CN112105151A - 基板处理设备 - Google Patents

Abstract

本发明揭露一种基板处理设备，其包含：直送移载装置及两个基板处理装置。直送移载装置用以使多个固持架沿直送路径移动，而使各个固持架由入料位置移动至出料位置。各个固持架用以固持基板。两个基板处理装置用以对多个基板分别进行不同的预定处理。各个基板处理装置设置于直送路径上，包含：多个固持架及回送移载装置。回送移载装置用以使位于出料位置的多个固持架，沿回送路径移动至入料位置，回送路径与直送路径共同形成一循环路径。基板处理装置设置于循环路径上。

Description

基板处理设备

技术领域

本发明涉及一种基板处理设备，特别是一种适用于电路板制成中的基板处理设备。

背景技术

现有一般常见的电路板处理设备，在对电路板进行喷涂、烘烤等处理时，大多是使电路板平躺于设备中。然而，使电路板平躺于设备中进行相关处理的方式，将使得电路板处理设备的整体体积庞大，且在电路板的尺寸较大的情况下，将存在有处理效率低的问题。

发明内容

本发明公开一种基板处理设备，主要用以改善现有电路板处理设备，使电路板平躺地设置于设备的方式，解决在实际应用中所存在的效率低的问题。

本发明实施例公开一种基板处理系统，其包含：至少一直送移载装置，其用以承载多个固持架；直送移载装置用以使多个固持架沿一直送路径移动；各个固持架用以固持一基板，以使基板吊挂于空中；至少两个回送移载装置，两个回送移载装置邻近于直送移载装置设置，各个回送移载装置用以承载多个固持架；各个回送移载装置与直送移载装置相邻接的两个位置分别定义为一入料位置及一出料位置，直送移载装置用以使多个固持架沿直送路径，由各个入料位置移动至相对应的出料位置；各个回送移载装置用以使多个固持架由出料位置沿一回送路径移动至入料位置；其中，回送路径与直送路径共同形成一循环路径；至少两个基板处理装置，两个循环路径上分别设置有一个基板处理装置，各个基板处理装置用以对设置多个固持架上的多个基板进行预定处理。

优选地，直送移载装置包含有至少一第一移载装置，第一移载装置包含一第一承载机构及一第一移动模块，第一承载机构用以承载多个固持架，第一移动模块用以使设置于第一承载机构上的多个固持架沿直送路径移动；回送移载装置包含：至少一第二移载装置，其包含一第二承载机构及一第二移动模块，第二承载机构用以承载多个固持架，第二移动模块用以使设置于第二承载机构上的多个固持架沿一第一旁路路径移动；一第一转换装置，其用以将设置于第一承载机构上的固持架及其所夹持的基板，移载至第二承载机构；至少一第三移载装置，其包含一第三承载机构及一第三移动模块，第三承载机构用以承载多个固持架，第三移动模块用以使设置于第三承载机构上的多个固持架沿一第二旁路路径移动；一第二转换装置，其用以将设置于第二承载机构上的固持架，移载至第三承载机构；至少一第四移载装置，其包含一第四承载机构及一第四移动模块，第四承载机构用以承载多个固持架，第四移动模块用以使设置于第四承载机构上的多个固持架沿一第三旁路路径移动；一第三转换装置，其用以将设置于第三承载机构上的固持架，移载至第四承载机构；一第四转换装置，其邻近于第四承载机构及第一承载机构设置，第四转换装置用以将设置于第四承载机构上的固持架，移载至第一承载机构；其中，第一旁路路径不同于第二旁路路径，第二旁路路径不同于第三旁路路径，第一旁路路径不同于第三旁路路径，第一旁路路径、第二旁路路径及第三旁路路径共同形成回送路径。

优选地，其中一个基板处理装置用以对设置于各个固持架上的基板进行一上漆作业，以使各个基板的至少一表面覆盖有一漆料；另一个基板处理装置用以对设置于各个固持架上的基板进行一烘烤作业，以使各个基板的表面的漆料固化。

优选地，基板处理系统还包含一清洗装置，其设置于回送路径上，回送移载装置能使多个固持架通过清洗装置，而清洗装置用以对多个固持架进行一清洗作业。

优选地，第一转换装置、第二转换装置、第三转换装置及第四转换装置分别具有一固持组件及一旋转机构，各个固持组件能固持固持架，且而各个旋转机构能使固持组件所固持的固持架旋转一预定角度。

