CN203760442U - 碳化硅舟的保护装置 - Google Patents
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Abstract
一种碳化硅舟的保护装置，包括舟托和舟托支撑件；舟托包括底板、第一侧板、第二侧板和第三侧板；第一侧板、第二侧板和第三侧板设置在底板的第一侧面上，并与底板围合形成具有第一舟托开口端的碳化硅舟收容腔，碳化硅舟可活动地收容于碳化硅舟收容腔中；舟托支撑件包括支撑板、第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁；第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁设置在支撑板的第一表面上，并与支撑板围合形成具有第一开口端的舟托收容腔；舟托可活动地收容于舟托收容腔中，并被第四隔挡壁隔挡。上述碳化硅舟的保护装置，舟托和舟托支撑件配套使用，双重保护了碳化硅舟。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种保护装置，特别是涉及一种碳化硅舟的保护装置。
背景技术
在半导体芯片的生产过程中，所涉及的扩散工序需要用到碳化硅舟。生产过程中，碳化硅舟的移动通过手持支撑件支撑实现。图1为传统的手持支撑件支撑碳化硅舟的结构示意图。其中，110为碳化硅舟，碳化硅舟110上装载有芯片120，130为手持支撑件，通过将装载有芯片120的碳化硅舟110放置于手持支撑件130的一端，手握手持支撑件130的另一端进行移动。由图1可知，碳化硅舟110无其他保护装置，在发生意外情况下，芯片120会直接从碳化硅舟110上掉落出来，从而造成损毁。
实用新型内容
基于此，有必要针对传统的手持支撑件支撑碳化硅舟无保护装置的问题，提供一种碳化硅舟的保护装置。
一种碳化硅舟的保护装置，包括舟托和舟托支撑件；
所述舟托包括底板、第一侧板、第二侧板和第三侧板；所述底板具有相背的第一侧面和第二侧面；所述第一侧板、第二侧板和第三侧板设置在所述底板的第一侧面上，并与所述底板围合形成具有第一舟托开口端的碳化硅舟收容腔，碳化硅舟可活动地收容于所述碳化硅舟收容腔中；
所述舟托支撑件包括支撑板、第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁；所述支撑板具有相背的第一表面和第二表面；所述第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁设置在所述支撑板的第一表面上，并与所述支撑板围合形成具有第一开口端的舟托收容腔；
所述舟托可活动地收容于所述舟托收容腔中，并被所述第四隔挡壁隔挡。
在其中一个实施例中，所述底板、第一侧板、第二侧板和第三侧板围合形成一个以所述底板为底面，所述第一侧板、第二侧板和第三侧板为三个侧面的锥体结构，所述第一侧板、第二侧板和第三侧板依次连接，且所述第一侧板和第三侧板之间形成空隙而形成所述碳化硅舟收容腔的第一舟托开口端。
在其中一个实施例中，所述碳化硅舟收容腔还具有第二舟托开口端，所述底板、第一侧板、第二侧板和第三侧板围合形成一个以所述底板为底面，所述第一侧板、第二侧板和第三侧板为三个侧面的长方体结构或立方体结构，所述第一侧板和第三侧板分别自所述底板的两个相对的边缘折弯延伸而成，所述第二侧板的一端与所述第一侧板连接，另一端与所述第三侧板连接而形成具有所述第一舟托开口端和第二舟托开口端的碳化硅舟收容腔，所述第一舟托开口端所在的平面和第二舟托开口端所在的平面垂直。
在其中一个实施例中，所述支撑板、第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁围合形成一个以所述支撑板为底面，所述第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁为四个侧面的锥体结构，所述第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁依次连接，且所述第一隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁之间形成空隙而形成所述舟托收容腔的第一开口端。
