KR102586968B1 - 보트 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 부품 파손을 방지하고 태양 전지의 생산량을 증가시키기 위하여 전극 블록에 제1 홈을 구비하는 보트 장치에 관한 발명이다.
본 발명의 일 실시예는, 서로 이격하여 배치되며 그 사이에 복수 개의 기판이 적재되는 복수 개의 전극 플레이트, 상기 복수 개의 전극 플레이트 중 같은 극성인 전극 플레이트를 지지하며, 양면에 상기 전극 플레이트와 접촉하는 제1 홈을 구비하는 복수 개의 전극 블록 및 상기 복수 개의 전극 플레이트 및 상기 복수 개의 전극 블록을 관통하여 체결되는 고정부를 포함하는 보트 장치를 개시한다.
본 발명의 일 실시예는, 서로 이격하여 배치되며 그 사이에 복수 개의 기판이 적재되는 복수 개의 전극 플레이트, 상기 복수 개의 전극 플레이트 중 같은 극성인 전극 플레이트를 지지하며, 양면에 상기 전극 플레이트와 접촉하는 제1 홈을 구비하는 복수 개의 전극 블록 및 상기 복수 개의 전극 플레이트 및 상기 복수 개의 전극 블록을 관통하여 체결되는 고정부를 포함하는 보트 장치를 개시한다.
Description
본 발명은 보트 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 제1 홈을 구비하는 전극 블록을 포함하는 보트 장치에 관한 것이다.
태양 전지(솔라 셀, solar cell)는 태양의 빛 에너지를 변환하여 전기 에너지를 생산해낸다. 태양 전지를 이용한 태양광 발전은 기존의 화석 연료를 사용하지 않는 신재생에너지의 하나로 분류된다. 태양 전지는 N(negative)형의 반도체 및 P(positive)형의 반도체를 접합시킨 구조를 하고 있으며, 두 반도체의 경계 부분을 PN 접합이라 한다.
태양 전지를 제조할 때, 기판(웨이퍼, wafer)을 챔버(chamber) 내에 투입하고, 챔버 내에서 PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 등의 증착 공정을 거쳐, 기판에 PN접합을 형성하는 공정이 있다. 보트 장치는 상기 공정 중 챔버 내에서 기판을 지지하는 장치를 말한다.
종래에는 보트 장치를 챔버 내로 이송하는 과정에서 발생되는 충격 및 진동에 의해 보트 장치의 일부 부품이 파손되는 문제가 발생하였다. 구체적으로 다음과 같다.
도 1은 종래의 보트 장치(100)의 일 부분을 나타낸 도면이다. 도 2는 종래의 보트 장치(100)의 경우 고정부에 작용하는 전단하중의 크기를 나타낸 도면이다. 도 3은 종래의 보트 장치(100)에서 전극 플레이트 및 전극 블록(120)이 접촉하는 부분(112)의 면적을 나타낸 도면이다. 도 4는 종래의 보트 장치(100)에서 전극 플레이트에 적재되는 기판의 개수를 예를 들어 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래의 보트 장치(100)는 전극 플레이트(110) 및 전극 블록(120)이 고정부(130)에 의해서만 고정 및 지지된다.
도 2를 참조하면, 종래의 보트 장치(100)는 전극 플레이트(110)의 무게가 모두 고정 막대(131)에 실리게 된다. 따라서 전극 플레이트(110)의 무게 전체가 고정 막대(131)에 전단하중(Sa)으로 작용하게 된다. 이에 따라 고정 막대(131)의 파손이 발생하는 경우가 있다.
또한, 종래의 보트 장치(100)의 경우, 고정 볼트(132)에 의해 전극 블록(120) 및 전극 플레이트(110)가 밀착되어 고정된다 하더라도, 보트 장치를 들어올려 챔버로 이동시키는 과정에서 진동 등에 의해 고정 볼트(132) 및 고정 막대(131) 사이의 체결이 헐거워질 수 있다. 그렇게 되면 전극 블록(120) 및 전극 플레이트(110) 사이에 공간이 발생할 수 있고, 전극 블록(120) 및 전극 플레이트(110) 사이에 마찰 또는 충돌로 인한 충격이 발생할 수 있다.
한편, 도 1 및 도 3을 참조하면, 고정부(130)가 전극 플레이트(110) 및 전극 블록(120)을 최대한 안정적으로 지지하기 위해, 전극 블록(120)의 일 면 전체와 전극 플레이트(110)의 일 단이 접촉되어 있다. 이에 따라, 도 4에 나타낸 바와 같이, 전극 플레이트의 전체 길이가 L로 일정할 때, 전극 플레이트(110) 중 전극 블록(120)과 접촉하는 부분(112) 면적에 의해, 기판(W)을 적재할 수 있는 공간(111)이 한정적이다.
전술한 배경 기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지 기술이라 할 수는 없다.
본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 전극 블록에 제1 홈을 구비함으로써 보트 장치의 이송 과정 중 전단하중에 의한 고정부의 파손을 방지하는 보트 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한 전극 플레이트 중 전극 블록과 접촉하는 접촉부의 면적을 줄임으로써 전극 플레이트에 기판이 적재될 수 있는 면적을 넓힐 수 있는 보트 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
다만 이러한 과제는 예시적인 것으로, 본 발명의 해결하고자 하는 과제는 이에 한정되지 않는다. 언급되지 아니한 과제들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 실시예는, 서로 이격하여 배치되며 그 사이에 복수 개의 기판이 적재되는 복수 개의 전극 플레이트, 상기 복수 개의 전극 플레이트 중 같은 극성인 복수 개의 전극 플레이트를 지지하며, 같은 극성인 상기 복수 개의 전극 플레이트 중 하나와 접촉하는 제1 홈을 양면에 각각 구비하는 복수 개의 전극 블록 및 상기 복수 개의 전극 플레이트 및 상기 복수 개의 전극 블록을 관통하여 체결되는 고정부를 포함하는 보트 장치를 개시한다.