本发明实施例还公开一种基板处理设备，其用以对多个基板进行一预定处理，基板处理设备包含：多个固持架，各个固持架用以固持一个基板，以使基板吊挂于空中；一上料装置，其用以将多个基板逐一地固定设置于各个固持架上；一直送移载装置，其用以承载多个固持架，且直送移载装置用以使多个固持架沿一直送路径，由邻近于上料装置的位置移动至邻近于一出料装置的位置；出料装置用以将各个基板由相对应的固持架上卸下；至少一基板处理装置，其设置于直送路径上，直送移载装置能使多个固持架通过基板处理装置，而基板处理装置用以对设置多个固持架上的多个基板进行预定处理；一回送移载装置，其用以承载多个固持架，且回送移载装置用以使位于邻近于出料装置的多个固持架，沿一回送路径移动至邻近于上料装置的位置；其中，回送移载装置或上料装置能使多个固持架由邻近于上料装置的位置移载至直送移载装置；其中，直送路径不同于回送路径，而直送路径及回送路径共同形成一循环路径。

优选地，直送移载装置包含有至少一第一移载装置，第一移载装置包含一第一承载机构及一第一移动模块，第一承载机构用以承载多个固持架，第一移动模块用以使设置于第一承载机构上的多个固持架沿直送路径移动；回送移载装置包含：至少一第二移载装置，其包含一第二承载机构及一第二移动模块，第二承载机构用以承载多个固持架，第二移动模块用以使设置于第二承载机构上的多个固持架沿一第一旁路路径移动；一第一转换装置，其用以将设置于第一承载机构上的固持架及其所夹持的基板，移载至第二承载机构；至少一第三移载装置，其包含一第三承载机构及一第三移动模块，第三承载机构用以承载多个固持架，第三移动模块用以使设置于第三承载机构上的多个固持架沿一第二旁路路径移动；一第二转换装置，其用以将设置于第二承载机构上的固持架，移载至第三承载机构；至少一第四移载装置，其包含一第四承载机构及一第四移动模块，第四承载机构用以承载多个固持架，第四移动模块用以使设置于第四承载机构上的多个固持架沿一第三旁路路径移动；其中，第四承载机构的一端邻近于上料装置设置；一第三转换装置，其用以将设置于第三承载机构上的固持架，移载至第四承载机构；一第四转换装置，其用以将设置于第四承载机构上的固持架，移载至直送移载装置；其中，第一旁路路径不同于第二旁路路径，第二旁路路径不同于第三旁路路径，第一旁路路径不同于第三旁路路径，第一旁路路径、第二旁路路径及第三旁路路径共同形成回送路径。

优选地，基板处理装置用以对设置于各个固持架上的基板进行一上漆作业，以使各个基板的至少一表面覆盖有一漆料；基板处理设备还包含一清洗装置，其设置于回送路径上，回送移载装置能使多个固持架通过清洗装置，而清洗装置用以对多个固持架进行一清洗作业。

优选地，直送移载装置还包含一暂存装置，暂存装置设置于第一移载装置及上料装置之间；暂存装置包含一暂存承载机构、一暂存移动模块及一限位机构，暂存承载机构用以承载多个固持架，暂存移动模块用以使设置于暂存承载机构上的多个固持架沿直送路径移动；限位机构用以限制至少一个固持架于第一承载机构的活动范围；第四转换装置用以使多个固持架由第四承载机构，移动至暂存承载机构；暂存装置与第一移载装置之间还设置有一辅助移载装置，辅助移载装置用以将设置于暂存承载机构上的多个固持架，移载至第一承载机构上。

优选地，各个固持架具有一附加电路板及一吊臂，吊臂连接附加电路板，吊臂远离附加电路板的一端具有多个夹具，多个夹具用以共同夹持基板，附加电路板用以设置于第一承载机构、第二承载机构、第三承载机构、第四承载机构及暂存承载机构；限位机构具有多个定位件，限位机构能被控制，而多个定位件能对应抵靠于附加电路板的两侧，据以限制固持架于第一承载机构的活动范围；第一转换装置、第二转换装置、第三转换装置及第四转换装置分别具有一固持组件及一旋转机构，各个固持组件能固持固持架，且而各个旋转机构能使固持组件所固持的固持架旋转一预定角度。

综上所述，本发明的基板处理设备，利用固持架将电路板吊挂于空中，而使电路板以吊挂的方式进行相关的处理作业，如此，将可大幅提升电路板处理的效率。本发明的基板处理设备通过回送移载装置的设置，可以让吊架由出料位置被回送至入料位置，借此可以让吊架有效地被利用。另外，通过回送移载装置的设置，固持架可以沿循环路径移动多次，而使用者可以让固持架所夹持的基板，通过基板处理装置多次。

