CN216250665U - 双排石英舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种双排石英舟，其包括第一固定件、第二固定件、第一盛料组件和第二盛料组件，所述第一盛料组件包括第一方形盛料棒、共享方形盛料棒和第二方形盛料棒，所述第一方形盛料棒朝向晶片的一侧开设有第一盛料部，所述第二方形盛料棒朝向晶片的一侧开设有第二盛料部，所述共享方形盛料棒朝向晶片的对称侧分别开设有第三盛料部和第四盛料部；所述第二盛料组件包括第一圆形盛料组件和第二圆形盛料组件，所述第一圆形盛料组件朝向晶片的一侧开设有第五盛料部，所述第二圆形盛料组件朝向晶片的一侧开设有第六盛料部。该双排石英舟解决了容易出现晶片损坏的问题。

Description

双排石英舟

技术领域

本实用新型涉及石英舟技术领域，尤其涉及一种双排石英舟。

背景技术

石英舟作为扩散/氧化炉设备的载片石英器件，广泛应用于光伏及半导体行业，其结构形式有水平插片和菱形插片两种，由于自动化设备的不断发展进步，目前行业内普遍采用插片机装片，取代了以往效率极低的人工手动插片。

现有技术中的石英舟存在以下问题，当定位棒上的凹槽的槽深较浅时，石英舟进入反应室进行镀膜晶片在风力的作用下会出现晃动导致晶片破损；当定位棒上的凹槽的槽深较深时，定位棒的承重能力减弱导致定位棒出现断裂从而损坏晶片。

因此，有必要提供一种双排石英舟以解决现有技术中存在的上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种双排石英舟，解决了双排石英舟容易出现晶片损坏的问题。

为实现上述目的，本实用新型的所述双排石英舟包括第一固定件；第二固定件，与所述第一固定件平行设置；第一盛料组件，所述第一固定件和所述第二固定件分别与所述第一盛料组件的两端部固定连接，所述第一盛料组件包括第一方形盛料棒、共享方形盛料棒和第二方形盛料棒，所述第一方形盛料棒朝向晶片的一侧开设有第一盛料部，所述第二方形盛料棒朝向晶片的一侧开设有第二盛料部，所述共享方形盛料棒朝向所述第一方形盛料棒和所述第二方形盛料棒的对称侧分别开设有第三盛料部和第四盛料部；第二盛料组件，所述第一固定件和所述第二固定件分别与所述第二盛料组件的两端部固定连接，所述第二盛料组件包括第一圆形盛料组件和第二圆形盛料组件，所述第一圆形盛料组件朝向晶片的一侧开设有第五盛料部，所述第二圆形盛料组件朝向晶片的一侧开设有第六盛料部；其中，所述第一盛料部和所述第二盛料部的深度为3～4mm，所述第三盛料部和所述第四盛料部的深度为2～3.5mm，所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度为1～2.5mm。

本实用新型的所述双排石英舟的有益效果在于：通过将所述第一盛料部和所述第二盛料部的深度限定为3～4mm，所述第三盛料部和所述第四盛料部的深度限定为2～3.5mm，所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度限定为1～2.5mm，使得所述第一盛料部、所述第二盛料部、所述第三盛料部、所述第四盛料部、所述第五盛料部和所述第六盛料部能稳定固定晶片，双排石英舟进入反应室进行镀膜时晶片在风力的作用下不会出现晃动，从而避免了出现晶片破损的情况，而且能保证所述第一方形盛料棒、所述第二方形盛料棒、所述共享方形盛料棒、所述第一圆形盛料组件和所述第二圆形盛料组件有足够的承重能力，从而避免了所述第一方形盛料棒、所述第二方形盛料棒、所述共享方形盛料棒、所述第一圆形盛料组件和所述第二圆形盛料组件出现断裂而导致损坏晶片。

进一步优选的，所述第一盛料部和所述第二盛料部的深度为3.3～3.7mm，所述第三盛料部和所述第四盛料部的深度为2.5～3mm，所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度为1.5～2mm。其有益效果在于：将所述第一盛料部和所述第二盛料部的深度限定为3.3～3.7mm，所述第三盛料部和所述第四盛料部的深度限定为2.5～3mm，所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度限定为1.5～2mm，所述第一盛料部、所述第二盛料部、所述第三盛料部、所述第四盛料部、所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度值为最优值，此时所述双排石英舟出现晶片破损的概率较低。

