CN106012027B - 一种单多晶硅链式酸碱一体制绒及其制备方法 - Google Patents
一种单多晶硅链式酸碱一体制绒及其制备方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106012027B CN106012027B CN201610524992.7A CN201610524992A CN106012027B CN 106012027 B CN106012027 B CN 106012027B CN 201610524992 A CN201610524992 A CN 201610524992A CN 106012027 B CN106012027 B CN 106012027B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- alkali
- suede
- wool
- making herbs
- acid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 210000002268 wool Anatomy 0.000 title claims abstract description 57
- 235000008216 herbs Nutrition 0.000 title claims abstract description 56
- 239000002253 acid Substances 0.000 title claims abstract description 41
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 18
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 title claims abstract description 18
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 title claims abstract description 8
- 239000003513 alkali Substances 0.000 claims abstract description 57
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 25
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000005554 pickling Methods 0.000 claims abstract description 21
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 16
- 239000000654 additive Substances 0.000 claims description 12
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 11
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 8
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 2
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 abstract description 5
- 238000009434 installation Methods 0.000 abstract description 3
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N Ascorbic acid Chemical compound OC[C@H](O)[C@H]1OC(=O)C(O)=C1O CIWBSHSKHKDKBQ-JLAZNSOCSA-N 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 5
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 5
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 4
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 4
- 229910001868 water Inorganic materials 0.000 description 4
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 3
- 239000011668 ascorbic acid Substances 0.000 description 3
- 235000010323 ascorbic acid Nutrition 0.000 description 3
- 229960005070 ascorbic acid Drugs 0.000 description 3
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 3
