CN112391615A - 一种基于双桨的小舟运输结构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于双桨的小舟运输结构，包括小舟、舟托和舟桨；小舟设置在舟托上，舟桨设置在舟托下；舟托包括立板、侧板，立板和侧板包围形成舟托；舟桨包括固定舟托的固定部和连接其控制设备的稳固部；本发明提供了一种结构简单、设计合理、自身重量轻的一种基于双桨的小舟运输结构。
Description
此专利是申请号为：2019110110886专利名称为一种小舟运输结构的分案申请
技术领域
本发明涉及半导体或光伏材料加工领域，更具体的说，它涉及一种半导体的加工设备。
背景技术
半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过化学处理才能够应用到产品上，CVD技术是其中的一种处理方式，CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺，例如磷扩散、硼扩散等，都可以采用气体扩散的方式来对原材料进行加工，目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、石墨舟、小舟或者花篮。
传统的设备中，待加工材料的放置方式为竖直插片，在处理过程中，存在工艺气体流动受到干扰或遮挡导致待加工材料上镀膜不均匀的问题；竖直插片的形式还容易出现待加工材料变形，设备进行自动化插拔过程中容易导致待加工材料的碎片率过高，自动化程度困难。
发明内容
本发明克服了现有技术的不足，提供了一种结构简单、设计合理、自身重量轻的一种新型小舟运输结构。
本发明的技术方案如下：
一种小舟运输结构，其特征在于：包括小舟、舟托和舟桨；小舟设置在舟托上，舟桨设置在舟托下；小舟包括顶板、底板和槽棒，顶板和底板通过槽棒连接，槽棒分布在顶板和底板之间；每根槽棒上都分布设置槽口，且每根槽棒上相互对应的槽口处于同一水平面；其中，小舟还包括连接杆，连接杆连接相邻的两个槽棒；连接杆上设置把手，把手与整个小舟的重心处于同一水平面。
舟托包括立板、侧板，立板和侧板包围形成舟托；立板和/或侧板上设置贯穿孔；侧板上设置把手，把手设置在侧板两端，把手底部设置有安置槽；立板和/或侧板上分布贯穿孔，侧板的上边缘处设置定位槽，定位槽分布于侧板上边缘；定位槽内设置增加摩擦力的部件；
舟桨包括固定舟托的固定部和连接其控制设备的稳固部；固定部的厚度小于稳固部，固定部和稳固部之间设置平滑的过渡部；稳固部的一端设置固定结构；舟桨固定部设置一个或多个贯穿孔，贯穿孔的形状与舟桨固定部相适应；舟桨固定部的远离稳固部的一端上设置限位件；贯穿孔分布于固定部；限位件采用圆形凸台。
进一步的，顶板与底板平行设置；底板上设置贯穿孔或贯穿槽。
进一步的，相邻槽口之间的距离与相邻小舟之间的间距成倍数关系；槽口朝向与小舟整体形状相匹配。
进一步的，小舟采用非导电、耐高温、抗压材料；舟托采用非导电、耐高温、抗压材料。
进一步的，把手整体呈圆柱形或长方体；把手底部靠近侧板的一端或中间位置设置安置槽，安置槽采用圆形凹槽或矩形凹槽；或者把手底部远离侧板的一端设置安置槽，并在把手该端设置限位块。
进一步的，舟托和舟桨采用非导电、耐高温、抗压材料。
进一步的，还包括两侧设置把手的舟托，两个舟桨对称设置在舟托两侧。
进一步的，舟托上相应位置的把手上设置与舟桨相匹配的凹槽。
进一步的，舟托的把手设置在舟托侧板的两端，一端的把手底部设置切削的矩形凹槽或圆形凹槽，另一端的把手底部设置同样的凹槽，并在凹槽中间位置设置定位缺口。
进一步的，定位缺口与舟桨的过渡部相匹配。