优选的，所述第一盛料部、所述第二盛料部、所述第三盛料部、所述第四盛料部、所述第五盛料部和所述第六盛料部均设有多个。其有益效果在于：可以在所述双排石英舟上放置多个晶片。

优选的，所述第三盛料部和所述第四盛料部于所述共享方形盛料棒的对称侧错位设置，且所述第三盛料部和所述第四盛料部沿所述共享方形盛料棒的长度方向的轴向距离为1.3～1.6mm。其有益效果在于：将所述第三盛料部和所述第四盛料部沿所述共享方形盛料棒的长度方向的轴向距离限定为1.3～1.6mm，此时所述双排石英舟中的晶片表面更容易形成良好的薄膜。

优选的，所述第三盛料部和所述第四盛料部于所述共享方形盛料棒的对称侧等间距设置，所述第一盛料部、所述第二盛料部、所述第五盛料部和所述第六盛料部分别等间距设置于所述第一方形盛料棒、所述第二方形盛料棒、所述第一圆形盛料组件和所述第二圆形盛料组件。其有益效果在于：晶片表面形成的薄膜更均匀。

优选的，所述第一盛料部、所述第三盛料部和所述第五盛料部一一对应设置，所述第二盛料部、所述第四盛料部和所述第六盛料部一一对应设置。其有益效果在于：晶片能够稳定地放置在所述双排石英舟上。

优选的，所述双排石英舟还包括加强部，所述加强部的两端部分别与所述第一固定件和所述第二固定件固定连接。其有益效果在于：设置所述加强部，使得整个所述双排石英舟更加稳定，同时有助于减轻所述第二盛料组件的重量。

优选的，所述双排石英舟还包括间隔件，所述间隔件包括若干间隔板，所述间隔板设置于所述第一固定件和所述第二固定件之间，且所述间隔板分别与所述第一盛料组件和所述第二盛料组件连接固定。其有益效果在于：在所述双排石英舟上增加所述间隔件，是为了提高整个所述双排石英舟的稳定性能和牢固性能。

优选的，所述双排石英舟还包括连接件，所述连接件分别与所述第一圆形盛料组件和所述第二圆形盛料组件固定连接。其有益效果在于：设置连接件，是为了提高整个石英舟的稳定性能和牢固性能。

优选的，所述第一固定件和所述第二固定件的外侧设置有吊块。其有益效果在于：所述第一固定件和所述第二固定件的外侧设置有吊块，是为了能方便地将所述双排石英舟放入反应室中。

附图说明

图1为本实用新型实施例的双排石英舟的结构示意图；

图2为图1所示的双排石英舟沿B-B1处的剖视示意图；

图3为图2所述的双排石英舟的局部D的放大示意图；

图4为本实用新型实施例的双排石英舟使用时的剖视示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本实用新型所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。

为克服现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种双排石英舟。

本实用新型一些实施例中，所述双排石英舟包括第一固定件；第二固定件，与所述第一固定件平行设置；第一盛料组件，所述第一固定件和所述第二固定件分别与所述第一盛料组件的两端部固定连接，所述第一盛料组件包括第一方形盛料棒、共享方形盛料棒和第二方形盛料棒，所述第一方形盛料棒朝向晶片的一侧开设有第一盛料部，所述第二方形盛料棒朝向晶片的一侧开设有第二盛料部，所述共享方形盛料棒朝向所述第一方形盛料棒和所述第二方形盛料棒的对称侧分别开设有第三盛料部和第四盛料部；第二盛料组件，所述第一固定件和所述第二固定件分别与所述第二盛料组件的两端部固定连接，所述第二盛料组件包括第一圆形盛料组件和第二圆形盛料组件，所述第一圆形盛料组件朝向晶片的一侧开设有第五盛料部，所述第二圆形盛料组件朝向晶片的一侧开设有第六盛料部；其中，所述第一盛料部和所述第二盛料部的深度为3～4mm，所述第三盛料部和所述第四盛料部的深度为2～3.5mm，所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度为1～2.5mm，解决了当所述第一盛料部、所述第二盛料部、所述第三盛料部、所述第四盛料部、所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度较浅时，双排石英舟进入反应室进行镀膜时晶片在风力的作用下会出现晃动导致晶片破损的情况，当所述第一盛料部、所述第二盛料部、所述第三盛料部、所述第四盛料部、所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度较深时，所述第一方形盛料棒、所述第二方形盛料棒、所述共享方形盛料棒、所述第一圆形盛料组件和所述第二圆形盛料组件的承重能力减弱导致所述第一方形盛料棒、所述第二方形盛料棒、所述共享方形盛料棒、所述第一圆形盛料组件和所述第二圆形盛料组件出现断裂从而损坏晶片的问题。

