TWI684739B

TWI684739B - 基板烘烤設備及基板烘烤方法

Info

Publication number: TWI684739B
Application number: TW108113728A
Authority: TW
Inventors: 陳安順
Original assignee: 群翊工業股份有限公司
Priority date: 2019-04-19
Filing date: 2019-04-19
Publication date: 2020-02-11
Also published as: TW202040078A; CN111822288A; CN111822288B

Abstract

本發明公開一種基板烘烤方法，其包含：上料步驟：控制上料裝置將多個基板逐一地平放至基板承載框體中；進入步驟：控制移入裝置，將承載有多個基板的基板承載框體，送入烘烤裝置的烘烤通道中；移動步驟：控制烘烤裝置中的通道移載機構，以使設置於烘烤通道中的基板承載框體，於烘烤通道中移動；離開步驟：控制移出裝置，將承載有多個基板的基板承載框體，由烘烤裝置的一出口端離開烘烤通道；卸料步驟：控制卸料裝置將多個基板逐一地由基板承載框體中卸下。

Description

基板烘烤設備及基板烘烤方法

本發明涉及一種基板烘烤設備及基板烘烤方法，特別是適用於電路板的基板烘烤設備及基板烘烤方法。

現有的電路板處理設備，大多是具有一基板噴塗裝置、一機械手臂及一烘烤爐。基板通過基板噴塗裝置於其表面噴塗漆料後，機械手臂將會逐一把基板移載至烘烤爐中的夾具上。此種方式存在有諸多問題，舉例來說，機械手臂的造價昂貴，從而導致電路板處理設備的整體造價高昂；再者，利用機械手臂將基板移載至夾具上的過程，需要耗費大量的時間，從而導致整個基板處理的效率低落。

本發明公開一種基板烘烤設備及基板烘烤方法，主要是用以改善現有的基板烘烤方法及其設備，所存在的設備成本高昂，且將大量的基板移入烘烤裝置中需要耗費大量時間的問題。

本發明的實施例公開一種基板烘烤設備，其包含：一烘烤裝置，其包含一烘烤通道，烘烤通道的兩端分別為一入口端及一出口端，烘烤裝置能被控制而使烘烤通道到達一預定溫度；一基板承載框體，其用以承載多個基板，基板承載框體包含：一連接壁；多個延伸壁，其由連接壁的一側向同一方向延伸形成，各個延伸壁的寬側面內凹形成有一貫穿孔；各個延伸壁設置有多個支撐結構，各個支撐結構的一部分位於貫穿孔中，而各個貫穿孔被多個支撐結構區隔為多個容置間隙；其中，延伸壁的各個支撐結構用來支撐各個基板的一部分，而多個延伸壁的多個支撐結構能共同支撐多個基板；其中，被多個延伸壁的多個支撐結構所支撐的多個基板，對應位於多個延伸壁的多個容置間隙中；一上料裝置，其鄰近於入口端設置，上料裝置用以將多個基板逐一地平放設置於基板承載框體的多個支撐結構上；被上料裝置設置於基板承載框體中的多個基板，其分別被各個延伸壁的其中一個支撐結構支撐；一移入裝置，其鄰近於入口端設置，移入裝置用以將承載有多個基板的基板承載框體，由上料裝置移入烘烤通道中；一通道移載機構，其設置於烘烤裝置中，通道移載機構用以使設置於烘烤通道中的多個基板承載框體，由入口端移動至出口端；一移出裝置，其鄰近於出口端設置，移出裝置用以將承載有多個基板的基板承載框體，由烘烤通道的出口端移出至一卸料裝置；卸料裝置用以將設置於基板承載框體上的多個基板逐一地卸下。

本發明實施例還公開一種基板烘烤方法，其適用於上述的基板烘烤設備，基板烘烤方法包含：一上料步驟：控制上料裝置將多個基板逐一地平放至基板承載框體中，而使多個基板被多個支撐結構支撐；一進入步驟：控制移入裝置，將承載有多個基板的基板承載框體，由入口端送入烘烤通道中；一移動步驟：控制通道移載機構，以使設置於烘烤通道中的基板承載框體，由入口端移動至出口端；一離開步驟：控制移出裝置，使承載有多個基板的基板承載框體，由出口端離開烘烤通道；一下料步驟：控制卸料裝置將多個基板逐一地由基板承載框體中卸下；當卸料裝置將多個基板由基板承載框體中卸除後，則執行以下步驟：一回流步驟：使沒有承載任何基板的基板承載框體，由鄰近於出口端的位置移動至鄰近於入口端；其中，於上料步驟中，上料裝置是將多個基板逐一設置於鄰近於入口端的基板承載框體。

本發明實施例還公開一種基板烘烤方法，其包含：一上料步驟：控制一上料裝置將多個基板逐一地平放至一基板承載框體中；其中，設置於基板承載框體中的多個基板，彼此間間隔地設置；一進入步驟：控制一移入裝置，將承載有多個基板的基板承載框體，由一烘烤裝置的一入口端，送入烘烤裝置的一烘烤通道中；一移動步驟：控制烘烤裝置中的一通道移載機構，以使設置於烘烤通道中的基板承載框體，於烘烤通道中移動；一離開步驟：控制一移出裝置，使承載有多個基板的基板承載框體，由烘烤裝置的一出口端離開烘烤通道；一卸料步驟：控制一卸料裝置將多個基板逐一地由基板承載框體中卸下。