본 실시예에 있어서, 상기 전극 플레이트가 접촉하는 상기 전극 블록의 양면은 서로 대칭일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 전극 플레이트는 상기 제1 홈에 삽입되며 상기 전극 블록에 의해 지지되는 접촉부를 더 포함하고, 상기 전극 블록은 상기 제1 홈과 단차를 이루며 상기 접촉부를 지지하는 돌출부를 더 포함하고, 할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 접촉부의 단부는 상기 전극 블록의 내측에 배치될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 접촉부의 면적은 상기 제1 홈의 면적보다 작을 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 접촉부의 길이는 상기 제1 홈의 길이의 0.5배 이상일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 돌출부는 복수 개를 포함하며, 상기 전극 블록의 상단 및 하단에 하나씩 형성되고, 상기 접촉부는 상기 복수 개의 돌출부 사이에 개재되어 고정될 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 돌출부의 길이는 상기 접촉부의 두께의 0.5배 이하일 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 복수 개의 전극 블록 중 적어도 하나 이상의 전극 블록은 보트 장치를 이동시키는 장치에 지지되는 지지대를 더 포함할 수 있다.
본 실시예에 있어서, 상기 전극 블록은, 상기 제1 홈이 구비된 상기 전극 블록의 양면 위에 형성되며, 상기 제1 홈과 수직으로 만나고, 상기 전극 블록 상의 상기 고정부가 관통하는 지점과 연결되는 제2 홈을 적어도 하나 이상 포함할 수 있다.
전술한 것 외의 다른 측면, 특징, 이점은 이하의 발명을 실시하기 위한 구체적인 내용, 청구범위 및 도면으로부터 명확해질 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 보트 장치는 전극 블록이 제1 홈을 구비함으로써, 전극 블록이 전극 플레이트를 지지할 수 있고, 이에 따라 전극 플레이트의 무게에 의해 고정 막대에 작용하는 전단하중의 크기를 줄일 수 있어, 고정부의 파손을 방지할 수 있다.
또한 전극 블록이 제1 홈을 구비함으로써, 보트 장치의 이동 시 진동 등에 의해 고정 볼트 및 고정 막대 사이의 체결이 헐거워지더라도, 전극 플레이트가 전극 블록에 고정될 수 있고, 이에 따라 전극 블록 및 전극 플레이트 사이의 마찰 또는 충돌에 의한 충격을 줄일 수 있어, 전극 블록 및 전극 플레이트의 파손을 방지할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 보트 장치는 접촉부의 면적이 제1 홈의 면적보다 작음으로써, 전극 플레이트에 더 많은 기판을 적재할 수 있고, 이에 따라 보트 장치가 한 번에 챔버 내에 이송할 수 있는 기판의 수량이 증가하게 되어, 태양 전지의 생산량을 증가시킬 수 있다.
또한, 보트 장치를 이동시키는 장치가 보트 장치를 집어서 들어올릴 때, 전극 블록에 형성된 지지대에만 접촉이 발생하고, 전극 플레이트에는 접촉이 발생하지 않으므로, 전극 플레이트의 파손을 방지할 수 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 종래의 보트 장치의 일 부분을 나타낸 도면이다.
도 2는 종래의 보트 장치의 경우 고정막대에 작용하는 전단하중의 크기를 나타낸 도면이다.
도 3은 종래의 보트 장치에서 전극 플레이트 및 전극 블록이 접촉하는 부분의 면적을 나타낸 도면이다.
도 4는 종래의 보트 장치에서 전극 플레이트에 적재되는 기판의 개수를 예를 들어 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 보트 장치를 나타낸 사시도이다.
도 6은 도 5의 A를 확대하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 보트 장치의 끝단을 나타낸 사시도이다.
도 7은 복수 개의 전극 블록 중 일부 및 그에 연결된 같은 극성인 복수 개의 전극 플레이트의 일 부분을 나타낸 도면이다.
도 8은 도 6의 B를 확대하여, 전극 플레이트, 전극 블록 및 고정부를 나타낸 사시도이다.
도 9는 복수 개의 전극 플레이트 중 하나의 전극 플레이트와 복수 개의 전극 블록 중 하나의 전극 블록이 연결된 구조를 나타낸 도면이다.
도 10은 도 9에서 I-I'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따라 전극 블록에 제1 홈이 있는 경우 고정막대에 작용하는 전단하중의 크기를 나타낸 도면이다.
도 12는 하나의 전극 블록 및 전극 블록의 양면에 접촉하는 2개의 전극 플레이트에 대하여 나타낸 도면이다.
도 13은 도 10의 C를 확대하여, 돌출부를 나타낸 도면이다.
도 14는 돌출부의 길이에 따라 달라지는 전극 블록 및 접촉부의 연결 구조를 나타낸 도면이다.
도 15는 본 발명의 실시예에 따라, 전극 블록에 제1 홈이 있는 경우의 접촉부의 면적을 나타낸 도면이다.
도 16은 본 발명의 실시예에 따른 전극 플레이트에 적재되는 기판의 개수를 예를 들어 나타낸 도면이다.
도 17은 본 발명의 실시예에 따라 전극 블록에 제1 홈이 있고 접촉부의 면적이 제1 홈의 면적보다 작은 경우, 보트 장치를 이동시키는 장치가 보트 장치에 접촉되는 부분을 나타낸 도면이다.
도 2는 종래의 보트 장치의 경우 고정막대에 작용하는 전단하중의 크기를 나타낸 도면이다.
도 3은 종래의 보트 장치에서 전극 플레이트 및 전극 블록이 접촉하는 부분의 면적을 나타낸 도면이다.
도 4는 종래의 보트 장치에서 전극 플레이트에 적재되는 기판의 개수를 예를 들어 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 보트 장치를 나타낸 사시도이다.
도 6은 도 5의 A를 확대하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 보트 장치의 끝단을 나타낸 사시도이다.
도 7은 복수 개의 전극 블록 중 일부 및 그에 연결된 같은 극성인 복수 개의 전극 플레이트의 일 부분을 나타낸 도면이다.
도 8은 도 6의 B를 확대하여, 전극 플레이트, 전극 블록 및 고정부를 나타낸 사시도이다.
도 9는 복수 개의 전극 플레이트 중 하나의 전극 플레이트와 복수 개의 전극 블록 중 하나의 전극 블록이 연결된 구조를 나타낸 도면이다.
도 10은 도 9에서 I-I'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다.
도 11은 본 발명의 실시예에 따라 전극 블록에 제1 홈이 있는 경우 고정막대에 작용하는 전단하중의 크기를 나타낸 도면이다.
도 12는 하나의 전극 블록 및 전극 블록의 양면에 접촉하는 2개의 전극 플레이트에 대하여 나타낸 도면이다.
도 13은 도 10의 C를 확대하여, 돌출부를 나타낸 도면이다.
도 14는 돌출부의 길이에 따라 달라지는 전극 블록 및 접촉부의 연결 구조를 나타낸 도면이다.