- 229940031098 ethanolamine Drugs 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- WXMKPNITSTVMEF-UHFFFAOYSA-M sodium benzoate Chemical compound [Na+].[O-]C(=O)C1=CC=CC=C1 WXMKPNITSTVMEF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 3
- 239000004299 sodium benzoate Substances 0.000 description 3
- 235000010234 sodium benzoate Nutrition 0.000 description 3
- DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N (R)-(-)-Propylene glycol Chemical compound C[C@@H](O)CO DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N 0.000 description 2
- CYDQOEWLBCCFJZ-UHFFFAOYSA-N 4-(4-fluorophenyl)oxane-4-carboxylic acid Chemical compound C=1C=C(F)C=CC=1C1(C(=O)O)CCOCC1 CYDQOEWLBCCFJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000007942 carboxylates Chemical class 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 2
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 2
- 239000001540 sodium lactate Substances 0.000 description 2
- 229940005581 sodium lactate Drugs 0.000 description 2
- 235000011088 sodium lactate Nutrition 0.000 description 2
- -1 volume ratio 10:1 Substances 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UWHCKJMYHZGTIT-UHFFFAOYSA-N Tetraethylene glycol, Natural products OCCOCCOCCOCCO UWHCKJMYHZGTIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003518 caustics Substances 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000003906 humectant Substances 0.000 description 1
- 239000004615 ingredient Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 1
- FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N potassium nitrate Chemical compound [K+].[O-][N+]([O-])=O FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000000080 wetting agent Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B33/00—After-treatment of single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure
- C30B33/08—Etching
- C30B33/10—Etching in solutions or melts
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1876—Particular processes or apparatus for batch treatment of the devices
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Abstract
本发明公开了一种单多晶硅链式酸碱一体制绒及其制备方法，该一体制绒流程为上料→酸绒→碱预洗→碱绒→碱洗→酸洗→下料，在多晶硅制绒时，除了碱绒这个槽体不配药液，其余均配液；单晶硅制绒时所有槽体的药液均配上。多晶制绒的制备方法为酸绒→碱预洗→碱洗→酸洗；单晶制绒的制备方法为酸绒→碱预洗→碱绒→碱洗→酸洗。本发明避免了单多晶切换时再次换溶液的可能，有效地减少了能耗，提高了设备利用率及人力成本和延长了药液使用寿命，节约了成本。
Description
技术领域
本发明属于太阳能光伏行业领域，尤其涉及一种单多晶硅链式酸碱一体制绒的制备方法。
背景技术
