，排放出废液。

进一步地，底板122设有排放口。抽风系统100还包括排废管道，排废管道与排放口相连。滴落在底板122上的废液受倾斜设置的底板122的影响汇聚到底板122倾斜角度的末端，通过排放口与排废管道，可以将滴落的液体及时排出清洗设备10外，排废管道设置的不大，因此不会影响整体的排风效果。此外，底板122倾斜角度的末端，也可以做成排水渠的形式统一排废。

如图1和图3所示，在一些实施例中，由于晶圆的清洗过程较为复杂，过程中会与不同的溶液进行接触，因此清洗设备10内部的槽体104的数量至少为两个，可以盛放不同的溶液。相应地，通风板116的数量也应至少为两个，一个通风板116与一个槽体104对应，便于将清洗过程中的废气通过通孔排出。

进一步地，抽风道110的数量为多个，多个抽风道110之间相互隔绝，每一个抽风道110两端都设置一个第一风机112和一个第二风机114用来排出废气，排废效果好。

在另一些实施例中，抽风道110的数量为多个。其中，两个抽风道110 之间是连通的，其余抽风道110之间是隔绝的，两个槽体104可以共用一个第一风机112和一个第二风机114，从而减少了第一风机112和第二风机114的数量，节省了材料。

在又一些实施例中，抽风道110的数量为多个。其中，三个抽风道110 之间是连通的，其余抽风道110之间是隔绝的，三个槽体104可以共用两个第一风机112和两个第二风机114，在保证排废效果的情况下减少了第一风机112和第二风机114的数量，节省了材料。

如图2所示，在上述实施例中，清洗设备10还包括承接板126，承接板126设于机架102上，并与机架102之间通过加强筋加固。承接板126 也以放置槽体104，并且从槽体104四周支撑槽体104。

如图1至图3所示，根据本具体实施例提供的清洗设备10，包括至少两个槽体104，槽体104用于盛放可以与晶圆反应的液体。晶圆通过机械手的抓取与横移在多个槽体104中移动，由于晶圆清洗的清洁度要求特别高，所以一般的设备都会在内部设立抽风道。现有技术一般在侧壁设立抽风道是因为在机械受移动晶圆的过程中，不可避免的会将槽体104内的溶液带出来。为了防止溶液滴落在抽风道里，所以将抽风道设置在侧壁。但是设置在侧壁，会让风向流道不均，不能及时将反应产生的废气排出去，所以现在将风道改进，在机架102上预设位置，也就是槽体104的旁边会设置一块可拆卸的通风板116，通风板116上设有均匀的通孔，用来排废，摒弃之间的侧壁抽风方式，在进风口使用大功率的第一风机112使外部的新鲜风通过过滤器进入清洗设备10内，在出风口使用普通功率的第二风机114往外抽风，这样可以在清洗设备10内部形成负压，更便于将产生的废气通过通孔进入抽风道110被出风口风机排出到清洗设备10外(一般清洗设备10外部会有专门的排废管道，不是直接排到空气中)。但是使用通孔来排废气，前面提到的移动过程中的溶液很有可能会滴落到抽风道110中，所以在抽风道110的底部设计了一个倾斜角度，在倾斜角度的末端会连接一个排废管道，使得滴落的液体可以及时排出。排废管道的管体不大，不会影响整体的排废气效果。

在整体设计上抽风道110内部可以相互连通也可以单独设置。其中单独设置抽风道110底部不连通可能在排废效果上更好，但是每个抽风道110的风道都需要设立两个风机，会使成本增加。将底部连通可以自由设置风机，两个槽体104可以共用一个第一风机112和一个第二风机114。或者三个槽体104共用两个第一风机112和两个第二风机114，可以节省成本。在实际生产过程中则是混合使用，根据清洗设备10的情况来设置。因为清洗设备10存在分段设置，所以有单独设置的抽风道110，也有连通的抽风道110。

综上，本具体实施例具有以下有益效果：

1)能快速将有害气体排出设备，保持设备内部洁净度，满足晶圆工艺要求。

2)抽风道110的底部倾斜便于排出废液。

在本申请中，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述的目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；术语“多个”则指两个或两个以上，除非另有明确的限定。术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；“相连”可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或单元必须具有特定的方向、以特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本申请的限制。

在本说明书的描述中，术语“一个实施例”、“一些实施例”、“具体实施例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或实例。而且，描述的具体特征、结构、材料或特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

以上仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种清洗设备，其特征在于，包括：

机架(102)；

槽体，设于所述机架(102)内；

抽风系统，所述抽风系统包括：

进风口，设于所述机架(102)上，用于向所述机架(102)的内部进风；

出风口，和所述进风口设置在所述机架(102)的同侧，并与所述进风口间隔设置；

抽风道(110)，所述抽风道(110)连通所述进风口与所述出风口。

2.根据权利要求1所述的清洗设备，其特征在于，所述抽风系统还包括：

通风板(116)，所述通风板(116)套设于所述槽体(104)的开口处的一端，所述通风板(116)与所述机架(102)连接，所述通风板(116)上均匀设有多个通孔；

所述进风口进风后，气流经由多个所述通孔通过所述抽风道(110)排出所述出风口。

3.根据权利要求2所述的清洗设备，其特征在于，所述抽风系统还包括：

过滤器，设于所述进风口内，所述过滤器用于过滤所述进风口进入的空气。

4.根据权利要求3所述的清洗设备，其特征在于，

所述抽风道(110)包括底板(122)，所述底板(122)位于所述通风板(116)远离所述进风口的一侧，所述底板(122)倾斜设置。

5.根据权利要求4所述的清洗设备，其特征在于，

所述底板(122)设有排放口，所述排放口用于排放废液。

6.根据权利要求5所述的清洗设备，其特征在于，

所述抽风系统还包括排废管道，所述排废管道与所述排放口相连。

7.根据权利要求2至6中任一项所述的清洗设备，其特征在于，

所述槽体(104)的数量至少为两个；

所述通风板(116)的数量至少为两个，每个所述通风板(116)套设于一个所述槽体(104)上。

8.根据权利要求7所述的清洗设备，其特征在于，

所述抽风道(110)的数量为多个，至少两个所述抽风道(110)之间连通；和/或

至少两个所述抽风道(110)之间隔绝。

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