CN220569649U - 一种烘烤卡塞治具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种烘烤卡塞治具，属于半导体技术领域，包括第一放置部以及呈品字形结构分布连接在第一放置部上的第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部，第一支撑部和第二支撑部位于品字形结构的底部，第三支撑部位于品字形结构的顶部，第一支撑部与第二支撑部之间形成进出晶圆的通道，第一支撑部和第二支撑部相对的一面分别设置有第一支撑槽，第三支撑部朝向通道的方向设置有第二支撑槽，两第一支撑槽和一第二支撑槽形成对晶圆的三点支撑，三点支撑所在平面平行于第一放置部的放置面。本实用新型在利用第一放置部支撑时，能够保持晶圆在烘烤时为水平状态，避免晶圆上涂覆的保护胶受重力影响聚集到一侧，保证晶圆上保护胶的分布均匀性。

Description

一种烘烤卡塞治具

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，特别是涉及一种烘烤卡塞治具。

背景技术

晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是多晶硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，即硅晶棒，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。

随着半导体产量的增加，越来越多的制造商希望能用更少的时间生产更多的产品，同时为满足现代电子设备小型化的要求，需要使用切割技术将晶圆分割成多个小片，使得产品效益最大化。然而切割过程中不可避免得会产生一些玻璃碎屑，造成产品表面划伤，因此需要在晶圆上涂覆保护胶，保护胶涂覆后需要将晶圆放置在高温炉中进行烘烤，之前的烤胶方式为单片烘烤，不仅效率低下，且晶圆下底面完全接触烤板，存在划伤风险。

授权公告号为CN100435309C的中国专利公开了一种高温烘烤晶舟，包含一前端构件、二片侧壁板、一后端构件、复数个固定槽、二片弹片挡板及二支支撑杆，二侧壁板相对地设置于前端构件的两端，后端构件位于二侧壁板之间，二弯曲的弹片挡板相对地设置于二侧壁板的下方，二支撑杆分别固定于二侧壁板及二弯曲的弹片挡板之间。该装置形成了用于存放多个晶圆的结构，能够使得多个晶圆竖向放置。

再如，授权公告号为CN218975408U的中国专利公开了一种晶圆治具，包括支撑架及设于支撑架上的横梁组件；横梁组件包括具有多个放置槽的第一横梁和第二横梁以及第三横梁，第一横梁上的放置槽和第二横梁上的放置槽相对设置，当晶圆位于治具内时，晶圆的侧部边缘与放置槽的内壁抵靠，晶圆的底部边缘与第三横梁的表面接触，以通过第三横梁，对晶圆的底部边缘进行支撑。该方案同样能够用于存放多个晶圆的结构，能够使得多个晶圆竖向放置。

然而，上述专利文献中仅能够实现晶圆的竖向放置，由于涂胶后的保护胶并没有完全干燥，存在受重力影响向下流动的风险，如果竖向放置进行烘烤将可能导致保护胶的分布不均，因此，竖向放置晶圆进行烘烤的治具存在一定缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种烘烤卡塞治具，以解决上述现有技术存在的问题，通过利用第一支撑槽和第二支撑槽形成三点支撑，并使得三点支撑所在平面平行于第一放置部的放置面，能够利用三点支撑保持晶圆在烘烤时为水平状态，能够避免晶圆上涂覆的保护胶受重力影响聚集到一侧，保证晶圆上保护胶的分布均匀性。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下方案：

本实用新型提供一种烘烤卡塞治具，包括第一放置部以及呈品字形结构分布连接在所述第一放置部上的第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部位于所述品字形结构的底部，所述第三支撑部位于所述品字形结构的顶部，所述第一支撑部与所述第二支撑部之间形成进出晶圆的通道，所述第一支撑部和所述第二支撑部相对的一面分别设置有第一支撑槽，所述第三支撑部朝向所述通道的方向设置有第二支撑槽，两所述第一支撑槽和一所述第二支撑槽形成对晶圆的三点支撑，所述三点支撑所在平面平行于所述第一放置部的放置面。