本实用新型一些具体实施例中，所述第一盛料部和所述第二盛料部的深度为3mm、3.5mm和4mm中的任意一种，所述第三盛料部和所述第四盛料部的深度为2mm、2.5mm、3mm和3.5mm中的任意一种，所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度为1mm、1.5mm、2mm和2.5mm中的任意一种。

本实用新型一些实施例中，所述第一盛料部和所述第二盛料部的深度为3.3～3.7mm，所述第三盛料部和所述第四盛料部的深度为2.5～3mm，所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度为1.5～2mm，将所述第一盛料部和所述第二盛料部的深度限定为3.3～3.7mm，所述第三盛料部和所述第四盛料部的深度限定为2.5～3mm，所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度限定为1.5～2mm，所述第一盛料部、所述第二盛料部、所述第三盛料部、所述第四盛料部、所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度值为最优值，此时所述双排石英舟出现晶片破损的概率较低。

本实用新型一些具体实施例中，所述第一盛料部和所述第二盛料部的深度为3.3mm、3.4mm、3.5mm、3.6mm和3.7mm中的任意一种，所述第三盛料部和所述第四盛料部的深度为2.5mm、2.6mm、2.7mm、2.8mm、2.9mm和3mm中的任意一种，所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度为1.5mm、1.6mm、1.7mm、1.8mm、1.9mm和2mm中的任意一种。

本实用新型一些更具体实施例中，所述第一盛料部和所述第二盛料部的深度为3.5mm，所述第三盛料部和所述第四盛料部的深度为2.8mm，所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度为1.8mm，将所述第一盛料部和所述第二盛料部的深度限定为3.5mm，所述第三盛料部和所述第四盛料部的深度限定为2.8mm，所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度限定为1.8mm，所述第一盛料部、所述第二盛料部、所述第三盛料部、所述第四盛料部、所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度值为最优值，此时所述双排石英舟出现晶片破损的概率最低。

图1为本实用新型实施例的双排石英舟的结构示意图；图2为图1所示的双排石英舟沿B-B1处的剖视示意图；图3为图2所述的双排石英舟的局部D的放大示意图；图4为本实用新型实施例的双排石英舟使用时的剖视示意图。

本实用新型一些具体实施例中，参照图1和图2，所述第一方形盛料棒21的高度和所述第二方形盛料棒23的高度中的任意一种与所述共享方形盛料棒22的高度相同或不同。

本实用新型一些更具体实施例中，参照图4，所述第一方形盛料棒21的高度和所述第二方形盛料棒23的高度与所述共享方形盛料棒22的高度相同。

本实用新型一些实施例中，所述第一圆形盛料组件和所述第二圆形盛料组件分别包括两个以上的圆形盛料棒，设置两个以上的圆形盛料棒是为了能够将晶片更好的放置在双排石英舟中，增加晶片在所述双排石英舟中的稳定性。

