TWI692054B - 基板處理設備 - Google Patents

Abstract

本發明揭露一種基板處理設備，其包含：直送移載裝置及兩個基板處理裝置。直送移載裝置用以使多個固持架沿直送路徑移動，而使各個固持架由入料位置移動至出料位置。各個固持架用以固持基板。兩個基板處理裝置用以對多個基板分別進行不同的預定處理。各個基板處理裝置設置於直送路徑上，包含：多個固持架及回送移載裝置。回送移載裝置用以使位於出料位置的多個固持架，沿回送路徑移動至入料位置，回送路徑與直送路徑共同形成一循環路徑。基板處理裝置設置於循環路徑上。

Description

基板處理設備

本發明涉及一種基板處理設備，特別是一種適用於電路板製程中的基板處理設備。

現有一般常見的電路板處理設備，在對電路板的進行噴塗、烘烤等處理時，大多是使電路板平躺於設備中。然，使電路板平躺於設備中進行相關處理的方式，將使得電路板處理設備的整體體積龐大，且在電路板的尺寸較大的情況下，將存在有處理效率低落的問題。

本發明公開一種基板處理設備，主要用以改善現有電路板處理設備，使電路板平躺地設置於設備的方式，在實際應用中，所存在的效率低落的問題。

本發明實施例提供一種基板處理系統，其包含：至少一直送移載裝置，其用以承載多個固持架；直送移載裝置用以使多個固持架沿一直送路徑移動；各個固持架用以固持一個基板，以使基板吊掛於空中；至少兩個回送移載裝置，兩個回送移載裝置鄰近於直送移載裝置設置，各個回送移載裝置用以承載多個固持架；各個回送移載裝置與直送移載裝置相鄰接的兩個位置分別定義為一入料位置及一出料位置，直送移載裝置用以使多個固持架沿直送路徑，由入料位置移動至出料位置；各個回送移載裝置用以使多個固持架由出料位置沿一回送路徑移動至入料位置；其中，回送路徑與直送路徑共同形成一循環路徑；至少兩個基板處理裝置，兩個循環路徑上分別設置 有一個基板處理裝置，各個基板處理裝置用以對設置多個固持架上的多個基板進行預定處理。

本發明實施例還提供一種基板處理設備，其用以對多個基板進行一預定處理，基板處理設備包含：多個固持架，各個固持架用以固持一個基板，以使基板吊掛於空中；一上料裝置，其用以將多個基板逐一地固定設置於各個固持架上；一直送移載裝置，其用以承載多個固持架，且直送移載裝置用以使多個固持架沿一直送路徑，由鄰近於上料裝置的位置移動至鄰近於一出料裝置的位置；出料裝置用以將各個基板由相對應的固持架上卸下；至少一基板處理裝置，其設置於直送路徑上，直送移載裝置能使多個固持架通過基板處理裝置，而基板處理裝置用以對設置多個固持架上的多個基板進行預定處理；一回送移載裝置，其用以承載多個固持架，且回送移載裝置用以使位於鄰近於出料裝置的多個固持架，沿一回送路徑移動至鄰近於上料裝置的位置；其中，回送移載裝置或上料裝置能使多個固持架由鄰近於上料裝置的位置移載至直送移載裝置；其中，直送路徑不同於回送路徑，而直送路徑及回送路徑共同形成一循環路徑。

綜上所述，本發明的基板處理設備，利用固持架將電路板吊掛於空中，而使電路板以吊掛的方式進行相關的處理作業，如此，將可大幅提升電路板處理的效率。本發明的基板處理設備透過回送移載裝置的設置，可以讓吊架由出料位置被回送至入料位置，藉此可以讓吊架有效地被利用。另外，透過回送移載裝置的設置，固持架可以沿循環路徑移動多次，而使用者可以讓固持架所夾持的基板，通過基板處理裝置多次。