附图说明

图1为本发明的基板处理设备的第一实施例的示意图。

图2为本发明的基板处理设备的第一移载装置、第二移载装置、第三移载装置及第四移载装置的示意图。

图3为本发明的基板处理设备的第一移载装置、第二移载装置、第三移载装置及第四移载装置的另一视角的示意图。

图4为本发明的基板处理设备的第一转换装置、第二转换装置、第三转换装置及第四转换装置的另一视角的示意图。

图5为本发明的基板处理设备的第二实施例的示意图。

图6为本发明的基板处理系统的示意图。

具体实施方式

请一并参阅图1至图4，图1显示为本发明的基板处理设备的示意图，图2及图3显示为本发明的基板处理设备的第一移载装置、第二移载装置、第三移载装置及第四移载装置的示意图，图4显示为本发明的基板处理设备的第一转换装置、第二转换装置、第三转换装置及第四转换装置57的示意图。如图1所示，基板处理设备A用以对多个基板(图未示，例如是电路板)进行一预定处理。所述预定处理例如是上漆作业、烘烤作业等，但不以此为限。

基板处理设备A包含多个固持架1、一上料装置2、一直送移载装置3、一基板处理装置4、一回送移载装置5及一出料装置6。直送移载装置3用以承载多个固持架1，且直送移载装置3用以使多个固持架1沿一直送路径P1，由邻近于上料装置2的位置移动至邻近于一出料装置6的位置。基板处理装置设置于直送路径P1上，直送移载装置3能使多个固持架1通过基板处理装置4，而基板处理装置4用以对设置多个固持架1上的多个基板进行预定处理。

回送移载装置5用以承载多个固持架1，且回送移载装置5用以使位于邻近于出料装置6的多个固持架1，沿一回送路径P2移动至邻近于上料装置2的位置。其中，直送路径P1不同于回送路径P2，而直送路径P1及回送路径P2共同形成一循环路径。于本实施例中是以回送路径P2包含第一旁路路径P21、第二旁路路径P22及第三旁路路径P23为例，但不以此为限。

具体来说，如图1所示，直送移载装置3可以包含一第一移载装置31。回送移载装置5可以包含一第二移载装置51、一第一转换装置52、一第三移载装置53、一第二转换装置54、一第四移载装置55、一第三转换装置56、一第四转换装置57。

如图2所示，其显示为第一移载装置31的示意图。各个固持架1用以固持一个基板，各个固持架1固持基板时，能使基板吊挂于空中。在实际应用中，各个固持架1可以是包含有一附加电路板11、一吊臂12及两个夹具13。附加电路板11连接吊臂12，吊臂12相反于与附加电路板11相连接的一端设置有两个夹具13，两个夹具13能共同夹持一个基板。关于吊臂12的外型不以图中所示为限。关于夹具13的数量及其相对于吊臂12的设置位置，不以图中所示为限。第一移载装置31包含一第一承载机构311及一第一移动模块312。第一承载机构311用以承载多个固持架1；第一移动模块312用以使设置于第一承载机构311上的多个固持架1沿一直送路径P1(如图1所示)移动。需说明的是，于此所述的直送路径P1是指由入料装置直接移动至出料装置的路径，而固持架1沿直送路径P1移动时，固持架1没有限制是沿直线移动。

第一承载机构311例如是包含有两个传动件3111，而多个固持架1的附加电路板11则是对应抵靠于两个传动件3111上，第一移动模块312例如包含有马达等及相关的连接构件，而马达等相关连接构件能驱动两个传动件3111作动，借此，使设置于两个传动件3111上的多固持架1沿直送路径P1移动。关于第一移动模块312使设置于第一承载机构311上的多个固持架1移动的方式，不以上述举例为限，其可依据需求加以变化。上料装置2邻近于第一移载装置31的一端设置。上料装置2用以将多个基板逐一地固定设置于各个固持架1上。上料装置2例如可以是包含有机械手臂。在实际应用中，图中所示的传动件3111例如可以是各种型态的链条，但不以链条为限，可以是依据需求变化，举例来说，传动件3111也可以是皮带等。

基板处理装置4内部具有一移动通道(图未示)。第一移载装置31的至少一部分位于移动通道中，而基板处理装置4用以对被多个固持架1所固持的多个基板进行预定处理。在实际应用中，基板处理装置4例如可以是用来对设置于固持架1上的多个基板，进行一上漆作业(即前述预定处理)，以使各个基板的至少一表面覆盖有一漆料，但基板处理装置4对各个基板所进行的预定处理，不以上漆作业为限。