綜上所述，本發明的基板烘烤方法及基板烘烤設備，可以大幅提升將大量的基板移入烘烤裝置中的速度，從而可以大幅提升對大量基板進行烘烤作業的效率。

為能更進一步瞭解本發明的特徵及技術內容，請參閱以下有關本發明的詳細說明與附圖，但是此等說明與附圖僅用來說明本發明，而非對本發明的保護範圍作任何的限制。

A‧‧‧基板烘烤設備

1‧‧‧基板承載框體

11‧‧‧連接壁

111‧‧‧寬側面

12‧‧‧延伸壁

121‧‧‧貫穿孔

122‧‧‧內側壁

13‧‧‧支撐結構

131‧‧‧平緩區段

132‧‧‧傾斜區段

2‧‧‧上料裝置

21‧‧‧載台

22‧‧‧升降機構

3‧‧‧基板輸送裝置

31‧‧‧滾輪組件

311‧‧‧支撐架

312‧‧‧第一滾輪

313‧‧‧第二滾輪

314‧‧‧第二固定結構

315‧‧‧彈簧

32‧‧‧第一固定結構

4‧‧‧烘烤裝置

41‧‧‧烘烤通道

41A‧‧‧入口端

41B‧‧‧出口端

5‧‧‧通道移載機構

6‧‧‧移入裝置

61‧‧‧滑軌

62‧‧‧夾爪組件

621‧‧‧夾爪

63‧‧‧縱向滑軌

7‧‧‧移出裝置

71‧‧‧滑軌

72‧‧‧夾爪組件

8‧‧‧卸料裝置

90‧‧‧回流裝置

91‧‧‧旋轉裝置

911‧‧‧旋轉台

B‧‧‧基板輸送裝置

D1‧‧‧間隔距離

S‧‧‧容置間隙

P‧‧‧基板

S1-S6‧‧‧流程步驟

圖1顯示為本發明的基板烘烤設備的側視示意圖。

圖2顯示為本發明的基板烘烤方法的流程示意圖。

圖3為本發明的基板承載框體及上料裝置的立體示意圖。

圖4為本發明的基板承載框體及上料裝置的側視示意圖。

圖5為本發明的基板承載框體及上料裝置的上視示意圖。

圖6至圖8為本發明的基板烘烤設備的上料裝置將基板設置於基板承載框體中的作動示意圖。

圖9為本發明的基板烘烤設備的移入裝置(移出裝置)的其中一個實施例的示意圖。

於以下說明中，如有指出請參閱特定圖式或是如特定圖式所示，其僅是用以強調於後續說明中，所述及的相關內容大部份出現於該特定圖式中，但不限制該後續說明中僅可參考所述特定圖式。

請參閱圖1，其顯示為本發明的基板烘烤設備的側面示意圖。如圖所示，基板烘烤設備A包含：多個基板承載框體1、一上料裝置2、一烘烤裝置4、一通道移載機構5、一移入裝置6、一移出裝置7、一卸料裝置8、一回流裝置90及一旋轉裝置91。在不同的應用中，基板烘烤設備A可以是不包含有回流裝置90及旋轉裝置91。

基板承載框體1用來承載多個基板P，所述基板P例如是各式電路板。烘烤裝置包含一烘烤通道41。烘烤通道41的兩端分別為一入口端41A及一出口端41B。烘烤裝置4能被控制而使烘烤通道41到達一預定溫度。上料裝置2鄰近於入口端設置，上料裝置2用以使多個基板P平放於基板承載框體1中。

烘烤裝置4中例如可以是包含有多個加熱器，而多個加熱器能分別受控制，以使烘烤通道41到達所述預定溫度。在具體的應用中，烘烤通道41可以是區分有多個區段，各個區段的溫度可以是彼此不相同，舉例來說，烘烤通道41於鄰近於入口端41A的多個區段的溫度可以是逐漸升高，而烘烤通道41於鄰近於出口端41B的多個區段的溫度則可以是逐漸降低至室溫。

通道移載機構5設置於烘烤裝置4中，通道移載機構5用以使設置於烘烤通道41中的多個基板承載框體1，由入口端41A移動至出口端41B。所述通道移載機構5具體所包含的構件，於此不加以限制，任何可以使基板承載框體1於烘烤通道41中移動的機構，皆屬於所述通道移載機構5可實施的範圍，舉例來說，通道移載機構5可以是利用輸送帶等機構來輸送基板承載框體1；或者，通道移載機構5也可以是利用滑軌等機構來輸送基板承載框體1。

移入裝置6鄰近於上料裝置2及入口端41A設置，移入裝置6用以將通過所述上料裝置2，而承載有多個基板P的基板承載框體1，由所述入口端41A送入烘烤通道41中。移入裝置6例如可以是包含有一滑軌61及一夾爪組件62。夾爪組件62能被控制以夾持基板承載框體1，且夾爪組件62能被控制而於滑軌61上移動，而夾爪組件62能沿滑軌61於上料裝置2及烘烤通道41之間移動。在具體的應用中，夾爪組件62也可以是能受控制而相對於滑軌61上下移動，藉此便於夾持基板承載框體1。