优选地，包括T型连接件，所述T型连接件连接在所述第一支撑部、所述第二支撑部和所述第三支撑部远离所述第一放置部的一端，所述第一支撑部、所述第二支撑部和所述第三支撑部分别连接所述T型连接件的三个顶点。

优选地，所述第一放置部采用矩形板，所述T型连接件采用T型板，所述T型板平行于所述矩形板。

优选地，所述第一支撑部、所述第二支撑部和所述T型连接件形成口字型结构，所述口字型结构与所述第三支撑部之间具有间隔。

优选地，所述第一支撑槽在所述第一支撑部和所述第二支撑部上设置有多个，所述第二支撑槽在所述第三支撑部上设置有多个，形成多个相互平行的所述三点支撑。

优选地，所述第一支撑槽采用V型槽，所述V型槽的角度设置为45°～60°。

优选地，包括第二放置部，所述第二放置部垂直连接在所述第一放置部上远离所述通道的一侧，所述第二放置部的放置面垂直于所述三点支撑所在平面。

优选地，所述第二支撑槽采用梯形槽，所述梯形槽的两侧壁之间的夹角为40°～45°，所述梯形槽的内底面宽度大于晶圆的厚度。

优选地，所述第二放置部的宽度小于所述第一放置部的宽度，所述第二放置部与所述第一放置部组成T型结构，所述第二放置部具有便于夹持的镂空区。

优选地，烘烤卡塞治具采用耐高温的PEEK材料。

本实用新型相对于现有技术取得了以下技术效果：

(1)本实用新型通过利用第一支撑槽和第二支撑槽形成三点支撑，并使得三点支撑所在平面平行于第一放置部的放置面，从而能够将晶圆水平放置在三点支撑上，利用三点支撑保持晶圆在烘烤时为水平状态，能够避免保护胶在未凝固前流动，避免晶圆上涂覆的保护胶受重力影响聚集到一侧，保证晶圆上保护胶的分布均匀性；

(2)本实用新型第一支撑部、第二支撑部和T型连接件形成口字型结构，口字型结构与第三支撑部之间具有间隔，在放置晶圆后，能够留有镂空空间，供涂覆在晶圆上的保护胶进行挥发干燥，提高干燥效率；

(3)本实用新型通过将第一支撑槽设置成V型槽，第二支撑槽设置成梯形槽，能够在放置晶圆时，减小与晶圆的接触面积，降低支撑结构对于晶圆本身的刮伤风险，同时，由于V型槽和梯形槽的敞口形式，能够更方便的将晶圆插入，提高放置过程的便利性；

(4)本实用新型通过设置第二放置部，能够使得三点支撑所在平面垂直于第二放置部的放置面，从而在利用第二放置部支撑时，在将第二放置部放置在工作面后，能够将晶圆由水平放置改为竖直放置，能够方便的将烘烤完成的晶圆由通道取出，减少晶圆与治具的摩擦。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型利用第一放置部放置时结构示意图；

图2为本实用新型利用第二放置部放置时结构示意图；

图3为本实用新型未放置晶圆时整体结构示意图；

其中，1、第一支撑部；2、第二支撑部；3、第三支撑部；4、第一放置部；5、晶圆；6、T型连接件；7、第一支撑槽；8、第二支撑槽；9、第二放置部；10、镂空区。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

本实用新型的目的是提供一种烘烤卡塞治具，以解决现有技术存在的问题，通过利用第一支撑槽和第二支撑槽形成三点支撑，并使得三点支撑所在平面平行于第一放置部的放置面，能够利用三点支撑保持晶圆在烘烤时为水平状态，能够避免晶圆上涂覆的保护胶受重力影响聚集到一侧，保证晶圆上保护胶的分布均匀性。