在其中一个实施例中，所述舟托收容腔还具有第二开口端，所述支撑板、第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁围合形成一个以所述支撑板为底面，所述第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁为四个侧面的长方体结构或立方体结构，所述第一隔挡壁和第三隔挡壁分别自所述支撑板的两个相对的边缘折弯延伸而成，所述第二隔挡壁的一端与所述第一隔挡壁连接，另一端与所述第三隔挡壁连接，所述第四隔挡壁的一端与所述第一隔挡壁连接，另一端与所述第三隔挡壁连接，且所述第四隔挡壁的高度均小于所述第一隔挡壁和第三隔挡壁的高度，而形成具有所述第一开口端和第二开口端的舟托收容腔，所述第一开口端所在的平面和第二开口端所在的平面垂直。
在其中一个实施例中，所述碳化硅舟收容腔的体积为0.0015m3～0.002m3，所述舟托收容腔的体积为0.003m3～0.005m3。
在其中一个实施例中，所述第一隔挡壁的高度与所述第四隔挡壁的高度的比值为30:1～20:1，所述第三隔挡壁的高度与所述第四隔挡壁的高度的比值为30:1～20:1。
在其中一个实施例中，所述舟托支撑件还包括手柄；所述手柄设置在所述第一隔挡壁、第二隔挡壁或第三隔挡壁的外表面。
上述碳化硅舟的保护装置，通过将碳化硅舟收容在碳化硅舟收容腔中，并将舟托收容于舟托收容腔中，且舟托被第四隔档壁隔档，给碳化硅舟提供了双重保护，有效地避免了碳化硅舟掉落，保护了碳化硅舟。
另外，舟托和舟托支撑件相配套，在实现双重保护的同时，方便取放，且节省材料。
附图说明
图1为传统的手持支撑件支撑碳化硅舟的结构示意图；
图2为一实施方式的碳化硅舟的保护装置的结构示意图；
图3为图2所述碳化硅舟的保护装置的舟托的结构示意图；
图4为图2所述碳化硅舟的保护装置的舟托支撑件的结构示意图；
图5为另一实施方式的碳化硅舟的保护装置的结构示意图；
图6为图5所述碳化硅舟的保护装置的舟托的结构示意图；
图7为图5所述碳化硅舟的保护装置的舟托支撑件的结构示意图。
具体实施方式
为了便于理解本实用新型，下面将参照相关附图对本实用新型进行更全面的描述。附图中给出了本实用新型的首选实施例。但是，本实用新型可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本实用新型的公开内容更加透彻全面。
除非另有定义，本文中所使用的所有的技术和科学术语与本实用新型的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施目的，不是旨在于限制本实用新型。
请参阅图2，一实施方式的碳化硅舟的保护装置200，包括舟托210和舟托支撑件220。
其中，舟托210的材料为石英，防止污染碳化硅舟。舟托支撑件220的材料为不锈钢，价廉易得，容易成型。
请参阅图3，舟托210包括底板2102、第一侧板2104、第二侧板2106和第三侧板2108。
其中，底板2102具有相背的第一侧面和第二侧面。第一侧板2104、第二侧板2106和第三侧板2108设置在底板2102的第一侧面上，并与底板2102围合形成具有第一舟托开口（图未标）的碳化硅舟收容腔2110。
可以理解，当底板2102水平放置时，底板2102相背的第一侧面和第二侧面分别为底板2102的上表面和下表面。
在本实施方式中，底板2102、第一侧板2104、第二侧板2106和第三侧板2108围合形成一个以底板2102为底面，第一侧板2104、第二侧板2106和第三侧板2108为三个侧面的锥体结构。
其中，第一侧板2104、第二侧板2106和第三侧板2108依次连接，且第一侧板2104和第三侧板2108之间形成空隙而形成上述碳化硅舟收容腔2110的第一舟托开口端。
碳化硅舟（图未示）通过上述第一舟托开口端可活动地收容于上述碳化硅舟收容腔2110中。
请参阅图4，舟托支撑件220包括支撑板2202、第一隔挡壁2204、第二隔挡壁2206、第三隔挡壁2208和第四隔挡壁2210。
