CN211700223U - 一种新型小舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型小舟，包括顶板、底板和槽棒；顶板和底板通过槽棒连接，槽棒上分布设置槽口，槽口内设置斜切面，使放置物与斜切面通过点接触或线接触，斜切面设置成三角形或梯形状；本实用新型提供了一种结构简单、设计合理、自身重量轻的一种新型小舟。

Description

一种新型小舟

技术领域

本实用新型涉及半导体或光伏材料加工领域，更具体的说，它涉及半导体或光伏材料加工设备中的一种新型小舟。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，CVD技术、扩散工艺或氧化工艺是其中的一种处理方式，其中CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺包括磷扩散、硼扩散等。目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些小舟来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、方舟、石墨舟、小舟或者花篮。

传统的设备中，待加工材料的放置方式为竖直插片，在处理过程中，存在工艺气体流动受到干扰或遮挡导致待加工材料上镀膜不均匀的问题；竖直插片的形式还容易出现待加工材料变形，设备进行自动化插拔过程中容易导致待加工材料的碎片率过高，自动化程度困难，而且硅片的尺寸，有公制，也有英制，不同生产厂家，有不同规格尺寸，从152mm到168mm,之间，存在十多种硅片型号,任何一种尺寸型号，在其生产过程中，都得有其对应的置放装置，不同小舟也要对应不同生产设备，这样导致设备更新成本居高不下。

发明内容

本实用新型克服了现有技术的不足，提供了一种结构简单、设计合理、自身重量轻的一种新型小舟。

本实用新型的技术方案如下：

一种新型小舟，包括顶板、底板和槽棒；顶板和底板通过槽棒连接，槽棒上分布设置槽口，槽口内设置斜切面，使放置物与斜切面通过点接触和/或线接触。

进一步的，斜切面靠近槽棒的一侧高于斜切面的另一侧，或者斜切面靠近槽棒的一侧低于斜切面的另一侧。

进一步的，斜切面设置成三角形或梯形状的平面。

进一步的，槽口在槽棒竖直方向的剖面整体呈直角梯形，直角梯形的短边长度与放置物厚度相适应。

进一步的，斜切面的倾斜角度为15°至45°之间。

进一步的，槽口朝向与小舟整体形状相匹配。

进一步的，槽口剖面为三角形或梯形。

进一步的，槽棒分布在顶板和底板之间；每根槽棒上相互对应的槽口处于同一水平面，且相邻槽口之间的距离与相邻小舟之间的间距成倍数关系。

进一步的，顶板与底板平行设置，且底板上设置贯穿孔或贯穿槽，或者采用多块底板连接槽棒。

进一步的，还包括连接杆，连接杆连接相邻的两个槽棒，连接杆上设置把手，把手与整个小舟的重心处于同一水平面；把手的形状采用矩形；贯穿孔或贯穿槽的底板整体呈U形；小舟采用非导电、耐高温、抗压材料。

本实用新型的优点在于：

本方案的槽口内设置斜切面，槽口的斜切面靠近槽棒的一侧高于斜切面的另一侧，达到放置物通过点接触或线接触与槽口进行接触来进行支撑，自然也可以槽口的斜切面靠近槽棒的一侧低于于斜切面的另一侧。从而实现多规格尺寸的装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，不同尺寸可放置于斜切面的不同位置，以达到安置效果。斜切面的设置，有效去除了传统的矩形槽口在放置相应材料时出现的工艺死角区。

本方案结构简单、设计合理；本方案设置顶板和底板通过槽棒连接，形成放置待加工材料的舟板的放置空间。小舟整体结构简单，自重较轻，尽可能的提升了载重范围。

本方案槽棒数量、顶板形状、底板形状都与舟板相适应。每个槽棒上都分布设置槽口，提供了放置待加工材料舟板的具体每个舟板的放置空间。每个槽棒上相互对应的槽口处于同一水平面，此设置使舟板也要水平放置，形成高度可控的小舟。平行设置的舟板具有比传统更优的热场，舟板与待加工材料平面和热量辐射方向相平行，使得热量可辐射整个方舟，从而能有效获得均匀一致的温度场。在镀减反膜工艺后，待加工材料也不会出现绕镀现象。

