CN211265431U - 一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板，包括石墨载板本体、分隔杆、搭载孔和承载板，本实用新型使用石墨载板时，通过将硅片放置在搭载孔中，因硅片的规格不同，选择合适的承载板一、承载板二或承载板三进行放置硅片，硅片放置在承载板一上时，对于方形的硅片，将硅片的拐角处插入承载板二一侧的卡接槽上，对硅片进行固定，若将硅片放在承载板二上，位于其上端的硅片一端与承载板三一侧的卡接槽连接，承载板三上也可以放置硅片，位于承载板一、承载板二和承载板三上端的硅片的规格不同，提高承载板的使用次数，为石墨载板搭载不同规格的硅片提供方便。

Description

一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板

技术领域

本实用新型涉及石墨载板技术领域，具体为一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板。

背景技术

石墨载板一般用于搭载硅片，然后通过移动载板来移动硅片，从而进行镀膜加工，但现有的硅片规格各有不同，载板的承载位置一般为固定的，不利于搭载不同规格的硅片，给人们带来不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板，包括石墨载板本体、分隔杆、搭载孔和承载板，所述石墨载板本体为方形框结构，石墨载板本体内部安装有若干相互垂直的分隔杆，若干分隔杆将石墨载板本体内部分成若干大小相同的方形搭载孔，搭载孔拐角处分别安装有承载板，所述承载板包括呈阶梯式排列的承载板一、承载板二和承载板三，承载板一、承载板二和承载板三均为直角三角形板，且承载板一、承载板二和承载板三的直角处位于同一竖直线上，承载板一、承载板二和承载板三的直角边分别与搭载孔连接，承载板二和承载板三斜边的中心处设置有卡接槽。

优选的，所述卡接槽为L字形，且卡接槽两端的长度相同

优选的，承载板一、承载板二和承载板三的厚度均相同，承载板一、承载板二和承载板三直角边的长度依次减小，承载板一和承载板二直角边之差与承载板三和承载板二直角边之差相同。

优选的，所述分隔杆内部镶嵌有加强筋。

优选的，若干垂直设置的分隔杆为一体成型结构，分隔杆两端与石墨载板本体的内壁为一体成型结构。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：使用石墨载板时，通过将硅片放置在搭载孔中，因硅片的规格不同，选择合适的承载板一、承载板二或承载板三进行放置硅片，硅片放置在承载板一上时，对于方形的硅片，将硅片的拐角处插入承载板二一侧的卡接槽上，对硅片进行固定，若将硅片放在承载板二上，位于其上端的硅片一端与承载板三一侧的卡接槽连接，承载板三上也可以放置硅片，位于承载板一、承载板二和承载板三上端的硅片的规格不同，提高承载板的使用次数，为石墨载板搭载不同规格的硅片提供方便。

附图说明

图1为本实用新型整体的结构示意图；

图2为本实用新型搭载孔的结构剖面图。

图中：1、石墨载板本体；2、分隔杆；3、搭载孔；4、承载板；41、承载板一；42、承载板二；43、承载板三；44、卡接槽；5、加强筋。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-2，本实用新型提供一种技术方案：一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板，包括石墨载板本体1、分隔杆2、搭载孔3和承载板4，所述石墨载板本体1为方形框结构，石墨载板本体1内部安装有若干相互垂直的分隔杆2，若干分隔杆2将石墨载板本体1内部分成若干大小相同的方形搭载孔3，搭载孔3拐角处分别安装有承载板4，所述承载板4包括呈阶梯式排列的承载板一41、承载板二42和承载板三43，承载板一41、承载板二42和承载板三43均为直角三角形板，且承载板一41、承载板二42和承载板三43的直角处位于同一竖直线上，承载板一41、承载板二42和承载板三43的直角边分别与搭载孔3连接，承载板二42和承载板三43斜边的中心处设置有卡接槽44。

进一步的，所述卡接槽44为L字形，且卡接槽44两端的长度相同

进一步的，承载板一41、承载板二42和承载板三43的厚度均相同，承载板一41、承载板二42和承载板三43直角边的长度依次减小，承载板一41 和承载板二42直角边之差与承载板三43和承载板二42直角边之差相同。

进一步的，所述分隔杆2内部镶嵌有加强筋5。

进一步的，若干垂直设置的分隔杆2为一体成型结构，分隔杆2两端与石墨载板本体1的内壁为一体成型结构。

工作原理：使用石墨载板时，通过将硅片放置在搭载孔3中，因硅片的规格不同，选择合适的承载板一41、承载板二42或承载板三43进行放置硅片，硅片放置在承载板一41上时，对于方形的硅片，将硅片的拐角处插入承载板二42一侧的卡接槽44上，对硅片进行固定，若将硅片放在承载板二42 上，位于其上端的硅片一端与承载板三43一侧的卡接槽44连接，承载板三 43上也可以放置硅片，位于承载板一41、承载板二42和承载板三43上端的硅片的规格不同，提高承载板4的使用次数，为石墨载板搭载不同规格的硅片提供方便，

承载板4位于搭载孔3的拐角处，因其为三角形结构，对搭载孔3的拐角处起到支撑的作用，在分隔杆2内部镶嵌有加强筋5，起到加固的作用。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板，其特征在于：包括石墨载板本体（1）、分隔杆（2）、搭载孔（3）和承载板（4），所述石墨载板本体（1）为方形框结构，石墨载板本体（1）内部安装有若干相互垂直的分隔杆（2），若干分隔杆（2）将石墨载板本体（1）内部分成若干大小相同的方形搭载孔（3），搭载孔（3）拐角处分别安装有承载板（4），所述承载板（4）包括呈阶梯式排列的承载板一（41）、承载板二（42）和承载板三（43），承载板一（41）、承载板二（42）和承载板三（43）均为直角三角形板，且承载板一（41）、承载板二（42）和承载板三（43）的直角处位于同一竖直线上，承载板一（41）、承载板二（42）和承载板三（43）的直角边分别与搭载孔（3）连接，承载板二（42）和承载板三（43）斜边的中心处设置有卡接槽（44）。

2.根据权利要求1所述的一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板，其特征在于：所述卡接槽（44）为L字形，且卡接槽（44）两端的长度相同。

3.根据权利要求1所述的一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板，其特征在于：承载板一（41）、承载板二（42）和承载板三（43）的厚度均相同，承载板一（41）、承载板二（42）和承载板三（43）直角边的长度依次减小，承载板一（41）和承载板二（42）直角边之差与承载板三（43）和承载板二（42）直角边之差相同。

4.根据权利要求1所述的一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板，其特征在于：所述分隔杆（2）内部镶嵌有加强筋（5）。

5.根据权利要求1所述的一种用于搭载不同尺寸硅片的石墨载板，其特征在于：若干垂直设置的分隔杆（2）为一体成型结构，分隔杆（2）两端与石墨载板本体（1）的内壁为一体成型结构。

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