其中，支撑板2202具有相背的第一表面和第二表面。第一隔挡壁2204、第二隔挡壁2206、第三隔挡壁2208和第四隔挡壁2210设置在支撑板2202的第一表面上，并与支撑板2202围合形成具有第一开口端（图未标）的舟托收容腔2212。
可以理解，当支撑板2202水平放置时，支撑板2202相背的第一表面和第二表面分别为支撑板2202的上表面和下表面。
在本实施方式中，支撑板2202、第一隔挡壁2204、第二隔挡壁2206、第三隔挡壁2208和第四隔挡壁2210围合形成一个以支撑板2202为底面，第一隔挡壁2204、第二隔挡壁2206、第三隔挡壁2208和第四隔挡壁2210为四个侧面的锥体结构。
其中，第一隔挡壁2204、第二隔挡壁2206、第三隔挡壁2208和第四隔挡壁2210依次连接，且第一隔挡壁2204、第三隔挡壁2208和第四隔挡壁2210之间形成空隙而形成上述舟托收容腔2212的第一开口端。
具体地，第一隔档壁2204、第二隔档壁2206和第三隔档壁2208均为三角形板，第一隔档壁2204、第二隔档壁2206和第三隔档壁2208依次连接形成锥体结构的三个侧面，第四隔档壁2210为梯形板，第四隔档壁2210通过两个斜边所在的两个侧面分别与第一隔档壁2204和第三隔档壁2208连接从而形成舟托收容腔2212的第一开口端。
舟托210通过上述第一开口端可活动地收容于舟托收容腔2212中，并被第四隔挡壁2210隔挡，使得在发生意外时，舟托210中放置的碳化硅舟被第四隔档壁2210隔档而不会掉落。
优选的，碳化硅舟收容腔2110的体积为0.0015m3～0.002m3，舟托收容腔2212的体积为0.003m3～0.005m3。
碳化硅舟收容腔2110的体积和舟托收容腔2212的体积相关，在实现对碳化硅舟双重保护的同时，方便取放，且节省材料。
优选的，第一隔挡壁2204的高度与第四隔挡壁2210的高度的比值为30:1～20:1，第三隔挡壁2208的高度与第四隔挡壁2210的高度的比值为30:1～20:1。
通过合理设置第一隔档壁2204、第三隔档壁2208及第四隔档壁2210的高度，使得上述第四隔挡壁2210在实现对舟托210的隔挡的同时，还方便舟托210在舟托收容腔2212的取放。
在本实施方式中，舟托支撑件220还包括手柄2214。
手柄2214设置在第一隔挡壁2204、第二隔挡壁2206或第三隔挡壁2208的外表面。通过手柄2214移动碳化硅舟的保护装置200，方便快捷。
上述碳化硅舟的保护装置200，舟托210和舟托支撑件220配套使用，通过将碳化硅舟收容在碳化硅舟收容腔2110中，并将舟托210收容于舟托收容腔2212中，且舟托210被第四隔挡壁2210隔挡，给碳化硅舟提供了双重保护，有效地避免了碳化硅舟掉落，保护了碳化硅舟。
可以理解，在其他实施方式中，碳化硅舟的保护装置200的舟托210和舟托支撑件220的形状均不限于锥形，可以为任何其他形状，只要满足碳化硅舟的方便取放，且能够对碳化硅舟提供保护作用，防止碳化硅舟掉落即可。例如，舟托210为锥形时，舟托支撑件220为立方体或长方体均可。
本实施方式的碳化硅舟的保护装置200的舟托210和舟托支撑件220的形状均为锥形，有利于节省材料。
请参阅图5，另一实施方式的碳化硅舟的保护装置300，包括舟托310和舟托支撑件320。
其中，舟托310的材料为石英，防止污染碳化硅舟。舟托支撑件320的材料为不锈钢，价廉易得，容易成型。
请参阅图6，舟托310包括底板3102、第一侧板3104、第二侧板3106和第三侧板3108。
其中，底板3102具有相背的第一侧面和第二侧面。第一侧板3104、第二侧板3106和第三侧板3108设置在底板3102的第一侧面上，并与底板3102围合形成具有第一舟托开口端（图未标）的碳化硅舟收容腔3110。
在本实施方式中，碳化硅舟收容腔3110还具有第二舟托开口端（图未标）。
具体的，底板3102、第一侧板3104、第二侧板3106和第三侧板3108围合形成一个以底板3102为底面，第一侧板3104、第二侧板3106和第三侧板3108为三个侧面的长方体结构或立方体结构。
第一侧板3104和第三侧板3108分别自底板3102的两个相对的边缘折弯延伸而成，且第一侧板3104和第三侧板3108平行设置。第二侧板3106的一端与第一侧板3104连接，另一端与第三侧板3108连接而形成具有上述第一舟托开口端和第二舟托开口端的碳化硅舟收容腔3110。