本发明的优点在于：
本方案结构简单、设计合理；本方案是由小舟、舟托、舟桨构成的运输结构，其中小舟的顶板和底板通过槽棒连接，形成放置待加工材料的舟板的放置空间；待加工插片横向放置在小舟中，并且舟托置于舟桨上可移动，能够避免受到工艺气体流动的干扰以及镀膜不均匀的问题；舟桨结构的桨托结构相比于单舟桨，其固定舟托后，舟托的稳定性远高于单舟桨的作用。舟托结构的立板位于炉管中扩散气流的进气口位置，侧板沿气流方向排布，通过设置的相应贯穿孔来将减小对扩散气流的阻碍。侧板的上边缘处设置定位槽，也可在定位槽内设置增加摩擦力的部件，来降低拖舟现象的发生。舟桨通过限位件和过渡部稳固住舟托的两侧把手，避免了石英舟托架发生偏离的情况。
本方案在侧板上设置把手，一般把手设置在侧板两端。此处设置把手，可以尽量减少舟托在与舟桨配合的长度方向的空间，摆放更大或更多的石英舟。
附图说明
图1为小舟的立体图；
图2为小舟的侧视图；
图3为图2中A处的放大示意图；
图4为小舟省却定板的俯视图；
图5为舟桨的整体结构图；
图6为本发明图5中AF的局部放大图；
图7为本发明图5中AG的局部放大图。
图8为舟托整体结构图；
图9为本发明图8中AF的局部放大图；
图10为本发明图8中AG的局部放大图。
图中标识：顶板1、底板2、槽棒3、槽口31、把手4、连接杆5、舟桨6、固定部7、稳固部8、过渡部9、限位件10、贯穿孔11、舟托12、定位缺口15、侧板16、立板17、把手18、上边缘19、安置槽20、贯穿孔21。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明进一步说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
实施例：
一种小舟运输结构包括小舟、舟托和舟桨；小舟设置在舟托上，舟桨设置在舟托下；如图1所示的新型小舟，包括顶板1、底板2和槽棒3；顶板1和底板2通过槽棒3连接，形成放置待加工材料的舟板的放置空间。小舟整体结构简单，自重较轻，尽可能的提升了载重范围。
其中，槽棒3采用多根，其分布在顶板1和底板2之间，具体槽棒3数量、顶板1形状、底板2形状都与舟板相适应。例如，舟板采用矩形，整个小舟就形成长方体，四根槽棒3分布在顶板1和底板2的四个角上。如图2、图3所示，每根槽棒3上都分布设置槽口31，提供了放置待加工材料舟板的放置空间。每根槽棒3上相互对应的槽口31处于同一水平面，舟板放置其中，形成高度可控的小舟。平行放置的舟板具有比传统更优的热场，舟板与待加工材料平面和热量辐射方向相平行，使得热量可辐射整个小舟，从而能有效获得均匀一致的温度场。在镀减反膜工艺后，待加工材料也不会出现绕镀现象。槽口31朝向与小舟整体形状也尽可能相匹配，以提高小舟稳固舟板的效果。例如，当小舟采用长方体时，四根槽棒3的槽口31两两对称设置。在槽棒3靠近小舟内侧的位置上设置槽口31，使得需要水平放置的舟板就能更容易的插入小舟内，并由槽口31承载舟板、稳固舟板。
槽棒3的相邻槽口31之间间距，相邻小舟之间的间距可根据不同自动化设备要求进行设置即可。作为优选，相邻槽口31之间的距离与相邻小舟之间的间距成倍数关系，这将更有利于自动化设备交错插入舟板。如图4所示，底板2上设置贯穿孔或贯穿槽，且贯穿孔或贯穿槽尽可能的多和大，以在保障小舟承载强度范围内，减少小舟自重。作为较佳方案，在小舟为长方体为例的情况下，设置贯穿孔或贯穿槽的底板2整体呈U形。
顶板1与底板2平行设置，尽可能的最大化提供放置舟板的空间。因为顶板1与底板2非平行设置时，会使得部分空间无法用来水平放置舟板，从而浪费了不必要的空间，并增加了小舟的自重。
