CN205789905U - 一种扩散炉石英舟结构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种扩散炉石英舟结构，包括石英舟舟托、固定在石英舟舟托上的舟架，固定在舟架上的至少四根横杆，所述横杆沿扩散炉的石英管的轴线方向开设有用于放置硅片的卡槽，各横杆上的卡槽间距及距离一致。本实用新型结构简单，成本较低，可以有效提高硅片工艺的生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片工艺设备领域，尤其涉及一种扩散炉石英舟结构。
背景技术
在光伏行业，高温扩散炉主要用于对单晶硅片、多晶硅片进行掺杂，形成PN结。随着光伏行业的发展，人们一直在追求产能的提升。其中，石英舟是硅片在工艺时的载体。
现有的石英舟的结构，使硅片放置在石英舟上后，与炉体石英管的轴线垂直且与水平成87°的角，这样排列的硅片，要增加硅片的数量，只能把石英舟进行加长，这样就会导致炉体的恒温区过长，从而温度控制的难度加大。
因此如何提供一种石英舟结构，使炉体恒温区长度不变或者稍微加长的情况下，可以放置更多的硅片，提高生产效率，是业界亟待解决的技术问题。
发明内容
本实用新型为了解决现有的问题，提供一种扩散炉石英舟结构，包括石英舟舟托、固定在石英舟舟托上的舟架，固定在舟架上的至少四根横杆，所述横杆沿扩散炉的石英管的轴线方向开设有用于放置硅片的卡槽，各横杆上的卡槽间距及距离一致。
在一实施例中，所述横杆设有四根，其中第一、第二根横杆固定在舟架底部，第三、第四根横杆分别固定在第一、第二根横杆两侧的舟架侧边。
在上述实施例中，卡槽有两种方式，一种是卡槽与横杆的轴向方向垂直，使硅片与水平面呈90度角度。另一种是卡槽与横杆的轴向方向呈87度，使硅片与水平面呈87度角度。
本实用新型结构简单，石英舟的改造成本较低，通过使硅片与轴线方向平行，可以放置更多的硅片，有效提高生产效率，基本上不改变炉体恒温区的长度。
附图说明
图1是本实用新型的剖视图；
图2是图1的A-A剖面图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型进一步进行说明。
图1至图2示出了本实用新型的一优选实施例提出的扩散炉石英舟结构，具体包括石英舟舟托1，固定在石英舟舟托1上的舟架2，固定在舟架2上的四根横杆3，其中第一、第二根横杆固定在舟架底部，第三、第四根横杆分别固定在第一、第二根横杆两侧的舟架2侧边，横杆3沿扩散炉的石英管的轴线方向开设有卡槽，各横杆3上的卡槽间距及距离一致，硅片4可以等间距地放置在各卡槽中，与石英管5的轴线平行，这样的石英舟结构最少可以放置1600片硅片。
除了上述实施例以外，横杆的数量可以根据具体需要进行变化。
在上述实施例的基础上，本实用新型的卡槽有两种方式，一种是卡槽与横杆的轴向方向垂直，使硅片与水平面呈90度角度，还有一种是卡槽与横杆的轴向方向呈87度角，使硅片与水平面呈87度角度。
通过本实用新型的改进，可以使石英管内的石英舟上放置更多的硅片，且基本不增加生产成本，有效地提高了生产效率。
以上的具体实施例仅用以举例说明本实用新型的构思，本领域的普通技术人员在本实用新型的构思下可以做出多种变形和变化，这些变形和变化均包括在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种扩散炉石英舟结构，包括石英舟舟托、固定在石英舟舟托上的舟架，固定在舟架上的至少四根横杆，其特征在于，所述横杆沿扩散炉的石英管的轴线方向开设有用于放置硅片的卡槽，各横杆上的卡槽间距及距离一致。
2.如权利要求1所述的扩散炉石英舟结构，其特征在于，所述横杆设有四根，其中第一、第二根横杆固定在舟架底部，第三、第四根横杆分别固定在第一、第二根横杆两侧的舟架侧边。
3.如权利要求2所述的扩散炉石英舟结构，其特征在于，所述卡槽与横杆的轴向方向垂直，使硅片与水平面呈90度角度。
4.如权利要求2所述的扩散炉石英舟结构，其特征在于，所述卡槽与横杆的轴向方向呈87度角，使硅片与水平面呈87度角度。
Priority Applications (1)
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| CN201620558298.2U CN205789905U (zh) | 2016-06-12 | 2016-06-12 | 一种扩散炉石英舟结构 |
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Publications (1)
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| CN201620558298.2U Active CN205789905U (zh) | 2016-06-12 | 2016-06-12 | 一种扩散炉石英舟结构 |
Country Status (1)
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| CN (1) | CN205789905U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112391615A (zh) * | 2019-10-23 | 2021-02-23 | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 | 一种基于双桨的小舟运输结构 |
-
2016
- 2016-06-12 CN CN201620558298.2U patent/CN205789905U/zh active Active
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN112391615A (zh) * | 2019-10-23 | 2021-02-23 | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 | 一种基于双桨的小舟运输结构 |
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