碳化硅舟通过上述第一舟托开口端或第二舟托开口端可活动地收容于上述碳化硅舟收容腔3110中。
上述第一舟托开口端所在的平面和第二舟托开口端所在的平面垂直，即第一舟托开口端和第二舟托开口端相邻，以方便取放碳化硅舟。
请参阅图7，舟托支撑件320包括支撑板3202、第一隔挡壁3204、第二隔挡壁3206、第三隔挡壁3208和第四隔挡壁3210。
其中，支撑板3202具有相背的第一表面和第二表面。第一隔挡壁3204、第二隔挡壁3206、第三隔挡壁3208和第四隔挡壁3210设置在支撑板3202的第一表面上，并与支撑板3202围合形成具有第一开口端（图未标）的舟托收容腔3212。
在本实施方式中，舟托收容腔3212还具有第二开口端（图未标）。
具体的，支撑板3202、第一隔挡壁3204、第二隔挡壁3206、第三隔挡壁3208和第四隔挡壁3210围合形成一个以支撑板3202为底面，第一隔挡壁3204、第二隔挡壁3206、第三隔挡壁3208和第四隔挡壁3210为四个侧面的长方体结构或立方体结构。
其中，第一隔挡壁3204和第三隔挡壁3208分别自支撑板3202的两个相对的边缘折弯延伸而成，且两者平行。第二隔挡壁3206的一端与第一隔挡壁3204连接，另一端与第三隔挡壁3208连接，第四隔挡壁3210的一端与第一隔挡壁3204连接，另一端与第三隔挡壁3208连接，且第四隔挡壁3210的高度小于第一隔挡壁3204和第三隔挡壁3208的高度，而形成具有上述第一开口端和第二开口端的舟托收容腔3212。第一开口端所在的平面和第二开口端所在的平面垂直。
舟托310通过上述第一开口端或第二开口端可活动地收容于舟托收容腔中，并被第四隔挡壁3210隔挡。
优选的，碳化硅舟收容腔的体积为0.0015m3～0.002m3，舟托收容腔的体积为0.003m3～0.005m3。
碳化硅舟收容腔3110的体积和舟托收容腔3212的体积相关，在实现对碳化硅舟双重保护的同时，方便取放，且节省材料。
优选的，第一隔挡壁3204的高度与第四隔挡壁3210的高度的比值为30:1～20:1，第三隔挡壁3208的高度与第四隔挡壁3210的高度的比值为30:1～20:1。
上述第四隔挡壁3210在实现对舟托310的隔挡的同时，还方便舟托310在舟托收容腔3212的取放。
在本实施方式中，舟托支撑件320还包括手柄3214。
手柄3214设置在第一隔挡壁3204、第二隔挡壁3206或第三隔挡壁3208的外表面。通过手柄3214移动碳化硅舟的保护装置300，方便快捷。
上述碳化硅舟的保护装置300，舟托310和舟托支撑件320配套使用，通过将碳化硅舟收容在碳化硅舟收容腔3110中，并将舟托310收容于舟托收容腔3212中，且舟托310被第四隔挡壁3210隔挡，给碳化硅舟提供了双重保护，有效地避免了碳化硅舟掉落，保护了碳化硅舟。
可以理解，在其他实施方式中，碳化硅舟的保护装置300的舟托310和舟托支撑件320的形状均不限于长方体或立方体，可以为任何其他形状，只要满足碳化硅舟的方便取放，且能够对碳化硅舟提供保护作用，防止碳化硅舟掉落即可。例如，舟托310为立方体时，舟托支撑件320也可以为锥体结构。
本实施方式的碳化硅舟的保护装置300的舟托310和舟托支撑件320的形状均为长方体或立方体，相互配套，有利于节省材料。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本实用新型专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (8)
1.一种碳化硅舟的保护装置，其特征在于，包括舟托和舟托支撑件；
所述舟托包括底板、第一侧板、第二侧板和第三侧板；所述底板具有相背的第一侧面和第二侧面；所述第一侧板、第二侧板和第三侧板设置在所述底板的第一侧面上，并与所述底板围合形成具有第一舟托开口端的碳化硅舟收容腔，碳化硅舟可活动地收容于所述碳化硅舟收容腔中；
