CN220233125U - 整理装置及处理设备 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种整理装置，包括承载件及整理组件，承载件用于承载基片；整理组件包括安装板及设置于所述安装板的定位齿条、第一驱动件和定位板。采用上述的整理装置，先承载有基片的承载件承载于安装板上，花篮中的基片承载于定位齿条上，然后第一驱动件推动承载件朝定位板移动并抵接于定位板，实现对承载件定位。同时也使得承载件和定位齿条配合对承载件中的基片进行定位，使得所有的基片相互平行，有效地避免基片的方向不一致，避免产生错齿导致顶齿划伤基片甚至顶碎基片。本申请还涉及一种处理设备。

Description

整理装置及处理设备

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，特别是涉及一种整理装置及处理设备。

背景技术

现有的电池片通过干花篮上料的过程中，由于花篮中没有底齿，电池片的方向不一致，从而产生错齿，进而使得顶齿在顶升电池片的过程中容易顶到电池片表面，导致电池片表面划伤甚至顶碎电池片。

实用新型内容

基于此，有必要针对现有的花篮中的电池容易发生错齿导致顶齿顶到电池片表面的问题，提供一种避免电池片发生错齿，从而避免顶齿划伤或顶碎电池片的整理装置及处理设备。

一种整理装置，包括：

承载件，用于承载基片；

整理组件，包括安装板及设置于所述安装板的定位齿条、第一驱动件和定位板，所述安装板用于承载所述承载件，所述定位齿条沿第一方向延伸，用于承载所述承载件中的基片，所述第一驱动件和所述定位板沿所述第一方向间隔排布，且所述第一驱动件能够推动所述安装板上的所述承载件沿所述第一方向朝所述定位板移动，以使所述承载件抵接于所述定位板。

采用上述的整理装置，先承载有基片的承载件承载于安装板上，花篮中的基片承载于定位齿条上，然后第一驱动件推动承载件朝定位板移动并抵接于定位板，实现对承载件定位。同时也使得承载件和定位齿条配合对承载件中的基片进行定位，使得所有的基片相互平行，有效地避免基片的方向不一致，避免产生错齿导致顶齿划伤基片甚至顶碎基片。

在其中一个实施例中，所述整理装置还包括旋转输送机构，所述旋转输送机构与所述承载件可拆卸地连接，用于驱动所述承载件绕转动轴线转动，以对所述承载件中的基片进行预整理，所述旋转输送机构还能够将所述承载件输送至所述安装板。

在其中一个实施例中，所述整理组件还包括第二驱动件，所述第二驱动件设置于所述安装板，且所述第一驱动件和所述第二驱动件沿所述第一方向间隔排布，所述第二驱动件能够推动所述承载件沿所述第一方向朝所述第一驱动件移动。

在其中一个实施例中，所述第一驱动件和所述第二驱动件均为气缸。

在其中一个实施例中，所述定位齿条的承载高度比所述安装板上所述承载件的承载高度至少高5mm。

在其中一个实施例中，所述安装板设有所述定位齿条的一侧还开设有避位孔，所述避位孔贯穿所述承载件，且沿所述第一方向延伸。

在其中一个实施例中，所述安装板开设有两个所述避位孔，两个所述避位孔位于所述定位齿条的两侧。

在其中一个实施例中，所述承载件包括两块端板、两块侧板及支撑杆，两块所述端板及两块所述侧板交替首尾相连，且两块所述端板相互平行，两块所述侧板相互平行，以围合形成容纳基片的承载空间，所述支撑杆连接于两块所述端板之间，用于支撑所述承载空间中的基片。

在其中一个实施例中，两块所述侧板相向的一侧均开设有导向齿。

一种处理设备，包括输送装置及上述的整理装置，所述输送装置用于输送所述整理装置。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例提供的承载件与整理组件的结构示意图；

图2为图1所示的承载件和整理组件的俯视结构示意图；

图3为图1中A处结构放大示意图。

具体实施方式

为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本申请。但是本申请能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本申请内涵的情况下做类似改进，因此本申请不受下面公开的具体实施例的限制。