도 15는 본 발명의 실시예에 따라, 전극 블록에 제1 홈이 있는 경우의 접촉부의 면적을 나타낸 도면이다.
도 16은 본 발명의 실시예에 따른 전극 플레이트에 적재되는 기판의 개수를 예를 들어 나타낸 도면이다.
도 17은 본 발명의 실시예에 따라 전극 블록에 제1 홈이 있고 접촉부의 면적이 제1 홈의 면적보다 작은 경우, 보트 장치를 이동시키는 장치가 보트 장치에 접촉되는 부분을 나타낸 도면이다.
본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 발명의 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시예로 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 다른 실시예에 도시되어 있다 하더라도, 동일한 구성요소에 대하여서는 동일한 식별부호를 사용한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 하며, 도면을 참조하여 설명할 때 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면부호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.
이하의 실시예에서, 제1, 제2 등의 용어는 한정적인 의미가 아니라 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하는 목적으로 사용되었다.
이하의 실시예에서, 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
이하의 실시예에서, 포함하다 또는 가지다 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 또는 구성요소가 존재함을 의미하는 것이고, 하나 이상의 다른 특징들 또는 구성요소가 부가될 가능성을 미리 배제하는 것은 아니다.
도면에서는 설명의 편의를 위하여 구성 요소들이 그 크기가 과장 또는 축소될 수 있다. 예컨대, 도면에서 나타난 각 구성의 크기 및 두께는 설명의 편의를 위해 임의로 나타낸 것이므로, 본 발명이 반드시 도시된 바에 한정되지 않는다.
어떤 실시예가 달리 구현 가능한 경우에 특정한 공정 순서는 설명되는 순서와 다르게 수행될 수도 있다. 예를 들어, 연속하여 설명되는 두 공정이 실질적으로 동시에 수행될 수도 있고, 설명되는 순서와 반대의 순서로 진행될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하의 실시예에서, 막, 영역, 구성 요소 등이 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소들이 직접적으로 연결된 경우뿐만 아니라 막, 영역, 구성요소들 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소들이 개재되어 간접적으로 연결된 경우도 포함한다. 예컨대, 본 명세서에서 막, 영역, 구성 요소 등이 전기적으로 연결되었다고 할 때, 막, 영역, 구성 요소 등이 직접 전기적으로 연결된 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 막, 영역, 구성 요소 등이 개재되어 간접적으로 전기적 연결된 경우도 포함한다.
이하 도 5 내지 도 17을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 보트 장치에 대해 설명한다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 보트 장치(1)를 나타낸 사시도이다. 도 6은 도 5의 A를 확대하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 보트 장치(1)의 끝단을 나타낸 사시도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 보트 장치(1)는 전극 플레이트(10), 전극 블록(20) 및 고정부(30)를 포함할 수 있다.
전극 플레이트(10)는 서로 이격하여 배치되며 그 사이에 복수 개의 기판(W)을 적재하는 역할을 할 수 있고, 보트 장치(1)는 복수 개의 전극 플레이트(10)를 포함할 수 있다. 하나의 전극 플레이트(10a)와 인접한 전극 플레이트(10b)는 극성이 서로 다를 수 있다. 예를 들면, 하나의 전극 플레이트(10a)의 극성은 양극(+)이고, 그와 인접한 전극 플레이트(10b)의 극성은 음극(-)일 수 있다. 즉, 같은 극성인 전극 플레이트(10a)는 다른 극성인 전극 플레이트(10b)를 사이에 두고 배치될 수 있다.
전극 플레이트(10)는 기판 적재부(11) 및 접촉부(12)를 포함할 수 있다.
기판 적재부(11)는 기판(W)이 착탈될 수 있다. 기판(W)은 기판 적재부(11)의 길이 방향을 따라 복수 개가 장착될 수 있다.
접촉부(12)는 전극 플레이트(10)의 양 끝단에 형성되며 후술할 전극 블록(20)과 접촉되는 면을 포함하는 전극 플레이트(10)의 일 부분일 수 있다. 도 5를 참조하면, 접촉부의 폭(12w)은 기판 적재부의 폭(11w)보다 작을 수 있다.
전극 블록(20)은 복수 개의 전극 플레이트(10) 중 같은 극성인 복수 개의 전극 플레이트(10a)를 지지할 수 있다. 또한 보트 장치(1)는 복수 개의 전극 블록(20)을 포함할 수 있다. 도 5를 참조하면, 접촉부(12)를 통해 전극 플레이트(10) 및 전극 블록(20)이 연결될 수 있다.
같은 극성인 복수 개의 전극 플레이트(10a)를 지지하는 복수 개의 전극 블록(20a)이 일렬로 배열될 수 있다. 도 6을 참조하면, 양극(+) 또는 음극(-)인 복수 개의 전극 플레이트(10a)를 지지하는 복수 개의 전극 블록(20a)이 X축 방향으로 일렬로 배열될 수 있다. 한편 음극(-) 또는 양극(+)인 복수 개의 전극 플레이트(10b)를 지지하는 복수 개의 전극 블록(20b)은 X축 방향으로 일렬로 배열될 수 있다.
도 7은 복수 개의 전극 블록(20a) 중 일부 및 그에 연결된 같은 극성인 복수 개의 전극 플레이트(10a)의 일 부분을 나타낸 도면이다.
전극 블록(20)은 전도성 물질을 포함할 수 있다. 한편, 도 7을 참조하면, 전극 블록(20a)은 같은 극성인 인접한 두 전극 플레이트(10a) 사이에 위치할 수 있다. 다시 말해, 전극 블록(20a)의 양 측면에는 같은 극성인 전극 플레이트(10a)가 접촉될 수 있다. 따라서, 간격을 두고 떨어져 있는 같은 극성인 복수 개의 전극 플레이트(10a)는 복수 개의 전극 블록(20a)을 통하여 전기적으로 연결될 수 있다. 이를 통해, 같은 극성인 복수 개의 전극 플레이트(10a) 사이에 통전이 이루어질 수 있다.
전극 블록(20)이 포함할 수 있는 구성요소에 대해서는 후술한다.
도 8은 도 6의 B를 확대하여, 전극 플레이트(10a), 전극 블록(20a) 및 고정부(30a)를 나타낸 사시도이다. 도 9는 복수 개의 전극 플레이트 중 하나의 전극 플레이트(10a)와 복수 개의 전극 블록 중 하나의 전극 블록(20a)이 연결된 구조를 나타낸 도면이다.