A:基板處理設備

1:固持架

11:承載板

111:穿孔

12:吊臂

13:夾具

2:上料裝置

3:直送移載裝置

31:第一移載裝置

311:第一承載機構

3111:傳動件

312:第一移動模組

32:清洗裝置

33:暫存裝置

331:暫存承載機構

332:暫存移動模組

333:限位機構

3331:定位件

34:輔助移載裝置

35:輔助基板處理裝置

351:噴塗移載裝置

352:第一噴塗轉換裝置

353:噴塗裝置

3531:第一噴塗移載裝置

3532:第二噴塗移載裝置

3533:轉換裝置

354:第二噴塗轉換裝置

355:第三噴塗轉換裝置

4:基板處理裝置

5:回送移載裝置

51:第二移載裝置

511:第二承載機構

512:第二移動模組

52:第一轉換裝置

521:第一軌道

522:第一滑動組件

523:第二軌道

524:第二滑動組件

525:固持組件

5251:活動夾爪

5252:旋轉機構

53:第三移載裝置

531:第三承載機構

532:第三移動模組

54:第二轉換裝置

55:第四移載裝置

551:第四承載機構

552:第四移動模組

56:第三轉換裝置

57:第四轉換裝置

6:出料裝置

P1:直送路徑

P2:回送路徑

P21:第一旁路路徑

P22:第二旁路路徑

P23:第三旁路路徑

S:基板處理系統

S1:直送移載裝置

S2:回送移載裝置

S3:轉換裝置

S4:入料裝置

S5:出料裝置

圖1為本發明的基板處理設備的第一實施例的示意圖。

圖2為本發明的基板處理設備的第一移載裝置、第二移載裝置、第三移載裝置及第四移載裝置的示意圖。

圖3為本發明的基板處理設備的第一移載裝置、第二移載裝置、第三移載裝置及第四移載裝置的另一視角的示意圖。

圖4為本發明的基板處理設備的第一轉換裝置、第二轉換裝置、第三轉換裝置及第四轉換裝置的另一視角的示意圖。

圖5為本發明的基板處理設備的第二實施例的示意圖。

圖6為本發明的基板處理系統的示意圖。

請一併參閱圖1至圖4，圖1顯示為本發明的基板處理設備的示意圖，圖2及圖3顯示為本發明的基板處理設備的第一移載裝置、第二移載裝置、第三移載裝置及第四移載裝置的示意圖，圖4顯示為本發明的基板處理設備的第一轉換裝置、第二轉換裝置、第三轉換裝置及第四轉換裝置57的示意圖。如圖1所示，基板處理設備A用以對多個基板(圖未示，例如是電路板)進行一預定處理。所述預定處理例如是上漆作業、烘烤作業等，但不以此為限。

基板處理設備A包含多個固持架1、一上料裝置2、一直送移載裝置3、一基板處理裝置4、一回送移載裝置5及一出料裝置6。直送移載裝置3用以承載多個固持架1，且直送移載裝置3用以使多個固持架1沿一直送路徑P1，由鄰近於上料裝置2的位置移動至鄰近於一出料裝置6的位置。基板處理裝置設置於直送路徑P1上，直送移載裝置3能使多個固持架1通過基板處理裝置4，而基板處理裝置4用以對設置多個固持架1上的多個基板進行預定處理。

回送移載裝置5用以承載多個固持架1，且回送移載裝置5用以使位於鄰近於出料裝置6的多個固持架1，沿一回送路徑P2移動至鄰近於上料裝置2的位置。其中，直送路徑P1不同於回送路徑P2，而直送路徑P1及回送 路徑P2共同形成一循環路徑。於本實施例中是以回送路徑P2包含第一旁路路徑P21、第二旁路路徑P22及第三旁路路徑P23為例，但不以此為限。

具體來說，如圖1所示，直送移載裝置3可以包含一第一移載裝置31。回送移載裝置5可以包含一第二移載裝置51、一第一轉換裝置52、一第三移載裝置53、一第二轉換裝置54、一第四移載裝置55、一第三轉換裝置56、一第四轉換裝置57。

如圖2所示，其顯示為第一移載裝置31的示意圖。各個固持架1用以固持一個基板，各個固持架1固持基板時，能使基板吊掛於空中。在實際應用中，各個固持架1可以是包含有一承載板11、一吊臂12及兩個夾具13。承載板11連接吊臂12，吊臂12相反於與承載板11相連接的一端設置有兩個夾具13，兩個夾具13能共同夾持一個基板。關於吊臂12的外型不以圖中所示為限。關於夾具13的數量及其相對於吊臂12的設置位置，不以圖中所示為限。第一移載裝置31包含一第一承載機構311及一第一移動模組312。第一承載機構311用以承載多個固持架1；第一移動模組312用以使設置於第一承載機構311上的多個固持架1沿一直送路徑P1(如圖1所示)移動。需說明的是，於此所述的直送路徑P1是指由入料裝置直接移動至出料裝置的路徑，而固持架1沿直送路徑P1移動時，固持架1沒有限制是沿直線移動。

