CN208309003U - 一种大容量水平扩散舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种大容量水平扩散舟，包括顶板、底板、若干第一支撑柱、若干第二支撑柱；所述顶板与底板平行布置，若干第一支撑柱间隔设于顶板与底板之间的一侧，若干第二支撑柱间隔设于顶板与底板之间的另一侧；所述第一支撑柱沿其周向从上至下设有若干第一卡槽，第二支撑柱沿其周向从上至下设有若干第二卡槽；所有第一支撑柱上的第一卡槽与所有第二支撑柱上的第二卡槽从上至下均呈同一水平一一对应，用以形成包围硅片的承载槽。本实用新型可实现多列插片，承载硅片的容量大，提高插片效率和运输舟的效率，同时提高舟的寿命。

Description

一种大容量水平扩散舟

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种大容量水平扩散舟。

背景技术

针对太阳能电池生产过程中的扩散、氧化以及低压化学气相沉积工艺，需要将硅片装载在石英舟或碳化硅舟中进入炉管进行工艺。

目前行业中，扩散炉的舟大多数为竖直放置硅片。竖直放置硅片进行低压扩散时，竖直的硅片会对气流产生干扰，均匀气流扩散长度有限。而水平放置硅片扩散相对于竖直放置硅片扩散的优势比较明显，如低绕扩散、低绕镀、硅片形变小、有益于气流稳定、可达到较长的气流稳定区域等优点。现有的水平扩散舟中，每个舟只能放置一列硅片，数量有限。如果同一炉管内舟的数量较多，还需要大舟托来放置小舟，再将大舟托送进炉管。小舟数量多，操作流程复杂，不便于自动化或人工操作。在自动化操作时，需要多次操作小舟，过程相对复杂，且影响小舟寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种大容量水平扩散舟，可实现多列插片，承载硅片的容量大，提高插片效率和运输舟的效率，同时提高舟的寿命。

为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种大容量水平扩散舟，包括顶板、底板、若干第一支撑柱、若干第二支撑柱；所述顶板与底板平行布置，若干第一支撑柱间隔设于顶板与底板之间的一侧，若干第二支撑柱间隔设于顶板与底板之间的另一侧；所述第一支撑柱沿其周向从上至下设有若干第一卡槽，第二支撑柱沿其周向从上至下设有若干第二卡槽；所有第一支撑柱上的第一卡槽与所有第二支撑柱上的第二卡槽从上至下均呈同一水平一一对应，用以形成包围硅片的承载槽。

较佳地，所述第一卡槽在竖直方向上的投影呈劣弧弓；所述第一卡槽的开口朝向第二支撑柱一侧。

较佳地，所述第二卡槽为沿第二支撑柱的周向设置的环形槽。

较佳地，所述第一卡槽为由第一支撑柱的外表面向内部开设；所述第二卡槽为由第二支撑柱的外表面向内部开设。

较佳地，每两第一支撑柱为一组，每组第一支撑柱的间隔为第一间距；所述若干第二支撑柱均匀排布，两第二支撑柱的间隔为第二间距，每一第二间距对应一组第一支撑柱。

较佳地，所述第一间距小于硅片的边长，第二间距略大于硅片的边长。

较佳地，所述水平扩散舟还包括两支架；所述两支架平行且间隔设于底板的底部，且沿底板的长度方向布置。

较佳地，所述支架的横截面呈底部带矩形槽的梯形构造；所述支架的梯形短边与底板的底部连接。

较佳地，所述第一卡槽或第二卡槽的间距均为1.5mm～5mm之间。

采用上述方案，本实用新型的有益效果是：

1)可实现多列插片，承载硅片的容量大，减少机械结构，减少了自动化尺寸，提高了设备场地利用率，提高稳定性；

2)提高自动化产能：由于不需要多次切换舟操作，可连续作业，提高插片效率，提高运输舟的效率；

3)提高舟的寿命：由于对舟的操作次数降低，提高了舟的寿命；

4)底部支架可提高底板强度，可作为支撑放置在炉管内或桨上面。

附图说明

图1为本实用新型的立体图；

图2为本实用新型的主视图；

图3为本实用新型的侧视图；

图4为本实用新型的俯视角结构示意图；

图5为本实用新型的第一支撑柱与硅片的结构示意图；

图6为本实用新型的第二支撑柱与硅片的结构示意图；

其中，附图标识说明：

1—顶板， 2—底板，

3—第一支撑柱， 4—第二支撑柱，

5—支架， 6—硅片，

31—第一卡槽， 41—第二卡槽。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例，对本实用新型进行详细说明。