고정부(30)는 복수 개의 전극 플레이트(10) 및 복수 개의 전극 블록(20)을 관통하여 체결될 수 있다. 도 8 및 도 9를 참조하면, 고정부(30a)는 고정 막대(31) 및 고정 볼트(32)를 포함할 수 있다.
고정 막대(31)는 같은 극성인 복수 개의 전극 플레이트(10a) 및 복수 개의 전극 블록(20a)을 관통할 수 있다. 고정 막대(31)의 길이 방향은 전극 플레이트(10a) 및 전극 블록(20a)이 접촉하는 면에 수직할 수 있다. 고정 막대(31)의 단면의 형상은 특별히 제한하지 않는다. 일 실시예로, 도 8 및 도 9에 나타낸 바와 같이, 고정 막대(31)의 단면의 형상은 원일 수 있다. 전극 플레이트(10a)의 끝단, 더욱 바람직하게는 접촉부(12) 및 전극 블록(20a)에는 고정 막대(31)가 관통할 수 있는 구멍(13)이 형성될 수 있다(도 15 참조). 상기 구멍(13)의 형상은 고정 막대(31)의 단면의 형상에 대응될 수 있다. 고정 막대(31)는 같은 극성인 복수 개의 전극 플레이트(10a) 및 복수 개의 전극 블록(20a)에 형성된 구멍(13)을 통과할 수 있다. 이에 따라, 같은 극성인 복수 개의 전극 플레이트(10a)가 정렬될 수 있고, 전극 블록(20a) 역시 고정 막대(31)의 길이 방향을 따라 일렬로 정렬될 수 있다.
고정 볼트(32)는 고정 막대(31)의 양 끝단에 체결될 수 있다. 이에 따라 같은 극성인 복수 개의 전극 플레이트(10a) 및 복수 개의 전극 블록(20a)이 서로 밀착되어 고정됨으로써, 전극 플레이트에 적재된 복수 개의 기판(W)을 수월하게 이동시킬 수 있다. 또한 보트 장치(1)를 들어올려 이동시킬 때 진동에 의한 파손을 줄일 수 있다.
고정 막대(31) 및 고정 볼트(32)의 재질은 특별히 한정하지 않는다. 일 실시예로, 고정 막대(31) 및 고정 볼트(32)의 재질은 세라믹을 포함할 수 있다. 이에 따라 온도 변화에 따른 부피 변화가 최소화되어 고온의 챔버 내에서 고정부(30a)의 열팽창으로 인한 부품의 파손을 방지할 수 있다.
고정 막대(31) 및 고정 볼트(32)의 체결 방식은 특별히 한정하지 않는다. 일 실시예로, 고정 막대(31) 및 고정 볼트(32)는 나사 결합될 수 있다.
한편, 고정부(30a) 및 그에 대응하여 접촉부(12) 및 전극 블록(20a)에 형성되는 구멍(13)은 복수 개일 수 있다(도 15 참조).
이하에서는, 전극 블록(20a) 및 전극 플레이트(10a)가 연결되는 구조에 대하여 설명한다.
도 10은 도 9에서 I-I'선을 따라 절단하여 나타낸 단면도이다. 도 11은 본 발명의 실시예에 따라 전극 블록(20a)에 제1 홈(21)이 있는 경우 고정 막대(31)에 작용하는 전단하중의 크기(S)를 나타낸 도면이다.
본 발명의 실시예에 따른 보트 장치(1)에서, 전극 블록(20a)은 같은 극성인 복수 개의 전극 플레이트(10a) 중 하나와 접촉하는 제1 홈(21)을 양면에 각각 구비할 수 있다.
제1 홈(21)은 전극 플레이트(10a)를 대면하는 전극 블록(20a)의 양 측면에 각각 형성될 수 있다. 제1 홈(21)의 형상은 전극 블록(20a)에 접촉하는 전극 플레이트(10a), 구체적으로 접촉부(12)에 대응되는 형상일 수 있다.
접촉부(12)는 제1 홈(21)에 삽입되며 전극 블록(20a)에 의해 지지될 수 있다. 즉, 전극 블록(20a)의 제1 홈(21)에 접촉부(12)가 삽입됨으로써 전극 블록(20a)이 전극 플레이트(10a)를 지지할 수 있다.
접촉부(12)의 단부(12a)는 전극 블록(20a)의 내측(21a)에 배치될 수 있다. 구체적으로, 접촉부(12)의 단부(12a)는 제1 홈(21)의 바닥 부분에 접촉될 수 있다. 접촉부의 폭(12w)은 제1 홈의 너비(21w)와 동일할 수 있다. 이에 따라, 접촉부(12)가 제1 홈(21)에 삽입되어 고정될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따른 제1 홈(21)의 존재에 따른 효과를 종래의 보트 장치(100)와 비교하여 설명하면 다음과 같다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 전극 블록에 제1 홈이 없는 종래의 보트 장치(100)의 경우, 전극 플레이트(110)의 무게가 모두 고정 막대(131)에 실리게 된다. 그러나, 도 11에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따라 전극 블록(20a)에 제1 홈(21)이 있는 경우라면, 접촉부(12)가 제1 홈(21)에 삽입됨으로써 전극 블록(20a)이 전극 플레이트(10a)를 지지할 수 있고, 전극 플레이트(10a)의 무게가 전극 블록(20a)에 일정 정도 실리게 된다(f). 따라서 전극 블록(20a)에 제1 홈(21)이 있는 보트 장치(1)에서 전극 플레이트(10a)의 무게에 의해 고정 막대(31)에 작용하는 전단하중의 크기(Sb)는, 전극 블록에 제1 홈이 없는 종래의 보트 장치(100)에서 전극 플레이트(110)의 무게에 의해 고정 막대(131)에 작용하는 전단하중의 크기(Sa)보다 작게 된다(Sb<Sa). 고정 막대(31)에 작용하는 전단하중의 크기(S)가 줄어듦에 따라 고정 막대(31)의 파손을 방지할 수 있다.
한편, 고정 볼트(32)에 의해 전극 블록(20a) 및 전극 플레이트(10a)가 밀착되어 고정된다 하더라도, 보트 장치(1)를 들어올려 챔버로 이동시키는 과정에서 진동 등에 의해 고정 볼트(32) 및 고정 막대(31) 사이의 체결이 헐거워지는 경우가 발생할 수 있다.