移出裝置7鄰近於出口端41B設置，移出裝置7用以將承載有多個基板P的基板承載框體1，由烘烤通道41的出口端41B移出至卸料裝置8。卸料裝置8用以將設置於基板承載框體1上的多個基板P逐一地卸下。在實際應用中，移出裝置7例如可以是包含有一夾爪組件72及一滑軌71。夾爪組件72能被控制以夾持基板承載框體1，且夾爪組件72能被控制而於滑軌71上移動，而夾爪組件72能沿滑軌71於烘烤通道41及卸料裝置8之間移動。在具體的應用中，夾爪組件72也可以是能受控制而相對於滑軌71上下移動，藉此便於夾持基板承載框體1。

回流裝置90鄰近於卸料裝置8設置。回流裝置90用以將被卸料裝置8卸除其所承載的多個基板P的基板承載框體1，由鄰近於烘烤通道41的出口端41B，移載至鄰近於烘烤通道41的入口端41A。

請參閱圖2，其顯示為本發明的基板烘烤方法的流程示意圖。本發明的基板烘烤方法可以是利用上述基板烘烤設備A執行，但不侷限於僅可利用上述基板烘烤設備A執行。基板烘烤方法包含以下步驟：一上料步驟S1：控制上料裝置2將多個基板P逐一地平放至基板承載框體1中；其中，設置於基板承載框體1中的多個基板P，彼此間間隔地設置；一進入步驟S2：控制移入裝置6，將承載有多個基板P的基板承載框體1，由烘烤裝置4的入口端41A，送入烘烤裝置4的烘烤通道41中；一移動步驟S3：控制烘烤裝置4中的通道移載機構5，以使設置於烘烤通道41中的基板承載框體1，於烘烤通道41中移動；一離開步驟S4：控制移出裝置7，將承載有多個基板P的基板承載框體1，由烘烤裝置4的出口端41B離開烘烤通道41至卸料裝置8；一下料步驟S5：控制卸料裝置8將多個基板P逐一地由基板承載框體1中卸下；當卸料裝置8將多個基板P由基板承載框體1中卸除後，則執行以下步驟：一回流步驟S6：使沒有承載任何基板P的基板承載框體1，由鄰近於出口端41B的位置移動至鄰近於入口端41A的位置；其中，於上料步驟中，上料裝置2是將多個基板P逐一設置於位於入口端41A的基板承載框體1。

簡單來說，本發明的基板烘烤方法，是先利用上料裝置2，將多個基板P平放於基板承載框體1中，而後透過移入裝置6將基板承載框體1及其所承載的多個基板P一同設置於烘烤裝置4的烘烤通道41中。在基板承載框體1及其所承載的基板P完成烘烤作業後，烘烤裝置4中的通道移載機構5，將可以與移出裝置7相互配合，以將基板承載框體1及其所承載的多個基板P一同移出烘烤通道41。接著，透過卸料裝置8將基板承載框體1所承載的多個基板P逐一卸下；最後，利用回流裝置90，將沒有承載任何基板P的基板承載框體1，由鄰近於烘烤通道41的出口端41B的位置，移載至鄰近烘烤通道41的入口端41A的位置。

現有的基板烘烤方法大多是利用機械手臂，將表面塗佈有漆料的電路板，逐一地設置於吊架上，而後使多個吊架於烘烤裝置中移動以進行烘烤作業。在電路板完成烘烤作業後，再透過另一個機械手臂將電路板逐一地由吊架上移下。此種烘烤方法存在有諸多問題，舉例來說，此方法需利用兩個高精度的機械手臂，來將電路板安裝於吊架上或者是由吊架上移下電路板，因此，此烘烤方法所利用的設備成本高昂。再者，此種基板烘烤方法由於是利用機械手臂，將電路板安裝於吊架上，或者是將電路板由吊架上移下，因此，在對大量的基板進行烘烤作業的過程中，必須耗費大量的時間在將電路板安裝、卸下作業，從而導致整體的烘烤作業程序效率低落。

反觀，本發明的基板烘烤方法，是使多個基板P平放於基板承載框體1中，而後是將整個基板承載框體1及其所承載的多個基板P一同設置於烘烤裝置4中，因此，將可以大幅提升將大量的基板P移入烘烤裝置4中的速度，從而可以提升整體烘烤作業的效率。另外，基板承載框體1可以是利用簡單的夾持機構來移載，也就是說，基板承載框體1無需利用高單價的機械手臂來移載。

請參閱圖3至圖5，在實際應用中，基板承載框體1可以包含：一連接壁11、四個延伸壁12及多個支撐結構13。連接壁11在具體的實施中，可以是如同圖3所示，呈現為中空框架狀，但連接壁11不侷限於呈現為框架狀，在不同的實施例中，連接壁11也可以是非中空的片狀結構。