本实用新型一些具体实施例中，参照图1、图2和图4，所述第一圆形盛料组件(图中未标示)包括第一一圆形盛料棒111和第一二圆形盛料棒112，所述第二圆形盛料组件包括第二一圆形盛料棒121和第二二圆形盛料棒122，所述第一方形盛料棒21和所述共享方形盛料棒22投影到所述第一一圆形盛料棒111和所述第一二圆形盛料棒112组成的平面上，从投影中可以看出，所述第一一圆形盛料棒111和所述第一二圆形盛料棒112位于所述第一方形盛料棒21和所述共享方形盛料棒22之间，在A方向，所述第一方形盛料棒21的投影和所述第一一圆形盛料棒111之间的间距为D1、所述第一一圆形盛料棒111和所述第一二圆形盛料棒112之间的间距为D2、所述第一二圆形盛料棒112和所述共享方形盛料棒22的投影之间的间距为D3，且所述D1、D2和D3之间满足：D1＝D2＝D3，构成晶片6第一盛放区；所述第二方形盛料棒23和所述共享方形盛料棒22投影到所述第二一圆形盛料棒121和所述第二二圆形盛料棒122组成的平面上，从投影中可以看出，所述第二一圆形盛料棒121和所述第二二圆形盛料棒122位于所述第二方形盛料棒23和所述共享方形盛料棒22之间，在A方向，所述第二方形盛料棒22的投影和所述第二二圆形盛料棒122之间的间距为D4、所述第二二圆形盛料棒122和所述第二一圆形盛料棒121之间的间距为D5、所述第二二圆形盛料棒122和所述共享方形盛料棒22的投影之间的间距为D6，且所述D4、D5和D6之间满足：D4＝D5＝D6，构成晶片6第二盛放区。

本实用新型一些实施例中，所述第一盛料部、所述第二盛料部、所述第三盛料部、所述第四盛料部、所述第五盛料部和所述第六盛料部均设有多个，以实现在所述双排石英舟上放置多个晶片。

本实用新型一些实施例中，所述第三盛料部和所述第四盛料部于所述共享方形盛料棒的对称侧错位设置，且所述第三盛料部和所述第四盛料部沿所述共享方形盛料棒的长度方向的轴向距离为1.3～1.6mm，将所述第三盛料部和所述第四盛料部沿所述共享方形盛料棒的长度方向的轴向距离为1.3～1.6mm，此时所述双排石英舟中的晶片表面更容易形成良好的薄膜。

本实用新型一些具体实施例中，所述第三盛料部和所述第四盛料部沿所述共享方形盛料棒的长度方向的轴向距离为1.3mm、1.4mm、1.5mm和1.6mm中的任意一种。

本实用新型一些实施例中，所述第三盛料部和所述第四盛料部于所述共享方形盛料棒的对称侧等间距设置，所述第一盛料部、所述第二盛料部、所述第五盛料部和所述第六盛料部分别等间距设置于所述第一方形盛料棒、所述第二方形盛料棒、所述第一圆形盛料组件和所述第二圆形盛料组件，晶片表面形成的薄膜更均匀。

本实用新型一些实施例中，所述第一盛料部、所述第三盛料部和所述第五盛料部一一对应设置，所述第二盛料部、所述第四盛料部和所述第六盛料部一一对应设置，晶片能够稳定地放置在所述双排石英舟上。

本实用新型的一些实施例中，相邻所述第一盛料部之间的间距为第一间距L1，相邻所述第二盛料部之间的间距为第二间距L2，相邻所述第三盛料部之间的间距为第三间距L3，相邻所述第四盛料部之间的间距为第四间距L4，相邻所述第五盛料部之间的间距为第五间距L5，相邻所述第六盛料部之间的间距为第六间距L6，所述第一间距L1、所述第三间距L3和所述第五间距L5之间满足：L1＝L3＝L5，所述第二间距L2、所述第四间距L4和所述第六间距L6之间满足：L2＝L4＝L6，以上所述间距均为2.6mm～3.2mm。

本实用新型的一些更具体实施例中，所述第一间距L1、所述第三间距L3和所述第五间距L5均为2.6mm、2.7mm、2.8mm、2.9mm、3.0mm、3.1mm和3.2mm中的任意一种，所述第二间距L2、所述第四间距L4和所述第六间距L6均为2.6mm、2.7mm、2.8mm、2.9mm、3.0mm、3.1mm和3.2mm中的任意一种。

本实用新型的一些具体实施例中，所述第一间距L1和所述第二间距L2相等或者不相等。

本实用新型的另一些更具体实施例中，所述第一间距L1、所述第三间距L3和所述第五间距L5均为2.9mm，所述第二间距L2、所述第四间距L4和所述第六间距L6均为2.9mm。

本实用新型的另一些更具体实施例中，所述第一间距L1、所述第三间距L3和所述第五间距L5均为2.8mm，所述第二间距L2、所述第四间距L4和所述第六间距L6均为3.0mm。

