CN111963616A - 具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台，限制填充材料的弹性系数，由此，使得填充材料与已浇筑混凝土等的抗弯刚度相似，从而，将其之间的不均一性最小化，并提高振动特性，通过提高分离隔震台之间的结合力而提高耐用性，防止在分离隔震台之间的钢筋相接时发生反冲现象，从而，防止分离隔震台的弯曲固有振动数低下，而与拉伸压缩载荷的稳定的传输一起，在振动侧面直接执行钢筋的弹性恢复功能。

Description

具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台
技术领域
本发明涉及模板一体式分离隔震台，更具体地涉及一种可分离式一体化隔震台，即使具有可分离式一体化结构，也能够具有与构成为完全一体的隔震台相同的动态特性。
背景技术
一般而言，半导体元件的制造工艺从光刻、蚀刻、薄膜层积而经过各种单位工艺，为此，使用各种半导体制造设备。
该半导体制造设备因执行精密的工艺，因在由外部传输的振动等非常脆弱，由此，为了确保半导体元件的高品质及收益率，需要对其进行解决，由此，研发一种隔震台。
现有的隔震台使得在上面设置半导体制造装置，以使半导体制造装置未直接被设置在地面上，由此，在一定程度上对外部振动进行吸收及缓解。
但，现有的隔震台存在了如下问题，因由大部分单一的物体构成，由此，在投入及设置时需要大量的空间，并引起产生大量的粉尘。
为了改善该问题，韩国注册专利第10-0791079号的“隔震台及其设置方法”作为现有技术而公开，其包括：设备支撑体，具有两个以上设备支撑组及贯通所述设备支撑组的侧面而相互间连接所述设备支撑组的组连接单元；及地面结构体，设置在所述设备支撑体的下部而支撑所述设备支撑体。
但，该现有的技术存在如下问题，无法充分考虑提高设备支撑组之间的结合力，在增强耐用性上存在限制，并且，为了将设备支撑组设置在地面结构体，而在设备支撑组形成螺栓接合孔，由此，不仅导致设备支撑组的耐用性低下，对其制造及设置也产生了麻烦。并且，现有技术因设备支撑组的分离结构而在提高振动特性方面存在限制。
发明内容
要解决的技术问题
为了解决如上所述的现有的技术问题，本发明的目的在于限制填充材料的弹性系数，使得填充材料与已浇筑混凝土等的抗弯刚度相似，将其之间的不均一性最小化，而提高振动特性，通过提高分离隔震台之间的结合力而提高耐用性，并防止在分离隔震台之间的钢筋相接时发生反冲现象，由此，防止分离隔震台的弯曲固有振动数低下，从而，与拉伸压缩载荷的稳定传输一起，在振动侧面顺利地执行钢筋的弹性恢复功能，在分离隔震台发生弯矩时，使得能够进行混凝土与模板的一体化行动，并提高隔震台的阻尼性能，由此，能够控制共振响应。
本发明的其它目的通过下面的实施例的说明而容易理解。
用于解决问题的技术方案
为了实现如上所述的目的，根据本发明的一方面提供一种具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台，包括：多个分离隔震台，两侧侧面与下部面由上方被开启的容纳空间的壳体的侧部水平延伸而形成连接空间，在所述容纳空间与所述连接空间铺设钢筋，在所述容纳空间内通过浇筑混凝土而形成钢筋混凝土；模板连接部，相互连接所述分离隔震台各自的壳体，以使相互连接所述分离隔震台各自的连接空间；钢筋连接部，相互连接显露至所述分离隔震台各自的连接空间的钢筋；及填充材料，使得能够在分别相互连接所述分离隔震台的连接空间内通过浇筑混凝土而形成钢筋混凝土，并使得具有被浇筑至所述容纳空间内的混凝土的弹性系数的50～200％的弹性系数。
所述模板连接部包括：固定螺栓，通过焊接分别固定至相互邻近的所述分离隔震台各自的连接空间底面上；连接板，被插入至各个所述固定螺栓；及螺母，分别螺旋接合至由所述连接板分别突出的固定螺栓，由此，固定使得所述连接板连接相互邻近的所述分离隔震台。
所述钢筋连接部包括：连接螺母，螺旋结合至形成于按一列配置在各个相互邻近的连接空间的钢筋各自的末端的外螺纹部，由此，使得相互连接钢筋；及防松螺母，螺旋结合至所述钢筋各自的外螺纹部，以分别与所述连接螺母两端相接，从而，防止所述连接螺母松开。
所述钢筋连接部还包括：限位垫圈，介于所述连接螺母与所述防松螺母之间，并具有大于所述连接螺母及所述防松螺母的宽度的直径。
还包括：剪力键，垂直设置在所述模板的下部面，防止混凝土的活动，所述剪力键包括：柱子，通过焊接垂直固定在所述模板的下部面；及头部，具有扩展至所述柱子的上端的直径或宽度。