本方案相邻槽口之间的距离与相邻小舟之间的间距成倍数关系，这将有利于自动化设备交错插入舟板。底板上设置贯穿孔，且贯穿孔尽可能的多和大，以在保障小舟承载强度范围内，减少小舟自重。

本方案设置连接杆，连接杆连接相邻的两个槽棒，以稳固小舟整体结构，提高强度。连接杆上设置把手，此设置便于自动化设备的机械手的取放避位。把手与整个小舟的重心处于同一水平面，将有利于取放小舟时的稳定性，不易在搬运中发生小舟的偏位。

附图说明

图1为本实用新型的使用状态图；

图2为本实用新型的立体图；

图3为本实用新型的侧视图；

图4为本实用新型图3中画圈处的放大示意图；

图5为本实用新型省却顶板的其中一种俯视图；

图6为本实用新型的一种斜切面倾斜方向的示意图；

图7为本实用新型的另一种斜切面倾斜方向的示意图。

图中标识：顶板1、底板2、槽棒3、槽口31、斜切面32、把手4、连接杆5、放置物6。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

实施例一：

如图1至图6所示，一种新型小舟，包括顶板1、底板2和槽棒3；顶板1和底板2通过槽棒3连接，形成放置待加工材料的舟板的放置空间。小舟整体结构简单，自重较轻，尽可能的提升了载重范围。槽棒3上分布设置槽口31，槽口31内设置斜切面32，槽口31的斜切面32靠近槽棒3的一侧高于斜切面32的另一侧，达到放置物6通过点接触或线接触与槽口31进行接触来进行支撑。从而实现多规格尺寸的装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，不同尺寸可放置于斜切面32的不同位置，以达到安置效果。斜切面32的设置，有效去除了传统的矩形槽口在放置相应材料时出现的工艺死角区。斜切面32本身的形状不做任何限制，可以是半圆弧、三角形、纸条形、多边形等形状。

其中，槽棒3采用多根，其分布在顶板1和底板2之间，具体槽棒3数量、顶板1形状、底板2形状都与舟板相适应。例如，舟板采用矩形，整个小舟就形成长方体，四根槽棒3分布在顶板1和底板2的四个角上。如图3所示，每根槽棒3上都分布设置槽口31，提供了放置待加工材料舟板的放置空间。每根槽棒3上相互对应的槽口31处于同一水平面，舟板放置其中，形成放置物6高度可控的小舟。

具体的，槽口31在槽棒3竖直方向的剖面整体呈直角梯形为较佳方案，直角梯形的短边长度与放置物6相适应，一般略大于放置物6的厚度。自然槽口剖面也可以是三角形、梯形等形状。在较佳方案中的斜切面32的倾斜角度为15°至45°之间，一般以20°左右为宜，使得即可以匹配多种规格的放置物6，又有较好的承载效果。如图4所示，显示出本小舟不同规格尺寸的放置物6的放置状态，且由此可明显得知几乎完全避开了放置物与槽口31的接触面积，去掉了工艺盲区，大大提高了性能和良品率。

平行放置的舟板具有比传统更优的热场，舟板与待加工材料平面和热量辐射方向相平行，使得热量可辐射整个小舟，从而能有效获得均匀一致的温度场。在镀减反膜工艺后，待加工材料也不会出现绕镀现象。槽口31朝向与小舟整体形状也尽可能相匹配，以提高小舟稳固舟板的效果。例如，当小舟采用长方体时，四根槽棒3的槽口31两两对称设置。在槽棒3靠近小舟内侧的位置上设置槽口31，使得需要水平放置的舟板就能更容易的插入小舟内，并由槽口31承载舟板、稳固舟板。