如图2所示，其亦为第二移载装置51的示意图。第二移载装置51包含一第二承载机构511及一第二移动模块512。第二承载机构511用以承载多个固持架1。第二移动模块512用以使设置于第二承载机构511上的多个固持架1沿一第一旁路路径P21移动。关于第二承载机构511及第二移动模块512的具体实施例，与前述第一承载机构311及第一移动模块312的说明相同，于此不再赘述。

出料装置6邻近于第二移载装置51设置，出料装置6用以将设置于第二承载机构511上的各个固持架1所固持的基板，由固持架1上卸下。在具体的应用中，出料装置6例如可以是包含有机械手臂。在图1的实施例中，是以出料装置6邻近于第二移载装置51设置为例，但在实际应用中，出料装置6可以是依据需求邻近于直送移载装置3或是回送移载装置5设置，于此不加以限制。

请一并参阅图1及图4，图4显示为第一转换装置52的示意图。第一转换装置52设置于第一移载装置31及第二移载装置51之间。第一转换装置52用以将设置于第一承载机构311上的固持架1及其所夹持的基板，移载至第二承载机构511。

具体来说，第一转换装置52可以是包含有一第一轨道521及一第一滑动组件522，第一滑动组件522可滑动地设置于第一轨道521。第一滑动组件522包含一第二轨道523及一第二滑动组件524，第二滑动组件524可滑动地设置于第二轨道523。第二滑动组件524固定设置有一固持组件525。固持组件525用以固持各个固持架1的附加电路板11。举例来说，各个固持架1的附加电路板11可以具有多个穿孔111(如图3所示)，而固持组件525可以具有两个活动夹爪5251，两个活动夹爪5251能与两个穿孔111相互配合，据以夹持固持架1。在实际应用中，固持组件525还可以包含有一旋转机构5252，旋转机构5252能控制两个活动夹爪5251旋转。当两个活动夹爪5251夹持固持架1时，旋转机构5252能控制两个活动夹爪5251转动，以使固持架1旋转一预定角度。所述预定角度于此不加以限制，其可以是依据第一承载机构311及第二承载机构511的设置位置决定，但不以此为限。

如图1至图3所示，第三移载装置53包含一第三承载机构531及一第三移动模块532。第三承载机构531用以承载多个固持架1，第三移动模块532用以使设置于第三承载机构531上的多个固持架1沿一第二旁路路径P22移动。如图2及图3所示，第三移载装置53的具体实施方式，可以是与前述第一移载装置31相同，于此不加以赘述。

如图1及图4所示，第二转换装置54用以将设置于第二承载机构511上的固持架1，移载至第三承载机构531。第二转换装置54的具体实施方式，可以是与前述第一转换装置52相同，于此不加以赘述。第四移载装置55包含一第四承载机构551及一第四移动模块552。第四承载机构551用以承载多个固持架1，第四移动模块552用以使设置于第四承载机构551上的多个固持架1沿一第三旁路路径P23移动。如图2及图3所示，第四移载装置55的具体实施方式，可以是与前述第一移载装置31相同，于此不加以赘述。第三转换装置56用以将设置于第三承载机构531上的固持架1，移载至第四承载机构551。第三转换装置56的具体实施方式，可以是与前述第一转换装置52相同，于此不加以赘述。

如图1所示，在实际应用中，基板处理设备A还可以包含有一第四转换装置57。第四转换装置57用以将设置于第四承载机构551上的多个固持架1，移载至直送移载装置3。如图4所示，第四转换装置57的具体实施方式，可以是与前述第一转换装置52相同，于此不加以赘述。第一旁路路径P21不同第二旁路路径P22，第二旁路路径P22不同于第三旁路路径P23，第三旁路路径P23不同于第一旁路路径P21，而第一旁路路径P21、第二旁路路径P22及第三旁路路径P23共同形成前述回送路径P2。直送路径P1不同于第一旁路路径P21、第二旁路路径P22或第三旁路路径P23，而直送路径P1、第一旁路路径P21、第二旁路路径P22或第三旁路路径P23共同形成一循环路径。固持架1则是通过上述直送移载装置3及回送移载装置5，而沿循环路径反复地移动。

在实际应用中，上述直送移载装置3及回送移载装置5可以是连接至一控制装置(例如各式计算机设备)，而控制装置可以是依据用户需求，控制直送移载装置3及回送移载装置5作动，以使固持架1及其所夹持的基板，沿循环路径移动的次数。换言之，本发明的基板处理设备A，通过直送移载装置3及回送移载装置5的设置，可以让使用者依据需求，选择使固持架1及其所夹持的基板，重复进入基板处理装置4多次。举例来说，在基板处理装置4是对基板的表面进行上漆作业的实施中，用户可以是使固持架1沿循环路径移动两次，而使固持架1上所夹持的基板，能重复进入基板处理装置4中两次，而基板的表面将被基板处理装置4喷涂两层漆料。

