CN207398100U - 一种新型硅片背靠背扩散石英舟 - Google Patents

Abstract

一种新型硅片背靠背扩散石英舟，包括至少两组呈上下叠放的挡板，所述挡板之间通过至少三组硅片导向柱连接，所述硅片导向柱上设置有至少两组横向硅片卡槽，所述横向硅片卡槽由撇口部及水平延伸部组成，所述挡板与硅片导向柱组成花篮式硅片放置区，所述至少两组横向硅片卡槽内插接有硅片，所述硅片的非制绒面呈相对放置；本实用新型提供了一种新型硅片背靠背扩散石英舟，该装置采用了横向插片方式，即两张硅片的制绒面朝外，背靠背(非制绒面相对)被水平插入石英舟，其中一张硅片的制绒面朝上，另一张硅片的制绒面朝下。使两张硅片叠放在一起，上面的硅片在自身重力作用下和下面的硅片紧紧的贴合在一起，解决两张硅片之间存在缝隙的问题。

Description

一种新型硅片背靠背扩散石英舟

技术领域

本实用新型涉及一种用于硅片扩散的石英舟装置。

背景技术

在太阳电池和半导体器件制造领域，硅片的扩散工序是核心部分，扩散质量的好坏直接影响了PN结的光学、电学和光电性质。为了提高太阳电池和半导体器件的产能，目前绝大数相关的制造商采用的是背靠背的扩散方式，即制绒面朝外，非制绒面相对靠在一起。在扩散过程中硅片基本上都是竖直地插在石英舟上。这种竖直插片的方式非常方便人眼检查硅片是否存在漏插和碎片情况。但是这种竖直插片的方式存在一定的缺点，那就是背靠背的两张硅片之间存在一定的间隙。即使在插片过程中没有间隙，在扩散过程中需要对炉管进行升温，由于热胀冷缩原理，两张硅片会出现不同程度的弯曲变形，也会导致两张硅片产生间隙。间隙的存在会导致硅片的背面(非制绒面)也进行了大面积的扩散，在一定程度会导致工艺气体的浪费和气流的不稳定性。

发明内容

针对现有硅片扩散工序中存在的非制绒面大面积扩散的问题，本实用新型提供了一种新型硅片背靠背扩散石英舟，该装置采用了横向插片方式，即两张硅片的制绒面朝外，背靠背(非制绒面相对)被水平插入石英舟，其中一张硅片的制绒面朝上，另一张硅片的制绒面朝下。使两张硅片叠放在一起，上面的硅片在自身重力作用下和下面的硅片紧紧的贴合在一起，解决两张硅片之间存在缝隙的问题。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：一种新型硅片背靠背扩散石英舟，包括至少两组呈上下叠放的挡板，所述挡板之间通过至少三组硅片导向柱连接，所述硅片导向柱上设置有至少两组横向硅片卡槽，所述横向硅片卡槽由撇口部及水平延伸部组成，所述挡板与硅片导向柱组成花篮式硅片放置区，所述至少两组横向硅片卡槽内插接有硅片，所述硅片的非制绒面呈相对放置。

优选的，所述横向硅片卡槽为横向开口，所述横向硅片卡槽至少四十组，规则排列在硅片导向柱上。

优选的，所述横向硅片卡槽撇口部开口为60度，水平延伸部深度为3毫米，宽度为2毫米。

优选的，所述硅片导向柱为石英材质导向柱。

优选的，所述挡板为两组，分为上挡板及下挡板，上挡板与下挡板之间通过硅片导向柱连接。

优选的，所述下挡板下方安装有支撑柱；支撑柱能够使得石英舟与石英舟架之间保持一定距离，有利于工艺气体与硅片充分接触。

优选的，所述挡板为中空结构；中空结构有利于工艺气体和硅片充分均匀接触，在一定程度缓解了硅片间的扩散不均匀性。

附图说明

为了对本实用新型做进一步说明，下面列举了附图说明。

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型导向柱结构示意图。

具体实施方式

如图1-2所示，一种新型硅片背靠背扩散石英舟，包括至少两组呈上下叠放的挡板（1.2），所述挡板(1.2）之间通过至少三组硅片导向柱（3.4.5.6.7）连接，所述硅片导向柱（3.4.5.6.7）上设置有至少两组横向硅片卡槽8，所述横向硅片卡槽8由撇口部81及水平延伸部82组成，所述挡板（1.2）与硅片导向柱（3.4.5.6.7）组成花篮式硅片放置区，所述至少两组横向硅片卡槽8内插接有硅片，所述硅片的非制绒面呈相对放置。

优选的，所述横向硅片卡槽8为横向开口，所述横向硅片卡槽8至少四十组，规则排列在硅片导向柱（3.4.5.6.7）上。

优选的，所述横向硅片卡槽8撇口部81开口为60度，水平延伸部82深度为3毫米，宽度为2毫米。

优选的，所述硅片导向柱（3.4.5.6.7）为石英材质导向柱。

优选的，所述挡板（1.2）为两组，分为上挡板1及下挡板2，上挡板1与下挡板2之间通过硅片导向柱（3.4.5.6.7）连接。

优选的，所述下挡板2下方安装有支撑柱9。

优选的，所述挡板（1.2）为中空结构。

显而易见，上述实施方式仅仅为本实用新型的其中一个示范例，任何在本实用新型所提供结构或原理上的简单改进均属于本实用新型的保护范围。

Claims (6)

1.一种新型硅片背靠背扩散石英舟，其特征在于包括至少两组呈上下叠放的挡板，所述挡板之间通过至少三组硅片导向柱连接，所述硅片导向柱上设置至少两组横向硅片卡槽，所述横向硅片卡槽由撇口部及水平延伸部组成，所述挡板与硅片导向柱组成花篮式硅片放置区，所述至少两组横向硅片卡槽内插接有硅片，所述硅片的非制绒面呈相对放置。

2.根据权利要求1所述的一种新型硅片背靠背扩散石英舟，其特征在于所述横向硅片卡槽为横向开口，所述横向硅片卡槽至少四十组，规则排列在硅片导向柱上。

3.根据权利要求1所述的一种新型硅片背靠背扩散石英舟，其特征在于所述横向硅片卡槽撇口部开口为60度，水平延伸部深度为3毫米，宽度为2毫米。

4.根据权利要求1所述的一种新型硅片背靠背扩散石英舟，其特征在于所述硅片导向柱为石英材质导向柱。

5.根据权利要求1所述的一种新型硅片背靠背扩散石英舟，其特征在于所述挡板为两组，分为上挡板及下挡板，上挡板与下挡板之间通过硅片导向柱连接。

6.根据权利要求5所述的一种新型硅片背靠背扩散石英舟，其特征在于所述下挡板下方安装有支撑柱。