槽棒3的相邻槽口31之间间距，相邻小舟之间的间距可根据不同自动化设备要求进行设置即可。作为优选，相邻槽口31之间的距离与相邻小舟之间的间距成倍数关系，这将更有利于自动化设备交错插入舟板。如图4所示，底板2上设置贯穿孔或贯穿槽，且贯穿孔或贯穿槽尽可能的多和大，以在保障小舟承载强度范围内，减少小舟自重。作为较佳方案，在小舟为长方体为例的情况下，设置贯穿孔或贯穿槽的底板2整体呈U形。

顶板1与底板2平行设置，尽可能的最大化提供放置舟板的空间。因为顶板1与底板2非平行设置时，会使得部分空间无法用来水平放置舟板，从而浪费了不必要的空间，并增加了小舟的自重。

小舟采用非导电、耐高温、抗压材料。较佳材料选择为石英或碳化硅材料，以此尽可能的降低自身重量，提高整个小舟对舟板的放置数量，还符合小舟非导电、耐高温的特性。

实施例二：

实施例二与实施例一基本相同，不同点在于，如图5所示，还包括连接杆5，以长方体小舟为例，连接杆5连接位于小舟左右两侧的槽棒3，以稳固小舟整体结构，提高强度。连接杆5上设置把手4，把手4与整个小舟的重心处于同一水平面。把手4的形状可以根据实际需要进行设置，一般采用矩形，显而易见也可以采用其它形状，只要便于自动化设备的机械手的取放避位即可。把手4与整个小舟的重心处于同一水平面，将有利于取放小舟时的稳定性，不易在搬运中发生小舟的偏位。

实施例三：

实施例三与实施例一基本相同，不同点在于，如图7所示，槽口31的斜切面32靠近槽棒3的一侧低于于斜切面32的另一侧，来实现点接触或线接触。具体的将斜切面32设置成半圆弧、三角形或多边形的平面，实现点接触来提供支撑；或者将斜切面32设置成矩形、梯形等类似形状来实现槽口31的斜切面32远离槽棒3的一侧提供线接触的支撑；或者斜切面32本身为不规则面如波浪形，半球面等，只要能实现点接触或线接触或两者结合达到支撑效果即可。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型保护范围内。

Claims (10)

1.一种新型小舟，其特征在于：包括顶板、底板和槽棒；顶板和底板通过槽棒连接，槽棒上分布设置槽口，槽口内设置斜切面，使放置物与斜切面通过点接触和/或线接触。

2.根据权利要求1所述的一种新型小舟，其特征在于：斜切面靠近槽棒的一侧高于斜切面的另一侧，或者斜切面靠近槽棒的一侧低于斜切面的另一侧。

3.根据权利要求1所述的一种新型小舟，其特征在于：斜切面设置成三角形或梯形状的平面。

4.根据权利要求1所述的一种新型小舟，其特征在于：槽口在槽棒竖直方向的剖面整体呈直角梯形，直角梯形的短边长度与放置物厚度相适应。

5.根据权利要求4所述的一种新型小舟，其特征在于：斜切面的倾斜角度为15°至45°之间。

6.根据权利要求1所述的一种新型小舟，其特征在于：槽口朝向与小舟整体形状相匹配。

7.根据权利要求6所述的一种新型小舟，其特征在于：槽口剖面为三角形或梯形。

8.根据权利要求1所述的一种新型小舟，其特征在于：槽棒分布在顶板和底板之间；每根槽棒上相互对应的槽口处于同一水平面，且相邻槽口之间的距离与相邻小舟之间的间距成倍数关系。

9.根据权利要求1所述的一种新型小舟，其特征在于：顶板与底板平行设置，且底板上设置贯穿孔或贯穿槽，或者采用多块底板连接槽棒。

10.根据权利要求1所述的一种新型小舟，其特征在于：还包括连接杆，连接杆连接相邻的两个槽棒，连接杆上设置把手，把手与整个小舟的重心处于同一水平面；把手的形状采用矩形；贯穿孔或贯穿槽的底板整体呈U形；小舟采用非导电、耐高温、抗压材料。

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