还包括：剪力键，垂直设置于所述模板的下部面而防止混凝土的活动，所述剪力键包括：固定螺母，通过焊接固定至所述模板的下部面；连接螺栓，螺旋结合至所述固定螺母而垂直设置；头部，配置使得在所述连接螺栓的上端具有扩展的直径或宽度；及防松螺母，螺旋结合至所述连接螺栓而设置在所述固定螺母上。
减震垫，设置使得介于所述模板的下部面与所述混凝土或所述填充材料之间，以使所述剪力键贯通。
发明的效果
本发明的具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台具有如下效果，限制填充材料的弹性系数，由此，使得填充材料与已浇筑混凝土等的抗弯刚度类似，由此，将其之间的不均匀性最小化，而且，提高振动特性，并提高分离隔震台之间的结合力，由此，提高耐用性，且防止在连接分离隔震台之间的钢筋时，发生反冲现象，由此，防止因分离隔震台的弯曲固有振动数低下，而使得与稳定传输拉伸压缩载荷一起，顺利地在振动侧面执行弹性恢复功能，在分离隔震台发生弯矩时，能够使得进行混凝土与模板的一体化行动，并增强隔震台的减震性能，从而，提高控制共振响应。
附图说明
图1为显示具有本发明的一个实施例的同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台的平面图；
图2为显示具有本发明的一个实施例的同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台的侧截面图；
图3为显示具有本发明的另一实施例的同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台的侧截面图；
图4为显示本发明的又一实施例的同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台的侧截面图。
附图标记说明
110:分离隔震台 111:壳体
111a:侧面 111b:下部面
112:容纳空间 113:连接空间
114:钢筋 115:混凝土
120:模板连接部 121:固定螺栓
122:连接板 123:螺母
130:钢筋连接部 131:连接螺母
132:防松螺母 133:限位垫圈
140:填充材料 150、160:剪力键
151:柱子 152:头部
161:固定螺母 162:连接螺栓
163:头部 164:防松螺母
170:减震垫
具体实施方式
本发明能够施加各种变形，并具有各种实施例，将特定实施例在附图中进行例示并进行具体说明。但应当理解，其并非将本发明通过特定的实施形式限定，并包括包含于本发明的技术思想及技术范围内的各种变更、同等物以及代替物，并且，能够变形为各种其它形式，本发明的范围并非通过下面的实施例限定。
下面，参照附图对本发明的实施例进行具体说明，与附图符号无关，对于相同或对应的构成要素赋予相同的参照符号，并省略对其的重复说明。
图1为显示具有本发明的一个实施例的同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台的平面图，图2为显示具有本发明的一个实施例的同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台的侧面图。
参照图1及图2，具有本发明的一个实施例的同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台100包括：分离隔震台110、模板连接部120、钢筋连接部130及填充材料140，在组装多个分离隔震台110而设置在地面结构体时，在此，地面结构体为设置在用于设置半导体设备等的地面，例如设置在净化室的地面的结构，H型钢由形成为格子形的格构式梁或钢筋混凝土梁和柱等各种结构的房梁组装体构成。
分离隔震台110构成为多个，两侧侧面111a与下部面111b由分别形成上方开启的容纳空间112的壳体111的侧部水平延伸而形成连接空间113，在容纳空间112与连接空间113以上下、横向及竖向铺设钢筋114，在容纳空间112内通过混凝土115的浇筑而与钢筋114一起形成钢筋混凝土。对于分离隔震台110显示连接空间113仅在本实施例中形成于一侧，但并非限定于此，也能够分别配置于两侧的两个边、三个边或四个边。并且，壳体111起到不锈钢材质的模板作用，与分离隔震台110构成一体，也起到加固材料的作用。
