CN211670179U - 防止硅片粘连的硅片承载器 - Google Patents
防止硅片粘连的硅片承载器 Download PDFInfo
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Abstract
本实用新型涉及硅片承载工具技术领域,尤其涉及一种防止硅片粘连的硅片承载器,包括承载器框架,所述承载器框架的立面设有多个纵向齿,相邻的纵向齿之间形成纵向卡位,所述承载器框架的底部设有多个卡槽;所述卡槽与所述纵向卡位一一对应,多个所述卡槽的最低点均靠近其所对应的所述纵向卡位的纵向中心的相同一侧。本实用新型提供的防止硅片粘连的硅片承载器,由于多个卡槽的最低点均靠近其所对应的纵向卡位的纵向中心的相同一侧,因而在该防止硅片粘连的硅片承载器被提升或移动的过程中,硅片能够在卡槽中向最低点滑移,使多个硅片向一个方向倾斜,避免无序排列,从而解决多个硅片间容易粘连的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片承载工具技术领域,尤其涉及一种防止硅片粘连的硅片承载器。
背景技术
随着传统能源的枯竭以及严重的污染问题,光伏电池板等新能源技术得到了快速的发展。硅片是光伏电池板的重要组成部件,其生产过程中需要经过清洗和烘干等工序。硅片在各项工序(如清洗、蒸镀、化学蚀刻等)中都必须使用专用的硅片承载工具。由于硅片需要在一定温度条件下的清洗液中进行交替清洗,并且还需要在烘干设备上运转,因此要求硅片承载工具的材质耐腐蚀、耐高温,硅片承载工具的结构不易使硅片粘连。但现有的硅片承载工具在防止硅片粘连方面有所不足。
比如,有些硅片承载工具采用侧面卡槽和底部卡槽相结合的形式,硅片由硅片承载工具的侧面卡槽和底部卡槽共同作用以限制位置并分隔开。随着硅片厚度越来越薄,现有的硅片承载工具的卡槽之间的间距显得过大;在清洗液表面张力的作用下,硅片容易在卡槽内前后晃动,相邻的硅片之间容易发生粘连,硅片不能在有效时间内被干燥,造成返工率提升、成品率降低;由于硅片承载工具的侧面需要留出清洗液的流动空间,卡槽的尺寸不能进一步减少,而单纯通过增加齿形厚度的方式也不能解决粘片问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种防止硅片粘连的硅片承载器。
为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种防止硅片粘连的硅片承载器,包括承载器框架,所述承载器框架的立面设有多个纵向齿,相邻的所述纵向齿之间形成纵向卡位,所述承载器框架的底部设有多个卡槽;所述卡槽与所述纵向卡位一一对应,多个所述卡槽的最低点均靠近其所对应的所述纵向卡位的纵向中心的相同一侧。
在一个实施例中,所述卡槽的横截面为V形形状。
在一个实施例中,所述卡槽的底部为平滑的弧面。
在一个实施例中,所述纵向齿设有第一过渡弧面。
在一个实施例中,所述承载器框架的底部设有多个凸起的底部齿,所述卡槽由所述底部齿间隔形成,所述底部齿的齿形为倒V形。
在一个实施例中,所述底部齿与所述纵向齿对应相连。
在一个实施例中,所述纵向齿设有支撑部,所述支撑部凸出于所述纵向齿的齿侧。
在一个实施例中,所述支撑部呈半球形。
在一个实施例中,所述承载器框架的两个相对的立面分别设有第一组纵向齿和第二组纵向齿,所述第一组纵向齿与所述第二组纵向齿大小相同且一一对应。
在一个实施例,所述防止硅片粘连的承载器由聚偏氟乙烯制成。
本实用新型的有益效果是:本实用新型提供的防止硅片粘连的硅片承载器,由于多个卡槽的最低点均靠近其所对应的纵向卡位的纵向中心的相同一侧,因而在该防止硅片粘连的硅片承载器被提升或移动的过程中,硅片能够在卡槽中向最低点滑移,使多个硅片向一个方向倾斜,避免无序排列,从而解决多个硅片间粘连的问题。
附图说明
图1是本实用新型实施例的结构示意图。
图2是本实用新型实施例的承载器框架的立面的结构示意图。
图3是图2中C部的局部放大视图。
图4是图2中D部的局部放大视图。
图5是图2的左视图。
附图标记说明:1、承载器框架;2、承载器框架的立面;3、纵向齿;31、第一组纵向齿;32、第二组纵向齿;4、纵向卡位;5、卡槽;6、平滑的弧面;7、第一过渡弧面;8、底部齿;9、第二过渡弧面;10、支撑部;11、硅片。
具体实施方式
为使实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合实用新型中的附图,对实用新型中的技术方案进行清楚地描述,显然,所描述的实施例是实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于实用新型保护的范围。
在本实用新型实施例的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型实施例的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型实施例的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。
在本实用新型实施例中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触,或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外,在不相互矛盾的情况下,本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