第一承載機構311例如是包含有兩個傳動件3111，而多個固持架1的承載板11則是對應抵靠於兩個傳動件3111上，第一移動模組312例如包含有馬達等及相關的連接構件，而馬達等相關連接構件能驅動兩個傳動件3111作動，藉此，使設置於兩個傳動件3111上的多固持架1沿直送路徑P1移動。關於第一移動模組312使設置於第一承載機構311上的多個固持架1移動的方式，不以上述舉例為限，其可依據需求加以變化。上料裝置2鄰近於第一移載裝置31的一端設置。上料裝置2用以將多個基板逐一地固定設置於各個固持架1上。上料裝置2例如可以是包含有機械手臂。在實際應用中，圖中 所示的傳動件3111例如可以是各種型態的鏈條，但不以鏈條為限，可以是依據需求變化，舉例來說，傳動件3111也可以是皮帶等。

基板處理裝置4內部具有一移動通道(圖未示)。第一移載裝置31的至少一部分位於移動通道中，而基板處理裝置4用以對被多個固持架1所固持的多個基板進行預定處理。在實際應用中，基板處理裝置4例如可以是用來對設置於固持架1上的多個基板，進行一上漆作業(即前述預定處理)，以使各個基板的至少一表面覆蓋有一漆料，但基板處理裝置4對各個基板所進行的預定處理，不以上漆作業為限。

如圖2所示，其亦為第二移載裝置51的示意圖。第二移載裝置51包含一第二承載機構511及一第二移動模組512。第二承載機構511用以承載多個固持架1。第二移動模組512用以使設置於第二承載機構511上的多個固持架1沿一第一旁路路徑P21移動。關於第二承載機構511及第二移動模組512的具體實施例，與前述第一承載機構311及第一移動模組312的說明相同，於此不再贅述。

出料裝置6鄰近於第二移載裝置51設置，出料裝置6用以將設置於第二承載機構511上的各個固持架1所固持的基板，由固持架1上卸下。在具體的應用中，出料裝置6例如可以是包含有機械手臂。在圖1的實施例中，是以出料裝置6鄰近於第二移載裝置51設置為例，但在實際應用中，出料裝置6可以是依據需求鄰近於直送移載裝置3或是回送移載裝置5設置，於此不加以限制。

請一併參閱圖1及圖4，圖4顯示為第一轉換裝置52的示意圖。第一轉換裝置52設置於第一移載裝置31及第二移載裝置51之間。第一轉換裝置52用以將設置於第一承載機構311上的固持架1及其所夾持的基板，移載至第二承載機構511。

具體來說，第一轉換裝置52可以是包含有一第一軌道521及一第一滑動組件522，第一滑動組件522可滑動地設置於第一軌道521。第一滑動組件522包含一第二軌道523及一第二滑動組件524，第二滑動組件524可滑動地設置於第二軌道523。第二滑動組件524固定設置有一固持組件525。固持組件525用以固持各個固持架1的承載板11。舉例來說，各個固持架1的承載板11可以是具有多個穿孔111(如圖3所示)，而固持組件525可以是具有兩個活動夾爪5251，兩個活動夾爪5251能與兩個穿孔111相互配合，據以夾持固持架1。在實際應用中，固持組件525還可以包含有一旋轉機構5252，旋轉機構5252能控制兩個活動夾爪5251旋轉。當兩個活動夾爪5251夾持固持架1時，旋轉機構5252能控制兩個活動夾爪5251轉動，以使固持架1旋轉一預定角度。所述預定角度於此不加以限制，其可以是依據第一承載機構311及第二承載機構511的設置位置決定，但不以此為限。

如圖1至圖3所示，第三移載裝置53包含一第三承載機構531及一第三移動模組532。第三承載機構531用以承載多個固持架1，第三移動模組532用以使設置於第三承載機構531上的多個固持架1沿一第二旁路路徑P22移動。如圖2及圖3所示，第三移載裝置53的具體實施方式，可以是與前述第一移載裝置31相同，於此不加以贅述。

