CN209087892U - 一种返工硅片处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种返工硅片处理装置，属于太阳能电池加工技术领域。本实用新型提供的返工硅片处理装置包括制绒机和返工片清洗机，制绒机包括制绒机上料端、制绒机下料端以及位于制绒机上料端和制绒机下料端之间的第一酸洗槽；返工片清洗机包括返工片上料端、返工片下料端以及位于返工片上料端和返工片下料端之间的第一返工片酸洗槽，第一返工片酸洗槽被配置为能够接收第一酸洗槽排放的清洗液。上述的返工硅片处理装置能够使药液利用更充分、节约处理返工片的药液成本，对正常片的加工影响小，能够提升正常片的产能，更重要的是，可以避免正常片和返工片的处理槽交叉污染的问题，减少了返工片处理给制程带来的污染风险，适于推广使用。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池加工技术领域，尤其涉及一种返工硅片处理装置。
背景技术
降低电池片的成本和增加电池片的光电转换效率是光伏太阳能电池的发展方向。虽然电池片生产过程中，产生的低效和外观报废片所占比例不高(约2％)，但长期积累下来，报废片的数量也是巨大的，造成很大的资源浪费。因而通过合理的返工流程将这些低效和外观不良的半成品电池还原成原始硅片，重新制作成合格电池，有着巨大的经济效益。
太阳能电池的制作过程主要包括：制绒、扩散、刻蚀、背钝化、镀膜、激光、印刷和烧结。由于设备原因、人为原因或者其他原因，扩散工序的方阻不在规定范围内、扩散后硅片外观不良及未及时扩散造成的再制品；刻蚀工序的边缘电阻未达到要求或刻蚀面为N型、刻蚀清洗后外观不良及链式刻蚀清洗造成的叠片；背钝化工序和镀膜工序的钝化膜和减反射膜偏薄或者偏厚达不到工艺标准厚度、钝化膜和减反射膜造成的外观不良片；以及激光工序的偏移片等硅片称为失败片，也称为返工硅片。
目前，返工硅片的返工工艺为：对制绒返工片只需要二次制绒即可，相对简单。对扩散、刻蚀背钝化、镀膜、激光的返工片需要通过酸溶液进行湿法浸泡，反应去除PSG或者氮化硅膜和氧化铝膜；再重新制绒、扩散、刻蚀、然后镀膜丝网烧结。目前返工品处理均为停止部分产线生产正常片，集中处理返工片，需要先使用槽式制绒机的酸洗槽，对扩散、刻蚀返工片进行去PSG处理；对P激光返工片进行去氮化硅膜及氧化铝膜处理，然后使用正常片生产线的尾液，令经过酸洗的返工片再经过槽式制绒机的预清洗槽、二次制绒，直至烘干无异常顺流下道工序。这种返工片的处理方式需要停止生产正常片的生产来处理返工片，挤压生产正常片的生产时间，容易造成产能漏失；且清洗返工片需要消耗大量的HF和HCL等药液；而且返工片与正常片共用酸洗槽，槽体交叉污染，易造成正常片的不良。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提出一种能够提高产能、避免正常片和返工片的处理槽体交叉污染的返工硅片处理装置。
为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种返工硅片处理装置，包括：
制绒机，其包括制绒机上料端、制绒机下料端以及位于所述制绒机上料端和所述制绒机下料端之间的第一酸洗槽；以及
返工片清洗机，其包括返工片上料端、返工片下料端以及位于所述返工片上料端和所述返工片下料端之间的第一返工片酸洗槽，所述第一返工片酸洗槽被配置为能够接收所述第一酸洗槽排放的清洗液。
进一步地，所述第一酸洗槽上设置有溢流口，所述第一返工片酸洗槽上设置有进液口，所述溢流口高于所述进液口且能够向所述进液口溢流。
进一步地，所述溢流口和所述进液口通过溢流管连通。
进一步地，所述第一酸洗槽和所述第一返工片酸洗槽处于相同的支撑面上，所述溢流口至所述支撑面的距离为h1，所述进液口至所述支撑面的距离为h2，h2：h1＝3/4-4/5。
进一步地，所述返工片清洗机还包括位于所述返工片上料端和所述第一返工片酸洗槽之间的第二返工片酸洗槽，所述第一返工片酸洗槽能够向所述第二返工片酸洗槽溢流。
进一步地，所述第一返工片酸洗槽和所述第二返工片酸洗槽贴合设置且所述第一返工片酸洗槽和所述第二返工片酸洗槽之间设置有溢流板，所述溢流板的上端呈锯齿状，所述第二返工片酸洗槽的上端呈开口状。
进一步地，所述第一返工片酸洗槽和所述返工片下料端之间依次设置有第一返工片水洗槽、返工片提拉槽和返工片烘干槽，所述第一返工片水洗槽和所述返工片提拉槽分别与净水源连通。