四個延伸壁12由連接壁11的一側向同一方向(如圖3所示座標的-Y軸方向)延伸形成。關於延伸壁12的數量可以是依據需求(例如是基板P的尺寸)決定，不侷限為圖中所示的四個，但延伸壁12的最少的數量是兩個。關於延伸壁12的外型可以是如圖3所示，呈現為中空框架狀，但不以此為限，在不同的實施例中，各延伸壁12也可以是非中空的片狀結構。

各個延伸壁12的寬側面內凹形成有一貫穿孔121(如圖4所示)。各個貫穿孔121貫穿延伸壁12。各個貫穿孔121的外型例如是矩形，但不以此為限，可以是依據需求為任何外型。

各個延伸壁12設置有多個支撐結構13，各個支撐結構13的一部分位於貫穿孔121中，而各個貫穿孔121被多個支撐結構13區隔為多個容置間隙S。具體來說，各個支撐結構13是條狀結構(例如可以是鋼纜)，而各個支撐結構13的兩端是對應固定於，各個延伸壁12形成貫穿孔121的兩個彼此相面對的內側壁122(如圖4所示)。關於各個延伸壁12所設置的支撐結構13的數量可以是依據需求選擇，本實施例圖式所示的數量僅為其中一示範態樣。

各個延伸壁12具有相同數量的支撐結構13，且各個延伸壁12的多個支撐結構13的設置位置，與相鄰的延伸壁12的多個支撐結構13的設置位置是大致相同的，而任一個延伸壁12的任一個支撐結構13，能與其餘的延伸壁12所對應的其中一個支撐結構13共同支撐一個基板P；也就是說，各個支撐結構13是用來支撐基板P的一部分，而位於不同延伸壁12的彼此相鄰的多個支撐結構13，將可以共同支撐一片基板P。被多個延伸壁12的多個支撐結構13所支撐的多個基板P，將對應位於多個延伸壁12的多個容置間隙S中，因此，在實際應用中，兩個相鄰的支撐結構13之間形成的容置間隙S的寬度是大於所欲承載的基板P的厚度。

在實際應用中，各個延伸壁12所具有的支撐結構13的數量可以是依據需求變化，而各個延伸壁12所具有的支撐結構13的數量則大致對應於基板承載框體1所能夠承載的基板P的數量。舉例來說，若任一個延伸壁12具有10個支撐結構13，則基板承載框體1將可以承載10片基板P。

如圖4所示，在支撐結構13應用於支撐薄形電路板的實施例中，各個支撐結構13可以包含有一平緩區段131及兩個傾斜區段132，平緩區段131位於兩個傾斜區段132之間，而兩個傾斜區段132鄰近於形成貫穿孔121的內側壁122設置，且各個支撐結構13於各個傾斜區段132是向平緩區段131的方向傾斜。也就是說，各個支撐結構13在圖4所示的視圖中，可以是呈現為類似凹口向上的弧線狀。

透過兩個傾斜區段132及平緩區段131的設計，當厚度較薄的基板P，設置於支撐結構13上時，基板P的兩側邊將對應抵靠於支撐結構13的兩個傾斜區段132，且基板P的中心位置將受重力作用而稍微內彎，並據以抵靠於支撐結構13的平緩區段131，如此，在基板P的表面上漆有漆料的情況下，漆料將不易沾染到基板承載框體1。需說明的，在不同的實施例中，各個支撐結構13也可以是不具有所述傾斜區段132，而各個支撐結構13可以是呈現為直條狀。

依上所述，基板承載框體1主要是利用設置於各個延伸壁12中的多個支撐結構13，來共同支撐多個基板P，而基板承載框體1可以達到大量且穩定地承載多個基板P的技術功效。基板承載框體1還具有結構簡單而製造成本低的技術功效。另外，基板承載框體1還具有在承載有多個基板P的情況下，可以容易地被運輸的技術功效。值得一提的是，連接壁11、延伸壁12及支撐結構13的材質可以是依據烘烤裝置4中的溫度而選擇，例如是不銹鋼等，但不以此為限。

請參閱圖3及圖8，特別說明的是，本發明的基板承載框體1應用來承載表面上漆有漆料的電路板時，基板承載框體1的各個延伸壁12可以是沿連接壁11的法線方向(圖3中所示座標的-Y軸方向)延伸，且彼此相鄰的各個延伸壁12的寬側面是彼此相面對地設置，而各個支撐結構13同樣是沿連接壁11的法線方向(圖3中所示座標的-Y軸方向)設置，如此，基板P被多個延伸壁12的支撐結構13支撐時，基板P將可以是大致呈現平放的狀態，而位於基板P表面的漆料將不易沾染到相鄰的構件。換句話說，多個基板P設置於基板承載框體1中時，基板P的寬側面是大致垂直於連接壁11延伸形成有延伸壁12的寬側面111(如圖5所示)。

