CN213242525U - 一种新型桨结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种新型桨结构，包括两个桨，桨可设置在舟托两侧；桨包括用于支撑舟托的固定部和用于连接控制桨的设备的稳固部；本实用新型提供了一种结构简单、设计合理、自身重量轻的一种新型桨结构。

Description

一种新型桨结构

技术领域

本实用新型涉及半导体或光伏材料加工领域，更具体的说，它涉及半导体或光伏材料加工设备中的一种新型桨结构。

背景技术

半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过加工处理才能够应用到产品上，常见的加工有工艺有PECVD、LPCVD、APCVD、磷扩散、硼扩散、氧化、退火等。目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、方舟、石墨舟、小舟或者花篮。

其中传统的设备中，桨一般都是在舟的下方，将舟送进炉管或从炉管中取出，桨占据了炉管内上下的空间，随着对产能不断提高的要求，要求单管产能提升，舟的载片量提升，传统的底部单桨载重量增大，形变量增大，需要增强桨自身强度(增大尺寸)，自重更大，且需要更大的空间。传统单桨载舟的方式，桨存在自身强度不够，形变量大易产生风险。

如图7，单桨为稳固方舟(舟托)，其做的相对较大，在宽度方面与石英舟托架的宽度几乎相当，因此单桨的自重相对会很重，影响其载重。

发明内容

本实用新型克服了现有技术的不足，提供了一种结构简单、设计合理、自身重量轻的一种新型桨结构。

本实用新型的技术方案如下：

一种新型桨结构，包括两个桨，桨可设置在舟托两侧；桨包括用于支撑舟托的固定部和用于连接控制桨的设备的稳固部。

进一步的，固定部的厚度小于稳固部，固定部和稳固部之间设置平滑的过度部；稳固部的一端设置固定结构。

进一步的，桨固定部设置一个或多个贯穿孔，贯穿孔的形状与桨固定部相适应；桨固定部的远离稳固部的一端上设置限位件。

进一步的，贯穿孔分布于固定部；限位件采用圆形凸台。

进一步的，桨采用非导电、耐高温、抗压材料。

进一步的，桨上设置限位件。

进一步的，舟托两侧设置把手，两个桨对称设置在舟托两侧。

进一步的，舟托上相应位置的把手上设置与桨相匹配的凹槽。

进一步的，舟托的把手设置在舟托侧板的两端，一端的把手底部设置切削的矩形凹槽或圆形凹槽，另一端的把手底部设置同样的凹槽，并在凹槽中间位置设置定位缺口。

进一步的，定位缺口与桨的过度部相匹配。

本实用新型的优点在于：

本方案新型桨结构的桨托结构相比于单桨，大大提高了整体空间的利用率，因为单桨会设置在舟托下方，在实际进行运输加工时，单桨将限制舟托在垂直方向上的摆放载体的空间限制，尤其在下部空间将无法被合理利用到。而本方案的桨结构设置在舟托两侧，充分利用了单桨时舟托两侧的空间，并且释放了舟托在垂直方向上的空间限制，能够摆放更多的载体。

两个桨固定舟托后，舟托的稳定性远高于单桨的作用。桨通过限位件和过度部稳固住舟托的两侧把手，避免了石英舟托架发生偏离的情况，并且使加工空间得到了更好的提升。

本方案结构简单、设计合理；桨上设置限位件，限位件来限制舟托的移动，完成对舟托的稳固。桨包括固定舟托的固定部和连接其控制设备的稳固部，固定部的厚度小于稳固部，固定部和稳固部之间设置平滑的过度部。桨固定部设置一个或多个贯穿孔，贯穿孔的形状与桨固定部相适应，贯穿孔分布于固定部。新型桨结构在保证桨载重范围内的强度情况下，尽可能的减少了自重。贯穿孔不仅减少自重，还将减少在石英炉管内对扩散气体的阻碍。新型桨结构在其载重范围内的强度，其自重已尽可能的最小。桨采用非导电、耐高温、抗压材料，一般选择为石英或碳化硅材料，以此尽可能的降低自身重量，提高其载重限制，扩大产能。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构图；