随着太阳能行业的不断发展，追求高效电池成为必然趋势。目前常用的单、多晶硅制绒制备方法分为两种：一是多晶链式酸制绒，另外是单晶槽式碱制绒。其中链式多晶制绒制备方法为上：料→刻蚀→碱洗→酸洗→下料。发明专利《一种多晶硅片的制绒方法》公布了公开了一种多晶硅片的制绒方法，先对多晶硅片进行酸腐蚀的方式制绒，在表面形成腐蚀坑；然后再对多晶硅片进行碱腐蚀的方式制绒，在酸腐蚀形成的凹坑中腐蚀出金字塔的形貌，不仅可以降低多晶电池片的反射率，还可以提高类单晶太阳电池电的性能参数和转换效率。发明专利《一种多晶硅制绒溶液及制绒方法》公开了一种多晶硅制绒溶液，包含硝酸、氢氟酸、去离子水、乙醇胺以及PVP(聚乙烯吡咯烷酮)，其溶液中各组分的质量百分比为：硝酸50％～65％；氢氟酸8％～18％；乙醇胺0.5％～2％；PVP(聚乙烯吡咯烷酮)0.02％～0.5％；去离子水16％～30％，一种多晶硅制绒溶液制绒方法在溶液中通过加入乙醇胺和聚乙烯吡咯烷酮，控制制绒反应的腐蚀速率和溶液的表面张力，大大提高了腐蚀坑的密度，腐蚀坑小而均勻，绒面反射率低，晶面与晶面之间的差别较小且背面抛光利于形成均匀的背场，有利于电池短路电流及开路电压的提升从而提高转换效率。
单晶槽式碱制绒制备方法为：上料→碱预洗→碱绒→酸洗→下料。其中多晶链式制绒产能高，能耗少；然而，单晶槽式制绒产能小，能耗高。由于单晶制绒具有高温且耗时长的特点，简单的链式浸没方式无法满足其工艺条件。发明专利《单晶硅片的制绒液及其制备方法》公开一种单晶硅片制绒液的添加剂，所述添加剂包含的成分为：四甘醇、氢氧化钠、去离子水，还公开一种制绒液的制备方法及单晶硅片的制绒方法，在对单晶硅片进行表面制绒时，将本发明的添加剂加入到碱性制绒液中，可以提高产品制绒效果。然而对于单、多晶槽式碱制绒很难以实现酸碱一体制绒，尤其还需要满足单多晶硅的链式酸碱一体制绒。
本发明采用链式喷淋及快速制绒的添加剂成功的实现了链式碱制绒，同时此制备方法可以在碱制绒不作业时实现酸制绒。即结合多晶酸制绒与单晶碱制绒于一体化链式制绒的制备方法。此一体制绒及其制备方法具有产能高，能耗少，节约设备占地面积等特点。
发明内容
本发明公开了一种单多晶硅链式酸碱一体制绒，该一体制绒流程为上料→酸绒→碱预洗→碱绒→碱洗→酸洗→下料，在多晶硅制绒时，除了碱绒槽体不配药液，其余均配液；同时单晶硅制绒时所有槽体的药液均配上，其具体制备方法步骤如下所示：
多晶制绒的制备方法：(1)酸绒——使用O3/HF/HCL进行常温酸制绒，通过O3的强氧化性在硅片表面生成氧化层，再通过HF的刻蚀作用形成绒面，其中O3浓度控制在15-40ppm，HF/HCl体积比控制在1:1—5:1，时间2-5min；(2)碱预洗——采用KOH/H2O溶液配比控制在2:100—5:100，时间为0.5-5min，中和酸绒中的酸；(3)碱洗——采用KOH/H2O2溶液，其体积比为6:1—10:1，时间为1-5min；(4)酸洗——采用HF/HCl药液，进行硅片表面的清洁及脱水功能，利于烘干的进行，其体积比控制在1:1——5:1，时间为1-5min；
单晶制绒工艺的具体流程如下：(1)酸绒——使用O3/HF/HCL进行酸预洗，有效的去除硅片表面的脏污，且无花片产生；其中O3浓度控制在15-40ppm，HF/HCl体积比为1:1—5:1，时间约1-5min，较多晶酸绒时间略短；(2)碱预洗——采用KOH/H2O溶液配比控制在2:100—5:100，时间为0.5-5min，中和酸绒中的酸；(3)碱绒——采用KOH/添加剂，体积比控制在15:1—8:1，溶液温度为75-85℃，制绒时间为2-5min；(4)碱洗——采用KOH/H2O2溶液，其体积比为6:1—10:1，时间为1-5min；(5)酸洗——采用HF/HCl药液，进行硅片表面的清洁及脱水功能，利于烘干的进行，其体积比控制在1:1——5:1，时间约1-5min；在碱绒工艺中的添加剂为界面活性剂，包括苯甲酸钠、抗坏血酸、消泡剂、表面清洗剂、脂肪族醇、羧酸盐、润湿剂、乳酸钠一种或多种。
本发明避免了单多晶切换时再次换溶液的可能，延长药液使用寿命，节省了换药的时间，节约了成本。本发明有以下效果：
(1)酸绒采用常温作业，有效地减少了能耗；
(2)实现了酸与碱制绒的简单互切，有效地提高了设备利用率及人力成本；
(3)共用槽体如酸绒、碱洗、酸洗药液可互相使用，无需更换，进而延长了药液使用寿命，节约了成本。
具体实施方式
实施例1
多晶制绒的制备工艺分别经过以下流程：首先进行酸绒——使用O3/HF/HCL进行常温酸制绒，通过O3的强氧化性在硅片表面生成氧化层，再通过HF的刻蚀作用形成绒面，其中O3浓度为30ppm，HF/HCl体积比控制在2:1，时间约5min；再次进行碱预洗——采用KOH/H2O溶液配为4:100，时间为1min，中和酸绒中的酸；再进一步进行碱洗——采用KOH/H2O2溶液，其体积比为8:1，时间为1min；最后进行酸洗工艺——采用HF/HCl药液，进行硅片表面的清洁及脱水功能，利于烘干的进行，其体积比控制在3:1，时间约2min。
实施例2
单晶制绒工艺的分别经过以下流程：首先进行酸绒——酸预洗(O3/HF/HCl)，有效的去除硅片表面的脏污，且无滚轮印等花片产生；其中O3浓度为40ppm，HF/HCl体积比为1:1，时间约4min，较多晶酸绒时间略短；再次进行碱预洗——采用KOH/H2O溶液配为3:100，时间约1.5min，中和酸绒中的酸；然后进行碱绒——采用KOH/添加剂，体积比为10:1，溶液温度为80℃，制绒时间为5min；下一步在进行碱洗——采用KOH/H2O2溶液，其体积比为10:1，时间为5min；最后进行酸洗——采用HF/HCl药液，进行硅片表面的清洁及脱水功能，利于烘干的进行，其体积比为3:1，时间约3min；在碱绒工艺中的添加剂为苯甲酸钠、抗坏血酸、消泡剂、表面清洗剂、界面活性剂多种。