还包括连接杆5，以长方体小舟为例，连接杆5连接位于小舟左右两侧的槽棒3，以稳固小舟整体结构，提高强度。连接杆5上设置把手4，把手4与整个小舟的重心处于同一水平面。把手4的形状可以根据实际需要进行设置，一般采用矩形，显而易见也可以采用其它形状，只要便于自动化设备的机械手的取放避位即可。把手4与整个小舟的重心处于同一水平面，将有利于取放小舟时的稳定性，不易在运输中发生小舟的偏位。
小舟采用非导电、耐高温、抗压材料。较佳材料选择为石英或碳化硅材料，以此尽可能的降低自身重量，提高整个小舟对舟板的放置数量，还符合小舟非导电、耐高温的特性。
如图5至图7所示，一种新型舟桨结构，舟桨6上设置限位件10，限位件10来限制舟托12的移动，完成对舟托12的稳固。限位件10可采用圆形凸台，也可以采用其它类似具有限位的结构。
舟桨6的一端设置固定结构，固定结构可采用在舟桨6连接控制设备的一端设置连接孔，以方便稳固舟桨6。具体的，舟桨6包括固定舟托12的固定部7和连接其控制设备的稳固部8，固定部7的厚度小于稳固部8，固定部7和稳固部8之间设置平滑的过渡部9。过渡部9一般采用渐变线性变化，也可以是其它变化过程，只要能与舟托12的把手18上的安置槽20匹配即可。舟桨6固定部7设置一个或多个贯穿孔11，贯穿孔11的形状与舟桨6固定部7相适应(如：舟桨1为长条形，贯穿孔11也采用长条形的孔)，贯穿孔11分布于固定部7。舟桨6结构在保证舟桨6载重范围内的强度情况下，尽可能的减少了自重。贯穿孔11不仅减少自重，还将减少在石英炉管内对扩散气体的阻碍。
舟桨6采用非导电、耐高温、抗压材料，较佳材料选择为石英或碳化硅材料，以此尽可能的降低自身重量，提高其载重限制，扩大产能。
舟桨结构的桨托结构还包括两侧设置把手18的舟托12，两个舟桨6对称设置在舟托12两侧。新型舟桨6结构相比于传统的单舟桨6，其固定舟托12后，舟托12的稳定性远高于单舟桨6的作用。新型舟桨6结构在其载重范围内的强度，其自重已尽可能的最小。
舟托12的把手18设置在舟托12侧板的两端，一端的把手18底部设置切削的矩形安置槽20或圆形安置槽20，另一端的把手18底部设置同样的安置槽20，并在安置槽20中间位置设置定位缺口15。安置槽20的设置便于舟托12与舟桨6的配合。
舟托12的一端的把手18设置在舟桨6的限位件10处，另一端的把手18设置在舟桨6的过渡部9。如图9、图8所示，对应的图中AF、AG位置，舟桨6与舟托12配合。舟桨6通过限位件10和过渡部9稳固住舟托12的两侧把手18，避免了石英舟托12架发生偏离的情况。具体的，如图8中舟托12的AG处把手放置在舟桨6的限位件10靠近稳固部8的一侧；舟托12的AF处把手放置在舟桨6的过渡部9处，或放置在舟桨6的固定部7靠近过渡部9的一端。过渡部9也形成了限制舟托12移动的结构。
一种新型舟托结构，包括立板17、侧板16，立板17和侧板16包围形成舟托，立板17和/或侧板16上设置贯穿孔21。由立板17、侧板16包围形成舟托，舟托形状一般为矩形偏多。舟托需要承载石英舟，这使得其整体体积较大，从而导致舟托的自重较大，限制了其载重。只需要确保舟托在其载重范围内的强度，通过设置一个或多个贯穿孔21，可减少舟托自重，增加其载重。具体的，在立板17、侧板16上可以随意设置贯穿孔21。贯穿孔21的形状可以是规则图形，也可以是非规则图形，如矩形、圆形、菱形、五角形等。目前较佳的方案：立板17、侧板16上的贯穿孔21形状与立板17、侧板16的本身形状相匹配。立板17、侧板16上只设置一个较大的贯穿孔21，贯穿孔21在确保舟托在其载重范围内的强度内尽可能的大。舟托采用非导电、耐高温、抗压材料，较佳材料选择为石英或碳化硅材料，以此尽可能的降低自身重量，提高整个设备对舟托加工的数量，还符合舟托非导电、耐高温的特性。具体的，舟托结构的立板17位于炉管扩散气流的进气口处(图未视)，设置在立板17上的贯穿孔21将减少对扩散气体的阻碍。侧板16沿气流方向排布，侧板16上设置的贯穿孔21也将减小对扩散气流的阻碍。