在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本申请的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

如图1及图2所示，本申请一实施例提供的整理装置100，包括承载件10及整理组件20。承载件10用于承载基片200，整理组件20包括安装板21及设置于安装板21上的定位齿条22、第一驱动件23及定位板24。

安装板用于对承载件10进行承载，定位齿条22沿第一方向延伸，且定位齿条22用于对承载件10中的基片200进行承载，第一驱动件23和定位板24沿第一方向间隔排布，且第一驱动件23能够推动安装板上的承载件10沿第一方向朝定位板24移动，以使承载件10抵接于定位板24。

需要说明的是，本实施例中，承载件10为花篮，基片200为电池片，第一方向为图1中的左右方向，即承载件10的长度方向。

此外，转动轴线沿花篮的宽度方向延伸，即图1中垂直纸面的方向，且旋转角度为30°。如此，在旋转输送机构驱动花篮转动后，花篮会出现一端高一端低的情况，而花篮中的基片200是沿的花篮的长度方向依次排布的，故基片200会在重力的作用下层叠，从而实现对基片200的预整理。

采用上述的整理装置，先承载有基片200的承载件10承载于安装板上，花篮中的基片200承载于定位齿条22上，然后第一驱动件23推动承载件10朝定位板24移动并抵接于定位板24，实现对承载件10定位。同时也使得承载件10和定位齿条22配合对承载件10中的基片200进行定位，使得所有的基片200相互平行，有效地避免基片200的方向不一致，避免产生错齿导致顶齿划伤基片200甚至顶碎基片200。

需要解释的是，如图3所示，定位齿条22上相邻的两个定位齿围合形成V形的齿槽221，承载有基片200的承载件10放置于安装板上时，基片200在承载于定位齿条22上，基片200的底部可能未抵接于齿槽221的底部，例如图3中抵接于齿槽221的中部，此时通过第一驱动件23沿承载件10长度方向推动承载件10移动至抵接于定位板24，可对承载件10进行定位，从而将基片200的底部晃动至齿槽221的底部，或者将倾斜的基片200摆正，从而完成对基片200的整理。

当然，结合上述解释可知，承载件10定位前基片200已插入定位齿条22的齿槽221内，故第一驱动件23推动承载件10移动的距离较小。

此外，可以理解的是，图1和图2为示意图，以便于理解本申请的技术方案，并非限定整理装置和基片200的相对尺寸。

在一些实施例中，整理装置还包括旋转输送机构，旋转输送机构与承载件10可拆卸地连接，用于驱动承载件10绕转动轴线转动，以对承载件10中的基片200进行预整理，且旋转输送机构还能够将承载件10输送至安装板。

需要说明的是，旋转输送机构可以是机器人或者是其他的机构。

采用上述的整理装置，先将旋转输送机构与承载件10连接，然后将承载件10绕转动轴线转动一定角度，以在重力的作用下对承载件10中的基片200进行预整理，接下来旋转输送机构将承载件10放置于安装板21后与承载件10分离，而后第一驱动件23推动承载件10移动并使得承载件10抵接于定位板24，完成对基片200的进一步整理，使得基片200相互平行。

此外，需要解释的是，承载件10中的多个基片200沿承载件10的长度方向依次排布，而将旋转输送机构将承载件10转动一定角度，使得基片200在重力的作用下进行预整理，将原本方向不一致的基片200之间的偏差减小。同时，由于旋转输送机构为机器人，具有一定的定位精度(本实施例中为±0.05mm)，且定位精度能够满足初步定位要求，故旋转输送机构将承载件10放置于安装板21上后，每一基片200能够插入对应的齿槽221内，从而方便后续第一驱动件23通过推动承载件10对基片200进行整理。

在一些实施例中，安装板21设有定位齿条22的一侧还开设有避位孔211，避位孔211贯穿承载件10，并且沿第一方向延伸，以在安装板21移动到顶升工位后，顶升工位的顶齿穿过避位孔211，然后顶升承载于定位齿条22上的基片200。