实施例3
首先进行多晶制绒的制备工艺多晶制绒的制备工艺分别经过以下流程：首先进行酸绒——使用O3/HF/HCL进行常温酸制绒，通过O3的强氧化性在硅片表面生成氧化层，再通过HF的刻蚀作用形成绒面，其中O3浓度为30ppm，HF/HCl体积比为2:1，时间约5min；再次进行碱预洗——采用KOH/H2O溶液配为4:100，时间为1min，中和酸绒中的酸；再进一步进行碱洗——采用KOH/H2O2溶液，其体积比为8:1，时间为4min；最后进行酸洗工艺——采用HF/HCl药液，进行硅片表面的清洁及脱水功能，利于烘干的进行，其体积比为3:1，时间5min。随后，安排单晶制绒工艺，其具体流程如下：首先进行酸绒——酸预洗(O3/HF/HCl)，有效的去除硅片表面的脏污，且无滚轮印等花片产生；其中O3浓度为20ppm，HF/HCl体积比为3:1，时间约5min，较多晶酸绒时间略短；再次进行碱预洗——采用KOH/H2O溶液配比为5:100，时间约1min，中和酸绒中的酸；然后进行碱绒——采用KOH/添加剂，体积比为8:1，溶液温度为75℃，制绒时间为5min；下一步在进行碱洗——采用KOH/H2O2溶液，其体积比为8:1，时间为4min；最后进行酸洗——采用HF/HCl药液，进行硅片表面的清洁及脱水功能，利于烘干的进行，其体积比为3:1，时间约2min；在碱绒工艺中的添加剂为苯甲酸钠、抗坏血酸、消泡剂、表面清洗剂、脂肪族醇、羧酸盐、润湿剂、乳酸钠和界面活性剂多种。实现了酸与碱制绒的简单互切，有效地提高了设备利用率及人力成本；共用槽体如酸绒、碱洗、酸洗药液可互相使用，无需更换，进而延长了药液使用寿命，节约了成本。
Claims (2)
1.一种单多晶硅链式酸碱一体制绒的制备方法，其特征在于一体制绒流程为上料→酸绒→碱预洗→碱绒→碱洗→酸洗→下料，在多晶硅制绒时，除了碱绒槽体不配药液，其余均配液，在单晶硅制绒时所有槽体的药液均配上，其具体制备步骤如下：
(1)多晶制绒的制备方法：(a)酸绒——使用O3/HF/HCL进行常温酸制绒，通过O3的强氧化性在硅片表面生成氧化层，再通过HF的刻蚀作用形成绒面，其中O3浓度为15-40ppm，HF/HCl体积比为1:1—5:1，酸绒时间为2-5min；(b)碱预洗——采用KOH/H2O溶液配比为2:100—5:100，碱预洗时间为0.5-5min，中和酸绒中的酸；(c)碱洗——采用KOH/H2O2溶液，其体积比为6:1—10:1，碱洗时间为1-5min；(d)酸洗——采用HF/HCl药液，进行硅片表面的清洁及脱水功能，利于烘干的进行，其体积比为1:1—5:1，酸洗时间为1-5min；
(2)单晶制绒工艺的具体流程如下：(a)酸绒——使用O3/HF/HCL进行酸预洗，有效的去除硅片表面的脏污，且无花片产生；其中O3浓度控制在15-40ppm，HF/HCl体积比为1:1—5:1，预洗时间为1-5min，较多晶酸绒时间略短；(b)碱预洗——采用KOH/H2O溶液配比控制在2:100—5:100，预洗时间为0.5-5min，中和酸绒中的酸；(c)碱绒——采用KOH/添加剂，体积比为15:1—8:1，溶液温度为75-85℃，制绒时间为2-5min；(d)碱洗——采用KOH/H2O2溶液，其体积比为6:1—10:1，碱洗时间为1-5min；(e)酸洗——采用HF/HCl药液，进行硅片表面的清洁及脱水功能，利于烘干的进行，其体积比为1:1—5:1，酸洗时间为1-5min。
2.依据权利要求1所述的制备方法，其特征在于碱绒工艺中的添加剂为界面活性剂。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610524992.7A CN106012027B (zh) | 2016-07-05 | 2016-07-05 | 一种单多晶硅链式酸碱一体制绒及其制备方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610524992.7A CN106012027B (zh) | 2016-07-05 | 2016-07-05 | 一种单多晶硅链式酸碱一体制绒及其制备方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN106012027A CN106012027A (zh) | 2016-10-12 |
| CN106012027B true CN106012027B (zh) | 2018-06-26 |
Family
ID=57106838
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201610524992.7A Active CN106012027B (zh) | 2016-07-05 | 2016-07-05 | 一种单多晶硅链式酸碱一体制绒及其制备方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN106012027B (zh) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109585272B (zh) * | 2018-11-29 | 2020-11-20 | 扬州荣德新能源科技有限公司 | 一种提高光电效率的硅片清洗方法 |