如圖1及圖4所示，第二轉換裝置54用以將設置於第二承載機構511上的固持架1，移載至第三承載機構531。第二轉換裝置54的具體實施方式，可以是與前述第一轉換裝置52相同，於此不加以贅述。第四移載裝置55包含一第四承載機構551及一第四移動模組552。第四承載機構551用以承載多個固持架1，第四移動模組552用以使設置於第四承載機構551上的多個固持架1沿一第三旁路路徑P23移動。如圖2及圖3所示，第四移載裝置55的具體實施方式，可以是與前述第一移載裝置31相同，於此不加以贅述。第三轉換裝置56用以將設置於第三承載機構531上的固持架1，移載至第四承載機構 551。第三轉換裝置56的具體實施方式，可以是與前述第一轉換裝置52相同，於此不加以贅述。

如圖1所示，在實際應用中，基板處理設備A還可以包含有一第四轉換裝置57。第四轉換裝置57用以將設置於第四承載機構551上的多個固持架1，移載至直送移載裝置3。如圖4所示，第四轉換裝置57的具體實施方式，可以是與前述第一轉換裝置52相同，於此不加以贅述。第一旁路路徑P21不同第二旁路路徑P22，第二旁路路徑P22不同於第三旁路路徑P23，第三旁路路徑P23不同於第一旁路路徑P21，而第一旁路路徑P21、第二旁路路徑P22及第三旁路路徑P23共同形成前述回送路徑P2。直送路徑P1不同於第一旁路路徑P21、第二旁路路徑P22或第三旁路路徑P23，而直送路徑P1、第一旁路路徑P21、第二旁路路徑P22或第三旁路路徑P23共同形成一循環路徑。固持架1則是通過上述直送移載裝置3及回送移載裝置5，而沿循環路徑反覆地移動。

在實際應用中，上述直送移載裝置3及回送移載裝置5可以是連接至一控制裝置(例如各式電腦設備)，而控制裝置可以是依據使用者需求，控制直送移載裝置3及回送移載裝置5作動，以使固持架1及其所夾持的基板，沿循環路徑移動的次數。換言之，本發明的基板處理設備A，透過直送移載裝置3及回送移載裝置5的設置，可以讓使用者依據需求，選擇使固持架1及其所夾持的基板，重複進入基板處理裝置4多次。舉例來說，在基板處理裝置4是對基板的表面進行上漆作業的實施中，使用者可以是使固持架1沿循環路徑移動兩次，而使固持架1上所夾持的基板，能重複進入基板處理裝置4中兩次，而基板的表面將被基板處理裝置4噴塗兩層漆料。

在本實施例的圖1中，是以基板處理裝置4鄰近於直送移載裝置3的第一移載裝置31為例，但基板處理裝置4不侷限於必須鄰近於直送移載裝置3設置，在實際應用中，基板處理裝置4可以是依據需求，而設置於循環 路徑上的任意位置。在上述說明及圖1中，是以基板處理設備A具有單一個基板處理裝置4為例，但基板處理裝置4的數量不以此為限，在不同的應用中，基板處理設備A可以是也可以是包含有兩個或是兩個以上的基板處理裝置4，舉例來說，兩個基板處理裝置4可以分別用來對基板進行上漆作業及烘烤作業。

如圖1所示，在實際應用中，基板處理設備A還可以包含一清洗裝置32。清洗裝置32設置於回送路徑P2上。具體來說，清洗裝置32可以是鄰近於第三移載裝置53設置。清洗裝置32能對設置於第三承載機構531上的多個固持架1進行一清洗作業，以去除各個固持架1上的漆料。在實際應用中，清洗裝置32內例如可以是包含有多個噴灑組件，而各個噴灑組件能噴出特定的化學液體或是清水；當多個固持架1移動至清洗裝置32中時，至少一部分的噴灑組件則可以是先對多個固持架1噴灑特定的化學液體，而後在化學液體與漆料相互作用一預定時間後，至少一部分的噴灑組件則會對多個固持架1噴灑清水。當然，清洗裝置32中還可以是包含有乾燥裝置，例如是吹氣組件等，乾燥裝置用以將固持架1上的液體吹落以乾燥固持架1。

請一併參閱圖1至圖3，在實際應用中，基板處理設備A的直送移載裝置3還可以包含一暫存裝置33。其中一個暫存裝置33可以是設置於第一移載裝置31及上料裝置2之間。暫存裝置33包含一暫存承載機構331、一暫存移動模組332及一限位機構333。暫存裝置33用以承載多個固持架1，暫存移動模組332用以使設置於暫存承載機構331上的多個固持架1沿直送路徑P1移動。限位機構333用以限制至少一個固持架1於第一承載機構311的活動範圍。關於暫存裝置33的數量不以兩個為限。如圖2及圖3所示，暫存裝置33的具體實施方式，可以是與前述第一移載裝置31相同，於此不加以贅述。