实际应用中，安装板21开设有两个避位孔211，且两个避位孔211位于定位齿条22的两侧，以同时供两排顶齿穿过并顶升基片200。

结合上述实施例可以理解的是，基片200承载于定位齿条22上后，在承载件10的宽度方向上，避位孔211位于基片200在安装板21上的正投影的范围内，以确保穿过避位孔211的顶齿能够抵接并顶升基片200。

在一些实施例中，定位齿条22的承载高度比安装板21上承载件10的承载高度至少高5mm，以使得承载件10放置于安装板21上之后，定位齿条22实现对基片200的承载。

需要解释的是，定位齿条22的承载高度，是指基片200放置于定位齿条22的齿槽221底部后基片200的高度，对应安装板21上承载件10的承载高度，是指承载件10放置于安装板21上，然后基片200放置于承载件10基片200此时的高度。

在一些实施例中，整理组件20还包括第二驱动件25，第二驱动件25设置于安装板，且第一驱动件23和第二驱动件25沿承载件10的长度方向间隔排布，第二驱动件25能够推动承载件10沿第一方向朝第一驱动件23移动。

需要说明的是，在对承载件10中的基片200进行取片时，需要使得基片200保持竖直，故先通过定位齿条22对基片200进行初步定位，然后通过第一驱动件23和定位板24配合对承载件10进行定位，实现对基片200进行进一步整理。

在将基片200放置于承载件10中时，为了方便放片，需要基片200倾斜摆放，故此时可以通过第二驱动件25推动承载件10朝第一驱动件23移动，使得放置于承载件10中的基片200倾斜排布，但基片200的底部仍插入定位齿条22的齿槽221内。

结合图1进行说明，需要承载件10朝右边移动时，第一驱动件23的驱动端抵接于承载件10的左端并推动承载件10即可，此时第二驱动件25的驱动端可以是抵接于承载件10的右端，并且第二驱动件25的驱动端与第一驱动件23的驱动端同步向右移动。当然，第二驱动件25的驱动端也可以是与承载件10分离。

同理，在需要承载件10朝左边移动时，第二驱动件25的驱动端抵接于承载件10的右端并推动承载件10即可。

此外，在需要固定承载件10时，第一驱动件23的驱动端和第二驱动件25的驱动端均朝承载件10移动并抵压于承载件10，以将承载件10夹持固定。

实际应用中，第一驱动件23和第二驱动件25均为气缸。相较于线轨，气缸的结构更加简单，且成本更低。并且气缸也能够实现推动承载件10以及固定承载件10的效果。

在一些实施例中，承载件10包括两块端板11、两块侧板12及支撑杆13，两块端板11和两块侧板12交替首尾相连，且两块端板11相互平行，两块侧板12相互平行，以围合形成容纳基片200的承载空间，支撑杆13连接于两块端板11之间，用于支撑承载空间中的基片200。

可以理解是，上述的转动轴线沿两块侧板12的排列方向延伸，承载件10的承载高度是指支撑杆13对基片200的承载高度，而第一驱动件23的驱动端和第二驱动件25的驱动端分别抵接于两块端板11。

另外需要说明的是，支撑杆13的表面光滑，因此承载于支撑杆13上的基片200会出现方向不一致的情况。

实际应用中，两块侧板12相向的一侧均开设有导向齿，以对基片200的插入进行导向并在基片200插入后进行定位。

可以理解的是，两块侧板12上的导向齿一一对应，而且承载件10放置于安装板21经过整理组件20的固定后，侧板12上的导向齿与定位齿条22上的定位齿一一对应，以通过基片200的三条边对基片200进行定位，避免基片200之间出现方向不一致的情况。

在一些实施例中，支撑杆13的数量为两根，且当承载件10放置于安装板21后，两根支撑杆13位于定位齿条22的两侧，且每一支撑杆13均位于定位齿条22与避位孔211之间。