如圖3至圖5所示，上料裝置2包含有一載台21、一升降機構22及一基板輸送裝置3。載台21用以承載基板承載框體1。載台21連接升降機構22，升降機構22能被控制而使載台21沿所述縱向方向(例如圖中所示座標的Z軸方向)移動。關於載台21的外型及其與升降機構22連接的方式，於此皆不加以限制，任何可以平穩地承載基板承載框體1的結構都可以作為所述載台21，而任何可以使載台21沿縱向方向(較佳地是垂直上下移動)的機構，皆屬於所屬升降機構22可具體實施的範圍中。

基板輸送裝置3包含多個滾輪組件31。各個滾輪組件31能被控制而向同一個方向旋轉，而多個滾輪組件31同時旋轉時則能用來傳輸基板P。具體來說，基板輸送裝置3可以是包含有一第一固定結構32，第一固定結構32用以固定設置於機台本體，而多個滾輪組件31則固定設置於第一固定結構32。各個滾輪組件31可以包含一支撐架311、一第一滾輪312及一第二滾輪313。支撐架311的一端固定於第一固定結構32，支撐架311的另一端設置有一第二固定結構314。第一滾輪312的一端固定於第一固定結構32，第一滾輪312的另一端與第二滾輪313相連接，第二滾輪313相反於與第一滾輪312相連接的一端固定於第二固定結構314。

如圖4所示，各個滾輪組件31的第一滾輪312及第二滾輪313可以是向彼此相連接的位置傾斜地設置，也就是說，由各個滾輪組件31的側視圖來看，第一滾輪312及第二滾輪313可以是大致排列為V字型。當然，在不同的應用中，各個滾輪組件31的第一滾輪312及第二滾輪313也可以是非傾斜地設置，而由各個滾輪組件31的側視圖來看，第一滾輪312 及第二滾輪313則可以是大致排列為一字型。另外，各個滾輪組件31也可以是僅包含有單一個滾輪。

值得一提的是，各個滾輪組件31還可以是包含有一彈簧315。彈簧315套設於第一滾輪312及第二滾輪313相連接的位置。

如圖3及圖4所示，當載台21位於初始位置時(即基板承載框體1完全未承載有基板P的狀態)，設置於載台21上的基板承載框體1是對應位於基板輸送裝置3的下方，而基板承載框體1是不與基板輸送裝置3相接觸，且基板承載框體1的多個延伸壁12及多個滾輪組件31是彼此交錯地設置，即，各個延伸壁12是對應位於相鄰的兩個滾輪組件31之間所形成的空隙中；另外，於此同時，基板承載框體1的連接壁11是位於遠離基板輸送裝置3的第一固定結構32的位置設置，也就是說，基板承載框體1的連接壁11是位於圖3的右側，而第一固定結構32則是對應位於圖3中的左側，如此，載台21被升降機構22帶動而沿縱向方向移動時，連接壁11將不會碰撞第一固定結構32，且多個延伸壁12將可以對應穿過多個滾輪組件31之間的空隙，而多個延伸壁12及多個滾輪組件31彼此將不會相互碰撞；相對地，在基板承載框體1隨載台21沿縱向方向移動時，多個滾輪組件31將可以對應穿過多個延伸壁12之間的空隙，而彼此相鄰的兩個延伸壁12之間的間隔距離D1(如圖5所示)，則是對應大於單一個滾輪組件31的寬度。

如圖6所示，在實際應用中，基板輸送裝置3的一側可以是鄰近一基板上漆設備的基板輸送裝置B設置，基板上漆設備的基板輸送裝置B能被控制，以將通過上漆作業而表面具有漆料的基板P，傳送至基板輸送裝置3及基板承載框體1中。

具體來說，基板上漆設備的基板輸送裝置B、基板烘烤設備A的上料裝置2及基板輸送裝置3可以是連接至一控制裝置(圖未示，例如各式電腦設備)，而控制裝置可以是控制基板上漆設備及基板烘烤設備A作動，以使表面具有漆料的基板P，移載至基板承載框體1中。

控制裝置具體控制基板上漆設備的基板輸送裝置B及基板烘烤設備A的方式可以是：先控制上料裝置2作動，以使載台21沿縱向方向向靠近多個滾輪組件31的方向移動，直到設置於載台21上的基板承載框體1的各個延伸壁12的其中一個支撐結構13，對應鄰近於多個滾輪組件31設置。而後，控制裝置將控制基板上漆設備的基板輸送裝置B及多個滾輪組件31作動，以使基板P由基板上漆設備的基板輸送裝置B，移動至多個滾輪組件31上。

如圖6至圖8所示，當基板P被移動至滾輪組件31上，由於各個延伸壁12的其中一個支撐結構13是對應鄰近於多個滾輪組件31設置，因此，基板P將可以是同時被多個支撐結構13及多個滾輪組件31支撐。

當基板P同時被多個支撐結構13及多個滾輪組件31支撐時，控制裝置將控制上料裝置2作動，以使載台21再次沿縱向方向移動，此時，原本同時設置於多個滾輪組件31及多個支撐結構13上的基板P，將被多個支撐結構13抵頂，而基板P將隨基板承載框體1一同相對於多個滾輪組件31移動，而後，基板P將離開多個滾輪組件31，而基板P將僅被基板承載框體1中的多個支撐結構13所支撐。