如圖3所示，在實際應用中，限位機構333可以是具有多個定位件3331及一驅動模組(圖未標示，例如可以包含有馬達等構件)。多個定位 件3331可以被驅動模組驅動，而選擇性地設置於其中一個固持架1的承載板11的前後兩側，藉此，使固持架1無法相對於第一承載機構311移動。具體來說，當第四轉換裝置57持續地將固持架1，設置於暫存承載機構331上時，相關的控制裝置可以是先控制限位機構333的多個定位件3331，與最鄰近於第一承載機構311的固持架1相互卡合，據以使固持架1無法相對於第一承載機構311移動，如此，後續被第四轉換裝置57所移載的固持架1的承載板11，將可以彼此緊密地抵靠排列，從而可以使暫存承載機構331有效地承載最大數量的固持架1。直送移載裝置3還可以包含有一輔助移載裝置34。輔助移載裝置34可以是設置於暫存裝置33與第一移載裝置31之間。輔助移載裝置34用以將設置於暫存裝置33上的多個固持架1，移載至第一承載機構311上。當暫存承載機構331承載有最大數量的固持架1時，相關的控制裝置則可以控制輔助移載裝置34作動，以將設置於暫存裝置33上的多個固持架1移至第一承載機構311上。

如圖4所示，輔助移載裝置34具體的實施方式，可以是與前述的第一轉換裝置52相同，意即，輔助移載裝置34可以包含有第一軌道521、及第一滑動組件522、第二軌道523、第二滑動組件524、固持組件525、活動夾爪5251及旋轉機構5252，而活動夾爪5251夾持固持架1時，旋轉機構5252可以將固持架1及其所承載的基板旋轉90度。在實際應用中，設置於暫存裝置33中的多個固持架1所固持的多個基板中，彼此相鄰的兩個基板的寬側面可以是彼此相面對地設置，而各個固持架1及其所固持的基板，被輔助移載裝置34移載至第一承載機構311後，則可以是轉換為彼此相鄰的兩個基板是窄側面彼此相面對地設置。由於在暫存裝置33中的彼此相鄰的兩個基板的寬側面是彼此相面對地設置，因此可以承載大量的固持架1，而在第一承載機構311上的兩個彼此相鄰的固持架1所固持的基板的窄側面是彼此相面對地 設置，因此，基板處理裝置4可以快速且有效地對基板的寬側面進行相關的處理。

請參閱圖5，其顯示為本發明的基板處理設備的第二實施例的示意圖。如圖所示，本實施例與前述實施例最大不同之處在於：直送移載裝置3還可以包含有一輔助基板處理裝置35，輔助基板處理裝置35及基板處理裝置4用以分別對基板進行不同的預定處理，舉例來說，輔助基板處理裝置35是用以對多個基板進行上漆作業，而基板處理裝置4則是用以對多個基板進行烘烤作業。輔助基板處理裝置35可以是設置於上料裝置2與前述基板處理裝置4之間，而上料裝置2是將基板移載至基板處理裝置4中，基板在通過輔助基板處理裝置35的處理後，將被移載至前述實施例的基板處理裝置4。

輔助基板處理裝置35可以包含有一噴塗移載裝置351、一第一噴塗轉換裝置352、一噴塗裝置353、一第二噴塗轉換裝置354及一第三噴塗轉換裝置355。噴塗裝置353中可以包含有一第一噴塗移載裝置3531、一第二噴塗移載裝置3532及一轉換裝置3533。噴塗移載裝置351、第一噴塗移載裝置3531及第二噴塗移載裝置3532具體所包含的構件，可以是與前述實施例所載第一移載裝置31及圖2、圖3所示的內容相同，於此不再贅述。第二噴塗轉換裝置354及第三噴塗轉換裝置355具體所包含的構件，可以是與前述實施例所載第一轉換裝置52及圖4所示的內容相同，於此不再贅述。噴塗裝置353中可以是包含有多個噴嘴組件，各個噴嘴組件能被控制而將漆料，噴塗於位於噴塗裝置353中的各個基板的表面。關於噴嘴組件具體的實施方式於此不加以限制。在噴塗裝置353中所具有的第一噴塗移載裝置3531及第二噴塗移載裝置3532，是彼此相面對地設置，而各個噴嘴組件可以同時將漆料，噴塗於設置於第一噴塗移載裝置3531及第二噴塗移載裝置3532上的多個固持架上的基板。