侧板16的上边缘19处设置定位槽(图未视)。定位槽分布于侧板16上边缘19，便于对石英舟产品的定位放置。作为优选，定位槽内可以设置相应的外部部件，通过该部件降低出现拖舟现象的概率，例如增加摩擦力的突出部件等。
作为优选，在侧板16上设置把手18，一般把手18设置在侧板16两端，根据需要也可以设置多个把手18。在侧板16上设置把手18，可以尽可能减少舟托在与舟桨配合的长度方向的空间，从而摆放更大或更多的石英舟。具体的如图8所示，把手18底部设置有安置槽20。一般把手18整体呈圆柱形或长方体，自然也可以根据需要设置其它形状。把手18底部靠近侧板16的一端或中间位置设置安置槽20，安置槽20采用圆形或矩形。把手18底部设置安置槽20便于与舟桨配合使用，不易发生舟桨与舟托脱落的情况。或者把手18底部远离侧板16的一端设置安置槽20，并在把手18该端设置限位块，以此避免舟桨与舟托分离。显而易见，设置了限位块的把手18可以不设置安置槽20。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明保护范围内。
Claims (8)
1.一种基于双桨的小舟运输结构，其特征在于：包括小舟、舟托和舟桨；小舟设置在舟托上，舟桨设置在舟托下；
舟托包括立板、侧板，立板和侧板包围形成舟托；立板和/或侧板上设置贯穿孔；侧板上设置把手，把手设置在侧板两端，把手底部设置有安置槽；立板和/或侧板上分布贯穿孔，侧板的上边缘处设置定位槽，定位槽分布于侧板上边缘；定位槽内设置增加摩擦力的部件；
舟桨包括固定舟托的固定部和连接其控制设备的稳固部；固定部的厚度小于稳固部，固定部和稳固部之间设置平滑的过度部；稳固部的一端设置固定结构；舟桨固定部设置一个或多个贯穿孔，贯穿孔的形状与舟桨固定部相适应；舟桨固定部的远离稳固部的一端上设置限位件；贯穿孔分布于固定部；限位件采用圆形凸台。
2.根据权利要求1所述的一种基于双桨的小舟运输结构，其特征在于：小舟采用非导电、耐高温、抗压材料；舟托采用非导电、耐高温、抗压材料。
3.根据权利要求1所述的一种基于双桨的小舟运输结构，其特征在于：把手整体呈圆柱形或长方体；把手底部靠近侧板的一端或中间位置设置安置槽，安置槽采用圆形凹槽或矩形凹槽；或者把手底部远离侧板的一端设置安置槽，并在把手该端设置限位块。
4.根据权利要求1所述的一种基于双桨的小舟运输结构，其特征在于：舟托和舟桨采用非导电、耐高温、抗压材料。
5.根据权利要求1所述的一种基于双桨的小舟运输结构，其特征在于：还包括两侧设置把手的舟托，两个舟桨对称设置在舟托两侧。
6.根据权利要求5所述的一种基于双桨的小舟运输结构，其特征在于：舟托上相应位置的把手上设置与舟桨相匹配的凹槽。
7.根据权利要求5所述的一种基于双桨的小舟运输结构，其特征在于：舟托的把手设置在舟托侧板的两端，一端的把手底部设置切削的矩形凹槽或圆形凹槽，另一端的把手底部设置同样的凹槽，并在凹槽中间位置设置定位缺口。
8.根据权利要求7所述的一种基于双桨的小舟运输结构，其特征在于：定位缺口与舟桨的过渡部相匹配。
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