依上所述，控制裝置反覆地控制上料裝置2、基板輸送裝置3及基板上漆設備的基板輸送裝置B作動，將可以使基板P逐一地被設置於基板承載框體1中，控制裝置可以是直到基板承載框體1的所有支撐結構13皆承載有基板P後，再控制移入裝置6，將已承載有多個基板P的基板承載框體1移載烘烤通道41中。

特別強調的是，在不同的實施例中，當基板P設置於多個滾輪組件31上時，基板承載框體1的多個支撐結構13也可以是不與多個滾輪組件31共同支撐基板P，而多個支撐結構13僅是對應位於基板P的下方，而後，控制裝置控制基板承載框體1沿縱向方向上升時，位於基板P下方的多個支撐結構13將抵頂基板P，而原本被多個滾輪組件31支撐的基板P，將轉由多個支撐結構13支撐。

請復參圖5，由於基板承載框體1設置於載台21上時，多個延伸壁12是對應位於多個滾輪組件31之間，而基板承載框體1隨載台21沿縱向方向移動時，基板承載框體1是不與滾輪組件31相接觸，因此，在不同的實施例中，在將第一片基板P設置於基板承載框體1中的過程，也可以是先使基板P移動至多個滾輪組件31上後，再控制上料裝置2作動，以使基板承載框體1相對於滾輪組件31移動。換句話說，關於控制裝置控制基板輸送裝置3及上料裝置2的流程，不以上述說明為限，在實際應用中，皆可以依據需求變化。

依上所述，在實際應用中，卸料裝置8可以是與前述上料裝置2具有完全相同的構件，而卸料裝置8所具有的該些構件彼此間的連接關係，與前述關於上料裝置2相似，但卸料裝置8的作動方式是與上料裝置2相反。具體來說，如圖4、圖6及圖7所示，上料裝置2是使升降機構22逐漸地向上升，並配合基板輸送裝置3，而將基板輸送裝置3所傳輸的基板P逐一地設置於基板承載框體1中。相反地，卸料裝置8則是使升降機構22逐漸地向下降，以使基板承載框體1相對於多個滾輪組件31逐漸下降，而於基板承載框體1逐漸下降的過程中，原本位於基板承載框體1中的基板P，將會轉為被多個滾輪組件31支撐，而滾輪組件31則可據以將基板P向別處傳遞。

回流裝置90鄰近於出口端41B設置，回流裝置90用以將被移出裝置7將其所承載的多個基板P逐一地卸下後的基板承載框體1，移載至入口端41A。其中，上料裝置2用以將多個基板P逐一地平放設置於通過回流裝置90所回傳的基板承載框體1中。在實際應用中，回流裝置90可以是包含有輸送帶或是由多個滾輪棒，而輸送帶或滾輪棒則能受控制以承載基板承載框體1，從而使基板承載框體1由鄰近於出口端41B的位置，移動至鄰近於入口端41A的位置。

在實際應用中，回流裝置90及卸料裝置8之間還可以是設置有一旋轉裝置91，旋轉裝置91可以包含有一旋轉台911。通過卸料裝置8的卸料作業後，不再承載有多個基板P的基板承載框體1，則可以被移載至所述旋轉台911，旋轉台911則可以是使基板承載框體1旋轉一預定角度(例如是90度)後，使基板承載框體1進入回流裝置90中。透過使基板承載框體1先旋轉，再進入回流裝置90的方法，可以使得基板承載框體1於回流裝置90中更容易被運送。

請參閱圖9，其顯示為本發明的基板烘烤設備的移入裝置的其中一個實施例的示意圖。如圖所示，移入裝置6可以是包含有一滑軌61、一夾爪組件62及一縱向滑軌63。夾爪組件62與縱向滑軌63連接，而夾爪組件62能受控制，以沿縱向方向(如圖中所示座標的Z軸方向)移動。縱向滑軌63與滑軌61相連接，而縱向滑軌63能受控制以沿橫向方向(如圖中所示座標的X軸方向)移動。也就是說，移入裝置6能受控制，以使夾爪組件62沿縱向方向、橫向方向移動。

在實際應用中，夾爪組件62可以是包含有多個夾爪621。各個夾爪621可以是固定結構或者也可以是電動構件(例如電動夾具)，於此不加以限制。滑軌61、夾爪組件62及縱向滑軌63能相互配合，以固持設置於上料裝置2上的基板承載框體1。如圖1及圖9所示，具體來說，當上料裝置2使其所承載的基板承載框體1承載有多個基板後，相關的控制裝置(例如是電腦設備等)將可控制移入裝置6，以使夾爪組件62移動至鄰近於基板承載框體1的位置，而後控制裝置將再控制移入裝置6，以使夾爪組件62固持(例如是利用掛勾的方式或是以電動夾持的方式)基板承載框體1；接著，控制裝置可以是控制夾爪組件62沿縱向方向移動，據以使基板承載框體1離開載台21。而後，控制裝置將可再控制移入裝置6作動，以使夾爪組件62及其所固持的基板承載框體1沿橫向方移動，以移動至烘烤裝置4中。當夾爪組件62及其所固持的基板承載框體1被移載至烘烤裝置4中時，控制裝置可以再控制移入裝置6作動，以使夾爪組件62不再固持基板承載框體1，而將基板承載框體1置放於烘烤裝置4中。在移入裝置6已將其所固持的基板承載框體1置放於烘烤裝置4中時，控制裝置將可控制移入裝置6作動，而使夾爪組件62移動至上料裝置2的周圍。