在圖5所示的實施例中，基板通過上料裝置2進入直送移載裝置3後，基板將依序通過輔助基板處理裝置35及基板處理裝置4，以進行上漆作業及烘烤作業，而後基板將隨固持架移動至出料裝置6，出料裝置6則會被控制以將通過上漆作業及烘烤作業的基板，由固持架上卸下，而後，固持架將被回送移載裝置5移載回鄰近於上料裝置2的位置。

值得一提的是，若是相關人員欲使基板的表面塗佈有兩層漆料，則可以是控制出料裝置6選擇性地作動。具體來說，使用者可以透過設定相關的控制裝置，使出料裝置6在同一批基板第一次通過時不作動，而使基板隨固持架沿回送路徑P2，再次進入直送移載裝置3中，基板再次進入直送移載裝置3後，將再次依序進入輔助基板處理裝置35及基板處理裝置4中；而後當基板再次通過出料裝置6時，相關控制裝置則可以控制出料裝置6作動，以使基板由固持架上卸下。

請參閱圖6，其顯示為本發明的基板處理系統的示意圖。如圖所示，基板處理系統S包含：兩個直送移載裝置S1、兩個回送移載裝置S2、一轉換裝置S3、一入料裝置S4及一出料裝置S5。各個直送移載裝置S1用以使多個固持架沿一直送路徑P1移動。於此所指的固持架與前述實施例所指的固持架1相同，請參閱前述實施例的說明，於此不再贅述。

各個回送移載裝置S2用以承載多個固持架。各個回送移載裝置S2與直送移載裝置S1相鄰接的兩個位置分別定義為一入料位置及一出料位置。直送移載裝置S1用以使多個固持架沿直送路徑，由入料位置移動至出料位置，而各個回送移載裝置S2則是用以使多個固持架由出料位置沿一回送路徑P2移動至入料位置。其中，回送路徑P2與直送路徑P1共同形成一循環路徑。兩個循環路徑上分別設置有一個基板處理裝置(圖6中未示，請參閱圖前述實施例的基板處理裝置4)，各個基板處理裝置用以對設置多個固持架上的多個基板進行預定處理。

本實施例所指的直送移載裝置S1及回送移載裝置S2，分別與前述實施例所載的直送移載裝置3及回送移載裝置5相同，而本實施例所指的單一個直送移載裝置S1及其相對應的回送移載裝置S2將可視為前述實施例的基板處理設備A。在圖6中，是以兩個直送移載裝置S1彼此分離地設置為例，而位於兩個直送移載裝置S1中的基板，則是透過轉換裝置S3進行移載，但在不同的應用中，兩個直送移載裝置S1也可以是彼此相連接。也就是說，在不同的應用中，也可以是單一個直送移載裝置S1配合兩個回送移載裝置S2。

A:基板處理設備

2:上料裝置

3:直送移載裝置

31:第一移載裝置

32:清洗裝置

33:暫存裝置

34:輔助移載裝置

51:第二移載裝置

52:第一轉換裝置

53:第三移載裝置

54:第二轉換裝置

55:第四移載裝置

56:第三轉換裝置

57:第四轉換裝置

4:基板處理裝置

5:回送移載裝置

6:出料裝置

P1:直送路徑

P2:回送路徑

P21:第一旁路路徑

P22:第二旁路路徑

P23:第三旁路路徑

Claims (10)