위의 경우, 전극 블록에 제1 홈이 없는 종래의 보트 장치(100)라면, 전극 블록(120) 및 전극 플레이트(110) 사이에 공간이 발생할 수 있고, 전극 블록(120) 및 전극 플레이트(110) 사이에 마찰 또는 충돌로 인한 충격이 발생할 수 있다.
그러나, 본 발명의 실시예에 따라 전극 블록(20a)에 제1 홈(21)이 있다면, 보트 장치(1)를 들어올려 챔버로 이동시키는 과정에서 진동 등에 의해 고정 볼트(32) 및 고정 막대(31) 사이의 체결이 헐거워지더라도, 접촉부(12)가 제1 홈(21)에 삽입되어 전극 플레이트(10a)가 전극 블록(20a)에 고정됨으로써, 전극 블록(20a) 및 전극 플레이트(10a) 사이의 마찰 또는 충돌에 의한 충격을 줄일 수 있고, 그로 인한 전극 블록(20a) 및 전극 플레이트(10a)의 파손을 방지할 수 있다.
도 12는 하나의 전극 블록(20a) 및 전극 블록(20a)의 양면에 접촉하는 2개의 전극 플레이트(10a)에 대하여 나타낸 도면이다.
전극 플레이트(10a)가 접촉하는 전극 블록(20a)의 양면은 서로 대칭일 수 있다. 도 12를 참조하면, 전극 블록(20a)의 가운데를 대칭축(K)으로 하여, 전극 플레이트(10aa)에 대응되는 제1 면(20aa) 및 전극 블록(20a)을 사이에 두고 전극 플레이트(10aa)와 인접한, 같은 극성의 전극 플레이트(10ab)에 대응되는 제2 면(20ab)이 서로 대칭일 수 있다. 구체적으로, 제1 면(20aa)에 형성된 제1 홈(21a)의 너비(21w), 깊이(21d), 제1 홈(21a)이 전극 블록(20a)의 상단(20ac)으로부터 떨어진 거리(21s)는 제2 면(20ab)에 형성된 제1 홈(21b)의 너비, 깊이, 제1 홈(21b)이 전극 블록(20a)의 상단(20ac)으로부터 떨어진 거리와 동일할 수 있다. 나아가, 본 발명의 실시예에 따른 보트 장치(1)에 포함되는 복수 개의 전극 블록(20a)의 단면의 형상이 모두 동일할 수 있다. 이에 따라, 복수 개의 전극 플레이트(10a)가 정렬됨으로써 고정부(30a)의 파손을 방지할 수 있다.
도 13은 도 10의 C를 확대하여, 돌출부(22)를 나타낸 도면이다.
전극 블록(20a)은 제1 홈(21)과 단차를 이루며 접촉부(12)를 지지하는 돌출부(22)를 더 포함할 수 있다.
도 10을 참조하면, 돌출부(22)는 전극 플레이트(10a)를 대면하는 전극 블록(20a)의 일 면에 형성될 수 있다. 도 13을 참조하면, 돌출부(22)의 일 면(22a)은 제1 홈(21)의 바닥 부분과 단차를 이룰 수 있고, 이로써 돌출부(22)는 돌출된 형상을 가질 수 있다. 돌출부(22)의 다른 일 면(22b)은 접촉부(12)의 일 면(12a)과 접촉함으로써 접촉부(12)를 지지할 수 있다.
이에 따라, 전극 플레이트(10a)의 무게가 돌출부(22)에 일정 정도 실리게 됨으로써, 전극 플레이트(10a)의 무게에 의해 고정 막대(31)에 작용하는 전단하중의 크기(S)가 감소될 수 있다. 고정 막대(31)에 작용하는 전단하중의 크기(S)가 줄어듦에 따라 고정 막대(31)의 파손을 방지할 수 있다.
돌출부(22)는 복수 개를 포함하며, 전극 블록(20a)의 상단 및 하단에 하나씩 형성될 수 있다. 도 10을 참조하면, 전극 블록(20a)의 상단에 형성되는 돌출부(22a)의 일 면(22aa) 및 전극 블록(20a)의 하단에 형성되는 돌출부(22b)의 일 면(22ba)은 모두 접촉부(12)에 접촉될 수 있다. 한편, 접촉부(12)는 복수 개의 돌출부(22) 사이에 개재되어 고정될 수 있다. 구체적으로, 접촉부(12)는 복수 개의 돌출부(22) 및 제1 홈(21)에 접촉되어 고정됨으로써, 전극 블록(20a)과 전극 플레이트(10a) 사이의 마찰 또는 충돌에 의한 충격을 최소화할 수 있고, 그로 인한 전극 블록(20a) 및 전극 플레이트(10a)의 파손을 방지할 수 있다.
도 14는 돌출부(22)의 길이에 따라 달라지는 전극 블록(20a) 및 접촉부(12)의 연결 구조를 나타낸 도면이다.
돌출부의 길이(22L)는 접촉부 두께(12t)의 0.5배 이하일 수 있다. 다시 말해, 도 13을 참조하면, 접촉부(12)에 접촉되는 돌출부(22)의 일 면(22b)의 폭은 접촉부 두께(12t)의 반보다 작거나 같을 수 있다.
도 14를 참조하면, 돌출부의 길이(22La)가 접촉부 두께(12t)의 0.5배보다 작은 도 14의 (a)의 경우, 접촉부(12a)는 자신을 사이에 두고 인접해 있는 두 전극 블록(20aa)의 상단에 형성되는 돌출부의 일 면(22aa), 상기 두 전극 블록(20aa)의 하단에 형성되는 돌출부의 일 면(22ab) 및 제1 홈(21a)의 바닥 부분에 모두 접촉되어 고정될 수 있고, 이로 인한 전술한 효과를 모두 얻을 수 있다. 또한 같은 극성인 인접한 전극 플레이트(10aa) 간에 통전이 이루어질 수 있다. 이는 돌출부의 길이(22Lb)가 접촉부 두께(12t)의 0.5배인 도 14의 (b)의 경우도 마찬가지이다.
그러나 돌출부의 길이(22Lc)가 접촉부 두께(12t)의 0.5배보다 큰 도 14의 (c)의 경우는 다를 수 있다. 도 14의 (c)의 경우 접촉부(12c)는 자신을 사이에 두고 인접해 있는 두 전극 블록(20ac)과 완전히 접촉되지 않아 고정되지 않을 수 있다. 또한 같은 극성인 인접한 전극 플레이트(10ac) 간에 통전이 원활히 이루어지지 않을 수도 있다.