图2为本实用新型图1中AF的局部放大图；

图3为本实用新型图1中AG的局部放大图。

图4为本实用新型的舟托整体结构图；

图5为本实用新型图4中AF的局部放大图；

图6为本实用新型图4中AG的局部放大图；

图7为单桨的舟托结构图。

图中标识：桨1、固定部2、稳固部3、过度部4、限位件5、贯穿孔6、舟托7、把手8、凹槽9、定位缺口10。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型进一步说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1至图6所示，一种新型桨结构，包括两个桨1，桨1可设置在舟托7两侧上，桨1包括用于支撑舟托7的固定部2和用于连接控制桨的设备的稳固部3。桨7通过限位件5和过度部4稳定支撑住舟托7的两侧把手8，避免了石英舟托架发生偏离的情况，并且使加工空间得到了更好的提升；如在多个舟托7上下排列进行加工时，在摆放相同量载体时，占用的体积将缩小，因为此时桨1本身占用的空间也被用来放置载体。一般的桨1都是在舟托7的下方，将舟托7送进炉管或从炉管中取出，桨1占据了炉管内上下的空间，随着对产能不断提高的要求，要求单管产能提升，舟托7的载片量必然需要提升，而一般设置在舟托7底部的单桨，因为载重量的增大，形变量也随之增大，需要增强单桨自身强度(增大尺寸)，自重更大，从而需要更大的空间，难以真正有效的提高产能。

桨1上设置限位件5，限位件5来限制舟托7的移动，完成对舟托7的稳固。限位件5可采用圆形凸台，也可以采用其它类似具有限位的结构。

桨1的一端设置固定结构，固定结构可采用在桨1连接控制设备的一端设置连接孔，以方便稳固桨1。具体的，桨1包括固定舟托7的固定部2和连接其控制设备的稳固部3，固定部2的厚度小于稳固部3，固定部2和稳固部3之间设置平滑的过度部4。过度部4一般采用渐变线性变化，也可以是其它变化过程，只要能与舟托7的把手8上的凹槽9匹配即可。桨1固定部2设置一个或多个贯穿孔6，贯穿孔6的形状与桨1固定部2相适应(如：桨1为长条形，贯穿孔6也采用长条形的孔)，贯穿孔6分布于固定部2。桨1结构在保证桨1载重范围内的强度情况下，尽可能的减少了自重。贯穿孔6不仅减少自重，还将减少在石英炉管内对扩散气体的阻碍。

桨1采用耐高温、抗压材料，较佳材料选择为石英或碳化硅材料，以此尽可能的降低自身重量，提高其载重限制，扩大产能。

舟托7两侧设置把手8，两个桨1对称设置在舟托7两侧。新型桨1结构相比于传统的单桨1，其固定舟托7后，舟托7的稳定性远高于单桨1的作用。新型桨1结构在其载重范围内的强度，其自重已尽可能的最小。

舟托7的把手8设置在舟托7侧板的两端，一端的把手8底部设置切削的矩形凹槽9或圆形凹槽9，另一端的把手8底部设置同样的凹槽9，并在凹槽9中间位置设置定位缺口10。凹槽9的设置便于舟托7与桨1的配合。

舟托7的一端的把手8设置在桨1的限位件5处，另一端的把手8设置在桨1的过度部4。如图1、图4所示，对应的图中AF、AG位置，桨1与舟托7配合。桨1通过限位件5和过度部4稳固住舟托7的两侧把手8，避免了石英舟托7架发生偏离的情况。具体的，如图4中舟托7的AG处把手放置在桨1的限位件5靠近稳固部3的一侧；舟托7的AF处把手放置在桨1的过度部4处，或放置在桨1的固定部2靠近过度部4的一端。过度部4也形成了限制舟托7移动的结构。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型保护范围内。

Claims (8)

1.一种新型桨结构,其特征在于:包括两个桨,桨可设置在舟托两侧;桨包括用于支撑舟托的固定部和用于连接控制桨的设备的稳固部；固定部的厚度小于稳周部,固定部和稳周部之间设置平滑的过度部；稳固部的一端设置固定结构；桨固定部设置一个或多个贯穿孔,贯穿孔的形状与奖固定部相适应；桨固定部的远离稳固部的一端上设置限位件。

2.根据权利要求1所述的一种新型桨结构,其特征在于:贯穿孔分布于固定部；限位件采用圆形凸台。

3.根据权利要求1所述的一种新型桨结构,其特征在于:桨采用、耐高温、抗压材料。

4.根据权利要求1所述的一种新型桨结构,其特征在于:桨上设置限位件。

5.根据权利要求1所述的一种新型桨结构,其特征任于:舟托两侧设置把手,两个桨对称设置在舟托两侧。

6.根据权利要求5所述的一种新型桨结构,其特征在于：舟托上相应位置的把手上设置与桨相匹配的凹槽。

7.根据权利要求5所述的一种新型桨结构, 其特征在于:舟托的把手设置在舟托侧板的两端,一端的把手底部设置切削的矩形凹槽或圆形凹槽,另端的把手底部设置同样的凹槽,并在凹槽中间位置设置定位缺口。

8.根据权利要求7所述的一种新型桨结构,其特征在于:定位缺口与桨的过度部相匹配。

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