1. 一種基板處理系統，其包含：至少一直送移載裝置，其用以承載多個固持架；所述直送移載裝置用以使多個所述固持架沿一直送路徑移動；各個所述固持架用以固持一基板，以使所述基板吊掛於空中；至少兩個回送移載裝置，兩個所述回送移載裝置鄰近於所述直送移載裝置設置，各個所述回送移載裝置用以承載多個所述固持架；各個所述回送移載裝置與所述直送移載裝置相鄰接的兩個位置分別定義為一入料位置及一出料位置，所述直送移載裝置用以使多個所述固持架沿所述直送路徑，由各個所述入料位置移動至相對應的所述出料位置；各個所述回送移載裝置用以使多個所述固持架由所述出料位置沿一回送路徑移動至所述入料位置；其中，所述回送路徑與所述直送路徑共同形成一循環路徑；至少兩個基板處理裝置，兩個所述循環路徑上分別設置有一個所述基板處理裝置，各個所述基板處理裝置用以對設置多個所述固持架上的多個所述基板進行預定處理。
2. 如請求項1所述的基板處理系統，其中，所述直送移載裝置包含有至少一第一移載裝置，所述第一移載裝置包含一第一承載機構及一第一移動模組，所述第一承載機構用以承載多個所述固持架，所述第一移動模組用以使設置於所述第一承載機構上的多個所述固持架沿所述直送路徑移動；所述回送移載裝置包含：至少一第二移載裝置，其包含一第二承載機構及一第二移動模組，所述第二承載機構用以承載多個所述固持 架，所述第二移動模組用以使設置於所述第二承載機構上的多個所述固持架沿一第一旁路路徑移動；一第一轉換裝置，其用以將設置於所述第一承載機構上的所述固持架及其所夾持的所述基板，移載至所述第二承載機構；至少一第三移載裝置，其包含一第三承載機構及一第三移動模組，所述第三承載機構用以承載多個所述固持架，所述第三移動模組用以使設置於所述第三承載機構上的多個所述固持架沿一第二旁路路徑移動；一第二轉換裝置，其用以將設置於所述第二承載機構上的所述固持架，移載至所述第三承載機構；至少一第四移載裝置，其包含一第四承載機構及一第四移動模組，所述第四承載機構用以承載多個所述固持架，所述第四移動模組用以使設置於所述第四承載機構上的多個所述固持架沿一第三旁路路徑移動；一第三轉換裝置，其用以將設置於所述第三承載機構上的所述固持架，移載至所述第四承載機構；一第四轉換裝置，其鄰近於所述第四承載機構及所述第一承載機構設置，所述第四轉換裝置用以將設置於所述第四承載機構上的所述固持架，移載至所述第一承載機構；其中，所述第一旁路路徑不同於所述第二旁路路徑，所述第二旁路路徑不同於所述第三旁路路徑，所述第一旁路路徑不同於所述第三旁路路徑，所述第一旁路路徑、所述第二旁路路徑及所述第三旁路路徑共同形成所述回送路徑。
3. 如請求項1所述的基板處理系統，其中，其中一個所述基 板處理裝置用以對設置於各個所述固持架上的所述基板進行一上漆作業，以使各個所述基板的至少一表面覆蓋有一漆料；另一個所述基板處理裝置用以對設置於各個所述固持架上的所述基板進行一烘烤作業，以使各個所述基板的表面的漆料固化。
4. 如請求項3所述的基板處理系統，其中，所述基板處理系統還包含一清洗裝置，其設置於所述回送路徑上，所述回送移載裝置能使多個所述固持架通過所述清洗裝置，而所述清洗裝置用以對多個所述固持架進行一清洗作業。
5. 如請求項2所述的基板處理系統，其中，所述第一轉換裝置、所述第二轉換裝置、所述第三轉換裝置及所述第四轉換裝置分別具有一固持組件及一旋轉機構，各個所述固持組件能固持所述固持架，且而各個所述旋轉機構能使所述固持組件所固持的所述固持架旋轉一預定角度。
6. 一種基板處理設備，其用以對多個基板進行一預定處理，所述基板處理設備包含：多個固持架，各個所述固持架用以固持一個所述基板，以使所述基板吊掛於空中；一上料裝置，其用以將多個所述基板逐一地固定設置於各個所述固持架上；一直送移載裝置，其用以承載多個所述固持架，且所述直送移載裝置用以使多個所述固持架沿一直送路徑，由鄰近於所述上料裝置的位置移動至鄰近於一出料裝置的位置；所述出料裝置用以將各個所述基板由相對應的所述固持架上卸下；至少一基板處理裝置，其設置於所述直送路徑上，所述直送移載裝置能使多個所述固持架通過所述基板處理裝 置，而所述基板處理裝置用以對設置多個所述固持架上的多個所述基板進行所述預定處理；以及一回送移載裝置，其用以承載多個所述固持架，且所述回送移載裝置用以使位於鄰近於所述出料裝置的多個所述固持架，沿一回送路徑移動至鄰近於所述上料裝置的位置；其中，所述回送移載裝置或所述上料裝置能使多個所述固持架由鄰近於所述上料裝置的位置移載至所述直送移載裝置；其中，所述直送路徑不同於所述回送路徑，而所述直送路徑及所述回送路徑共同形成一循環路徑。