따라서, 돌출부의 길이(22L)는 접촉부 두께(12t)의 0.5배 이하임에 따라, 접촉부(12)는 인접한 두 전극 블록(20a) 사이에 완전히 고정될 수 있고, 같은 극성인 인접한 전극 플레이트(10a) 간에 통전이 이루어질 수 있다.
도 15는 본 발명의 실시예에 따라, 전극 블록(20a)에 제1 홈(21)이 있는 경우의 접촉부(12)의 면적을 나타낸 도면이다. 도 16은 본 발명의 실시예에 따른 전극 플레이트(10a)에 적재되는 기판(W)의 개수를 예를 들어 나타낸 도면이다.
본 발명의 실시예에 따른 보트 장치(1)에서, 접촉부(12)의 면적은 제1 홈(21)의 면적보다 작을 수 있다. 구체적으로, 도 15를 참조하면, 접촉부의 폭(12w) 및 제1 홈의 너비(21w)가 같은 경우, 접촉부의 길이(12L)는 제1 홈의 길이(21L)보다 작을 수 있다.
접촉부(12)의 면적이 제1 홈(21)의 면적보다 작음에 따른 효과를 종래의 보트 장치(100)와 비교하여 설명하면 다음과 같다.
도 3을 참조하면, 전극 블록에 제1 홈이 없는 종래의 보트 장치(100)는 고정부(130)가 전극 플레이트(110) 및 전극 블록(120)을 최대한 안정적으로 지지하기 위해, 전극 블록(120)의 일 면 전체와 전극 플레이트(110)의 일 단이 접촉되어 있다.
그러나, 본 발명의 실시예에 따라 전극 블록(20a)에 제1 홈(21)이 있는 경우, 도 15에 나타낸 바와 같이, 제1 홈(21)에 접촉부(12)가 삽입되어 지지 및 고정되므로, 접촉부(12)의 면적이 전극 플레이트(10a)를 대면하는 전극 블록(20a)의 일 면의 면적과 동일하지 않더라도, 안정적으로 고정부(30a)가 전극 플레이트(10a) 및 전극 블록(20a)을 지지할 수 있다. 따라서 접촉부(12)의 면적은 제1 홈(21)의 면적보다 작을 수 있다.
전극 플레이트(10a)의 전체 길이(도 16 참조)가 종래의 보트 장치(100)에서의 전극 플레이트(110)의 전체 길이(도 4 참조)와 같이 L로 일정할 때, 접촉부(12)의 면적이 줄어듦에 따라 하나의 전극 플레이트(10a)에 더욱 더 많은 기판(W)을 적재할 수 있다. 전극 플레이트의 전체 길이(L)는 양 단의 접촉부의 길이(12L)에 기판 적재부의 길이(11L)를 합한 값이다. 즉, 전극 플레이트의 전체 길이(L)가 일정할 때, 접촉부의 길이(12L)가 짧아지면 기판 적재부의 길이(11L)가 길어질 수 있다. 이에 따라 하나의 전극 플레이트(10a)에 더 많은 기판(W)을 적재할 수 있다.
예를 들면, 전극 블록에 제1 홈이 없는 종래의 보트 장치(100)처럼 전극 블록(120)의 일 면 전체와 전극 플레이트(110)의 일 단이 접촉되어 있는 경우(도 3 참조)에는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 기판(W)을 적재할 수 있는 공간(111)에 총 9개의 기판(W)을 적재할 수 있다. 그러나, 본 발명의 실시예에 따라 전극 블록(20a)에 제1 홈(21)이 있어, 접촉부(12)의 면적이 제1 홈(21)의 면적보다 작은 경우(도 15 참조)에는, 도 16에 나타낸 바와 같이, 기판 적재부(11)에 총 10개의 기판(W)을 적재할 수 있게 된다. 즉, 도 16의 경우는 도 4의 경우보다 1개의 기판(W)을 더 많이 적재할 수 있다.
즉, 하나의 전극 플레이트(10a)에 더욱 더 많은 기판(W)을 적재함에 따라, 보트 장치(1)가 한 번에 챔버 내에 이송할 수 있는 기판(W)의 수량이 증가하게 되고, 이에 따라 태양 전지의 생산량을 증가시킬 수 있다.
한편, 일 실시예로, 접촉부의 길이(12L)는 제1 홈의 길이(21L)의 0.5배 이상일 수 있다. 다시 말해, 접촉부(12)의 면적은 제1 홈(21)의 면적의 0.5배 이상일 수 있다.
이에 따라, 전극 블록(20a) 및 접촉부(12) 상의 고정 막대(31)의 배치 공간을 안정적으로 확보할 수 있다. 구체적으로, 전극 블록(20)에 형성되는 구멍(13)과 전극 블록(20)의 일 면 사이의 거리를 일정 정도 확보함으로써, 전극 블록(20)의 파손을 방지할 수 있다. 또한, 접촉부(12)에 형성되는 구멍(13)과 접촉부(12)의 끝단 사이의 거리를 일정 정도 확보함으로써, 접촉부(12)의 파손을 방지할 수 있다.
접촉부의 길이(12L)가 제1 홈의 길이(21L)의 0.5배 이상임에 따라, 고정 막대(31)가 전극 블록(20a) 상에서 한쪽으로 치우치지 않고 균형 있게 배치됨으로써, 고정부(30a)가 전극 플레이트(10a) 및 전극 블록(20a)을 보다 안정적으로 지지할 수 있다. 이에 더하여, 접촉부(12)가 제1 홈(21)에 삽입되어 지지 및 고정될 수 있는 일정 부분을 확보함으로써, 고정부(30a)가 전극 플레이트(10a) 및 전극 블록(20a)을 지지하는 역할을 제1 홈(21)이 효과적으로 분담할 수 있다.
도 17은 본 발명의 실시예에 따라 전극 블록(20a)에 제1 홈(21)이 있고 접촉부(12)의 면적이 제1 홈(21)의 면적보다 작은 경우, 보트 장치를 이동시키는 장치(T)가 보트 장치(1)에 접촉되는 부분을 나타낸 도면이다.
본 발명의 실시예에 따른 보트 장치(1)에서, 복수 개의 전극 블록(20a) 중 적어도 하나 이상의 전극 블록(20ad)은 보트 장치를 이동시키는 장치(T)에 지지되는 지지대(23)를 더 포함할 수 있다.