模板连接部120相互连接分离隔震台110各自的壳体111，以保持相互连接分离隔震台110各自的连接空间113的状态。模板连接部120例如，包括：固定螺栓121，通过焊接分别固定于相互邻近的分离隔震台110各自的连接空间113地面，即下部面111b上；连接板122，插入至各个固定螺栓121，具有相当于比模板111的下部面111b厚度厚1～5倍的厚度；螺母123，分别螺旋连接至由连接板122分别突出的固定螺栓121，从而固定连接板122以使连接相互临近的分离隔震台110。连接板122提前穿孔有贯通孔，以分别插入固定螺栓121。在分离隔震台110的连接部位发生最大弯矩，与处于下部的钢筋114相比，在模板111的下部面111b发生更大的拉伸力，因通过隔震台100的弯曲模式而产生的固有振动数受抗弯刚度(截面系数与弹性系数的乘积)的影响，连接板122应实现与模板111的下部面111b相同的抗弯刚度，从而，防止发生因通过模板111连接而产生的固有振动数低下的问题，由此，在满足经济性施工的范围内，连接板122的厚度为模板111的下部面111b厚度的1～5倍的厚度。
钢筋连接部130相互连接显露至分离隔震台110各自的连接空间113的钢筋114。钢筋连接部130包括：连接螺母131，螺旋连接至形成于呈一列配置至各个相互临近的连接空间113的钢筋114各自的末端的外螺纹部，由此，相互连接钢筋114；防松螺母132，螺旋结合至钢筋114各自的外螺纹部，由此，使得分别与连接螺母131两端接触，以防止连接螺母131松开，另外，还包括：限位垫圈133，介于连接螺母131与防松螺母132之间，具有比连接螺母131及防松螺母132的宽度大的直径。限位垫圈133具有比连接螺母131及防松螺母132的宽度大的直径，由此，使得插进混凝土115而能够进行坚固的固定。对于螺旋结合而连接钢筋114的情况，由于螺旋结合需要的螺纹而产生的反冲(backlash)现象，在细微位移时，拉伸/压缩载荷无法被传输至用于相互连接的钢筋114之间，并且，无法在振动侧面执行钢筋114的弹性恢复功能。因该反冲现象试验结果显示至隔震台110的弯曲固有振动数低下的不利的侧面，由此，通过使用防松螺母132而防止发生因拉伸压缩而产生的反冲现象。
填充材料140能够在分离隔震台110各自的相互连接的连接空间113内通过混凝土的浇筑而与处于连接空间113内的钢筋114一起形成钢筋混凝土，使得具有浇筑至容纳空间112内的混凝土115的弹性系数的50～200％的弹性系数。填充材料140不仅包含混凝土，也包含砂浆、环氧化物等。在此，填充材料140的弹性系数对于浇筑至容纳空间112内的混凝土115的弹性系数，不足50％的情况与超过200％的情况，存在增加填充材料140与容纳空间112内的钢筋混凝土之间的动态特性的不均一性的问题。
参照图3，通过具有本发明的另一实施例的同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台，配置有垂直设置于模板111的下部面111b而防止混凝土的活动的剪力键150。剪力键150配置有多个，以使二维排列至模板111的下部面111b上，其同样与下面的实施例适用。该剪力键150在隔震台100发生弯矩时，使得混凝土115与钢筋114及模板111一体活动，由此，耐用性及结构的稳定性优秀，相应示例的剪力键150例如，包括：柱子151，通过焊接与模板111的下部面111b垂直固定；头部152，配置使得在柱子151的上端具有扩展的直径或宽度。
并且，作为另一例，为了使得在操作者的移动、材料的搬运或钢筋114的铺设作业中不发生干扰，以在所需过程中便利执行设置作业，剪力键160包括：固定螺母161，通过焊接固定至模板111的下部面111b；连接螺栓162，螺旋结合于固定螺母161而垂直设置；头部163，配置使得在连接螺栓162的上端具有扩展直径或宽度；防松螺母164，螺旋接合至连接螺栓162，而设置在固定螺母161上。在此，头部163如之前的实施例一样，一体设置在连接螺栓162的上端，或如本实施例中一样，由通过螺旋连接至连接螺栓162的上端的螺母构成。
参照图4，具有本发明的又一实施例的同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台还包括：减震垫170，设置使得介于模板111的下部面111b与混凝土115或填充材料140之间，以使剪力键150贯通，由橡胶或合成树脂等能够缓冲的各种材质制造，以用于减震。即，减震垫170介于模板111的下部面111b与混凝土115之间与模板111的下部面111b与填充材料114之间，与本实施例一样，设置在处于模板111的下部面111b上侧的连接板122上。