所述舟托支撑件包括支撑板、第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁；所述支撑板具有相背的第一表面和第二表面；所述第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁设置在所述支撑板的第一表面上，并与所述支撑板围合形成具有第一开口端的舟托收容腔；
所述舟托可活动地收容于所述舟托收容腔中，并被所述第四隔挡壁隔挡。
2.根据权利要求1所述的碳化硅舟的保护装置，其特征在于，所述底板、第一侧板、第二侧板和第三侧板围合形成一个以所述底板为底面，所述第一侧板、第二侧板和第三侧板为三个侧面的锥体结构，所述第一侧板、第二侧板和第三侧板依次连接，且所述第一侧板和第三侧板之间形成空隙而形成所述碳化硅舟收容腔的第一舟托开口端。
3.根据权利要求1所述的碳化硅舟的保护装置，其特征在于，所述碳化硅舟收容腔还具有第二舟托开口端，所述底板、第一侧板、第二侧板和第三侧板围合形成一个以所述底板为底面，所述第一侧板、第二侧板和第三侧板为三个侧面的长方体结构或立方体结构，所述第一侧板和第三侧板分别自所述底板的两个相对的边缘折弯延伸而成，所述第二侧板的一端与所述第一侧板连接，另一端与所述第三侧板连接而形成具有所述第一舟托开口端和第二舟托开口端的碳化硅舟收容腔，所述第一舟托开口端所在的平面和第二舟托开口端所在的平面垂直。
4.根据权利要求1所述的碳化硅舟的保护装置，其特征在于，所述支撑板、第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁围合形成一个以所述支撑板为底面，所述第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁为四个侧面的锥体结构，所述第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁依次 连接，且所述第一隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁之间形成空隙而形成所述舟托收容腔的第一开口端。
5.根据权利要求1所述的碳化硅舟的保护装置，其特征在于，所述舟托收容腔还具有第二开口端，所述支撑板、第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁围合形成一个以所述支撑板为底面，所述第一隔挡壁、第二隔挡壁、第三隔挡壁和第四隔挡壁为四个侧面的长方体结构或立方体结构，所述第一隔挡壁和第三隔挡壁分别自所述支撑板的两个相对的边缘折弯延伸而成，所述第二隔挡壁的一端与所述第一隔挡壁连接，另一端与所述第三隔挡壁连接，所述第四隔挡壁的一端与所述第一隔挡壁连接，另一端与所述第三隔挡壁连接，且所述第四隔档壁的高度均小于所述第一隔档壁和第三隔档壁的高度，而形成具有所述第一开口端和第二开口端的舟托收容腔，所述第一开口端所在的平面和第二开口端所在的平面垂直。
6.根据权利要求1所述的碳化硅舟的保护装置，其特征在于，所述碳化硅舟收容腔的体积为0.0015m3～0.002m3，所述舟托收容腔的体积为0.003m3～0.005m3。
7.根据权利要求1所述的碳化硅舟的保护装置，其特征在于，所述第一隔挡壁的高度与所述第四隔挡壁的高度的比值为30:1～20:1，所述第三隔挡壁的高度与所述第四隔挡壁的高度的比值为30:1～20:1。
8.根据权利要求1所述的碳化硅舟的保护装置，其特征在于，所述舟托支撑件还包括手柄；所述手柄设置在所述第一隔挡壁、第二隔挡壁或第三隔挡壁的外表面。
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| CN112391614A (zh) * | 2019-10-23 | 2021-02-23 | 深圳市拉普拉斯能源技术有限公司 | 一种高效小舟运输结构 |
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CX01 | Expiry of patent term |
Granted publication date: 20140806 |
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