本实用新型一些实施例中，所述第一方形盛料棒21的所述第一盛料部、所述共享方形盛料棒22的所述第三盛料部和所述第一一圆形盛料棒111和所述第一二圆形盛料棒112的所述第五盛料部一一对应设置以固定同一片晶片6；所述第二方形盛料棒23的所述第二盛料部、所述共享方形盛料棒22的所述第四盛料部和所述第二一圆形盛料棒121和所述第二二圆形盛料棒122的所述第六盛料部一一对应设置以固定同一片晶片6。

本实用新型一些实施例中，参照图1，所述双排石英舟还包括加强部(图中未标示)，所述加强部(图中未标示)的两端部分别与所述第一固定件131和所述第二固定件132固定连接，使得整个所述双排石英舟更加稳定，同时有助于减轻所述第二盛料组件(图中未标示)的重量。

本实用新型一些具体实施例中，参照图1和图4，所述加强部(图中未标示)包括第一加强部141和第二加强部142，所述第一加强部141位于所述所述第一一圆形盛料棒111的外侧，且所述所述第一加强部141的高度低于所述所述第一一圆形盛料棒111的高度；所述第二加强部142位于所述第二二圆形盛料棒122的外侧，且所述所述第二加强部142的高度低于所述第二二圆形盛料棒122的高度。

本实用新型一些实施例中，所述双排石英舟还包括间隔件，所述间隔件包括若干间隔板，所述间隔板设置于所述第一固定件和所述第二固定件之间，且所述间隔板分别与所述第一盛料组件和所述第二盛料组件连接固定，在所述双排石英舟上增加所述间隔件，是为了提高整个所述双排石英舟的稳定性能和牢固性能。

本实用新型一些具体实施例中，参照图1和图2，所述间隔板为3个，分别为第一间隔板51、第二间隔板52和第三间隔板53，所述第一间隔板51与所述第二间隔板52之间的间距为S1，所述第二间隔板52与所述第三间隔板53之间的间距为S2，所述第一间隔板51与所述第一固定件131之间的间距为S3，所述第三间隔板53与所述第二固定件132之间的间距为S4，且所述S1、所述S2、所述S3和所述S4之间满足：S1＜S3，S1＜S4，S2＜S3，S2＜S4，所述S1与所述S2相等或不等，所述间隔板之间的距离小于所述间隔板到所述第一固定件的距离，是为了防止所述双排石英板从中间断裂。

本实用新型另一些具体实施例中，参照图1和图2，所述第一间隔板51、所述第二间隔板52和所述第三间隔板53分别与所述第一一圆形盛料棒111、所述第一二圆形盛料棒112、所述第二一圆形盛料棒121、第二二圆形盛料棒122固定连接，所述第一间隔板51、所述第二间隔板52和所述第三间隔板53分别与所述第一方形盛料棒21、所述共享方形盛料棒22和所述第二方形盛料棒23和所述加强部(图中未标示)固定连接。

本实用新型一些实施例中，所述双排石英舟还包括连接件，所述连接件分别与所述第一圆形盛料组件和所述第二圆形盛料组件固定连接，所述连接件的设置使得整个所述双排石英舟的稳定性能和牢固性能都得到提高。

本实用新型一些具体实施例中，参照图1，所述第一二圆形盛料棒112与所述第二一盛料棒121之间设置有若干个连接件3。

本实用新型一些实施例中，所述第一盛料部、所述第二盛料部、所述第三盛料部、所述第四盛料部、所述第五盛料部、所述第六盛料部和所述间隔板中的任意一种所形成的延长部与所述第一固定组件之间的夹角α为4～10°，通过设定夹角的方式，使所述第一盛料组件和所述第二盛料组件承受的重力面加大，避免了因为重力产能断裂的危险性。

本实用新型一些具体实施例中，所述第一盛料部、所述第二盛料部、所述第三盛料部、所述第四盛料部、所述第五盛料部、所述第六盛料部和所述间隔板中的任意一种所形成的延长部与所述第一固定组件之间的夹角α为4°、5°、6°、7°、8°、9°和10°中的任意一种。