进一步地，所述返工片清洗机还包括位于所述第一返工片酸洗槽和所述第一返工片水洗槽之间的第二返工片水洗槽，所述第一返工片水洗槽能够向所述第二返工片水洗槽溢流。
进一步地，所述制绒机包括依次设置于所述制绒机上料端和所述第一酸洗槽之间的第一水洗槽、第一制绒槽、第二制绒槽、第二水洗槽、碱洗槽和第三水洗槽、以及依次设置于所述第一酸洗槽和所述制绒机下料端之间的第四水洗槽、第一提拉槽和第一烘干槽。
进一步地，所述制绒机上料端和所述第一水洗槽之间设置有预清洗槽，所述第一酸洗槽和所述第四水洗槽之间设置有第五水洗槽，所述第二水洗槽、所述第三水洗槽和所述第四水洗槽分别与净水源连通，所述第四水洗槽能够向所述第五水洗槽溢流，所述第五水洗槽通过泵与所述第一水洗槽连通且能够向所述第一水洗槽泵送清洗水。
本实用新型的有益效果如下：
本实用新型中，返工片清洗机与制绒机为独立的结构，且返工片清洗机的酸洗槽能够接收制绒机的酸洗槽排放的高纯的HF和HCL以用于清洗返工片，药液利用更充分、节约处理返工片的药液成本，对正常片的加工影响小，能够提升总的产能，更重要的是，可以避免正常片和返工片的处理槽交叉污染的问题，减少了返工片处理给制程带来的污染风险，适于推广使用。
附图说明
图1是本实用新型具体实施方式提供的返工硅片处理装置的俯视图；
图2是本实用新型具体实施方式提供的第一酸洗槽、第一返工片酸洗槽和第二返工片酸洗槽的结构示意图；
图3是图2的主视图。
附图标记：
100、制绒机；200、返工片清洗机；300、溢流管；
101、制绒机上料端；102、预清洗槽；103、第一水洗槽；104、第一制绒槽；105、第二制绒槽；106、第二水洗槽；107、碱洗槽；108、第三水洗槽；109、第一酸洗槽；110、第五水洗槽；111、第四水洗槽；112、第一提拉槽；113、第一烘干槽；114、制绒机下料端；1091、溢流口；
201、返工片上料端；202、第二返工片酸洗槽；203、第一返工片酸洗槽；204、第二返工片水洗槽；205、第一返工片水洗槽；206、返工片提拉槽；207、返工片烘干槽；208、返工片下料端；2021、第一排液口；2031、进液口；2032、溢流板。
具体实施方式
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
本实用新型的具体实施方式提供了一种返工硅片处理装置，用于对不合格的硅片进行处理。如图1至图3所示，本具体实施方式提供的返工硅片处理装置包括制绒机100和返工片清洗机200，制绒机100可以但不局限为槽式制绒机，制绒机100包括制绒机上料端101、制绒机下料端114以及位于制绒机上料端101和制绒机下料端114之间的第一酸洗槽109，返工片清洗机200包括返工片上料端201、返工片下料端208以及位于返工片上料端201和返工片下料端208之间的第一返工片酸洗槽203，第一返工片酸洗槽203被配置为能够接收第一酸洗槽109排放的清洗液。可选地，第一酸洗槽109上设置有溢流口1091，第一返工片酸洗槽203上设置有进液口2031，溢流口1091高于进液口2031，进液口2031可以开设于第一返工片酸洗槽203的侧壁和/或上端，溢流口1091和进液口2031通过溢流管300连通。溢流口1091和进液口2031的具体高度不限，能够保证溢流口1091高于进液口2031即可，但优选地，第一酸洗槽109与第一返工片酸洗槽203处于同一支撑面上，溢流口1091至支撑面的距离为h1，进液口2031至支撑面的距离为h2，h2：h1＝3/4-4/5，以保证溢流效果。
本具体实施方式中，返工片清洗机200与制绒机100为独立的结构，且返工片清洗机200的酸洗槽能够接收制绒机100的酸洗槽排放的高纯的HF和HCL以用于清洗返工片，药液利用更充分、节约处理返工片的药液成本，对正常片的加工影响小，能够提升总产能，更重要的是，可以避免正常片和返工片的处理槽交叉污染的问题，减少了返工片处理给制程带来的污染风险，适于推广使用。
如图1和图2所示，返工片清洗机200还包括位于返工片上料端201和第一返工片酸洗槽203之间的第二返工片酸洗槽202，第一返工片酸洗槽203能够向第二返工片酸洗槽202溢流。返工片先在第二返工片酸洗槽202中去除表面PSG或异常膜等，然后进入第一返工片酸洗槽203再次处理，药液被充分利用的同时硅片清洗处理更彻底。需要说明地是，返工片清洗机200中酸洗槽的数量并不局限为一个或者两个，也可以根据返工片的具体情况，设置两个以上返工片酸洗槽，位于上游(上游和下游是相对于返工片的处理顺序而言的，具体地，返工片先进入的槽体即为上游的槽体)的酸洗槽可以采用下游酸洗槽溢流的药液。位于最上游的酸洗槽的底部设置有第一排液口2021。