参照图1至6所示，本实用新型提供一种大容量水平扩散舟，包括顶板1、底板2、若干第一支撑柱3、若干第二支撑柱4；所述顶板1与底板2平行布置，若干第一支撑柱3间隔设于顶板1与底2板之间的一侧，若干第二支撑柱4间隔设于顶板1与底板2之间的另一侧；所述第一支撑柱3沿其周向从上至下设有若干第一卡槽31，第二支撑柱4沿其周向从上至下设有若干第二卡槽41；所有第一支撑柱3上的第一卡槽31与所有第二支撑柱4上的第二卡槽41从上至下均呈同一水平一一对应，用以形成包围硅片的承载槽。

其中，所述第一卡槽31在竖直方向上的投影呈劣弧弓；所述第一卡槽31的开口朝向第二支撑柱4一侧。所述第二卡槽41为沿第二支撑柱4的周向设置的环形槽。所述第一卡槽31为由第一支撑柱3的外表面向内部开设；所述第二卡槽41为由第二支撑柱4的外表面向内部开设。

每两第一支撑柱3为一组，每组第一支撑柱3的间隔为第一间距；所述若干第二支撑柱4均匀排布，两第二支撑柱4的间隔为第二间距，每一第二间距对应一组第一支撑柱3。所述第一间距小于硅片6的边长，第二间距略大于硅片6的边长。

所述水平扩散舟还包括两支架5；所述两支架6平行且间隔设于底板2的底部，且沿底板2的长度方向布置。所述支架5的横截面呈底部带矩形槽的梯形构造；所述支架5的梯形短边与底板2的底部连接。所述第一卡槽或第二卡槽的间距均为1.5mm～5mm之间。

本实用新型工作原理：

本实用新型可采用碳化硅、氮化镓、石英(含高纯石英)、石墨、或镀了涂层的碳化硅或石英；结构上可选用组装式，也可选用一体式。第一间距小于硅6片边长，用于限制硅片6的位置；第二间距大于硅片6边长，便于插片。

第一支撑柱3及第二支撑柱4均带有卡槽，第一支撑柱3或第二支撑柱4的卡槽数量为30～200，优选的卡槽数量为70～100。第一支撑柱3及第二支撑柱4不仅可固定顶板1和底板2，还可承载硅片6。每一第二间距与每组第一支撑柱3形成一列硅片6承载空间，可以是2～15列，优选的列数为5～10列。

插片作业过程如下：

1)将第一支撑柱3一侧朝下，第二支撑柱4一侧朝上；

2)机械或人工将背靠背的硅片6从两第二支撑柱4之间(第二间距)插入，硅片6被插入至对应的一组第一支撑柱3的第一卡槽31内，硅片6抵接在第一支撑柱3的第一卡槽31内；插片方式为垂直扩散炉气流方向插片，可直接扩展更多列；

3)待所有列都插满后翻转舟(顶板1朝上，底板2朝下)，使硅片6水平，机械搬运或人工搬运到桨上，完成后，再由桨将舟送进炉管内部。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种大容量水平扩散舟，其特征在于，包括顶板、底板、若干第一支撑柱、若干第二支撑柱；所述顶板与底板平行布置，若干第一支撑柱间隔设于顶板与底板之间的一侧，若干第二支撑柱间隔设于顶板与底板之间的另一侧；所述第一支撑柱沿其周向从上至下设有若干第一卡槽，第二支撑柱沿其周向从上至下设有若干第二卡槽；所有第一支撑柱上的第一卡槽与所有第二支撑柱上的第二卡槽从上至下均呈同一水平一一对应，用以形成包围硅片的承载槽。

2.根据权利要求1所述的大容量水平扩散舟，其特征在于，所述第一卡槽在竖直方向上的投影呈劣弧弓；所述第一卡槽的开口朝向第二支撑柱一侧。

3.根据权利要求2所述的大容量水平扩散舟，其特征在于，所述第二卡槽为沿第二支撑柱的周向设置的环形槽。

4.根据权利要求1所述的大容量水平扩散舟，其特征在于，每两第一支撑柱为一组，每组第一支撑柱的间隔为第一间距；所述若干第二支撑柱均匀排布，两第二支撑柱的间隔为第二间距，每一第二间距对应一组第一支撑柱。

5.根据权利要求4所述的大容量水平扩散舟，其特征在于，所述第一间距小于硅片的边长，第二间距略大于硅片的边长。

6.根据权利要求1所述的大容量水平扩散舟，其特征在于，所述水平扩散舟还包括两支架；所述两支架平行且间隔设于底板的底部，且沿底板的长度方向布置。

7.根据权利要求6所述的大容量水平扩散舟，其特征在于，所述支架的横截面呈底部带矩形槽的梯形构造；所述支架的梯形短边与底板的底部连接。

8.根据权利要求1所述的大容量水平扩散舟，其特征在于，所述第一卡槽或第二卡槽的间距均为1.5mm～5mm之间。