CN212512168U - 一种槽式高效烘干系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种槽式高效烘干系统，涉及硅片烘干设备领域，其中烘干槽采用PVDF材质，烘干槽设有主槽和副槽，副槽底部设有匀流管，匀流管内壁均匀分布小孔，加热装置将加热后的空气通过小孔均匀的送入槽内，槽盖两侧均匀分布孔洞，使得潮湿空气能够正常排出，加热装置置于烘干槽外部，上述设计改善了传统烘干槽槽壁因长期靠近高温灯管产生变形，喷氟物脱落导致的金属污染等问题，本实用新型烘干系统效率更高，能耗低，便于安装维护，烘干效果更好，能进一步缩短烘干时间提升产能。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片烘干设备技术领域，尤其涉及一种槽式高效烘干系统。
背景技术
在晶硅电池的制备过程中，硅片需要在槽式清洗机台内和各种化学品反应处理，然后进行烘干，目前的烘干系统烘干效率差，易产生金属污染。现有的技术是烘干槽设计成主槽套副操结构，加热灯管安装在两侧内外槽夹层中，空气在电机作用下形成内循环并通过灯管进行加热，烘干槽不锈钢喷氟设计，灯管安装在槽内，靠近槽壁长时间使用易变形表面喷氟物也易脱落，导致金属污染，加热效率低，能耗高，不方便安装维护。故针对上述问题急需要设计一种高效的烘干系统。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，为了提升烘干效果避免污染，影响电池效率。采用独立加热结构外置的方式，结合鼓风机在槽内形成从下而上直冲气流结合匀流板，从而实现对硅片花篮进行充分烘干。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种槽式高效烘干系统，包括有烘干槽、空气加热装置，所述烘干槽包括主槽、副槽、槽盖，所述副槽设置在主槽内，副槽底部设有匀流管，所述匀流管内壁均匀分布小孔，所述加热装置将加热后的空气通过小孔均匀的送入槽内，所述槽盖两侧均匀分布孔洞，使得潮湿空气能够正常排出，所述空气加热装置置于烘干槽外部。
进一步的技术方案，所述匀流管上方装有匀流板，防止副槽内的碎硅片掉入槽底部，便于槽体清理。
进一步的技术方案，鼓风机从外部抽进空气送入空气加热装置内，鼓风机抽风端、抽风尾端连接高效过滤器保证空气洁净度，同时泵抽风口装有一个过滤网，避免颗粒等杂物抽入泵中。
进一步的技术方案，所述烘干槽、匀流管优先采用PVDF材质。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果：
烘干槽采用PVDF材质，空气加热装置置于烘干槽外部，副槽底部设有匀流管，匀流管内壁均匀分布小孔，加热装置将加热后的空气通过小孔均匀的送入槽内，槽盖两侧均匀分布孔洞，使得潮湿空气能够正常排出，匀流管上方装有匀流板，防止副槽内的碎硅片掉入槽底部，便于槽体清理，上述设计改善了传统烘干槽采用不锈钢喷氟设计，加热灯管安装在槽内，靠近槽壁长时间使用易变形表面喷氟物也易脱落，导致金属污染能耗高，不方便安装维护的技术问题。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种槽式高效烘干系统结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种槽式高效烘干系统内部结构示意图。
图中：1槽盖、2花篮、3主槽、4鼓风机、5空气加热装置、6槽盖、7内槽吹气孔、8匀流管、10副槽、11匀流板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
实施例1；
参照图1-2，一种槽式高效烘干系统，包括有烘干槽、空气加热装置，所述烘干槽包括主槽3、副槽10、槽盖1，烘干槽优选的采用PVDF材质槽体，所述空气加热装置5为独立于槽体外部的加热结构，鼓风机4从外部抽进空气，送入空气加热装置5内，所述鼓风机4抽风端、抽风尾端连接过滤器，保证空气洁净度，同时泵抽风口装有一个过滤网，避免颗粒等杂物抽入泵中。鼓风机4将加热后的空气经匀流管8送入槽内，所述匀流管8优选的采用PVDF材质的中空管，中空管侧壁均匀分布小孔，小孔尺寸在1~5mm范围内，孔间距控制在1~20mm范围内，小孔用于将加热后的空气均匀送入槽内，高速高温气流可将槽内的花篮和硅片上的水滴快速吹干。烘干槽槽盖1两侧均匀分布孔洞，使得潮湿空气能够正常排出，从而使整个烘干系统对花篮和硅片拥有很好的烘干效果；
匀流管8上方装有匀流板11，所述匀流板11一方面用于保证鼓出的热风均匀通入槽内，另一方面具有过滤作用避免碎硅片掉入槽底部，避免了烘干过程中，鼓出的热风将碎片打向烘干中硅片，造成进一步碎片，也便于槽体清理。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种槽式高效烘干系统，其特征在于，包括有烘干槽、空气加热装置，所述烘干槽包括主槽、副槽、槽盖，所述副槽设置在主槽内，副槽底部设有匀流管，所述匀流管内壁均匀分布小孔，所述槽盖两侧均匀分布孔洞，使得潮湿空气能够正常排出，所述空气加热装置置于烘干槽外部。
2.根据权利要求1所述的一种槽式高效烘干系统，其特征在于，所述匀流管上方装有匀流板，防止副槽内的碎硅片掉入槽底部，便于槽体清理。
3.根据权利要求1所述的一种槽式高效烘干系统，其特征在于，鼓风机从外部抽进空气送入空气加热装置内，鼓风机抽风端、抽风尾端连接高效过滤器保证空气洁净度，同时泵抽风口装有一个过滤网，避免颗粒物抽入泵中。
4.根据权利要求1所述的一种槽式高效烘干系统，其特征在于，所述烘干槽、匀流管优先采用PVDF材质。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN202021710199.4U CN212512168U (zh) | 2020-08-17 | 2020-08-17 | 一种槽式高效烘干系统 |
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| CN202021710199.4U CN212512168U (zh) | 2020-08-17 | 2020-08-17 | 一种槽式高效烘干系统 |
Publications (1)
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| CN212512168U true CN212512168U (zh) | 2021-02-09 |
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111928592A (zh) * | 2020-08-17 | 2020-11-13 | 无锡琨圣科技有限公司 | 一种槽式高效烘干系统 |
| CN113437180A (zh) * | 2021-06-09 | 2021-09-24 | 苏州潞能能源科技有限公司 | 高效环保的太阳能电池刻蚀工艺 |
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2020
- 2020-08-17 CN CN202021710199.4U patent/CN212512168U/zh active Active
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