7. 如請求項6所述的基板處理設備，其中，所述直送移載裝置包含有至少一第一移載裝置，所述第一移載裝置包含一第一承載機構及一第一移動模組，所述第一承載機構用以承載多個所述固持架，所述第一移動模組用以使設置於所述第一承載機構上的多個所述固持架沿所述直送路徑移動；所述回送移載裝置包含：至少一第二移載裝置，其包含一第二承載機構及一第二移動模組，所述第二承載機構用以承載多個所述固持架，所述第二移動模組用以使設置於所述第二承載機構上的多個所述固持架沿一第一旁路路徑移動；一第一轉換裝置，其用以將設置於所述第一承載機構上的所述固持架及其所夾持的所述基板，移載至所述第二承載機構；至少一第三移載裝置，其包含一第三承載機構及一第三移動模組，所述第三承載機構用以承載多個所述固持架，所述第三移動模組用以使設置於所述第三承載機構上的多個所述固持架沿一第二旁路路徑移動； 一第二轉換裝置，其用以將設置於所述第二承載機構上的所述固持架，移載至所述第三承載機構；至少一第四移載裝置，其包含一第四承載機構及一第四移動模組，所述第四承載機構用以承載多個所述固持架，所述第四移動模組用以使設置於所述第四承載機構上的多個所述固持架沿一第三旁路路徑移動；其中，所述第四承載機構的一端鄰近於所述上料裝置設置；一第三轉換裝置，其用以將設置於所述第三承載機構上的所述固持架，移載至所述第四承載機構；一第四轉換裝置，其用以將設置於所述第四承載機構上的所述固持架，移載至所述直送移載裝置；其中，所述第一旁路路徑不同於所述第二旁路路徑，所述第二旁路路徑不同於所述第三旁路路徑，所述第一旁路路徑不同於所述第三旁路路徑，所述第一旁路路徑、所述第二旁路路徑及所述第三旁路路徑共同形成所述回送路徑。
8. 如請求項6所述的基板處理設備，其中，所述基板處理裝置用以對設置於各個所述固持架上的所述基板進行一上漆作業，以使各個所述基板的至少一表面覆蓋有一漆料；所述基板處理設備還包含一清洗裝置，其設置於所述回送路徑上，所述回送移載裝置能使多個所述固持架通過所述清洗裝置，而所述清洗裝置用以對多個所述固持架進行一清洗作業。
9. 如請求項7所述的基板處理設備，其中，所述直送移載裝置還包含一暫存裝置，所述暫存裝置設置於所述第一移載裝置及所述上料裝置之間；所述暫存裝置包含一暫存承載 機構、一暫存移動模組及一限位機構，所述暫存承載機構用以承載多個所述固持架，所述暫存移動模組用以使設置於所述暫存承載機構上的多個所述固持架沿所述直送路徑移動；所述限位機構用以限制至少一個所述固持架於所述第一承載機構的活動範圍；所述第四轉換裝置用以使多個所述固持架由所述第四承載機構，移動至所述暫存承載機構；所述暫存裝置與所述第一移載裝置之間還設置有一輔助移載裝置，所述輔助移載裝置用以將設置於所述暫存承載機構上的多個所述固持架，移載至所述第一承載機構上。
10. 如請求項9所述的基板處理設備，其中，各個所述固持架具有一承載板及一吊臂，所述吊臂連接所述承載板，所述吊臂遠離所述承載板的一端具有多個夾具，多個所述夾具用以共同夾持所述基板，所述承載板用以設置於所述第一承載機構、所述第二承載機構、所述第三承載機構、所述第四承載機構及所述暫存承載機構；所述限位機構具有多個定位件，所述限位機構能被控制，而多個所述定位件能對應抵靠於所述承載板的兩側，據以限制所述固持架於所述第一承載機構的活動範圍；所述第一轉換裝置、所述第二轉換裝置、所述第三轉換裝置及所述第四轉換裝置分別具有一固持組件及一旋轉機構，各個所述固持組件能固持所述固持架，且而各個所述旋轉機構能使所述固持組件所固持的所述固持架旋轉一預定角度。

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