CN205911293U - 一种石英舟 - Google Patents
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Abstract
本用新型涉及一种石英舟，其包括两块石英板和固设在所述两块石英板之间的至少三根槽棒，每一所述槽棒上间隔设置有若干用于放置硅片的卡槽，所述两块石英板的外端面上分别设置有供机械手抓取搬运的端面柱，其中一块所述石英板的外端面还设置有供插片机定位的基准孔。这样能够便于机械手将石英舟从扩散炉中搬运到插片机上以及便于插片机对石英舟进行定位并装卸硅片。与现有石英舟相比，本实用新型的石英舟适用自动化加工，大大提高生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及石英制品技术领域，具体涉及一种石英舟。
背景技术
石英舟是晶硅太阳能电池扩散工序中用于承载硅片，将硅片置于扩散炉中反应的载具，具有耐高温和化学稳定性。
传统的硅片，在加工过程中，需要人工将载有硅片的石英舟从扩散炉中搬到插片机上进行装卸片或者需要人工插片，自动化程度低；另外，现有的石英舟装片间距较大(例如间距为4.76mm)，在相同工艺条件下的产能并不高，生产效率低。随着硅片自动化加工程度越来越高，因此，需要一种适应自动化加工、生产效率高的石英舟。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题在于，提供一种适用自动化加工、生产效率高的石英舟。
本实用新型是这样实现的，提供一种石英舟，其包括两块石英板和固设在所述两块石英板之间的至少三根槽棒，每一所述槽棒上间隔设置有若干用于放置硅片的卡槽，所述两块石英板的外端面上分别设置有供机械手抓取搬运的端面柱，其中一块所述石英板的外端面还设置有供插片机定位的基准孔。
进一步地，每一所述槽棒上的卡槽均匀间隔设置，相邻两个卡槽之间的间距为2mm-2.5mm。
进一步地，所述槽棒有四根，四根所述槽棒相互平行并垂直于所述石英板的内端面，四根所述槽棒在所述石英板上呈倒等腰梯形分布。
进一步地，四根所述槽棒包括两根位于等腰梯形长底边上的第一槽棒和两根位于等腰梯形短底边上的第二槽棒，所述两根第一槽棒分别开设槽口相对、槽宽相同的第一卡槽，所述两根第二槽棒分别开设槽口相对、槽宽相同的的第二卡槽。
进一步地，所述第一卡槽的槽宽小于所述第二卡槽的槽宽。
进一步地，所述第一槽棒与所述第二槽棒之间以及第二槽棒与第二槽棒之间还设置有加强筋。
进一步地，四个所述槽棒上用于放置同一个硅片的四个卡槽形成一个卡槽组，所述四个卡槽的中心面位于同一个安装平面上。
进一步地，所述安装平面与所述石英板的内端面呈3度夹角。
进一步地，所述槽棒为三根，所述三根槽棒在所述石英板上呈倒等腰三角形，其中一根槽棒位于三角形的顶部，其上卡槽的截面呈“V”字型。
进一步地，所述石英板的底部支撑处设置为平面。
本实用新型的石英舟，其两块石英板的外端面上分别设置有便于机械手抓取搬运的端面柱，其中一块石英板的外端面还设置有便于插片机定位的基准孔。这样能够便于机械手将石英舟从扩散炉中搬运到插片机上以及便于插片机对石英舟进行定位并装卸硅片。与现有石英舟相比，本实用新型的石英舟适用自动化加工，大大提高生产效率。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本实用新型作进一步说明，附图中。
图1是本实用新型的石英舟的立体示意图。
图2是图1中石英舟的俯视示意图。
图3是图2中A-A方向的剖视示意图。
图4是图2中B-B方向的剖视示意图。
具体实施方式
现结合附图，对本实用新型的较佳实施例作详细说明。
如图1和2所示，本实用新型的一种石英舟，其包括两块石英板10和固设在两块石英板10之间的至少三根槽棒20。每一槽棒20上间隔设置有若干用于放置硅片1的卡槽21，两块石英板10的外端面上分别设置有供机械手抓取搬运的端面柱11，其中一块石英板10的外端面还设置有供插片机定位的基准孔12。这样能够便于机械手将石英舟从扩散炉中搬运到插片机上以及便于插片机对石英舟进行定位并装卸硅片1。与现有石英舟相比，本实用新型的石英舟适用自动化加工，大大提高生产效率。
具体地，每一槽棒20上的卡槽21均匀间隔设置，相邻两个卡槽21之间的间距为2mm-2.5mm，优选为2.5mm。该间距比一般石英舟的间距(例如4.76mm)要小的多，因此，能够装载更多的硅片1，大大提高生产效率。在本实施例中，卡槽21设置有五百个，每个卡槽21中能装两块硅片1，一共可装载一千块硅片1。当然，卡槽21的间距还可以设置为其它大小，例如2.38mm、2mm等。
由于石英舟装载的硅片1比较多，为确保槽棒20能够承受较大重量，选择槽棒20为四根。四根槽棒20相互平行并垂直于石英板10的内端面。具体地，四根槽棒20上用于放置同一个硅片1的四个卡槽21形成一个卡槽组，四个卡槽21的中心面位于同一个安装平面2上，确保硅片1能够顺利的插入卡槽组中，否则硅片1不能顺利插入，使硅片1破碎或磨损。在本实施例中，安装平面2与石英板10的内端面呈3度夹角，这样是为了插片机可以进行正常的插取硅片1。如果不倾斜硅片1在石英舟的卡槽组中就会左右摇摆，这样会导致硅片1损伤并且无法插片。