本实用新型一些更具体实施例中，参照图1、图2和图3，所述共享盛料方形棒22上的第三盛料部(图中未示出)、所述第一一圆形盛料棒111上的所述第五盛料部(图中未示出)、所述第一间隔板51、所述第二间隔板52和所述第三间隔板53与所述第一固定件131之间的夹角α为7°。

本实用新型一些实施例中，参照图1，所述第一固定件131和所述第二固定件132的外侧设置有吊块4，所述第一固定件131的外侧和所述第二固定件132的外侧均设置有吊块4，是为了能方便地将所述双排石英舟放入反应室中。

虽然在上文中详细说明了本实用新型的实施方式，但是对于本领域的技术人员来说显而易见的是，能够对这些实施方式进行各种修改和变化。但是，应理解，这种修改和变化都属于权利要求书中所述的本实用新型的范围和精神之内。而且，在此说明的本实用新型可有其它的实施方式，并且可通过多种方式实施或实现。

Claims (10)

1.一种双排石英舟，其特征在于，包括：

第一固定件；

第二固定件，与所述第一固定件平行设置；

第一盛料组件，所述第一固定件和所述第二固定件分别与所述第一盛料组件的两端部固定连接，所述第一盛料组件包括第一方形盛料棒、共享方形盛料棒和第二方形盛料棒，所述第一方形盛料棒朝向晶片的一侧开设有第一盛料部，所述第二方形盛料棒朝向晶片的一侧开设有第二盛料部，所述共享方形盛料棒朝向所述第一方形盛料棒和所述第二方形盛料棒的对称侧分别开设有第三盛料部和第四盛料部；

第二盛料组件，所述第一固定件和所述第二固定件分别与所述第二盛料组件的两端部固定连接，所述第二盛料组件包括第一圆形盛料组件和第二圆形盛料组件，所述第一圆形盛料组件朝向晶片的一侧开设有第五盛料部，所述第二圆形盛料组件朝向晶片的一侧开设有第六盛料部；

其中，所述第一盛料部和所述第二盛料部的深度为3～4mm，所述第三盛料部和所述第四盛料部的深度为2～3.5mm，所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度为1～2.5mm。

2.根据权利要求1所述的双排石英舟，其特征在于，所述第一盛料部和所述第二盛料部的深度为3.3～3.7mm，所述第三盛料部和所述第四盛料部的深度为2.5～3mm，所述第五盛料部和所述第六盛料部的深度为1.5～2mm。

3.根据权利要求1所述的双排石英舟，其特征在于，所述第一盛料部、所述第二盛料部、所述第三盛料部、所述第四盛料部、所述第五盛料部和所述第六盛料部均设有多个。

4.根据权利要求3所述的双排石英舟，其特征在于，所述第三盛料部和所述第四盛料部于所述共享方形盛料棒的对称侧错位设置，且所述第三盛料部和所述第四盛料部之间沿所述共享方形盛料棒的长度方向的轴向距离为1.3～1.6mm。

5.根据权利要求4所述的双排石英舟，其特征在于，所述第三盛料部和所述第四盛料部于所述共享方形盛料棒的对称侧等间距设置，所述第一盛料部、所述第二盛料部、所述第五盛料部和所述第六盛料部分别等间距设置于所述第一方形盛料棒、所述第二方形盛料棒、所述第一圆形盛料组件和所述第二圆形盛料组件。

6.根据权利要求1所述的双排石英舟，其特征在于，所述第一盛料部、所述第三盛料部和所述第五盛料部一一对应设置以固定同一片晶片，所述第二盛料部、所述第四盛料部和所述第六盛料部一一对应设置以固定同一片晶片。

7.根据权利要求1所述的双排石英舟，其特征在于，还包括加强部，所述加强部的两端部分别与所述第一固定件和所述第二固定件固定连接。

8.根据权利要求1所述的双排石英舟，其特征在于，还包括间隔件，所述间隔件包括若干间隔板，所述间隔板设置于所述第一固定件和所述第二固定件之间，且所述间隔板分别与所述第一盛料组件和所述第二盛料组件连接固定。

9.根据权利要求1所述的双排石英舟，其特征在于，还包括连接件，所述连接件分别与所述第一圆形盛料组件和所述第二圆形盛料组件固定连接。

10.根据权利要求1所述的双排石英舟，其特征在于，所述第一固定件的外侧和所述第二固定件的外侧均设置有吊块。

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