如图1和图2所示,本实用新型提供一种防止硅片粘连的硅片承载器,包括承载器框架1,承载器框架1的立面设有多个纵向齿3,相邻的纵向齿3之间形成纵向卡位4,承载器框架1的底部设有多个卡槽5;卡槽5与纵向卡位4一一对应,多个卡槽5的最低点均靠近其所对应的纵向卡位4的纵向中心的相同一侧。
如图3和图4所示,由于多个卡槽5的最低点均靠近其所对应的纵向卡位4的纵向中心的右侧(即不正对相邻的纵向齿3的中心位置),因而在该防止硅片粘连的硅片承载器被提升或移动的过程中,硅片11将会向卡槽5的最低点滑移并向一个方向倾斜(如图3所示,硅片11的上部向左侧倾斜),避免无序排列,从而解决多个硅片11相互粘连的问题。
在一个实施例中,卡槽5的横截面为V形形状。将卡槽5设置为V形形状更加便于制造,并且使硅片更容易在卡槽5中向最低点滑移。卡槽5的形状不限于V形形状,也可以为U形、抛物线形等形状。
如图4所示,在一个实施例中,卡槽5的底部为平滑的弧面6。
如图3所示,在一个实施例中,纵向齿3设有第一过渡弧面7。设置第一过渡弧面7使纵向齿3的齿形更为平滑,增加了相邻纵向齿3的尖端位置的距离,便于硅片11顺利进出。
在一个实施例中,承载器框架1的底部设有多个凸起的底部齿8,卡槽5由底部齿8间隔形成,底部齿8的齿形为倒V形。
如图4所示,在一个实施例中,底部齿8设有第二过渡弧面9。设置第二过渡弧面9使底部齿8的齿形更为平滑,增加了相邻底部齿8的尖端位置的距离,便于硅片11顺利进出。
如图5所示,在一个实施例中,底部齿8与纵向齿3对应相连。将部齿与纵向齿3设置为对应相连,使结构更为实用且便于加工制造。
如图3所示,在一个实施例中,纵向齿3设有由其齿侧凸起的支撑部10。在纵向齿3上设置支撑部10的目的是减小硅片的晃动空间,并减小硅片与纵向齿3的侧面的接触面积;支撑部10的形状不限,可以为椭圆形、抛物线形或者带有倒角的矩形的等。由于对硅片11的横向夹持不再仅仅依靠纵向齿3,而是改变为纵向齿3与支撑部10相结合,在对该防止硅片粘连的硅片承载器进行具体设计时可以相应地将纵向齿3的斜度减小、齿形增长,便于兼容多种规格硅片尺寸,达到良好的使用效果;也便于在相同长度范围内增加卡槽5的数量,从而提高生产效率。
在一个实施例中,支撑部10呈半球形。将支撑部10设置呈半球形有利于可以使硅片与纵向齿3之间保持点接触,在清洗工序中可以增加清洗液与硅片的接触,并进一步减小硅片粘连的概率。
如图1所示,在一个实施例中,该承载器框架1的两个相对的立面分别设有第一组纵向齿31和第二组纵向齿32,第一组纵向齿31与第二组纵向齿32大小相同且一一对应。在两个相对的立面分别设置纵向齿3的目的是加强对硅片的固定作用;如果不在该承载器框架1的两个相对的立面设置大小相同且一一对应的纵向齿3,也可以在仅在其中一个立面设置纵向齿3;或者在一个立面设置纵向齿3,另一个里面设置辅助夹持垫等结构。
在一个实施例中,该防止硅片粘连的承载器由聚偏氟乙烯制成。选择聚偏氟乙烯作为该防止硅片粘连的承载器的材料,是因为该种材料具有一定的耐高温性和耐腐蚀性,能够长期耐受硅片清洗液的冲洗。
虽然上文中已经用一般性说明及具体实施方案对本实用新型作了详尽的描述,但在本实用新型基础上,可以对之作一些修改或改进,这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此,在不偏离本实用新型精神的基础上所做的这些修改或改进,均属于本实用新型要求保护的范围。
Claims (10)
1.一种防止硅片粘连的硅片承载器,其特征在于,包括承载器框架,所述承载器框架的立面设有多个纵向齿,相邻的所述纵向齿之间形成纵向卡位,所述承载器框架的底部设有多个卡槽;所述卡槽与所述纵向卡位一一对应,多个所述卡槽的最低点均靠近其所对应的所述纵向卡位的纵向中心的相同一侧。
2.根据权利要求1所述的防止硅片粘连的硅片承载器,其特征在于,所述卡槽的横截面为V形形状。
3.根据权利要求1所述的防止硅片粘连的硅片承载器,其特征在于,所述卡槽的底部为平滑的弧面。
4.根据权利要求1所述的防止硅片粘连的硅片承载器,其特征在于,所述纵向齿设有第一过渡弧面。
5.根据权利要求1所述的防止硅片粘连的硅片承载器,其特征在于,所述承载器框架的底部设有多个凸起的底部齿,所述卡槽由所述底部齿间隔形成,所述底部齿的齿形为倒V形。
6.根据权利要求5所述的防止硅片粘连的硅片承载器,其特征在于,所述底部齿与所述纵向齿对应相连。
7.根据权利要求1所述的防止硅片粘连的硅片承载器,其特征在于,所述纵向齿设有支撑部,所述支撑部凸出于所述纵向齿的齿侧。
8.根据权利要求7所述的防止硅片粘连的硅片承载器,其特征在于,所述支撑部呈半球形。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的防止硅片粘连的硅片承载器,其特征在于,所述承载器框架的两个相对的立面分别设有第一组纵向齿和第二组纵向齿,所述第一组纵向齿与所述第二组纵向齿大小相同且一一对应。
10.根据权利要求1至8中任一项所述的防止硅片粘连的硅片承载器,其特征在于,由聚偏氟乙烯制成。
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CN202020312591.7U CN211670179U (zh) | 2020-03-13 | 2020-03-13 | 防止硅片粘连的硅片承载器 |
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CN111243998A (zh) * | 2020-03-13 | 2020-06-05 | 北京市塑料研究所 | 防止硅片粘连的硅片承载器 |
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