도 17을 참조하면, 복수 개의 전극 블록(20a) 중 적어도 하나 이상의 전극 블록은 구체적으로, 복수 개의 전극 블록(20a)이 일렬로 배열될 때 양 최외측에 배치된 전극 블록(20ad)일 수 있다. 보트 장치(1)를 집어서 들어올리고 챔버 내로 이동시키는 장치(T)는 보트 장치(1)를 집어서 들어올리기 위해 보트 장치(1)의 일 부분과 접촉해야 한다. 이 때, 지지대(23)는 보트 장치를 이동시키는 장치(T) 및 보트 장치(1) 사이의 접촉이 일어나는 위치일 수 있다.
보트 장치를 이동시키는 장치(T)가 보트 장치(1)를 들어올릴 때, 보트 장치를 이동시키는 장치(T) 및 보트 장치(1) 사이의 접촉이 일어나는 위치에 보트 장치(1)의 모든 하중이 실리게 될 수 있다.
지지대(23)의 존재에 따른 효과를 종래의 보트 장치(100)와 비교하여 설명하면 다음과 같다.
전극 블록에 제1 홈이 없는 종래의 보트 장치(100)의 경우, 전극 블록(120)의 일 면 전체와 전극 플레이트(110)의 일 단이 접촉되어 있다. 이 경우, 도 1에 나타낸 바와 같이, 보트 장치를 이동시키는 장치(T)는 보트 장치(100)를 집어서 들어올릴 때, 전극 블록(120) 뿐만 아니라 전극 플레이트(110)와도 접촉이 일어나게 된다. 전극 플레이트의 두께(110t)는 전극 블록의 두께(120t)에 비하여 상대적으로 작으므로, 보트 장치를 이동시키는 장치(T) 및 보트 장치 사이에 접촉이 일어날 때 전극 플레이트(110)의 파손이 발생할 수 있다.
그러나, 본 발명의 실시예에 따른 보트 장치(1)의 경우, 전극 블록(20a)에 제1 홈(21)이 있고, 접촉부(12)의 면적은 제1 홈(21)의 면적보다 작을 수 있다. 이 경우, 도 17에 나타낸 바와 같이, 보트 장치를 이동시키는 장치(T)는 보트 장치(1)를 집어서 들어올릴 때, 전극 블록(20ad)에 형성된 지지대(23)에만 접촉이 일어날 수 있다. 이에 따라, 보트 장치를 이동시키는 장치(T)가 보트 장치(1)를 집어서 들어올릴 때, 전극 플레이트(10a)의 파손을 방지할 수 있다.
전극 블록(20a)은 제2 홈(24)을 적어도 하나 이상 포함할 수 있다. 제2 홈(24)은, 보트 장치(1)를 세척할 때 세정액이 빠져나오는 통로 역할을 할 수 있다. 제2 홈(24)은 제1 홈(21)이 구비된 전극 블록(20a)의 양면 위에 형성될 수 있으며, 제1 홈(21)과 수직으로 만날 수 있고, 전극 블록(20a) 상의 고정부(30a)가 관통하는 지점과 연결될 수 있다.
도 9를 참조하면, 제2 홈(24)은 제1 홈(21)이 구비된 전극 블록(20a)의 양면 위에 형성될 수 있다. 제2 홈(24)은 제1 홈(21)과 만날 수 있다. 즉, 제2 홈(24)은 제1 홈(21)과 연결되어 통할 수 있다.
제2 홈(24)은 제1 홈(21)과 수직으로 만날 수 있다. 구체적으로, 도 15에 나타낸 바와 같이, 제1 홈(21)이 Y축 방향으로 형성된다면, 제2 홈(24)은 Y축 방향과 수직한 Z축 방향으로 형성될 수 있다. 제2 홈(24)은 전극 블록(20a)의 윗면에서부터 형성될 수도 있고, 아랫면에서부터 형성될 수도 있으며, 윗면에서 시작하여 아랫면까지 연장될 수도 있다.
제2 홈(24)은 전극 블록(20a) 상의 고정부(30a)가 관통하는 지점과 연결될 수 있다. 전극 블록(20a) 상의 고정부(30a)가 관통하는 지점은 전술한 구멍(13)을 말한다. 즉, 제2 홈(24)은 구멍(13)과 연결될 수 있다. 좀 더 구체적으로, 도 15를 참조하면, 구멍(13)의 중심은 제2 홈의 중심축(24c) 상에 위치할 수 있다.
제2 홈(24)은 고정 막대(31)가 관통하는 전극 블록(20a) 상의 지점에 연결될 수 있고, 고정 막대(31)는 접촉부(12)도 관통하므로, 제2 홈(24)은 전극 블록(20a) 상의 접촉부(12)가 접촉되는 부분에 배치될 수 있다.
제2 홈(24)은 전극 블록(20a)에 적어도 하나 이상 구비될 수 있다. 전술한 바와 같이, 고정부(30a) 및 구멍(13)은 복수 개일 수 있으며, 제2 홈(24) 역시 복수 개의 구멍(13)에 대응하여 복수 개가 구비될 수 있다.
제2 홈(24)의 단면의 형상은, 도 9에 나타낸 바와 같이, 반원일 수 있다. 상기 반원의 지름(이하 '제2 홈(24)의 지름'이라 함.)은 접촉부 두께(12t)의 0.5배를 초과할 수 있다. 이에 따라 전극 블록(20a) 및 접촉부(12) 사이에 제2 홈(24)으로 인한 공간이 형성될 수 있다.
제2 홈(24)의 지름은 구멍(13)의 지름보다 작을 수 있다. 이는, 고정 막대(31)가 안정적으로 전극 블록(20a)에 고정되어 전극 블록(20a)을 지지하기 위함이며, 전극 블록(20a)의 파손을 방지하기 위함이다.
제2 홈(24)이 존재함에 따라, 보트 장치(1)의 세척 시에 제1 홈(21) 및 접촉부(12) 사이, 전극 블록(20a) 및 고정 막대(31) 사이, 접촉부(12) 및 고정 막대(31) 사이로 흘러 들어간 세정액이 제2 홈(24)을 통하여 빠르게 배출될 수 있고, 이로 인해 보트 장치(1)의 세척 후 건조 시간을 단축할 수 있다.
이와 같이 도면에 도시된 실시예를 참고로 본 발명을 설명하였으나, 이는 예시에 불과하다. 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 갖는 자라면 실시예로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 충분히 이해할 수 있다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 청구범위에 기초하여 정해져야 한다.