在本实施例的图1中，是以基板处理装置4邻近于直送移载装置3的第一移载装置31为例，但基板处理装置4不局限于必须邻近于直送移载装置3设置，在实际应用中，基板处理装置4可以是依据需求，而设置于循环路径上的任意位置。在上述说明及图1中，是以基板处理设备A具有单一个基板处理装置4为例，但基板处理装置4的数量不以此为限，在不同的应用中，基板处理设备A可以是也可以是包含有两个或是两个以上的基板处理装置4，举例来说，两个基板处理装置4可以分别用来对基板进行上漆作业及烘烤作业。

如图1所示，在实际应用中，基板处理设备A还可以包含一清洗装置32。清洗装置32设置于回送路径P2上。具体来说，清洗装置32可以是邻近于第三移载装置53设置。清洗装置32能对设置于第三承载机构531上的多个固持架1进行一清洗作业，以去除各个固持架1上的漆料。在实际应用中，清洗装置32内例如可以是包含有多个喷洒组件，而各个喷洒组件能喷出特定的化学液体或是清水；当多个固持架1移动至清洗装置32中时，至少一部分的喷洒组件则可以是先对多个固持架1喷洒特定的化学液体，而后在化学液体与漆料相互作用一预定时间后，至少一部分的喷洒组件则会对多个固持架1喷洒清水。当然，清洗装置32中还可以是包含有干燥装置，例如是吹气组件等，干燥装置用以将固持架1上的液体吹落以干燥固持架1。

请一并参阅图1至图3，在实际应用中，基板处理设备A的直送移载装置3还可以包含一暂存装置33。其中一个暂存装置33可以是设置于第一移载装置31及上料装置2之间。暂存装置33包含一暂存承载机构331、一暂存移动模块332及一限位机构333。暂存装置33用以承载多个固持架1，暂存移动模块332用以使设置于暂存承载机构331上的多个固持架1沿直送路径P1移动。限位机构333用以限制至少一个固持架1于第一承载机构311的活动范围。关于暂存装置33的数量不以两个为限。如图2及图3所示，暂存装置33的具体实施方式，可以是与前述第一移载装置31相同，于此不加以赘述。

如图3所示，在实际应用中，限位机构333可以是具有多个定位件3331及一驱动模块(图未标示，例如可以包含有马达等构件)。多个定位件3331可以被驱动模块驱动，而选择性地设置于其中一个固持架1的附加电路板11的前后两侧，借此，使固持架1无法相对于第一承载机构311移动。具体来说，当第四转换装置57持续地将固持架1，设置于暂存承载机构331上时，相关的控制装置可以是先控制限位机构333的多个定位件3331，与最邻近于第一承载机构311的固持架1相互卡合，据以使固持架1无法相对于第一承载机构311移动，如此，后续被第四转换装置57所移载的固持架1的附加电路板11，将可以彼此紧密地抵靠排列，从而可以使暂存承载机构331有效地承载最大数量的固持架1。直送移载装置3还可以包含有一辅助移载装置34。辅助移载装置34可以是设置于暂存装置33与第一移载装置31之间。辅助移载装置34用以将设置于暂存装置33上的多个固持架1，移载至第一承载机构311上。当暂存承载机构331承载有最大数量的固持架1时，相关的控制装置则可以控制辅助移载装置34作动，以将设置于暂存装置33上的多个固持架1移至第一承载机构311上。

如图4所示，辅助移载装置34具体的实施方式，可以是与前述的第一转换装置52相同，意即，辅助移载装置34可以包含有第一轨道521、及第一滑动组件522、第二轨道523、第二滑动组件524、固持组件525、活动夹爪5251及旋转机构5252，而活动夹爪5251夹持固持架1时，旋转机构5252可以将固持架1及其所承载的基板旋转90度。在实际应用中，设置于暂存装置33中的多个固持架1所固持的多个基板中，彼此相邻的两个基板的宽侧面可以是彼此相面对地设置，而各个固持架1及其所固持的基板，被辅助移载装置34移载至第一承载机构311后，则可以是转换为彼此相邻的两个基板是窄侧面彼此相面对地设置。由于在暂存装置33中的彼此相邻的两个基板的宽侧面是彼此相面对地设置，因此可以承载大量的固持架1，而在第一承载机构311上的两个彼此相邻的固持架1所固持的基板的窄侧面是彼此相面对地设置，因此，基板处理装置4可以快速且有效地对基板的宽侧面进行相关的处理。