簡單來說，移入裝置6將基板承載框體1由上料裝置2移入烘烤裝置4中的方式可以是：控制裝置先控制移入裝置6的夾爪組件62固持基板承載框體1，而後控制裝置控制夾爪組件62沿縱向方向移動，而使夾爪組件62所固持的基板承載框體1離開載台21；接著，控制裝置將控制夾爪組件62沿橫向方向移動，以使移入裝置6所固持的基板承載框體1進入烘烤裝置4中；最後，控制裝置將控制夾爪組件62作動，以使夾爪組件62不再固持基板承載框體1，而將基板承載框體1置放於烘烤裝置4中。

圖9所示及上述說明，是以移入裝置6為例，在實際應用中，移出裝置7也可以是具有同樣的構件，並利用相同的方式，將基板承載框體1由烘烤裝置4中移載至卸料裝置8上，於此不再贅述。

綜上所述，本發明的基板烘烤方法，是使承載有多個基板的基板承載框體一同設置於烘烤裝置中，因此，可以大幅提升將大量基板移入烘烤裝置的速度；且可以相對於機械手臂更便宜的手段，來將基板承載框體移入烘烤裝置中，因此，具有生產成本較低的技術功效。

以上所述僅為本發明的較佳可行實施例，非因此侷限本發明的專利範圍，故舉凡運用本發明說明書及圖式內容所做的等效技術變化，均包含於本發明的保護範圍內。

S1-S6‧‧‧流程步驟

Claims

一種基板烘烤設備，其包含：一烘烤裝置，其包含一烘烤通道，所述烘烤通道的兩端分別為一入口端及一出口端，所述烘烤裝置能被控制而使所述烘烤通道到達一預定溫度；一基板承載框體，其用以承載多個基板，所述基板承載框體包含：一連接壁；多個延伸壁，其由所述連接壁的一側向同一方向延伸形成，各個所述延伸壁的寬側面內凹形成有一貫穿孔，所述貫穿孔貫穿所述延伸壁設置；各個所述延伸壁設置有多個支撐結構，各個所述支撐結構的一部分位於所述貫穿孔中，而各個所述貫穿孔被多個所述支撐結構區隔為多個容置間隙；其中，各個所述延伸壁的各個所述支撐結構用來支撐各個所述基板的一部分，而多個所述延伸壁的多個所述支撐結構能共同支撐多個所述基板；其中，被多個所述延伸壁的多個所述支撐結構所支撐的多個所述基板，對應位於多個所述延伸壁的多個所述容置間隙中；一上料裝置，其鄰近於所述入口端設置，所述上料裝置用以將多個所述基板逐一地平放設置於所述基板承載框體的多個所述支撐結構上；被所述上料裝置設置於所述基板承載框體中的多個所述基板，其分別被各個所述延伸壁的其中一個所述支撐結構支撐；一移入裝置，其鄰近於所述入口端設置，所述移入裝置用以將承載有多個所述基板的所述基板承載框體，由所述上料裝置移入所述烘烤通道中；一通道移載機構，其設置於所述烘烤裝置中，所述通道移載機構用以使設置於所述烘烤通道中的多個所述基板承載框體，由所述入口端移動至所述出口端；一移出裝置，其鄰近於所述出口端設置，所述移出裝置用以將承載有多個所述基板的所述基板承載框體，由所述烘烤通道的所述出口端移出至一卸料裝置；所述卸料裝置用以將設置於所述基板承載框體上的多個所述基板逐一地卸下。
如請求項1所述的基板烘烤設備，其中，所述上料裝置還包含：一載台，所述載台用以承載所述基板承載框體；一升降機構，其與所述載台連接，所述升降機構用以使所述載台沿一縱向方向移動；一基板輸送裝置，其包含多個滾輪組件，多個所述滾輪組件用以傳輸多個所述基板；其中，多個所述滾輪組件及設置於所述載台上的所述基板承載框體的多個所述延伸壁交錯地設置；其中，當所述基板設置於多個所述滾輪組件上，且所述基板承載框體的多個所述延伸壁通過多個所述滾輪組件之間的空隙時，多個所述支撐結構將能對應支撐設置於所述滾輪組件上的所述基板。
如請求項1所述的基板烘烤設備，其中，所述卸料裝置還包含：一載台，所述載台用以承載所述基板承載框體；一升降機構，其與所述載台連接，所述升降機構用以使所述載台沿一縱向方向移動；一基板輸送裝置，其包含多個滾輪組件，多個所述滾輪組件用以傳輸多個所述基板；其中，多個所述滾輪組件及設置於所述載台上的所述基板承載框體的多個所述延伸壁交錯地設置；其中，當所述基板設置於多個所述滾輪組件上，且所述基板承載框體的多個所述延伸壁通過多個所述滾輪組件之間的空隙時，多個所述支撐結構將能對應支撐設置於所述滾輪組件上的所述基板。