如图2所示，第一返工片酸洗槽203和第二返工片酸洗槽202可以但不局限为贴合设置，且第一返工片酸洗槽203和第二返工片酸洗槽202之间设置溢流板2032，溢流板2032的上端呈锯齿状，第二返工片酸洗槽202的上端呈开口状，第一返工片酸洗槽203中的药液可以通过溢流板2032溢流至第二返工片酸洗槽202中，锯齿可以保证溢流连续性和稳定性。
如图1所示，第一返工片酸洗槽203和返工片下料端208之间依次设置有第二返工片水洗槽204、第一返工片水洗槽205、返工片提拉槽206和返工片烘干槽207，第一返工片水洗槽205和返工片提拉槽206分别与净水源连通，第一返工片水洗槽205能够向第二返工片水洗槽204溢流。需要说明地是，其他实施方式中可以根据待清洗返工片的情况，仅设置一个或者两个以上返工片水洗槽，位于上游的水洗槽可以采用下游水洗槽溢流的药液。位于最上游的水洗槽的底部设置有第二排液口(图中未示出)。
如图1所示，制绒机100还包括依次设置于制绒机上料端101和第一酸洗槽109之间的预清洗槽102、第一水洗槽103、第一制绒槽104、第二制绒槽105、第二水洗槽106、碱洗槽107和第三水洗槽108、以及依次设置于第一酸洗槽109和制绒机下料端114之间的第五水洗槽110、第四水洗槽111、第一提拉槽112和第一烘干槽113。其中，第二水洗槽106、第三水洗槽108和第四水洗槽111分别与净水源连通。第一制绒槽104、第二制绒槽105可以但不局限为并联槽，以减少硅片反应时间。第四水洗槽111能够向第五水洗槽110溢流，第五水洗槽110通过泵与第一水洗槽103连通且能够向第一水洗槽103泵送清洗水，提高清洗效果的同时能够节约水量。需要说明地是，其他实施方式中也可以不设置预清洗槽102，也可以不设置第五水洗槽110，第一水洗槽103也可以直接与净水源连通。
需要说明地是，本具体实施方式中制绒机上料端101、制绒机下料端114、返工片上料端201和返工片下料端208的具体结构不限，例如可以呈槽状或者其他任意形状，能够向下游槽体供送硅片或者接收上游槽体处理的硅片即可。
需要说明地是，通过溢流的方式将一个槽体中的液体排放至另一个槽体中，具有节能的有益效果。本具体实施方式中溢流的两个槽体之间均可以采用其中一个槽体的溢流口高于另一个槽体的进液口，溢流口和进液口之间通过溢流管连通的方式溢流；或者也均可以通过令两个槽体贴合设置，其中一个槽体的溢流口高于另一个槽体的进液口，进液口设置于槽体上端的贴合方式溢流。其中通过溢流管溢流不影响两个槽体的位置的布置，贴合溢流则结构更简单。通常处于制绒机100中相邻的两个槽体或者处于返工片清洗机200中相邻的两个槽体，优选为贴合溢流。而制绒机100和返工片清洗机200之间的槽体、制绒机100中不相邻的两个槽体以及返工片清洗机200中不相邻的两个槽体之间优选为通过溢流管300连通溢流。贴合溢流时，贴合设置的两个槽体处于同一支撑面上，其中接收溢流液体的槽体的进液口至支撑面的距离与其中向外溢流的槽体的溢流口至支撑面的距离的比值为3/4-4/5。例如,其他实施方式中可以不设置上述溢流管300，而是令第一酸洗槽109和第一返工片酸洗槽203相邻设置，且进液口2031开设于第一返工片酸洗槽203的上端。例如，其他实施方式中，第一返工片酸洗槽203和第二返工片酸洗槽202之间也可以通过溢流管连通。
需要说明地是，在可变换的实施方式中，也可以令两个槽体之间通过泵连通，从而将一个槽体中的液体泵送至另一个槽体中。例如，其他实施方式中，可以令第一酸洗槽109通过泵与第一返工片酸洗槽203连通，此时第一酸洗槽109上的出液口和第一返工片酸洗槽203上进液口2031间的位置关系不限。例如，其他实施方式中，第一返工片酸洗槽203和第二返工片酸洗槽202之间也可以通过泵连通，泵将第一返工片酸洗槽203中的药液泵送至第二返工片酸洗槽202中。
以上结合具体实施例描述了本实用新型的技术原理。这些描述只是为了解释本实用新型的原理，而不能以任何方式解释为对本实用新型保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本实用新型的其它具体实施方式，这些方式都将落入本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种返工硅片处理装置，其特征在于，包括：