请参阅图5，其显示为本发明的基板处理设备的第二实施例的示意图。如图所示，本实施例与前述实施例最大不同之处在于：直送移载装置3还可以包含有一辅助基板处理装置35，辅助基板处理装置35及基板处理装置4用以分别对基板进行不同的预定处理，举例来说，辅助基板处理装置35是用以对多个基板进行上漆作业，而基板处理装置4则是用以对多个基板进行烘烤作业。辅助基板处理装置35可以是设置于上料装置2与前述基板处理装置4之间，而上料装置2是将基板移载至基板处理装置4中，基板在通过辅助基板处理装置35的处理后，将被移载至前述实施例的基板处理装置4。

辅助基板处理装置35可以包含有一喷涂移载装置351、一第一喷涂转换装置352、一喷涂装置353、一第二喷涂转换装置354及一第三喷涂转换装置355。喷涂装置353中可以包含有一第一喷涂移载装置3531、一第二喷涂移载装置3532及一转换装置3533。喷涂移载装置351、第一喷涂移载装置3531及第二喷涂移载装置3532具体所包含的构件，可以是与前述实施例所载第一移载装置31及图2、图3所示的内容相同，于此不再赘述。第二喷涂转换装置354及第三喷涂转换装置355具体所包含的构件，可以是与前述实施例所载第一转换装置52及图4所示的内容相同，于此不再赘述。喷涂装置353中可以是包含有多个喷嘴组件，各个喷嘴组件能被控制而将漆料，喷涂于位于喷涂装置353中的各个基板的表面。关于喷嘴组件具体的实施方式于此不加以限制。在喷涂装置353中所具有的第一喷涂移载装置3531及第二喷涂移载装置3532，是彼此相面对地设置，而各个喷嘴组件可以同时将漆料，喷涂于设置于第一喷涂移载装置3531及第二喷涂移载装置3532上的多个固持架上的基板。

在图5所示的实施例中，基板通过上料装置2进入直送移载装置3后，基板将依序通过辅助基板处理装置35及基板处理装置4，以进行上漆作业及烘烤作业，而后基板将随固持架移动至出料装置6，出料装置6则会被控制以将通过上漆作业及烘烤作业的基板，由固持架上卸下，而后，固持架将被回送移载装置5移载回邻近于上料装置2的位置。

值得一提的是，若是相关人员欲使基板的表面涂布有两层漆料，则可以是控制出料装置6选择性地工作。具体来说，使用者可以通过设定相关的控制装置，使出料装置6在同一批基板第一次通过时不工作，而使基板随固持架沿回送路径P2，再次进入直送移载装置3中，基板再次进入直送移载装置3后，将再次依序进入辅助基板处理装置35及基板处理装置4中；而后当基板再次通过出料装置6时，相关控制装置则可以控制出料装置6响应并工作，以使基板由固持架上卸下。

请参阅图6，其显示为本发明的基板处理系统的示意图。如图所示，基板处理系统S包含：两个直送移载装置S1、两个回送移载装置S2、一转换装置S3、一入料装置S4及一出料装置S5。各个直送移载装置S1用以使多个固持架沿一直送路径P1移动。于此所指的固持架与前述实施例所指的固持架1相同，请参阅前述实施例的说明，于此不再赘述。

各个回送移载装置S2用以承载多个固持架。各个回送移载装置S2与直送移载装置S1相邻接的两个位置分别定义为一入料位置及一出料位置。直送移载装置S1用以使多个固持架沿直送路径，由入料位置移动至出料位置，而各个回送移载装置S2则是用以使多个固持架由出料位置沿一回送路径P2移动至入料位置。其中，回送路径P2与直送路径P1共同形成一循环路径。两个循环路径上分别设置有一个基板处理装置(图6中未示，请参阅图前述实施例的基板处理装置4)，各个基板处理装置用以对设置多个固持架上的多个基板进行预定处理。

本实施例所指的直送移载装置S1及回送移载装置S2，分别与前述实施例所载的直送移载装置3及回送移载装置5相同，而本实施例所指的单一个直送移载装置S1及其相对应的回送移载装置S2将可视为前述实施例的基板处理设备A。在图6中，是以两个直送移载装置S1彼此分离地设置为例，而位于两个直送移载装置S1中的基板，则是通过转换装置S3进行移载，但在不同的应用中，两个直送移载装置S1也可以是彼此相连接。也就是说，在不同的应用中，也可以是单一个直送移载装置S1配合两个回送移载装置S2。