| CN110165018A (zh) * | 2019-04-18 | 2019-08-23 | 横店集团东磁股份有限公司 | 一种下降漏电提升效率的多晶清洗工艺 |
| CN110459647A (zh) * | 2019-08-09 | 2019-11-15 | 江苏日托光伏科技股份有限公司 | 一种改善大尺寸硅片制绒均匀性的方法和装置 |
| CN110828299A (zh) * | 2019-11-20 | 2020-02-21 | 常州捷佳创精密机械有限公司 | 一种制绒清洗方法及异质结电池 |
| CN110943144A (zh) * | 2019-11-29 | 2020-03-31 | 晋能清洁能源科技股份公司 | 一种异质结电池的制绒清洗方法 |
| CN112436074A (zh) * | 2020-11-30 | 2021-03-02 | 中建材浚鑫科技有限公司 | 一种适用于双面硅太阳能电池的制绒清洗工艺 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI223342B (en) * | 2003-06-03 | 2004-11-01 | Macronix Int Co Ltd | Method for clean residues on an upper surface of a substrate |
| CN102732886B (zh) * | 2011-04-01 | 2014-06-25 | 李康 | 太阳能单晶硅片的制绒液及其制备方法 |
| CN102925984A (zh) * | 2012-11-14 | 2013-02-13 | 东方电气集团(宜兴)迈吉太阳能科技有限公司 | 单晶硅片的制绒液及其制备方法 |
| CN103346204B (zh) * | 2013-06-07 | 2016-08-10 | 中利腾晖光伏科技有限公司 | 一种多晶链式多步制绒工艺 |
| CN104009125B (zh) * | 2014-06-08 | 2016-07-06 | 邬时伟 | 多晶硅片的制绒工艺 |
-
2016
- 2016-07-05 CN CN201610524992.7A patent/CN106012027B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN106012027A (zh) | 2016-10-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106012027B (zh) | 一种单多晶硅链式酸碱一体制绒及其制备方法 | |
| CN103589538B (zh) | 一种太阳能硅片的清洗液及其使用方法 | |
| CN102181935B (zh) | 一种制作单晶硅绒面的方法及腐蚀液 | |
| CN106098810B (zh) | 一种晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法 | |
| CN103346204B (zh) | 一种多晶链式多步制绒工艺 | |
| CN107268087A (zh) | 一种降低金刚线切割的多晶硅片反射率的金属催化制绒方法 | |
| CN103178159B (zh) | 一种晶体硅太阳能电池刻蚀方法 | |
| CN105870263B (zh) | 一种晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法 | |
| CN103409808A (zh) | 多晶硅片制绒添加剂及其使用方法 | |
| CN102296369B (zh) | 一种多晶硅酸法制绒工艺 | |
| CN107039241B (zh) | 一种超薄硅的化学切割方法 | |
| CN103938276A (zh) | 一种单晶硅片制绒添加剂、制绒液及对应的制绒方法 | |
| CN106222755A (zh) | 用于多晶硅片制绒的添加剂及其应用方法 | |
| CN103394484A (zh) | 多晶硅太阳能电池硅片酸制绒后的清洗工艺 | |
| CN105951184A (zh) | 一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法 | |
| CN104966762A (zh) | 晶体硅太阳能电池绒面结构的制备方法 | |
| CN114292708A (zh) | 用于太阳能电池制绒前清洗的硅片清洗剂及使用方法 | |
| CN102728573A (zh) | 一种晶体硅rie制绒表面损伤层的清洗工艺 | |
| CN103151428A (zh) | 一种晶体硅太阳电池选择性发射极的实现方法 | |
| CN104328503A (zh) | 一种金刚线切割的多晶硅的制绒方法 | |
| CN106340446A (zh) | 一种湿法去除金刚石线切割多晶硅片表面线痕的方法 | |
| CN102634799A (zh) | 一种太阳电池发射极腐蚀方法 | |
| CN103184523B (zh) | 一种单晶硅制绒剂及绒面单晶硅的制备方法 | |
| CN108193280B (zh) | 金刚线多晶硅片酸性制绒液的添加剂及其应用 | |
| CN101609862A (zh) | 一种降低绒面单晶硅片表面反射率的方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |