CN210516688U - 一种石英舟 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及太阳能电池片加工技术领域，尤其涉及一种石英舟。石英舟包括相对设置的两个连接板及连接于两个所述连接板之间的底部支撑部，所述底部支撑部上沿其长度方向设置有多个第一卡槽，所述第一卡槽能够同时容纳两张硅片，所述石英舟还包括相对设置的两个侧部支撑杆，连接于两个所述连接板之间，两个所述侧部支撑杆中的一个上沿其长度方向设置有多个第二卡槽，另一个沿其长度方向设置有多个第三卡槽，所述第二卡槽和所述第三卡槽沿所述侧部支撑杆的长度方向错开设置，以使位于同一所述第一卡槽内的两张硅片中的一张卡入所述第二卡槽内、另一张卡入所述第三卡槽内。该石英舟可以在不影响石英舟承载硅片数量的基础上，实现硅片双面扩散。

Description

一种石英舟

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池片加工技术领域，尤其涉及一种石英舟。

背景技术

太阳能电池片在加工过程中，硅片放置于石英舟内进行扩散。传统的扩散工艺中，硅片进行单面扩散，两片硅片背面贴紧后插入同一卡槽内，以使硅片的单面与扩散气体接触。

随着太阳能电池片产能以及质量的提高，硅片在加工过程中进行双面沉积有利于提高电池效率以及良品率。现有技术中，一般采用单槽单片的方向放置硅片，即石英舟的每个卡槽内插入一张硅片，这样虽然能够实现硅片的双面扩散沉积，但是降低了石英舟的承载量，进而降低了扩散效率。

因此，亟需一种石英舟以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提出一种石英舟，可以在实现硅片双面扩散的基础上解决现有技术中石英舟的承载量低的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种石英舟，包括：

相对设置的两个连接板；及

连接于两个所述连接板之间的底部支撑部，所述底部支撑部上沿其长度方向设置有多个第一卡槽，所述第一卡槽能够同时容纳两张硅片，所述石英舟还包括：

相对设置的两个侧部支撑杆，连接于两个所述连接板之间，两个所述侧部支撑杆中的一个上沿其长度方向设置有多个第二卡槽，另一个沿其长度方向设置有多个第三卡槽，所述第二卡槽和所述第三卡槽沿所述侧部支撑杆的长度方向错开设置，以使位于同一所述第一卡槽内的两张所述硅片中的一张卡入所述第二卡槽内、另一张卡入所述第三卡槽内。

其中，每个所述第一卡槽均对应设置有一个所述第二卡槽和一个所述第三卡槽。

其中，所述第一卡槽位于对应的所述第二卡槽和所述第三卡槽之间。

其中，沿所述侧部支撑杆的长度方向，所述第一卡槽位于对应的所述第二卡槽和所述第三卡槽的中点。

其中，所述第二卡槽由下至上向远离对应的所述第一卡槽的方向倾斜，所述第三卡槽由下至上向远离对应的所述第一卡槽的方向倾斜。

其中，所述第一卡槽沿平行于所述连接板的方向与所述第二卡槽或所述第三卡槽正对。

其中，相邻的两个所述第一卡槽内相邻的两张所述硅片的顶部相互抵靠。

其中，所述底部支撑部包括：

相对设置的两个底部支撑杆，所述底部支撑杆连接两个所述连接板，所述底部支撑杆上沿其长度方向设置有多个凹槽，两个所述底部支撑杆上对应的所述凹槽形成所述第一卡槽。

其中，所述凹槽沿靠近两个所述底部支撑杆的中心方向向下倾斜设置。

其中，所述第一卡槽沿所述底部支撑部的长度方向的两个侧壁倾斜设置，以使所述第一卡槽的开口外扩。

有益效果：

本实用新型中，两个侧部支撑杆上的第二卡槽和第三卡槽沿侧部支撑杆的长度方向错开，同一第一卡槽内的两张硅片中一个与第二卡槽配合，另一个与第三卡槽配合，使得这两张硅片的顶端打开形成间隙，扩散气体可以与硅片的两个表面接触，从而实现双面扩散；同一第一卡槽对应的第二卡槽和第三卡槽错开较小距离，即可使同一卡槽内的两张硅片之间形成间隙，相比现有技术中单槽单片的布置，能够增加石英舟的承载量。

附图说明

图1是本实用新型提供的石英舟的剖视图；

图2是本实用新型提供的硅片与侧部支撑部、底部支撑部配合的侧视图。

其中：

1、连接板；21、第一侧部支撑杆；211、第二卡槽；22、第二侧部支撑杆；31、第一底部支撑杆；311、凹槽；32、第二底部支撑杆；4、硅片；41、第一硅片；42、第二硅片。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置。

除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一特征和第二特征直接接触，也可以包括第一特征和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。

本实用新型提供了一种石英舟，可以用于太阳能电池片加工工艺中，作为承载硅片或电池片的载体，从而方便电池片的加工。本实施例中以硅片放置于石英舟中进行扩散工艺为例介绍石英舟的结构。

如图1和图2所示，石英舟包括相对设置的两个连接板1以及连接于两个连接板1之间的底部支撑部和侧部支撑部。硅片4放置于石英舟内时，硅片4的底部由底部支撑部限位，硅片4的侧部由侧部支撑部限位，从而使硅片4稳定放置于石英舟内。

具体地，如图2所示，底部支撑部包括相对设置的两个底部支撑杆，为方便介绍，两个底部支撑杆分别为第一底部支撑杆31和第二底部支撑杆32。硅片4的一个顶角插入两个底部支撑杆之间，使得硅片4的两个侧边靠近底部的部分被两个底部支撑杆支撑。侧部支撑杆包括相对设置的两个侧部支撑杆，为方便介绍，两个侧部支撑杆分别为第一侧部支撑杆21和第二侧部支撑杆22。两个侧部支撑杆位于底部支撑部的上方，且两个侧部支撑杆之间的距离大于两个底部支撑杆之间的距离，使得硅片4相邻的两个侧边靠近顶部的部分被侧部支撑杆支撑。

在其他实施例中，硅片4的底部侧边支撑于第一底部支撑杆31和第二底部支撑杆32上，与底部侧边相邻的两个侧边分别抵接在第一侧部支撑杆21和第二侧部支撑杆22的内侧，也可以使硅片4稳定放置于石英舟内。

为了提高侧部支撑部和底部支撑部对硅片4的支撑效果，底部支撑部和侧部支撑部上均设置有卡槽，硅片4的边缘可以卡入对应的卡槽内，以对硅片4进一步限位。

为方便介绍，底部支撑部上的卡槽定义为第一卡槽，第一侧部支撑杆21上的卡槽定义为第二卡槽211，第二侧部支撑杆22上的卡槽定义为第三卡槽。底部支撑部的两个底部支撑杆上均设置有凹槽311，第一底部支撑部和第二底部支撑部上的凹槽311数量相等且一一对应，多个凹槽311均沿底部支撑部的长度方向排列，第一底部支撑部和第二底部支撑部上相对设置的两个凹槽311形成第一卡槽。

可选地，凹槽311沿靠近两个底部支撑杆的中心方向向下倾斜设置，以使硅片4的一个顶角可以伸入到两个底部支撑杆之间。

本实施例中，第一卡槽内可以插入两张硅片4，使得石英舟承载硅片4的数量增多，从而提高加工效率。

为了使石英舟内同一第一卡槽内的两张硅片4的正面和反面均能够在扩散工艺中沉积，第一卡槽沿底部支撑部的长度方向的两个侧壁倾斜设置，以使第一卡槽的开口外扩，进而使同一第一卡槽内的两张硅片4的顶部相互远离以张开，从而使两张硅片4相对的一侧之间形成缝隙，以便扩散气体进入。本实施例中，第一卡槽由两个凹槽311组成，即两个凹槽311沿底部支撑杆的长度方向的两个侧壁倾斜设置，使得凹槽311沿底部支撑杆的长度方向的尺寸由下至上逐渐增大。

具体地，第一侧部支撑杆21上的第二卡槽211和第二侧部支撑杆22上的第三卡槽沿侧部支撑部的长度方向错开设置。每个第一卡槽均对应设置有一个第二卡槽211和一个第三卡槽，且该第二卡槽211和该第三卡槽沿侧部支撑杆的长度方向错开，使得同一第一卡槽内的两张硅片4中的一张的侧边卡入第二卡槽211内，另一张硅片4的侧边卡入第三卡槽内，从而使两张硅片4的顶部相互远离，进而使两张硅片4的顶部张开，以允许扩散气体进入。

为方便介绍，将同一个第一卡槽内的两张硅片4定义为第一硅片41和第二硅片42，第一硅片41和第二硅片42的底部顶角抵接，第一硅片41沿图1所示方向向左侧倾斜，以卡入第一侧部支撑杆21上的第二卡槽211内，对应地，第二硅片42沿图1所示方向向右侧倾斜，以卡入第二侧部支撑杆22上的第三卡槽内，图1中未示出第二侧部支撑杆22。

本实施例中，每张硅片4采用三个卡接点，第一硅片41的卡接点分别位于第一底部支撑杆31、第二底部支撑杆32以及第一侧部支撑杆21，对应地，第二硅片42的卡接点分别位于第一底部支撑杆31、第二底部支撑杆32以及第二侧部支撑杆22。第一硅片41和第二硅片42的侧部支撑点沿侧部支撑杆的长度方向错开，可以使第一硅片41和第二硅片42分开，以允许扩散气体进入。

为提高硅片4放置的稳定性，相邻的两个第一卡槽内的相邻两张硅片4的顶部可以相互抵靠，以维持硅片4的稳定。

本实施例中，第一硅片41和第二硅片42稍微倾斜即可使两张硅片4相对的一侧之间形成间隙，以与扩散气体接触，因此，第一硅片41和第二硅片42的倾斜角度可以较小，第一硅片41的顶部和第二硅片42的顶部之间的距离在大于一个卡槽的宽度即可，因此，相比现有技术中每个卡槽插入一张硅片4、多张硅片4平行设置的方案，本实施例中石英舟可以在实现硅片4双面扩散的基础上，增加石英舟的承载硅片4的数量。

可选地，凹槽311沿底部支撑杆的长度方向的两个侧面可以倾斜设置，即凹槽311沿底部支撑杆的长度方向的尺寸由下至上逐渐增大，从而满足第一硅片41和第二硅片42的倾斜角度。

可选地，第二卡槽211和第三卡槽可以倾斜设置，第二卡槽211由下至上向远离对应的第一卡槽的方向倾斜，第三卡槽由下至上向远离对应的第一卡槽的方向倾斜，以使倾斜的第一硅片41和第二硅片42能够顺利卡入第二卡槽211和第三卡槽内。

示例性地，第一卡槽可以位于对应的第二卡槽211和第三卡槽之间，使得第一硅片41和第二硅片42均可以相对竖直方向倾斜设置。可选地，沿侧部支撑杆的长度方向，第一卡槽位于对应的第二卡槽211和第三卡槽的中点，使第一硅片41和第二硅片42倾斜后可以形成等腰三角形，放置更加稳定。

示例性地，第一卡槽可以与第二卡槽211或第三卡槽位于垂直于侧部支撑杆的同一条直线上，即第一卡槽沿平行于连接板1的方向与第二卡槽211或第三卡槽正对，使得第一硅片41或第二硅片42竖直设置在石英舟内，也可以在第一硅片41和第二硅片42顶部之间形成间隙。

可选地，连接板1的外侧还可以设置有把手，以方便工作人员搬运石英舟。

采用本实施例提供的石英舟用于扩散工艺中，可以在不影响扩散产能的基础上实现双面扩散，电池效果可以提高0.05％。

现有技术中，在硅片正面扩散以在正面形成PN结与很厚的BSG后，还需要在硅片背面去除PN结后进行背面沉积poly-Si。背面沉积过程中会在正面的BSG边缘区域形成poly-Si沉积，导致需要进行正面去绕镀工序。在正面去绕镀过程中，去除poly-Si沉积将会影响正面的BSG，进而出现电池片良率低的问题。采用本实施例中提供的石英舟进行扩散时，在背面沉积poly-Si的过程中，正面也会沉积poly-Si，这样在去绕镀的过程中，不会出现正面PN结被破坏的问题。

以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种石英舟，包括：

相对设置的两个连接板(1)；及

连接于两个所述连接板(1)之间的底部支撑部，所述底部支撑部上沿其长度方向设置有多个第一卡槽，所述第一卡槽能够同时容纳两张硅片(4)，其特征在于，所述石英舟还包括：

相对设置的两个侧部支撑杆，连接于两个所述连接板(1)之间，两个所述侧部支撑杆中的一个上沿其长度方向设置有多个第二卡槽(211)，另一个沿其长度方向设置有多个第三卡槽，所述第二卡槽(211)和所述第三卡槽沿所述侧部支撑杆的长度方向错开设置，以使位于同一所述第一卡槽内的两张所述硅片(4)中的一张卡入所述第二卡槽(211)内、另一张卡入所述第三卡槽内。

2.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，每个所述第一卡槽均对应设置有一个所述第二卡槽(211)和一个所述第三卡槽。

3.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述第一卡槽位于对应的所述第二卡槽(211)和所述第三卡槽之间。

4.如权利要求3所述的石英舟，其特征在于，沿所述侧部支撑杆的长度方向，所述第一卡槽位于对应的所述第二卡槽(211)和所述第三卡槽的中点。

5.如权利要求3所述的石英舟，其特征在于，所述第二卡槽(211)由下至上向远离对应的所述第一卡槽的方向倾斜，所述第三卡槽由下至上向远离对应的所述第一卡槽的方向倾斜。

6.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述第一卡槽沿平行于所述连接板(1)的方向与所述第二卡槽(211)或所述第三卡槽正对。

7.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，相邻的两个所述第一卡槽内相邻的两张所述硅片(4)的顶部相互抵靠。

8.如权利要求1-7中任一项所述的石英舟，其特征在于，所述底部支撑部包括：

相对设置的两个底部支撑杆，所述底部支撑杆连接两个所述连接板(1)，所述底部支撑杆上沿其长度方向设置有多个凹槽(311)，两个所述底部支撑杆上对应的所述凹槽(311)形成所述第一卡槽。

9.如权利要求8所述的石英舟，其特征在于，所述凹槽(311)沿靠近两个所述底部支撑杆的中心方向向下倾斜设置。

10.如权利要求1-7中任一项所述的石英舟，其特征在于，所述第一卡槽沿所述底部支撑部的长度方向的两个侧壁倾斜设置，以使所述第一卡槽的开口外扩。

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