如請求項1所述的基板烘烤設備，其中，所述基板烘烤設備還包含有一回流裝置，其鄰近於所述出口端設置，所述回流裝置用以將被所述移出裝置將其所承載的多個所述基板逐一地卸下後的所述基板承載框體，移載至鄰近於所述入口端的位置；其中，所述上料裝置用以將多個所述基板逐一地平放設置於通過所述回流裝置所回傳的所述基板承載框體中。
一種基板烘烤方法，其適用於如請求項1至4其中任一項所述的基板烘烤設備，所述基板烘烤方法包含：一上料步驟：控制所述上料裝置將多個所述基板逐一地平放至所述基板承載框體中，而使多個所述基板被多個所述支撐結構支撐；一進入步驟：控制所述移入裝置，將承載有多個所述基板的所述基板承載框體，由所述入口端送入所述烘烤通道中；一移動步驟：控制所述通道移載機構，以使設置於所述烘烤通道中的所述基板承載框體，由所述入口端移動至所述出口端；一離開步驟：控制所述移出裝置，使承載有多個所述基板的所述基板承載框體，由所述出口端離開所述烘烤通道；一下料步驟：控制所述卸料裝置將多個所述基板逐一地由所述基板承載框體中卸下；當所述卸料裝置將多個所述基板由所述基板承載框體中卸除後，則執行以下步驟：一回流步驟：使沒有承載任何所述基板的所述基板承載框體，由鄰近於所述出口端的位置移動至鄰近於所述入口端；其中，於所述上料步驟中，所述上料裝置是將多個所述基板逐一設置於鄰近於所述入口端的所述基板承載框體。
一種基板烘烤方法，其包含：一上料步驟：控制一上料裝置將多個基板逐一地平放至一基板承載框體中；其中，設置於所述基板承載框體中的多個所述基板是彼此間間隔地設置；一進入步驟：控制一移入裝置，將承載有多個所述基板的所述基板承載框體，由一烘烤裝置的一入口端，送入所述烘烤裝置的一烘烤通道中；一移動步驟：控制所述烘烤裝置中的一通道移載機構，以使設置於所述烘烤通道中的所述基板承載框體，於所述烘烤通道中移動；一離開步驟：控制一移出裝置，使承載有多個所述基板的所述基板承載框體，由所述烘烤裝置的一出口端離開所述烘烤通道；一卸料步驟：控制一卸料裝置將多個所述基板逐一地由所述基板承載框體中卸下；其中，所述基板承載框體包含：一連接壁；多個延伸壁，其由所述連接壁的一側向同一方向延伸形成，各個所述延伸壁的寬側面內凹形成有一貫穿孔，所述貫穿孔貫穿所述延伸壁設置；各個所述延伸壁設置有多個支撐結構，各個所述支撐結構的一部分位於所述貫穿孔中，而各個所述貫穿孔被多個所述支撐結構區隔為多個容置間隙；其中，所述延伸壁的各個所述支撐結構用來支撐各個所述基板的一部分，而多個所述延伸壁的多個所述支撐結構能共同支撐多個所述基板；其中，被多個所述延伸壁的多個所述支撐結構所支撐的多個所述基板，對應位於多個所述延伸壁的多個所述容置間隙中。
如請求項6所述的基板烘烤方法，其中，所述上料裝置還包含：一載台，所述載台用以承載所述基板承載框體；一升降機構，其與所述載台連接，所述升降機構用以使所述載台沿一縱向方向移動；一基板輸送裝置，其包含多個滾輪組件，多個所述滾輪組件用以傳輸多個所述基板；其中，多個所述滾輪組件及設置於所述載台上的所述基板承載框體的多個所述延伸壁交錯地設置；其中，當所述基板設置於多個所述滾輪組件上，且所述基板承載框體的多個所述延伸壁通過多個所述滾輪組件之間的空隙時，多個所述支撐結構將能對應支撐設置於所述滾輪組件上的所述基板。
如請求項6所述的基板烘烤方法，其中，所述卸料裝置還包含：一載台，所述載台用以承載所述基板承載框體；一升降機構，其與所述載台連接，所述升降機構用以使所述載台沿一縱向方向移動；一基板輸送裝置，其包含多個滾輪組件，多個所述滾輪組件用以傳輸多個所述基板；其中，多個所述滾輪組件及設置於所述載台上的所述基板承載框體的多個所述延伸壁交錯地設置；其中，當所述基板設置於多個所述滾輪組件上，且所述基板承載框體的多個所述延伸壁通過多個所述滾輪組件之間的空隙時，多個所述支撐結構將能對應支撐設置於所述滾輪組件上的所述基板。
如請求項6所述的基板烘烤方法，其中，當所述卸料裝置將多個所述基板由所述基板承載框體中卸除後，則執行以下步驟：一回流步驟：使沒有承載任何所述基板的所述基板承載框體，由鄰近於所述出口端的位置移動至鄰近於所述入口端的位置；其中，於所述上料步驟中，所述上料裝置是將多個所述基板逐一設置於鄰近於所述入口端的所述基板承載框體。