另外，隔震台100的振动具有各种振动特性，由隔震台100支撑基础即下部或隔震台100上部设备等引发的励磁频率与隔震台100的弯曲模式的共振频率一致而引发共振响应。为了控制该共振响应，能够对隔震台100的厚度、隔震台100的材质、隔震台100的大小等进行变更，但因共振响应对增加隔震台100的阻尼性能的情况最具效果，由此，减震垫170执行以实现该阻尼性能。
通过具有如上所述的本发明的同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台，限制填充材料的弹性系数，使得填充材料与已浇筑混凝土等的抗弯刚度相似，从而，将其之间的不均一性最小化，而且，能够提高振动特性。
并且，根据本发明，提高分离隔震台之间的结合力而提高耐用性，防止在分离隔震台之间的钢筋相接时，发生反冲现象，由此，防止分离隔震台的弯曲固有振动数低下，而与拉伸压缩载荷的稳定的传输一起，使得在振动侧面顺利地执行钢筋的弹性恢复功能。
并且，根据本发明，使得在分离隔震台发生弯矩时，能够执行混凝土与模板的一体化活动，通过增加隔震台的阻尼性能，以使得控制共振响应。
由此，参照附图而对本发明进行了说明，在不脱离本发明的技术思想的范围内进行各种修正及变形。因此，本发明的范围并非限定于说明的实施例，下面不仅通过权利要求范围以及与该权利要求范围同等的范围进行限定。

Claims (7)

1.一种具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台，其特征在于，
包括：
多个分离隔震台，两侧侧面与下部面由形成上方开启的容纳空间的壳体的侧部水平延伸而形成连接空间，并在所述容纳空间与所述连接空间铺设钢筋，在所述容纳空间内通过混凝土的浇筑而形成钢筋混凝土；
模板连接部，相互连接所述分离隔震台各自的壳体，以使保持相互连接所述分离隔震台各自的连接空间的状态；
钢筋连接部，相互连接显露至所述分离隔震台各自的连接空间的钢筋；及
填充材料，使得能够在分别相互连接所述分离隔震台的连接空间内与混凝土一起浇筑而形成钢筋混凝土，
所述填充材料的弹性系数为浇筑至所述容纳空间内的混凝土的弹性系数的50～200％。
2.根据权利要求1所述的具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台，其特征在于，
所述模板连接部包括：
固定螺栓，通过焊接分别固定于相互邻近的所述分离隔震台各自的连接空间地面上；
连接板，插入至各个所述固定螺栓，具有相当于所述下部面厚度1～5倍的厚度；及
螺母，分别螺旋连接至分别由所述连接板突出的固定螺栓，由此，所述连接板连接相互邻近的所述分离隔震台。
3.根据权利要求1所述的具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台，其特征在于，
所述钢筋连接部包括：
连接螺母，螺旋结合形成于按一列配置至各个相互邻近的连接空间的钢筋各自的末端的外螺纹部，从而，相互连接钢筋；及
防松螺母，螺旋结合至所述钢筋各自的外螺纹部，以分别与所述连接螺母两端接触，从而，防止所述连接螺母的松开。
4.根据权利要求3所述的具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台，其特征在于，
所述钢筋连接部还包括：
限位垫圈，介于所述连接螺母与所述防松螺母之间，并具有大于所述连接螺母及所述防松螺母的宽度的直径。
5.根据权利要求1所述的具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台，其特征在于，
还包括：
剪力键，垂直设置于所述模板的下部面而防止混凝土的活动，
所述剪力键包括：
柱子，通过焊接垂直固定于所述模板的下部面；及
头部，配置使得在所述柱子的上端具有扩展的直径或宽度。
6.根据权利要求1所述的具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台，其特征在于，
还包括：
剪力键，垂直设置于所述模板的下部面而防止混凝土的活动，
所述剪力键包括：
固定螺母，通过焊接固定至所述模板的下部面；
连接螺栓，螺旋结合至所述固定螺母而垂直设置；
头部，配置使得在所述连接螺栓的上端具有扩展的直径或宽度；及
防松螺母，螺旋结合至所述连接螺栓而设置在所述固定螺母上。
7.根据权利要求5或6所述的具有同一结构动态特性的可分离式一体化隔震台，其特征在于，
还包括：
减震垫，设置使得介于所述模板的下部面与所述混凝土或所述填充材料之间，以使所述剪力键贯通。
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