制绒机(100)，其包括制绒机上料端(101)、制绒机下料端(114)以及位于所述制绒机上料端(101)和所述制绒机下料端(114)之间的第一酸洗槽(109)；以及
返工片清洗机(200)，其包括返工片上料端(201)、返工片下料端(208)以及位于所述返工片上料端(201)和所述返工片下料端(208)之间的第一返工片酸洗槽(203)，所述第一返工片酸洗槽(203)被配置为能够接收所述第一酸洗槽(109)排放的清洗液。
2.根据权利要求1所述的返工硅片处理装置，其特征在于，
所述第一酸洗槽(109)上设置有溢流口(1091)，所述第一返工片酸洗槽(203)上设置有进液口(2031)，所述溢流口(1091)高于所述进液口(2031)且能够向所述进液口(2031)溢流。
3.根据权利要求2所述的返工硅片处理装置，其特征在于，
所述溢流口(1091)和所述进液口(2031)通过溢流管(300)连通。
4.根据权利要求2所述的返工硅片处理装置，其特征在于，
所述第一酸洗槽(109)和所述第一返工片酸洗槽(203)处于同一支撑面上，所述溢流口(1091)至所述支撑面的距离为h1，所述进液口(2031)至所述支撑面的距离为h2，h2：h1＝3/4-4/5。
5.根据权利要求1所述的返工硅片处理装置，其特征在于，
所述返工片清洗机(200)还包括位于所述返工片上料端(201)和所述第一返工片酸洗槽(203)之间的第二返工片酸洗槽(202)，所述第一返工片酸洗槽(203)能够向所述第二返工片酸洗槽(202)溢流。
6.根据权利要求5所述的返工硅片处理装置，其特征在于，
所述第一返工片酸洗槽(203)和所述第二返工片酸洗槽(202)贴合设置且所述第一返工片酸洗槽(203)和所述第二返工片酸洗槽(202)之间设置有溢流板(2032)，所述溢流板(2032)的上端呈锯齿状，所述第二返工片酸洗槽(202)的上端呈开口状。
7.根据权利要求1至6任一项所述的返工硅片处理装置，其特征在于，
所述第一返工片酸洗槽(203)和所述返工片下料端(208)之间依次设置有第一返工片水洗槽(205)、返工片提拉槽(206)和返工片烘干槽(207)，所述第一返工片水洗槽(205)和所述返工片提拉槽(206)分别与净水源连通。
8.根据权利要求7所述的返工硅片处理装置，其特征在于，
所述返工片清洗机(200)还包括位于所述第一返工片酸洗槽(203)和所述第一返工片水洗槽(205)之间的第二返工片水洗槽(204)，所述第一返工片水洗槽(205)能够向所述第二返工片水洗槽(204)溢流。
9.根据权利要求1至6任一项所述的返工硅片处理装置，其特征在于，所述制绒机(100)包括依次设置于所述制绒机上料端(101)和所述第一酸洗槽(109)之间的第一水洗槽(103)、第一制绒槽(104)、第二制绒槽(105)、第二水洗槽(106)、碱洗槽(107)和第三水洗槽(108)、以及依次设置于所述第一酸洗槽(109)和所述制绒机下料端(114)之间的第四水洗槽(111)、第一提拉槽(112)和第一烘干槽(113)。
10.根据权利要求9所述的返工硅片处理装置，其特征在于，
所述制绒机上料端(101)和所述第一水洗槽(103)之间设置有预清洗槽(102)，所述第一酸洗槽(109)和所述第四水洗槽(111)之间设置有第五水洗槽(110)，所述第二水洗槽(106)、所述第三水洗槽(108)和所述第四水洗槽(111)分别与净水源连通，所述第四水洗槽(111)能够向所述第五水洗槽(110)溢流，所述第五水洗槽(110)通过泵与所述第一水洗槽(103)连通且能够向所述第一水洗槽(103)泵送清洗水。
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| CN113380918B (zh) * | 2021-04-30 | 2024-05-17 | 徐州中辉光伏科技有限公司 | 单晶硅电池返工多道清洗优化设备 |
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| CN113675301B (zh) * | 2021-09-13 | 2023-07-25 | 通威太阳能(眉山)有限公司 | 一种返工片的清洗方法及清洗机 |
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