Claims (10)

1.一种基板处理系统，其特征在于，所述基板处理系统包含：

至少一直送移载装置，其用以承载多个固持架；所述直送移载装置用以使多个所述固持架沿一直送路径移动；各个所述固持架用以固持一基板，以使所述基板吊挂于空中；

至少两个回送移载装置，两个所述回送移载装置邻近于所述直送移载装置设置，各个所述回送移载装置用以承载多个所述固持架；各个所述回送移载装置与所述直送移载装置相邻接的两个位置分别定义为一入料位置及一出料位置，所述直送移载装置用以使多个所述固持架沿所述直送路径，由各个所述入料位置移动至相对应的所述出料位置；各个所述回送移载装置用以使多个所述固持架由所述出料位置沿一回送路径移动至所述入料位置；其中，所述回送路径与所述直送路径共同形成一循环路径；

至少两个基板处理装置，两个所述循环路径上分别设置有一个所述基板处理装置，各个所述基板处理装置用以对设置多个所述固持架上的多个所述基板进行预定处理。

2.依据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，所述直送移载装置包含有至少一第一移载装置，所述第一移载装置包含一第一承载机构及一第一移动模块，所述第一承载机构用以承载多个所述固持架，所述第一移动模块用以使设置于所述第一承载机构上的多个所述固持架沿所述直送路径移动；所述回送移载装置包含：

至少一第二移载装置，其包含一第二承载机构及一第二移动模块，所述第二承载机构用以承载多个所述固持架，所述第二移动模块用以使设置于所述第二承载机构上的多个所述固持架沿一第一旁路路径移动；

一第一转换装置，其用以将设置于所述第一承载机构上的所述固持架及其所夹持的所述基板，移载至所述第二承载机构；

至少一第三移载装置，其包含一第三承载机构及一第三移动模块，所述第三承载机构用以承载多个所述固持架，所述第三移动模块用以使设置于所述第三承载机构上的多个所述固持架沿一第二旁路路径移动；

一第二转换装置，其用以将设置于所述第二承载机构上的所述固持架，移载至所述第三承载机构；

至少一第四移载装置，其包含一第四承载机构及一第四移动模块，所述第四承载机构用以承载多个所述固持架，所述第四移动模块用以使设置于所述第四承载机构上的多个所述固持架沿一第三旁路路径移动；

一第三转换装置，其用以将设置于所述第三承载机构上的所述固持架，移载至所述第四承载机构；

一第四转换装置，其邻近于所述第四承载机构及所述第一承载机构设置，所述第四转换装置用以将设置于所述第四承载机构上的所述固持架，移载至所述第一承载机构；

其中，所述第一旁路路径不同于所述第二旁路路径，所述第二旁路路径不同于所述第三旁路路径，所述第一旁路路径不同于所述第三旁路路径，所述第一旁路路径、所述第二旁路路径及所述第三旁路路径共同形成所述回送路径。

3.依据权利要求1所述的基板处理系统，其特征在于，其中一个所述基板处理装置用以对设置于各个所述固持架上的所述基板进行一上漆作业，以使各个所述基板的至少一表面覆盖有一漆料；另一个所述基板处理装置用以对设置于各个所述固持架上的所述基板进行一烘烤作业，以使各个所述基板的表面的漆料固化。

4.依据权利要求3所述的基板处理系统，其特征在于，所述基板处理系统还包含一清洗装置，其设置于所述回送路径上，所述回送移载装置能使多个所述固持架通过所述清洗装置，而所述清洗装置用以对多个所述固持架进行一清洗作业。

5.依据权利要求2所述的基板处理系统，其特征在于，所述第一转换装置、所述第二转换装置、所述第三转换装置及所述第四转换装置分别具有一固持组件及一旋转机构，各个所述固持组件能固持所述固持架，且而各个所述旋转机构能使所述固持组件所固持的所述固持架旋转一预定角度。

6.一种基板处理设备，其特征在于，所述基板处理设备用以对多个基板进行一预定处理，所述基板处理设备包含：

多个固持架，各个所述固持架用以固持一个所述基板，以使所述基板吊挂于空中；

一上料装置，其用以将多个所述基板逐一地固定设置于各个所述固持架上；

一直送移载装置，其用以承载多个所述固持架，且所述直送移载装置用以使多个所述固持架沿一直送路径，由邻近于所述上料装置的位置移动至邻近于一出料装置的位置；所述出料装置用以将各个所述基板由相对应的所述固持架上卸下；

