CN205944052U - 一种石英舟 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及石英制品技术领域，具体为一种石英舟，包括一对支座和支杆，所述支杆上设有卡槽，所述支杆包括第一支杆、第二支杆、第三支杆和第四支杆，所述第一支杆设置在所述支座的上部，所述第三支杆设置在所述支座的下部，所述第四支杆设置在所述第三支杆的侧上方；所述第一支杆和第三支杆的连线，与所述第三支杆和所述第四支杆的连线形成90°的夹角；所述第二支杆设置在所述第一支杆与所述第三支杆的连线之间，且所述第二支杆相对所述支座移动。本实用新型改变可硅片的固定方式，只需卡住硅片相邻的两条边即可进行固定，该固定方式简单、效果好，而且设置了可移动的第二支杆，能够满足不同规格的硅片的放置。
Description
技术领域
本实用新型涉及石英制品技术领域，具体为一种石英舟。
背景技术
石英玻璃制品以其优良的物理化学特性，被广泛应用于微电子产业集成电路芯片制造业。石英舟是扩散时的常用工具。扩散是制造太阳能电池光电转换核心部件-PN结的工艺环节，是太阳能电池制造的关键技术。现有的石英舟通常在连接杆上开槽为硅片形成一个置放区间，用于扩散时对硅片的承载。
如申请号为200920068241.4 的中国实用新型专利，提供了一种石英舟，它包括支撑框架和支杠组件，支杠组件由安装在支撑框架上的一对上支杠和一对下支杠共四根支杠组成，该对上支杠由对称设置的左上支杠和右上支杠组成，该对下支杠由对称设置的左下支杠和右下支杠组成，该对上支杠所在的平面与该对下支杠所在的平面相平行。该石英舟仅适合承载单种规格的硅片，当需要扩散的硅片的大小与上次扩散不同时，则需要另外提供一个与之大小相适的石英舟，不仅使用时麻烦，还得配备多种型号的石英舟。
实用新型内容
本实用新型的一个目的是提供一种石英舟，该石英舟可以适应各种大小不同的硅片。
本实用新型的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种石英舟，包括一对支座、连接在两个支座之间的支杆，所述支杆上设有卡槽，所述支杆包括第一支杆、第二支杆、第三支杆和第四支杆，所述第一支杆设置在所述支座的上部，所述第三支杆设置在所述支座的下部，所述第四支杆设置在所述第三支杆的侧上方；所述第一支杆和第三支杆的连线，与所述第三支杆和所述第四支杆的连线形成90°的夹角；所述第二支杆设置在所述第一支杆与所述第三支杆的连线之间，且所述第二支杆相对所述支座沿所述第一支杆与所述第三支杆的连线进行移动。
作为优选，所述支座上设有沿所述第一支杆与所述第三支杆的连线方向分布的滑槽，所述第二支杆的两端均穿过所述滑槽，所述第二支杆套接有定位螺母。
作为优选，所述滑槽位于下侧的槽面上设有弧形凸起，相邻两个所述弧形凸起形成凹槽。
作为优选，所述第四支杆的高度低于所述第一支杆的高度，且高于第三支杆的高度。
作为优选，所述第四支杆的高度高于所述第二支杆的最低位置的高度，且低于所述第二支杆的最高位置的高度。
作为优选，所述石英舟还设有四个支撑脚，所述支撑脚设置在所述支座的下方。
作为优选，所述支座的侧面设有把手。
本实用新型的有益效果：本实用新型改变可硅片的固定方式，只需卡住硅片相邻的两条边即可进行固定，该固定方式简单、效果好，而且设置了可移动的第二支杆，能够满足不同规格的硅片的放置。
附图说明
图1是本实用新型实施例的结构示意图；
图2是本实用新型实施例的侧视剖视图；
图3是本实用新型实施例中滑槽的结构示意图。
具体实施方式
以下具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。
实施例，如图1、图2和图3所示，一种石英舟，包括一对支座1、连接在两个支座1之间的支杆，所述支杆上设有卡槽，所述支杆包括第一支杆2、第二支杆3、第三支杆4和第四支杆5，所述第一支杆2设置在所述支座1的上部，所述第三支杆4设置在所述支座1的下部，所述第四支杆5设置在所述第三支杆4的侧上方；所述第一支杆2和第三支杆4的连线，与所述第三支杆4和所述第四支杆5的连线形成90°的夹角；所述第二支杆3设置在所述第一支杆2与所述第三支杆4的连线之间，且所述第二支杆3相对所述支座1沿所述第一支杆2与所述第三支杆4的连线进行移动。所述第四支杆5的高度低于所述第一支杆2的高度，且高于第三支杆4的高度。所述第四支杆5的高度高于所述第二支杆3的最低位置的高度，且低于所述第二支杆3的最高位置的高度。
所述支座1上设有沿所述第一支杆2与所述第三支杆4的连线方向分布的滑槽11，所述第二支杆3的两端均穿过所述滑槽11，所述第二支杆3套接有定位螺母。所述滑槽11位于下侧的槽面上设有弧形凸起111，相邻两个所述弧形凸起111形成凹槽。所述石英舟还设有四个支撑脚13，所述支撑脚13设置在所述支座1的下方。所述支座1的侧面设有把手12。
Claims (7)
1.一种石英舟，包括一对支座（1）、连接在两个支座（1）之间的支杆，所述支杆上设有卡槽，其特征在于：所述支杆包括第一支杆（2）、第二支杆（3）、第三支杆（4）和第四支杆（5），所述第一支杆（2）设置在所述支座（1）的上部，所述第三支杆（4）设置在所述支座（1）的下部，所述第四支杆（5）设置在所述第三支杆（4）的侧上方；所述第一支杆（2）和第三支杆（4）的连线，与所述第三支杆（4）和所述第四支杆（5）的连线形成90°的夹角；所述第二支杆（3）设置在所述第一支杆（2）与所述第三支杆（4）的连线之间，且所述第二支杆（3）相对所述支座（1）沿所述第一支杆（2）与所述第三支杆（4）的连线进行移动。
2.根据权利要求1所述的一种石英舟，其特征在于：所述支座（1）上设有沿所述第一支杆（2）与所述第三支杆（4）的连线方向分布的滑槽（11），所述第二支杆（3）的两端均穿过所述滑槽（11），所述第二支杆（3）套接有定位螺母。
3.根据权利要求2所述的一种石英舟，其特征在于：所述滑槽（11）位于下侧的槽面上设有弧形凸起（111），相邻两个所述弧形凸起（111）形成凹槽。
4.根据权利要求1所述的一种石英舟，其特征在于：所述第四支杆（5）的高度低于所述第一支杆（2）的高度，且高于第三支杆（4）的高度。
5.根据权利要求4所述的一种石英舟，其特征在于：所述第四支杆（5）的高度高于所述第二支杆（3）的最低位置的高度，且低于所述第二支杆（3）的最高位置的高度。
6.根据权利要求1所述的一种石英舟，其特征在于：所述石英舟还设有四个支撑脚（13），所述支撑脚（13）设置在所述支座（1）的下方。
7.根据权利要求1所述的一种石英舟，其特征在于：所述支座（1）的侧面设有把手（12）。
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Publications (1)
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| CN205944052U true CN205944052U (zh) | 2017-02-08 |
Family
ID=57947007
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| CN201620902472.0U Expired - Fee Related CN205944052U (zh) | 2016-08-19 | 2016-08-19 | 一种石英舟 |
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2016
- 2016-08-19 CN CN201620902472.0U patent/CN205944052U/zh not_active Expired - Fee Related
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