如图3所示，四根槽棒20在石英板10上呈倒等腰梯形分布，四根槽棒20包括两根位于等腰梯形长底边上的第一槽棒20a和两根位于等腰梯形短底边上的第二槽棒20b。两根第一槽棒20a分别开设槽口相对、槽宽相同的的第一卡槽21a，两根第二槽棒20b分别开设槽口相对、槽宽相同的的第二卡槽21b。这种结构能够适应不同尺寸的硅片1的放置，例如能够放置边长为125mm或156mm的正方形硅片1。在第一槽棒20a与所述第二槽棒20b之间以及第二槽棒20b与第二槽棒20b之间固设加强筋22，这样可以加强槽棒20的承受能力。
进一步如图4所示，第一卡槽21a的槽宽小于第二卡槽21b的槽宽，这样能够避免由于卡槽21的加工误差，使得第一卡槽21a与第二卡槽21b不在同一个安装平面2上,造成的硅片1磨损的问题。同时能够更好的保证每块硅片1所倾斜的角度一致，达到硅片1间距均匀的效果。例如，第一卡槽21a的槽宽为0.8mm，第二卡槽的槽宽为1mm。石英板10的底部舟脚处13设置为平面，当石英舟放置在平台上时，石英舟舟脚13与平台之间通过平面接触。这样能够避免石英舟舟脚13断裂损坏。
另外，在石英舟装载硅片1不多的情况下，槽棒20可以为三根。三根槽棒20在石英板10上呈倒等腰三角形，其中一根槽棒20位于三角形的顶部，其上卡槽21截面呈“V”字型。
应当理解的是，以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制，对本领域技术人员来说，可以对上述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而所有这些修改和替换，都应属于本实用新型所附权利要求的保护范围。
Claims (10)
1.一种石英舟，其包括两块石英板和固设在所述两块石英板之间的至少三根槽棒，每一所述槽棒上间隔设置有若干用于放置硅片的卡槽，其特征在于，所述两块石英板的外端面上分别设置有供机械手抓取搬运的端面柱，其中一块所述石英板的外端面还设置有供插片机定位的基准孔。
2.根据权利要求1所述的石英舟，其特征在于，每一所述槽棒上的卡槽均匀间隔设置，相邻两个卡槽之间的间距为2mm-2.5mm。
3.根据权利要求1或2所述的石英舟，其特征在于，所述槽棒有四根，四根所述槽棒相互平行并垂直于所述石英板的内端面，四根所述槽棒在所述石英板上呈倒等腰梯形分布。
4.根据权利要求3所述的石英舟，其特征在于，四根所述槽棒包括两根位于等腰梯形长底边上的第一槽棒和两根位于等腰梯形短底边上的第二槽棒，所述两根第一槽棒分别开设槽口相对、槽宽相同的第一卡槽，所述两根第二槽棒分别开设槽口相对、槽宽相同的第二卡槽。
5.根据权利要求4所述的石英舟，其特征在于，所述第一卡槽的槽宽小于所述第二卡槽的槽宽。
6.根据权利要求4所述的石英舟，其特征在于，所述第一槽棒与所述第二槽棒之间以及第二槽棒与第二槽棒之间还设置有加强筋。
7.根据权利要求3所述的石英舟，其特征在于，四个所述槽棒上用于放置同一个硅片的四个卡槽形成一个卡槽组，所述四个卡槽的中心面位于同一个安装平面上。
8.根据权利要求7所述的石英舟，其特征在于，所述安装平面与所述石英板的内端面呈3度夹角。
9.根据权利要求1或2所述的石英舟，其特征在于，所述槽棒为三根，所述三根槽棒在所述石英板上呈倒等腰三角形，其中一根槽棒位于三角形的顶部，其上卡槽的截面呈“V”字型。
10.根据权利要求1或2所述的石英舟，其特征在于，所述石英板的底部支撑处设置为平面。
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|---|---|---|---|
| CN201620769277.5U CN205911293U (zh) | 2016-07-19 | 2016-07-19 | 一种石英舟 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201620769277.5U CN205911293U (zh) | 2016-07-19 | 2016-07-19 | 一种石英舟 |
Publications (1)
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| CN205911293U true CN205911293U (zh) | 2017-01-25 |
Family
ID=57805754
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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| CN (1) | CN205911293U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110014333A (zh) * | 2019-05-16 | 2019-07-16 | 江西宇瀚智慧装备科技有限公司 | 一种自动流体扫光机 |
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2016
- 2016-07-19 CN CN201620769277.5U patent/CN205911293U/zh active Active
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