本申请还提供一种处理设备，包括输送装置及上述的整理装置，输送装置用于输送整理装置。

如此，在旋转输送机构将承载件10放置于整理组件20后，整理组件20对承载件10中的基片200进行整理，然后第一驱动件23和第二驱动件25将承载件10固定，接下来输送装置将整理装置输送至下一工位。

为了便于理解本申请的技术方案，在此以承载件10为花篮为例，对上述实施例中的处理设备的工作流程进行说明：

在进行取片时，旋转输送机构先获取承载有基片200的花篮，然后将花篮转动30°，基片200在重力的作用下完成预整理，接下来旋转输送机构将花篮转回至水平，并且将花篮放置于安装板21上，放置好后旋转输送机构与花篮分离。

旋转输送机构与花篮分离之后，第一驱动件23推动花篮朝定位板24移动并使得花篮抵接于定位板24，完成对花篮的定位，并且使得基片200滑动至齿槽221的底部，完成对基片200的整理。

基片200整理完成后，基片200相互平行的排布在定位齿条22上，承载件10的位置保持不动，第一驱动件23的驱动端和第二驱动件25的驱动端抵压于承载件10的两端以将承载件10固定。接下来通过输送装置将整理装置输送至取片工位进行取片。

在进行放片时，输送装置将整理装置输送至放片工位，此时第一驱动件23和定位板24对花篮进行定位。接下来第二驱动件25推动花篮朝第一驱动件23移动1mm，从而方便放片，且使得承载于定位齿条22上的基片200倾斜设置。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本申请的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对申请专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。因此，本申请专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种整理装置，其特征在于，包括：

承载件，用于承载基片；

整理组件，包括安装板及设置于所述安装板的定位齿条、第一驱动件和定位板，所述安装板用于承载所述承载件，所述定位齿条沿第一方向延伸，用于承载所述承载件中的基片，所述第一驱动件和所述定位板沿所述第一方向间隔排布，且所述第一驱动件能够推动所述安装板上的所述承载件沿所述第一方向朝所述定位板移动，以使所述承载件抵接于所述定位板。

2.根据权利要求1所述的整理装置，其特征在于，所述整理装置还包括旋转输送机构，所述旋转输送机构与所述承载件可拆卸地连接，用于驱动所述承载件绕转动轴线转动，以对所述承载件中的基片进行预整理，所述旋转输送机构还能够将所述承载件输送至所述安装板。

3.根据权利要求1所述的整理装置，其特征在于，所述整理组件还包括第二驱动件，所述第二驱动件设置于所述安装板，且所述第一驱动件和所述第二驱动件沿所述第一方向间隔排布，所述第二驱动件能够推动所述承载件沿所述第一方向朝所述第一驱动件移动。

4.根据权利要求3所述的整理装置，其特征在于，所述第一驱动件和所述第二驱动件均为气缸。

5.根据权利要求1所述的整理装置，其特征在于，所述定位齿条的承载高度比所述安装板上所述承载件的承载高度至少高5mm。

6.根据权利要求1所述的整理装置，其特征在于，所述安装板设有所述定位齿条的一侧还开设有避位孔，所述避位孔贯穿所述承载件，且沿所述第一方向延伸。

7.根据权利要求6所述的整理装置，其特征在于，所述安装板开设有两个所述避位孔，两个所述避位孔位于所述定位齿条的两侧。

8.根据权利要求1-7任一项所述的整理装置，其特征在于，所述承载件包括两块端板、两块侧板及支撑杆，两块所述端板及两块所述侧板交替首尾相连，且两块所述端板相互平行，两块所述侧板相互平行，以围合形成容纳基片的承载空间，所述支撑杆连接于两块所述端板之间，用于支撑所述承载空间中的基片。

9.根据权利要求8所述的整理装置，其特征在于，两块所述侧板相向的一侧均开设有导向齿。

10.一种处理设备，其特征在于，包括输送装置及权利要求1-9任一项所述的整理装置，所述输送装置用于输送所述整理装置。