실시예에서 설명하는 특정 기술 내용은 일 실시예들로서, 실시예의 기술 범위를 한정하는 것은 아니다. 발명의 설명을 간결하고 명확하게 기재하기 위해, 종래의 일반적인 기술과 구성에 대한 기재는 생략될 수 있다. 또한, 도면에 도시된 구성 요소들 간의 선들의 연결 또는 연결 부재는 기능적인 연결 및/또는 물리적 또는 회로적 연결들을 예시적으로 나타낸 것으로서, 실제 장치에서는 대체 가능하거나 추가의 다양한 기능적인 연결, 물리적인 연결, 또는 회로 연결들로 표현될 수 있다. 또한, "필수적인", "중요하게" 등과 같이 구체적인 언급이 없다면 본 발명의 적용을 위하여 반드시 필요한 구성 요소가 아닐 수 있다.
발명의 설명 및 청구범위에 기재된 "상기" 또는 이와 유사한 지시어는 특별히 한정하지 않는 한, 단수 및 복수 모두를 지칭할 수 있다. 또한, 실시 예에서 범위(range)를 기재한 경우 상기 범위에 속하는 개별적인 값을 적용한 발명을 포함하는 것으로서(이에 반하는 기재가 없다면), 발명의 설명에 상기 범위를 구성하는 각 개별적인 값을 기재한 것과 같다. 또한, 실시예에 따른 방법을 구성하는 단계들에 대하여 명백하게 순서를 기재하거나 반하는 기재가 없다면, 상기 단계들은 적당한 순서로 행해질 수 있다. 반드시 상기 단계들의 기재 순서에 따라 실시예들이 한정되는 것은 아니다. 실시예에서 모든 예들 또는 예시적인 용어(예들 들어, 등등)의 사용은 단순히 실시예를 상세히 설명하기 위한 것으로서 청구범위에 의해 한정되지 않는 이상, 상기 예들 또는 예시적인 용어로 인해 실시예의 범위가 한정되는 것은 아니다. 또한, 통상의 기술자는 다양한 수정, 조합 및 변경이 부가된 청구범위 또는 그 균등물의 범주 내에서 설계 조건 및 팩터에 따라 구성될 수 있음을 알 수 있다.
1: 보트 장치 10: 전극 플레이트
11: 기판 적재부 12: 접촉부
20: 전극 블록 21: 제1 홈
22: 돌출부 23: 지지대
24: 제2 홈
30: 고정부 31: 고정 막대
32: 고정 볼트
100: 종래의 보트 장치
11: 기판 적재부 12: 접촉부
20: 전극 블록 21: 제1 홈
22: 돌출부 23: 지지대
24: 제2 홈
30: 고정부 31: 고정 막대
32: 고정 볼트
100: 종래의 보트 장치
Claims (10)
- 서로 이격하여 배치되며 그 사이에 복수 개의 기판이 적재되는 복수 개의 전극 플레이트;
상기 복수 개의 전극 플레이트 중 같은 극성인 복수 개의 전극 플레이트를 지지하며, 같은 극성인 인접한 상기 전극 플레이트와 각각 접촉하는 제1 홈을 양면에 각각 구비하는 복수 개의 전극 블록; 및
상기 복수 개의 전극 플레이트 및 상기 복수 개의 전극 블록을 관통하여 체결되는 고정부;를 포함하고,
상기 전극 블록은 상기 제1 홈과 단차를 이루며 상기 전극 블록의 상단 및 하단에 하나씩 형성되는 복수 개의 돌출부;를 포함하고,
상기 전극 플레이트는 상기 제1 홈에 삽입되며 상기 복수 개의 돌출부 사이에 개재되어 고정되는 접촉부;를 포함하는, 보트 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 전극 플레이트가 접촉하는 상기 전극 블록의 양면은 서로 대칭인, 보트 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 접촉부는
자신을 사이에 두고 인접해 있는 두 전극 블록의 상단에 형성되는 돌출부의 일 면, 상기 두 전극 블록의 하단에 형성되는 돌출부의 일 면 및 상기 두 전극 블록에 구비된 제1 홈의 바닥에 모두 접촉하는, 보트 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 접촉부의 단부는 상기 전극 블록의 내측에 배치되는, 보트 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 접촉부의 면적은 상기 제1 홈의 면적보다 작은, 보트 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 접촉부의 길이는 상기 제1 홈의 길이의 0.5배 이상인, 보트 장치. - 삭제
- 제1 항에 있어서,
상기 돌출부의 길이는
상기 접촉부의 두께의 0.5배 이하인, 보트 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 복수 개의 전극 블록 중 적어도 하나 이상의 전극 블록은
보트 장치를 이동시키는 장치에 지지되는 지지대;를 더 포함하는, 보트 장치. - 제1 항에 있어서,
상기 전극 블록은,
상기 제1 홈이 구비된 상기 전극 블록의 양면 위에 형성되며, 상기 제1 홈과 수직으로 만나고, 상기 전극 블록 상의 상기 고정부가 관통하는 지점과 연결되는 제2 홈을 적어도 하나 이상 포함하는, 보트 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020230000372A KR102586968B1 (ko) | 2023-01-02 | 2023-01-02 | 보트 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020230000372A KR102586968B1 (ko) | 2023-01-02 | 2023-01-02 | 보트 장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102586968B1 true KR102586968B1 (ko) | 2023-10-10 |
Family
ID=88291967
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020230000372A KR102586968B1 (ko) | 2023-01-02 | 2023-01-02 | 보트 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102586968B1 (ko) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20120023238A (ko) * | 2010-09-01 | 2012-03-13 | 주식회사 테스 | 기판이송용 보트 |
| CN110648893A (zh) * | 2019-10-28 | 2020-01-03 | 通威太阳能（安徽）有限公司 | 一种用于石墨舟的新型电极结构及其石墨舟 |
| KR102251672B1 (ko) * | 2020-10-26 | 2021-05-13 | 주식회사 한화 | 강성이 보강된 보트 장치 |
-
2023
- 2023-01-02 KR KR1020230000372A patent/KR102586968B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20120023238A (ko) * | 2010-09-01 | 2012-03-13 | 주식회사 테스 | 기판이송용 보트 |
| CN110648893A (zh) * | 2019-10-28 | 2020-01-03 | 通威太阳能（安徽）有限公司 | 一种用于石墨舟的新型电极结构及其石墨舟 |
| KR102251672B1 (ko) * | 2020-10-26 | 2021-05-13 | 주식회사 한화 | 강성이 보강된 보트 장치 |
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