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

如图1～3所示，本实用新型提供一种烘烤卡塞治具，包括第一放置部4以及呈品字形结构分布连接在第一放置部4上的第一支撑部1、第二支撑部2和第三支撑部3。其中，第一放置部4用于放置在工作面上，工作面可以是用于填装晶圆5的台面，也可以是进行烘烤的炉体内的承托面，为便于放置，第一放置部4可以设置有与工作面匹配的放置结构(例如凸起或凹槽等)，也可以仅是与工作面匹配的平面。第一支撑部1、第二支撑部2和第三支撑部3为连接在第一放置部4上的支撑柱、支撑杆或支撑架等结构形式。第一支撑部1和第二支撑部2位于品字形结构的底部，第三支撑部3位于品字形结构的顶部。第一支撑部1与第二支撑部2之间形成进出晶圆5的通道，通过该通道实现晶圆5的放置或取出。第一支撑部1和第二支撑部2相对的一面分别设置有第一支撑槽7，第三支撑部3朝向通道的方向设置有第二支撑槽8，两个第一支撑槽7和一个第二支撑槽8形成对晶圆5的三点支撑，三点支撑所在平面平行于第一放置部4的放置面，也就是说，在利用第一放置部4进行支撑时，将第一放置部4放置在工作面后，将晶圆5放置在三点支撑时，晶圆5平行于第一放置部4的放置面。

综上，本实用新型通过利用第一支撑槽7和第二支撑槽8形成三点支撑，并使得三点支撑所在平面平行于第一放置部4的放置面，能够将晶圆5水平放置在三点支撑上，利用三点支撑保持晶圆5在烘烤时为水平状态，匀胶后的晶圆5带胶面朝上放置，避免保护胶在未凝固前流动，能够避免晶圆5上涂覆的保护胶受重力影响聚集到一侧，保证晶圆5上保护胶的分布均匀性。

包括T型连接件6，T型连接件6连接在第一支撑部1、第二支撑部2和第三支撑部3远离第一放置部4的一端，第一支撑部1、第二支撑部2和第三支撑部3分别连接T型连接件6的三个顶点。除了第一放置部4之外，第一支撑部1、第二支撑部2和第三支撑部3还连接在T型连接件6上，从而利用T型连接件6和第一放置部4将第一支撑部1、第二支撑部2和第三支撑部3连接为一个整体，进一步保证结构的整体性和稳定性。

第一放置部4可以采用矩形板，矩形板的底面能够平稳放置在工作面上，T型连接件6采用T型板，T型板平行于矩形板。上下平行的设置方式，可以以T型板作为支撑面支撑另一个治具的矩形板，也就是说，可以使得多个治具叠摞放置在一起，便于治具的放置和整理。

第一支撑部1、第二支撑部2和T型连接件6形成口字型结构，口字型结构的内径作为晶圆5进出的通道和开口，口字型结构的宽度可以设计成30mm，尽量缩小与晶圆5的接触面积。口字型结构与第三支撑部3之间具有间隔，通过间隔的设置，在放置晶圆5后，能够留有镂空空间，供涂覆在晶圆5上的保护胶进行挥发干燥，提高干燥效率。另外，晶圆5在放置到位后也要凸出口字型结构一部分长度，便于在烘烤完毕后顺利取出，例如，凸出的长度为30mm。

第一支撑槽7在第一支撑部1和第二支撑部2上分别设置有多个，第二支撑槽8在第三支撑部3上设置有多个，两个第一支撑槽7和一个第二支撑槽8一组形成一个三点支撑，因此，能够形成多个相互平行的三点支撑，多个三点支撑的设置，能够利用同一治具实现对多个晶圆5的支撑，本实用新型一个具体实施例中，可以同时支撑12张晶圆5。

第一支撑槽7可以采用V型槽，V型槽的角度设置为45°～60°，优选地可以设置为60°，在放置晶圆5时，能够减小第一支撑槽7与晶圆5的接触面积，降低支撑结构对于晶圆5本身的刮伤风险，同时，由于V型槽的敞口形式，能够更方便的将晶圆5插入，提高放置过程的便利性。

还可以包括第二放置部9，第二放置部9同第一放置部4一样，能够放置在工作面上。第二放置部9垂直连接在第一放置部4上远离通道的一侧，第二放置部9的放置面垂直于三点支撑所在平面，也就是说，在利用第二放置部9支撑时，在将第二放置部9放置在工作面后，晶圆5垂直于第二放置部9的放置面，能够将晶圆5由水平放置改为竖直放置，从而能够方便的将烘烤完成的晶圆5由通道取出，减少晶圆5与治具的摩擦。