至少一基板处理装置，其设置于所述直送路径上，所述直送移载装置能使多个所述固持架通过所述基板处理装置，而所述基板处理装置用以对设置多个所述固持架上的多个所述基板进行所述预定处理；以及

一回送移载装置，其用以承载多个所述固持架，且所述回送移载装置用以使位于邻近于所述出料装置的多个所述固持架，沿一回送路径移动至邻近于所述上料装置的位置；

其中，所述回送移载装置或所述上料装置能使多个所述固持架由邻近于所述上料装置的位置移载至所述直送移载装置；其中，所述直送路径不同于所述回送路径，而所述直送路径及所述回送路径共同形成一循环路径。

7.依据权利要求6所述的基板处理设备，其特征在于，所述直送移载装置包含有至少一第一移载装置，所述第一移载装置包含一第一承载机构及一第一移动模块，所述第一承载机构用以承载多个所述固持架，所述第一移动模块用以使设置于所述第一承载机构上的多个所述固持架沿所述直送路径移动；所述回送移载装置包含：

至少一第二移载装置，其包含一第二承载机构及一第二移动模块，所述第二承载机构用以承载多个所述固持架，所述第二移动模块用以使设置于所述第二承载机构上的多个所述固持架沿一第一旁路路径移动；

一第一转换装置，其用以将设置于所述第一承载机构上的所述固持架及其所夹持的所述基板，移载至所述第二承载机构；

至少一第三移载装置，其包含一第三承载机构及一第三移动模块，所述第三承载机构用以承载多个所述固持架，所述第三移动模块用以使设置于所述第三承载机构上的多个所述固持架沿一第二旁路路径移动；

一第二转换装置，其用以将设置于所述第二承载机构上的所述固持架，移载至所述第三承载机构；

至少一第四移载装置，其包含一第四承载机构及一第四移动模块，所述第四承载机构用以承载多个所述固持架，所述第四移动模块用以使设置于所述第四承载机构上的多个所述固持架沿一第三旁路路径移动；其中，所述第四承载机构的一端邻近于所述上料装置设置；

一第三转换装置，其用以将设置于所述第三承载机构上的所述固持架，移载至所述第四承载机构；

一第四转换装置，其用以将设置于所述第四承载机构上的所述固持架，移载至所述直送移载装置；

其中，所述第一旁路路径不同于所述第二旁路路径，所述第二旁路路径不同于所述第三旁路路径，所述第一旁路路径不同于所述第三旁路路径，所述第一旁路路径、所述第二旁路路径及所述第三旁路路径共同形成所述回送路径。

8.依据权利要求6所述的基板处理设备，其特征在于，所述基板处理装置用以对设置于各个所述固持架上的所述基板进行一上漆作业，以使各个所述基板的至少一表面覆盖有一漆料；所述基板处理设备还包含一清洗装置，其设置于所述回送路径上，所述回送移载装置能使多个所述固持架通过所述清洗装置，而所述清洗装置用以对多个所述固持架进行一清洗作业。

9.依据权利要求7所述的基板处理设备，其特征在于，所述直送移载装置还包含一暂存装置，所述暂存装置设置于所述第一移载装置及所述上料装置之间；所述暂存装置包含一暂存承载机构、一暂存移动模块及一限位机构，所述暂存承载机构用以承载多个所述固持架，所述暂存移动模块用以使设置于所述暂存承载机构上的多个所述固持架沿所述直送路径移动；所述限位机构用以限制至少一个所述固持架于所述第一承载机构的活动范围；所述第四转换装置用以使多个所述固持架由所述第四承载机构，移动至所述暂存承载机构；所述暂存装置与所述第一移载装置之间还设置有一辅助移载装置，所述辅助移载装置用以将设置于所述暂存承载机构上的多个所述固持架，移载至所述第一承载机构上。

10.依据权利要求9所述的基板处理设备，其特征在于，各个所述固持架具有一附加电路板及一吊臂，所述吊臂连接所述附加电路板，所述吊臂远离所述附加电路板的一端具有多个夹具，多个所述夹具用以共同夹持所述基板，所述附加电路板用以设置于所述第一承载机构、所述第二承载机构、所述第三承载机构、所述第四承载机构及所述暂存承载机构；所述限位机构具有多个定位件，所述限位机构能被控制，而多个所述定位件能对应抵靠于所述附加电路板的两侧，据以限制所述固持架于所述第一承载机构的活动范围；所述第一转换装置、所述第二转换装置、所述第三转换装置及所述第四转换装置分别具有一固持组件及一旋转机构，各个所述固持组件能固持所述固持架，且而各个所述旋转机构能使所述固持组件所固持的所述固持架旋转一预定角度。

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