第二支撑槽8可以采用梯形槽，梯形槽的两侧壁之间的夹角为40°～45°，优选地可以设置为40°，在放置晶圆5时，能够减小第二支撑槽8与晶圆5的接触面积，降低支撑结构对于晶圆5本身的刮伤风险，同时，由于梯形槽的敞口形式，能够更方便的将晶圆5插入，提高放置过程的便利性。另外，梯形槽的内底面宽度大于晶圆5的厚度，在利用第二放置部9支撑时，晶圆5会在重力作用下下滑落入梯形槽的底部，可以避免对于晶圆5边缘的损伤。

第二放置部9的宽度小于第一放置部4的宽度，第二放置部9与第一放置部4可以组成T型结构，利用T型结构的端面形成放置面，通过将放置面放置在工作面上，实现对治具的支撑，还可以减少材料的使用，提高镂空空间的大小，利于保护胶的挥发干燥。第二放置部9具有便于夹持的镂空区10，便于对治具进行夹持，以改变第一放置部4和第二放置部9的利用状态，便于晶圆5的顺利取出。

烘烤卡塞治具可以采用PEEK材料，PEEK材料可以耐高温，在治具使用过程中不会变形。

本实用新型中应用了具体个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处。综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种烘烤卡塞治具，其特征在于：包括第一放置部以及呈品字形结构分布连接在所述第一放置部上的第一支撑部、第二支撑部和第三支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部位于所述品字形结构的底部，所述第三支撑部位于所述品字形结构的顶部，所述第一支撑部与所述第二支撑部之间形成进出晶圆的通道，所述第一支撑部和所述第二支撑部相对的一面分别设置有第一支撑槽，所述第三支撑部朝向所述通道的方向设置有第二支撑槽，两所述第一支撑槽和一所述第二支撑槽形成对晶圆的三点支撑，所述三点支撑所在平面平行于所述第一放置部的放置面。

2.根据权利要求1所述的烘烤卡塞治具，其特征在于：包括T型连接件，所述T型连接件连接在所述第一支撑部、所述第二支撑部和所述第三支撑部远离所述第一放置部的一端，所述第一支撑部、所述第二支撑部和所述第三支撑部分别连接所述T型连接件的三个顶点。

3.根据权利要求2所述的烘烤卡塞治具，其特征在于：所述第一放置部采用矩形板，所述T型连接件采用T型板，所述T型板平行于所述矩形板。

4.根据权利要求3所述的烘烤卡塞治具，其特征在于：所述第一支撑部、所述第二支撑部和所述T型连接件形成口字型结构，所述口字型结构与所述第三支撑部之间具有间隔。

5.根据权利要求1所述的烘烤卡塞治具，其特征在于：所述第一支撑槽在所述第一支撑部和所述第二支撑部上设置有多个，所述第二支撑槽在所述第三支撑部上设置有多个，形成多个相互平行的所述三点支撑。

6.根据权利要求1所述的烘烤卡塞治具，其特征在于：所述第一支撑槽采用V型槽，所述V型槽的角度设置为45°～60°。

7.根据权利要求1-6任一项所述的烘烤卡塞治具，其特征在于：包括第二放置部，所述第二放置部垂直连接在所述第一放置部上远离所述通道的一侧，所述第二放置部的放置面垂直于所述三点支撑所在平面。

8.根据权利要求7所述的烘烤卡塞治具，其特征在于：所述第二支撑槽采用梯形槽，所述梯形槽的两侧壁之间的夹角为40°～45°，所述梯形槽的内底面宽度大于晶圆的厚度。

9.根据权利要求8所述的烘烤卡塞治具，其特征在于：所述第二放置部的宽度小于所述第一放置部的宽度，所述第二放置部与所述第一放置部组成T型结构，所述第二放置部具有便于夹持的镂空区。

10.根据权利要求1所述的烘烤卡塞治具，其特征在于：烘烤卡塞治具采用耐高温的PEEK材料。